KR20080012155A - 짐 위치 결정 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 이재기에 의해 정위치에 수직으로 내려지는 짐의 위치 어긋남을 교정하는 데에도 활용할 수 있는 짐 위치 결정 장치의 종래의 문제점을 개선하는 것을 목적으로 하는 것으로서, 가동대 가압 수단(14)에 의해 전진 한계 위치에 가압유지되는 전후 이동 가능한 가동대(5)와, 짐을 지지하며 또한 해당 짐의 수평면 상에서의 횡이동을 허용하는 짐 지지용 롤러(30)와, 가동대(5) 상에 축지지되며 또한 짐 지지용 롤러(30) 상에서 정위치에 지지된 짐의 측면에 인접하는 짐 위치 결정용 롤러(29)를 구비하고, 가동대 가압 수단(14)은 이재기에 지지된 짐이 정위치에 대하여 짐 위치 결정용 롤러(29)를 외측으로 밀어내는 위치에서 수직으로 내려질 때에는 짐 위치 결정용 롤러(29)와 함께 가동대(5)가 후퇴 이동하는 것을 허용하지만, 짐이 짐 지지용 롤러(30)에 의해 지지되었을 때에는 짐 위치 결정용 롤러(29)를 통하여 짐을 정위치까지 되밀도록 가동대(5)를 전진 한계 위치까지 복귀 이동시킬 수 있는 세기의 가압력을 갖는다.

가동대, 짐 지지부, 가동대 가압 수단, 이재기, 짐 위치 결정용 롤러, 짐 위치 결정 장치.

Description

짐 위치 결정 장치{LOAD POSITIONING APPARATUS}

본 발명은 유리 기판이나 웨이퍼 등의 박판형 기판을 복수 단으로 수납한 카세트를 가공 스테이지의 지지대 상에 수직으로 내릴 때의 정위치에 대한 해당 카세트의 수평 방향의 위치 어긋남을 자동 교정하는 수단으로서 활용할 수 있는 짐 위치 결정 장치에 관한 것이다.

유리 기판이나 웨이퍼 등의 박판형 기판을 각 가공 스테이지로 반송하는 경우, 상기 박판형 기판을 복수 단으로 수납한 카세트가 사용된다. 이 카세트는 각 가공 스테이지의 기판 취출 위치에 설치된 지지대 상에 이재기(移載機)에 의해 내려지며, 해당 지지대 옆에 병설된 기판 취출용 로봇에 의해 카세트 내의 기판이 취출되어 가공 위치로 공급되는 것인데, 상기 기판 취출용 로봇은 자동 제어되는 것이므로 해당 로봇에 의한 카세트 내로부터의 기판의 취출을 기판에 무리한 힘을 작용시키지 않고 확실하고 양호하게 수행시키기 위해서는 기판 취출 위치의 지지대 상에 이재된 카세트의 위치나 자세에 관한 정밀도가 충분히 높아야 한다. 따라서, 카세트가 이재되는 기판 취출 위치의 지지대에는 이재기에 의해 수직으로 내려지는 카세트의 수평 2차원 방향의 위치 어긋남을 자동 교정하기 위한 카세트 위치 어긋 남 자동 교정 장치가 병설되는 것인데, 이러한 카세트 위치 어긋남 자동 교정 장치에 이용할 수 있는 종래의 짐 위치 결정 장치로는, 위치 어긋남 상태인 채로 지지대 상에 내려진 짐을 구동 수단에 의해 구동되는 푸셔에 의해 정위치 측으로 누르는 타입의 구동원을 필요로 하는 장치나, 일본 실용 신안 공개 평 5-37755호 공보 등에 기재된 바와 같이 짐을 정위치 측으로 누르는 푸셔(롤러)를 이재기에 의해 수직으로 내려지는 짐의 자중을 이용하여 구동하는 타입의 구동원을 필요로 하지 않는 장치가 알려져 있다.

이리하여, 카세트가 이재기에 의해 내려지는 지지대의 주변에는 위치 어긋남 교정 방향이 서로 다른 복수의 짐 위치 결정 장치를 배열 설치하여야 하므로, 상기한 구동원을 필요로 하는 타입의 짐 위치 결정 장치를 이용하여 카세트 위치 어긋남 자동 교정 장치를 구성한 것에서는 카세트가 이재기에 의해 내려지는 지지대의 주변 복수 개소의 각 짐 위치 결정 장치마다 구동 수단에 의해 구동되는 푸셔가 필요하며, 또한 해당 구동 수단의 제어 장치도 필요해지는 관계로, 카세트 위치 어긋남 자동 교정 장치 전체적으로 설비 비용이 매우 비싸지고, 제어계의 트러블로 인한 고장의 가능성도 크다. 또한, 구동원을 필요로 하지 않는 타입의 짐 위치 결정 장치를 이용하여 카세트 위치 어긋남 자동 교정 장치를 구성한 경우, 구동원을 필요로 하는 타입의 짐 위치 결정 장치를 이용하는 경우의 문제점은 해소할 수 있지만, 이재기에 의해 지지되어 수직으로 내려지는 카세트에 의해 밀려 내려가는 상하이동 레버 등의 운동을 해당 강하중인 카세트를 정위치 측으로 누르는 푸셔(롤러)의 누름 운동으로 변환하는 것이기 때문에 이재기에 의해 지지되어 있는 강하 도중의 카세트를 이재기의 지지면 상에서 횡이동시키게 된다. 그러나, 최근의 큰 사이즈의 유리 기판을 수납한 대형 및 대중량(1000Kg 정도나 됨)의 카세트를 취급하는 설비에서는 이재기의 지지면 상에서 원활하게 해당 대중량 카세트를 횡이동시킬 수는 없으므로, 이러한 설비에서는 상기 구성의 짐 위치 결정 장치는 채용할 수 없다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소할 수 있는 짐 위치 결정 장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로서, 이러한 본 발명의 짐 위치 결정 장치는, 일정 범위 내에서 수평 전후 이동 가능한 가동대, 이 가동대를 전진 한계 위치에 탄성 바이어스 유지하는 가동대 가압 수단, 수직으로 내려지는 짐의 바닥면을 지지하며 또한 해당 짐의 수평면상의 횡이동을 허용하는 짐 지지부, 및 상기 가동대의 이동 방향에 대하여 직교하는 수평 지축에 의해 해당 가동대 상에 축지지되며 또한 상기 짐 지지부 상에서 정위치에 지지된 짐의 수직면에 인접하는 짐 위치 결정용 롤러를 구비하며, 상기 가동대 가압 수단은, 이재기에 지지된 짐이 평면에서 보았을 때 정위치에 대하여 상기 짐 위치 결정용 롤러와 중첩되는 위치에서 수직으로 내려질 때에는 이 짐 위치 결정용 롤러와 함께 상기 가동대가 후퇴 이동하는 것을 허용하지만, 해당 짐이 상기 짐 지지부에 의해 지지되며 또한 이재기가 해당 짐으로부터 떨어졌을 때에는 상기 짐 위치 결정용 롤러를 통하여 해당 짐을 정위치까지 되밀도록 상기 가동대를 전진 한계 위치까지 복귀 이동시킬 수 있는 세기의 가압력을 갖는 구성으로 되어 있다.

