KR20080013693A - 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블과 박판 형상 재료반송장치 - Google Patents

박판 형상 재료 반송용 에어 테이블과 박판 형상 재료반송장치 Download PDF

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KR20080013693A
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가부시키가이샤 니혼 셋케이 고교
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Abstract

클린룸내의 공기의 흐트러짐을 억제하면서, 박판 형상 재료의 큰 부상량이 얻어지는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블 및 이를 구비한 박판 형상 재료 반송장치를 제공하는 것으로, 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)은 유리 기판(12)의 하면에 대해서 기체를 공급하기 위한 복수의 급기 구멍(16)이 형성된 상면판(18)과, 상면판(18)의 아래에 상면판(18)에 접하여 설치된 다공질 필름(20)과, 다공질 필름(20)을 하방에서 지지하도록 설치된 메시 부재(22)를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

Description

박판 형상 재료 반송용 에어 테이블과 박판 형상 재료 반송장치{AIR TABLE FOR CONVEYING SHEET MATERIAL AND CONVEYER WITH THE SAME}
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 관한 박판 형상 재료 반송장치를 도시한 일부 블럭도를 포함하는 정면도,
도 2는 도 1의 박판 형상 재료 반송장치의 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블의 구조를 도시한 단면도,
도 3은 도 1의 평면도,
도 4는 도 1의 재료 반송용 에어 테이블의 다공질 필름의 주변의 구조를 확대하여 도시한 단면도,
도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 관한 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블의 구조를 도시한 단면도, 및
도 6은 도 5의 박판형상 재료 반송용 에어 테이블의 다공질 필름의 주변의 구조를 확대하여 도시한 단면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10: 박판 형상 재료 반송장치 12: 유리기판
14: 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블 16: 급기 구멍
18: 상면판 20: 다공질 필름
24: 통기 구멍 26: 지지판
28, 34: 측벽부 30: 상자체의 기부
32: 체결 부재 40: 급기관
42: 급기 유닛 44: 에어필터
46: 구동 유닛 48: 롤러
본 발명은 액정 디스플레이(LCD) 패널, 플라즈마 디스플레이(PDP) 등의 평판 패널 디스플레이(FPD)에 사용하는 대형이고 얇은 유리 기판과 같은 박판 형상 재료를 비접촉으로 지지하는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블 및 이를 구비하는 박판 형상 재료 반송장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 등의 평판 패널 디스플레이의 유리 기판은 약간의 스크래치나 먼지에도 품질에 크게 영향을 받으므로, 이와 같은 유리 기판의 반송에서는 유리 기판의 표면에 스크래치가 발생하거나 이물질이 부착되지 않도록 유리 기판을 평면에 가까운 평상으로 유지하면서 소정의 반송면을 따라서 매끄럽게 반송하는 것이 요구되고 있다.
한편, 액정 디스플레이에서는 유리 기판의 크기가 점점 대형화되고 있고, 예를 들어 제 8 세대에서는 W2200㎜×L2500㎜라는 크기에 비해 두께는 0.5~0.7㎜ 정도로 매우 얇으므로, 유리기판을 수평으로 반송할 때, 그 외주단부 뿐만 아니라, 이보다도 내측 부분도 지지하지 않으면 중앙부가 크게 처지게 된다.
그래서, 유리 기판의 반송장치는 유리기판을 전면에서 가능한 균등하게 지지하고, 평면에 가까운 형상으로 유지하여 반송하도록 연구되고 있다.
예를 들어, 반송면의 반송방향 및 반송방향에 수직인 폭 방향으로 적절한 피치로 복수의 롤러를 설치하고, 이들 복수의 롤러로 유리 기판을 하방으로부터 지지하여 구동하는 반송장치가 알려져 있다.
