CN113219221B - 探针卡装置及其类颈式探针 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种探针卡装置及其类颈式探针，所述类颈式探针呈长形且包含导电针体与环状绝缘体。导电针体包含行程段及分别自行程段的两端延伸的两个末端段。行程段包含两个宽侧面及两个窄侧面、且于每个宽侧面凹设形成有自两个窄侧面的其中之一延伸至其中另一的长沟槽。两个长沟槽相邻设置且相隔有最小距离，其为两个宽侧面之间的最大距离的95％～75％。环状绝缘体包围于导电针体形成有两个长沟槽的部位，类颈式探针在设置于两个长沟槽的环状绝缘体的部位具有一厚度，其为最大距离的85％～115％。据此，所述导电针体通过形成有两个所述长沟槽，以有效地控制其下压力量，进而令所述导电针体可以稳定地顶抵且不破坏上述待测物。

Description

探针卡装置及其类颈式探针

技术领域

本发明涉及一种探针卡，尤其涉及一种探针卡装置及其类颈式探针。

背景技术

现有探针卡装置的导电探针包含有一导电针体及形成在所述导电针体中央处的一绝缘层，而所述导电针体的宽度与厚度大致相同，所以上述绝缘层整体是呈突出状。然而，现有导电探针的上述导电针体与绝缘层之间的配合构造已经行之有年，因而也无形中阻碍了现有探针卡装置的进一步研发与进步。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种探针卡装置及其类颈式探针，其能够有效地改善现有导电探针所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种探针卡装置，其包括一第一导板单元、一第二导板单元以及多个类颈式探针。一第一导板单元与一第二导板单元彼此间隔地设置；多个类颈式探针呈长形且沿其长度方向具有一针长度，并且多个类颈式探针穿设于第一导板单元与第二导板单元；其中，每个类颈式探针包含有：一导电针体，包含有：一行程段，位于第一导板单元与第二导板单元之间且包含有两个宽侧面及两个窄侧面，并且行程段于每个宽侧面凹设形成有自其中一个窄侧面延伸至其中另一个窄侧面的一长沟槽；其中，两个长沟槽彼此相邻设置且相隔有一最小距离，并且最小距离为两个宽侧面之间的一最大距离的95％～75％；及两个末端段，分别自行程段的两端延伸穿出第一导板单元与第二导板单元；及一环状绝缘体，设置于导电针体的两个长沟槽、并设置于位在两个长沟槽之间的两个窄侧面的部位上；其中，类颈式探针在设置于两个长沟槽的环状绝缘体的部位具有一厚度，其为最大距离的85％～115％；其中，第一导板单元与第二导板单元能够以介于针长度的12％～19％的一位移距离彼此斜向错位，以使多个类颈式探针的行程段朝相同方向弯曲，并且每个行程段的两个宽侧面所分别对应形成的两个反曲点分别位于两个长沟槽。

优选地，于每个类颈式探针中，行程段的两个长沟槽呈镜像对称设置，并且每个长沟槽是沿着垂直长度方向的一方向自其中一个窄侧面延伸至其中另一个窄侧面。

优选地，当第一导板单元与第二导板单元彼此斜向错位时，任两个类颈式探针位于同侧的两个反曲点，其与第一导板单元的距离的一差值不大于针长度的1％。

优选地，于每个类颈式探针中，设置于任一个长沟槽的环状绝缘体的一部位，其包含有位于长沟槽内的一充填部及分别位于充填部相反两侧的两个端部，并且两个端部凸出于相对应的宽侧面，用以作为定义厚度的边界。

优选地，于每个类颈式探针中，任一个长沟槽在长度方向上的一长度，其为行程段在长度方向上的一长度的至少50％。

优选地，于每个类颈式探针中，导电针体呈直条状，并且行程段未形成有凸出于两个宽侧面与两个窄侧面的任何突出状结构。

优选地，第一导板单元包含有多个第一导板，并且第二导板单元包含有多个第二导板；于每个类颈式探针中，其中一个末端段能通过多个第一导板的错位而被固定，而其中另一个末端段能通过多个第二导板的错位而被固定。

