KR20070026367A - 고품질 저온 질화규소층 형성 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

질화규소층을 형성하는 방법이 기재된다. 본 발명에 따라서, 질화규소층은 질화규소층을 형성하기 위하여 낮은 증착 온도(가령, 550℃ 이하의 온도)에서 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 열분해함으로써 증착된다. 열분해된 질화규소층은 그 후 처리된 질화규소층을 형성하기 위하여 수소 라디컬로 처리된다.

Description

고품질 저온 질화규소층 형성 방법 및 장치{A METHOD AND APPARATUS FOR FORMING A HIGH QUALITY LOW TEMPERATURE SILICON NITRIDE LAYER}
본 발명은 박층 형성의 분야에 관한 것이고 보다 구체적으로는 질화규소층을 형성하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
현대 집적 회로는 기능적 회로에 함께 집적된 문언상으로 수백만 개의 트랜지스터로 이루어진다. 집적 회로의 계산력 또는 저장 용량을 더 증가시키기 위해서, 게이트 길이와 게이트 산화물 두께와 같은 트랜지스터 피쳐(feature) 사이즈는 더 작게 스케일링되어야 한다. 불행히도, 트랜지스터 게이트 길이는 빈번히 스케일링되기 때문에, 트랜지스터의 전기적 특성 및 성능은 소자에서의 도펀트의 열적 재분배(thermal redistribution)에 기인하여 크게 변할 수 있다. 이로 인해, 소자가 추가적으로 스케일링 될 때, 집적 회로를 제조하기 위해 사용되는 열 경비, 즉, 증착 및 공정 온도로부터의 개별 공정 또는 축적 열 입력도 소자의 일관되고 신뢰할 수 있는 전기적 성능을 보장하기 위하여 감소되어야 한다. 또한, 반도체 소자를 추가적으로 스케일링하기 위하여, 소자를 제조하기 위해 사용되는 박층이 높은 구성 및 두께 균일성을 갖고 형성될 수 있어야 한다.
트랜지스터의 형성에 사용되는 한 가지 물질은 질화규소이다. 질화규소 박 층은 전통적으로 반도체 제조 공정에서 열 화학 기상 증착(CVD)에 의해 증착된다. 가령, 질화규소층은 스페이서 층, 에칭 스탑(etch stop) 뿐만 아니라, 커패시터 및 층간(interlayer) 유전체로도 사용된다. 그러나, 열화학 기상 증착을 이용하여 단일 웨이퍼 반응기에 고품질 질화규소층을 형성하는 현재의 기법은 750℃ 이상의 높은 증착 온도를 요하며/요하거나 감소된 온도에서 감소된 증착 속도를 가지며, 결과적으로 트랜지스터 제조를 위한 질화규소의 상당한 정도의 증착으로 귀결될 수 없다.
또한, 질화규소층이 현재의 공정 및 전구체들을 이용하여 감소된 온도 또는 높은 증착 속도로 증착될 때, 층의 품질은 일반적으로 바람직한 것보다 낮다. 예를 들면, 실란, 디클로로실란, 디실란, 비스-터트부틸아미노실란(BTBAS), 및 헥사클로로디실란을 포함하는 현재의 질화규소 전구체는 가령 저밀도 및 높은 수소 함량과 같이 원하는 층 품질보다 열악하게 층을 생산했다. 디실란 및 헥사클로로디실란은 약한 Si-Si 결합을 가지며, 이는 수용할 수 있는 증착 속도를 허용하지만, 암모니아와 같은 질소 소스와 함께 사용될 때, 열악한 막 품질(디실란에 대한 열악한 스텝 커버리지(step coverage) 및 마이크로로딩(microloading) 모두에 대하여 저밀도 및 높은 수소 함량)에 이르거나 (헥사클로로디실란에 대한)거의 관리할 수 없는 입자 생성에 이르게 된다.
따라서, 필요한 것은 생산성 있는 증착 속도로 감소된 증착 온도에서 열화학 기상 증착(CVD)에 의해 고품질 질화규소층을 형성하는 방법이다.
발명은 일반적으로 질화규소층과 같은 트랜지스터용 유전층을 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 질화규소층은 질화규소층을 형성하기 위하여 감소된 증착 온도에서 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 열분해함으로써 증착된다. 전구체는 Si-N 결합, Si-Cl 결합 또는 이들 모든 결합을 갖는 화합물을 포함한다. 열적으로 증착된 질화규소층은 그후 수소 라디컬에 노출되어 처리된 질화규소층을 형성한다. 한 개 이상의 Si-Si, N-N, 또는 N=N 결합을 갖는 전구체가 감소된 온도에서 질화규소층을 증착하기 위해 사용된다.
본 발명의 일 측면에서, 550℃ 이하의 온도로 기판을 가열하는 단계, 기판의 표면에 질화규소층을 증착하기 위하여 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 열분해하는 단계, 및 수소 라디컬에 상기 질화규소층을 노출시키는 단계를 포함하는 기판 처리 방법이 제공된다.
본 발명의 다른 측면에서, 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 550℃의 온도 및 분당 100Å을 초과하는 증착 속도로 150Å 미만의 두께로 열분해하여 질화규소층을 증착하는 단계, 및 상기 증착된 질화규소층을 수소 함유 가스의 플라즈마 분해에 의해 형성된 수소 라디컬에 노출시키는 단계를 포함하는 질화규소층 형성 방법이 제공된다.