상기 구성의 본 발명에 따른 짐 위치 결정 장치에 따르면, 이재기에 지지되어 수직으로 내려지는 짐이 평면에서 보았을 때 정위치에 대하여 상기 짐 위치 결정용 롤러와 중첩되는 측으로 어긋나 있는 경우, 해당 짐이 상기 짐 위치 결정용 롤러를 통하여 가동대를 가동대 가압 수단의 가압력에 저항하여 후퇴 이동시킨다. 따라서, 짐이 이재기의 지지면 상에서 횡이동하지는 않는다. 그리고 해당 짐이 짐 지지부 상에 지지되어 이재기가 해당 짐으로부터 떨어지면, 즉 짐의 하중이 상기 짐 지지부에서 받아내어진 경우, 상기 가동대가 짐 위치 결정용 롤러와 함께 가동대 가압 수단의 가압력으로 전진 한계 위치로 복귀 이동하고, 이 과정에서 해당 짐이 짐 위치 결정용 롤러에 밀려 정위치까지 횡이동하여 가동대 이동 방향(전후 방향)의 위치 어긋남이 교정된다.

즉, 본 발명에 따른 짐 위치 결정 장치에 있어서는 짐이 평면에서 보았을 때 정위치에 대하여 상기 짐 위치 결정용 롤러와 중첩되는 측으로 어긋나 있는 경우, 해당 짐을 어긋남 위치인 채로 일단 짐 지지부 상에 내리고, 이후 탄성 바이어스 수단의 가압력으로 짐 위치 결정용 롤러를 통하여 해당 짐을 정위치까지 전진 이동시켜 위치 어긋남을 교정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 짐 위치 결정 장치에 따르면, 짐 위치 결정용 롤러를 정위치까지 전진 이동시키는 구동 수단(구동원)이 불필요하여 저렴하게 실시할 수 있을 뿐만 아니라, 짐을 정위치에 내리기 위한 이재기 측의 지지면 상에서 짐을 횡미끄럼시킬 필요도 없으므로 대중량의 짐이라도 문제없이 취급할 수 있다.

본 발명의 짐 위치 결정 장치를 수평 2차원 방향의 일방향, 예컨대 X 방향에 관한 짐의 센터링에 이용하는 경우에는 해당 짐의 X 방향의 양 측변에 대응하여 본 발명의 짐 위치 결정 장치를 설치하게 되고, 수평 2차원 방향의 양방향(X, Y 양방향)에 관한 짐의 센터링에 이용하는 경우에는 해당 짐의 X 방향의 양 측변과 Y 방향의 양 측변의 각각에 대응하여 본 발명의 짐 위치 결정 장치를 설치하게 된다. 이들 어느 경우에 있어서도 각 짐 위치 결정 장치 중 정위치에 대하여 짐이 어긋나 있는 측의 짐 위치 결정 장치의 가동대와 짐 위치 결정용 롤러가 상기와 같이 작용하여 짐을 가동대의 전진 이동 방향, 즉 정위치를 향해 이동시켜 위치 어긋남을 교정하게 되고, 반대측의 짐 위치 결정 장치에서는 상기와 같이 위치 어긋남을 교정받는 짐의 수직면이 짐 위치 결정용 롤러에 대하여 접근 이동하게 된다. 그리고 위치 어긋남이 교정된 짐의 X 방향 또는 X, Y 양방향의 수직면이 탄성 바이어스 수단의 가압력으로 전진 한계 위치에 유지되어 있는 가동대 상의 짐 위치 결정용 롤러에 인접하여 위치 결정되게 된다.

상기 구성의 본 발명을 실시함에 있어서, 상기 짐 지지부로는 지지한 짐이 가볍게 횡이동할 수 있는 것이 바람직하므로, 예컨대 수평 2차원 방향으로 자유로이 횡이동할 수 있는 지지대를 구비한 플로팅 유닛이나, 카세트 바닥면과의 사이의 마찰 저항이 작은 소재가 붙여진 지지대 등으로 구성할 수 있다. 그리고 이 짐 지지부는 상기 가동대로부터 떨어진 위치에서 해당 가동대를 지지하는 고정대부 상에 설치할 수도 있지만, 청구항 2에 기재된 바와 같이 상기 짐 지지부를 상기 가동대 상에 설치하는 것이 바람직하다.

이 청구항 2에 기재된 구성에 따르면, 이재기에 의해 수직으로 내려지는 짐을 지지하는 짐 지지부가 상기 가동대를 지지하는 고정대부 상에 해당 가동대로부터 떨어져서 설치되는 경우와 비교하여 고정대부 상에 대한 부착 부품 수가 적어져 장치 전체를 컴팩트하게 구성할 수 있음과 아울러 설치 작업이 용이해지고, 보다 저렴하게 실시할 수 있다. 물론, 가동대 상에 짐 지지부를 설치하는 경우에도 취 급하는 짐의 평면 사이즈가 큰 경우나 중량물인 경우에 가동대와 떨어진 고정대부 상에 별도의 짐 지지부를 보조적으로 설치하는 것은 가능하다.

상기 청구항 2에 기재된 구성을 채용하는 경우, 청구항 3에 기재된 바와 같이, 상기 짐 지지부는 상기 가동대의 전후 이동 방향에 대하여 직교하는 수평 지축에 의해 축지지된 짐 지지용 롤러로 구성할 수 있다.

이 청구항 3에 기재된 구성에 따르면, 본 발명의 짐 위치 결정 장치를 짐의 센터링에 이용하는 경우에 위치 어긋남 교정되는 짐이 이동하는 방향 측의 짐 위치 결정 장치의 짐 지지부 상에서의 해당 짐의 미끄럼 저항을 작게 하여 대중량의 짐이라도 센터링 작용을 원활하게 실행시킬 수 있고, 탄성 바이어스 수단의 가압력을 작게 하는 데에도 도움이 된다.

또한, 상기와 같이 짐 지지부를 롤러로 구성하는 경우, 청구항 4에 기재된 바와 같이, 상기 가동대 상에 상기 짐 위치 결정용 롤러와 평행한 수평 지축에 의해 중간부가 축지지된 시소 운동이 자유로운 가동 레버를 설치하고, 이 가동 레버의 일단 측에 상기 짐 위치 결정용 롤러를 축지지함과 아울러 해당 가동 레버의 타단 측에 상기 짐 지지용 롤러를 축지지하고, 상기 가동 레버의 시소 운동 범위를 상기 짐 지지용 롤러가 짐 지지 레벨에 위치함과 아울러 상기 짐 위치 결정용 롤러가 상기 짐 지지용 롤러 상에서 정위치에 지지된 짐의 수직면에 인접하는 지지 자세와 상기 짐 지지용 롤러가 상기 짐 지지 레벨보다 상방으로 돌출하는 경사 이동 자세 사이로 제한하는 스토퍼와, 상기 가동 레버를 상기 경사 이동 자세로 가압유지하는 가동 레버 가압 수단을 설치할 수 있다.

이 청구항 4에 기재된 구성에 따르면, 짐 위치 결정용 롤러의 가동대 상에서의 위치가 고정되어 있는 경우와 비교하여, 해당 짐 위치 결정용 롤러 측에의 짐의 위치 어긋남량이 동일하여도 그 위치 어긋남 상태에서 내려지는 짐과 해당 짐 위치 결정용 롤러 사이의 상대적 접촉 이동량이 대폭으로 적어져 짐 위치 결정용 롤러 둘레면이나 짐의 마모를 억제할 수 있고, 이 마모에 따른 분진의 발생도 억제할 수 있다. 더욱이 짐 위치 결정용 롤러의 직경을 특별히 크게 하지 않고도 해당 짐 위치 결정용 롤러의 내측에 무리없이 들어가게 할 수 있는 허용 짐 위치 어긋남량을 크게 할 수 있다. 게다가, 강하할 짐의 중력을 이용하여 짐 위치 결정용 롤러를 초기 위치(정위치의 짐의 수직면에 인접하는 위치)로 복귀시키기 위하여 필요한 액추에이터로서의 압하용 롤러를 짐 지지용 롤러로 겸용시킬 수 있어 부품의 증가를 억제할 수 있다.

