KR101885434B1 - 구동 모듈 및 이를 포함하는 타워 리프트 - Google Patents

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Abstract

타워 리프트가 개시된다. 상기 타워 리프트는, 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임과, 상기 메인 프레임을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈과, 상기 메인 프레임의 상부에 배치되며 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈을 포함한다. 상기 구동 모듈은, 일단부가 상기 캐리지 모듈과 연결되고 타단부가 웨이트 모듈에 연결되는 복수의 타이밍 벨트들과, 상기 타이밍 벨트들이 결합되는 복수의 기어부들을 갖고 일체형으로 구성된 타이밍 풀리와, 상기 타이밍 풀리를 회전시키기 위한 구동 유닛을 포함한다.

Description

구동 모듈 및 이를 포함하는 타워 리프트{DRIVING MODULE AND TOWER LIFT INCLUDING THE SAME}
본 발명의 실시예들은 구동 모듈(Driving Module) 및 이를 포함하는 타워 리프트(Tower Lift)에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 이송 대상물의 승강을 위한 캐리지 모듈(Carriage Module)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈과 이를 포함하는 타워 리프트에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 또는 디스플레이 제조 공장의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들에는 증착, 노광, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치될 수 있으며, 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 기판으로서 사용되는 유리 기판에 대하여 일련의 단위 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 장치 또는 디스플레이 장치가 제조될 수 있다.
한편, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송 즉 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재들의 이송은 상기 각 층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다.
상기 타워 리프트는 자재 이송을 위한 캐리지 모듈과 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일들이 설치되는 메인 프레임과 타이밍 벨트들을 이용하여 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈 등을 포함할 수 있다. 그러나, 타이밍 벨트들과 각각 결합되는 복수의 타이밍 풀리들을 이용하는 경우 상기 캐리지 모듈에 의해 인가되는 하중에 의해 상기 타이밍 풀리들이 손상되는 문제점이 발생될 수 있으며, 또한 타워 리프트의 높이가 높아질수록 상기 타이밍 벨트들이 상기 타이밍 풀리들로부터 이탈되는 문제점이 발생될 수 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-0877117호 (등록일자: 2008년 12월 26일) 대한민국 공개특허공보 제10-2010-0073670호 (공개일자: 2010년 07월 01일)
본원발명의 실시예들은 타이밍 풀리의 강성을 개선하고 타이밍 벨트들의 이탈을 방지할 수 있는 구동 모듈과 이를 포함하는 타워 리프트를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 타워 리프트의 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈에 있어서, 상기 구동 모듈은, 일단부가 상기 캐리지 모듈과 연결되고 타단부가 웨이트 모듈에 연결되는 복수의 타이밍 벨트들과, 상기 타이밍 벨트들이 결합되는 복수의 기어부들을 갖고 일체형으로 구성된 타이밍 풀리와, 상기 타이밍 풀리를 회전시키기 위한 구동 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타이밍 풀리의 양쪽 측면들과 상기 기어부들 사이에는 상기 타이밍 벨트들이 상기 기어부들로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 가이드 링들이 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타이밍 풀리의 중심보다 낮은 위치에서 상기 타이밍 풀리의 양측에 각각 배치되며 상기 타이밍 벨트들이 상기 기어부들로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 타이밍 벨트들의 외측면을 상기 타이밍 벨트들의 내측면을 향하여 밀어주는 이탈 방지 유닛이 더 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이탈 방지 유닛은 상기 타이밍 벨트들의 외측면에 밀착되는 이탈 방지 롤러들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타이밍 풀리의 중심축과 평행한 방향으로 상기 타이밍 벨트들 사이 그리고 상기 타이밍 벨트들의 양쪽 측면들에 인접하게 배치되며 상기 타이밍 벨트들의 위치를 정렬하기 위한 위치 정렬 유닛이 더 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 위치 정렬 유닛은, 상기 타이밍 벨트들 사이에 배치되는 적어도 하나의 제1 위치 정렬 롤러와, 상기 타이밍 벨트들의 양쪽 측면들에 인접하게 배치되는 제2 위치 정렬 롤러들과, 상기 제1 위치 정렬 롤러가 장착되는 고정 블록과, 상기 제2 위치 정렬 롤러들이 각각 장착되며 상기 타이밍 풀리의 중심축과 평행한 방향으로 이동 가능하게 구성되는 가동 블록들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 위치 정렬 유닛은, 상기 가동 블록들의 양측에 각각 배치되는 제2 고정 블록들과, 상기 가동 블록들과 상기 제2 고정 블록들 사이에 각각 배치되는 탄성 부재들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타이밍 풀리의 중심 부위를 관통하는 구동축과 연결되는 전자 브레이크가 더 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타이밍 풀리와 상기 구동축 사이에는 부시(bush)가 삽입될 수 있으며, 상기 타이밍 풀리와 상기 부시 사이 그리고 상기 부시와 상기 구동축 사이에는 회전력 전달을 위한 키이(key)가 각각 삽입될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 타워 리프트는, 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임과, 상기 메인 프레임을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈과, 상기 메인 프레임의 상부에 배치되며 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈을 포함할 수 있으며, 상기 구동 모듈은, 일단부가 상기 캐리지 모듈과 연결되고 타단부가 웨이트 모듈에 연결되는 복수의 타이밍 벨트들과, 상기 타이밍 벨트들이 결합되는 복수의 기어부들을 갖고 일체형으로 구성된 타이밍 풀리와, 상기 타이밍 풀리를 회전시키기 위한 구동 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동 모듈은, 상기 타이밍 풀리의 중심보다 낮은 위치에서 상기 타이밍 풀리의 양측에 각각 배치되며 상기 타이밍 벨트들이 상기 기어부들로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 타이밍 벨트들의 외측면을 상기 타이밍 벨트들의 내측면 방향으로 밀어주는 이탈 