본 발명의 다른 측면에서, 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 열분해하여 질화규소층을 증착하는 단계 - 상기 규소 함유 소스 또는 규소 및 질소 함유 소스 가스는 염소 및 탄소를 포함함 -, 처리된 질화규소층을 형성하기 위하여 상기 증착된 질화규소층을 수소 함유 가스의 플라즈마 분해에 의해 형성된 수소 라디컬로 처리하는 단계를 포함하는 질화규소층 형성 방법이 제공된다.
본 발명의 다른 측면에서, 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 열분해하여 질화규소층을 증착하는 단계 - 상기 질화규소층을 증착한 후에, 상기 질화규소층은 15 원자 퍼센트를 초과하는 수소 농도 및 10 원자 퍼센트를 초과하는 탄소 농도를 가짐 -, 및 상기 질화규소층이 10 원자 퍼센트 미만의 수소 농도와 5 원자 퍼센트 미만의 탄소 농도를 가질 때까지 상기 증착된 질화규소층을 수소 라디컬로 처리하는 단계를 포함하는 질화규소층 형성 방법이 제공된다.
본 발명의 다른 측면에서, 질화규소층을 형성하는 장치로서, 기판을 파지하는 챔버에 위치된 기판 지지체, 상기 기판 지지체상에 배치된 기판을 가열하는 히터, 규소 소스 가스 및 질소 소스 가스 및/또는 규소 및 질소 소스 가스를 포함하는 공정 가스 혼합물을 챔버로 제공하는 가스 주입구, 수소 함유 가스로부터 수소 라디컬을 생성하는 수단, 및 상기 장치의 동작을 제어하는 처리기/제어기 - 상기 처리기/제어기는 기판 지지체 상에 배치된 기판을 550℃ 미만의 온도로 가열하고, 및 상기 기판상에 질화규소층을 형성하기 위하여 기판을 가열하면서 챔버로 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 및 질소 함유 소스 가스를 제공하는 다수의 명령어, 및 상기 질화규소층을 수소 라디컬로 처리하기 위한 수소 라디컬을 생성하는 수단을 제어하는 명령어를 구비하는 메모리를 포함한다 - 를 포함하는 질화규소층 형성 장치가 제공된다.
도1은 질화규소층을 형성하는 방법의 일 실시예를 도시하는 흐름도.
도2는 질화규소층을 형성하는 방법의 일 실시예를 도시하는 흐름도.
도3A-3C는 질화규소층으로부터 형성된 측벽 스페이서를 갖는 반도체 소자를 형성하는 방법의 일 실시예의 개략 단면도.
도4는 질화규소층을 형성하기 위해 사용될 수 있는 장치의 일 실시예의 개략 단면도.
도5는 질화규소층을 형성하기 위해 사용될 수 있는 클러스터 툴의 일 실시예의 평면도.
본 발명은 감소된 증착 온도에서 형성될 수 있는 고품질 질화규소를 형성하는 것에 관한 것이다. 이하의 기재에서, 증착 및 어닐 설비와 같은 많은 특정 상세는 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위하여 제시되었다. 그러나, 당업자라면 이러한 특정 상세 없이도 본 발명이 실행될 수 있음을 깨달을 것이다. 다른 예에서, 주지된 반도체 공정들은 본 발명을 불필요하게 불명료하게 하는 것을 피하기 위하여 구체적인 상세까지 기재되지 않았다.
열화학 기상 증착(CVD)에 의해 550℃ 미만의 낮은 증착 온도에서 고품질 질화규소층을 형성하는 방법 및 장치가 제공된다. 질화규소층을 증착하는 방법의 일예는 일반적으로 도1의 흐름도를 참조하여 설명된다. 본 발명의 제1 단계에 따르 면, 도1의 블록 102에 도시된 것처럼, 소스 가스를 함유하는 규소 및 질소를 포함하는 처리 가스 혼합물, 또는 소스 가스를 함유하는 규소 및 소스 가스를 함유하는 질소는, 규소종과 질소종(질화규소층이 이들로부터 증착됨)을 생성하도록, 550℃ 이하의 증착 온도(기판 온도)에서, 가령 약 500℃ 미만에서 챔버에 열적으로 분해된다. 소스 가스(들)은 질화규소층이 550℃ 이하의 낮은 증착 온도(즉, 기판 또는 웨이퍼 온도)에서 분당 적어도 50Å의 증착 속도로 그리고 이상적으로는 분당 적어도 100Å의 증착 속도로 열화학 기상 증착에 의해 형성될 수 있도록 선택된다.
전구체
저온에서 충분히 높은 증착 속도로 열화학 기상 증착에 의해 질화규소층을 생성하도록 사용될 수 있는 소스 가스들은 하나 이상의 Si-N결합 또는 Si-Cl결합, 가령 비스-터트부틸아미노실란(bis-tertbutylaminosilane; BTBAS) 또는 헥사클로로디실란(hexachlorodisilane; HCD 또는 Si2Cl6)을 갖는 혼합물을 포함한다. 혼합물은 Si-Si결합, N=N결합, Si-N 및 Si-Cl결합의 혼합물, 또는 이들의 조합을 더 포함해도 좋다.
