KR20220076264A - 프로브 카드 장치 및 듀얼 암 프로브 - Google Patents

프로브 카드 장치 및 듀얼 암 프로브 Download PDF

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Abstract

본 발명은 프로브 카드 장치 및 듀얼 암 프로브를 개시하는데, 상기 듀얼 암 프로브는 프로브 길이를 가지고, 양단에 각각 위치하는 분기 단부 및 테스트 단부를 포함한다. 상기 듀얼 암 프로브의 외표면은 상반되는 측에 각각 위치하는 두 개의 넓은 측면을 포함한다. 상기 듀얼 암 프로브는 상기 분기 단부의 분기점으로부터 상기 테스트 단부를 향해 두 개의 상기 넓은 측면 중 하나로부터 다른 하나에 관통하는 이격홈을 연장 형성하고, 상기 이격홈을 통해 서로 거리를 두고 이격된 두 개의 지지암을 설치하도록 한다. 상기 듀얼 암 프로브의 상기 이격홈의 홈 길이는 상기 프로브 길이의 50%~90%이다. 상기 듀얼 암 프로브의 두 개의 지지암의 단면에서, 임의의 하나의 상기 지지암의 단면적은 다른 하나의 상기 지지암의 단면적의 90%~110%이다.

Description

프로브 카드 장치 및 듀얼 암 프로브{PROBE CARD DEVICE AND DUAL-ARM PROBE}
본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로, 특히 프로브 카드 장치 및 듀얼 암 프로브에 관한 것이다.
신호 전송판의 선로 레이아웃에 부합되기 위하여, 기존의 프로브 카드 장치는 다양한 유형의 전도성 프로브를 포함하지만 다양한 상기 전도성 프로브의 단면적이 서로 상이하고 차이가 크기 때문에 다양한 상기 전도성 프로브는 상이한 전기 전도 특성(예를 들어, 저항값) 및 상이한 기계적 특성(예를 들어, 접촉력)을 갖는다.
따라서, 본 발명자는 상기 단점을 개선할 수 있다고 생각하고, 깊은 연구와 과학적 원리의 적용을 매칭시켜 최종적으로 설계가 합리하며 상기 단점을 효과적으로 개선하는 본 발명을 제기한다.
본 발명의 실시예는 기존의 전도성 프로브에 발생할 수 있는 단점을 효과적으로 개선할 수 있는 프로브 카드 장치 및 듀얼 암 프로브를 제공한다.
본 발명의 실시예는 프로브 카드 장치를 개시하는데, 이는 서로 이격되게 설치되는 제1 가이드판 유닛과 제2 가이드판 유닛; 및 상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛에 관통되게 설치되되, 길이 방향을 정의하고 상기 길이 방향에서 프로브 길이를 가지며, 외표면은 상기 길이 방향에 평행되고 상반되는 양측에 각각 위치하는 두 개의 넓은 측면을 포함하는 복수개의 듀얼 암 프로브를 포함하는 프로브 카드 장치에 있어서; 각각의 상기 듀얼 암 프로브는, 상기 제2 가이드판 유닛으로부터 멀어지는 상기 제1 가이드판 유닛의 외측에 위치하고, 분기점을 갖는 분기 단부; 및 상기 제1 가이드판 유닛으로부터 멀어지는 상기 제2 가이드판 유닛의 외측에 위치하고, 피테스트 물체에 분리 가능하게 당접하기 위한 테스트 단부를 포함하며; 여기서, 각각의 상기 듀얼 암 프로브는 상기 분기점으로부터 상기 길이 방향을 따라 상기 테스트 단부를 향해 두 개의 상기 넓은 측면 중 하나로부터 다른 하나로 관통하는 이격홈을 연장 형성하여, 각각의 상기 듀얼 암 프로브가 상기 이격홈을 통해 서로 거리를 두고 이격되는 두 개의 지지암을 정의하도록 하고; 여기서, 상기 길이 방향에서의 각각의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 이격홈의 홈 길이는 상기 프로브 길이의 50%~90%이며, 복수개의 상기 듀얼 암 프로브 중 하나의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 거리는 다른 하나의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 거리와 상이하고; 여기서, 상기 길이 방향에 수직되는 각각의 상기 듀얼 암 프로브의 두 개의 상기 지지암의 단면에서, 임의의 하나의 상기 지지암의 단면적은 다른 하나의 상기 지지암의 단면적의 90%~110%이다.
