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Die Erfindung betrifft eine elektrische Prüfeinrichtung für eine elektrische Berührungskontaktierung eines elektrischen Prüflings, insbesondere Wafers, mit einem Kontaktkopf, der eine Vielzahl von stiftförmigen Prüfkontakten aufweist, die bei einem Prüfvorgang entlang ihrer Längserstreckung auf Druck beansprucht werden, wodurch sie quer zu ihrer Längserstreckung ausknicken oder – bei bereits vorhandener Biegung oder Durchbiegung – stärker ausknicken.
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Derartige elektrische Prüfeinrichtungen sind bekannt. Sie dienen dazu, einen elektrischen Prüfling auf elektrische Funktionsfähigkeit zu prüfen. Hierzu setzen Prüfkontakte der elektrischen Prüfeinrichtung auf den Prüfling oder auf eine zwischengeschaltete Kontakteinrichtung auf, die wiederum in Kontakt mit den Prüflingskontakten steht. Die Prüfkontakte werden bei der Berührungskontaktierung entlang ihrer Längserstreckung auf Druck beansprucht, wodurch der Kontaktdruck aufgebracht wird. Hierdurch knicken sie seitlich, also quer zu ihrer Längserstreckung, aus, wodurch einerseits ein federnder Kontaktdruck bewirkt wird und andererseits auch Längenunterschiede oder sonstige geometrische Unterschiede ausgeglichen werden, sodass sämtliche Prüfkontakte in Berührungskontakt treten können. Sofern die Prüfkontakte, die üblicherweise auch als Knickdrähte bezeichnet werden, im nicht kontaktierten Zustand bereits eine Biegung aufweisen, verstärkt sich durch den Kontaktierungsvorgang die Biegung, die üblicherweise als Knickung bezeichnet wird. Dieses entspricht dem Wort „Biegung” im geltenden Anspruch 1. Die dort ebenfalls erwähnte „Durchbiegung” betrifft Prüfkontakte, die bereits vor ihrer Berührungskontaktierung durch entsprechende Mittel seitlich ausgelenkt sind, also die Durchbiegung aufweisen. Durch die Berührungskontaktierung, also den damit entlang ihrer Längserstreckung erfolgenden Druck, erhöht sich die Durchbiegung, d. h., diese Prüfkontakte knicken stärker aus. Die Prüfeinrichtung ist an eine Prüfapparatur angeschlossen, die elektrische Stromkreise schaltet und dadurch die Funktionsfähigkeit des elektrischen Prüflings prüft. Die vorstehenden Ausführungen zum Stand der Technik gelten ebenfalls beim Gegenstand der Erfindung, sodass offenbarungsgemäß auf sie zurückgegriffen werden kann. Die bekannten Prüfeinrichtungen weisen das Problem auf, dass die eingesetzten Kontaktelemente im Zuge einer Vielzahl von Prüfvorgängen ausfallen können oder nicht mehr den hinreichenden Kontaktdruck aufbringen. Gründe hierfür sind Materialermüdung oder sogar Materialbruch. Aus diesen Gründen werden die Durchmesser der stiftförmigen Prüfkontakte hinreichend groß gewählt. Da die zu kontaktierenden Prüflingskontakte minimale Abstände aufweisen, was insbesondere bei Wafern der Fall ist, und die Durchmesser der Prüfkontakte etwa die Größenverhältnisse eines Menschenhaares aufweisen, wirkt sich die erwähnte Durchmesserwahl möglicherweise weniger positiv auf die elektrischen und mechanischen Eigenschaften aus.
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Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine elektrische Prüfeinrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die optimale Berührungskontaktierungen ermöglicht, welche niederohmig und sehr häufig wiederholbar sind, ohne dass sich Verschlechterungen einstellen.