Si-Cl 작용기(결합) 및 Si-N 작용기(결합)의 조합은 특히 적절한 증착 속도에서 언제나 감소하는 온도에 대해 스텝 커버리지(step coverage) 및 마이크로로딩(microloading)을 개선하는 것이 관측되었다. Si-Cl 그룹의 수는 Si-N 그룹의 수에 대해 변경될 수 있다. Si-Cl 및 Si-N 결합은 층 특성 및 증착 특성에 대해 서로 다른 효과를 갖는 것처럼 보이며, Si-Cl 대 Si-N결합의 비는 층 특성 및 증착 특성을 균형잡기 위해 사용될 수 있다.
상술한 바람직한 결합 구조를 갖는 혼합물은 다음의 일반적인 구조를 갖는다:
(I) NR2-Si(R′2)-Si(R′2)-NR2, (아미도(디)실란)(amino(di)silanes),
(II) R3-Si-N-N-N, (실릴 아지드)(silyl azides), 또는
(III) R′3-Si-NR-NR2 (실릴 하이드라진)(silyl hydrazines).
상기 일반 구조에서, R 및 R'는 할로겐기, 하나 이상의 이중결합을 갖는 유기기, 하나 이상의 삼중 결합을 갖는 유기기, 지방족 알킬기, 고리모양 알킬기, 방향족, 유기규소기, 알킬아미노기, 또는 N 또는 Si를 포함하는 고리모양기(cyclic group), 및 이들의 조합으로부터 선택된 하나 이상의 작용기를 포함한다.
적절한 기능기의 예는 클로로(Cl-), 메틸(-Ch3), 에틸(-CH2CH3), 이소프로필, 트리메틸실릴, 피롤리딘, 및 이들의 조합을 포함한다. 적절한 혼합물의 예를 다음을 포함한다:
1,2-디에틸-테트라키스 (디에틸아미노) 디실란 {1,2-diethyl-tetrakis (diethylamino) disilane}, (CH2CH3(NCH2CH3)2Si)2
1,2-디클로로-테트라키스(디에틸아미노)디실란{1,2-dichloro-tetrakis (diethylamino) disilane}, (Cl(NCH2CH3)2Si)2
헥사키스(N-피롤리디니오)디실란 {hexakis (N-pyrrolidinio) disilane}, ((C4H9N)3)Si)2
1,1,2,2-테트라클로로-비스(디-트리메틸아미노)디실란{1,1,2,2-tetrachloro-bis(di-trimethylamino) disilane, (Cl2(NSi(CH3)3))Si)2
1,1,2,2-테트라클로로-비스(디-이소프로필)디실란 {1,1,2,2-tetrachloro-bis(di-isopropyl) disilane}, (Cl2(N(C3H 7)2))Si)2
1,2-디메틸-테트라키스(디에틸아미노)디실란 {1,2-dimethyl-tetrakis (diethylamino) disilane}, (CH3(NCH2CH3)2Si)2
트리스(디메틸아미노)실란 아지드{tris(dimethylamino)silane azide}, (N(CH3)2)3SiN3
트리메틸아미노 실란 아지드{trimethylamino silane azide}, (CH3)3SiN3
(2,2디메틸하이드라진)디메틸실란{(2,2 dimethylhydrazine)dimethylsilane} (CH3)2SiH-NH-N(CH3)2,
및 이들의 조합.
규소 대 규소 단일 결합(즉, Si-Si 단일 결합)을 갖는 규소 소스 가스(전구체) 또는 규소 및 질소 소스 가스(전구체)는 감소된 온도에서, 가령 약 550℃ 이하에서 분자를 분해시키거나 해리할 수 있다고 믿어진다.
규소 및 질소 함유층을 증착하기 위해 사용될 수 있는 질소 소스 가스 또는 전구체는 이에 제한되지는 않으나, 암모니아(NH3), 하이드라진(N2H4), 하이드라진 아지드(NH3), 도는 이들의 조합을 포함한다. 질소 소스 가스는 이상적으로는 저온에서 질소 소스 가스의 분해를 위한 질소-질소 단일 결합(즉, N-N 단일 결합)을 포함한다. 부가적으로, 규소 및 질소 함유 소스 가스가 처리가스 혼합물에서 사용될 때, 소량의 질소 소스 가스는 일반적으로 층 증착 동안 증착된 층의 조성에 대한 플렉시블한 제어를 위해 가스 혼합물에 포함될 수도 있을 것이다.
적절한 규소 소스 가스 또는 규소 및 질소 소스 가스 혼합물이 층에서 탄소 및 수소 함량을 최소화하도록 적응될 수 있다. 이와 관련하여, Si-C 결합, Si-H 결합, 및 N-H 결합은 전구체 결합 조성에서 최소화된다.