그러나, 복수의 롤러로 유리기판을 하방으로부터 지지하여 구동하는 반송장치는 유리기판의 대형화에 따라서 롤러, 축, 베어링 등의 부품수나 조립공정수가 증가하므로 제조비용의 증대라는 문제가 있다. 또한, 부품수의 증대에 의해 관리비용이 증대되는 문제도 있다. 또한, 유리기판이 롤러와의 접촉과 롤러로부터의 이간을 반복하므로 진동이 발생하고, 이에 의해 소음이나 먼지가 발생하거나 유리기판의 표면이 결손되는 경우가 있고, 롤러의 증가에 의해 소음이나 먼지가 한층 발생하기 쉬워진다는 문제가 있다. 또한, 축의 장척화(長尺化)에 의한 축의 진직도(眞直度)의 저하나 휨량의 증대에 의해 롤러의 회전 정밀도가 저하되고, 이 점에서도 소음이나 먼지가 발생하기 쉬워지거나 유리기판의 표면이 결손되기 쉬워지는 문제도 있다.
이에 대해서, 상면부에 다수의 급기 구멍이 형성된 에어 테이블을 사용하여 유리기판을 부상시키면서 공기의 압력으로 구동하여 비접촉으로 반송하는 반송장치가 알려져 있다(예를 들어, 일본 공개특허공보 평10-139160호, 일본 공개특허공보 평11-268830호, 일본 공개특허공보 평11-268831호 참조).
또한, 유리 기판의 폭방향의 중앙근방에는 에어 테이블을 설치하여 유리 기판의 중앙부의 처짐을 억제하고, 유리 기판에서의 반송방향에 수직인 폭 방향의 양단 근방을 롤러로 하방으로부터 지지하여 유리기판을 구동하도록 한 반송장치가 알려져 있다(일본 공개특허공보 2003-63643호, 일본 공개특허공보 2005-29359호 참조).
또한, 에어 테이블의 상면판으로서는 저비용으로 입수가 용이한 펀칭 메탈 등이 사용되는 일이 많다.
그러나, 펀칭 메탈의 구멍의 직경은 통상 1~10㎜ 정도이고, 이와 같은 크기의 급기 구멍으로부터 유리 기판을 부상시키기 위해 충분한 양의 공기를 분사하면, 공기의 유속이 과도하게 빨라지는 문제가 있다.
보다 상세하게 설명하면, 유리기판의 반송장치는 클린룸 내에서 사용되는 것이 많지만, 클린룸의 청정공기의 하강기류의 유속이 500㎜/sec 정도인데 대해, 직경이 1~10㎜ 정도의 급기 구멍으로부터 분사되는 공기의 유속은 900~2500㎜/sec정도로 클린룸의 청정공기의 하강기류보다도 크게 빠르므로, 클린룸 내의 공기의 흐트러짐을 발생시키는 문제가 있다. 또한, 이와 같은 공기의 흐트러짐에 의해 오히려 유리기판에 먼지 등의 이물이 부착되기 쉬워지는 경우도 있다. 또한, 클린룸 내의 공기의 흐트러짐을 억제하기 위해서는 에어 테이블로부터 분사하는 공기의 유속을 클린룸의 청정 공기의 하강 기류의 유속 보다도 작게 억제하는 것이 바람직하다.
이에 대해서, 세라믹 등의 다공질 재료로 상면판을 구성한 에어 테이블이 알 려져 있다(예를 들어, 일본 공개특허공보 2004-307152호 참조).
또한, 펀칭 메탈 등의 상면판의 아래에 수지, 세라믹 등의 다공질의 판재나 천, 종이 등을 설치한 에어 테이블이 알려져 있다(예를 들어 일본 공개특허공보 2004-345744호 참조).
이와 같이 다공질의 재료나 천, 종이 등을 통하여 공기를 분사함으로써, 급기 구멍으로부터 분사되는 공기는 기류의 분포가 균일화되고, 기류의 흐트러짐이 억제된다.
그러나, 세라믹 등의 다공질 재료로 상면판을 구성한 에어 테이블이나 펀칭 메탈 등의 상면판의 아래에 수지, 세라믹 등의 다공질의 판재를 설치한 에어 테이블은 실제로는 수지, 세라믹 등의 다공질의 판재의 통기 저항이 크므로, 분출할 수 있는 공기의 유량이 적고, 클린룸 내의 공기의 흐트러짐은 억제되지만 부상량이 작다는 문제가 있다.