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Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass zumindest einer der Prüfkontakte zur an mindestens einer Stelle entlang seiner Längserstreckung erfolgenden Verminderung seiner Knickbeanspruchung über seine Längserstreckung unterschiedlich große Querschnittsabmessungen aufweist. Aufgrund dieser Querschnittsvariation über die Längserstreckung des Prüfkontakts ist die Knickbelastung des Materials des Prüfkontakts beeinflussbar. Insbesondere sind nur Zonen mit hoher mechanischer Beanspruchung mit entsprechend großem Querschnitt versehen und Zonen, die weniger stark knickbeansprucht werden, weisen kleinere Querschnittsabmessungen auf. Hierdurch wird eine Materialermüdung oder sogar ein Materialbruch mit hoher Sicherheit verhindert und gleichwohl werden sehr gute elektrische Eigenschaften erzielt. In Bezug auf die erwähnten „Querschnittsabmessungen” ist anzumerken, dass hierunter das Querschnittsprofil zu verstehen ist, das nicht zwingend kreisförmig, sondern auch abweichend von der Kreisform gestaltet sein kann. Auch kann das Querschnittsprofil über die Längserstreckung des Prüfkontakts in Bezug auf die Formgebung variieren. In so einem Falle würde also einerseits die Querschnittsabmessung und andererseits auch die Formgebung über die Längserstreckung des Prüfkontakts variieren. Anstelle der im Zuge dieser Anmeldung erwähnten Querschnittsabmessung beziehungsweise der erwähnten Querschnittsabmessungen ist es bevorzugt auch möglich das Flächenträgheitsmoment beziehungsweise die Flächenträgheitsmomente zu setzen. Das Flächenträgheitsmoment im vorstehenden Sinne ist ein Maß für den Widerstand eines Gegenstandes, in diesem Falle des Prüfkontakts, gegen Biegung. Vorstehend wurde erwähnt, dass die elektrische Prüfeinrichtung, die vorzugsweise zu dem bekannten Gebiet der Buckling-Beam-Technologie gehört, nicht nur mit einem einzigen derartigen erfindungsgemäßen Prüfkontakt ausgestattet ist, sondern mit einer Vielzahl von derartigen erfindungsgemäßen Prüfkontakten. Vorzugsweise können sämtliche Prüfkontakte der erfindungsgemäßen Prüfeinrichtung mit den in den Querschnittsabmessungen über ihre Länge variierenden Prüfkontakten versehen sein.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die unterschiedlich großen Querschnittsabmessungen derart vorliegen, dass an einer Stelle, an der ein über seine gesamte Längserstreckung gleichgroße und formgebungsgleiche Querschnittsabmessungen aufweisender Vergleichskontakt eine größere Knickbeanspruchung aufweist, der Prüfkontakt eine größere Querschnittsabmessung besitzt als an einer Stelle, an der der Vergleichskontakt eine kleinere Knickbeanspruchung aufweist. Dabei ist der insbesondere gedachte Vergleichskontakt für dieselbe Kontaktierungsaufgabe eingesetzt bei gleichen Parametern wie der tatsächliche, erfindungsgemäße Prüfkontakt. Die größere Querschnittsabmessung des Prüfkontakts sorgt dafür, dass an dieser Stelle, an der die Biegelinie beziehungsweise Knicklinie des Vergleichskontakts eine stärkere Krümmung aufweist, eine geringere Materialbeanspruchung vorliegt. Zusätzlich oder alternativ ist an mindestens einer Stelle geringerer Knickbeanspruchung des Vergleichskontakts beim Prüfkontakt eine insbesondere gegenüber der größeren Querschnittsabmessung geringere Querschnittsabmessung vorgesehen. Damit wird das Material ebenfalls nicht überbeansprucht und es werden gleichwohl stets sehr gute Elastizitätswerte geschaffen, um mit gleichbleibend reproduzierbarem Kontaktdruck eine Berührungskontaktierung herbeizuführen. Der erwähnte Vergleichskontakt, also ein gedachter Prüfkontakt mit über seine gesamte Längserstreckung gleichgroßen und formgebungsgleichen Querschnittsabmessungen, muss aus folgenden Gründen für die Erläuterung des erfindungsgemäßen Prüfkontakts herangezogen werden: Die erfindungsgemäße Maßnahme, an mindestens einer Stelle die Querschnittsabmessung gegenüber einer anderen Stelle der Längserstreckung unterschiedlich groß auszubilden, hat unmittelbar Einfluss auf den Verlauf der Biegelinie beziehungsweise Knicklinie. Liegt beispielsweise bei dem Vergleichskontakt eine relativ starke Krümmung vor, mit der Folge, dass erfindungsgemäß vorzugsweise im Bereich dieser Krümmung mindestens eine größere Querschnittsabmessung bei dem Prüfkontakt vorgesehen wird, so führt dies dazu, dass der Prüfkontakt aufgrund dieser Querschnittsabmessungsvergrößerungen nicht mehr so stark in diesem Bereich gekrümmt ist. Aus diesem Grunde wird zur Veranschauung der Situation der Vergleich mit dem Vergleichskontakt gewählt.
