WO2024121922A1

WO2024121922A1 - 荷重サポート装置、搬送システムおよび荷重サポート方法

Info

Publication number: WO2024121922A1
Application number: PCT/JP2022/044852
Authority: WO
Inventors: 基範川内; 哲也中村
Original assignee: ヤマハ発動機株式会社
Priority date: 2022-12-06
Filing date: 2022-12-06
Publication date: 2024-06-13

Abstract

治具パレット４０にはガイド部材４２（被リフト部材）が設けられ、サポート部５１（荷重受けユニット）にはカムフォロア５３（リフト部材）が設けられている。そして、カムフォロア５３は、ガイド部材４２の下側に相対的にＸ方向（進入方向）から進入しつつガイド部材４２に下側から当接することでガイド部材４２を上昇させる（ステップＳ１０２～Ｓ１０４）。こうして、サポート部５１のカムフォロア５３は、治具パレット４０のガイド部材４２を押し上げることで、スライダ２のスライダテーブル２１に対して治具パレット４０を上昇させた状態で治具パレット４０を支持する。

Description

荷重サポート装置、搬送システムおよび荷重サポート方法

　この発明は、搬送ロボットによって搬送されるスライダによってワークを搬送する技術に関し、特に高荷重が加わるワークを、搬送ロボットに加わる荷重を低減しつつ支持する技術に関する。

　従来、ワークが載置されたスライダを搬送ロボットによって所定の作業位置に搬送して、当該作業位置に応じた作業をワークに対して実行するといったことが行われている。また、当該作業位置では、圧入等の高荷重が生じる作業がワークに実行される場合がある。このような場合、搬送ロボットによって高荷重に抗してワークを支持するとなると、搬送ロボットに高い強度が求められ、搬送ロボットが大型化してしまう。

　かかる問題に対応するため、被特許文献１では、荷重をサポートするために作業位置に配置された荷重サポート装置を、搬送ロボットとは別に備える搬送システムが提案されている。この荷重サポート装置では、昇降可能にスライダに支持された治具パレットが設けられ、この治具パレットの上にワークが載置される。さらに、荷重サポート装置では、治具パレットに加わる荷重に抗して治具パレットを支持する荷重受けユニットが設けられている。そして、搬送ロボットによって作業位置に搬送されてきた治具パレットが荷重受けユニットに乗り上がる。これによって、治具パレットは、スライダから上昇した状態で、荷重受けユニットによって支持される。その結果、ワークに加わる荷重は、治具パレットを介して荷重受けユニットに加わり、スライダには加わらない。

https://www.youtube.com/watch?v=EkEuBj_7c8I

　ところで、上記の技術では、作業位置に搬送されてきた治具パレットの下側から当接する荷重受けユニットが治具パレットを押し上げることで、治具パレットをスライダに対して上昇させる。この際、治具パレットと荷重受けユニットとが擦り合うことで、これらが摩耗するといった問題があった。

　この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、昇降可能にスライダに支持された治具パレットを荷重受けユニットにより押し上げて支持する技術において、治具パレットと荷重受けユニットとの擦り合いによってこれらが摩耗するのを抑制可能とすることを目的とする。

　本発明に係る荷重サポート装置は、被リフト部材を有し、搬送ロボットによって搬送されるスライダによって昇降可能に支持される治具パレットと、被リフト部材の下側に相対的に進入方向から進入しつつ被リフト部材に下側から当接することで被リフト部材を上昇させるリフト部材を有する荷重受けユニットとを備え、リフト部材は、被リフト部材を上昇させることで、スライダに対して治具パレットを上昇させた状態で治具パレットを支持し、被リフト部材およびリフト部材のうち、一方は進入方向に延設されたガイド面を有するガイド部材であり、他方はカムフォロアであり、カムフォロアは、ガイド面に当接しつつガイド面に従動して回転することで、ガイド面に対して進入方向に相対的に移動し、ガイド面は、ガイド部材の先端から所定位置まで進入方向に設けられた水平方向に対して傾斜する傾斜面と、所定位置からガイド部材の先端と逆側に向けて進入方向に設けられた水平方向に平行な水平面とを有し、先端から所定位置に向かって傾斜面に沿ってカムフォロアが相対的に移動するのに伴って被リフト部材が上昇するように、傾斜面が設けられている。

　本発明に係る荷重サポート方法は、搬送ロボットによって搬送されるスライダによって昇降可能に支持される治具パレットが有する被リフト部材の下側に、荷重受けユニットのリフト部材を相対的に進入方向から進入させる工程と、被リフト部材の下側へのリフト部材の相対的な進入に伴って、リフト部材が被リフト部材に下側から当接して被リフト部材を上昇させる工程とを備え、リフト部材は、被リフト部材を上昇させることで、スライダに対して治具パレットを上昇させた状態で治具パレットを支持し、被リフト部材およびリフト部材のうち、一方は進入方向に延設されたガイド面を有するガイド部材であり、他方はカムフォロアであり、カムフォロアは、ガイド面に当接しつつガイド面に従動して回転することで、ガイド面に対して進入方向に相対的に移動し、ガイド面は、ガイド部材の先端から所定位置まで進入方向に設けられた水平方向に対して傾斜する傾斜面と、所定位置からガイド部材の先端と逆側に向けて進入方向に設けられた水平方向に平行な水平面とを有し、先端から所定位置に向かって傾斜面に沿ってカムフォロアが相対的に移動するのに伴って被リフト部材が上昇するように、傾斜面が設けられている。

　このように構成された本発明（荷重サポート装置および荷重サポート方法）では、治具パレットには被リフト部材が設けられ、荷重受けユニットにはリフト部材が設けられている。そして、リフト部材は、被リフト部材の下側に相対的に進入方向から進入しつつ被リフト部材に下側から当接することで被リフト部材を上昇させる。こうして、荷重受けユニットのリフト部材は、治具パレットの被リフト部材を押し上げることで、スライダに対して治具パレットを上昇させた状態で治具パレットを支持する。この際、被リフト部材およびリフト部材のうち、一方は進入方向に延設されたガイド面を有するガイド部材であり、他方はカムフォロアであり、カムフォロアは、ガイド面に当接しつつガイド面に従動して回転することで、ガイド面に対して進入方向に相対的に移動する。さらに、ガイド面は、ガイド部材の先端から所定位置まで進入方向に設けられた水平方向に対して傾斜する傾斜面と、所定位置からガイド部材の先端と逆側に向けて進入方向に設けられた水平方向に平行な水平面とを有する。そして、先端から所定位置に向かって傾斜面に沿ってカムフォロアが相対的に移動するのに伴って被リフト部材が上昇する。かかる構成では、治具パレットと荷重受けユニットとの擦り合いが発生しない。その結果、昇降可能にスライダに支持された治具パレットを荷重受けユニットにより押し上げて支持する技術において、治具パレットと荷重受けユニットとの擦り合いによってこれらが摩耗するのを抑制することが可能となっている。