방지 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동 모듈은, 상기 타이밍 풀리의 중심축과 평행한 방향으로 상기 타이밍 벨트들 사이 그리고 상기 타이밍 벨트들의 양쪽 측면들에 인접하게 배치되며 상기 타이밍 벨트들의 위치를 정렬하기 위한 위치 정렬 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 위치 정렬 유닛은, 상기 타이밍 벨트들 사이에 배치되는 적어도 하나의 제1 위치 정렬 롤러와, 상기 타이밍 벨트들의 양쪽 측면들에 인접하게 배치되는 제2 위치 정렬 롤러들과, 상기 제1 위치 정렬 롤러가 장착되는 고정 블록과, 상기 제2 위치 정렬 롤러들이 각각 장착되며 상기 타이밍 풀리의 중심축과 평행한 방향으로 이동 가능하게 구성되는 가동 블록들과, 상기 가동 블록들의 양측에 각각 배치되는 제2 고정 블록들과, 상기 가동 블록들과 상기 제2 고정 블록들 사이에 각각 배치되는 탄성 부재들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 타이밍 벨트들이 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈의 추락을 방지하기 위하여 상기 메인 프레임에 밀착되는 브레이크 모듈들이 더 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 브레이크 모듈들은, 브레이크 디스크와, 상기 브레이크 디스크의 중심으로부터 소정 거리 이격된 회전축과, 상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착되어 제동력이 발생되도록 상기 브레이크 디스크를 회전시키는 브레이크 구동 유닛을 각각 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 회전축은 상기 브레이크 디스크의 중심으로부터 상방으로 이격되며, 상기 회전축보다 낮게 위치되는 상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타이밍 벨트들과 상기 캐리지 모듈 사이를 연결하는 연결 유닛들이 더 구비될 수 있으며, 상기 연결 유닛들은, 상기 캐리지 모듈에 장착된 연결 브래킷과, 상기 연결 브래킷을 관통하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성되며 상기 타이밍 벨트와 연결되는 상단부를 갖는 연결 로드와, 상기 연결 브래킷의 하부에서 상기 연결 로드에 결합되며 상기 연결 로드가 상기 연결 브래킷으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지 부재와, 상기 연결 브래킷과 상기 이탈 방지 부재 사이에 배치되며 상기 타이밍 벨트가 파단되는 경우 상기 연결 로드를 하방으로 이동시키기 위해 탄성 복원력을 제공하는 탄성 부재를 각각 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 브레이크 구동 유닛은, 상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착되는 방향으로 회전력을 제공하는 구동 부재와, 상기 타이밍 벨트의 정상 상태에서 상기 브레이크 디스크의 회전을 차단하고 상기 타이밍 벨트가 파단되는 비정상 상태에서 상기 브레이크 디스크가 회전되도록 상기 차단 상태를 해제하는 스토퍼를 포함하며, 상기 스토퍼는 상기 연결 로드의 하방 이동에 연동하여 상기 차단 상태를 해제할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타이밍 벨트들이 파단되는 것을 감지하기 위한 센서들이 더 구비될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 구동 모듈을 포함하는 타워 리프트에서 상기 구동 모듈은, 일단부가 캐리지 모듈과 연결되고 타단부가 웨이트 모듈에 연결되는 복수의 타이밍 벨트들과, 상기 타이밍 벨트들이 결합되는 복수의 기어부들을 갖고 일체형으로 구성된 타이밍 풀리와, 상기 타이밍 풀리를 회전시키기 위한 구동 유닛을 포함할 수 있다. 특히, 상기 타이밍 풀리가 일체형으로 구성되므로 종래 기술에서의 캐리지 모듈의 하중에 의한 변형 및 손상이 크게 감소될 수 있다.
아울러, 상기 타이밍 풀리들의 양측에는 타이밍 벨트들의 이탈을 방지하기 위한 이탈 방지 유닛들과 타이밍 벨트들의 위치를 정렬하기 위한 위치 정렬 유닛이 각각 배치될 수 있으며, 이에 따라 상기 타이밍 벨트들의 이탈 및 위치 오정렬에 따른 상기 타이밍 벨트들의 손상 및 파단이 충분히 감소될 수 있고, 아울러 상기 캐리지 모듈의 승강이 보다 안정적으로 이루어질 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 모듈과 이를 포함하는 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 구동 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 타이밍 풀리를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 이탈 방지 유닛과 위치 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 이탈 방지 유닛과 위치 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 7은 도 1에 도시된 메인 프레임과 가이드 레일들을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 8은 도 2에 도시된 승강 프레임의 후면에 장착된 브레이크 모듈과 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 배면도이다.
도 9 및 도 10은 도 8에 도시된 브레이크 모듈의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 11은 도 8에 도시된 상부 및 하부 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 모듈과 이를 포함하는 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 모듈(200)과 이를 포함하는 타워 리프트(100)는 수직 방향으로 물건을 이송하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 반도체 또는 디스플레이 제조 설비들이 배치된 복층의 제조 공장에서 각 층들로의 자재 이송을 위해 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 타워 리프트(100)는, 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임(102)과, 상기 메인 프레임(102)의 전방에 배치되며 상기 메인 프레임(102)을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈(110)과, 상기 메인 프레임(102)의 상부에 배치되며 타이밍 벨트들(202)을 통해 상기 캐리지 모듈(110)과 연결되고 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈(200)을 포함할 수 있다.
또한, 상기 타워 리프트(100)는, 상기 메인 프레임(102)을 따라 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 가이드 레일들(104)과, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착되며 상기 가이드 레일들(104)을 따라 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 안내하는 가이드 유닛들(120, 130)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들에는 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 가이드 레일들(104)이 구비될 수 있으며, 상기 캐리지 모듈(110)에는 상기 가이드 레일들(104)에 결합되는 상부 가이드 유닛들(120)과 하부 가이드 유닛들(130)이 장착될 수 있다.