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Aufgrund des erfindungsgemäßen Vorgehens ist die Knickbeanspruchung an den verschiedenen Stellen entlang der Längserstreckung des Prüfkontakts keine Konstante, sodass bevorzugt ist, die erfindungsgemäßen Maßnahmen quasi iterativ zu realisieren, insbesondere derart, dass – ausgehend von beispielsweise einem bestimmten Querschnitt des Prüfkontakts an einer Stelle mit hoher Knickbeanspruchung erfindungsgemäß eine Querschnittsvergrößerung des bestimmten Querschnitts realisiert wird, was jedoch dann zur Folge hat, dass an dieser Stelle die Knickbeanspruchung sinkt und dass hierdurch auch die Biegelinie beziehungsweise Knicklinie in ihrem Verlauf beeinflusst wird. Dies bedeutet beispielsweise, dass sich ein Knick nicht nur im Hinblick auf seinen Knickradius verändert, sondern auch im Hinblick auf seine Position, sei es entlang der Längserstreckung des Prüfkontakts und/oder im Hinblick auf die radiale Richtung. Gleichwohl dieser Besonderheiten wird dem Durchschnittsfachmann aufgrund der gewählten Formulierungen in dieser Patentanmeldung klar, wie er vorzugehen hat, um die erfindungsgemäßen Vorteile erzielen zu können.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Querschnittsabmessungen in mindestens einem Abschnitt der Längserstreckung des Prüfkontakts kreisförmig ausgebildet sind. Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist ferner vorgesehen, dass die Querschnittsabmessungen in mindestens einem Abschnitt der Längserstreckung des Prüfkontakts nicht kreisförmig ausgebildet sind. Mithin ist die Formgebung des Querschnittsprofils nicht auf eine bestimmte Geometrie beschränkt, sondern die Erfindung lässt sich an jeder Art der Form des Querschnittsprofils des Prüfkontakts realisieren.
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Vorzugsweise ist vorgesehen, dass die Variation der Querschnittsabmessungen – über die Längserstreckung des Prüfkontakts betrachtet – stetig und/oder unstetig ist. Eine stetige Ausgestaltung führt zu einem stufenfreien Querschnittsabmessungsverlauf in Richtung über die Längserstreckung des Prüfkontakts. Ein unstetiger Verlauf führt zu Stufen im Querschnittsabmessungsverlauf in Richtung über die Längserstreckung des Prüfkontakts. Es ist natürlich auch denkbar, dass ein und derselbe Prüfkontakt in mindestens einem Bereich stetig und in mindestens einem anderen Bereich unstetig im vorstehenden Sinne ausgebildet ist.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die größere Querschnittsabmessung in und/oder etwa in Knickrichtung und/oder in Gegenknickrichtung und/oder etwa entgegen zur Knickrichtung erstreckend ausgebildet ist. Hierunter ist zu verstehen, dass – beispielsweise bei einem kreisförmigen Querschnitt des Prüfkontakts – die größere Querschnittsabmessung nicht in radialer Richtung gleichmäßig um die Querschnittsmittellinie herum erfolgt, sondern in mindestens einer radialen Richtung verstärkt vorgenommen wird. Hierdurch ist bei dem hier erwähnten Beispiel die Querschnittsabmessung nicht mehr als ein kreisförmiges Querschnittsprofil an dieser Stelle ausgebildet, sondern ein davon abweichendes Querschnittsprofil, derart, dass es in Knickrichtung und/oder etwa in Knickrichtung und/oder entgegen oder etwa entgegen dazu vergrößert ausgebildet ist.