CN111751583B - 探针头及探针卡 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种探针头，包含上导板、下导板及多个探针。上导板包含凹槽，上导板具有相对的上表面、下表面及沿第一方向垂直贯穿上表面与下表面的多个针孔，凹槽由上表面凹陷，凹槽具有槽底面，在第一方向上，槽底面位于上表面及下表面之间。下导板设置于上导板并位于下表面的一侧。探针具有依序衔接的针尾、针身及针尖，探针设置于凹槽内，在第一方向上，针尾的端部位于槽底面与上表面之间。本发明另外公开了一种探针卡，包含电路板、空间转换器及前述探针头。

Description

探针头及探针卡
技术领域
本发明涉及一种探针头及探针卡。
背景技术
半导体集成电路芯片通常采用探针卡来进行电性测试。探针卡包括印刷电路板、空间转换器(Space Transformer,ST)以及探针头(Probe Head,PH)。探针头主要包含上导板、下导板以及多个探针。各探针分别包含依序衔接的针尾、针身及针尖。探针穿过上导板及下导板，探针的针尾穿出于上导板以与空间转换器接触以形成电性连接，探针的针尖穿出下导板以与待测物接触以形成电性连接。
随着探针头应用的面积越来越大，探针头的上导板的平行度也产生差异。因此，在将探针头设置在空间转换器时，由于上导板的平行度差异，各探针的针尾与空间转换器之间的受压力也产生变化，部分的探针在组装过程中可能受到过压。而当探针受到过压时，将可能使得探针穿过上导板之处产生裂损，甚至是使得各探针沉入上导板而形成卡针的状况。如此都将导致探针卡在后续使用上产生测试良率不如预期的缺失。
发明内容
本发明揭示一种探针头，包含上导板、下导板及多个探针。上导板包含凸块，且上导板具有相对的上表面、下表面及沿第一方向垂直贯穿上表面与下表面的多个针孔，凸块设置于上表面，凸块具有支撑面，在第一方向上，上表面位于支撑面与下表面之间。下导板设置于上导板并位于下表面的一侧。探针具有依序衔接的针尾、针身及针尖，探针设置于针孔并围绕凸块，且在第一方向上，针尾的端部位于支撑面与上表面之间。
在一实施例中，还包含止转结构，止转结构设置于上表面并具有多个非圆形孔，各非圆形孔分别与各针孔连通，多个探针的针尾的截面为非圆形，且多个探针的针尾分别容置于非圆形孔内受到非圆形孔止转。
在一实施例中，止转结构还包含阶面，阶面邻接多个非圆形孔及凸块，且阶面与支撑面不共平面，在第一方向上，阶面位于支撑面与上表面之间。
在一实施例中，支撑面的面积占上导板在垂直第一方向的方向上的截面积的占比大于70％。
本发明另外揭示一种探针卡，包含电路板、空间转换器及前述探针头。空间转换器具有多个电接触点并设置于电路板。探针头设置于空间转换器，探针头的探针的针尾分别面对电接触点，支撑面贴靠于空间转换器，电接触点与针尾的端部在第一方向上具有间隙。
本发明揭示一种探针头，包含上导板、下导板及多个探针。上导板包含凹槽，上导板具有相对的上表面、下表面及沿第一方向垂直贯穿上表面与下表面的多个针孔，凹槽由上表面凹陷，凹槽具有槽底面，在第一方向上，槽底面位于上表面及下表面之间。下导板设置于上导板并位于下表面的一侧。探针具有依序衔接的针尾、针身及针尖，探针设置于凹槽内，在第一方向上，针尾的端部位于槽底面与上表面之间。
在一实施例中，前述凹槽为矩形，且多个探针阵列式排列设置于凹槽内。
在一实施例中，前述凹槽为网格形，多个探针于凹槽内排列为网格形。
在一实施例中，前述针尾在第一方向上的长度小于凹槽的高度。
在一实施例中，前述针尾的截面形状为非圆形，针身的截面形状为圆形，针尾形成制止部。
在一实施例中，针尾的截面形状的一部分为非圆形，一部分为圆形，针尾的非圆形截面形状位于针尾的圆形截面形状与针身之间，针尾的非圆形截面形状形成制止部。
在一实施例中，垂直第一方向定义为第二方向，上表面的面积占上导板在第二方向上的截面积的占比为大于70％。
本发明另外揭示一种探针卡，包含电路板、空间转换器及前述探针头。空间转换器具有多个电接触点并设置于电路板。探针头设置于空间转换器，探针头的探针的针尾分别面对电接触点，上表面贴靠于空间转换器，电接触点与针尾的端部在第一方向上具有间隙。