本发明实施例公开一种探针卡装置的类颈式探针，其呈长形且包括一导电针体，导电针体包含有一行程段及两个末端段。行程段包含有两个宽侧面及两个窄侧面，并且行程段于每个宽侧面凹设形成有自其中一个窄侧面延伸至其中另一个窄侧面的一长沟槽；其中，两个长沟槽彼此相邻设置且相隔有一最小距离，并且最小距离为两个宽侧面之间的一最大距离的95％～75％；及两个末端段，分别自行程段的两端延伸所形成；以及一环状绝缘体，包围于导电针体形成有两个长沟槽的部位；其中，类颈式探针在设置于两个长沟槽的环状绝缘体的部位具有一厚度，其为最大距离的85％～115％；其中，类颈式探针的两个末端段能受力而使行程段呈弯曲状、且使两个宽侧面所分别对应形成的两个反曲点分别位于两个长沟槽内。

优选地，行程段于每个窄侧面凹设形成有两端分别连通于两个长沟槽的一短沟槽，并且环状绝缘体设置于导电针体的两个长沟槽以及两个短沟槽。

优选地，导电针体呈直条状，并且行程段未形成有凸出于两个宽侧面与两个窄侧面的任何突出状结构；行程段的两个长沟槽呈镜像对称设置，并且两个短沟槽也呈镜像对称设置。

综上所述，本发明实施例所公开的探针卡装置及其类颈式探针，导电针体通过形成有两个所述长沟槽，以有效地控制其下压力量，并可使得所述导电针体在顶抵于待测物时的力量能被维持在预设的条件下，进而令所述导电针体可以稳定地顶抵且不破坏上述待测物。

再者，所述类颈式探针可以通过调整所述导电针体的最小距离，以改变所述类颈式探针在受力时所能提供的反作用力，进而利于符合不同的需求。再者，所述类颈式探针通过控制所述最小距离与最大距离之间的比例，据以有效地维持其信号传输效果。

另外，所述类颈式探针通过形成两个所述长沟槽，以有效地降低所述环状绝缘体突伸出宽侧面的厚度，进而达到保护所述环状绝缘体的效果(如：所述类颈式探针在穿过所述第一导板单元的植针过程中，能有效地避免所述环状绝缘体被所述第一导板单元所刮伤)。

另外，所述导电针体通过形成两个所述长沟槽，使得所述类颈式探针能在作动时的弯曲部位集中在形成有两个长沟槽的部位(如：反曲点位于长沟槽)，进而有效地控制每个所述类颈式探针的作动方向一致性，并且令每个所述类颈式探针在测试的过程中(如：顶抵于待测物)能独立作业且不互相干涉。

为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本发明实施例一的探针卡装置的剖视示意图。

图2为本发明实施例一的类颈式探针的立体示意图。

图3为图2中的导电针体的立体示意图。

图4为图2沿剖线IV-IV的局部剖视示意图。

图5为图4另一方式的剖视示意图。

图6为图4又一方式的剖视示意图。

图7为本发明实施例一的探针卡装置的另一方式的剖视示意图。

图8为图1的探针卡装置于第一导板单元与第二导板单元位在错位设置时的上视示意图。

图9为图1的探针卡装置于第一导板单元与第二导板单元位在错位设置时的剖视示意图。

图10为本发明实施例二的类颈式探针的立体示意图。

图11为图10中的导电针体的立体示意图。

具体实施方式

以下是通过特定的具体实施例来说明本发明所公开有关“探针卡装置及其类颈式探针”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的构思下进行各种修改与变更。另外，本发明的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。

应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。

[实施例一]

请参阅图1至图9所示，其为本发明的实施例一。如图1至图3所示，本实施例公开一种探针卡装置100，其相反两侧能用来分别顶抵于一转接板(space transformer)与一待测物(如：半导体晶片)。其中，所述探针卡装置100包含有一第一导板单元1、与所述第一导板单元1间隔地设置的一第二导板单元2、夹持于所述第一导板单元1与第二导板单元2之间的一间隔板(未示出)及穿设于所述第一导板单元1与第二导板单元2的多个类颈式探针3。

需说明的是，所述类颈式探针3于本实施例中是以搭配所述第一导板单元1、第二导板单元2及间隔板来说明，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述类颈式探针3也可以是独立地被应用(如：贩卖)或搭配其他构件使用。