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass – ausgehend von einer insbesondere gedachten mittleren Querschnittsabmessung – an einer Stelle größerer Knickbeanspruchung eine gegenüber der mittleren Querschnittsabmessung größere Querschnittsabmessung vorliegt und/oder dass an einer Stelle kleiner Knickbeanspruchung eine gegenüber der mittleren Querschnittsabmessung kleine Querschnittsabmessung vorliegt. Bei der erwähnten „mittleren Querschnittsabmessung” handelt es sich um eine über die gesamte Längserstreckung gleichbleibende, insbesondere gedachte Querschnittsabmessung, wobei das Wort „mittlere” nicht einem geometrischen Mittel entspricht, sondern lediglich andeuten soll, dass gegenüber einer Vergrößerung beziehungsweise Verkleinerung ein Wert vorliegt, der zwischen diesen beiden Werten liegt. Vorstehend wird also zum Ausdruck gebracht, dass von einer gleichförmigen Querschnittsabmessung, beispielsweise von einem kreiszylindrischen Prüfkontakt gedanklich ausgegangen wird, der dann erfindungsgemäß an einer Stelle größerer Knickbeanspruchung in seiner Querschnittsabmessung vergrößert und/oder vorzugsweise an einer Stelle kleinerer Knickbeanspruchung gegenüber dieser angenommenen Querschnittsabmessung entsprechend verkleinert wird.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Prüfkontakt über seine Längserstreckung mindestens zwei Zonen mit jeweils gleichbleibend großen Querschnittsabmessungen aufweist, wobei die zwei Zonen über eine dritte Zone verbunden sind, deren Querschnittsabmessungen gegenüber den gleichbleibend großen Querschnittsabmessungen größer oder kleiner sind. Mithin liegt ein Prüfkontakt vor, der im Bereich der erwähnten beiden Zonen jeweils gleichbleibend große Querschnittsabmessungen aufweist. Insbesondere können die beiden Zonen gleichgroße Querschnittsabmessungen aufweisen. Zwischen den beiden Zonen ist eine dritte Zone angeordnet, deren Querschnittsabmessungen unterschiedlich ist gegenüber den beiden angrenzenden Zonen, nämlich größer oder kleiner. Die Querschnittsabmessungen der dritten Zone sind größer, sofern dort eine relativ große Knickbeanspruchung vorliegt und sie sind kleiner, wenn dort eine weniger große Knickbeanspruchung vorliegt, jeweils relativ zur Knickbeanspruchung in den beiden Zonen mit jeweils gleichbleibend großen Querschnittsabmessungen.
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Die Erfindung betrifft ferner einen Prüfkontakt einer elektrischen Prüfeinrichtung, so wie sie vorstehend in den verschiedenen Variationen erläutert wurde.