설계된 전구체를 사용하는 SiN CVD의 방법이 이제부터 기재될 것이다. CVD 공정은 SiN층 화학량론을 이루기 위하여 NH3의 소량 그러나 최소량의 부가를 여전히 필요로한다. 이는 Si 및 N에 대한 층으로의 합체 효율이 서로 다르기 때문에(서로 다른 운동 베리어), 전구체로부터의 질소의 전달에도 불구하고 여전히 필요조건이다. 화학양론적 질화규소층은 온도 및 R기(R group)의 선택에 따라 <10%C 비록 잠재적으로는 여전히> 10%H를 포함할 것이다. %H를 낮추기 위한 가능한 추가적인 후속 처리는 개별 특허에서 상술되는 것처럼 채용될 수 있다. 아미노디실란 전구체를 사용하는 산화물과 산질화물의 증착을 위하여 N2O와 같은 산화제의 첨가가 요구된다.
본 발명의 실시예에 따라 질화규소층을 단일 웨이퍼 반응기에서 증착하고 처리하는 방법의 일예가 도2의 흐름도 200에 설명된다. 제1 단계는 웨이퍼 또는 기 판상에 열화학 기상 증착에 의해 질화규소층을 증착하는 단계이다. 질화규소 증착 처리의 구체적인 예는 도2에 흐름도 200의 블록 201로써 제시되어 있고 흐름도 200의 단계들 202-210을 포함할 수 있다. 질화규소층을 증착하는 것에 있어 제1 단계는 챔버에 웨이퍼 또는 기판을 배치하는 것이다. 이상적으로 질화규소층은 웨이퍼를 가열하기 위한 저항 가열된 기판 지지체를 갖는 감소된 압력의 단일 웨이퍼 냉벽(cold wall) 반응기의 챔버, 가령 어플라이드 머티어리얼즈, XgenTM 챔버에서 형성된다. 적절한 챔버의 일예가 도4에 도시되고 설명된다.
일단 기판이 챔버에 배치되었다면, 질화규소층을 증착하기 위해 사용되는 증착 압력 및 온도가 성취된다. 본 발명의 실시예에서, 질화규소층의 증착이 발생하는 증착 압력은 약 10 torr 및 약 350 torr 사이이다. 증착 온도(즉, 웨이퍼 또는 기판의 온도)는 질화규소층을 증착하기 위해 사용되는 구체적인 처리 가스(가령, 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스)에 의존할 것이다. 웨이퍼 또는 기판 온도는 550℃ 이하, 가령 500℃ 이하이며, 일반적으로는 증착 처리 동안 450℃ 및 약 550℃ 사이이다.
다음으로, 블록 206에 제시된 것처럼, 처리 가스가 증착 챔버로 도입된다. 처리 가스 혼합물은 본원에 기재된 것처럼 적어도 규소 함유 소스 가스(즉, 질화규소층의 증착을 위한 규소 함유 중간종 또는 규소 원자를 제공하기 위하여 분해될 수 있는 가스)와 질소 함유 소스 가스(가령, 질화규소층의 증착을 위한 질소 함유종 또는 질소 원자의 소스를 제공하기 위하여 열적으로 분해될 수 있는 가스)를 포 함할 것이다. 대안으로, 처리 가스 혼합물은 단일 분자로부터 질소 및 규소 원자 모두의 소스를 제공하는 규소 및 질소 소스 가스를 포함하거나 또는 질화규소층의 형성을 위한 질소 및 규소 함유 중간종을 포함할 수 있다.
규소 및 질소 소스 가스가 이용될 때, 처리 가스 혼합물은 또한 질소 소스 가스 및/또는 규소 소스 가스를 포함하거나 질소 및 규소의 부가적인 소스 가스 없이 규소 및 질소 소스 가스만을 포함해도 좋다. 본 발명의 실시예에서, 질소 소스 가스가 챔버로 규소 소스 가스를 제공하기 전에 증착 챔버로 제공된다. 대안으로, 질소(N2) 뿐만 아니라 헬륨과 아르곤을 포함하는 희가스와 같은 불활성 캐리어 가스가 반응 챔버로 도입되어도 좋다. 규소 소스 가스 및 질소 소스 가스는 1:1 및 약 1:1000 사이, 가령 약 1:1 및 약 1:500 사이의 유량비율로 처리 챔버로 도입된다.
본 발명의 실시예에서, 규소 소스 가스는 헥사클로로디실란(HCD)이다. 질화규소층은 HCD 및 NH3 또는 N2H4를 챔버로 제공함으로써 형성될 수 있다. 500-5000sccm의 질소 소스 가스가 반응 챔버로 제공되는 동안 HCD는 10-2000sccm의 유량으로 반응 챔버로 제공된다. 일예에서, HCD 소스 가스 및 질소 소스 가스는 1:1 및 1:1000의 유량 및 이상적으로는 1:1 및 1:500 사이의 유량을 갖는다. 이러한 공정은 530℃의 웨이퍼 온도에서 약 80Å/분의 증착율로 그리고 480℃의 웨이퍼 온도에서는 약 50Å/분의 증착율로 질화규소층을 형성할 수 있다.