于本实施例中，所述第一导板单元1包含有多个第一导板11(及夹持于相邻的两个所述第一导板11之间的间隔片)，并且所述第二导板单元2包含有多个第二导板21(及夹持于相邻的两个所述第二导板21之间的间隔片)。其中，多个所述第一导板11能够彼此错位设置，多个所述第二导板21也能够彼此错位设置，而所述第一导板单元1能够相对于所述第二导板单元2彼此错位设置。然而，在本发明未示出的其他实施例中，所述第一导板单元1也可以包含有一个第一导板11，并且所述第二导板单元2可以包含有一个第二导板21。

再者，所述间隔板可以是一环形构造，并且间隔板夹持于所述第一导板单元1与第二导板单元2的相对应外围部位，但本发明不受限于此。举例来说，于本发明未示出的其他实施例中，所述探针卡装置100的间隔板也可以省略或是其他构件取代。

需先说明的是，由于多个所述类颈式探针3的构造于本实施例中大致相同，所以为了便于说明，以下仅介绍单个所述类颈式探针3的构造，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，多个所述类颈式探针3的构造也可以有所差异。

再者，为便于理解所述类颈式探针3的构造，以下将先以多个所述第一导板11彼此错位设置，多个所述第二导板21也彼此错位设置，但所述第一导板单元1尚未相对于所述第二导板单元2错位设置的情况来进行所述类颈式探针3的构造说明。

如图1至图4所示，所述类颈式探针3呈长形且沿其长度方向L具有一针长度L3，并且垂直于所述长度方向L的所述类颈式探针3的任一个截面于本实施例中是呈一矩形来说明，但本发明不以此为限。其中，所述类颈式探针3包含有一导电针体31及包覆于所述导电针体31大致中央处的一环状绝缘体32；也就是说，如果包覆于导电针体的材质非为绝缘，则该材质不同于本实施例所指的环状绝缘体32。

所述导电针体31的材质例如是铜合金或镍合金，并且所述导电针体31于本实施例中呈直条状且为一体成形的构造，但本发明不受限于此。其中，所述导电针体31包含有一行程段311以及分别自所述行程段311的两端(一体地)延伸所形成的两个末端段312，并且所述行程段311位于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2之间，而两个所述末端段312则是分别穿出所述第一导板单元1与所述第二导板单元2。

所述行程段311(的外表面)包含有分别位于相反两侧的两个宽侧面311a及分别位于相反两侧的两个窄侧面311b，并且所述行程段311于每个所述宽侧面311a凹设形成有自其中一个所述窄侧面311b延伸至其中另一个所述窄侧面311b的一长沟槽311c，而所述行程段311于本实施例中未形成有凸出于两个所述宽侧面311a与两个所述窄侧面311b的任何突出状结构。也就是说，设有突出状结构(如：用来顶抵于第一导板单元1或第二导板单元2)的行程段则非为本实施例所指的行程段311。

据此，所述导电针体31通过形成有两个所述长沟槽311c，以有效地控制其下压力量，并可使得所述导电针体31在顶抵于待测物时的力量能被维持在预设的条件下，进而令所述导电针体31可以稳定地顶抵且不破坏上述待测物。

其中，每个所述长沟槽311c是沿着垂直所述长度方向L的一方向(如：图2中的水平方向)自其中一个所述窄侧面311b延伸至其中另一个所述窄侧面311b。也就是说，每个所述长沟槽311c的延伸距离(或宽度)大致为两个所述窄侧面311b之间的距离。再者，任一个所述长沟槽311c在所述长度方向L上的一长度L311c，其为所述行程段311在所述长度方向L上的一长度L311的至少50％。举例来说，如图1所示，所述长沟槽311c的长度L311c为所述行程段311的长度L311的45％～60％；或者，如图7所示，所述长沟槽311c的长度L311c为所述行程段311的长度L311的80％～95％。

更详细地说，两个所述长沟槽311c彼此相邻设置且相隔有一最小距离Dmin(如：两个所述长沟槽311c的槽底之间的距离)，并且所述最小距离Dmin为两个所述宽侧面311a之间的一最大距离Dmax的95％～75％。据此，所述类颈式探针3可以通过调整所述导电针体31的最小距离Dmin，以改变所述类颈式探针3在受力时所能提供的反作用力，进而利于符合不同的需求。再者，所述类颈式探针3通过控制所述最小距离Dmin与最大距离Dmax之间的比例，据以有效地维持其信号传输效果。