综合以上，本发明的探针头在设置于空间转换器时能够以支撑面或上表面贴靠于空间转换器，借此使得上导板得以被支撑而降低变形的状况。进一步地，基于上导板能够维持稳定而不变形的状态，则设置于上导板的探针便能保持与空间转换器间的平行度以及保持具有间隙，借此而能在针测过程中避免探针及上导板的损坏。
附图说明
图1为本发明探针卡的一实施例的示意图。
图2为本发明探针头的上导板具有凸块且探针周围式排列的实施例的示意图。
图3为本发明探针卡的上导板、凸块与止转区块一体成形的实施例的示意图。
图4为设置于本发明探针头上的止转件的示意图。
图5为本发明探针卡的上导板与凸块一体成形并另设置止转件的实施例的示意图。
图6为本发明探针卡的上导板为三件式的实施例的示意图。
图7为本发明探针头的上导板具有凹槽的实施例的示意图。
图8为本发明探针头的上导板具有网格状凹槽的实施例的示意图。
图9为本发明探针卡的上导板具有凹槽及止转区块的实施例的示意图。
图10为本发明探针卡的上导板具有凹槽并另设置止转件的实施例的示意图。
图11为本发明探针卡具有凸块且探针阵列设置于凸块内的实施例的示意图。
图12为本发明探针卡的另一实施例示意图。
其中，附图标记：
PH 探针头 ST 空间转换器
PCB 电路板 10 上导板
11 上表面 12 下表面
13 针孔 14 止转区块
15 凹槽 151 槽底面
20 下导板 30 探针
31 针尾 32 针身
33 针尖 40 止转件
A 止转结构 F 间隙
B 凸块 B1 止转层
B2 高度设定层 P 电接触点
S1 支撑面 S2 阶面
S3 中界面 H1 非圆形孔
H2 穿孔 D1 第一方向
D2 第二方向
具体实施方式
参阅图1，图1为本发明探针卡的一实施例的示意图，本实施例的探针卡为垂直式探针卡。图1实施例绘示的探针卡是由电路板PCB、空间转换器ST(Space Transformer)与探针头PH(Probe Head)组装而成。借此使探针头PH得以电性连接至待测物(Device undertest)进行电性测试。其中，电路板PCB与空间转换器ST是通过锡球(图未绘示)回焊，或者使用异方性导电胶、弹性接触元件等方式(图未绘示)作为电路板PCB与空间转换器ST的中介导体，使电路板PCB的内部线路与空间转换器ST的内部线路进行电性连接。
继续参阅图1，探针头PH主要包含上导板10、下导板20及多个探针30。探针30具有针尾31、针身32及针尖33。探针30穿过上导板10及下导板20，且探针30的针尾31位于上导板10的一侧，而针尖33穿出下导板20。探针头PH适于组装于空间转换器ST或者电路板PCB，使探针头PH设置于空间转换器ST上，本发明的探针头PH设置于空间转换器ST后，各探针30的针尾31的端部能保持与空间转换器ST之间具有间隙F(或称浮动间隙，Floating Gap)，在针测过程中，探针头PH的探针30与空间转换器ST之间发生过压时，能避免探针30的针尾31异常地陷入上导板10的针孔13或造成针孔13的裂损。
进一步地，由于探针30在针测过程中朝向空间转换器ST的方向移动，因此，于此实施例中，探针30的针身32为挫曲(bucking)状，借以使探针30能具有弯曲变形的区域，也就是说，探针30的针尾31及针尖33不位于同一线性延伸方向上。除此之外，各探针30弯曲变形的方向可被控制。
为使探针头PH设置在空间转换器ST后保持具有间隙F，可以通过以下各具体实施例来达成。
参阅图1，于一实施例中，图1绘示的探针头PH的上导板10包含凸块B。在此，上导板10为板状结构并具有平行相对的上表面11及下表面12。且上导板10沿第一方向D1垂直贯穿上表面11与下表面12设置多个针孔13，凸块B具有支撑面S1并设置于上表面11。在第一方向D1上，上表面11位于支撑面S1与下表面12之间。于此，下导板20设置于上导板10并位于下表面12的一侧。