적절한 질화규소층은 1,2-디클로로-테트라키스 (디에틸아미노) 디실란을 10-100 sccm의 유량 그리고 질소 소스 가스를 200-2000 sccm 사이의 유량 이용하여 형 성될 수 있다. 적절한 질화규소층은 10-100 sccm 사이의 유량의 1,2-디에틸-테트라키스 (디에틸아미노) 디실란 그리고 200-2000 sccm의 질소 가스로부터 증착될 수 있다. 이러한 공정은 530℃의 웨이퍼 온도에서 약 80Å/분의 증착율로 그리고 480℃의 웨이퍼 온도에서는 약 50Å/분의 증착율로 질화규소층을 형성할 수 있다. 다음과 같은 추가적인 예는 바람직하게는 전구체 1,2-디에틸-테트라키스 (디에틸아미노) 디실란을 갖는 Applied Materials SiNgen과 같은 단일 웨이퍼 저압 열 CVD 장치에서의 상세한 처리 매개변수이며, 450℃ 및 약 650℃ 사이, 가령 약 500℃의 기판 온도, 약 10 torr 및 약 300 torr 사이, 가령 약 40 torr 및 약 200 torr 사이의 챔버 압력, 10을 초과하는, 가령 약 50 및 약 100 사이의 NH3 대 규소 전구체 유량 비, 약 0.2 및 약 1.0 gms/분 사이의, 가령 0.5 gms의 규소 전구체 유량, 및 약 500 mils 및 약 1000 mils 사이에서 이격하는 샤워헤드에 대한 히터를 포함하며, 이는 60 및 200 Å/분 사이 가령 약 100 Å/분의 증착속도에 이를 수 있다.
비교하여, 다음은 다시 바람직하게는 전구체 1,2-디클로로-테트라키스 (디에틸아미노) 디실란을 갖는 배치 노(batch furnace)에서의 SiN CVD 공정의 상세이며, 450℃ 및 약 650℃ 사이의, 가령 약 500℃의 기판 온도, 약 0.1 torr 및 약 2 torr 사이의, 가령 약 0.4 torr 및 약 1 torr 사이의 챔버 압력, 10 미만의, 가령 약 1 및 약 5 사이의 NH3 대 규소 전구체 유량 비를 포함하며, 규소 전구체 유량은 5 및 20 Å/분 사이의, 가령 약 12 Å/분의 증착속도에 이를 수 있는 노 튜브 볼륨에 의존한다.
다음으로, 흐름도 200의 블록 208에 제시된 것처럼, 가열된 기판 또는 기판 지지체로부터의 가열은 규소 및 질소 소스 가스 또는 규소 소스 가스 및 질소 소스 가스가 열 분해되도록 한다. 규소 소스 가스의 열분해는 규소 원자 또는 규소 함유 중간종을 제공한다. 질소 소스 가스의 열분해는 질소 원자 또는 질소 함유 중간종을 제공한다. 규소 및 질소 소스 가스의 열분해는 규소 원자 또는 규소 함유 중간종뿐만 아니라 질소 원자 또는 질소 함유 중간종 모두를 제공한다. 규소 원자 또는 규소 함유 중간종은 질소 원자 또는 질소 함유 중간종과 반응하여 기판의 표면에 대하여 질화규소층을 증착한다. 본 발명에서, 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 또는 질소 함유 소스 가스는 광자 인헨스먼트(enhancement) 또는 플라즈마 인헨스먼트 없이, 플라즈마 없는 증착 공정으로 불리워지는, 기판으로부터의 열 또는 기판 지지체로부터의 열과 같은 열에너지만을 이용하여 열분해됨이 이해되어야 한다. 본 발명의 실시예에서, 질화규소층은 10-150Å 사이의, 120Å 미만의 두께로 증착되며, 이상적으로는 80Å 미만이 바람직하다. 만약 더 두꺼운 층을 원한다면, 제2, 제3, 또는 다른 층의 증착/수소 라디컬 처리 사이클이 사용되어 후술될 더 두꺼운 층들을 증착할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 블록 210으로 제시된 것처럼, 충분히 두꺼운 질화규소층의 증착 후에, 규소 소스 가스 및 질소 소스 가스의 유량이 정지된다. 본 발명의 실시예에서, 질화규소의 증착이 완결될 때, 기판은 블록 210에서 제시된 것처럼 질소 소스 가스로 선택적으로 처리될 수 있다. 질소 소스 가스만이 약 10초 동안 반응 챔버로 도입된다. 증착 단계의 끝에서 질소 소스 가스로 질화규소층을 처 리하는 것은 기판상의 반응되지 않은 규소 부위를 마무리한다. 이러한 동작은 N/Si 비율을 증가시키고 질화규소층에 수소(구체적으로는 Si-H 결합 형태)를 감소시키는 것을 돕는다. 그러나, 동작 210은 본 발명에 따라 양호한 질소 함유 소스 가스를 얻는 데 필수적이지는 않다.
질화규소층을 증착하기 위하여 본 발명에서 이용되는 공정 가스 혼합물은 질화규소층이 550℃ 미만의 그리고 이상적으로는 500℃ 미만의 낮은 증착 온도에서 적어도 분당 50Å의 유량으로, 이상적으로는 분당 100Å을 초과하는 유량으로 열화학 기상 증착에 의해 증착될 수 있게 한다.