본 발명의 실시예는 듀얼 암 프로브도 개시하는데, 이는 길이 방향을 정의하고 상기 길이 방향에서 프로브 길이를 가지며, 상기 듀얼 암 프로브의 외표면은 상기 길이 방향에 평행되고 상반되는 양측에 각각 위치하는 두 개의 넓은 측면을 포함하며; 여기서, 상기 듀얼 암 프로브는, 분기점을 갖는 분기 단부; 및 피테스트 물체에 분리 가능하게 당접하기 위한 것이고, 상기 분기 단부와 상기 듀얼 암 프로브의 양단에 각각 위치하는 테스트 단부를 포함하되; 여기서, 상기 듀얼 암 프로브는 상기 분기점으로부터 상기 길이 방향을 따라 상기 테스트 단부를 향해 두 개의 상기 넓은 측면 중 하나로부터 다른 하나로 관통하는 이격홈을 연장 형성하여, 상기 듀얼 암 프로브가 상기 이격홈을 통해 서로 거리를 두고 이격된 두 개의 지지암을 정의하도록 하고; 여기서, 상기 길이 방향에서의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 이격홈의 홈 길이는 상기 프로브 길이의 50%~90%이며; 여기서, 상기 길이 방향에 수직되는 상기 듀얼 암 프로브의 두 개의 지지암의 단면에서, 임의의 하나의 상기 지지암의 단면적은 다른 하나의 상기 지지암의 단면적의 90%~110%이다.
종합해보면, 본 발명의 실시예에 개시된 프로브 카드 장치에서, 이에 포함된 복수개의 상기 듀얼 암 프로브는 동일한 구조 설계 원리 하에서, 상이한 구조(예를 들어, 복수개의 상기 듀얼 암 프로브 중 하나의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 거리는 다른 하나의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 거리와 상이함)를 포함하여 상기 신호 전송판의 선로 레이아웃에 부합되도록 할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 개시된 상기 듀얼 암 프로브는 두 개의 상기 지지암의 구조 설계(예를 들어, 임의의 하나의 상기 지지암의 단면적은 다른 하나의 상기 지지암의 단면적의 90%~110%임)를 통해 복수개의 상기 듀얼 암 프로브가 유사한 전기 전도 특성(예를 들어, 저항값) 및 유사한 기계적 특성(예를 들어, 접촉력)을 가질 수 있도록 한다.
본 발명의 특징 및 기술내용을 보다 더 이해하기 위하여, 이하 본 발명에 관한 상세한 설명 및 도면을 참조하지만 이러한 설명 및 도면은 본 발명을 설명하기 위한 것일 뿐 본 발명의 보호범위에 대하여 어떠한 제한도 아니한다.
도 1은 본 발명의 실시예1의 프로브 카드 장치의 평면 모식도이다.
도 2는 제1 가이드판과 제2 가이드판이 어긋날 경우의 도 1의 프로브 카드 장치의 평면 모식도이다.
도 3은 도 1의 듀얼 암 프로브의 사시 모식도이다.
도 4는 도 1의 단면선 IV-IV에 따른 단면 모식도이다.
도 5는 본 발명의 실시예1의 듀얼 암 프로브의 다른 양태의 사시 모식도이다.
도 6은 도 1의 부위VI의 확대 모식도이다.
도 7은 도 2의 부위VII의 확대 모식도이다.
도 8은 도 1의 부위VIII의 확대 모식도이다.
도 9는 본 발명의 실시예2의 듀얼 암 프로브의 사시 모식도이다.
도 10은 도 9의 부위X의 확대 모식도이다.
도 11은 본 발명의 실시예3의 듀얼 암 프로브의 사시 모식도이다.
도 12는 본 발명의 실시예3의 듀얼 암 프로브의 다른 양태의 사시 모식도이다.
이하 특정된 구체적인 실시예를 통해 본 발명에 개시된 "프로브 카드 장치 및 듀얼 암 프로브"에 관한 실시형태를 설명하는데, 본 기술분야의 통상의 지식을 가지는 자는 본 명세서에 개시된 내용으로부터 본 발명의 장점 및 효과를 이해할 수 있다. 본 발명은 다른 상이한 구체적인 실시예를 통해 구현되거나 적용될 수 있고, 본 명세서의 각 세부절차는 상이한 관점과 응용에 기반하여 본 발명의 구상을 벗어나지 않는 하에서 다양한 수정 및 변경을 진행할 수 있다. 이 밖에, 본 발명의 도면은 간단한 예시적 설명일 뿐 실제 크기에 따른 설명이 아님을 미리 언급하는 바이다. 이하 실시형태는 본 발명의 관련 기술내용을 더 상세히 설명하지만 개시된 내용은 본 발명의 보호범위를 제한하려는 것이 아니다.