　また、搬送ロボットは、スライダを進入方向に搬送し、荷重受けユニットは、搬送ロボットによって進入方向に搬送されるスライダの搬送経路上の所定の作業位置に配置され、リフト部材は、搬送ロボットによって作業位置に搬送されてくる治具パレットの被リフト部材に下側から当接することで、被リフト部材を上昇させるように、荷重サポート装置を構成してもよい。かかる構成では、搬送ロボットによってスライダを作業位置に搬送するのに伴って、リフト部材が被リフト部材を押し上げて、治具パレットを上昇させた状態で支持する。したがって、作業位置での作業を速やかに開始することができる。

　また、搬送ロボットは、進入方向に直交する搬送方向にスライダを搬送することで、所定の作業位置に向けてスライダを搬送し、荷重受けユニットは、リフト部材が取り付けられたサポートアームと、サポートアームを進入方向に駆動するアーム駆動部とを有し、アーム駆動部は、作業位置に位置するスライダと治具パレットとの間の挿入空間にサポートアームが挿入される挿入位置と、挿入空間からサポートアームが退避する退避位置との間で、サポートアームを駆動し、サポートアームが退避位置から挿入空間に挿入されるのに伴って挿入空間に進入するリフト部材が被リフト部材に下側から当接して被リフト部材を上昇させるように、荷重サポート装置を構成してもよい。かかる構成では、サポートアームの挿入のための挿入空間がスライダと治具パレットとの間に設けられる。そのため、スライダと治具パレットとの間の異物の挟み込みを抑制することができる。

　この際、搬送方向における挿入空間の両側に設けられて、挿入空間を空けてスライダに対して治具パレットを支持する一対の支持アームをさらに備え、搬送方向において一対の支持アームの間で、リフト部材は、被リフト部材に下側から当接するように、荷重サポート装置を構成してもよい。かかる構成では、一対の支持アームの間においてリフト部材によって治具パレットを支持する。そのため、治具パレットに加わる高荷重に抗して、治具パレットを中央部でしっかりと支持することができる。

　また、治具パレットの四隅にそれぞれ対応して設けられた４個の弾性部材をさらに備え、４個の弾性部材のそれぞれは、リフト部材によって上昇される治具パレットを下側に向けて付勢する弾性力を治具パレットに加えるように、荷重サポート装置を構成してもよい。かかる構成では、例えば治具パレットに加わる荷重が片側に偏った場合であっても、治具パレットの四隅にそれぞれ対応して設けられた４個の弾性部材によって治具パレットの傾きを抑えることができる。

　本発明に係る搬送システムは、スライダを搬送する搬送ロボットと、上記の荷重サポート装置とを備える。よって、昇降可能にスライダに支持された治具パレットを荷重サポート装置により押し上げて支持する技術において、治具パレットと荷重受けユニットとの擦り合いによってこれらが摩耗するのを抑制することが可能となる。

　本発明によれば、昇降可能にスライダに支持された治具パレットを荷重受けユニットにより押し上げて支持する技術において、治具パレットと荷重受けユニットとの擦り合いによってこれらが摩耗するのを抑制することが可能となる。

本発明に係る搬送システムの第１例を部分的に示す斜視図。本発明に係る搬送システムの第１例を部分的に示す斜視図。図１Ａおよび図１Ｂに示す搬送システムを示す正面図。図１Ａおよび図１Ｂの搬送システムが備えるワーク支持機構とスライダテーブルとの関係を示す斜視図。図１Ａおよび図１Ｂの搬送システムが備えるワーク支持機構とスライダテーブルとの関係を示す斜視図。ガイド部材とカムフォロアとの動作を模式的に示す図。本発明に係る搬送システムの第２例を部分的に示す斜視図。本発明に係る搬送システムの第２例を部分的に示す斜視図。図５Ａおよび図５Ｂに示す搬送システムを示す正面図。図５Ａおよび図５Ｂに示す搬送システムを示す正面図。図５Ａおよび図５Ｂの搬送システムが備えるワーク支持機構とスライダテーブルとの関係を示す斜視図。図５Ａおよび図５Ｂの搬送システムが備えるワーク支持機構とスライダテーブルとの関係を示す斜視図。ガイド部材とカムフォロアとの動作を模式的に示す図。第１例の変形例におけるガイド部材とカムフォロアとの動作を模式的に示す図。第２例の変形例におけるガイド部材とカムフォロアとの動作を模式的に示す図。

　図１Ａおよび図１Ｂは本発明に係る搬送システムの第１例を部分的に示す斜視図であり、図２は図１Ａおよび図１Ｂに示す搬送システムを示す正面図である。これらの図および以下の図では、水平方向であるＸ方向、Ｘ方向に直交する水平方向であるＹ方向および鉛直方向であるＺ方向を適宜示す。搬送システム１は、スライダ２と、スライダ２をＸ方向（搬送方向）に搬送する単軸ロボット３と、スライダ２に取り付けられたワーク支持機構４とを備える。

　図２に示すように、スライダ２は、平板状のスライダテーブル２１と、スライダテーブル２１を下側から支持するスライダ本体２２とを有し、スライダテーブル２１は、スライダ本体２２によって水平に支持される。スライダテーブル２１は、Ｚ方向からの平面視において、Ｘ方向に平行な２辺とＹ方向に平行な２辺で規定される矩形を有する。スライダ本体２２は本体ハウジング２３を有し、本体ハウジング２３の上面がスライダテーブル２１の下面に固定されている。また、Ｙ方向において、スライダテーブル２１の両側の端部２１１は、本体ハウジング２３から側方に突出している。さらに、スライダ本体２２は、本体ハウジング２３に固定された一対の被ガイドスライダ２４を有し、一対の被ガイドスライダ２４は、本体ハウジング２３内において、Ｙ方向に所定間隔を空けて配置されている。

　これに対して、単軸ロボット３は、Ｘ方向に延設されたロボットハウジング３１と、ロボットハウジング３１の上面に取り付けられた一対のガイドレール３２とを有する。一対のガイドレール３２は、Ｙ方向に所定間隔を空けて配置され、Ｘ方向に平行に延設されている。そして、スライダ２の一対の被ガイドスライダ２４が単軸ロボット３の一対のガイドレール３２に係合する。したがって、スライダ２の移動は、一対のガイドレール３２によってＸ方向に平行に案内される。さらに、単軸ロボット３は、リニアモータによってスライダ２をＸ方向に駆動する。こうして、スライダ２は、単軸ロボット３によってＸ方向に搬送される。

　ちなみに、単軸ロボット３によりスライダ２を駆動するための駆動機構の具体例は図２の例に限られない。したがって、駆動機構として、例えばボールネジを用いてもよい。この場合、ボールネジのネジ軸を単軸ロボット３に設けるとともに、ボールネジのナットをスライダ２に設けることができる。あるいは、単軸ロボット３とは異なるロボットによってスライダ２をＸ方向に搬送することもできる。