보다 상세하게는 유리 기판의 부상량(유리 기판과 에어 테이블의 상면의 틈)이 0.1~0.5㎜ 정도로 작고, 유리 기판과 에어 테이블의 접촉을 확실하게 방지하는 것이 곤란하다는 문제가 있다. 또한, 부상량이 작으므로 복수의 에어 테이블을 나열하여 설치하는 경우, 이들의 상면의 높이를 그만큼 고정밀하게 일치시킬 필요가 있고, 설치 작업이 번잡하고 설치 공정수가 크다는 문제가 있다. 또한, 유리 기판과 에어 테이블의 접촉을 확실하게 방지하기 위해서는 부상량이 1㎜ 이상인 것이 바람직하다.
또한, 펀칭 메탈 등의 상면판의 아래에 천, 종이 등을 설치한 에어 테이블은 천, 종이 등의 내구성이 문제이고, 또한 천이나 종이가 새로운 먼지 발생의 발생원이 될 수 있다는 문제도 있다.
본 발명은 이상의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로 클린룸 내의 공기의 흐트러짐을 억제하면서, 박판 형상 재료의 큰 부상량이 얻어지는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블 및 이를 구비한 박판 형상 재료 반송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 박판 형상 재료의 하면에 대해서 기체를 공급하기 위한 복수의 급기 구멍이 형성된 상면판과, 상면판의 아래에 상면판에 접하여 설치된 다공질 필름과, 다공질 필름을 하방에서 지지하도록 설치된 메시 부재를 갖는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블에 의해 상기 목적을 달성하는 것이다.
또한, 본 발명은 박판 형상 재료의 하면에 대해서 기체를 공급하기 위한 복수의 급기 구멍이 형성된 상면판과, 상면판의 아래에 설치된 다공질 필름과, 다공질 필름 및 상면판의 사이에 끼워져 설치된 메시 부재를 갖는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블에 의해 상기 목적을 달성하는 것이다.
이들의 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블은 다공질 필름을 통하여 상면판의 급기 구멍으로부터 공기가 분사되므로, 다공질의 판재를 구비하는 에어 테이블과 동일하게 기류의 흐트러짐이 억제되어 상면판의 급기 구멍으로부터 공기가 분사된다. 또한, 얇은 다공질 필름은 다공질의 판재보다도 통기 저항이 작으므로, 다 공질의 판재를 사용하는 경우보다도 급기 구멍으로부터 분사되는 공기의 유량을 증대시킬 수 있다. 따라서, 클린룸 내의 공기의 흐트러짐을 억제하면서 큰 부상량이 얻어진다. 또한, 다공질 필름은 먼지 발생의 발생원이 되지 않는다.
또한, 다공질 필름이 상면판의 아래에 상면판에 접하여 설치되는 경우, 상면판에서의 급기 구멍이 형성되어 있지 않은 부분과 다공질 필름이 밀착되고, 다공질 필름의 개구 면적이 그만큼 작아지므로, 상면판의 급기 구멍으로부터 분사되는 공기의 유량이 억제되지만, 다공질 필름의 하방에서의 공기의 압력을 비교적 높게 할 수 있으므로 급기 구멍으로부터 분사되는 공기의 압력도 비교적 높게 할 수 있고, 이에 의해 큰 부상량이 얻어진다. 즉, 이 구성은 박판 형상 재료에 비교적 압력이 높은 공기를 분사함으로써 큰 부상량을 얻는 고압력형의 에어 테이블에 적합하다.
또한, 이 구성은 다공질 필름을 하방으로부터 지지하도록 다공질 필름의 아래에 메시 부재가 설치되고, 얇은 다공질 필름이 메시 부재로 보강되어 있으므로, 다공질 필름의 내구성을 높일 수 있다.