继续参阅图1并配合图2，在此实施例中，上导板10的针孔13围绕凸块B排列，借此，当探针30设置于针孔13时也成为围绕凸块B排列的状态。在一具体实施态样中，例如当凸块B为实心矩形块体时，探针30即可沿着凸块B的矩形外轮廓形状以周围式的方式排列为矩形。然而，探针30的排列方式并不以此为限，而可以是符合待测物的测试接点的排列形状或位置而定。
此外，在第一方向D1上，各探针30的针尾31的端部位于支撑面S1与上表面11之间，也就是说，凸块B在第一方向D1上的高度大于各探针30的针尾31长度。在此，各探针30的针尾31的端部指针尾31远离针尖33的一端。借此，当各探针30设置于上导板10时，各探针30的针尾31的端部不凸出于凸块B。也就是说，当探针头PH以上导板10设置于空间转换器ST时，能够确保探针头PH能以上导板10接触空间转换器ST，而避免在组装的过程中非预期地接触各探针30的针尾31，避免各探针30的针尾31受到过压而异常地陷入针孔13或造成针孔13的裂损。
进一步地，继续参阅图1，于一实施例中，由于空间转换器ST面对探针30的一面具有电接触点P以在针测过程中接触探针30形成电性连接，因此，为使各探针30的针尾31的端部能与空间转换器ST之间保持具有间隙F。探针头PH的上表面11至凸块B的支撑面S1之间在第一方向D1上的距离大于针尾31的端部与电接触点P在第一方向D1上的长度总和。借此，当探针头PH设置于空间转换器ST而尚未进行针测工作时，空间转换器ST仍能保持贴靠于各凸块B的支撑面S1，而空间转换器ST的电接触点P与探针30的针尾31的端部在第一方向D1上具有间隙F。各电接触点P会分别连接空间转换器ST的内部线路。
由此可知，由于探针头PH设置在空间转换器ST时是以大面积的上导板10上的凸块B的支撑面S1与空间转换器ST接触，如此一来，探针头PH的上导板10与空间转换器ST间的接触面积增加，而能在组装的过程中，降低上导板10形变的可能。借此，除了得以确保空间转换器ST设置在探针头PH后的平行度之外，更能确保各探针30的针尾31不因上导板10的变形而受到压迫而损坏。此外，探针头PH的探针30的针尾31与之间保持具有间隙F，则又能避免探针头PH的探针30在组装的过程中或针测过程中与空间转换器ST产生撞击而损坏。
进一步地，参阅图4，在一实施例中，为了避免各探针30在第一方向D1上朝向下导板20的方向随意位移，各探针30的针尾31被限位于上导板10异于下导板20的一侧。于此，各探针30的针尾31截面形状为非圆形，各探针30的针身32截面形状为圆形，如此一来，当各探针30设置于上导板10时，各探针30的针尾31无法穿过针孔13而被保持位于上导板10的一侧，于此状态下，各探针30的针尾31成为可以限制探针30于第一方向D1位移的制止部(Stopper)，针尾31形成的制止部可以防止探针30从上导板10的针孔13及下导板20的针孔掉落出探针头PH。具体而言，各探针30的针尾31可以但不限于是由凸出于上导板10的针身32的一端被施压而变形所构成，并使得针尾31成为宽度大于针孔13外径的扁平形状。
一实施例中，参阅图12，探针30的针尾31截面形状一部分为非圆形，一部分为圆形，探针30的针尾31的非圆形截面形状位于探针30的针尾31的圆形截面形状与针身32之间。如此一来，当各探针30设置于上导板10时，各探针30的针尾31无法穿过针孔13而被保持位于上导板10的一侧，于此状态下，各探针30的针尾31的非圆形截面形状部分成为可以限制探针30于第一方向D1位移的制止部(Stopper)，针尾31的制止部可以防止探针30从上导板10的针孔13及下导板20的针孔掉落出探针头PH。具体而言，各探针30的针尾31可以但不限于是由凸出于上导板10的针身32的一端的一部分被施压而变形所构成，并使得针尾31的非圆形截面形状部分为一扁平形状，扁平形状宽度大于针孔13外径，针尾31的圆形截面形状部分宽度小于针孔13外径。
在一些实施例中，上导板10可以由单一材质、不同材质、一体成形或分体结合所构成。参阅图1及图2，图1及图2实施例绘示的上导板10与凸块B是由单一材质一体成形。于此实施例中，上导板10与凸块B是由陶瓷材料一体成形。