앞에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 짐 위치 결정 장치를 수평 2차원 방향의 양방향(X, Y 양방향)에 관한 짐의 센터링에 이용한 경우, X 방향(또는 Y 방향) 양측의 짐 위치 결정 장치에 의해 짐의 위치 어긋남이 교정될 때, Y 방향(또는 X 방향) 양측의 짐 위치 결정 장치에서는 그 짐 위치 결정용 롤러에 대하여 짐의 수직면이 해당 롤러의 축심 방향을 따라 이동하게 된다. 따라서, 본 발명의 짐 위치 결정 장치를 수평 2차원 방향의 양방향(X, Y 양방향)에 관한 짐의 센터링에 이용하는 경우에는 청구항 5에 기재된 바와 같이, 상기 가동대는 수평 좌우 방향으로도 일정 범위 내에서 이동 가능하게 지지함과 아울러, 이 수평 좌우 방향 이동 범위의 중심 위치에 센터링되는 제2 가동대 가압 수단을 병설하고, 이 제2 가동대 가압 수 단의 가압력은 상기 짐 지지부 상에 지지된 짐과 함께 상기 가동대가 수평 좌우 방향으로 이동하는 것을 허용할 정도의 가압력으로 할 수 있다.

이 청구항 5에 기재된 구성에 따르면, 짐 위치 결정 장치 중 짐의 위치 어긋남이 교정될 때 해당 짐이 가동대에 대하여 수평 좌우 방향(짐 위치 결정용 롤러의 축심 방향)으로 이동하게 되는 짐 위치 결정 장치에 있어서, 짐 지지부를 통하여 가동대를 짐과 함께 수평 좌우 방향으로 횡이동시킬 수 있으므로, 짐 지지부와 짐 사이의 수평 좌우 방향의 상대 이동을 없애고, 가령 해당 짐 지지부가 가동대 상의 고정면(물론, 짐의 미끄럼 저항을 적게 하는 표면재가 사용됨)이나, 앞에서 설명한 바와 같은 짐 위치 결정용 롤러와 평행한 짐 지지용 롤러로 구성되어 있는 경우라도 짐의 수평 좌우 방향의 상대 이동에 기인하는 짐 위치 결정용 롤러나 짐의 마모, 나아가서는 해당 마모에 따른 분진의 발생을 없앨 수 있다. 특히 이 청구항 5에 기재된 구성은 청구항 3에 기재된 구성과 조합하여 실시하는 것이 바람직하다.

상기 청구항 5에 기재된 구성을 채용하는 경우, 청구항 6에 기재된 바와 같이, 상기 가동대 가압 수단과 상기 제2 가동대 가압 수단은 상기 가동대와 가동대 지지대부 사이에서 좌우 대칭의 비스듬한 방향으로 장설(張設)된 좌우 한 쌍의 스프링에 의해 구성할 수 있다. 물론 이 경우, 좌우 한 쌍의 스프링에 의해 가동대에 주어지는 전진 한계 위치에의 가압력이 이 좌우 한 쌍의 스프링에 의해 가동대에 주어지는 좌우 횡방향의 센터링을 위한 가압력과 비교하여 충분히 커지도록 두 스프링간의 끼움각이 설정된다.

이 청구항 6에 기재된 구성에 따르면, 가동대 가압 수단과 제2 가동대 가압 수단을 좌우 대칭의 비스듬한 방향으로 장설된 좌우 한 쌍의 스프링으로 겸용시킬 수 있어 구성을 심플하게 하여 비용 절감을 도모할 수 있다.

도 1에 있어서, 1A~1H는 각각 본 발명에 따른 짐 위치 결정 장치로서, 기판 취출 위치(카세트 지지부)에 이재기에 의해 수직으로 내려지는 카세트(K)를 수평 2차원의 X 방향과 Y 방향의 양방향에 관하여 위치 어긋남을 자동 교정하는 카세트 위치 어긋남 자동 교정 장치(2)를 구성하고 있다. 각 짐 위치 결정 장치(1A~1H)는 동일 구조의 것으로서, 도 1a 및 도 1b에 각각 가상선으로 도시한 정위치의 카세트(K)의 바닥면 네 귀퉁이에 대응하는 4곳의 고정대부(3)에 2개씩 카세트(K)의 직각 양 외측 수직면(Kx, Ky)에 대응하여 배열 설치되어 있다. 도 1b에 있어서, 정위치의 카세트(K)의 외측에 떨어져서 도시된 가상선은 정위치에 대한 카세트(K)의 외측으로 최대 허용 위치 어긋남량(ΔX, ΔY(ΔX=ΔY))만큼 떨어진 카세트 내림 영역(K')을 나타내고 있다.

이리하여, 카세트 내림 영역(K') 내에 내려진 카세트(K)의 X 방향의 위치 어긋남은 X 방향의 양측에 배치된 짐 위치 결정 장치(1A, 1H 또는 1D, 1E)에 의해 교정되고, 해당 카세트(K)의 Y 방향의 위치 어긋남은 Y 방향의 양측에 배치된 짐 위치 결정 장치(1B, 1C 또는 1F, 1G)에 의해 교정된다. 이때, 위치 어긋남 교정 방향과 직교하는 방향의 양측의 짐 위치 결정 장치, 즉 X 방향의 위치 어긋남을 교정하는 경우의 Y 방향의 양측에 있는 짐 위치 결정 장치(1B, 1C 및 1F, 1G) 상에서는 카세트(K)는 최대 허용 위치 어긋남량(ΔX)의 2배의 범위 내에서 X 방향으로 상대 이동하고, Y 방향의 위치 어긋남을 교정하는 경우의 X 방향의 양측에 있는 짐 위치 결정 장치(1A, 1H 및 1D, 1E) 상에서는 카세트(K)는 최대 허용 위치 어긋남량(ΔY)의 2배의 범위 내에서 Y 방향으로 상대 이동하게 된다.

각 짐 위치 결정 장치(1A~1H)는 도 2~도 6에 도시한 바와 같이, 도 1에 도시한 고정대부(3) 상에 설치되는 평면 사각형의 기대(4) 상에 전후 좌우 양 방향으로 횡이동이 자유롭게 지지된 가동대(5)를 구비하고 있다. 기대(4)에 대한 가동대(5)의 지지 가이드 수단은 기대(4)의 상측에 부설된 좌우 한 쌍의 전후 방향 가이드 레일(6)과, 이 전후 방향 가이드 레일(6) 사이에서 전후 방향으로만 횡이동 가능하게 지지된 중간 가동체(7)와, 가동대(5)의 하측에 부설되어 중간 가동체(7)를 사이에 두는 전후 한 쌍의 좌우 방향 가이드 레일(8)에 의해 구성되며, 가동대(5)는 중간 가동체(7)와 함께 전후 방향 가이드 레일(6)을 따라 전후 방향으로 이동할 수 있음과 동시에 중간 가동체(7)에 대하여 좌우 방향 가이드 레일(8)을 따라 좌우 방향으로 이동할 수 있다. 도면에서는 상세한 구조를 도시하지 않았으나, 전후 방향 가이드 레일(6)과 중간 가동체(7) 사이 및 중간 가동체(7)와 좌우 방향 가이드 레일(8) 사이에는 리니어 베어링이 개재 장착되고, 기대(4)에 대하여 가동대(5)가 전후 좌우 양방향으로 가볍게 원활하게 횡이동할 수 있도록 구성되어 있다.