본 명세서에서 "제1", "제2", "제3"과 같은 용어를 사용하여 다양한 소자 또는 신호를 설명할 수 있지만, 이러한 소자 또는 신호는 이러한 용어에 의해 제한되어서는 아니됨을 이해하여야 한다. 이러한 용어는 주로 하나의 소자를 다른 하나의 소자와 구별하거나 또는 하나의 신호를 다른 하나의 신호와 구별하기 위한 것이다. 이 밖에, 본 명세서에서 사용되는 용어 "또는"은 실제 상황에 따라 관련된 열거 항목 중 임의의 하나 또는 복수개의 조합을 포함할 수 있다.
[실시예1]
도 1 내지 도 8을 참조하면, 이는 본 발명의 실시예1이다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예는 프로브 카드 장치(1000)를 개시하는데, 프로브 헤드(100) 및 상기 프로브 헤드(100)의 일측(예를 들어, 도 1의 프로브 헤드(100)의 최상부)에 접하는 신호 전송판(200)을 포함하고, 상기 프로브 헤드(100)의 타측(예를 들어, 도 1의 프로브 헤드(100)의 저부)은 피테스트 물체(device under test, DUT)(미도시, 예를 들어, 반도체 웨이퍼)에 당접하여 테스트하기 위한 것이다.
먼저 설명해야 할 것은, 본 실시예를 용이하게 이해하기 위하여, 도면은 상기 프로브 카드 장치(1000)의 일부 구조만 도시하여 상기 프로브 카드 장치(1000)의 각 소자 구조와 연결 관계를 명확하게 나타내지만 본 발명은 도면에 한정되지 않는다. 이하 상기 프로브 헤드(100)의 각 소자 구조 및 연결 관계를 각각 소개한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 프로브 헤드(100)는 제1 가이드판 유닛(1), 상기 제1 가이드판 유닛(1)에 이격되게 설치되는 제2 가이드판 유닛(2), 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 제2 가이드판 유닛(2) 사이에 클램핑되는 이격판(3) 및 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 관통되게 설치되는 복수개의 듀얼 암 프로브(4)를 포함한다.
설명해야 할 것은, 본 실시예에서 상기 듀얼 암 프로브(4)는 상기 제1 가이드판 유닛(1), 상기 제2 가이드판 유닛(2) 및 상기 이격판(3)과 매칭되어 설명되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 듀얼 암 프로브(4)는 또한 독립적으로 적용(예를 들어, 판매)되거나 또는 다른 부재와 매칭되어 사용될 수 있다.
본 실시예에서, 상기 제1 가이드판 유닛(1)은 하나의 제1 가이드판을 포함하고, 상기 제2 가이드판 유닛(2)은 하나의 제2 가이드판을 포함한다. 그러나, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 제1 가이드판 유닛(1)은 복수개의 제1 가이드판(및 인접한 두 개의 상기 제1 가이드판 사이에 클램핑되는 이격편)을 포함할 수 있고, 상기 제2 가이드판 유닛(2)은 또한 복수개의 제2 가이드판(및 인접한 두 개의 상기 제2 가이드판 사이에 클램핑되는 이격편)을 포함할 수 있으며, 복수개의 상기 제1 가이드판은 서로 어긋나게 설치될 수 있고, 복수개의 상기 제2 가이드판도 서로 어긋나게 설치될 수 있으며, 상기 제1 가이드판 유닛(1)은 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 대하여 서로 어긋나게 설치될 수 있다.
또한, 상기 이격판(3)은 링형 구조 일 수 있고, 상기 이격판(3)은 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2)의 서로 대응되는 외곽 부위에 클램핑되지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 프로브 카드 장치(1000)의 상기 이격판(3)은 또한 생략되거나 또는 다른 부재로 대체될 수 있다.