　図３Ａおよび図３Ｂは図１Ａおよび図１Ｂの搬送システムが備えるワーク支持機構とスライダテーブルとの関係を示す斜視図である。ワーク支持機構４は治具パレット４０を有する。この治具パレット４０は、スライダテーブル２１に上側から対向する平板状のパレットテーブル４１を有し、パレットテーブル４１の上面に作業対象となるワークが載置される。Ｚ方向からの底面視において、パレットテーブル４１は、Ｘ方向に平行な２辺とＹ方向に平行な２辺で規定される矩形を有し、Ｙ方向においてパレットテーブル４１の両側の端部４１１は、スライダテーブル２１から側方に突出している。換言すれば、パレットテーブル４１のうち、Ｙ方向において両側の端部４１１の間の中央部４１２は、上側からスライダテーブル２１に対向する。また、Ｘ方向においては、パレットテーブル４１の両端とスライダテーブル２１の両端とは一致している。

　さらに、治具パレット４０は、、パレットテーブル４１の端部４１１の下面に固定された２個のガイド部材４２を有し、ガイド部材４２はＸ方向に平行に延設されている。このガイド部材４２は、パレットテーブル４１の両側の端部４１１のそれぞれに対して設けられている。ガイド部材４２の下面は、Ｘ方向に平行に延設されたガイド面４２１である。ガイド面４２１は、Ｘ方向の両端に設けられたテーパ面４２２と、両端のテーパ面４２２の間に設けられた水平面４２３とを有する。テーパ面４２２は、ガイド部材４２（換言すれば、ガイド面４２１）の端に設けられたテーパ始端Ｐｓからガイド部材４２（換言すれば、ガイド面４２１）の途中に設けられたテーパ終端Ｐｅに渡って設けられた平面であり、テーパ始端Ｐｓからテーパ終端Ｐｅに向かって下降するようにＸ方向（水平方向）に対して傾斜する。

　また、ワーク支持機構４は、スライダテーブル２１の四隅（換言すれば、パレットテーブル４１の四隅）にそれぞれ対応して設けられた４個の付勢支持部４３を有する。付勢支持部４３は、パレットテーブル４１の中央部４１２の下面から下側にＺ方向に延設されたシャフト４３１と、シャフト４３１に外嵌されたバネ４３２と、シャフト４３１の下端に設けられたフランジ４３３とを有する。また、スライダテーブル２１の四隅にそれぞれ対応して、スライダテーブル２１の端部２１１をＺ方向に貫通する４個の貫通孔２１３が設けられている。そして、４個の付勢支持部４３のシャフト４３１は、４個の貫通孔２１３をそれぞれ貫通し、各シャフト４３１の下端はスライダテーブル２１より下側に突出する。つまり、シャフト４３１の下端のフランジ４３３は、スライダテーブル２１の下面より下側に位置し、シャフト４３１に外嵌されたバネ４３２は、フランジ４３３とスライダテーブル２１の下面との間に位置して、フランジ４３３によって支持される。

　パレットテーブル４１がスライダテーブル２１に載置された状態（換言すれば、接した状態）では、バネ４３２は自然長を有する一方、パレットテーブル４１がスライダテーブル２１に対して上昇した状態（換言すれば、離れた状態）では、フランジ４３３とスライダテーブル２１との間のバネ４３２は、フランジ４３３の上昇に応じて縮んで、パレットテーブル４１を下側に付勢する弾性力をパレットテーブル４１に加える。

　また、ワーク支持機構４は、Ｘ方向に並ぶ２個の付勢支持部４３の間に、１個の付勢支持部４４を有し、スライダテーブル２１の端部２１１では、当該付勢支持部４４に対応する１個の貫通孔２１４が貫通する。これら付勢支持部４４および貫通孔２１４は、上述の付勢支持部４３および貫通孔２１３と同様に構成されている。

　さらに、ワーク支持機構４は、パレットテーブル４１をスライダテーブル２１に対してＸ方向およびＹ方向に位置決めする４個のリニアブッシュ４５を有する。４個のリニアブッシュ４５は、４個の付勢支持部４３の内側において、スライダテーブル２１の四隅に対応して設けられる。リニアブッシュ４５は、パレットテーブル４１の中央部４１２の下面から下側にＺ方向に延設されたシャフト４５１と、シャフト４５１に外嵌されたリテーナ４５２とを有する。また、スライダテーブル２１の四隅にそれぞれ対応して、スライダテーブル２１の端部２１１をＺ方向に貫通する４個の貫通孔２１５が設けられている。そして、４個のリニアブッシュ４５のシャフト４５１は、４個の貫通孔２１５を貫通する。また、４個のリニアブッシュ４５のリテーナ４５２は、４個の貫通孔２１５に対応しつつ、スライダテーブル２１の下面に固定されている。そして、シャフト４５１は、貫通孔２１５およびリテーナ４５２を貫通して、スライダテーブル２１の下面より下側に突出する。

　このように、パレットテーブル４１は、付勢支持部４３、付勢支持部４４およびリニアブッシュ４５によって構成される昇降支持機構によって、スライダテーブル２１に対して昇降可能に支持されている。

　図１Ａ、図１Ｂおよび図２に示すように、搬送システム１は、単軸ロボット３によるスライダ２の搬送経路上に設けられた高荷重作業位置Ｌｈに配置された荷重受けユニット５をさらに備える。荷重受けユニット５は、Ｙ方向において単軸ロボット３を挟むように配置された一対のサポート部５１を有する。各サポート部５１は、サポートフレーム５２と、サポートフレーム５２に回転可能に取り付けられたカムフォロア５３とを有する。具体的には、Ｘ方向に並ぶ複数（３個）のカムフォロア５３のそれぞれが締結部材５４（ナットあるいはネジ等）によってサポート部５１に取り付けられ、各カムフォロア５３は、Ｙ方向に平行な回転軸を中心に回転可能である。

　この荷重受けユニット５が具備する一対のサポート部５１は、パレットテーブル４１の両側の端部４１１に取り付けられた一対のガイド部材４２にそれぞれ対応する。そして、各サポート部５１は、高荷重作業位置Ｌｈに位置するパレットテーブル４１に取り付けられた対応するガイド部材４２を押し上げる。この点について、図４を用いて説明する。