기대(4)에는 평면 사각형의 개구부(9)가 설치되고, 이 개구부(9) 내에 느슨하게 끼워진 사각형 부재(10)가 중간 가동체(7)를 상하 방향으로 관통하며 또한 좌우 방향으로 병렬하는 2개의 볼트(11, 12)에 의해 중간 가동체(7)의 바닥면에 고정되어 있다. 한편, 가동대(5)에는 상기 2개의 볼트(11, 12)의 머리부(11a, 12a)가 좌우 방향으로만 상대 이동 가능하게 느슨하게 끼워지는 폭의 좌우 방향으로 긴 장공(13)이 설치되어 있다. 따라서, 가동대(5)는 도 4a에 도시한 바와 같이, 개구부(9)의 전측변에 사각형 부재(10)가 맞닿는 전진 한계 위치와 개구부(9)의 후측변에 사각형 부재(10)가 맞닿는 후퇴 한계 위치 사이의 전후 이동 허용 범위(d1) 내에서만 기대(4)에 대하여 중간 가동체(7)와 함께 전후 이동 가능함과 동시에, 도 4b에 도시한 바와 같이, 볼트 머리부(11a, 12a)가 장공(13) 내의 중앙 위치에 있는 상태에서 좌우 각 방향으로, 볼트 머리부(11a, 12a)가 장공(13)의 끝에 도달할 때까지의 좌우 이동 허용 범위(d2, d3) 내에서만 기대(4) 및 중간 가동체(7)에 대하여 좌우 이동 가능하다. 게다가, 전후 이동 허용 범위(d1)와 좌우 이동 허용 범위(d2, d3)는 도 1b에 도시한 카세트(K)의 외측으로의 최대 허용 위치 어긋남량(ΔX, ΔY(ΔX=ΔY))과 대략 같다.

14는 가동대 가압 수단으로서, 중간 가동체(7)의 좌우 일 측변에 볼트(15)에 의해 고정되어 기대(4)와 가동대(5) 사이로부터 횡측방으로 연장되는 암재(16)와, 이 암재(16)의 자유단부에 설치된 스프링 받침 시트(16a)에 대면하는 고정측 스프링 받침 시트(17)와, 이들 양 스프링 받침 시트(16a, 17) 사이에 수평 전후 방향으로 개재 장착된 압축 코일 스프링(18)으로 구성되며, 도 4a에 도시한 바와 같이, 개구부(9)의 전측변에 사각형 부재(10)가 맞닿는 전진 한계 위치에 가동대(5)를 탄성 바이어스 유지하도록 구성되어 있다. 고정측 스프링 받침 시트(17)는 도 1에 도시한 고정대부(3) 측에 지지 부재(17a)와 조정 볼트(19)를 통하여 지지되는 것으로서, 조정 볼트(19)에 의해 전후 방향으로 위치 조정됨으로써 압축 코일 스프 링(18)의 초기 압축 응력을 조정할 수 있다. 게다가, 기대(4)를 가로로 길게 형성하고, 해당 기대(4) 상에 고정측 스프링 받침 시트(17)를 설치할 수도 있고, 기대(4)와 고정측 스프링 받침 시트(17)를 부착하는 부착판을 별도로 설치하고, 이 부착판을 고정대부(3)에 고정하도록 구성할 수도 있다.

20은 제2 가동대 가압 수단으로서, 중간 가동체(7)의 후측변에 볼트(21)에 의해 고정되어 기대(4)와 가동대(5) 사이로부터 후방으로 연장되는 암재(22)와, 이 암재(22)의 자유단부에 상향으로 돌출되어 설치된 스프링 걸림축(23)과, 가동대(5)의 후측변의 좌우 양단부에 볼트 고정되어 후방으로 연장되는 좌우 한 쌍의 스프링 걸림편(24, 25)과, 이들 양 스프링 걸림편(24, 25)과 스프링 걸림축(23) 사이에 좌우 횡방향으로 장설된 좌우 한 쌍의 인장 코일 스프링(26, 27)으로 구성되며, 이들 양 인장 코일 스프링(26, 27)의 인장력으로 도 4b 및 도 6에 도시한 바와 같이 가동대(5)의 장공(13)의 중앙 위치에 중간 가동체(7) 측의 볼트 머리부(11a, 12a)가 위치하는 센터링 위치(중간 가동체(7)에 대한 센터링 위치)에 가동대(5)를 탄성 바이어스 유지하도록 구성되어 있다.

가동대(5)의 상측에는, 좌우 한 쌍의 가동 레버(28a, 28b)를 사이에 두고 짐 위치 결정용 롤러(29)와 짐 지지용 롤러(30)가 설치되어 있다. 가동 레버(28a, 28b)는 측면 형상이 대략 L자형인 것으로서, 가동대(5) 상에 돌출되어 설치된 좌우 한 쌍의 베어링판(31a, 31b) 사이에서 좌우 방향의 수평 지축(32)에 의해 중간부가 상하 시소 운동 가능하게 축지지되고, 짐 위치 결정용 롤러(29)는 가동 레버(28a, 28b)의 후측 상단부 사이에 좌우 방향의 수평 지축(33)에 의해 축지지되고, 짐 지 지용 롤러(30)는 가동 레버(28a, 28b)의 전단부 사이에 좌우 방향의 수평 지축(34)에 의해 축지지되어 있다. 그리고 가동 레버(28a, 28b)의 후측 하단부 사이에는 도 5에 도시한 바와 같이, 가동 레버 가압 수단(35)으로서의 중추용 수평축(35a)이 가설되고, 해당 중추용 수평축(35a)에는 가동대(5)의 상면에 맞닿는 탄성재로 이루어지는 좌우 한 쌍의 링(35b)이 끼워져 결합되어 있다. 또한, 가동 레버(28a, 28b)가 가동 레버 가압 수단(35)의 가압력에 저항하는 방향(짐 지지용 롤러(30)가 강하하는 방향)으로 경사 이동하였을 때 해당 가동 레버(28a, 28b)의 전단부 하측면을 받아내는 좌우 한 쌍의 스토퍼 부재(36a, 36b)가 가동대(5)의 상면에 볼트 고정되어 있다.

이리하여, 도 7c에 도시한 바와 같이, 가동 레버(28a, 28b)가 가동 레버 가압 수단(35)의 가압력에 저항하는 방향으로 경사 이동하여 해당 가동 레버(28a, 28b)의 전단부 하측면이 스토퍼 부재(36a, 36b)에서 받아내어졌을 때, 짐 위치 결정용 롤러(29)가 위로 이동하여 정위치에 있는 카세트(K)의 측면에 인접함과 아울러, 짐 지지용 롤러(30)가 카세트 지지 레벨에서 카세트(K)를 지지하는 지지 자세가 되도록 구성되어 있다. 따라서, 도 7a에 도시한 바와 같이, 가동 레버(28a, 28b)가 가동 레버 가압 수단(35)의 가압력의 작용 방향(짐 지지용 롤러(30)가 강하하는 방향)으로 경사 이동하여 중추용 수평축(35a)의 링(35b)이 가동대(5)의 상면에서 받아내어진 경사 이동 자세에 있을 때에는 짐 위치 결정용 롤러(29)는 가동 레버(28a, 28b)가 도 7c에 도시한 상기 지지 자세에 있을 때의 위치보다 후방 하방으로 퇴피하고, 짐 지지용 롤러(30)는 가동 레버(28a, 28b)가 도 7c에 도시한 상기 지지 자세에 있을 때의 위치보다 상방 위치, 즉 카세트 지지 레벨보다 상방으로 돌출되는 상태가 된다.