먼저 설명해야 할 것은, 본 실시예에서 복수개의 상기 듀얼 암 프로브(4)는 적어도 두 가지 상이한 구조를 포함하지만 적어도 두 가지 상기 듀얼 암 프로브(4)의 구조 설계 원리는 대체적으로 동일하고, 설명의 편의를 위해 이하 먼저 하나의 상기 듀얼 암 프로브(4)의 구조 설계 원리가 동일한 부분을 소개하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 프로브 헤드(100)는 또한 적어도 두 가지 상기 듀얼 암 프로브(4) 및 직선 형상의 적어도 하나의 기존의 전도성 프로브를 포함할 수 있다.
또한, 상기 듀얼 암 프로브(4)의 구조를 용이하게 이해하기 위하여, 이하 먼저 상기 제1 가이드판 유닛(1)이 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 대하여 어긋나게 설치되지 않은 경우의 상기 듀얼 암 프로브(4)의 구조를 설명한다.
도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 듀얼 암 프로브(4)는 일체로 성형된 일체형 구조이고, 상기 듀얼 암 프로브(4)는 대체적으로 직선 형상이며 길이 방향(L)을 정의한다. 여기서, 상기 듀얼 암 프로브(4)는 상기 길이 방향(L)에서 프로브 길이(L4)를 갖고, 상기 듀얼 암 프로브(4)의 외표면은 두 개의 넓은 측면(4a) 및 두 개의 좁은 측면(4b)을 포함한다. 두 개의 상기 넓은 측면(4a) 및 두 개의 상기 좁은 측면(4b)은 모두 상기 길이 방향(L)에 평행되고, 두 개의 상기 넓은 측면(4a)은 상기 듀얼 암 프로브(4)의 상반되는 양측에 각각 위치하며, 두 개의 상기 좁은 측면(4b)은 상기 듀얼 암 프로브(4)의 상반되는 다른 양측에 각각 위치한다.
다시 말해서, 상기 듀얼 암 프로브(4)는 이의 양단에 각각 위치하는 분기 단부(41)와 테스트 단부(42), 상기 분기 단부(41)에 연결되는 제1 연결부(43), 상기 테스트 단부(42)에 연결되는 제2 연결부(44) 및 상기 제1 연결부(43)와 상기 제2 연결부(44)를 연결시키는 행정부(45)를 포함한다. 다시 말해서, 상기 듀얼 암 프로브(4)는 상기 길이 방향(L)을 따라 순차적으로 상기 분기 단부(41), 상기 제1 연결부(43), 상기 행정부(45), 상기 제2 연결부(44), 및 상기 테스트 단부(42)를 포함하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
여기서, 상기 분기 단부(41)는 상기 제2 가이드판 유닛(2)으로부터 멀어지는 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 외측(예를 들어, 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 상측)에 위치하여 상기 제1 가이드판 유닛(1)에 인접하는 상기 신호 전송판(200)에 당접하기 위한 것이고; 상기 테스트 단부(42)는 상기 제1 가이드판 유닛(1)으로부터 멀어지는 상기 제2 가이드판 유닛(2)의 외측(예를 들어, 상기 제2 가이드판 유닛(2)의 하측)에 위치하여 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 인접하는 상기 피테스트 물체에 분리 가능하게 당접하기 위한 것이다. 또한, 상기 제1 연결부(43)는 상기 제1 가이드판 유닛(1) 내에 위치하고, 상기 제2 연결부(44)는 상기 제2 가이드판 유닛(2) 내에 위치하며, 상기 행정부(45)는 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2) 사이에 위치한다.
보다 상세하게, 상기 분기 단부(41)는 분기점(411)을 갖고, 상기 듀얼 암 프로브(4)는 상기 분기점(411)으로부터 상기 길이 방향(L)을 따라 상기 테스트 단부(42)를 향해 두 개의 상기 넓은 측면(4a) 중 하나로부터 다른 하나로 관통하는 이격홈(4c)을 연장 형성하여 상기 듀얼 암 프로브(4)가 상기 이격홈(4c)을 통해 서로 거리(D4d)를 두고 이격된 두 개의 지지암(4d)을 정의하도록 한다.
여기서, 복수개의 상기 듀얼 암 프로브(4) 중 하나의 상기 듀얼 암 프로브(4)의 상기 거리(D4d)는 다른 하나의 상기 듀얼 암 프로브(4)의 상기 거리(D4d)와 상이한 바; 다시 말해서, 복수개의 상기 듀얼 암 프로브(4)는 동일한 구조 설계 원리 하에 상이한 구조를 포함하여 상기 신호 전송판(200)의 선로 레이아웃에 부합되도록 할 수 있다.