　図４はガイド部材とカムフォロアとの動作を模式的に示す図である。スッテプＳ１０１～Ｓ１０４では、パレットテーブル４１が高荷重作業位置Ｌｈに向かって移動して当該高荷重作業位置Ｌｈに到達する過程が時系列で模式的に示されている。ステップＳ１０１では、ガイド部材４２はカムフォロア５３からＸ方向に離間しており、Ｚ方向において、カムフォロア５３の上端の高さは、テーパ面４２２の上端の高さＨｈより低く、テーパ面４２２の下端の高さＨｌより高い。ガイド部材４２がカムフォロア５３に向かってＸ方向に移動すると、テーパ面４２２がカムフォロア５３に当接する（ステップＳ１０２）。さらに、ガイド部材４２がＸ方向へ移動すると、カムフォロア５３は、テーパ面４２２に沿って相対的にガイド部材４２に対して移動してガイド部材４２を押し上げて、パレットテーブル４１を上昇させる（ステップＳ１０３）。パレットテーブル４１の上昇は、カムフォロア５３が相対的にテーパ面４２２を通過して、水平面４２３に至るまで継続する。そして、カムフォロア５３が水平面４２３に当接して、パレットテーブル４１が上限高さまで上昇した状態で、パレットテーブル４１がカムフォロア５３によって支持される（ステップＳ１０４）。なお、ステップＳ１０２～Ｓ１０４で治具パレット４０が上昇するのに伴って、付勢支持部４３のバネ４３２が縮んで下側の弾性力を治具パレット４０に加える。つまり、カムフォロア５３は、バネ４３２の弾性力に抗して治具パレット４０を押し上げる。

　上述の通り、Ｙ方向に間隔を空けて配置された２個のガイド部材４２と、Ｙ方向に間隔を空けて配置された２個のサポート部５１とが互いに対応しており、各サポート部５１に設けられたカムフォロア５３は、対応するガイド部材４２に対して図４の動作を実行する。

　以上に説明する搬送システムの第１例では、治具パレット４０にはガイド部材４２（被リフト部材）が設けられ、サポート部５１（荷重受けユニット）にはカムフォロア５３（リフト部材）が設けられている。そして、カムフォロア５３は、ガイド部材４２の下側に相対的にＸ方向（進入方向）から進入しつつガイド部材４２に下側から当接することでガイド部材４２を上昇させる（ステップＳ１０２～Ｓ１０４）。こうして、サポート部５１のカムフォロア５３は、治具パレット４０のガイド部材４２を押し上げることで、スライダ２のスライダテーブル２１に対して治具パレット４０を上昇させた状態で治具パレット４０を支持する。この際、カムフォロア５３は、ガイド部材４２のガイド面４２１に当接しつつガイド面４２１に従動して回転することで、ガイド面４２１に対してＸ方向に相対的に移動する（ステップＳ１０２～Ｓ１０４）。さらに、ガイド面４２１は、ガイド部材４２の先端のテーパ始端Ｐｓからテーパ終端Ｐｅ（所定位置）までＸ方向に設けられたＸ方向（水平方向）に対して傾斜するテーパ面４２２（傾斜面）と、テーパ終端Ｐｅからガイド部材４２の先端と逆側に向けてＸ方向に設けられたＸ方向（水平方向）に平行な水平面４２３とを有する。そして、テーパ始端Ｐｓからテーパ終端Ｐｅに向かってテーパ面４２２に沿ってカムフォロア５３が相対的に移動するのに伴ってガイド部材４２が上昇する。かかる構成では、治具パレット４０と荷重受けユニット５との擦り合いが発生しない。その結果、昇降可能にスライダ２に支持された治具パレット４０を荷重受けユニット５により押し上げて支持するにあたって、治具パレット４０と荷重受けユニット５との擦り合いによってこれらが摩耗するのを抑制することが可能となっている。

　また、単軸ロボット３（搬送ロボット）は、スライダ２をＸ方向に搬送し、サポート部５１は、単軸ロボット３によってＸ方向に搬送されるスライダ２の搬送経路上の所定の高荷重作業位置Ｌｈ（作業位置）に配置される。そして、カムフォロア５３は、単軸ロボット３によって高荷重作業位置Ｌｈに搬送されてくる治具パレット４０のガイド部材４２に下側から当接することで、ガイド部材４２を上昇させる。かかる構成では、単軸ロボット３によってスライダ２を高荷重作業位置Ｌｈに搬送するのに伴って、カムフォロア５３がガイド部材４２を押し上げて、治具パレット４０を上昇させた状態で支持する。したがって、高荷重作業位置Ｌｈでの作業を速やかに開始することができる。

　また、治具パレット４０（換言すれば、パレットテーブル４１）の四隅にそれぞれ対応して設けられた４個のバネ４３２（弾性部材）が具備され、４個のバネ４３２のそれぞれは、カムフォロア５３によって上昇される治具パレット４０を下側に向けて付勢する弾性力を治具パレット４０に加える。かかる構成では、例えば治具パレット４０に加わる荷重が片側に偏った場合であっても、治具パレット４０の四隅にそれぞれ対応して設けられた４個のバネ４３２によって治具パレット４０の傾きを抑えることができる。

　このように搬送システム１の第１例では、搬送システム１が本発明の「搬送システム」の一例に相当し、治具パレット４０および荷重受けユニット５によって本発明の「荷重サポート装置」の一例が構成され、スライダ２が本発明の「スライダ」の一例に相当し、単軸ロボット３が本発明の「搬送ロボット」の一例に相当し、カムフォロア５３が本発明の「リフト部材」の一例に相当し、治具パレット４０が本発明の「治具パレット」の一例に相当し、ガイド部材４２が本発明の「被リフト部材」の一例に相当し、荷重受けユニット５が本発明の「荷重受けユニット」の一例に相当する。

　図５Ａおよび図５Ｂは本発明に係る搬送システムの第２例を部分的に示す斜視図であり、図６Ａおよび図６Ｂは図５Ａおよび図５Ｂに示す搬送システムを示す正面図であり、図７Ａおよび図７Ｂは図５Ａおよび図５Ｂの搬送システムが備えるワーク支持機構とスライダテーブルとの関係を示す斜視図である。上記の第１例との差異点はワーク支持機構および荷重受けユニットの構成にあるため、ここでは第１例との差異点を中心に説明し、第１例との共通点については相当符号を付して適宜説明を省略する。

　第２例に係る搬送システム１は、スライダ２、単軸ロボット３、ワーク支持機構６および荷重受けユニット７を備える。スライダ２および単軸ロボット３は、第１例と共通の構成を有する。つまり、単軸ロボット３はＸ方向にスライダ２を搬送し、単軸ロボット３によるスライダ２の搬送経路上には高荷重作業位置Ｌｈが設けられている。

　ワーク支持機構６は治具パレット６０を有する。この治具パレット６０は、スライダテーブル２１に上側から対向する平板状のパレットテーブル６１を有し、パレットテーブル６１の上面に作業対象となるワークが載置される。Ｚ方向からの底面視において、パレットテーブル６１は、Ｘ方向に平行な２辺とＹ方向に平行な２辺で規定される矩形を有し、Ｙ方向およびＸ方向のそれぞれにおいて、パレットテーブル６１の両端とスライダテーブル２１の両端とは一致している。