플라즈마 처리
증착된 질화규소층은 층의 품질을 향상시키기 위하여 미리 결정된 시간 주기 동안 수소 라디칼로 처리된다. 수소 라디컬은 챔버내에서의 인 시츄(in-situ) 방식에 의하거나, 원격 장치에서 그리고 챔버로 전달되는 방식으로, 암모니아(NH3) 및 수소(H2)와 같은 수소 함유 가스의 플라즈마 증착에 의해 형성될 수 있다. 증착된 질화규소층은 5ㅧ10 15 및 1ㅧ1017원자/cm2 사이의 유량으로 수소 라디칼로 처리될 수 있다. 수소 라디컬 처리 동안 기판은 약 100 militorr 및 약 5 torr 사이의 챔버 압력에서 약 450℃ 및 약 600℃ 사이의 낮은 온도로 가열된다. 충분한 처리는 일반적으로 약 15 및 약 120 초 사이에서 발생할 수 있다.
수소 라디컬 처리를 위해 사용되는 수소 라디컬은 임의의 적절한 방법으로 생성될 수 있다. 본 발명의 실시예에서, 수소 라디컬은 충분한 수의 수소 라디컬 을 제공하도록 분해될 수 있는 수소 함유 가스의 플라즈마 분해에 의해 형성된다. 수소 라디컬은 매우 활성화된 중성 원자 수소를 포함하는 원자 수소의 모든 종과 방전된 수소 이온을 포함한다. 적절한 수소 소스 가스는 암모니아(NH3) 및 수소(H2) 가스를 포함한다. 본 발명의 실시예에서, 수소 소스 가스는 암모니아(NH3) 및 수소(H2)의 혼합물을 포함한다. 본 발명의 실시예에서, 수소 처리 가스는 NH3 또는 H2만을 포함한다. 또한, 본 발명의 실시예에서, 불활성 가스, 가령 N2, Ar 또는 He은 수소 처리와 함께 제공될 수 있다.
수소 함유 가스는 200-2000 watt 사이의 전력으로 마이크로파 또는 무선주파수 소스를 이용하여 수소 라디컬을 제공하도록 적절한 해리될 수 있다. 수소 처리 가스의 플라즈마 분해는 인-시츄 방식으로 또는 원격 플라즈마를 이용하여 이루어질 수 있다. 인-시츄 공정에서, 플라즈마 및 수소 라디컬은 처리될 질화규소층을 갖는 기판이 위치되는 동일한 챔버에서 생성된다. 적절한 플라즈마 챔버의 예는 용량성 결합된 PECVD 또는 고밀도 플라즈마 HDP 챔버를 포함한다. 원격 플라즈마 공정에서, 수소 라디컬 및 플라즈마는 처리될 질화규소층을 갖는 기판이 위치되는 챔버로부터 분리된 챔버에서 마이크로파에 의해 생성된다. 원격 플라즈마 공정에서, 플라즈마와 수소 라디컬은 제1 챔버(분해 챔버 또는 공동)에서 생성되며 그 후 이들은 분해 챔버로부터 도관을 통해 처리될 질화규소층을 갖는 기판을 포함하는 제2 챔버로 유입된다. 임의의 적절한 원격 플라즈마 발생기 반응기, 가령 Astex Astron, 어플라이드 머티어리얼즈 원격 플라즈마 질화 RPN 소스, 및 어플라이드 머 티어리얼즈 어드밴스드 스트립 패시베이션 플러스(ASP) 챔버(이에 제한되지는 않음)가 사용될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 수소 라디컬은 "핫 와이어"(hot wire) 또는 가령 암모니아(NH3) 및 수소(H2) 가스와 같은 수소 함유 가스의 촉매 분해또는 이들의 조합에 의해 형성된다. "핫 와이어" 공정에서, 텅스텐 필라멘트와 같은 와이어 또는 촉매는 약 1600-1800℃의 고온으로 가열된다. 가열된 필라멘트는 수소 처리 가스의 크랙킹(cracking) 또는 분해를 유발하여 수소 라디컬을 형성한다. 수소 라디컬은 그 후 필라멘트 아래에 위치된 기판상에 형성된 질화규소층을 처리한다. 필라멘트가 고온을 가지지만, 기판은 여전히 600℃ 미만, 바람직하게는 550℃ 미만의 저온으로만 가열된다. 본 발명의 또 다른 실시예에서, 유도성 생성된 플라즈마가 수소 라디컬을 생성하기 위하여 이용될 수 있다.
저온 처리 공정에 의하여 수소 라디컬이 질화규소층을 투과할 수 있는 거리는 가령 HCD 막에 대해 약 100Å으로 제한되며, 가령 실란 막에 의해 일반적으로 50Å 미만이므로, 150Å 이하, 바람직하게는 100Å 이하의 질화규소층이 수소 라디컬 처리 이전에 형성된다. 더 두꺼운 질화규소층을 원할 때는, 다중 증착 및 처리 사이클이 이용될 수 있다. 가령, 만약 300Å 질화규소층을 원한다면, 제1 100Å 질화규소층이 증착된 후 질화규소층이 수소 라디컬로 처리된다. 그 후, 제2 100Å 질화규소층은 상기 처리된 질화규소층에 증착될 것이며, 그 후 제2 질화규소층이 수소 라디컬로 처리된다. 그 후, 제3 100Å 질화규소층이 상기 제2 질화규소층에 증착될 것이며, 이는 수소 라디컬로 처리된다. 이러한 방식으로 고품질 질화규소 층이 원하는 임의의 두께로 형성될 수 있다. 가령 HCD의 180Å CVD의 3사이클에 이은 8초의 수소 라디컬 노출은 처리된 100Å의 3층 및 처리되지 않은 80Å을 지시한다.