추가적으로, 상기 타워 리프트(100)는, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착되며 상기 타이밍 벨트들(202)이 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈(110)의 추락을 방지하기 위하여 상기 메인 프레임(102)에 밀착되는 브레이크 모듈(150)을 포함할 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 캐리지 모듈(110)은, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들(120, 130)과 브레이크 모듈(150)이 장착되는 후면을 갖는 승강 프레임(112) 및 상기 승강 프레임(112)에 장착되며 이송 대상물, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재(10)를 핸들링하기 위한 캐리지 로봇(118)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 승강 프레임(112)은 상기 후면을 갖는 승강 플레이트(114)와 상기 캐리지 로봇(118)이 설치되는 서포트 플레이트(116; Support Plate)를 포함할 수 있으며, 상기 캐리지 로봇(118)은, 예를 들면, 도시된 바와 같이 복수의 기판들이 수납되는 풉(FOUP)과 같은 수납 용기를 핸들링할 수 있다. 추가적으로, 도시된 바와 같이, 상기 승강 프레임(112)에는 상기 캐리지 로봇(116)에 의해 운반된 수납 용기를 파지하기 위한 홀딩 유닛(119)이 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 타이밍 벨트들(202)의 일단부에는 상기 캐리지 모듈(110)이 연결될 수 있으며, 상기 타이밍 벨트들(202)의 타단부에는 상기 캐리지 모듈(110)의 안정적인 수직 이동을 위한 웨이트 모듈(140; Weight Module)이 연결될 수 있다. 또한, 상기 캐리지 모듈(110)과 웨이트 모듈(140)에는 균형 벨트(142)가 연결될 수 있으며, 상기 메인 프레임(102)의 하부에는 상기 균형 벨트(142)에 소정의 인장력을 인가하기 위한 오토 텐셔너(144; Auto Tensioner)가 배치될 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 구동 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 타이밍 풀리를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 구동 모듈(200)은, 상기 캐리지 모듈(110)과 웨이트 모듈(140)에 연결되는 복수의 타이밍 벨트들(202)과, 상기 타이밍 벨트들(202)이 결합되는 복수의 기어부들(212)을 갖고 일체형으로 구성된 타이밍 풀리(210)와, 상기 타이밍 풀리(210)를 회전시키기 위한 구동 유닛(230)을 포함할 수 있다.
예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 구동 모듈(200)은 2열의 타이밍 벨트들(202)을 포함할 수 있으며, 상기 타이밍 풀리(210)는 상기 타이밍 벨트들(202)에 각각 대응하는 2개의 기어부들(212; Gear Portions)을 가질 수 있다. 특히, 상기 타이밍 풀리(210)의 양쪽 측면들과 상기 기어부들(212) 사이에는 상기 타이밍 벨트들(202)이 상기 기어부들(212)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 가이드 링들(214)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 기어부들(212) 사이에는 가이드 링(214)이 삽입되는 그루브(216; Groove)가 구비될 수 있으며, 상기 타이밍 풀리(210)의 양쪽 측면들에는 상기 가이드 링들(214)이 장착되는 단차부들(218)이 각각 구비될 수 있다.
상술한 바와 같이 복수의 타이밍 벨트들(202)에 대응하는 기어부들(212)이 형성된 일체형 타이밍 풀리(210)는 종래 기술에서의 개별 타이밍 풀리들에 비하여 강성이 크게 향상될 수 있으며, 이에 따라 상기 캐리지 모듈(110)의 하중에 따른 상기 타이밍 풀리(210)의 변형 또는 손상이 충분히 방지될 수 있다.
상기 구동 유닛(230)은 모터(232)와 감속기(234) 등을 포함할 수 있으며, 상기 구동 유닛(230)은 커플링 부재(236)를 통해 상기 타이밍 풀리(210)와 결합된 구동축(220)과 연결될 수 있다. 아울러, 상기 구동 모듈(200)은 상기 구동축(220)과 연결되는 전자 브레이크(238)를 더 포함할 수 있다.
상기 구동축(220)은 상기 타이밍 풀리(210)의 중심 부위를 관통할 수 있다. 예를 들면, 상기 타이밍 풀리(210)와 상기 구동축(220) 사이에는 부시(222; bush)가 삽입될 수 있으며, 상기 타이밍 풀리(210)와 상기 부시(222) 사이 그리고 상기 부시(222)와 상기 구동축(220) 사이에는 회전력 전달을 위한 키이(224, 226; key)가 각각 삽입될 수 있다. 또한, 상기 부시(222)는 볼트와 같은 체결 부재들을 통해 상기 타이밍 풀리(210)의 일측면에 결합될 수 있으며, 상기 타이밍 풀리(210)의 타측면에는 상기 부시(222)를 고정시키기 위한 플랜지(228)가 볼트와 같은 체결 부재들에 의해 상기 부시(222) 및 상기 타이밍 풀리(210)에 결합될 수 있다.
또한, 상기 구동축(220)은 서포트 브래킷들(240)에 의해 회전 가능하게 지지될 수 있으며, 상기 서포트 브래킷들(240)의 일측에는 상기 구동 유닛(230)이 장착되는 제2 브래킷(242)이 배치되고, 상기 서포트 브래킷들(240)의 타측에는 상기 전자 브레이크(238)의 설치를 위한 제3 브래킷(244)이 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 구동 모듈(200)은 상기 타이밍 벨트들(202)이 상기 기어부들(212)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지 유닛(250)과, 상기 타이밍 벨트들(202)의 위치 정렬을 위한 위치 정렬 유닛(260)을 포함할 수 있다. 한편, 도 3에서는 이해를 쉽게 하기 위하여 상기 이탈 방지 유닛들(250) 중 하나와 위치 정렬 유닛들(260) 중 하나를 분리하여 도시하고 있다.
도 5는 도 3에 도시된 이탈 방지 유닛과 위치 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 정면도이고, 도 6은 도 3에 도시된 이탈 방지 유닛과 위치 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3, 도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 이탈 방지 유닛(250)은 상기 타이밍 풀리(210)의 중심보다 낮은 위치에서 상기 타이밍 풀리(210)의 양측에 각각 배치될 수 있으며, 상기 타이밍 벨트들(202)이 상기 기어부들(212)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 타이밍 벨트들(202)의 외측면을 상기 타이밍 벨트들(202)의 내측면을 향하여 밀어줄 수 있다.
예를 들면, 상기 이탈 방지 유닛(250)은 상기 타이밍 벨트들(202)의 외측면에 밀착되는 이탈 방지 롤러들(252)을 포함할 수 있으며, 상기 이탈 방지 롤러들(252)은 상기 타이밍 벨트들(202)이 내측으로 약 0.5mm 내지 1.0mm 정도 밀리도록 상기 타이밍 벨트들(202)의 외측면에 밀착될 수 있다. 이에 따라 상기 타이밍 벨트들(202)의 흔들림이 충분히 감소될 수 있으며, 아울러 상기 타이밍 벨트들(202)이 상기 기어부들(212)로부터 이탈되는 현상이 충분히 방지될 수 있다.