　治具パレット６０は、パレットテーブル６１の下面に固定された２個のガイド部材６２を有する。２個のガイド部材６２はＸ方向に所定間隔を空けて配置され、２個のガイド部材６２のそれぞれはＹ方向に平行に延設されている。これに対して、Ｘ方向において、パレットテーブル６１は、２個のガイド部材６２より両外側の端部６１１と、２個のガイド部材６２を含む中央部６１２とに区別できる。つまり、Ｘ方向において中央部６１２の両端のそれぞれにガイド部材６２が位置する。ガイド部材６２の下面は、Ｙ方向に平行に延設されたガイド面６２１である。ガイド面６２１は、Ｙ方向の両端に設けられたテーパ面６２２と、両端のテーパ面６２２の間に設けられた水平面６２３とを有する。テーパ面６２２は、ガイド部材６２（換言すれば、ガイド面６２１）の端に設けられたテーパ始端Ｐｓからガイド部材６２（換言すれば、ガイド面６２１）の途中に設けられたテーパ終端Ｐｅに渡って設けられた平面であり、テーパ始端Ｐｓからテーパ終端Ｐｅに向かって下降するようにＹ方向（水平方向）に対して傾斜する。

　また、ワーク支持機構６は、スライダテーブル２１の四隅（換言すれば、パレットテーブル６１の四隅）にそれぞれ対応して設けられた４個の付勢支持部６３を有する。付勢支持部６３は、パレットテーブル６１の端部６１１の下面から下側にＺ方向に延設されたシャフト６３１と、シャフト６３１に外嵌されたバネ６３２と、シャフト６３１の下端に設けられたフランジ６３３とを有する。また、スライダテーブル２１の四隅にそれぞれ対応して、スライダテーブル２１の端部２１１をＺ方向に貫通する４個の貫通孔２１３が設けられている。そして、４個の付勢支持部６３のシャフト６３１は、４個の貫通孔２１３をそれぞれ貫通し、各シャフト６３１の下端はスライダテーブル２１より下側に突出する。つまり、シャフト６３１の下端のフランジ６３３は、スライダテーブル２１の下面より下側に位置し、シャフト６３１に外嵌されたバネ６３２は、フランジ６３３とスライダテーブル２１の下面との間に位置して、フランジ６３３によって支持される。

　また、各付勢支持部６３は、上スペーサ６３４および下スペーサ６３５を有する。上スペーサ６３４は、パレットテーブル６１の下面に取り付けられ、シャフト６３１の上端部を囲む円環形状を有する。この上スペーサ６３４は、パレットテーブル６１の下面から下側に突出する。下スペーサ６３５は、スライダテーブル２１の上面に取り付けられ、Ｚ方向に貫通する貫通孔が開いた円筒形状を有する。下スペーサ６３５は、スライダテーブル２１の貫通孔２１３に対応して設けられ、下スペーサ６３５の貫通孔とスライダテーブル２１の貫通孔２１３とは連通する。この下スペーサ６３５は、スライダテーブル２１の上面から上側に突出して、シャフト６３１に外嵌する。これら上スペーサ６３４および下スペーサ６３５は、Ｚ方向に互いに対向した状態で、スライダテーブル２１とパレットテーブル６１との間に位置する。かかる構成では、上スペーサ６３４と下スペーサ６３５とが当接することでスライダテーブル２１とパレットテーブル６１との近接を制限する。そのため、スライダテーブル２１とパレットテーブル６１との間には、上スペーサ６３４および下スペーサ６３５によってクリアランスＣが確保される。特にクリアランスＣのうち、パレットテーブル６１の中央部６１２に対向する範囲は、後述するサポートアーム７４が挿入される挿入空間Ｓとして機能する。

　上スペーサ６３４と下スペーサ６３５とが当接して、上スペーサ６３４および下スペーサ６３５を介してパレットテーブル６１がスライダテーブル２１に載置された状態では、バネ４３２は自然長を有する一方、パレットテーブル６１がスライダテーブル２１に対して上昇して、上スペーサ６３４と下スペーサ６３５とが離れた状態では、フランジ６３３とスライダテーブル２１との間のバネ６３２は、フランジ６３３の上昇に応じて縮んで、パレットテーブル６１を下側に付勢する弾性力をパレットテーブル６１に加える。

　さらに、ワーク支持機構６は、パレットテーブル６１をスライダテーブル２１に対してＸ方向およびＹ方向に位置決めする４個のリニアブッシュ６５を有する。４個のリニアブッシュ６５は、４個の付勢支持部６３の内側において、スライダテーブル２１の四隅に対応して設けられる。リニアブッシュ６５は、パレットテーブル６１の端部６１１の下面から下側にＺ方向に延設されたシャフト６５１と、シャフト６５１に外嵌されたリテーナ６５２とを有し、リテーナ６５２は、スライダテーブル２１の上面に固定されている。そして、４個のリニアブッシュ４５のそれぞれでは、シャフト６５１の下端部が上側からリテーナ６５２に挿入される。

　このように、パレットテーブル６１は、付勢支持部６３およびリニアブッシュ６５によって構成される昇降支持機構によって、スライダテーブル２１に対して昇降可能に支持されている。

　図５Ａ、図５Ｂ、図６Ａおよび図６Ｂに示すように、搬送システム１は、単軸ロボット３によるスライダ２の搬送経路上に設けられた高荷重作業位置Ｌｈに対応して配置された荷重受けユニット７をさらに備える。荷重受けユニット７は、単軸ロボット３およびワーク支持機構６をＹ方向から挟むように配置されたアーム支持部７１およびアーム駆動部７２を有する。アーム支持部７１は、サポートフレーム７１１と、サポートフレーム７１１の上面に設けられた２個のカム受けレール７１２とを有する。２個のカム受けレール７１２はＸ方向に所定間隔を空けて配置され、２個のカム受けレール７１２のそれぞれはＹ方向に平行に延設されている。

　アーム駆動部７２は、単軸ロボット３およびワーク支持機構６に対してＹ方向においてアーム支持部７１の反対側に配置され、駆動テーブル７２１と、駆動テーブル７２１をＹ方向に駆動する単軸ロボット７２２とを有する。ここの例では、単軸ロボット７２２は、ボールネジのネジ軸をモータによって駆動することでボールネジのナットに取り付けられた駆動テーブル７２１をＹ方向に移動させる。ただし、単軸ロボット７２２により駆動テーブル７２１を駆動するための駆動機構の具体例は図５Ａおよび図５Ｂの例に限られず、例えばリニアモータをでもよい。

　また、荷重受けユニット７は、駆動テーブル７２１に固定された平板状のサポートアーム７４を有する。サポートアーム７４は、駆動テーブル７２１によって水平に支持され、Ｙ方向において駆動テーブル７２１からアーム支持部７１側に突出する。具体的には、サポートアーム７４は、駆動テーブル７２１に上側から対向して、駆動テーブル７２１の上面に当接する固定部７４１と、固定部７４１からアーム支持部７１側にＹ方向に延設された延設部７４２とを有し、固定部７４１が駆動テーブル７２１にネジ等の締結部材によって締結され、延設部７４２が固定部７４１からアーム支持部７１側に突出する。延設部７４２は、Ｘ方向において、２個のガイド部材６２それぞれのガイド面６２１の内側に位置し、延設部７４２のＸ方向の両側の端面７４３は、Ｙ方向に平行に延設されて、Ｘ方向に直交する平面である。