이상과 같이 구성된 짐 위치 결정 장치를 도 1에 도시한 짐 위치 결정 장치(1A~1H)로서 설치할 때에는, 가동대(5)가 가동대 가압 수단(14)의 가압력에 의해 전진 한계 위치에 탄성 바이어스 유지되어 있는 상태에 있어서, 가동 레버(28a, 28b)를 가동 레버 가압 수단(35)의 가압력에 저항하는 방향으로 경사 이동시켜 지지 자세로 전환하였을 때, 정위치에 있는 카세트(K)의 X 방향 양측의 외측 수직면(Kx) 및 Y 방향 양측의 외측 수직면(Ky)에 짐 위치 결정용 롤러(29)가 인접함과 아울러, 짐 지지용 롤러(30)가 정위치에 있는 카세트(K)의 바닥면을 지지하도록 설치된다. 따라서, 가동대 가압 수단(14)의 가압력에 저항하여 가동대(5)가 후퇴 이동할 때의 방향은 짐 위치 결정용 롤러(29)가 카세트(K)의 외측 수직면(Kx, Ky)으로부터 떨어지는 방향이 되고, 가동대 가압 수단(14)의 가압력에 의해 가동대(5)가 전진 이동할 때의 방향은 짐 위치 결정용 롤러(29)가 카세트(K)의 외측 수직면(Kx, Ky)에 접근하는 방향이 된다.

이리하여, 카세트 이재기의 승강이 자유로운 카세트 지지대에 의해 지지된 카세트(K)가 도 1b의 카세트 내림 영역(K') 내에서 수직으로 내려질 때, 해당 카세트(K)의 위치가 정위치에 대하여 X, Y 양방향으로 어긋나 있는 경우, 또는 X, Y 양방향 중 어느 한 방향으로 어긋나 있는 경우, 짐 위치 결정 장치(1A~1H) 중 카세트(K)가 정위치의 외측으로 어긋나 있는 측의 짐 위치 결정 장치에서는 이하에 설명하는 위치 결정 작용이 이루어진다.

즉 도 7a에 도시한 바와 같이, 카세트 이재기의 승강이 자유로운 카세트 지지대(T)에 의해 지지된 카세트(K)는 가동대(5)가 전진 한계 위치에 있고 또한 가동 레버(28a, 28b)가 경사 이동 자세에 있는 상태의 짐 위치 결정 장치의 짐 지지용 롤러(30) 상에 정위치에 대하여 최대 허용 위치 어긋남량(ΔX 또는 ΔY)의 범위 내에서 외측으로 어긋난 위치에서 내려지게 된다. 이 결과, 가동 레버(28a, 28b)의 전단부가 짐 지지용 롤러(30)를 통하여 카세트(K)에 의해 밀려내려오고, 해당 가동 레버(28a, 28b)가 가동 레버 가압 수단(35)의 가압력에 저항하는 방향으로 수평 지축(32)의 둘레로 경사 이동하고, 해당 가동 레버(28a, 28b)의 전단부 하측면이 스토퍼 부재(36a, 36b)에서 받아내어지는 지지 자세로 전환된다. 이 때의 가동 레버(28a, 28b)의 경사 이동에 따라 짐 위치 결정용 롤러(29)가 수평 지축(32)의 둘레에서 카세트(K)의 외측 수직면(Kx 또는 Ky)을 향해 비스듬히 상방으로 회동하여 카세트(K)의 외측 수직면(Kx 또는 Ky)에 맞닿게 되는데, 가동대 가압 수단(14)의 가압력(압축 코일 스프링(18)의 반발력)은 이재기의 카세트 지지대(T)에 지지되어 있는 카세트(K)를 해당 카세트 지지대(T)의 지지면(Ta)과의 사이의 마찰 저항에 저항하여 짐 위치 결정용 롤러(29)에 의해 정위치 방향으로 누름 이동시킬 정도로 크지 않으므로, 짐 위치 결정용 롤러(29)가 카세트(K)의 외측 수직면(Kx 또는 Ky)에 맞닿은 후에는 도 7b에 도시한 바와 같이 짐 지지용 롤러(30)가 카세트(K)에 의해 밀려내려옴에 따라 가동 레버(28a, 28b), 짐 위치 결정용 롤러(29) 및 짐 지지용 롤러(30)와 함께 가동대(5)가 가동대 가압 수단(14)의 가압력에 저항하여 후퇴 이동하게 된다.

상기한 가동대(5)의 후퇴 이동 시에는 지지 자세로의 가동 레버(28a, 28b)의 경사 이동에 따라 짐 지지용 롤러(30)가 카세트(K)의 바닥면에 압접된 상태에서 외측으로 후퇴 이동하는데, 이때 짐 지지용 롤러(30)가 자전함으로써 커다란 저항은 발생하지 않는다. 이리하여, 가동대(5)의 후퇴 이동은 도 7b에 도시한 바와 같이, 짐 지지용 롤러(30)를 통하여 카세트(K)에 의해 전단부가 밀려내려가는 가동 레버(28a, 28b)가 지지 자세에 도달하여 가동대(5) 상의 스토퍼 부재(36a, 36b)에서 받아내어진 상태에서 종료한다. 이때, 카세트(K)의 위치 어긋남은 교정되어 있지 않으며, 위치 어긋남 상태인 채로 각 짐 위치 결정 장치(1A~1H)의 짐 지지용 롤러(30), 가동 레버(28a, 28b), 스토퍼 부재(36a, 36b), 가동대(5), 중간 가동체(7) 및 기대(4)를 통하여 고정대부(3)에 소정의 지지 레벨에서 지지되게 된다.

상기와 같이 카세트(K)가 위치 어긋남 상태인 채로 소정의 지지 레벨에서 지지된 후, 이재기의 카세트 지지대(T)는 계속 강하하여 카세트(K)로부터 하방으로 떨어지고, 해당 카세트(K)의 하측 영역으로부터 횡측방으로 수평하게 퇴출 이동하는 것인데, 이재기의 카세트 지지대(T)가 카세트(K)로부터 하방으로 떨어짐으로써 해당 카세트(K)와 이재기의 카세트 지지대(T)의 지지면(Ta) 사이의 커다란 마찰 저항이 없어지므로, 짐 지지용 롤러(30)를 통하여 소정의 지지 레벨에서 카세트(K)를 지지하고 있는 가동대(5)의 전후 이동 방향의 미끄럼 저항보다 가동대 가압 수단(14)의 가압력(압축 코일 스프링(18)의 반발력)이 이기게 되어 해당 가동대 가압 수단(14)의 가압력이 후퇴 위치에 있던 가동대(5)를 전진 이동시키게 된다. 이때 가동대(5) 상의 짐 위치 결정용 롤러(29) 및 짐 지지용 롤러(30)도 가동대(5)와 일 체로 전진 이동하므로, 짐 지지용 롤러(30)에 의해 지지되어 있는 카세트(K)가 짐 위치 결정용 롤러(29)에 의해 정위치 측으로 밀려 이동한다. 그리고, 도 7c에 도시한 바와 같이, 기대(4) 측의 개구부(9)의 전측변에 중간 가동체(7) 측의 사각형 부재(10)가 맞닿는 전진 한계 위치에 가동대(5)가 도달하였을 때, 카세트(K)의 위치 어긋남은 교정되어 정위치에 위치하게 된다.