한편, 메시 부재가 다공질 필름 및 상면판 사이에 끼워져 설치되는 경우에는 상면판에서의 급기 구멍이 형성되어 있지 않은 부분과 다공질 필름 사이에 통기로가 형성되므로, 다공질 필름의 실질적인 개구 면적이 그만큼 크다. 따라서, 급기 구멍으로부터 분사되는 공기의 압력은 작아지지만, 급기 구멍으로부터 분사되는 공기의 유량을 한층 증대시킬 수 있으므로, 이 경우에도 큰 부상량이 얻어진다. 즉, 이 구성은 박판 형상 재료에 비교적 유량이 많은 공기를 분사함으로써 큰 부상량을 얻는 대유량형의 에어 테이블에 적합하다.
또한, 다공질 필름은 그 상측 보다도 하측의 압력이 높으므로, 상면판의 급기 구멍내로 장출(張出)하도록 부세되지만, 메시 부재가 다공질 필름 및 상면판 사이에 끼워져 설치되어 있으므로, 급기 구멍 내로의 다공질 필름의 장출이 억제된다. 즉, 이 경우에도 얇은 다공질 필름이 메시 부재로 보강되어 있고, 다공질 필름의 내구성을 높일 수 있다.
또한, 메시 부재가 다공질 필름을 하방으로부터 지지하도록 상기 다공질 필름의 아래에 설치되는 하측 위치와, 다공질 필름 및 상면판의 사이에 끼워져 설치되는 상측 위치의 양쪽 위치에 설치 가능한 구성으로 해도 좋다.
이와 같이 함으로써, 상술한 바와 같은 고압력형 에어 테이블로부터 대유량형의 에어 테이블로의 구성의 변경 및 그 반대의 구성의 변경을 용이하게 실시할 수 있다.
또한, 상면판의 급기 구멍에 연통하는 위치에 통기 구멍이 형성된 지지판이 상면판의 아래에 설치되고, 다공질 필름과 메시 부재가 상면판과 지지판 사이에 끼워져 설치된 구성으로 해도 좋다.
상기 구성은 간단하고 또한 다공질 필름과 메시 부재의 설치 작업이 용이하다. 또한, 상기와 같이 메시 부재의 설치 위치를 상측 위치로부터 하측 위치 설치로 변경하는 작업이나 그 반대 작업도 용이하다.
또한, 본 발명은 전술한 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블을 구비하는 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송 장치에 의해, 상기 목적을 달성하는 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시형태를 도면을 참조하며 상세하게 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시형태에 관한 박판 형상 재료 반송장치(10)는 예를 들어 대형의 LCD용 유리기판(박판 형상 재료)(12)을 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)로 비접촉으로 지지하여 반송하는 것이고, 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)의 구조에 특징을 갖고 있다.
도 2에 도시한 바와 같이 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)은 유리 기판(12)의 하면에 대해서 기체를 공급하기 위한 복수의 급기구멍(16)이 형성된 상면부(18)와, 상면부(18)의 아래에 상면판(18)에 접하여 설치된 다공질 필름(20)과, 다공질 필름(20)을 하방으로부터 지지하도록 설치된 메시 부재(22)를 구비하고 있다.
또한, 상면판(18)의 아래에는 상면판(18)의 급기 구멍(16)에 연통하는 위치에 통기 구멍(24)이 형성된 지지판(26)이 설치되고, 다공질 필름(20)과 메시 부재(22)는 상면판(18)과 지지판(26) 사이에 끼워져 설치되어 있다.
또한, 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)은 유리 기판(12)의 반송 방향에 대해서 수직인 방향으로 복수(본 제 1 실시형태에서는 4대) 구비되어 있다.
박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)은 거의 직방체의 상자체이다.
상면판(18)은 상기 상자체의 상면부를 구성하고 있다. 상면판(18)은 구체적으로는 두께가 0.5~3㎜의 판재이다. 상면판(18)의 재료로서는 스테인레스, 알루미늄, 각종 합금 등을 사용할 수 있다. 도 3에 도시한 바와 같이 급기 구멍(16)은 직경이 6~50㎜의 원형이고, 8~100㎜의 피치(중심간의 피치)로 다수 형성되어 있다.