　また、荷重受けユニット７は、サポートアーム７４の延設部７４２のＸ方向の端面７４３に回転可能の取り付けられたカムフォロア７５を有する。つまり、延設部７４２の端面７４３には、Ｙ方向に並ぶ複数（４個）のカムフォロア７５が取り付けられ、各カムフォロア７５はＸ方向に平行な回転軸を中心に回転可能である。これら複数のカムフォロア７５は、延設部７４２のＸ方向の両側の端面７４３のそれぞれに設けられている。

　そして、アーム駆動部７２は、サポートアーム７４をＹ方向に駆動する。特に、アーム駆動部７２は、サポートアーム７４の延設部７４２がスライダテーブル２１とパレットテーブル６１との間の挿入空間Ｓに挿入される挿入位置Ｌ１（図５Ｂ、図６Ｂ）と、サポートアーム７４の延設部７４２が挿入空間ＳからＹ方向（アーム支持部７１の逆側）に退避する退避位置Ｌ２（図５Ａ、図６Ａ）との間でサポートアーム７４を駆動する。

　延設部７４２の両側の端面７４３のカムフォロア７５は、治具パレット６０の２個のガイド部材６２にそれぞれ対応する。そして、各カムフォロア７５は、高荷重作業位置Ｌｈに位置する治具パレット６０の対応するガイド部材６２を押し上げる。この点について、図８を用いて説明する。

　図８はガイド部材とカムフォロアとの動作を模式的に示す図である。スッテプＳ２０１～Ｓ２０４では、アーム駆動部７２がサポートアーム７４を退避位置Ｌ２から挿入位置Ｌ１に移動させるのに伴って、サポートアーム７４の延設部７４２が高荷重作業位置Ｌｈで停止するパレットテーブル６１とスライダテーブル２１との間の挿入空間Ｓに向かって移動して、当該挿入空間Ｓに挿入される過程が時系列で模式的に示されている。また、サポートアーム７４に伴って、サポートアーム７４に支持される各カムフォロア７５もＹ方向へ移動して挿入空間Ｓに挿入される。

　ステップＳ２０１ではカムフォロア７５はガイド部材６２からＹ方向に離間しており、Ｚ方向において、カムフォロア７５の上端の高さは、テーパ面６２２の上端の高さＨｈより低く、テーパ面６２２の下端の高さＨｌより高い。カムフォロア７５がガイド部材６２に向かってＹ方向に移動すると、カムフォロア７５がテーパ面６２２に当接する（ステップＳ２０２）。さらに、カムフォロア７５がＹ方向へ移動すると、カムフォロア７５は、テーパ面６２２に沿ってガイド部材６２に対して移動してガイド部材６２を押し上げて、パレットテーブル６１を上昇させる（ステップＳ２０３）。パレットテーブル６１の上昇は、カムフォロア７５がテーパ面６２２を通過して、水平面６２３に至るまで継続する。そして、カムフォロア７５が水平面６２３に当接して、パレットテーブル６１が上限高さまで上昇した状態で、パレットテーブル６１がカムフォロア７５によって支持される（ステップＳ２０４）。なお、ステップＳ２０２～Ｓ２０４で治具パレット６０が上昇するのに伴って、付勢支持部６３のバネ６３２が縮んで下側の弾性力を治具パレット６０に加える。つまり、カムフォロア７５は、バネ６３２の弾性力に抗して治具パレット６０を押し上げる。

　こうしてサポートアーム７４が挿入位置Ｌ１に到達するのに応じて、挿入空間Ｓに挿入されたサポートアーム７４の延設部７４２の先端部は、挿入空間Ｓからアーム支持部７１側に突出する。したがって、サポートアーム７４の延設部７４２の先端部に取り付けられたカムフォロア７５は、アーム支持部７１のカム受けレール７１２に乗り上げて、当該カム受けレール７１２によって支持される。

　以上に説明する搬送システムの第２例では、治具パレット６０にはガイド部材６２（被リフト部材）が設けられ、荷重受けユニット７にはカムフォロア７５（リフト部材）が設けられている。そして、カムフォロア７５は、ガイド部材６２の下側にＹ方向（進入方向）から進入しつつガイド部材６２に下側から当接することでガイド部材６２を上昇させる（ステップＳ２０２～Ｓ２０４）。こうして、荷重受けユニット７のカムフォロア７５は、治具パレット６０のガイド部材６２を押し上げることで、スライダ２のスライダテーブル２１に対して治具パレット６０を上昇させた状態で治具パレット６０を支持する。この際、カムフォロア７５は、ガイド部材６２のガイド面６２１に当接しつつガイド面６２１に従動して回転することで、ガイド面６２１に対してＹ方向に移動する（ステップＳ２０２～Ｓ２０４）。さらに、ガイド面６２１は、ガイド部材６２の先端のテーパ始端Ｐｓからテーパ終端Ｐｅ（所定位置）までＸ方向に設けられたＸ方向（水平方向）に対して傾斜するテーパ面６２２（傾斜面）と、テーパ終端Ｐｅからガイド部材６２の先端と逆側に向けてＹ方向に設けられたＸ方向（水平方向）に平行な水平面６２３とを有する。そして、テーパ始端Ｐｓからテーパ終端Ｐｅに向かってテーパ面６２２に沿ってカムフォロア７５が移動するのに伴ってガイド部材６２が上昇する。かかる構成では、治具パレット６０と荷重受けユニット７との擦り合いが発生しない。その結果、昇降可能にスライダ２のスライダテーブル２１に支持された治具パレット６０を荷重受けユニット７により押し上げて支持する技術において、治具パレット６０と荷重受けユニット７との擦り合いによってこれらが摩耗するのを抑制することが可能となっている。

　また、単軸ロボット３（搬送ロボット）は、Ｙ方向に直交するＸ方向（搬送方向）にスライダ２を搬送することで、高荷重作業位置Ｌｈ（作業位置）に向けてスライダ２を搬送する。これに対して、荷重受けユニット７は、カムフォロア７５が取り付けられたサポートアーム７４と、サポートアーム７４をＹ方向に駆動するアーム駆動部７２とを有する。このアーム駆動部７２は、高荷重作業位置Ｌｈに位置するスライダ２と治具パレット６０との間の挿入空間Ｓにサポートアーム７４が挿入される挿入位置Ｌ１と、挿入位置Ｌ１からサポートアーム７４が退避する退避位置Ｌ２との間で、サポートアーム７４を駆動する。これに対して、サポートアーム７４が退避位置Ｌ２から挿入位置Ｌ１に挿入されるのに伴って挿入空間Ｓに進入するカムフォロア７５がガイド部材６２に下側から当接してガイド部材６２を上昇させる。かかる構成では、サポートアーム７４の挿入のための挿入空間Ｓがスライダ２と治具パレット６０との間に設けられる。そのため、スライダ２と治具パレット６０との間の異物の挟み込みを抑制することができる。