进一步地，为了避免上导板10上的各探针30发生旋转的动作而导致探针30干涉的问题，探针头PH还包含止转结构A，止转结构A具有多个非圆形孔H1，各非圆形孔H1分别与各针孔13连通。在此，探针30的针尾31的截面为非圆形，且探针30的针尾31分别容置于非圆形孔H1内，通过针尾31与非圆形孔H1彼此干涉，非圆形孔H1可以限制探针30相对上导板10转动，也就是探针30不会相对上导板10、下导板20转动。
进一步地，参阅图3，图3实施例为基于图2实施例的结构基础进一步设置止转结构A。于此，上导板10与凸块B是由单一材质一体成形，且上导板10包含止转结构A。此外，于此实施例中，上导板10上的止转结构A与凸块B是一体成形的止转区块14，止转区块14上设置多个非圆形孔H1以限止探针30的旋转。在此，探针30的针尾31截面形状为非圆形，当探针30的针尾31容置入非圆形孔H1时，探针30的针尾31的转动动量将会被非圆形孔H1限制而止转。举例而言，探针30的针尾31截面可以但不限于是方圆形，即两对应边相互平形另外两对应边呈圆弧形，而非圆形孔H1为长方形孔，则针尾31容置于非圆形孔H1而能受到非圆形孔H1的止转。在其他实施例中，探针30的针尾31截面形状为方圆形，而非圆形孔H1可为方圆形孔、椭圆孔，探针30的针尾31截面形状与非圆形孔H1的形状没有特别的限制，只要尺寸配置得宜(例如非圆形孔H1相较于针尾31不得过大)，当探针30的针尾31容置入非圆形孔H1时，探针30的针尾31便能受到非圆形孔H1的止转。
具体地，止转区块14设置于上表面11，于一实施例中，止转结构A还具有阶面S2，阶面S2与支撑面S1不共平面而成为阶梯状。在此实施例中，止转区块14具有阶面S2，阶面S2邻接非圆形孔H1及凸块B，在第一方向上，阶面S2位于支撑面S1与上表面11之间。借此，通过阶面S2的设置而能更适于具有各种不同相对位置的凸块B及针孔13配置。
在此实施例中，当各探针30由上导板10穿至下导板20时，各探针30的针尖33得以通过非圆形孔H1及针孔13进而穿过下导板20，各探针30的针身32则通过非圆形孔H1及针孔13并能容置于针孔13内以及上导板10、下导板20之间的容置空间，而各探针30的针尾31则容置于非圆形孔H1内，借此，各探针30的针尾31可以受到非圆形孔H1的限制而能限制探针30的转动。
在设置止转结构A限制探针30转动的实施例中，也可以是使用不同材质的分体式结构配置。具体而言，参阅图5，图5实施例同样是基于图2实施例的结构基础进一步设置止转结构A。在此实施例中，上导板10与凸块B以陶瓷材料一体制成，而止转结构A为可分离于上导板10及凸块B的止转件40。于此，止转件40可以是设置于上导板10上的薄膜材料，且止转件40上设置多个非圆形孔H1。在此实施例中，止转件40设置于上表面11上，且止转件40的非圆形孔H1与上导板10的针孔13连通。如此一来，当各探针30由上导板10穿至下导板20时，各探针30的针尖33得以通过非圆形孔H1及针孔13进而穿过下导板20，各探针30的针身32则通过非圆形孔H1及针孔13并能容置于针孔13内，而各探针30的针尾31则容置于非圆形孔H1内，借此，各探针30的针尾31可以受到非圆形孔H1的限制而能限制探针30的转动。于一实施例中，止转件40也可以具有阶面S2，且阶面S2邻接非圆形孔H1及凸块B。
进一步地，在一些实施例中，止转件40可以是单一片的薄膜材料，同样参阅图5，止转件40除了具有阶面S2及非圆形孔H1之外，止转件40还对应上导板10上的凸块B配置位置设置穿孔H2，穿孔H2的形状对应凸块B的外轮廓形状。于此，非圆形孔H1相对于穿孔H2的位置配置对应于探针30相对于凸块B的位置配置，在此实施例中，穿孔H2围绕非圆形孔H1。如此一来，止转件40设置于上导板10的上表面11上，且穿孔H2穿套于凸块B，而非圆形孔H1连通针孔13，即止转件40形成的凸块B设置在穿孔H2上，放置于上导板10的上表面11上。于此，各探针30先穿过止转件40再穿过上导板10，探针30的针尾31得以容置于止转件40的非圆形孔H1内而受到非圆形孔H1的止转。止转件40可以通过剪裁薄膜上的多个图案结构并以拼贴的方式将这多个图案结构排布于上导板10的上表面11上，并据此提供各探针30止转的功能。