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Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Querschnittsdimensionierung mindestens eines Prüfkontakts einer elektrischen Prüfeinrichtung, die für eine elektrische Berührungskontaktierung eines elektrischen Prüflings, insbesondere Wafers, dient, wobei die Prüfeinrichtung einen Kontaktkopf mit einer Vielzahl von stiftförmigen Prüfkontakten aufweist, die bei einem Prüfvorgang entlang ihrer Längserstreckung auf Druck beansprucht werden, wodurch sie quer zu ihrer Längserstreckung ausknicken oder – bei bereits vorhandener Biegung oder Durchbiegung – stärker ausknicken, wobei die während des Prüfvorgangs vorliegende Knicklinie des Prüfkontakts ermittelt wird und von einem Vergleichskontakt ausgegangen wird, der über seine Längserstreckung gleichbleibende und formgebungsgleiche Querschnittsabmessungen aufweist, und dass dann an mindestens einer Stelle der Knicklinie mit engem Knickradius eine Querschnittsabmessungsvergrößerung und/oder an mindestens einer Stelle mit keinem oder weitem (großem) Knickradius eine Querschnittsabmessungsverkleinerung vorgenommen wird. Dieses „vorgenommen wird” ist derart zu verstehen, dass die erwähnten Schritte an dem Vergleichskontakt entweder rechnerisch oder am realen Kontakt vorgenommen werden. Dies bedeutet im letzteren Fall, dass ein entsprechend erfindungsgemäß strukturierter Prüfkontakt anstelle des vorher verwendeten, mit gleichbleibenden Querschnittsabmessungen versehenen Vergleichskontakts eingesetzt wird. Es wird nun beobachtet, wie sich die Knicklinie verändert. Gleiches kann auf rechnerischem Wege erfolgen. Ist ein zufriedenstellendes Ergebnis erzielt, kann dieses in der Praxis eingesetzt werden, d. h., es werden für gut befundene Prüfkontakte gefertigt und eingesetzt. Ist das Ergebnis noch nicht befriedigend, wird wiederum eine entsprechende Änderung der Querschnittsabmessung beziehungsweise der Querschnittsabmessungen vorgenommen, bis ein befriedigendes Ergebnis vorliegt.
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Es ist bei dem vorstehenden Verfahren vorteilhaft, wenn die Variation der Querschnittsabmessung/en derart erfolgt, dass – über die Längserstreckung des Prüfkontakts gesehen – die Knicklast möglichst gleichmäßig verteilt ist. Mithin sind – über die Längserstreckung des Prüfkontaktstifts gesehen – keine extremen Unterschiede hinsichtlich der Knickbeanspruchungen zu verzeichnen, sondern es ist eine Vergleichsmäßigung angestrebt.
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Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Prüfkontakts für eine elektrische Prüfeinrichtung, so wie sie insbesondere vorstehend beschrieben ist, wobei der entlang seiner Längserstreckung unterschiedlich große Querschnittsabmessungen aufweisende Prüfkontakt in einem galvanischen Fertigungsverfahren hergestellt wird. Durch dieses galvanische Fertigungsverfahren ist es möglich, die unterschiedlich großen Querschnittsabmessungen auf einfache und kostengünstige Weise zu realisieren.
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Nach einer Weiterbildung des Herstellungsverfahrens ist vorgesehen, dass das Material zur Herstellung des Prüfkontakts galvanisch abgeschieden wird. Der gesamte Prüfkontakt wird daher durch galvanische Materialabscheidung erstellt.
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Schließlich ist bei dem Herstellungsverfahren vorzugsweise vorgesehen, dass als galvanisches Fertigungsverfahren das Liga-Verfahren eingesetzt wird. Liga steht für Lithographie, Galvanik und Abformung. Durch dieses Verfahren lassen sich die extrem kleinen Abmessungen des Prüfkontakts sehr gut realisieren.
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Die Zeichnungen veranschaulichen die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und zwar zeigt:
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1 eine elektrische Prüfeinrichtung in schematischer Darstellung für eine elektrische Berührungskontaktierung eines elektrischen Prüflings,
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2 bis 5 unterschiedliche Knicklinien eines Prüfkontakts der Prüfeinrichtung und
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6 einen Prüfkontakt in erfindungsgemäßer Ausbildung und schematischer Darstellung.