또한, 상면판(18)에는 그 외주를 따라서 하방으로 돌출되는 측벽부(28)가 설치되어 있다. 상면판(18) 및 측벽부(28)는 상방으로 개구하는 상자체의 기부(30)의 측벽부(30A)의 외측에 상방으로부터 끼워 맞추고, 측벽부(28)에서 측벽부(30A)와 체결 부재(32)로 체결되어 있다.
다공질 필름(20)은 두께가 0.1~3㎜이다. 다공질 필름(20)에는 도 4에 모식적으로 도시된 바와 같이, 평균직경이 10~50㎛의 미세한 구멍이 기공률 20-40%로 다수 형성되어 있다. 다공질 필름(20)의 재료로서는 구체적으로는 폴리에틸렌, 폴리올레핀 등의 각종 수지를 사용할 수 있다. 또한, 다공질 필름(20)은 외주부에서 기부(30)의 측벽부(30A)의 상단과 상면판(18)의 외주부 사이에 끼워져 고정되어 있다.
메시 부재(22)는 선 직경이 0.1~1.5㎜의 와이어 형상 또는 선형상의 부재가 소정의 피치로 짜여진 구성이다. 메시 부재(22)의 피치는 구체적으로는 0.25~3㎜이고 메시 부재(22)의 각 개구부의 폭은 다공질 필름(20)의 미세 구멍의 평균 구멍 직경 보다 크고, 급기 구멍(16)의 직경 보다 작다. 메시 부재(22)의 재료로서는 구체적으로는 스테인레스, 알루미늄, 각종 합금 등을 사용할 수 있다.
또한, 메시 부재(22)는 기부(30)의 측벽부(30A)의 내주 보다도 약간 작은 형상이고, 지지판(26)에 의해 보다 하방으로부터 지지되어 있다.
지지판(26)은 두께가 0.5~3㎜의 판재이다. 통기구멍(24)은 상면판의 급기구멍(16)과 동일하게 직경이 6~50㎜의 원형이고, 8~100㎜의 피치(중심간의 피치)로 다수 형성되어 있다. 지지판(26)의 재료로서는 스테인레스, 알루미늄, 각종 합금 등을 사용할 수 있다.
또한, 지지판(26)에는 그 외주를 따라서 하방으로 돌출되는 측벽부(34)가 설치되고, 측벽부(34)에서 기부(30)의 측벽부(30A)의 내측에 끼워 맞추어져 있다. 또한, 기부(30)에는 측벽부(30A)의 내주로부터 내측으로 돌출되는 내주 돌출부(30B)가 설치되어 있고, 상기 내주 돌출부(30B)에 의해 지지판(26)의 측벽부(34)는 하방으로부터 지지되어 있다.
또한, 기부(30)의 저판부(30C)의 중앙 근방에는 공기를 도입하기 위한 도입구멍(30D)이 설치되어 있다. 도입 구멍(30D)에는 급기관(40)을 통하여 블로어 또는 컴프레서 등의 급기 유닛(42) 및 에어 필터(44)가 연결되어 있고, 에어 필터(44)에서 이물이 제거된 공기가 상면판(18)의 급기 구멍(16)으로부터 상방으로 분사되도록 이루어져 있다.
또한, 박판 형상 재료 반송장치(10)는 유리 기판(12)을 반송방향으로 구동하기 위한 구동 유닛(46)을 구비하고 있다.
구동 유닛(46)은 유리기판(12)의 하면에 접촉하여 유리기판(12)을 반송 방향으로 구동하는 복수의 롤러(48)를 구비하고 있다. 이들 롤러(48)는 복수개 나열하여 설치된 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)의 폭방향 양측에 배치되고, 복수 세트의 롤러(48)가 반송방향으로 적절한 피치로 설치되어 있다. 롤러(48)는 유리기판(12)의 하면에 접촉되는 롤러부(48A) 및 이보다도 폭방향 외측에 설치된 플랜지부(48B)를 구비하고, 도시하지 않은 회전구동원에 연결되어 있다. 또한, 구동 유닛(46)은 롤러(48)의 롤러부(48A) 상단이 박판 형상 재료 반송용 에어 테이 블(14)의 상면판(18)의 상면 보다도 수 ㎜ 정도 높아지도록 설치되어 있다.