在其他实施例中，参阅图6，图6实施例也为基于图2实施例的结构基础，也就是图6实施例同样为上导板10上设置凸块B的结构基础。于此实施例中，上导板10是不同材质的三件式分体结构。具体地，上导板10的凸块B可分离于上导板10，且凸块B又可分为两个可分离部件。于此实施例中，凸块B包含止转结构A及高度设定层B2，且止转结构A为可分离于高度设定层B2的止转层B1。在此实施例中，止转层B1设置于上表面11并具有中界面S3及多个非圆形孔H1，而高度设定层B2设置于中界面S3的局部并具有支撑面S1，在第一方向D1上中界面S3位于支撑面S1与上表面11之间。在此，由于高度设定层B2设置于中界面S3的局部而使得中界面S3的其余部位成为裸露状态，如此使得止转层B1与高度设定层B2成为阶梯结构，而前述中界面S3的其余部分(裸露的中界面S3部分)则成为相当于前述各实施例的阶面S2。
同样地，在此实施例中，止转层B1的非圆形孔H1与针孔13连通。当各探针30由上导板10穿至下导板20时，各探针30的针尖33得以通过非圆形孔H1及针孔13进而穿过下导板20，各探针30的针身32则通过非圆形孔H1及针孔13并能容置于针孔13内，而各探针30的针尾31则容置于非圆形孔H1内，借此，各探针30的针尾31可以受到非圆形孔H1的限制而能限制探针30的转动。
在此实施例中，止转层B1及高度设定层B2可以分别由陶瓷材料或薄膜材料制成。在此，上导板10、止转层B1及高度设定层B2为三件式的分体结构是指在加工阶段为三件式结构，一旦上导板10、止转层B1及高度设定层B2分别加工后便结合成为不可分离的单一结构体。而由于上导板10、止转层B1及高度设定层B2在加工阶段为三件式的分体结构，因此，上导板10、止转层B1及高度设定层B2可以同时异地进行加工，进而缩短加工所需时间。此外，也由于上导板10、止转层B1及高度设定层B3为分别加工后再进行结合，因此，当探针头PH的探针30形式有所不同时，基于探针30的针身32或针尾31的尺寸、形状具有差异，本实施例便能在上导板10、止转层B1及高度设定层B2加工时分别改变上导板10的针孔13形式、止转层B1的非圆形孔H1形式后再行结合，可以更便于适用不同的探针30形式。
此外，在前述各实施例中，支撑面S1的面积占上导板10在垂直第一方向D1的方向上的截面积的占比越大越好。在此实施例中，支撑面S1的面积占上导板10在第二方向D2上的截面积的占比较佳是大于70％。借此得以确保探针头PH设置于空间转换器ST时，上导板10能够受到空间转换器ST稳定的支撑而不产生形变，而能维持上导板10与空间转换器ST之间的平行度，也进一步地能够确保各探针30不会发生异常陷入针孔13或使针孔13裂损的状况。
在另一实施例中，请配合参阅图7及图8，图7及图8为显示上导板10包含凹槽15的结构态样。于此实施例中，凹槽15由上表面11凹陷，且凹槽15具有槽底面151，在第一方向D1上，槽底面151位于上表面11与下表面12之间。在此实施例中，探针30是设置于凹槽15内，且探针30可以但不限于是阵列式或周围式地排列于凹槽15内。当各探针30设置于凹槽15内时，在第一方向D1上，各探针30的针尾31的端部是位于槽底面151与上表面11之间，针尾31长度小于凹槽15的高度。
进一步地，在此实施例中，探针30在凹槽15内的排列方式可以视不同的凹槽15形状而有所不同。在一实施例中，上导板10的凹槽15可以但不限于是矩形或圆形(图中未示)。在此，基于上导板10的凹槽15形状，槽底面151为平整的平面，因此，探针30得以呈矩阵式地排列于凹槽15内。例如当上导板10的凹槽15形状为矩形时，探针30可以呈矩阵式地排列于凹槽15内。
在一实施例中，参阅图7，上导板10的凹槽15也可以是网格形。在此，基于凹槽15形状为网格形，槽底面151也对应成为网格形。如此一来，探针30得以沿着网格形的凹槽15排列，进而成为周围式的排列。