또한, 상기 길이 방향(L)에서의 상기 이격홈(4c)의 홈 길이(L4c)는 상기 프로브 길이(L4)의 50%~90%이다. 또한, 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 길이 방향(L)에 수직되는 각각의 상기 듀얼 암 프로브(4)의 두 개의 상기 지지암(4d)의 단면에서, 임의의 하나의 상기 지지암(4d)의 단면적은 다른 하나의 상기 지지암(4d)의 단면적의 90%~110%(예를 들어, 100%)이고, 임의의 하나의 상기 지지암(4d)이 상기 넓은 측면(4a)에서의 두께(T4d)는 임의의 하나의 상기 좁은 측면(4b)의 폭(W4b)의 20%~100%이다. 설명해야 할 것은, 본 실시예에서 상기 단면적은 하기 스페이서 리브(4d2)와 위치 제한 갭(4d3)을 포함하지 않는다.
따라서, 상이한 구조가 형성된 복수개의 상기 듀얼 암 프로브(4)는 각각의 상기 듀얼 암 프로브(4)의 두 개의 상기 지지암(4d)의 단면적의 총합이 유사하여 유사한 전기 전도 특성(예를 들어, 저항값) 및 유사한 기계적 특성(예를 들어, 접촉력)을 가질 수 있다. 여기서, 각각의 상기 듀얼 암 프로브(4)의 임의의 하나의 상기 지지암(4d)의 단면적은 바람직하게는 다른 하나의 상기 지지암(4d)의 단면적과 동일하여 복수개의 상기 듀얼 암 프로브(4)가 대체적으로 동일한 전기 전도 특성 및 기계적 특성을 갖도록 한다.
별도로 설명해야 할 것은, 임의의 하나의 상기 듀얼 암 프로브(4)는 두 개의 상기 지지암(4d)의 세부 구조를 조절하여, 상이한 설계 요구에 부합되도록 할 수 있다. 예를 들면, 적어도 하나의 상기 듀얼 암 프로브(4)는 하기 복수개의 기술특징 중 적어도 하나를 포함할 수 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 듀얼 암 프로브(4)는 또한 하기 임의의 하나의 기술특징을 포함하지 않을 수 있다.
도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 두 개의 상기 지지암(4d)은 상기 길이 방향(L)에서 동일한 길이를 갖고, 두 개의 상기 지지암(4d)은 함께 상기 신호 전송판(200)에 당접한다. 다시 말해서, 상기 분기점(411)은 상기 분기 단부(41)의 말단면에 오목하게 설치되고, 상기 분기점(411)은 대체적으로 상기 길이 방향(L)을 따라 상기 이격홈(4c)과 연통된다.
여기서, 본 실시예에서 상기 이격홈(4c)은 상기 분기점(411)에서 상기 제2 연결부(44)에 연장되고; 다시 말해서, 상기 이격홈(4c)의 말단은 상기 제2 가이드판 유닛(2) 내에 위치하지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 상기 듀얼 암 프로브(4)의 상기 이격홈(4c)은 또한 상기 분기점(411)으로부터 상기 행정부(45)의 대략적인 중심으로 연장될 수 있다.
보다 구체적으로, 도 1, 도 6, 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 듀얼 암 프로브(4)에서, 두 개의 상기 지지암(4d)이 서로 대향하는 두 개의 내표면(4d1) 중 하나의 상기 내표면(4d1)에는 돌출 형상의 적어도 하나의 스페이서 리브(4d2)가 형성되어 있고, 여기서 다른 하나의 상기 내표면(4d1)에는 적어도 하나의 상기 스페이서 리브(4d2)에 위치 대응되는 적어도 하나의 위치 제한 갭(4d3)이 오목하게 형성되어 있으며, 적어도 하나의 상기 위치 제한 갭(4d3)의 깊이(D4d3)는 적어도 하나의 상기 스페이서 리브(4d2)의 높이(H4d2)보다 작다.