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Die 1 zeigt schematisch eine elektrische Prüfeinrichtung 1, die einen Kontaktkopf 2 aufweist, der mit einer Vielzahl von stiftförmigen Prüfkontakten 3 versehen ist. Der Kontaktkopf 2 weist mindestens zwei mit Abstand zueinander angeordnete Führungsplatten 4, 5 auf, die mit Führungslöchern 6, 7 versehen sind. Die Prüfkontakte 3 werden längsverschieblich in den Führungslöchern 6 und 7 der Führungsplatten 4 und 5 gehalten. Dem Kontaktkopf 2 ist ein Leitersubstrat 8 zugeordnet, das insbesondere als Leiterplatte 9 ausgebildet ist. Das Leitersubstrat 8 weist elektrische Kontaktfelder 10 auf, wobei die Kontaktfelder 10 fluchtend oder etwa fluchtend zu den Führungslöchern 6 der Führungsplatte 4 liegen. Die Kontaktfelder 10 sind mit einer nicht dargestellten elektrischen Prüfapparatur verbunden. Die Anordnung ist derart getroffen, dass die stiftförmigen Prüfkontakte 3 mit ihren einen Enden 11 in Berührungskontakt gegen die Kontaktfelder 10 treten. Für die elektrische Prüfung eines elektrischen Prüflings 12, der beispielsweise als Wafer ausgebildet ist, wird dieser gemäß Pfeil 13 in Richtung auf den Kontaktkopf 2 bewegt, sodass Prüflingskontakte 14 des Prüflings 12 gegen die anderen Enden 15 der Prüfkontakte 3 treten. Hierdurch werden die stiftförmigen Prüfkontakte 3 entlang ihrer Längserstreckung 16 auf Druck beansprucht, wodurch sie quer zu ihrer Längserstreckung ausknicken, so wie dies der 1 entnehmbar ist. Die einzelnen Prüfkontakte 3 werden in dem Ausführungsbeispiel der 1 entsprechend dem vierten Euler'schen Knickfall gebogen, sodass Knickradien 17, 18 und 19 vorliegen.
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Je nach Konstruktion des Prüfkopfs 2 der Prüfeinrichtung 1 können die aus den 2 bis 5 hervorgehenden Knickfälle auftreten, nämlich der Knickfall der 2, der als zweiter Euler'sche Knickfall bezeichnet wird, der Verlauf gemäß 3, der als dritter Euler'sche Knickfall bezeichnet wird, der Knickfall gemäß 4, der auch aus der 1 hervorgeht, und dem vierten Euler'schen Knickfall entspricht und der Knickfall, der in der 5 gezeigt ist, der dem ersten Euler'schen Knickfall entspricht. Jeweils wird deutlich, dass der jeweilige Prüfkontakt 3 gemäß einer Knicklinie geknickt wird, wobei entsprechende Knickradien entstehen und die Knicklinie – je nach Fall – mit einem Wendepunkt oder mehreren Wendepunkten versehen ist. Der Einfachheit und Übersichtlichkeit halber sind die in den 1 bis 5 dargestellten Prüfkontakte 3 nicht mit unterschiedlich großen Querschnittsabmessungen dargestellt. Erst die 6 zeigt in ihrem großen Abbildungsmaßstab schematisch die erfindungsgemäße Ausgestaltung, die jedoch auch bei den Prüfkontakten der 1 bis 5 vorliegt und insofern gedanklich zu berücksichtigen ist.
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Erfindungsgemäß ist nun vorgesehen, dass in Abhängigkeit von der jeweiligen Knickbeanspruchung des entsprechenden Prüfkontakts 3 eine entsprechende Querschnittsabmessungsausbildung vorliegt. Grundsätzlich gilt, dass die Knickbeanspruchung dort am größten ist, wo der Knickradius am kleinsten ist. Geht man von dem nicht erfindungsgemäßen, vorstehend erwähnten Vergleichskontakt aus, so wird sich bei diesem mindestens ein entsprechender Knickradius mit einer entsprechenden Knickbeanspruchung bei der Berührungskontaktierung einstellen. Die Erfindung sieht nun vor, aufgrund einer entsprechenden Querschnittsabmessungsausbildung die Knickbeanspruchung zu verkleinern, indem im Bereich des