가령, 수소 라디컬 처리 이전의 질화규소층은, 상당한 부분의 Si-H 형태를 갖는 15 원자 퍼센트를 초과하는 수소 농도, 유기 규소 전구체가 사용되는 경우 10 원자 퍼센트를 초과하는 탄소 농도, 염소처리된(chlorinated) 규소 전구체가 사용되는 경우 1 원자 퍼센트를 초과하는 염소 농도, 1.85 미만의 굴절율, 및 버퍼링된 산화물 에칭(BOE)과 같은 산화물 에칭을 이용하여 산화규소의 에칭율의 두 배 이상의 습식 에칭율을 가질 수 있다. 이와 같은 질화규소층은 스페이서 및 인터폴리(interpoly) 유전체와 같이, 반도체 장치 제조에서의 질화규소층의 많은 어플리케이션에 대하여 부적절하다고 생각될 수 있다.
처리된 질화규소층은 10원자 퍼센트 미만의 총 수소 농도, Si-H 형태의 감소된 부분, 가령 5 원자 퍼센트 미만의 탄소 농도, 가령 1 원자 퍼센트 미만의 염소 농도, 가령 1.90 초과의 증가된 굴절률, 또는 가령 BOE과 같은 산화물 에칭을 이용하여 산화규소와 거의 동일한(1:1) 에칭율의 감소된 습식 에칭율을 갖는 것으로 관측되었다.
본 발명의 공정은 고품질 질화규소층이 낮은 증착 온도 및 제조가능하게 높은 증착률(가령, 50Å/분 초과)로 열화학 기상 증착에 의해 형성될 수 있게 한다. 낮은 증착 온도는 질화규소층이 트랜지스터 또는 능동 디바이스 형성 이후의 응용 또는 위치에서 반도체 회로 제조 공정에 이용될 수 있게 해주는데, 이는 증착 온도 가 소자의 열 경비에 크게 영향을 주지 않고 소자 내부의 도펀트 분포를 변경하지 않을 정도로 충분히 낮기 때문이다. 질화규소층의 높은 증착률은 공정이 단일 웨이퍼 반응기에서 수행될 수 있게 해준다.
제조
본 발명에 따른 질화규소층의 형성 방법은 낮은 열 경비 및/또는 실리콘 기판에 배치된 도펀트의 재분배 방지를 필요로 하는 반도체 소자의 제조에서 사용하기에 이상적이다. 본 발명에 따른 질화규소층의 사용을 위한 일례는 측벽 스페이서의 제조이다. 이와 같은 응용에서, 도3A에 도시된 기판(300)과 같은 기판이 제공될 것이다. 기판(300)은 상부에 형성된 게이트 유전층(304)을 갖는 단결정 실리콘 기판 또는 층(302)을 포함한다. 측면으로 대향하는 측벽을 갖는 게이트 전극(306)이 게이트 유전층상에 형성된다. 일반적으로 한 쌍의 소스/드레인 첨단 또는 연장 영역(310)이 게이트 전극(306)의 측면으로 대향하는 측벽과 정렬하여 실리콘 기판(302)에 형성될 것이다.
다음으로, 도3B에 도시된 것처럼 저온 질화규소층이 본 발명에 따라 형성되며 도3B의 기판(300) 상부에 피복 증착될 것이다. 질화규소층(312)의 두께는 제조되고 있는 트랜지스터의 물리적 특성에 의존하며, 65nm 기술 소자에 대하여는 일반적으로 적어도 200Å 두께일 것이다. 본 발명에 따라 질화규소층이 높은 증착률로 낮은 증착 온도를 이용하여 상술된 것처럼 증착될 것이다. 100Å 이하의, 이상적으로는 50Å 미만의 두께를 갖는 질화규소층이 우선 형성된다. 그 후, 질화규소층은 전술한 것처럼 수소 라디컬로 어닐링된다. 다음, 필요하다면, 제2 질화규소층 이 수소 라디컬처리된 제1 질화규소층상에 형성된다. 그 후, 제2 질화규소층이 전술한 것처럼 수소 라디컬로 처리될 것이다. 다음, 제3 질화규소층이 전술한 것처럼 저온 화학 기상 증착에 의해 증착될 것이다. 증착된 제3 질화규소층은 전술한 것처럼 수소 라디컬로 처리된다. 공정은 이러한 방법으로 원하는 총 두께를 갖는 질화규소층(312)이 형성될 때까지 계속된다. 일부 이용 실시예에서는, 증착된 또는 성장된 질화규소층이 상기 질화규소층 이전에 형성되고 따라서, 상기 질화규소층 아래에 있다. 질화규소층(312)은 저온 공정으로 형성되고 저온에서 수소 라디컬로 처리되기 때문에, 실리콘 질화 동안 소스/드레인 연장(310)을 형성하는 도펀트는 실질적으로 이동되지 않거나 기판 내에서 재분배되지 않는다. 이러한 방법으로, 제조된 소자의 전기적 특성이 일관될 것이다.