이상의 설명은 카세트(K)를 정위치 측으로 밀어 이동시켜 위치 어긋남을 교정하는 측의 짐 위치 결정 장치의 작용인데, 이 정위치 측으로 밀려 이동되는 카세트(K)의 이동 방향 측에 위치하는 짐 위치 결정 장치에서는 카세트(K)의 외측 수직면(Kx 또는 Ky)이 정위치보다 내측으로 들어간 상태에서 카세트(K)가 짐 지지용 롤러(30) 상에 내려지므로 이 카세트(K)에 의해 짐 지지용 롤러(30)가 밀려내려감에 따라 상승함과 아울러 내측으로 이동하는 짐 위치 결정용 롤러(29)는 카세트(K)의 외측 수직면(Kx 또는 Ky)과 맞닿지 않는다. 그리고 해당 카세트(K)가 상기와 같이 정위치 측으로 밀려 이동될 때에는 짐 지지용 롤러(30)를 전동시키면서 카세트(K)가 원활하게 이동하고, 해당 카세트(K)가 정위치에 도달하였을 때 해당 카세트(K)의 외측 수직면(Kx 또는 Ky)이 짐 위치 결정용 롤러(29)에 접하게 된다. 따라서, 정위치에 밀려 이동된 카세트(K)는 최종적으로 그 이동 방향의 양측에 위치하는 짐 위치 결정 장치의 짐 위치 결정용 롤러(29)에 의해 끼워져서 정위치에 유지되게 된다.

카세트(K)를 정위치 측으로 밀어 이동시킬 때, 그 이동 방향과 직교하는 방향의 양측에 위치하는 짐 위치 결정 장치에 있어서는 카세트(K)는 지지 레벨까지 밀어내린 짐 지지용 롤러(30) 상을 그 축심 방향을 따라 좌우 횡방향으로 횡이동하게 된다. 이때, 가동 레버(28a, 28b)를 통하여 해당 짐 지지용 롤러(30)를 지지하고 있는 가동대(5)는 기대(4)(중간 가동체(7))에 대하여 좌우 횡방향 일정 범위 내에서 횡이동 가능하며, 제2 가동대 가압 수단(20)에 의해 좌우 횡방향 이동 범위의 중앙 위치에 센터링되어 있을 뿐이므로, 카세트(K)가 짐 지지용 롤러(30) 상을 그 축심 방향을 따라 좌우 횡방향으로 횡이동할 때 가동대(5)를 포함하는 해당 가동대(5) 상의 장치 전체가 짐 지지용 롤러(30)를 통하여 카세트(K)와 일체로 좌우 횡방향으로 제2 가동대 가압 수단(20)의 가압력에 저항하여 횡이동하게 된다. 따라서, 카세트(K)를 정위치 측으로 밀어 이동시킬 때, 그 이동 방향과 직교하는 방향의 양측에 위치하는 짐 위치 결정 장치가 커다란 저항이 되지 않아 원활하게 위치 어긋남 교정 작용을 수행시킬 수 있다. 게다가, 가동대(5)는 중간 가동체(7)에 대하여 카세트(K)와 함께 좌우 횡방향으로 횡이동하는 것으로서, 중간 가동체(7)는 좌우 횡방향으로는 횡이동하지 않으므로, 해당 중간 가동체(7)에 연속되어 설치된 가동대 가압 수단(14)에는 영향을 주지 않는다.

도 8은 예컨대 취급하는 카세트(K) 등의 짐이 비교적 경량인 경우 등에 채용할 수 있는 구성을 나타내고 있으며, 이 구성에서는 짐 위치 결정용 롤러(29)와 짐 지지용 롤러(30)가 가동대(5) 상에 위치 고정적으로 배열 설치된다. 구체적으로는, 짐 위치 결정용 롤러(29)와 짐 지지용 롤러(30)는 가동대(5) 상에 고착시켜 세워 설치한 좌우 한 쌍의 베어링판(37) 사이에 앞에서 나타낸 제1 실시 형태에서의 가동 레버(28a, 28b)가 지지 자세에 있을 때의 위치(도 7b, c에서 도시한 위치)에 있어서 각각 수평 지축(33, 34)에 의해 축지지된다. 이 구성에서는, 정위치로부터 외측으로 어긋난 위치에서 수직으로 내려지는 카세트(K)는 짐 위치 결정용 롤러(29)를 직접 외측(가동대(5)의 후퇴 방향)으로 밀어내어 가동대(5)를 가동대 가압 수단(14)에 저항하여 후퇴 이동시키면서 짐 지지용 롤러(30) 상에 올려진다.

도 9~도 11은 가동대 가압 수단(14)과 제2 가동대 가압 수단(20)에 관한 변형예를 도시하고 있다. 이 구성에서는, 중간 가동체(7)와 기대(4)를 상하 방향으로 관통하는 기둥부(38a)를 구비한 스프링단 걸림편(38)이 상기 기둥부(38a)의 상단부에 있어서 가동대(5)의 바닥면에 고정되고, 기대(4)는 부착판(39) 상에 주변 복수 개소의 연결 부재(40)를 통하여 고정 지지되고, 해당 부착판(39) 전측변에 부착한 좌우 한 쌍의 스프링단 걸림 볼트(41a, 41b)와 상기 스프링단 걸림편(38) 사이에 기대(4)와 부착판(39) 사이의 공간을 이용하여 좌우 한 쌍의 인장 코일 스프링(42a, 42b)을 걸어 팽팽하게 하였다. 이들 각 인장 코일 스프링(42a, 42b)의 초기 인장 응력은 스프링단 걸림 볼트(41a, 41b)의 전후 방향의 위치 조정에 의해 조절할 수 있다.

상기 스프링단 걸림편(38)의 기둥부(38a)는 기대(4)에 설치된 개구부(43)와 중간 가동체(7)에 설치된 개구부(44)를 관통하고 있다. 이리하여, 기대(4)의 개구부(43)는 도 11에 가상선으로 도시한 바와 같이, 기둥부(38a)가 전후 좌우 양방향으로 상대 이동할 수 있는 넓이의 평면 사각형의 것이고, 중간 가동체(7)의 개구부(44)는 도 10에 도시한 바와 같이 기둥부(38a)가 좌우 횡방향으로만 상대 이동할 수 있는 가로로 긴 구멍으로 되어 있다. 따라서 가동대(5)는 기대(4) 측의 개구 부(43) 내에서의 기둥부(38a)의 전후 방향 이동 범위 내에서 기대(4)(부착판(39))에 대하여 전후 이동 가능함과 아울러, 중간 가동체(7) 측의 개구부(44) 내에서의 기둥부(38a)의 좌우 방향 이동 범위 내에서 기대(4)(중간 가동체(7) 및 부착판(39))에 대하여 좌우 횡방향으로 이동 가능하다. 또한, 좌우 한 쌍의 인장 코일 스프링(42a, 42b)은 도 11에 도시한 바와 같이, 각각의 장력에 의해 평면에서 보았을 때 서로 반대 방향으로 경사지는 좌우 대칭형으로 안정된 것으로서, 이때 두 인장 코일 스프링(42a, 42b)의 장력은 주로 가동대(5)를 전방으로 가압하여 기둥부(38a)가 기대(4) 측의 개구부(43)의 전측변에 맞닿는 전진 한계 위치에 유지하는 것인데, 두 인장 코일 스프링(42a, 42b)의 장력의 일부는 가동대(5)를 좌우 횡방향의 이동 범위(중간 가동체(7) 측의 개구부(44) 내에서의 기둥부(38a)의 좌우 방향 이동 범위)의 중앙 위치에 센터링하는 데에도 도움이 되고 있다.