상기 이탈 방지 롤러들(252)은 상기 서포트 브래킷들(240)에 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 서포트 브래킷들(240)의 측면들에 상기 이탈 방지 롤러들(252)이 장착되는 롤러 회전축들(254)을 지지하는 제4 브래킷들(256)이 장착될 수 있다. 이때, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 이탈 방지 롤러들(252)이 장착되는 위치를 조절하기 위하여 상기 제4 브래킷들(256)에는 복수의 나사공들이 수직 방향으로 배열될 수 있으며, 상기 롤러 회전축들(254)이 장착되는 나사공들의 위치에 따라 상기 이탈 방지 롤러들(252)의 높이가 조절될 수 있다.
상기 위치 정렬 유닛(260)은 상기 타이밍 벨트들(202)의 위치를 정렬하기 위하여 상기 타이밍 풀리(210)의 중심축과 평행한 방향으로 상기 타이밍 벨트들(202) 사이 그리고 상기 타이밍 벨트들(202)의 양쪽 측면들에 인접하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 위치 정렬 유닛(260)은, 상기 타이밍 벨트들(202) 사이에 배치되는 제1 위치 정렬 롤러(262)와, 상기 타이밍 벨트들(202)의 양쪽 측면들에 인접하게 배치되는 제2 위치 정렬 롤러들(264)과, 상기 제1 위치 정렬 롤러(262)가 장착되는 고정 블록(266)과, 상기 제2 위치 정렬 롤러들(264)이 각각 장착되며 상기 타이밍 풀리(210)의 중심축과 평행한 방향으로 이동 가능하게 구성된 가동 블록들(268)을 포함할 수 있다.
상기 가동 블록들(268)은, 예를 들면, 리니어 모션 가이드(170)를 이용하여 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 특히, 상기 가동 블록들(268)의 양측에는 각각 제2 고정 블록들(272)이 배치되고, 상기 가동 블록들(268)과 제2 고정 블록들(272) 사이에는 각각 코일 스프링과 같은 탄성 부재들(274)이 각각 배치될 수 있다. 따라서, 상기 타이밍 벨트들(202)이 측방으로 다소 벗어나는 경우에도 상기 제2 위치 정렬 롤러들(264)과 상기 탄성 부재들(274)에 의해 원위치로 신속하게 복귀될 수 있다.
다시 도 2를 참조하면, 상기 브레이크 모듈(150)은 상기 승강 프레임(112)의 후면 상에 장착될 수 있으며, 브레이크 디스크(152; 도 9 참조)를 상기 메인 프레임(102)에 밀착시킴으로써 상기 브레이크 디스크(152)와 상기 메인 프레임(102) 사이의 마찰력을 이용하여 상기 캐리지 모듈(110)을 정지시키는 제동력을 발생시킬 수 있다.
도 7은 도 1에 도시된 메인 프레임과 가이드 레일들을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 8은 도 2에 도시된 승강 프레임의 후면에 장착된 브레이크 모듈과 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 배면도이며, 도 9 및 도 10은 도 8에 도시된 브레이크 모듈의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 7 내지 도 10을 참조하면, 상기 승강 프레임(112)의 후면에는 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들에 각각 대응하도록 브레이크 모듈들(150)이 장착될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들에 마주하도록 한 쌍의 브레이크 모듈들(150)이 구비될 수 있으며, 상기 브레이크 모듈들(150) 각각은, 브레이크 디스크(152)와, 상기 브레이크 디스크(152)의 중심으로부터 소정 거리 이격된 회전축(154)과, 상기 브레이크 디스크(152)의 외주면 일부가 상기 메인 프레임(102)에 밀착되어 상기 캐리지 모듈(110)을 정지시키기 위한 제동력이 발생되도록 상기 브레이크 디스크(152)를 회전시키는 브레이크 구동 유닛(156)을 포함할 수 있다.
특히, 도시된 바와 같이 상기 회전축(154)은 상기 브레이크 디스크(152)의 중심으로부터 상방으로 이격된 위치에 배치될 수 있으며, 상기 브레이크 구동 유닛(156)은 상기 회전축(154)보다 낮게 위치되는 상기 브레이크 디스크(152)의 하부가 상기 메인 프레임(102)의 측면을 향해 이동되도록 상기 브레이크 디스크(152)를 회전시킬 수 있다. 결과적으로, 상기 회전축(154)보다 낮게 위치되는 상기 브레이크 디스크(152)의 외주면 일부가 상기 메인 프레임(102)의 측면에 밀착될 수 있으며, 이후 상기 브레이크 디스크(152)의 하부 회전 반경이 상부 회전 반경보다 크기 때문에 상기 브레이크 디스크(152)의 회전이 정지될 수 있고, 이에 따라 상기 메인 프레임(102)의 측면과 상기 브레이크 디스크(152) 사이에서 충분한 제동력이 발생될 수 있다.
한편, 상기 타이밍 벨트들(202)은 연결 유닛들(170)에 의해 상기 캐리지 모듈(110)에 연결될 수 있다. 상기와 같이 두 개의 타이밍 벨트들(202)을 이용하는 경우 하나의 타이밍 벨트가 파단되는 경우라도 나머지 하나에 의해 상기 캐리지 모듈(110)의 추락이 일차적으로 방지될 수 있다.
상기 연결 유닛들(170) 각각은, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착된 연결 브래킷(172)과, 상기 연결 브래킷(172)을 관통하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성되며 상기 타이밍 벨트(202)와 연결되는 상단부를 갖는 연결 로드(174)와, 상기 연결 브래킷(172)의 하부에서 상기 연결 로드(174)에 결합되며 상기 연결 로드(174)가 상기 연결 브래킷(172)으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지 부재(176)를 포함할 수 있다.