다음에, 박판 형상 재료 반송장치(10)의 작용에 대해서 설명한다.
박판 형상 재료 반송장치(10)의 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)은 다공질 필름(20)을 통하여 상면판(18)의 급기 구멍(16)으로부터 공기가 분사되므로, 다공질의 판재를 구비하는 에어 테이블과 동일하게 기류의 흐트러짐이 억제되어 상면판(18)의 급기구멍(16)으로부터 공기가 분사된다.
또한, 얇은 다공질 필름(20)은 다공질 판재보다도 통기 저항이 작으므로, 다공질의 판재를 사용하는 경우 보다도, 상면판(18)의 급기 구멍(16)으로부터 분사되는 공기의 유량을 증대시킬 수 있다. 따라서, 클린룸 내의 공기의 흐트러짐을 억제하면서 큰 부상량이 얻어진다. 또한, 다공질 필름(20)은 먼지 발생의 발생원도 되지 않는다.
또한, 다공질 필름(20)이 상면판(18)의 아래에 상면판(18)에 접하여 설치되어 있으므로, 상면판(18)에서의 급기 구멍(16)이 형성되어 있지 않은 부분과 다공질 필름(20)이 밀착되고, 다공질 필름(20)의 개구 면적이 그만큼 작아져 있고, 상면판(18)의 급기 구멍(16)으로부터 분사되는 공기의 유량이 억제되지만, 다공질 필름(20)의 아래쪽에서의 공기의 압력을 비교적 높게 할 수 있으므로, 상면판(18)의 급기 구멍(16)으로부터 분사되는 공기의 압력도 비교적 높게 할 수 있고, 이에 의해 큰 부상량이 얻어진다. 즉, 본 제 1 실시형태의 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)의 구성은 박판 형상 재료에 비교적 압력이 높은 공기를 분사함으로써 큰 부상량을 얻는 고압력형의 에어 테이블에 적합하다.
또한, 본 제 1 실시형태의 에어 테이블(14)의 구성은 다공질 필름(20)을 하방으로부터 지지하도록 다공질 필름(20)의 아래에 메시 부재(22)가 설치되고, 얇은 다공질 필름(20)이 메시 부재(22)로 보강되어 있으므로, 다공질 필름(20)의 내구성이 높아져 있다.
또한, 박판 형상 재료 반송장치(10)는 구동 유닛(46)의 복수의 롤러(48)가 유리기판(12)의 하면에 접촉되어 유리 기판(12)을 반송방향으로 구동하지만, 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)이 비접촉으로 유기 기판(12)을 지지하고 있으므로, 롤러(56)와의 접촉부에서 유리기판(12)에 작용하는 힘이 작고, 롤러(56)와의 접촉에 의한 표면의 결손이나 이물의 부착이 억제된다.
또한, 공기의 압력으로 구동력을 부여하는 반송장치와 비교하면 유리기판(12)을 지지하는 만큼의 공기를 공급하는 것만으로 충분하므로, 장치의 제조 비용의 감소에 기여할 수 있고, 또한 공기의 분사량이 적어도 되므로 클린룸 내의 공기의 흐트러짐이 억제된다. 또한, 에어의 복잡한 제어가 불필요하므로 구조가 간단하다.
이와 같이, 박판 형상 재료 반송장치(10)는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)에 의해 유리 기판(12)을 큰 부상량으로 비접촉으로 지지하므로, 유리 기판(12)과 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)의 접촉을 방지할 수 있고, 또한 클린룸 내의 공기의 흐트러짐이 억제되므로, 유리기판(12)의 표면에 스크래치가 발생하거나 이물질이 부착되기 어렵고 신뢰성이 높은 반송을 실현할 수 있다.