再者，两个所述长沟槽311c之间的距离于本实施例的图4中是以沿着长度方向L渐缩而后在渐增来说明，但本发明不以此为限。举例来说，如图6所示，两个所述长沟槽311c之间的距离也可以保持相等；或者，在本发明未示出的其他实施例中，两个所述长沟槽311c的具体构造可依据设计需求而加以调整变化。

此外，如图3所示，所述行程段311的两个所述长沟槽311c于本实施例中是呈镜像对称设置，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，两个所述长沟槽311c也可以具有不同的深度；或者，两个所述长沟槽311c可以具有不同的长度；又或者，两个所述长沟槽311c的构造有所差异。

每个所述末端段312外表面的两个宽侧面与两个窄侧面于本实施例中是分别共平面于所述行程段311的两个所述宽侧面311a与两个所述窄侧面311b(也就是，所述末端段312于本实施例中未形成有凸出于其外表面的任何突出状结构)，并且两个所述末端段312的构造皆呈相同的矩形柱体，但本发明不以此为限。举例来说，任一个所述末端段312的构造也可以依据设计需求而形成有突出状结构。

再者，其中一个所述末端段312(如：位于图1中上方的末端段312)的局部位于多个所述第一导板11的穿孔(未标示)内、而其余部位穿出第一导板11，据以使其能通过多个所述第一导板11的错位而被固定；而其中另一个所述末端段312(如：位于图1中下方的末端段312)的局部位于多个所述第二导板21的穿孔(未标示)内、而其余部位穿出第二导板21，据以使其能通过多个所述第二导板21的错位而被固定。

所述环状绝缘体32的材质例如是聚对二甲苯，并且所述环状绝缘体32是(等厚度地)包围于所述导电针体31形成有两个所述长沟槽311c的部位；于本实施例中，所述环状绝缘体32是设置于所述导电针体31的两个所述长沟槽311c、并设置于位在两个所述长沟槽311c之间的两个所述窄侧面311b的部位上，但本发明不受限于此。

据此，所述类颈式探针3通过形成两个所述长沟槽311c，以有效地降低所述环状绝缘体32突伸出宽侧面311a的厚度，进而达到保护所述环状绝缘体32的效果(如：所述类颈式探针3在穿过所述第一导板单元1的植针过程中，能有效地避免所述环状绝缘体32被所述第一导板单元1所刮伤)。换个角度来说，所述环状绝缘体32能够填补所述导电针体31的两个所述长沟槽311c，据以使所述类颈式探针3的针形能够呈大致直条状。

其中，所述类颈式探针3在设置于两个所述长沟槽311c的所述环状绝缘体32的部位具有一厚度T，其为所述最大距离Dmax的85％～115％。其中，所述厚度T较佳是所述最大距离Dmax的90％～110％；也就是说，设置于两个所述长沟槽311c地所述环状绝缘体32的部位可以略突伸出相对应的所述长沟槽311c、或完全置于相对应的所述长沟槽311c内，本发明在此不加以限制。

进一步地说，设置于任一个所述长沟槽311c的所述环状绝缘体32的一部位，其包含有位于所述长沟槽311c内的一充填部321及分别位于所述充填部321相反两侧的两个端部322，并且两个所述端部322凸出于相对应的所述宽侧面311a，用以作为定义所述厚度T的边界。再者，设置于两个所述窄侧面311b的所述环状绝缘体32的另一部位，其相对于所述导电针体31呈突出状。

此外，上述虽是以本实施例的图4来说明所述环状绝缘体32的构造，但本发明不以此为限。举例来说，如图5所示，所述环状绝缘体32可以自两个所述端部322进一步延伸至任一个所述长沟槽311c旁的所述宽侧面311a部位；又或者，如图6所示，所述环状绝缘体32可以不延伸出任一个所述长沟槽311c、并共平面于任一个所述宽侧面311a。