바꾸어 말하면, 도 9~도 11에 도시한 구성에서는 가동대(5)와 고정측(부착판(39)) 사이에 좌우 대칭의 비스듬한 방향으로 개재 장착된 좌우 한 쌍의 인장 코일 스프링(42a, 42b)은, 가동대(5)를 전진 한계 위치에 탄성 바이어스 유지하는 가동대 가압 수단(14)과 가동대(5)를 좌우 횡방향의 이동 범위의 중앙 위치에 센터링하는 제2 가동대 가압 수단(20)을 겸용하고 있다. 전체의 작용은 앞의 실시 형태의 것과 다르지 않으므로 설명은 생략한다.

도 1~도 11에 도시한 실시 형태에서는 가동대(5)는 전후 방향의 이동뿐만 아니라 좌우 횡방향의 이동도 가능하게 하여, 가동대(5)를 전진 한계 위치에 탄성 바이어스 유지하는 가동대 가압 수단(14)과, 가동대(5)를 좌우 횡방향의 이동 범위의 중앙 위치에 센터링하는 제2 가동대 가압 수단(20)을 설치하였으나, 예컨대 취급하는 짐(카세트(K) 등)이 경량인 경우 등에는 가동대(5)는 전후 방향의 이동만을 가능하게 구성할 수도 있다.

예컨대 도 12~도 14에 도시한 바와 같이, 기대(4) 상에 부설된 전후 방향의 슬라이드 가이드 레일(45)에 전후 방향 미끄럼 이동 가능하게 끼워져 결합되는 슬라이더(46)에 가동대(5)를 부착하고, 가동대 가압 수단(14)은 가동대(5)의 바닥면에 부착한 좌우 한 쌍의 스프링 받침 부재(47a, 47b)와 기대(4) 상에 부착한 좌우 한 쌍의 전후 방향 스프링 받침 볼트(48a, 48b) 사이에 좌우 한 쌍의 압축 코일 스프링(49a, 49b)을 전후 방향으로 개재 장착하여 구성하고 있다. 따라서 가동대(5)는 가동대 가압 수단(14)의 좌우 한 쌍의 압축 코일 스프링(49a, 49b)에 의해 전방으로 탄성 바이어스되고, 기대(4)에 돌출 설치한 좌우 한 쌍의 스토퍼 부재(50a, 50b)에 가동대(5) 측의 좌우 한 쌍의 스프링 받침 부재(47a, 47b)가 맞닿는 전진 한계 위치에 유지된다. 게다가, 좌우 한 쌍의 압축 코일 스프링(49a, 49b)은 스프링 받침 볼트(48a, 48b)의 전후 방향의 위치 조정에 의해 초기 압축 응력을 조절할 수 있다.

상기 구성에서는 가동대(5)는 가동대 가압 수단(14)의 좌우 한 쌍의 압축 코일 스프링(49a, 49b)에 저항하여 후퇴 이동할 수 있는데, 좌우 횡방향으로는 횡이동할 수 없는 구조이기 때문에 위치 어긋남이 교정될 때의 카세트(K)의 이동 방향에 대하여 직교하는 방향의 양측에 위치하는 짐 위치 결정 장치에 있어서는 그 짐 지지용 롤러(30)에 의해 지지되어 있는 카세트(K)가 해당 짐 지지용 롤러(30)에 대 하여 축심 방향으로 슬라이딩 접촉 이동하게 되는데, 다른 작용은 상기 실시 형태의 것과 다를 바 없다.

또한 상기 실시 형태에서는 위치 결정용 롤러(29)가 카세트(K)의 외주의 외향 수직면(외측 수직면(Kx 또는 Ky))에 인접하고, 카세트(K)의 위치 어긋남을 교정함에 있어서는 위치 결정용 롤러(29)가 카세트(K)의 외주의 외향 수직면(외측 수직면(Kx 또는 Ky))을 내측으로 밀어 이동시키도록 구성하고 있는데, 위치 결정용 롤러(29)가 수평 횡방향으로 미는 카세트(K) 측의 수직면은 카세트(K)의 외주의 외향 수직면에 한정되지 않는다.

예컨대 카세트(K)의 바닥부가 틀 구조인 경우, 해당 카세트(K)의 외주의 외향 수직면보다 내측에 위치하는 외향 수직면을 위치 결정용 롤러(29)가 내측으로 밀어 이동시키도록 구성할 수도 있고, 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 각 짐 위치 결정 장치(1A~1H)의 짐 지지용 롤러(30)가 카세트(K)의 외주 틀재(Kf)의 내측 수직면(Kx' 또는 Ky')을 외향으로 밀어 이동시키도록 구성하는 것도 가능하다. 이 경우에는 각 짐 위치 결정 장치(1A~1H)의 짐 지지용 롤러(30)가 카세트(K)의 외주 틀재(Kf)의 바닥면을 지지함과 아울러, 각 위치 결정용 롤러(29)가 카세트(K)의 외주 틀재(Kf)의 내측에 상향으로 들어가게 된다. 이 구성에 따르면, 카세트(K)의 내림 영역(K')의 외측에 각 짐 위치 결정 장치(1A~1H)의 위치 결정용 롤러(29)를 배치하지 않아도 되므로 짐 위치 결정 장치(1A~1H)를 구비한 카세트 지지대 전체의 평면 사이즈를 작게 할 수 있다.

또한 수평 2차원 방향의 일방향, 예컨대 X 방향의 카세트(K)위 위치 어긋남 교정은 위치 결정용 롤러(29)가 카세트(K)의 외향 수직면(외측 수직면(Kx 또는 Ky))을 내향으로 밀어 이동시키는 짐 위치 결정 장치에 의해 수행시키고, Y 방향의 카세트(K)의 위치 어긋남 교정은 위치 결정용 롤러(29)가 카세트(K)의 내측 수직면(Kx' 또는 Ky')을 외향으로 밀어 이동시키는 짐 위치 결정 장치에 의해 수행시키도록 구성하는 것도 가능하다.

더욱이, 상기 각 실시 형태에서는 카세트(K)의 X 방향 양측의 수직면(Kx 또는 Kx')에 대하여 각각 두 개의 짐 위치 결정 장치(1A, 1H 및 1D, 1E)를 배열 설치하고, 카세트(K)의 Y 방향 양측의 수직면(Ky 또는 Ky')에 대하여 각각 두 개의 짐 위치 결정 장치(1B, 1C 및 1F, 1G)를 배열 설치하였으나, 카세트(K)의 X 방향 양측의 수직면(Kx 또는 Kx')에 대하여 각각 하나의 짐 위치 결정 장치를 배열 설치하고, 카세트(K)의 Y 방향 양측의 수직면(Ky 또는 Ky')에 대하여 각각 하나의 짐 위치 결정 장치를 배열 설치할 수도 있다.

구체적으로는, 도 1 및 도 15에 도시한 카세트(K)의 네 개의 코너부 각각의 직각 두 수직면(Kx, Ky 또는 Kx', Ky')에 대응하여 두 개씩 배열 설치한 짐 위치 결정 장치((1A, 1B)(1C, 1D)(1E, 1F)(1G, 1H)) 중 카세트(K)의 일 대각 방향의 두 세트의 짐 위치 결정 장치, 예컨대 짐 위치 결정 장치((1C, 1D)(1G, 1H))를 생략하고 나머지 대각 방향의 2세트의 짐 위치 결정 장치, 예컨대 짐 위치 결정 장치((1A, 1B)(1E, 1F))로만 카세트 위치 어긋남 자동 교정 장치(2)를 구성할 수 있다. 이 경우, 도 17에 도시한 바와 같이, 짐 위치 결정 장치를 생략한 카세트(K)의 대각 방향 양 코너부 부근에, 수평면 상에서의 카세트(K)의 임의의 방향의 이동 을 허용하는 지지 수단(플로팅 유닛)(51, 52)을 배열 설치하는 것이 바람직하다.