　この際、Ｘ方向における挿入空間Ｓの両側に設けられて、挿入空間Ｓを空けてスライダ２に対して治具パレット６０を支持する一対の付勢支持部６３（支持アーム）が具備されている。また、Ｘ方向において一対の支付勢支持部６３の間で、カムフォロア７５は、ガイド部材６２に下側から当接する。かかる構成では、一対の付勢支持部６３の間においてカムフォロア７５によって治具パレット６０を支持する。そのため、治具パレット６０に加わる高荷重に抗して、治具パレット６０をＸ方向の中央部６１２でしっかりと支持することができる。

　また、治具パレット６０の四隅にそれぞれ対応して設けられた４個のバネ６３２（弾性部材）が設けられ、４個のバネ６３２のそれぞれは、カムフォロア７５によって上昇される治具パレット６０を下側に向けて付勢する弾性力を治具パレット６０に加える。かかる構成では、例えば治具パレット６０に加わる荷重が片側に偏った場合であっても、治具パレット６０の四隅にそれぞれ対応して設けられた４個のバネ６３２によって治具パレット６０の傾きを抑えることができる。

　このように搬送システム１の第２例では、搬送システム１が本発明の「搬送システム」の一例に相当し、治具パレット６０および荷重受けユニット７によって本発明の「荷重サポート装置」の一例が構成され、スライダ２が本発明の「スライダ」の一例に相当し、単軸ロボット３が本発明の「搬送ロボット」の一例に相当し、カムフォロア７５が本発明の「リフト部材」の一例に相当し、治具パレット６０が本発明の「治具パレット」の一例に相当し、ガイド部材６２が本発明の「被リフト部材」の一例に相当し、荷重受けユニット７が本発明の「荷重受けユニット」の一例に相当する。

　なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記の第１例では、治具パレット４０にガイド部材４２を設けつつ、荷重受けユニット５にカムフォロア５３を設けている。しかしながら、図９に示すように、治具パレット４０にカムフォロア４７を設けつつ、荷重受けユニット５にガイド部材５５を設けてもよい。

　図９は第１例の変形例におけるガイド部材とカムフォロアとの動作を模式的に示す図である。図９の例では、ワーク支持機構４は、治具パレット４０のパレットテーブル４１のＹ方向の両端に取り付けられたサポートプレート４６と、各サポートプレート４６に回転可能に取り付けられたカムフォロア４７とを有する。これに対して、荷重受けユニット５は、各サポート部５１に取り付けられたガイド部材５５を有する。このガイド部材５５はＸ方向に平行に延設され、ガイド部材５５の上面は、Ｘ方向に平行に延設されたガイド面５５１である。ガイド面５５１は、Ｘ方向の両端に設けられたテーパ面５５２（図９では、一端のテーパ面５５２のみを示す）と、両端のテーパ面５５２の間に設けられた水平面５５３とを有する。テーパ面５５２は、ガイド部材５５（換言すれば、ガイド面５５１）の端に設けられたテーパ始端Ｐｓからガイド部材５５（換言すれば、ガイド面５５１）の途中に設けられたテーパ終端Ｐｅに渡って設けられた平面であり、テーパ始端Ｐｓからテーパ終端Ｐｅに向かって上昇するようにＸ方向（水平方向）に対して傾斜する。

　スッテプＳ３０１～Ｓ３０４では、パレットテーブル４１が高荷重作業位置Ｌｈに向かって移動して当該高荷重作業位置Ｌｈに到達する過程が時系列で模式的に示されている。　ステップＳ３０１ではカムフォロア４７（被リフト部材）はガイド部材５５（リフト部材）からＸ方向に離間しており、Ｚ方向において、カムフォロア４７の下端の高さは、テーパ面５５２の上端の高さＨｈより低く、テーパ面５５２の下端の高さＨｌより高い。カムフォロア４７がガイド部材５５に向かってＹ方向に移動すると、カムフォロア４７がテーパ面５５２に当接する（ステップＳ３０２）。さらに、カムフォロア４７がＸ方向へ移動すると、カムフォロア４７がテーパ面５５２に沿ってガイド部材５５に対して移動してガイド部材５５によって押し上げられて、パレットテーブル４１が上昇する（ステップＳ３０３）。パレットテーブル４１の上昇は、カムフォロア４７がテーパ面５５２を通過して、水平面５５３に至るまで継続する。そして、カムフォロア４７が水平面５５３に当接して、パレットテーブル４１が上限高さまで上昇した状態で、パレットテーブル４１がガイド部材５５によって支持される（ステップＳ３０４）。

　図１０は第２例の変形例におけるガイド部材とカムフォロアとの動作を模式的に示す図である。図１０の例では、ワーク支持機構６は、治具パレット６０のパレットテーブル６１のＸ方向の両端に取り付けられたサポートプレート６６と、各サポートプレート６６に回転可能に取り付けられたカムフォロア６７とを有する。これに対して、荷重受けユニット７は、サポートアーム７４のＸ方向の両側の端面７４３それぞれに取り付けられたガイド部材７６を有する。このガイド部材７６はＹ方向に平行に延設され、ガイド部材７６の上面は、Ｙ方向に平行に延設されたガイド面７６１である。ガイド面７６１は、Ｙ方向の両端に設けられたテーパ面７６２（図１０では、一端のテーパ面７６２のみを示す）と、両端のテーパ面７６２の間に設けられた水平面７６３とを有する。テーパ面７６２は、ガイド部材７６（換言すれば、ガイド面７６１）の端に設けられたテーパ始端Ｐｓからガイド部材７６（換言すれば、ガイド面７６１）の途中に設けられたテーパ終端Ｐｅに渡って設けられた平面であり、テーパ始端Ｐｓからテーパ終端Ｐｅに向かって上昇するようにＹ方向（水平方向）に対して傾斜する。

　スッテプＳ４０１～Ｓ４０４では、アーム駆動部７２がサポートアーム７４を退避位置Ｌ２から挿入位置Ｌ１に移動させるのに伴って、サポートアーム７４の延設部７４２が高荷重作業位置Ｌｈで停止するパレットテーブル６１とスライダテーブル２１との間の挿入空間Ｓに向かって移動して、当該挿入空間Ｓに挿入される過程が時系列で模式的に示されている。また、サポートアーム７４に伴って、サポートアーム７４に取り付けられた各ガイド部材７６もＹ方向へ移動して挿入空間Ｓに挿入される。