以上为所述单个类颈式探针3在所述第一导板单元1尚未相对于所述第二导板单元2错位设置的情况所进行的构造说明，以下接着在所述第一导板单元1相对于所述第二导板单元2错位设置的情况来进行多个所述类颈式探针3的构造说明。

更详细地说，如图8和图9所示，所述第一导板单元1与所述第二导板单元2能够以介于所述针长度L3(如：图1)的12％～19％的一位移距离D1彼此斜向错位，以使多个所述类颈式探针3的所述行程段311朝相同方向弯曲，并且每个所述行程段311的两个所述宽侧面311a所分别对应形成的两个反曲点P分别位于两个所述长沟槽311c，而任两个所述类颈式探针3位于同侧的两个所述反曲点P(如：位于图9中两个所述类颈式探针3上侧的两个所述反曲点P)，其与所述第一导板单元1的距离DP1、DP2的一差值不大于所述针长度L3(如：图1)的1％。

据此，所述导电针体31通过形成两个所述长沟槽311c，使得所述类颈式探针3能在作动时的弯曲部位集中在形成有两个长沟槽311c的部位(如：反曲点P位于长沟槽311c)，进而有效地控制每个所述类颈式探针3的作动方向一致性，并且令每个所述类颈式探针3在测试的过程中(如：顶抵于待测物)能独立作业且不互相干涉。

[实施例二]

请参阅图10和图11所示，其为本发明的实施例二，本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例中，所述行程段311进一步于每个所述窄侧面311b凹设形成有两端分别连通于两个所述长沟槽311c的一短沟槽311d；也就是说，两个所述长沟槽311c与两个所述短沟槽311d共同构成一矩形环状沟槽。于本实施例中，所述行程段311的两个所述长沟槽311c呈镜像对称设置，并且两个所述短沟槽311d也呈镜像对称设置，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，两个所述短沟槽311d也可以具有不同的深度；或者，两个所述短沟槽311d可以具有不同的长度；又或者，两个所述短沟槽311d的构造有所差异。

再者，并且所述环状绝缘体32设置于所述导电针体31的两个所述长沟槽311c以及两个所述短沟槽311d。于本实施例中，所述环状绝缘体32是以不延伸出任一个所述长沟槽311c、并共平面于任一个所述宽侧面311a来说明，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述环状绝缘体32可以形成有延伸出所述短沟槽311d的端部；又或者，所述环状绝缘体32可以自所述端部进一步延伸至任一个所述短沟槽311d旁的所述窄侧面311b部位。

[本发明实施例的技术效果]

综上所述，本发明实施例公开的探针卡装置及其类颈式探针，其导电针体31通过形成有两个所述长沟槽311c，以有效地控制其下压力量，并可使得所述导电针体31在顶抵于待测物时的力量能被维持在预设的条件下，进而令所述导电针体31可以稳定地顶抵且不破坏上述待测物。

再者，所述类颈式探针3可以通过调整所述导电针体31的最小距离Dmin，以改变所述类颈式探针3在受力时所能提供的反作用力，进而利于符合不同的需求。再者，所述类颈式探针3通过控制所述最小距离Dmin与最大距离Dmax之间的比例，据以有效地维持其信号传输效果。

另外，所述类颈式探针3通过形成两个所述长沟槽311c，以有效地降低所述环状绝缘体32突伸出宽侧面311a的厚度，进而达到保护所述环状绝缘体32的效果(如：所述类颈式探针3在穿过所述第一导板单元1的植针过程中，能有效地避免所述环状绝缘体32被所述第一导板单元1所刮伤)。

另外，所述导电针体31通过形成两个所述长沟槽311c，使得所述类颈式探针3能在作动时的弯曲部位集中在形成有两个长沟槽311c的部位(如：反曲点P位于长沟槽311c)，进而有效地控制每个所述类颈式探针3的作动方向一致性，并且令每个所述类颈式探针3在测试的过程中(如：顶抵于待测物)能独立作业且不互相干涉。