또한, 유리 기판(12)의 큰 부상량이 얻어지므로, 복수의 박판 형상 재료 반 송용 에어 테이블(14)을 나열하여 설치할 때, 이들의 상면판(16)의 높이의 어긋남의 허용치가 그만큼 넓고 설치 공정수의 감소에 기여한다.
또한, 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)은 상면판(18)의 급기 구멍(16)에 연통하는 위치에 통기 구멍(24)이 형성된 지지판(26)이 상면판(18)의 아래에 설치되고 다공질 필름(20)과 메시 부재(22)가 상면판(18)과 지지판(26) 사이에 끼워진 간단한 구성으로 다공질 필름(20)과 메시 부재(22)를 확실하게 고정 설치할 수 있고 설치 작업도 용이하다.
다음에, 본 발명의 제 2 실시형태에 대해서 설명한다.
상기 제 1 실시형태의 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)은 메시 부재(22)가 다공질 필름(20)을 하방으로부터 지지하도록 다공질 필름(20)의 아래에 설치되는 하측 위치와, 다공질 필름(20) 및 상면판(18) 사이에 끼워져 설치되는 상측 위치의 양쪽 위치에 설치 가능하게 되어 있다. 상기 제 1 실시형태에서 다공질 필름(20)은 상면판(18)의 아래에 상면판(18)에 접하여 설치되고, 메시 부재(22)는 다공질 필름(20)을 하방으로부터 지지하도록 하측 위치에 설치되어 있다.
이에 대해서, 본 제 2 실시형태는 도 5에 도시한 바와 같이 메시 부재(22)가 다공질 필름(20) 및 상면판(18) 사이에 끼워져 상측 위치에 설치된 것을 특징으로 하고 있다. 다른 구성은 상기 제 1 실시형태와 동일하므로, 동일한 구성에 대해서는 설명을 적절하게 생략한다.
이와 같이 메시 부재(22)가 다공질 필름(20) 및 상면판(18) 사이에 끼워져 설치되어 있으므로, 도 6에 모식적으로 도시한 바와 같이 상면판(18)에서의 급기 구멍(16)이 형성되어 있지 않은 부분과 다공질 필름(20) 사이에 통기로가 형성된다. 따라서, 다공질 필름(20)의 실질적인 개구 면적이 상기 제 1 실시형태보다도 크다. 이에 의해, 상면판(18)의 급기 구멍(16)으로부터 분사되는 공기의 압력은 작아지지만, 급기 구멍(16)으로부터 분사되는 공기의 유량을 상기 제 1 실시형태보다도 더욱 증대시킬 수 있으므로, 본 제 2 실시형태도 상기 제 1 실시형태와 동일하게 큰 부상량이 얻어진다. 즉, 본 제 2 실시형태의 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)의 구성은 박판 형상 재료에 비교적 유량이 많은 공기를 분사함으로써 큰 부상량을 얻는 대유량형의 에어 테이블에 적합하다.