상기 연결 브래킷(172)은 대략 사각 블록 형태를 가질 수 있으며 볼트 등과 같은 체결 부재들에 의해 상기 승강 플레이트(114)에 장착될 수 있다. 상기 연결 로드(174)로는 일 예로서 스터드 볼트가 사용될 수 있으며, 상기 연결 로드(174)의 상단부에는 상기 타이밍 벨트(202)의 하단부를 파지하는 클램핑 부재(178)가 너트들에 의해 결합될 수 있다. 상기 클램핑 부재(178)에는 도시된 바와 같이 수직 방향으로 연장하는 가이드 슬롯들(180)이 구비될 수 있으며, 상기 캐리지 모듈(110)의 승강 플레이트(114)에는 상기 가이드 슬롯들(180)에 삽입되는 가이드 핀들(182)이 구비될 수 있다.
상기 이탈 방지 부재(176)는 상기 연결 로드(174)가 상기 연결 브래킷(172)으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지할 뿐만 아니라 상기 캐리지 모듈(110)의 하중을 지지하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이탈 방지 부재(176)는 상부가 개방된 캡 형태를 가질 수 있으며, 너트들에 의해 상기 연결 로드(174)에 결합될 수 있다.
상기와 같이 연결 로드(174)가 수직 방향으로 이동 가능하게 구성하는 것은 상기 타이밍 벨트(202)가 파단되는 경우 상기 연결 로드(174)가 자중에 의해 하방으로 이동되도록 하고, 상기 연결 로드(174)의 하방 이동 감지를 통해 상기 타이밍 벨트(202)가 파단됨을 확인하기 위함이다. 특히, 상기 연결 로드(174)의 하방 이동을 감지하고 이를 신호로 하여 상기 브레이크 구동 유닛(156)을 동작시키기 위함이다.
특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 연결 유닛(170)은, 상기 연결 브래킷(172)과 상기 이탈 방지 부재(176) 사이에 배치되며 상기 타이밍 벨트(202)가 파단되는 경우 상기 연결 로드(174)를 하방으로 이동시키기 위해 탄성 복원력을 제공하는 탄성 부재(184)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 연결 브래킷(172)과 상기 이탈 방지 부재(176) 사이에는 코일 스프링이 배치될 수 있으며, 상기 타이밍 벨트(202)가 파단되는 경우 상기 코일 스프링의 탄성 복원력에 의해 상기 연결 로드(174)와 상기 클램핑 부재(178)가 하방으로 이동될 수 있다. 상기 탄성 부재(184)는 상기 타이밍 벨트(202)의 파단이 발생되는 경우 상기 연결 로드(174)의 하방 이동이 보다 신속하게 이루어지도록 할 수 있으며 이를 통해 상기 브레이크 구동 유닛(156)의 응답성을 충분히 향상시킬 수 있다.
상기 브레이크 구동 유닛(156)은, 상기 브레이크 디스크(152)의 외주면 일부가 상기 메인 프레임(102)의 측면에 밀착되는 방향으로 회전력을 제공하는 구동 부재(158)와, 상기 타이밍 벨트(202)가 정상 상태 즉 파단되지 않은 상태인 경우 상기 브레이크 디스크(152)의 회전을 차단하고 상기 타이밍 벨트(202)가 파단되는 비정상 상태인 경우 상기 브레이크 디스크(152)가 회전되도록 상기 차단 상태를 해제하는 스토퍼(160)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 스토퍼(160)는 상기 연결 로드(174)의 하방 이동에 연동하여 상기 차단 상태를 해제할 수 있다.
예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 구동 부재(158)로는 코일 스프링이 사용될 수 있으며, 상기 스토퍼(160)는 상기 연결 로드(174)의 하단부에 결합되는 스토퍼 바(162; bar)와 상기 스토퍼 바(162)의 단부에 구비되며 상기 브레이크 디스크(152)의 회전을 차단하기 위한 스토퍼 부재(164)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 브레이크 디스크(152)에는 상기 정상 상태에서 상기 스토퍼 부재(164)와 간섭되는 걸림 부재(166)가 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 스토퍼 부재(164)는 수직 방향으로 배치되는 핀 형태를 가질 수 있으며, 상기 걸림 부재(166)는 수평 방향으로 배치되는 핀 형태를 가질 수 있다. 즉, 상기 타이밍 벨트(202)의 정상 상태에서는 상기 스토퍼 부재(164)에 상기 걸림 부재(166)가 걸려있는 상기 브레이크 모듈(150)의 잠금 상태가 유지될 수 있으며, 상기 타이밍 벨트(202)의 파단에 의해 상기 연결 로드(174)가 하방으로 이동되는 경우 상기 스토퍼 바(162)와 상기 스토퍼 부재(164)가 함께 하강될 수 있으므로 이에 따라 상기 브레이크 모듈(150)의 잠금 상태가 해제될 수 있다. 결과적으로, 상기 연결 로드(174)의 하방 이동에 의해 상기 브레이크 디스크(152)가 회전되고 상기 메인 프레임(102)의 측면에 밀착될 수 있으며 이에 의해 상기 캐리지 모듈(110)의 추락이 방지될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 타워 리프트(100)는 상기 타이밍 벨트(202)가 파단되는 것을 감지하기 위한 센서(190)를 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 센서(190)로는 광 센서가 사용될 수 있으며 상기 스토퍼 바(162)의 위치를 감지하고 이를 통해 상기 타이밍 벨트(202)의 파단 여부를 확인할 수 있다. 추가적으로, 도시되지는 않았으나, 상기 센서(190)에 의해 상기 타이밍 벨트(202)의 파단이 감지되는 경우 상기 센서(190)의 감지 신호에 따라 상기 타이밍 벨트(202)의 파단 상태를 작업자에게 알리는 경보 유닛(미도시)이 구비될 수 있다.