본 실시예에서, 도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 듀얼 암 프로브(4) 중 하나의 상기 지지암(4d)의 상기 내표면(4d1)에는 상기 길이 방향(L)을 따라 이격 배열된 복수개의 상기 스페이서 리브(4d2)가 형성되어 있고, 다른 하나의 상기 지지암(4d)의 상기 내표면(4d1)에는 각각 복수개의 상기 스페이서 리브(4d2)와 마주하는 복수개의 상기 위치 제한 갭(4d3)이 오목하게 형성되어 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 듀얼 암 프로브(4)에서 각각의 상기 지지암(4d)에는 적어도 하나의 상기 스페이서 리브(4d2) 및 적어도 하나의 상기 위치 제한 갭(4d3)이 형성되어 있을 수 있고, 임의의 하나의 상기 스페이서 리브(4d2)의 위치는 하나의 상기 위치 제한 갭(4d3)에 대응되거나; 또는, 상기 듀얼 암 프로브(4)에서 또한 적어도 하나의 상기 지지암(4d)에만 적어도 하나의 상기 스페이서 리브(4d2)가 형성되어 있을 수 있지만 어떠한 상기 위치 제한 갭(4d3)도 형성되어 있지 않는다.
따라서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2)이 서로 경사진 방향으로 어긋날 경우, 적어도 하나의 상기 스페이서 리브(4d2)를 갖는 적어도 하나의 상기 듀얼 암 프로브(4)에서 두 개의 상기 지지암(4d)은 적어도 하나의 상기 스페이서 리브(4d2)(또는 이에 대응되는 적어도 하나의 상기 위치 제한 갭(4d3)과 매칭시킴)를 통해 서로의 간극을 유지한다.
이 밖에, 도 1 및 도 8에 도시된 바와 같이, 임의의 하나의 상기 듀얼 암 프로브(4)에서, 상기 행정부(45)의 두 개의 말단 부위(451)가 각각 임의의 하나의 상기 넓은 측면(4a)에서의 폭(W451)은 두 개의 상기 말단 부위(451)에 위치하는 상기 행정부(45)의 몸체 부위(452)가 임의의 하나의 상기 넓은 측면(4a)에서의 폭(W452)보다 크다.
[실시예2]
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 이는 본 발명의 실시예2이다. 본 실시예는 상기 실시예1과 유사하므로, 두 개의 실시예의 동일한 특징은 더 반복하지 않고, 본 실시예와 상기 실시예1의 차이점은 대체적으로 다음과 같이 설명된다.
본 실시예의 적어도 하나의 상기 듀얼 암 프로브(4)에서, 두 개의 상기 지지암(4d)은 상기 길이 방향(L)에서 상이한 길이를 가지고, 두 개의 상기 지지암(4d) 중 하나의 상기 지지암(4d)만 상기 신호 전송판(200)에 당접한다. 다시 말해서, 상기 분기 단부(41)의 상기 분기점(411)은 그 중 하나의 상기 좁은 측면(4b)에 오목 설치되어, 상기 분기점(411)이 상기 길이 방향(L)에 수직되는 다른 방향을 따라 상기 이격홈(4c)에 연통되도록 한다.
[실시예3]
도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 이는 본 발명의 실시예3이다. 본 실시예가 상기 실시예1과 유사하므로 두 개의 실시예의 동일한 특징은 더 이상 반복하지 않으며 본 실시예와 상기 실시예1의 차이점은 대체적으로 다음과 같이 설명된다.
본 실시예의 도 11에서, 상기 듀얼 암 프로브(4)에서 두 개의 상기 지지암(4d)이 서로 대향하는 두 개의 내표면(4d1) 중 하나의 상기 내표면(4d1)에는 돌출 형상의 적어도 하나의 스페이서 리브(4d2)가 형성되어 있지만 상기 듀얼 암 프로브(4)에는 어떠한 위치 제한 갭(4d3)도 형성되어 있지 않는다.
이 밖에, 본 실시예의 도 12에서, 상기 듀얼 암 프로브(4)에서 두 개의 상기 지지암(4d)이 서로 대향하는 두 개의 내표면(4d1)에는 돌출 형상의 적어도 하나의 스페이서 리브(4d2)가 각각 형성되어 있지만 상기 듀얼 암 프로브(4)에도 마찬가지로 어떠한 위치 제한 갭(4d3)이 형성되어 있지 않는다.