Knickradius gegenüber dem Vergleichskontakt eine größere Querschnittsabmessung ausgebildet wird. Dadurch wird sich – gegenüber dem Vergleichskontakt – in diesem Bereich der Knickradius vergrößern. Beim Ausführungsbeispiel der 6 liegen folgende Gegebenheiten vor. Dargestellt ist ein Prüfkontakt 3, der gemäß dem vierten Euler'schen Knickfall durch die Berührungskontaktierung in einer Vorrichtung gemäß 1 geknickt ist, also in verschiedenen Zonen entlang seiner Längserstreckung eine unterschiedlich starke Knickung erhält. Für die nachfolgende Betrachtungen wird gedanklich von einem nicht erfindungsgemäßen Prüfkontakt 3 ausgegangen, der – so wie in 6 dargestellt – nach dem vierten Euler'schen Knickfall geknickt ist, jedoch – in Abwandlung zur Darstellung in der 6 – über seine gesamte Länge einen konstanten, beispielsweise kreisförmigen Querschnitt aufweist. Dieser nicht erfindungsgemäße Prüfkontakt 3 stellt den vorstehend bereits erwähnten Vergleichskontakt dar. Es ergibt sich dann mit Bezug auf die 6 folgendes: In einer Zone 20 liegt im Wesentlichen ein geradliniger Verlauf vor. Dies entspricht einer Führungszone des Prüfkontakts 3 in dem Führungsloch 6 der Führungsplatte 4. Eine sich an die Zone 20 anschließende Zone 21 wird knickbeansprucht, d. h., es liegt ein entsprechender Knickradius 27 vor. Der Knickradius 27 (und auch jeder weitere erwähnte Knickradius) kann insbesondere bei Betrachtung einer gedachten Längsmittellinie des nicht erfindungsgemäßen Prüfkontakts 3 ermittelt werden. In einer sich an die Zone 21 anschließenden Zone 22 ergibt sich ein Wendepunkt in der Knicklinie, wobei dort jedoch sehr weite Knickradien 28 und 29 vorliegen. In einer sich an die Zone 22 anschließenden Zonen 23 erfolgt eine relativ starke Knickung, also eine hohe Knickbeanspruchung des nicht erfindungsgemäßen Prüfkontaktes 3. Dort liegt ein Knickradius 30 vor. In einer sich an die Zone 23 anschließenden Zone 24 ergeben sich wiederum zwei Knickradien 31 und 32 um einen Wendepunkt der Knicklinie herum. In einer sich an die Zone 24 anschließenden Zone 25 ergibt sich ein Knickradius 33 und es folgt eine Zone 26, die sich an die Zone 25 anschließt, mit einem im Wesentlichen geradlinigen Verlauf des nicht erfindungsgemäßen Prüfkontakts 3. Die Zone 25 entspricht einer weiteren Führungszone des Prüfkontakts 3 in dem Führungsloch 7 der Führungsplatte 5. Die Knickradien 27, 30 und 33 entsprechen den zur 1 erwähnten Knickradien 17, 18 und 19. In Abhängigkeit von der sich einstellenden Knickung und damit entsprechend einhergehenden Knickbeanspruchung wird der den Vergleichskontakt bildende, nicht erfindungsgemäße Prüfkontakt 3 in Bezug auf seine entlang der Längserstreckung 16 vorliegende jeweilige Querschnittsabmessung erfindungsgemäß unterschiedlich stark ausgebildet, d. h., an Stellen/in Zonen hoher Knickbeanspruchung des insbesondere gedachten, mit über seine Länge konstantem beispielsweise kreisförmigem Querschnitt versehenen Prüfkontakts 3 (Vergleichskontakt) ist – für den Erhalt eines erfindungsgemäßen Prüfkontakt 3 – erfindungsgemäß eine größere Querschnittsabmessung vorzusehen, als an Stellen kleiner Knickbeanspruchung des Vergleichskontakts. Demzufolge ist gemäß 6, die die erfindungsgemäße Ausbildung zeigt, die Querschnittsabmessung Q1 an einer Stelle der Zone 20 kleiner als die Querschnittsabmessung Q2 an einer Stelle der den Knickradius 27 aufweisenden Zone 21. Die Querschnittsabmessung Q3 an einer Stelle der Zone 22 ist wiederum geringer als die Querschnittsabmessung Q2, da in der Zone 