상술한 바에 따르면, 상기 타이밍 벨트(202)의 파단 발생시 상기 탄성 부재(184)에 의해 상기 연결 로드(174)가 하강되고, 이에 연동하여 상기 스토퍼(160)가 상기 브레이크 모듈(150)의 잠금 상태를 해제하며, 이에 의해 상기 브레이크 모듈(150)이 동작되는 일련의 기계적인 브레이크 동작 단계들이 설명되었으나, 상기 브레이크 모듈(150)의 동작은 별도의 구동 유닛(미도시)을 통해 이루어질 수도 있다. 예를 들면, 상기 별도의 구동 유닛은 모터를 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 별도의 구동 유닛의 동작은 상기 센서(190)와 연결된 제어부(미도시)에 의해 이루어질 수 있다. 구체적으로, 상기 센서(190)의 감지 신호는 상기 제어부로 전송될 수 있으며, 상기 제어부는 상기 타이밍 벨트(202)의 파단 감지 신호가 수신되는 경우 상기 브레이크 디스크(152)가 상기 메인 프레임(102)의 측면에 밀착되도록 상기 별도의 구동 유닛을 동작시킬 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타이밍 벨트(202)가 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈(110)의 추락을 방지하기 위하여 상기 브레이크 모듈(150)이 신속하게 동작될 수 있으며, 특히, 상기 두 개의 타이밍 벨트들(2)이 모두 파단되는 경우에도 상기 메인 프레임(102)의 양측에 각각 배치되는 브레이크 모듈들(150)에 의해 상기 캐리지 모듈(110)의 추락이 충분히 방지될 수 있다.
도 11은 도 8에 도시된 상부 및 하부 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 8 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들 상에는 한 쌍의 가이드 레일들(104)이 각각 배치될 수 있으며, 상기 승강 프레임(112)의 후면 상에는 상기 가이드 레일들(104) 상에 각각 배치되는 한 쌍의 상부 가이드 유닛들(120)과 한 쌍의 하부 가이드 유닛들(130)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상부 가이드 유닛들(120)은 상기 승강 프레임(112)의 후면 상부의 양측에 각각 배치될 수 있으며, 하부 가이드 유닛들(130)은 상기 승강 프레임(112)의 후면 하부의 양측에 각각 배치될 수 있다.
상기 상부 가이드 유닛들(120)은 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 배치되는 상부 고정 롤러(122)와 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 상부 텐션 롤러(124)를 각각 포함할 수 있으며, 상기 하부 가이드 유닛들(130)은 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러(132)와 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러(134)를 각각 포함할 수 있다.
한편, 상기 캐리지 모듈(110)의 무게 중심은 도시된 바와 같이 상기 승강 플레이트(114)의 전방측에 위치될 수 있으므로, 상기 캐리지 모듈(110)에는 도 2의 경우 시계 방향으로 회전 모멘트가 인가될 수 있다. 결과적으로, 상기 회전 모멘트에 의해 상기 상부 고정 롤러들(122)은 상기 가이드 레일들(104)의 후면에 밀착될 수 있으며, 상기 하부 고정 롤러들(132)은 상기 가이드 레일들(104)의 전면에 밀착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부 텐션 롤러들(124)이 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가될 수 있으며, 아울러 상기 하부 텐션 롤러들(134)이 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가될 수 있다. 결과적으로, 상기 상부 및 하부 고정 롤러들(122, 132)과 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)이 상기 회전 모멘트와 상기 가압력에 의해 상기 가이드 레일들(104)의 전면 및 후면 상에 밀착된 상태가 안정적으로 유지될 수 있으므로 상기 캐리지 모듈(110)의 수직 방향 이송시 진동과 소음이 크게 감소될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부 가이드 유닛들(120)은 상기 상부 고정 롤러(122)와 상부 텐션 롤러(124)가 설치되는 상부 브래킷(126)을 각각 포함할 수 있으며, 상기 하부 가이드 유닛들(130)은 상기 하부 고정 롤러(132)와 하부 텐션 롤러(134)가 설치되는 하부 브래킷(136)을 각각 포함할 수 있다. 한편, 도시된 바에 따르면, 상기 상부 브래킷들(126)에는 각각 상기 브레이크 모듈들(150)이 장착될 수 있다. 그러나, 도시된 바와 다르게, 상기 브레이크 모듈들(150)은 별도의 브래킷들(미도시)을 이용하여 상기 승강 플레이트(114)에 장착될 수도 있다.
상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)은, 회전축이 중심축으로부터 소정 거리 이격된 편심축(124A, 134A)과, 상기 편심축(124A, 134A)에 회전 가능하도록 장착된, 예를 들면, 베어링을 이용하여 회전 가능하도록 장착된 롤러(124B, 134B)와, 상기 롤러(124B, 134B)가 상기 가이드 레일(104)에 밀착되도록 소정의 가압력을 인가하기 위하여 상기 편심축(124A, 134A)에 장착된 토션 스프링(124C, 134C)을 각각 포함할 수 있다.
예를 들면, 도 11에 도시된 바와 같이, 상부 텐션 롤러(124)의 경우 상기 토션 스프링(124C)에 의해 반시계 방향으로 소정의 가압력이 상기 편심축(124A)에 인가될 수 있으며, 이에 의해 상기 롤러(124B)가 상기 가이드 레일(104)의 전면에 밀착될 수 있다. 또한, 도 11에 도시된 바와 같이, 하부 텐션 롤러(134)의 경우 상기 토션 스프링(134C)에 의해 시계 방향으로 소정의 가압력이 상기 편심축(134A)에 인가될 수 있으며, 이에 의해 상기 롤러(134B)가 상기 가이드 레일(104)의 후면에 밀착될 수 있다.
상기한 바에 따르면, 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)에 가압력을 인가하기 위하여 편심축(124A, 134A)과 토션 스프링(124C, 134C)이 사용되고 있으나, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태로서 기재된 것으로 상기한 바와 같은 구조에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다. 한편, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들(120, 130)은 상기 가이드 레일들(104)의 측면들 상에 배치되는 상부 및 하부 측면 고정 롤러들(128, 138)을 각각 포함할 수 있다. 상기 상부 및 하부 측면 고정 롤러들(128, 138)은 상기 캐리지 모듈(110)이 상기 가이드 레일들(104)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 사용될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 구동 모듈(200)을 포함하는 타워 리프트(100)에서 상기 구동 모듈(200)은, 일단부가 캐리지 모듈(110)과 연결되고 타단부가 웨이트 모듈(140)에 연결되는 복수의 타이밍 벨트들(202)과, 상기 타이밍 벨트들(202)이 결합되는 복수의 기어부들(212)을 갖고 일체형으로 구성된 타이밍 풀리(210)와, 상기 타이밍 풀리(210)를 회전시키기 위한 구동 유닛(230)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 타이밍 풀리(210)가 일체형으로 구성되므로 캐리지 모듈(110)의 하중에 의한 타이밍 풀리(210)의 변형 및 손상이 크게 감소될 수 있다.
