JP7263433B2 - プローブカード装置及びデュアルアームプローブ - Google Patents
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Description
[第1の実施形態]
[第2の実施形態]
[第3の実施形態]
[本発明による有益な効果]
100:プローブヘッド
1:第1の誘導板ユニット
2:第2の誘導板ユニット
3:スペーサー
4:デュアルアームプローブ
4a:幅広側面
4b:幅狭側面
4c:スロット
4d:分岐アーム
4d1:内面
4d2:リブ
4d3:位置制限切れ目
41:分岐端部
411:分岐端部開口
42:試験端部
43:第1の接続部
44:第2の接続部
45:行程部
451:末端部分
452:主体部分
200:信号転送板
L:長さ方向
L4:プローブ長
L4c:スロット長
D4d:距離
H4d2:高さ
D4d3:深さ
T4d:厚さ
W4b:幅
W451:幅
W452:幅
Claims (5)
- 互いに離れて配置される第1の誘導板ユニット及び第2の誘導板ユニットと、
前記第1の誘導板ユニット及び前記第2の誘導板ユニットに貫設する複数のデュアルアームプローブと、
を具備し、
各前記デュアルアームプローブに長さ方向が定義され、かつ、前記長さ方向に沿ってプローブ長を有し、各前記デュアルアームプローブの外面に、前記長さ方向に平行となるお互いに反対側に位置される2つの幅広側面が含まれ、
各前記デュアルアームプローブは、
前記第2の誘導板ユニット側から見て前記第1の誘導板ユニットの外側に位置し、分岐端部開口を有する、分岐端部と、
前記第1の誘導板ユニット側から見て前記第2の誘導板ユニットの外側に位置し、分離可能にテスト対象物に当接するために用いられる、試験端部と、
前記分岐端部に接続され、前記試験端部に向かって延在する第1の接続部と、
前記試験端部に接続され、前記分岐端部に向かって延在する第2の接続部と、
前記第1の接続部と前記第2の接続部を連接する行程部と、
を含み、
各前記デュアルアームプローブには、前記分岐端部開口から前記長さ方向に沿って前記試験端部に向かって2つの前記幅広側面の一方から他方に貫通するスロットが延伸して形成され、このように、各前記デュアルアームプローブは前記スロットを通して、互いの間に所定の距離が設けられる2つの分岐アームが定義され、各前記デュアルアームプローブにおける前記スロットは、前記長さ方向でのスロット長が前記プローブ長の50%~90%であり、複数の前記デュアルアームプローブにおいて、1つの前記デュアルアームプローブの前記距離と、別の1つの前記デュアルアームプローブの前記距離とは異なっており、
前記長さ方向に垂直となる各前記デュアルアームプローブにおける2つの前記分岐アームの断面において、何れか一方の前記分岐アームの断面積は、他方の前記分岐アームの断面積の90%~110%であり、
複数の前記デュアルアームプローブは、それぞれにおける2つの分岐アームの断面積の総合が、互いに同様となるように構成され、
少なくとも1つの前記デュアルアームプローブでは、前記分岐端部と前記第1の接続部と前記行程部にわたって、2つの前記分岐アームにおける互いに対向する2つの内面における一方の前記内面に、複数のリブが前記長さ方向に間隔をあけて突出するように形成される、
ことを特徴とするプローブカード装置。 - 前記第1の誘導板ユニットと前記第2の誘導板ユニットとが互いに斜めに位置がずれている場合、複数の前記リブを有する少なくとも1つの前記デュアルアームプローブでは、その2つの前記分岐アームが少なくとも1つの前記リブを通して互いの間の間隔を保持し、複数の前記リブを有する少なくとも1つの前記デュアルアームプローブにおいて、2つの前記内面における他方の前記内面に、複数の前記リブに対応した少なくとも1つの、位置制限切れ目が凹設され、かつ、少なくとも1つの前記位置制限切れ目の深さは、少なくとも1つの前記リブの高さよりも小さい、請求項1に記載のプローブカード装置。
- 前記第1の接続部は、各前記デュアルアームプローブにおける前記第1の誘導板ユニット内に位置し、前記第2の接続部は、各前記デュアルアームプローブにおける前記第2の誘導板ユニット内に位置し、少なくとも1つの前記デュアルアームプローブにおいて、前記スロットは、前記分岐端部開口から前記第2の接続部まで延在し、前記デュアルアームプローブにおける、前記行程部は、前記第1の誘導板ユニットと前記第2の誘導板ユニットの間に位置し、各前記デュアルアームプローブにおいて、前記行程部の2つの末端部分の前記幅広側面での幅は、2つの前記末端部分の間に位置する前記行程部の主体部分の前記幅広側面での幅よりも大きく、各前記デュアルアームプローブにおける前記外面は、前記長さ方向に平行となるお互いに反対側に位置される2つの幅狭側面を含み、各前記デュアルアームプローブにおいて、何れか一方の前記分岐アームにおける何れか一方の前記幅狭側面の幅は、前記幅広側面での厚さの20%~100%でなる、請求項1に記載のプローブカード装置。
- 前記プローブカード装置はさらに、前記第1の誘導板ユニットに近接する信号転送板を含み、少なくとも1つの前記デュアルアームプローブにおいて、2つの前記分岐アームを前記長さ方向において異なる長さにすることによって、2つの前記分岐アームは一方の前記分岐アームのみが前記信号転送板に当接することにするか、或いは2つの前記分岐アームを前記長さ方向において同じ長さにして、2つの前記分岐アームが一緒に前記信号転送板に当接するようにする、請求項1に記載のプローブカード装置。
- 長さ方向が定義され、前記長さ方向にプローブ長を有し、かつ、外面に前記長さ方向に平行となるお互いに反対側に位置される2つの幅広側面が含まれ、
分岐端部開口を有する分岐端部と、
それぞれが両端部に位置し、分離可能にテスト対象物に当接するために用いられる、試験端部と、
前記分岐端部に接続され、前記試験端部に向かって延在する第1の接続部と、
前記試験端部に接続され、前記分岐端部に向かって延在する第2の接続部と、
前記第1の接続部と前記第2の接続部を連接する行程部と、
を含み、
前記分岐端部開口から前記長さ方向に沿って前記試験端部に向かって2つの前記幅広側面の一方から他方に貫通するスロットが延伸して形成されることによって、互いの間に所定の距離が設けられる2つの分岐アームが定義され、かつ、前記スロットが前記長さ方向でのスロット長は、前記プローブ長の50%~90%であり、
前記長さ方向に垂直となる前記2つの分岐アームの断面において、何れか一方の前記分岐アームの断面積は、他方の前記分岐アームの断面積の90%~110%であり、
前記分岐端部と前記第1の接続部と前記行程部にわたって、2つの前記分岐アームにおける互いに対向する2つの内面における一方の前記内面に、複数のリブが前記長さ方向に間隔をあけて突出するように形成される、
ことを特徴とするデュアルアームプローブ。
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