또한, 다공질 필름(20)은 상측 보다도 하측의 압력이 높으므로, 상면판(18)의 급기 구멍(16) 내로 장출하도록 부세되지만, 메시 부재(22)가 다공질 필름(20) 및 상면판(18) 사이에 끼워져 설치되어 있으므로, 급기 구멍(16) 내로의 다공질 필름(20)의 장출이 억제된다. 즉, 본 제 2 실시형태에서도 얇은 다공질 필름(20)이 메시 부재(22)로 보강되어 있고, 다공질 필름(20)의 내구성이 높아져 있다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서, 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)로부터 유리 기판(12)의 하면에 공급하는 기체는 공기이지만, 예를 들어 질소가스, 희가스 등의 다른 기체를 유리 기판(12)의 하면에 공급해도 좋다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서 박판 형상 재료 반송장치(10)는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블(14)을 폭방향으로 4대 구비하고 있지만, 유리 기판(12)의 폭에 따라서 3대 이하의 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블을 구비하는 구성으로 해도 좋고, 5대 이상의 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블을 구비하는 구성으로 해도 좋다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서 박판 형상 재료 반송장치(10)는 복수의 롤러(48)를 갖는 구동 유닛(46)을 구비하고 있지만, 구동용 벨트를 갖는 구동 유닛을 구비하는 구성으로 해도 좋다. 또한, 구동용 롤러와 벨트가 병설된 구동 유닛을 구비하는 구성으로 해도 좋다. 또한, 구동 유닛을 생략하고 반송 방향으로 공기를 분사하도록 에어 테이블의 급기 구멍을 기울여 상면판에 형성하고, 에어 테이블이 분사하는 공기로 피반송물을 구동하도록 해도 좋다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 실시형태는 유리기판(12)을 반송하기 위한 것이지만, 면적에 비교하여 판두께가 얇은 소위 박판 형상 재료이면, 다른 재료의 반송에도 본 발명은 적용 가능하다. 예를 들어, 금속 박판 형상 재료, 수지의 박판 형상 재료 등의 휨이 발생하기 쉬운 재료의 반송의 경우에 적용 가능하다.
본 발명에 의하면 클린룸 내의 공기의 흐트러짐을 억제하면서 박판 형상 재료의 큰 부상량이 얻어지는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블과 이를 구비한 박판 형상 재료 반송장치를 실현할 수 있다.
본 발명은 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 등의 평판 패널 디스플레이에 사용하는 대형이고 얇은 유리 기판과 같은 박판 형상 재료의 반송에 사용할 수 있다.

Claims (9)

  1. 박판 형상 재료의 하면에 대해서 기체를 공급하기 위한 복수의 급기 구멍이 형성된 상면판과, 상기 상면판의 아래에 상기 상면판에 접하여 설치된 다공질 필름과, 상기 다공질 필름을 하방으로부터 지지하도록 설치된 메시 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블.
  2. 박판 형상 재료의 하면에 대해서 기체를 공급하기 위한 복수의 급기 구멍이 형성된 상면판과, 상기 상면판 아래에 설치된 다공질 필름과, 상기 다공질 필름 및 상기 상면판 사이에 끼워져 설치된 메시 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 메시 부재가 상기 다공질 필름을 하방으로부터 지지하도록 상기 다공질 필름의 아래에 설치되는 하측 위치와, 상기 다공질 필름 및 상기 상면판 사이에 끼워져 설치되는 상측 위치의 양쪽 위치에 설치 가능한 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 메시 부재가 상기 다공질 필름을 하방으로부터 지지하도록 상기 다공질 필름의 아래에 설치되는 하측 위치와, 상기 다공질 필름 및 상기 상면판 사이에 끼워져 설치되는 상측 위치의 양쪽 위치에 설치 가능한 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 상면판의 급기 구멍에 연통하는 위치에 통기 구멍이 형성된 지지판이 상기 상면판의 아래에 설치되고, 상기 다공질 필름과 상기 메시 부재가 상기 상면판과 상기 지지판 사이에 끼워져 설치된 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 상면판의 급기 구멍에 연통하는 위치에 통기 구멍이 형성된 지지판이 상기 상면판의 아래에 설치되고, 상기 다공질 필름과 상기 메시 부재가 상기 상면판과 상기 지지판 사이에 끼워져 설치된 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 상면판의 급기 구멍에 연통하는 위치에 통기 구멍이 형성된 지지판이 상기 상면판의 아래에 설치되고, 상기 다공질 필름과 상기 메시 부재가 상기 상면판과 상기 지지판 사이에 끼워져 설치된 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송 용 에어 테이블.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 상면판의 급기 구멍에 연통하는 위치에 통기구멍이 형성된 지지판이 상기 상면판의 아래에 설치되고, 상기 다공질 필름과 상기 메시 부재가 상기 상면판과 상기 지지판 사이에 끼워져 설치된 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 박판 형상 재료 반송용 에어 테이블을 구비하는 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송장치.
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