아울러, 상기 타이밍 풀리(210)의 양측에는 타이밍 벨트들(202)의 이탈을 방지하기 위한 이탈 방지 유닛들(250)과 타이밍 벨트들(202)의 위치를 정렬하기 위한 위치 정렬 유닛(260)이 각각 배치될 수 있으며, 이에 따라 상기 타이밍 벨트들(202)의 이탈 및 위치 오정렬에 따른 상기 타이밍 벨트들(202)의 손상 및 파단이 충분히 감소될 수 있고, 아울러 상기 캐리지 모듈(110)의 승강이 보다 안정적으로 이루어질 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 자재 100 : 타워 리프트
102 : 메인 프레임 104 : 가이드 레일
110 : 캐리지 모듈 112 : 승강 프레임
114 : 승강 플레이트 116 : 서포트 플레이트
118 : 캐리지 로봇 120 : 상부 가이드 유닛
130 : 하부 가이드 유닛 140 : 웨이트 모듈
142 : 균형 벨트 144 : 오토 텐셔너
150 : 브레이크 모듈 152 : 브레이크 디스크
154 : 회전축 156 : 브레이크 구동 유닛
158 : 구동 부재 160 : 스토퍼
170 : 연결 유닛 190 : 센서
200 : 구동 모듈 202 : 타이밍 벨트
210 : 타이밍 풀리 212 : 기어부
214 : 가이드 링 220 : 구동축
222 : 부시 230 : 구동 유닛
238 : 전자 브레이크 240 : 서포트 브래킷
250 : 이탈 방지 유닛 260 : 위치 정렬 유닛

Claims (19)

  1. 타워 리프트의 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈에 있어서,
    일단부가 상기 캐리지 모듈과 연결되고 타단부가 웨이트 모듈에 연결되는 복수의 타이밍 벨트들;
    상기 타이밍 벨트들이 결합되는 복수의 기어부들을 갖고 일체형으로 구성된 타이밍 풀리;
    상기 타이밍 풀리를 회전시키기 위한 구동 유닛; 및
    상기 타이밍 풀리의 중심축과 평행한 방향으로 상기 타이밍 벨트들 사이 그리고 상기 타이밍 벨트들의 양쪽 측면들에 인접하게 배치되며 상기 타이밍 벨트들의 위치를 정렬하기 위한 위치 정렬 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 구동 모듈.
  2. 제1항에 있어서, 상기 타이밍 풀리의 양쪽 측면들과 상기 기어부들 사이에는 상기 타이밍 벨트들이 상기 기어부들로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 가이드 링들이 배치되는 것을 특징으로 하는 구동 모듈.
  3. 제1항에 있어서, 상기 타이밍 풀리의 중심보다 낮은 위치에서 상기 타이밍 풀리의 양측에 각각 배치되며 상기 타이밍 벨트들이 상기 기어부들로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 타이밍 벨트들의 외측면을 상기 타이밍 벨트들의 내측면을 향하여 밀어주는 이탈 방지 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구동 모듈.
  4. 제3항에 있어서, 상기 이탈 방지 유닛은 상기 타이밍 벨트들의 외측면에 밀착되는 이탈 방지 롤러들을 포함하는 것을 특징으로 하는 구동 모듈.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 위치 정렬 유닛은,
    상기 타이밍 벨트들 사이에 배치되는 적어도 하나의 제1 위치 정렬 롤러;
    상기 타이밍 벨트들의 양쪽 측면들에 인접하게 배치되는 제2 위치 정렬 롤러들;
    상기 제1 위치 정렬 롤러가 장착되는 고정 블록; 및
    상기 제2 위치 정렬 롤러들이 각각 장착되며 상기 타이밍 풀리의 중심축과 평행한 방향으로 이동 가능하게 구성되는 가동 블록들을 포함하는 것을 특징으로 하는 구동 모듈.
  7. 제6항에 있어서, 상기 위치 정렬 유닛은,
    상기 가동 블록들의 양측에 각각 배치되는 제2 고정 블록들; 및
    상기 가동 블록들과 상기 제2 고정 블록들 사이에 각각 배치되는 탄성 부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구동 모듈.
  8. 제1항에 있어서, 상기 타이밍 풀리의 중심 부위를 관통하는 구동축과 연결되는 전자 브레이크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구동 모듈.
  9. 제8항에 있어서, 상기 타이밍 풀리와 상기 구동축 사이에 삽입되는 부시(bush)를 더 포함하며, 상기 타이밍 풀리와 상기 부시 사이 그리고 상기 부시와 상기 구동축 사이에는 회전력 전달을 위한 키이(key)가 각각 삽입되는 것을 특징으로 하는 구동 모듈.