进一步地，参阅图9，图9实施例与图7、图8实施例相同为上导板10设置凹槽15、且探针30周围式排列的相同结构基础。于此实施例中，探针30设置于凹槽15内，且上导板10还包含止转结构A。且于此实施例中，止转结构A为与上导板10相同材质一体制成的止转区块14，止转区块14的结构态样与前述实施例相同而具有连通针孔13的非圆形孔H1且可以具有阶面S2。差异在于，本实施例的止转区块14设置于凹槽15的槽底面151。因此，在此实施例中，止转区块14的阶面S2邻接非圆形孔H1及上导板10，且止转区块14的阶面S2与上表面11不共平面而成为阶梯状，且阶面S2位于上表面11与槽底面151之间。而探针30的针尾31同样地能够容置于非圆形孔H1内受到非圆形孔H1止转。
此外，参阅图10，图10实施例与图7、图8实施例相同为上导板10设置凹槽15、且探针30周围式排列的相同结构基础。于此实施例中，上导板10上还设置止转结构A，且止转结构A为止转件40。于此实施例中，止转件40设置于槽底面151。另外，在凹槽15中的探针30是以阵列式排列时，设置不具有穿孔H2的止转件40。而凹槽15形状为网格形时，设置具有穿孔H2的止转件40，并让止转件40的穿孔H2穿套于网格形状的凹槽15之间的凸起部上。
再者，在探针30设置于凹槽15的各实施例中，如图7至图10，由于止转区块14或止转件40设置在低于上表面11的槽底面151上，因此，探针30的针尾31的端部是位于上表面11与槽底面151之间。也就是说，当探针头PH设置在于空间转换器ST之后，探针头PH是以上导板10的上表面11接触空间转换器ST。因此，在探针30设置于凹槽15的各实施例中，上表面11的面积占上导板10在第二方向D2上的截面积的占比越大越好。在此，上表面11的面积占上导板10在第二方向D2上的截面积的占比大于70％。如此一来，在探针30设置于凹槽15的各实施例均得以确保探针头PH设置于空间转换器ST时，上导板10能够受到空间转换器ST稳定的支撑而不产生形变，而能维持上导板10与空间转换器ST之间的平行度，也进一步地能够确保各探针30不会发生异常陷入针孔13或使针孔13裂损的状况。
参阅图11，在一实施例中，与图1实施例相同的是上导板10上同样包含凸块B，且探针30的针尾31的端部同样位于支撑面S1与上表面11之间。差异在于，本实施例的探针30呈阵列式地排列设置于凸块B围绕的范围内。在一具体实施态样中，上导板10上的凸块B可以但不限于是封闭的轮廓形状，例如空心方形。如此一来，在探针头PH设置于空间转换器ST之后，探针30的针尾31的端部与空间转换器ST之间同样可以保持具有间隙F。
当然，与前述上导板10包含有凸块B的图1实施例相同的是，上导板10可以是与凸块B及止转区块14皆以相同材质一体成形。也可以是上导板10与凸块B以相同材质一体成形，并再分体设置不同材质的止转件40。也可以是上导板10以单一材质制成，而包含有止转层B1及高度设定层B2的凸块B以不同材质分体制成。
综合以上，本发明前述各实施例的探针头PH在设置于空间转换器ST时总是能够以支撑面S1或上表面11贴靠于空间转换器ST，借此使得上导板10得以被支撑而降低变形的状况。进一步地，基于上导板10能够维持稳定而不变形的状态，则设置于上导板10的各探针30便能保持与空间转换器ST间的平行度以及保持具有间隙，借此而能在针测过程中避免探针30及上导板10的损坏。
虽然本发明已以一些实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有公知常识者，在不脱离本发明的精神及范围内，当可作些许更动及润饰。因此本发明的专利保护范围须视本说明书所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (13)

1.一种探针头，适于组装于空间转换器，所述空间转换器具有多个电接触点，其特征在于，包含：