以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：

一第一导板单元与一第二导板单元，彼此间隔地设置；以及

多个类颈式探针，各呈长形且沿其长度方向具有一针长度，并且多个所述类颈式探针穿设于所述第一导板单元与所述第二导板单元；其中，每个所述类颈式探针包含有：

一导电针体，包含有：

一行程段，位于所述第一导板单元与所述第二导板单元之间且包含有两个宽侧面及两个窄侧面，并且所述行程段于每个所述宽侧面凹设形成有自其中一个所述窄侧面延伸至其中另一个所述窄侧面的一长沟槽；其中，两个所述长沟槽彼此相邻设置且相隔有一最小距离，并且所述最小距离为两个所述宽侧面之间的一最大距离的95％～75％；及

两个末端段，分别自所述行程段的两端延伸穿出所述第一导板单元与所述第二导板单元；及

一环状绝缘体，设置于所述导电针体的两个所述长沟槽、并设置于位在两个所述长沟槽之间的两个所述窄侧面的部位上；其中，所述类颈式探针在设置于两个所述长沟槽的所述环状绝缘体的部位具有一厚度，其为所述最大距离的85％～115％；

其中，所述第一导板单元与所述第二导板单元能够以介于所述针长度的12％～19％的一位移距离彼此斜向错位，以使多个所述类颈式探针的所述行程段朝相同方向弯曲，并且每个所述行程段的两个所述宽侧面所分别对应形成的两个反曲点分别位于两个所述长沟槽。

2.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述类颈式探针中，所述行程段的两个所述长沟槽呈镜像对称设置，并且每个所述长沟槽是沿着垂直所述长度方向的一方向自其中一个所述窄侧面延伸至其中另一个所述窄侧面。

3.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，当所述第一导板单元与所述第二导板单元彼此斜向错位时，任两个所述类颈式探针位于同侧的两个所述反曲点，其与所述第一导板单元的距离的一差值不大于所述针长度的1％。

4.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述类颈式探针中，设置于任一个所述长沟槽的所述环状绝缘体的一部位，其包含有位于所述长沟槽内的一充填部及分别位于所述充填部相反两侧的两个端部，并且两个所述端部凸出于相对应的所述宽侧面，用以作为定义所述厚度的边界。

5.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述类颈式探针中，任一个所述长沟槽在所述长度方向上的一长度，其为所述行程段在所述长度方向上的一长度的至少50％。

6.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述类颈式探针中，所述导电针体呈直条状，并且所述行程段未形成有凸出于两个所述宽侧面与两个所述窄侧面的任何突出状结构。

7.依据权利要求6所述的探针卡装置，其特征在于，所述第一导板单元包含有多个第一导板，并且所述第二导板单元包含有多个第二导板；于每个所述类颈式探针中，其中一个所述末端段能通过多个所述第一导板的错位而被固定，而其中另一个所述末端段能通过多个所述第二导板的错位而被固定。

8.一种探针卡装置的类颈式探针，其特征在于，所述类颈式探针呈长形且包括：

一导电针体，包含有：

一行程段，包含有两个宽侧面及两个窄侧面，并且所述行程段于每个所述宽侧面凹设形成有自其中一个所述窄侧面延伸至其中另一个所述窄侧面的一长沟槽；其中，两个所述长沟槽彼此相邻设置且相隔有一最小距离，并且所述最小距离为两个所述宽侧面之间的一最大距离的95％～75％；及

两个末端段，分别自所述行程段的两端延伸所形成；以及

一环状绝缘体，包围于所述导电针体形成有两个所述长沟槽的部位；其中，所述类颈式探针在设置于两个所述长沟槽的所述环状绝缘体的部位具有一厚度，其为所述最大距离的85％～115％；

其中，所述类颈式探针的两个所述末端段能受力而使所述行程段呈弯曲状、且使两个所述宽侧面所分别对应形成的两个反曲点分别位于两个所述长沟槽内。

9.依据权利要求8所述的探针卡装置的类颈式探针，其特征在于，所述行程段于每个所述窄侧面凹设形成有两端分别连通于两个所述长沟槽的一短沟槽，并且所述环状绝缘体设置于所述导电针体的两个所述长沟槽以及两个所述短沟槽。

10.依据权利要求9所述的探针卡装置的类颈式探针，其特征在于，所述导电针体呈直条状，并且所述行程段未形成有凸出于两个所述宽侧面与两个所述窄侧面的任何突出状结构；所述行程段的两个所述长沟槽呈镜像对称设置，并且两个所述短沟槽也呈镜像对称设置。