22 eine relativ geringe Knickbeanspruchung des Vergleichskontakts vorliegt. Demgegenüber ist die Querschnittsabmessung Q4 an einer Stelle im Bereich der Zone 23 wiederum größer, da hier eine entsprechende Krümmung des Vergleichskontakts vorliegt. Die Querschnittsabmessung Q5 an einer Stelle in der Zone 24 entspricht der Situation in der Zone 22 und ist geringer als die Querschnittsabmessung Q4. Die Querschnittsabmessung Q6 an einer Stelle in der Zone 25 entspricht der Situation in der Zone 21. Die Querschnittsabmessungen Q2, Q4 und Q6 sind vorzugsweise gleichgroß. Die Querschnittsabmessung Q7 an einer Stelle in der im Wesentlichen nicht geknickten Zone 26 ist relativ klein, insbesondere ähnlich oder gleich wie die Querschnittsabmessung Q1. Vorstehend wurde jeweils die Querschnittsabmessung „an einer Stelle” einer entsprechenden Zone betrachtet. Diese Stelle ist insbesondere diejenige mit der größten Querschnittsabmessung innerhalb der jeweils beschriebenen Zone. Benachbart zu der jeweiligen Stelle geht die jeweilige Querschnittsabmessung stetig, also sprungfrei, in eine etwas kleinere Querschnittsabmessung über, sofern man davon ausgeht, dass die vorstehend beschriebenen Stellen jeweils die größte Querschnittsabmessung innerhalb der jeweiligen Zone kennzeichnet. Es kann besonders bevorzugt auch sein, dass benachbart zu der erwähnten Stelle die gleiche Querschnittsabmessung besteht, also ein Teilstück vorliegt, in dem die Querschnittsabmessung konstant ist. Auch der Übergang der Querschnittsabmessung von einer Zone zur Querschnittsabmessung einer anderen Zone ist stetig, sodass der Prüfkontakt insgesamt eine sprungfreie Außenkontur aufweist. Als Ausnahme kann alternativ der Querschnittsverlauf an den Stellen der Querschnittsabmessungen, Q3 und Q5 also an den Wendepunkten unstetig ausgebildet sein. Will man aber die bei unstetigem Verlauf gegebenenfalls entstehenden störenden Spannungen verhindern, ist aus dieser Sicht ein stetiger Verlauf zu wählen. Bezüglich des Vergleichs des erwähnten, insbesondere gedachten Vergleichskontakts mit dem tatsächlichen, erfindungsgemäßen Prüfkontakt 3 ist anzumerken, dass der tatsächliche Prüfkontakt 3 aufgrund seiner unterschiedlich großen Querschnittsabmessungen gegenüber dem gedachten Vergleichskontakt seinen Knickverlauf ändert, da Stellen mit Knickungen aufgrund gegenüber dem konstanten zum Beispiel kreisförmigen Querschnitt vergrößerten Querschnitt selbstverständlich weniger stark ausknicken, d. h., dort entsteht aufgrund der Erfindung eine geringere Krümmung, also ein größerer Knickradius.
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Aufgrund der vorstehend beschriebenen Ausgestaltung erfolgt über die Längserstreckung 16 des Prüfkontakts 3 eine Vergleichsmäßigung der Materialbeanspruchung bei der Knickung durch die entsprechende jeweilige Querschnittsausbildung. Hierbei ist es grundsätzlich nicht von Bedeutung, welches Querschnittsprofil an der jeweiligen Stelle des Prüfkontakts 3 vorliegt, d. h., es kann sich also beispielsweise um einen kreisförmigen Querschnitt oder auch um einen Querschnitt handeln, der von der Kreisform abweicht. Auch über die Länge ein und desselben Prüfkontakts 3 gesehen, kann die Formgebung des Querschnittprofils unterschiedlich (zum Beispiel Vierkantprofil und Kreisprofil) sein. Wesentlich ist jedoch, dass die Querschnittsabmessung an Stellen hoher Knickbeanspruchung einer Vergleichsgröße (insbesondere Vergleichskontakt) größer ist, als an Stellen kleiner Knickbeanspruchung der Vergleichsgröße.