一上导板，包含多个凸块，且所述上导板具有相对的一上表面、一下表面及沿一第一方向垂直贯穿所述上表面与所述下表面的多个针孔，所述凸块设置于所述上表面，所述凸块具有一支撑面，在所述第一方向上，所述上表面位于所述支撑面与所述下表面之间；
一下导板，设置于所述上导板并位于所述下表面的一侧；以及
多个探针，具有依序衔接的一针尾、一针身及一针尖，所述多个探针设置于所述多个针孔并围绕所述凸块或阵列式排列于所述凸块围绕的范围内，在所述第一方向上，所述针尾的端部位于所述支撑面与所述上表面之间，所述多个探针的针尾分别用于面对所述空间转换器的所述多个电接触点，且在垂直所述第一方向的第二方向上，所述各针尾的宽度小于所述各凸块的宽度。
2.根据权利要求1所述的探针头，其特征在于，还包含一止转结构，所述止转结构设置于所述上表面并具有多个非圆形孔，各所述非圆形孔分别与各所述针孔连通，所述多个探针的所述针尾的截面为非圆形，且所述多个探针的所述针尾分别容置于所述非圆形孔内受到所述非圆形孔止转。
3.根据权利要求2所述的探针头，其特征在于，所述止转结构还包含一阶面，所述阶面邻接所述多个非圆形孔及所述凸块，且所述阶面与所述支撑面不共平面，在所述第一方向上，所述阶面位于所述支撑面与所述上表面之间。
4.根据权利要求1所述的探针头，其特征在于，所述支撑面的面积占所述上导板在垂直所述第一方向的方向上的截面积的占比大于70％。
5.一种探针卡，其特征在于，包含：
一电路板；
一空间转换器，设置于所述电路板，所述空间转换器具有多个电接触点；以及
如权利要求1至3任一所述的探针头，设置于所述空间转换器，所述探针头的所述多个探针的针尾分别面对所述多个电接触点，所述支撑面贴靠于所述空间转换器，所述电接触点与所述针尾的端部在所述第一方向上具有一间隙。
6.一种探针头，适于组装于空间转换器，所述空间转换器具有多个电接触点，其特征在于，包含：
一上导板，包含一凹槽，且所述上导板具有相对的一上表面、一下表面及沿一第一方向垂直贯穿所述上表面与所述下表面的多个针孔，所述凹槽由所述上表面凹陷，所述凹槽具有一槽底面及由所述槽底面凸伸的多个凸起部，在所述第一方向上，所述槽底面位于所述上表面及所述下表面之间，所述凸起部之顶面为所述上表面的一部分，且所述上表面用于保持贴靠于所述空间转换器；
一下导板，设置于所述上导板并位于所述下表面的一侧；以及
多个探针，具有依序衔接的一针尾、一针身及一针尖，所述多个探针设置于所述凹槽内，在所述第一方向上，所述针尾的端部位于所述槽底面与所述上表面之间，所述多个探针的针尾分别用于面对所述空间转换器的所述多个电接触点，且在垂直所述第一方向的第二方向上，所述各针尾的宽度小于所述各凸起部的宽度。
7.根据权利要求6所述的探针头，其特征在于，所述凹槽为矩形，所述多个探针阵列式排列设置于所述凹槽内。
8.根据权利要求6所述的探针头，其特征在于，所述凹槽为网格形，所述多个探针于所述凹槽内排列为网格形。
9.根据权利要求6所述的探针头，其特征在于，所述针尾在所述第一方向上的长度小于所述凹槽的高度。
10.根据权利要求9所述的探针头，其特征在于，所述针尾的截面形状为非圆形，所述针身的截面形状为圆形，所述针尾形成一制止部。
11.根据权利要求9所述的探针头，其特征在于，所述针尾的截面形状的一部分为非圆形，一部分为圆形，所述针尾的非圆形截面形状位于所述针尾的圆形截面形状与针身之间，所述针尾的非圆形截面形状形成一制止部。
12.根据权利要求6所述的探针头，其特征在于，垂直所述第一方向定义为一第二方向，所述上表面的面积占所述上导板在所述第二方向上的截面积的占比为大于70％。
13.一种探针卡，其特征在于，包含：
一电路板；
一空间转换器，设置于所述电路板，所述空间转换器具有多个电接触点；以及
如权利要求6至12任一所述的探针头，设置于所述空间转换器，所述探针头的所述多个探针的针尾分别面对所述多个电接触点，所述上表面贴靠于所述空间转换器，所述电接触点与所述针尾的端部在所述第一方向上具有一间隙。
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