[본 발명의 실시예의 기술적 효과]
종합해보면, 본 발명의 실시예에 개시된 프로브 카드 장치에서, 이에 포함된 복수개의 상기 듀얼 암 프로브는 동일한 구조 설계 원리 하에 상이한 구조(예를 들어, 복수개의 상기 듀얼 암 프로브 중 하나의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 거리는 다른 하나의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 거리와 상이함)를 포함하여 선로 레이아웃에 부합되도록 할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 개시된 상기 듀얼 암 프로브는 두 개의 상기 지지암의 구조 설계(예를 들어, 임의의 하나의 상기 지지암의 단면적은 다른 하나의 상기 지지암의 단면적의 90%~110%임)를 통해 복수개의 상기 듀얼 암 프로브가 유사한 전기 전도 특성(예를 들어, 저항값) 및 유사한 기계적 특성(예를 들어, 접촉력)을 가질 수 있도록 한다.
이 밖에, 본 발명의 실시예에 개시된 프로브 카드 장치에서, 상기 듀얼 암 프로브는 적어도 하나의 상기 스페이서 리브(또는 이에 대응되는 적어도 하나의 상기 위치 제한 갭과 매칭시킴)가 형성되어 있어 상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛이 서로 경사진 방향으로 어긋날 경우, 상기 듀얼 암 프로브가 서로의 간극을 유지할 수 있도록 함으로써 두 개의 상기 지지암이 제공하는 기계적 특성의 변화를 방지한다.
이상 개시된 내용은 본 발명의 바람직한 실행 가능한 실시예일 뿐 이로써 본 발명의 특허범위를 제한하는 것이 아니기에 본 발명의 명세서 및 도면을 사용하여 이루어진 동등한 기술 변경은 모두 본 발명의 특허범위에 포함된다.
1000: 프로브 카드 장치
100: 프로브 헤드
1: 제1 가이드판 유닛
2: 제2 가이드판 유닛
3: 이격판
4: 듀얼 암 프로브
4a: 넓은 측면
4b: 좁은 측면
4c: 이격홈
4d: 지지암
4d1: 내표면
4d2: 스페이서 리브
4d3: 위치 제한 갭
41: 분기 단부
411: 분기점
42: 테스트 단부
43: 제1 연결부
44: 제2 연결부
45: 행정부
451: 말단 부위
452: 몸체 부위
200: 신호 전송판
L: 길이 방향
L4: 프로브 길이
L4c: 홈 길이
D4d: 거리
H4d2: 높이
D4d3: 깊이
T4d: 두께
W4b: 폭
W451: 폭
W452: 폭

Claims (5)

  1. 서로 이격되게 설치되는 제1 가이드판 유닛과 제2 가이드판 유닛; 및
    상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛에 관통되게 설치되되, 길이 방향을 정의하고 상기 길이 방향에서 프로브 길이를 가지며, 외표면은 상기 길이 방향에 평행되고 상반되는 양측에 각각 위치하는 두 개의 넓은 측면을 포함하는 복수개의 듀얼 암 프로브를 포함하는 프로브 카드 장치에 있어서,
    각각의 상기 듀얼 암 프로브는,
    상기 제2 가이드판 유닛으로부터 멀어지는 상기 제1 가이드판 유닛의 외측에 위치하고, 분기점을 갖는 분기 단부; 및
    상기 제1 가이드판 유닛으로부터 멀어지는 상기 제2 가이드판 유닛의 외측에 위치하고, 피테스트 물체에 분리 가능하게 당접하기 위한 테스트 단부를 포함하며;
    여기서, 각각의 상기 듀얼 암 프로브는 상기 분기점으로부터 상기 길이 방향을 따라 상기 테스트 단부를 향해 두 개의 상기 넓은 측면 중 하나로부터 다른 하나에 관통하는 이격홈을 연장 형성하여, 각각의 상기 듀얼 암 프로브가 상기 이격홈을 통해 서로 거리를 두고 이격되는 두 개의 지지암을 정의하도록 하며; 여기서, 상기 길이 방향에서의 각각의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 이격홈의 홈 길이는 상기 프로브 길이의 50%~90%이고, 복수개의 상기 듀얼 암 프로브 중 하나의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 거리는 다른 하나의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 거리와 상이하며;