본 발명의 짐 위치 결정 장치를 구비한 카세트 위치 어긋남 자동 교정 장치(2)는 카세트(K)가 보관되는 자동 창고의 선반 안이나 선반 옆 등의 대지적으로 위치 고정 장소에 설치되는 카세트 주고받음 위치(기판 취출 위치 등)에 병설되는 것 이외에, 해당 카세트(K)를 반송하는 반송 대차 상에 설치할 수도 있다. 물론, 본 발명의 짐 위치 결정 장치는 박판형 기판의 반송용 카세트(K)에 대한 위치 결정에 한정되지 않으며, 이재기에 의해 수직으로 내려져서 정위치에 지지되는 각종 짐의 상기 정위치에 대한 수평 2차원 방향의 위치 어긋남을 교정하는 수단으로서 활용할 수 있다. 게다가, 도시한 실시 형태 및 몇 개의 변형예는 서로 조합하여 다른 실시 형태를 구성할 수 있다.

도 1은 본 발명의 짐 위치 결정 장치를 이용하여 구성한 카세트 위치 어긋남 자동 교정 장치를 개략적으로 도시한 도면으로서, 도 1a는 평면도, 도 1b는 동 요부의 확대 평면도이다.

도 2는 본 발명의 짐 위치 결정 장치의 일 실시 형태를 보인 도면으로서, 도 2a는 평면도, 도 2b는 일부 종단 측면도이다.

도 3a는 기대를 도시한 횡단 평면도, 도 3b는 중간 가동체와 가동대 가압 수단을 도시한 평면도이다.

도 4a는 가동대의 바로 아래 위치에서의 횡단 평면도, 도 4b는 가동대 상의 부착 부품을 제거한 상태의 평면도이다.

도 5는 제2 가동대 가압 수단의 인장 코일 스프링을 제거한 상태에서 일부를 종단면으로 보인 배면도이다.

도 6은 짐 지지용 롤러가 지지 레벨로 내려온 상태에서의 종단 배면도이다.

도 7은 작용을 설명하는 도면으로서, 도 7a는 내려지는 카세트가 짐 지지용 롤러를 밀어내리기 직전의 상태에서의 종단 측면도, 도 7b는 내려지는 카세트가 짐 지지용 롤러에 의해 지지된 상태에서의 종단 측면도, 도 7c는 짐 지지용 롤러에 의해 지지된 카세트가 위치 어긋남을 교정받은 상태에서의 종단 측면도이다.

도 8은 짐 위치 결정용 롤러와 짐 지지용 롤러의 지지 구조의 변형예를 설명하는 도면으로서, 도 8a는 내려지는 카세트가 짐 위치 결정용 롤러를 후방으로 밀어 이동시키기 직전의 상태에서의 종단 측면도, 도 8b는 내려지는 카세트가 짐 지 지용 롤러에 의해 지지된 상태에서의 종단 측면도, 도 8c는 짐 지지용 롤러에 의해 지지된 카세트가 위치 어긋남을 교정받은 상태에서의 종단 측면도이다.

도 9는 가동대 가압 수단의 변형예를 보인 종단 측면도이다.

도 10은 상기 변형예의 중간 가동체와 기대를 보인 일부 횡단 평면도이다.

도 11은 상기 변형예의 가동대 가압 수단을 도시한 횡단 평면도이다.

도 12는 가동대 지지 구조의 변형예를 보인 종단 측면도이다.

도 13은 상기 변형예의 가동대 가압 수단을 도시한 평면도이다.

도 14는 상기 변형예의 일부 종단 배면도이다.

도 15는 또 다른 변형예를 보인 개략 평면도이다.

도 16은 도 15의 A-A선 확대 단면도이다.

도 17은 본 발명의 짐 위치 결정 장치의 다른 사용예를 보인 개략 평면도이다.

Claims (6)

1. 일정 범위 내에서 수평 전후 이동 가능한 가동대, 이 가동대를 전진 한계 위치에 가압유지하는 가동대 가압 수단, 수직으로 내려지는 짐의 바닥면을 지지하며 또한 해당 짐의 수평면 상의 횡이동을 허용하는 짐 지지부, 및 상기 가동대의 이동 방향에 대하여 직교하는 수평 지축에 의해 해당 가동대 상에 축지지되며 또한 상기 짐 지지부 상에서 정위치에 지지된 짐의 수직면에 인접하는 짐 위치 결정용 롤러를 구비한 짐 위치 결정 장치로서,

   상기 가동대 가압 수단은, 이재기에 지지된 짐이 평면에서 보았을 때 정위치에 대하여 상기 짐 위치 결정용 롤러와 중첩되는 위치에서 수직으로 내려질 때에는 이 짐 위치 결정용 롤러와 함께 상기 가동대가 후퇴 이동하는 것을 허용하지만, 해당 짐이 상기 짐 지지부에 의해 지지되며 또한 이재기가 해당 짐으로부터 떨어졌을 때에는 상기 짐 위치 결정용 롤러를 통하여 해당 짐을 정위치까지 되밀도록 상기 가동대를 전진 한계 위치까지 복귀 이동시킬 수 있는 세기의 가압력을 갖는 것을 특징으로 하는 짐 위치 결정 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 짐 지지부가 상기 가동대 상에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 짐 위치 결정 장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 짐 지지부는 상기 가동대의 전후 이동 방향에 대하 여 직교하는 수평축에 의해 축지지된 짐 지지용 롤러로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 짐 위치 결정 장치.
4. 제 3 항에 있어서, 가동 레버, 스토퍼 및 가동 레버 가압 수단을 구비하며,

   상기 가동 레버는 그 중간 위치가 상기 짐 위치 결정용 롤러와 평행한 수평축으로 상기 가동대 상에 시소 운동이 자유롭게 축지지되고, 이 가동 레버의 일단 측에 상기 짐 위치 결정용 롤러가 축지지됨과 아울러 해당 가동 레버의 타단 측에 상기 짐 지지용 롤러가 축지지되고,

   상기 스토퍼는 상기 가동 레버의 시소 운동 범위를 상기 짐 지지용 롤러가 짐 지지 레벨에 위치함과 아울러 상기 짐 위치 결정용 롤러가 상기 짐 지지용 롤러 상에서 정위치에 지지된 짐의 수직면에 인접하는 지지 자세와 상기 짐 지지용 롤러가 상기 짐 지지 레벨보다 상방으로 돌출하는 경사 이동 자세 사이로 제한하고,

   상기 가동 레버 가압 수단은 상기 가동 레버를 상기 경사 이동 자세로 가압유지하는 것을 특징으로 하는 짐 위치 결정 장치.
5. 제 2 항에 있어서, 상기 가동대는 일정 범위 내에서 수평 전후 방향과 수평 좌우 방향의 양방향으로 이동 가능하게 지지됨과 아울러, 수평 좌우 방향 이동 범위의 중심 위치에 센터링되는 제2 가동대 가압 수단이 병설되고,

   이 제2 가동대 가압 수단은 상기 짐 지지부 상에 지지된 짐과 함께 상기 가동대가 수평 좌우 방향으로 이동하는 것을 허용할 정도의 세기의 가압력을 갖는 것 을 특징으로 하는 짐 위치 결정 장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 가동대 가압 수단과 상기 제2 가동대 가압 수단은 상기 가동대와 가동대 지지대부 사이에서 좌우 대칭의 비스듬한 방향으로 장설된 좌우 한 쌍의 스프링에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 짐 위치 결정 장치.

Images