　ステップＳ４０１ではガイド部材７６はカムフォロア６７からＹ方向に離間しており、Ｚ方向において、カムフォロア６７の下端の高さは、テーパ面７６２の上端の高さＨｈより低く、テーパ面７６２の下端の高さＨｌより高い。ガイド部材７６がカムフォロア６７に向かってＹ方向に移動すると、ガイド部材７６のテーパ面７６２がカムフォロア６７に当接する（ステップＳ４０２）。さらに、ガイド部材７６がＹ方向へ移動すると、カムフォロア６７がテーパ面７６２に沿ってガイド部材７６に対して相対的に移動してガイド部材７６によって押し上げられて、パレットテーブル６１が上昇する（ステップＳ４０３）。パレットテーブル６１の上昇は、カムフォロア６７がテーパ面７６２を相対的に通過して、水平面７６３に至るまで継続する。そして、カムフォロア６７が水平面７６３に当接して、パレットテーブル６１が上限高さまで上昇した状態で、パレットテーブル６１がガイド部材７６によって支持される（ステップＳ４０４）。

　ところで、搬送システム１の第１例では、カムフォロア５３がサポートフレーム５２に対して締結部材５４によって締結されている。したがって、サポートフレーム５２に取り付けられるカムフォロア５３の個数を、パレットテーブル４１に加わる荷重に応じて適宜変更することができる。そこで、同様に、カムフォロア７５の個数を変更できる構成を、搬送システム１の第２例の荷重受けユニット７に対して適用してもよい。また、カムフォロア５３を変更する構成は、カムフォロア５３をサポート部５１に取り付ける個数を変更する構成によらず、異なる個数のカムフォロア５３が取り付けられた複数種類のサポート部５１を用意して、これらのうちから使用するサポート部５１を選択する構成でもよい。カムフォロア７５の個数を変更する構成についても同様である。

　１…搬送システム
　２…スライダ
　３…単軸ロボット（搬送ロボット）
　４０…治具パレット（荷重サポート装置）
　４２…ガイド部材（被リフト部材）
　５３…カムフォロア（リフト部材）
　６０…治具パレット（荷重サポート装置）
　６２…ガイド部材（被リフト部材）
　７５…カムフォロア（リフト部材）
　Ｕ…荷重受けユニット（荷重サポート装置）

　

Claims

　被リフト部材を有し、搬送ロボットによって搬送されるスライダによって昇降可能に支持される治具パレットと、
　前記被リフト部材の下側に相対的に進入方向から進入しつつ前記被リフト部材に下側から当接することで前記被リフト部材を上昇させるリフト部材を有する荷重受けユニットと
を備え、
　前記リフト部材は、前記被リフト部材を上昇させることで、前記スライダに対して前記治具パレットを上昇させた状態で前記治具パレットを支持し、
　前記被リフト部材および前記リフト部材のうち、一方は前記進入方向に延設されたガイド面を有するガイド部材であり、他方はカムフォロアであり、
　前記カムフォロアは、前記ガイド面に当接しつつ前記ガイド面に従動して回転することで、前記ガイド面に対して前記進入方向に相対的に移動し、
　前記ガイド面は、前記ガイド部材の先端から所定位置まで前記進入方向に設けられた水平方向に対して傾斜する傾斜面と、前記所定位置から前記ガイド部材の先端と逆側に向けて前記進入方向に設けられた水平方向に平行な水平面とを有し、
　前記先端から前記所定位置に向かって前記傾斜面に沿って前記カムフォロアが相対的に移動するのに伴って前記被リフト部材が上昇するように、前記傾斜面が設けられている荷重サポート装置。
　前記搬送ロボットは、前記スライダを前記進入方向に搬送し、
　前記荷重受けユニットは、前記搬送ロボットによって前記進入方向に搬送される前記スライダの搬送経路上の所定の作業位置に配置され、
　前記リフト部材は、前記搬送ロボットによって前記作業位置に搬送されてくる前記治具パレットの前記被リフト部材に下側から当接することで、前記被リフト部材を上昇させる請求項１に記載の荷重サポート装置。
　前記搬送ロボットは、前記進入方向に直交する搬送方向に前記スライダを搬送することで、所定の作業位置に向けて前記スライダを搬送し、
　前記荷重受けユニットは、前記リフト部材が取り付けられたサポートアームと、前記サポートアームを前記進入方向に駆動するアーム駆動部とを有し、
　前記アーム駆動部は、前記作業位置に位置する前記スライダと前記治具パレットとの間の挿入空間に前記サポートアームが挿入される挿入位置と、前記挿入空間から前記サポートアームが退避する退避位置との間で、前記サポートアームを駆動し、
　前記サポートアームが前記退避位置から前記挿入空間に挿入されるのに伴って前記挿入空間に進入する前記リフト部材が前記被リフト部材に下側から当接して前記被リフト部材を上昇させる請求項１に記載の荷重サポート装置。
　前記搬送方向における前記挿入空間の両側に設けられて、前記挿入空間を空けて前記スライダに対して前記治具パレットを支持する一対の支持アームをさらに備え、
　前記搬送方向において前記一対の支持アームの間で、前記リフト部材は、前記被リフト部材に下側から当接する請求項３に記載の荷重サポート装置。
　前記治具パレットの四隅にそれぞれ対応して設けられた４個の弾性部材をさらに備え、
　前記４個の弾性部材のそれぞれは、前記リフト部材によって上昇される前記治具パレットを下側に向けて付勢する弾性力を前記治具パレットに加える請求項１ないし４のいずれか一項に記載の荷重サポート装置。
　スライダを搬送する搬送ロボットと、
　請求項１ないし５のいずれか一項に記載の荷重サポート装置と
を備えた搬送システム。
　搬送ロボットによって搬送されるスライダによって昇降可能に支持される治具パレットが有する被リフト部材の下側に、荷重受けユニットのリフト部材を相対的に進入方向から進入させる工程と、
　前記被リフト部材の下側への前記リフト部材の相対的な進入に伴って、前記リフト部材が前記被リフト部材に下側から当接して前記被リフト部材を上昇させる工程と
を備え、
　前記リフト部材は、前記被リフト部材を上昇させることで、前記スライダに対して前記治具パレットを上昇させた状態で前記治具パレットを支持し、
　前記被リフト部材および前記リフト部材のうち、一方は前記進入方向に延設されたガイド面を有するガイド部材であり、他方はカムフォロアであり、
　前記カムフォロアは、前記ガイド面に当接しつつ前記ガイド面に従動して回転することで、前記ガイド面に対して前記進入方向に相対的に移動し、
　前記ガイド面は、前記ガイド部材の先端から所定位置まで前記進入方向に設けられた水平方向に対して傾斜する傾斜面と、前記所定位置から前記ガイド部材の先端と逆側に向けて前記進入方向に設けられた水平方向に平行な水平面とを有し、
　前記先端から前記所定位置に向かって前記傾斜面に沿って前記カムフォロアが相対的に移動するのに伴って前記被リフト部材が上昇するように、前記傾斜面が設けられている荷重サポート方法。