    여기서, 상기 길이 방향에 수직되는 각각의 상기 듀얼 암 프로브의 두 개의 상기 지지암의 단면에서, 임의의 하나의 상기 지지암의 단면적은 다른 하나의 상기 지지암의 단면적의 90%~110%인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    적어도 하나의 상기 듀얼 암 프로브에서 두 개의 상기 지지암이 서로 대향하는 두 개의 내표면 중 하나의 상기 내표면에는 돌출 형상을 이루는 적어도 하나의 스페이서 리브가 형성되어 있는데; 여기서, 상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛이 서로 경사진 방향으로 어긋날 경우, 적어도 하나의 상기 스페이서 리브를 갖는 적어도 하나의 상기 듀얼 암 프로브에서 두 개의 상기 지지암은 적어도 하나의 상기 스페이서 리브를 통해 서로의 간극을 유지하며; 적어도 하나의 상기 스페이서 리브를 갖는 적어도 하나의 상기 듀얼 암 프로브에서, 두 개의 상기 내표면 중 다른 하나의 상기 내표면에는 적어도 하나의 상기 스페이서 리브에 위치 대응되는 적어도 하나의 위치 제한 갭이 오목하게 형성되어 있고, 적어도 하나의 상기 위치 제한 갭의 깊이는 적어도 하나의 상기 스페이서 리브의 높이보다 작은 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 가이드판 유닛 내에 위치하는 각각의 상기 듀얼 암 프로브의 부위를 제1 연결부로 정의하고, 상기 제2 가이드판 유닛 내에 위치하는 각각의 상기 듀얼 암 프로브의 부위를 제2 연결부로 정의하며; 적어도 하나의 상기 듀얼 암 프로브에서, 상기 이격홈은 상기 분기점으로부터 상기 제2 연결부에 연장되고; 상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛 사이에 위치하는 각각의 상기 듀얼 암 프로브의 부위를 행정부로 정의하며; 각각의 상기 듀얼 암 프로브에서, 상기 행정부의 두 개의 말단 부위가 각각 임의의 하나의 상기 넓은 측면에서의 폭은 두 개의 상기 말단 부위 사이에 위치하는 상기 행정부의 몸체 부위가 임의의 하나의 상기 넓은 측면에서의 폭보다 크고; 여기서, 각각의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 외표면은 상기 길이 방향에 평행되며 상반되는 양측에 각각 위치하는 두 개의 좁은 측면을 포함하며; 각각의 상기 듀얼 암 프로브에서, 임의의 하나의 상기 지지암이 상기 넓은 측면에서의 두께는 임의의 하나의 상기 좁은 측면의 폭의 20%~100%인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 카드 장치는 상기 제1 가이드판 유닛에 인접하는 신호 전송판을 더 포함하고; 적어도 하나의 상기 듀얼 암 프로브에서, 두 개의 상기 지지암은 상기 길이 방향에서 상이한 길이를 가져 두 개의 상기 지지암 중 하나의 상기 지지암만 상기 신호 전송판에 당접하거나, 또는 두 개의 상기 지지암은 상기 길이 방향에서 동일한 길이를 가져 두 개의 상기 지지암과 함께 상기 신호 전송판에 당접하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
  5. 길이 방향을 정의하고 상기 길이 방향에서 프로브 길이를 가지며, 상기 듀얼 암 프로브의 외표면은 상기 길이 방향에 평행되고 상반되는 양측에 각각 위치하는 두 개의 넓은 측면을 포함하는 듀얼 암 프로브에 있어서,
    분기점을 갖는 분기 단부; 및
    피테스트 물체에 분리 가능하게 당접하고, 상기 분기 단부와 상기 듀얼 암 프로브의 양단에 각각 위치하는 테스트 단부를 포함하되;
    여기서, 상기 듀얼 암 프로브는 상기 분기점으로부터 상기 길이 방향을 따라 상기 테스트 단부를 향해 두 개의 상기 넓은 측면 중 하나로부터 다른 하나에 관통하는 이격홈을 연장 형성하여, 상기 듀얼 암 프로브가 상기 이격홈을 통해 서로 거리를 두고 이격되는 두 개의 지지암을 정의하도록 하고; 여기서, 상기 길이 방향에서의 상기 듀얼 암 프로브의 상기 이격홈의 홈 길이는 상기 프로브 길이의 50%~90%이며;
    여기서, 상기 길이 방향에 수직되는 상기 듀얼 암 프로브의 두 개의 지지암의 단면에서, 임의의 하나의 상기 지지암의 단면적은 다른 하나의 상기 지지암의 단면적의 90%~110%인 것을 특징으로 하는 듀얼 암 프로브.
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