  10. 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임;
    상기 메인 프레임을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈; 및
    상기 메인 프레임의 상부에 배치되며 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈을 포함하되,
    상기 구동 모듈은, 일단부가 상기 캐리지 모듈과 연결되고 타단부가 웨이트 모듈에 연결되는 복수의 타이밍 벨트들과, 상기 타이밍 벨트들이 결합되는 복수의 기어부들을 갖고 일체형으로 구성된 타이밍 풀리와, 상기 타이밍 풀리를 회전시키기 위한 구동 유닛과, 상기 타이밍 풀리의 중심축과 평행한 방향으로 상기 타이밍 벨트들 사이 그리고 상기 타이밍 벨트들의 양쪽 측면들에 인접하게 배치되며 상기 타이밍 벨트들의 위치를 정렬하기 위한 위치 정렬 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  11. 제10항에 있어서, 상기 구동 모듈은,
    상기 타이밍 풀리의 중심보다 낮은 위치에서 상기 타이밍 풀리의 양측에 각각 배치되며 상기 타이밍 벨트들이 상기 기어부들로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 타이밍 벨트들의 외측면을 상기 타이밍 벨트들의 내측면 방향으로 밀어주는 이탈 방지 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  12. 삭제
  13. 제10항에 있어서, 상기 위치 정렬 유닛은,
    상기 타이밍 벨트들 사이에 배치되는 적어도 하나의 제1 위치 정렬 롤러;
    상기 타이밍 벨트들의 양쪽 측면들에 인접하게 배치되는 제2 위치 정렬 롤러들;
    상기 제1 위치 정렬 롤러가 장착되는 고정 블록;
    상기 제2 위치 정렬 롤러들이 각각 장착되며 상기 타이밍 풀리의 중심축과 평행한 방향으로 이동 가능하게 구성되는 가동 블록들;
    상기 가동 블록들의 양측에 각각 배치되는 제2 고정 블록들; 및
    상기 가동 블록들과 상기 제2 고정 블록들 사이에 각각 배치되는 탄성 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  14. 제10항에 있어서, 상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 타이밍 벨트들이 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈의 추락을 방지하기 위하여 상기 메인 프레임에 밀착되는 브레이크 모듈들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  15. 제14항에 있어서, 상기 브레이크 모듈들은,
    브레이크 디스크;
    상기 브레이크 디스크의 중심으로부터 소정 거리 이격된 회전축; 및
    상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착되어 제동력이 발생되도록 상기 브레이크 디스크를 회전시키는 브레이크 구동 유닛을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  16. 제15항에 있어서, 상기 회전축은 상기 브레이크 디스크의 중심으로부터 상방으로 이격되며, 상기 회전축보다 낮게 위치되는 상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착되는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  17. 제15항에 있어서, 상기 타이밍 벨트들과 상기 캐리지 모듈 사이를 연결하는 연결 유닛들을 더 포함하며,
    상기 연결 유닛들은,
    상기 캐리지 모듈에 장착된 연결 브래킷;
    상기 연결 브래킷을 관통하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성되며 상기 타이밍 벨트와 연결되는 상단부를 갖는 연결 로드;
    상기 연결 브래킷의 하부에서 상기 연결 로드에 결합되며 상기 연결 로드가 상기 연결 브래킷으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지 부재; 및
    상기 연결 브래킷과 상기 이탈 방지 부재 사이에 배치되며 상기 타이밍 벨트가 파단되는 경우 상기 연결 로드를 하방으로 이동시키기 위해 탄성 복원력을 제공하는 탄성 부재를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  18. 제17항에 있어서, 상기 브레이크 구동 유닛은,
    상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착되는 방향으로 회전력을 제공하는 구동 부재; 및
    상기 타이밍 벨트의 정상 상태에서 상기 브레이크 디스크의 회전을 차단하고 상기 타이밍 벨트가 파단되는 비정상 상태에서 상기 브레이크 디스크가 회전되도록 상기 브레이크 디스크의 회전이 차단된 상태를 해제하는 스토퍼를 포함하며,
    상기 스토퍼는 상기 연결 로드의 하방 이동에 연동하여 상기 브레이크 디스크의 회전이 차단된 상태를 해제하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  19. 제14항에 있어서, 상기 타이밍 벨트들이 파단되는 것을 감지하기 위한 센서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210046198A (ko) 2019-10-18 2021-04-28 세메스 주식회사 타워 리프트 및 타워 리프트의 높이 제어 방법

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108609069B (zh) * 2018-06-07 2024-01-09 严格科创发展(昆山)有限公司 一种能适应不同高度工作台面的上料机
KR102141200B1 (ko) 2018-12-24 2020-09-14 세메스 주식회사 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치
KR102195582B1 (ko) * 2019-02-22 2020-12-29 현대무벡스 주식회사 컴팩트형 리프트 장치
CN110255436A (zh) * 2019-05-29 2019-09-20 江铃控股有限公司 后副车架螺旋弹簧顶升设备
KR102189275B1 (ko) 2019-07-08 2020-12-09 세메스 주식회사 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치
KR102185264B1 (ko) 2019-07-29 2020-12-01 세메스 주식회사 이송 장치
KR102300630B1 (ko) 2019-10-07 2021-09-09 세메스 주식회사 타워 리프트
KR20210124612A (ko) 2020-04-06 2021-10-15 세메스 주식회사 반송 트랙 및 반송 장치
KR20210133564A (ko) 2020-04-29 2021-11-08 세메스 주식회사 타워 리프트
KR20220057012A (ko) 2020-10-29 2022-05-09 세메스 주식회사 타워 리프트 장치
KR20220072236A (ko) 2020-11-25 2022-06-02 세메스 주식회사 이송 장치
KR102570588B1 (ko) 2020-12-29 2023-08-23 세메스 주식회사 타워 리프트 장치 및 이를 구비하는 반도체 소자 제조 시스템

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000044012A (ja) * 1998-07-28 2000-02-15 Toyota Autom Loom Works Ltd スタッカクレーン及び自動倉庫
JP2009132510A (ja) * 2007-11-30 2009-06-18 Itoki Corp 荷台昇降式移載装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100226474B1 (ko) * 1996-07-02 1999-10-15 김영환 청정 승강장치
JPH10335424A (ja) * 1997-04-03 1998-12-18 Tokyo Electron Ltd 昇降機構およびキャリア搬送装置
KR100877117B1 (ko) 2007-06-27 2009-01-07 한국전기연구원 자기부상 리프트의 안내제어 시스템
KR20100073670A (ko) 2008-12-23 2010-07-01 황무성 웨이퍼 이송 시스템과 이를 포함하는 반도체 팹 구조물 및 웨이퍼 이송 방법
KR101278021B1 (ko) * 2011-05-02 2013-06-24 주식회사 로보스타 2단 슬라이딩 수직 구동장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000044012A (ja) * 1998-07-28 2000-02-15 Toyota Autom Loom Works Ltd スタッカクレーン及び自動倉庫
JP2009132510A (ja) * 2007-11-30 2009-06-18 Itoki Corp 荷台昇降式移載装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210046198A (ko) 2019-10-18 2021-04-28 세메스 주식회사 타워 리프트 및 타워 리프트의 높이 제어 방법

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