다음으로, 도3C에 도시된 것처럼, 충분히 두꺼운 질화규소층(312)의 형성 이후에, 질화규소층(312)은 게이트 전극(306)의 측면으로 대향하는 측벽을 따라 연장하는 측벽 스페이서(314)를 형성하도록 이방성으로 에칭될 수 있다. 이방성 에칭 공정은 소스/드레인 연장(310) 및 게이트 전극(306)의 상부와 같은 수평면으로부터 질화규소층을 제거하는 한편 게이트 전극(306)의 측벽과 같은 수직면에 질화규소를 남긴다. 측벽 스페이서(314)의 형성 이후에, 깊은 소스/드레인 영역(316)의 형성 및/또는 상기 소스/드레인 영역상에 규소화합물(318)의 형성과 같은 부가적인 반도체 소자의 처리가 발생할 수 있다. 측벽 스페이서(314)는 깊은 소스/드레인 영역의 오프셋을 허용하며, 티타늄 규소화합물 또는 코발트 규소화합물과 같은 규소화합물이 기술 분야에서 주지된 자기-정렬된 공정에서 소스/드레인 영역상에 그리고 게이트 전극의 상부에 형성될 수 있게 한다.
장치
본 발명의 질화규소층은 이상적으로는 저압 열화학 기상 증착 반응기에서 형성된다. 적절한 반응기(400)의 일례가 도4에 도시되어 있다. 본 발명의 실시예에서, 수소 라디컬 처리는 질화규소층을 증착하기 위해 사용되는 챔버와 동일한 챔버에서 발생할 수 있다. 층을 증착하기 위해 사용된 챔버와 동일한 챔버에서 수소 라디컬로 "증착된" 질화규소층을 처리하기 위해서는, 원격 플라즈마 소스가 저압 화학 기상 증착 반응기에 결합되어 챔버에 수소 라디컬의 소스를 제공할 수 있다. 저압 화학 기상 증착 반응기(400)에 결합된 원격 플라즈마 발생기 소스(801)의 예는 역시 도4에 도시된다. 원격 플라즈마 발생기(801)를 열화학 기상 증착 반응기(400)에 결합하는 것은 본 발명의 처리량을 크게 향상시키며 질화규소층이 질화규소 증착 이후에 수소 라디컬로 직접 처리될 수 있게 해준다. 또한, 이러한 장치는 연속된 증착/처리 사이클이 200Å을 초과하는 질화규소층과 같은 두꺼운 질화규소층을 형성하기 위해 사용될 때, 웨이퍼 처리량을 드라마틱하게 향상시킨다.
도4는 반응기 용기 어셈블리(반응기)(400)를 도시한다. 도4는 반응기(400)가, 처리 가스, 전구체 가스, 또는 반응 가스가 열분해되어 웨이퍼 기판(비도시)상에 규소포함층을 형성하는 반응 챔버(408)를 형성하는 챔버 몸체(406)를 포함하고 있음을 도시한다. 챔버 몸체(406)는 챔버가 10 내지 약 350 torr 사이의 압력을 유지될 수 있게 해줄 물질로 제조된다. 일 예시적인 실시예에서, 챔버 몸체(406)는 알루미늄합금 물질로 제조된다. 챔버 몸체(406)는 온도 제어된 유제가 챔버 몸 체(406)를 냉각하기 위하여 이를 통해 펌핑(pumping)되는 통로(410)를 포함한다. 온도 제어된 유체 통로를 구비하여, 반응기(400)는 "냉벽(cold-wall)" 반응기라고 불리워진다. 챔버 몸체(406)를 냉각함으로써 반응종의 존재 및 고온으로 인한 챔버 몸체(406)를 형성하기 위해 사용되는 물질에 대한 부패를 방지한다.
반응 챔버(408), 챔버 뚜껑(426), 페이스 플레이트(또는 샤워 헤드; 430), 블로커 플레이트(428), 및 저항성 가열 어셈블리(404)가 챔버 몸체(406)에 상주한다. 저항성 가열 어셈블리(404)는 니켈로 이루어진 히터 튜브(414)의 길이방향으로 연장하는 와이어 리드(wire lead; 412)를 포함한다. 히터 튜브(414)의 단부에는 소결된 AlN으로부터 제조된 가열 디스크(416)가 존재한다. 가열 디스크(416) 내부에는 몰리브덴으로 제조된 하나 이상의 가열 코일(418)이 존재한다. 와이어(412) 및 코일(418)은 납땜에 의해 결합되며 그 안쪽에서 전기적으로 전도성이다. 와이어(412)는 AlN 세라믹 슬리브(420)와 열적으로 절연된다. 코일(418)은 대부분의 전기 저항을 제공하며 따라서 대부분의 반응 챔버(408) 가열을 제공한다. 가열 디스크(416)의 단부에는 포켓(422)으로 불리는 리세스(recess)가 존재하며 포켓(422) 내부에는 웨이퍼(비도시)가 배치된다.
도4는 챔버 몸체(406)가 승강기 어셈블리(436)를 추가적으로 하우징함을 도시하고 있다. 승강기 어셈블리(436)는 반응 챔버(408) 내외부로 웨이퍼 기판(비도시)의 이동을 용이하게 한다. 승강기 어셈블리(436)는 스테퍼 모터일 수 있다. 승강기 어셈블리(436)는 히터 어셈블리(404)를 축(405)을 따라 상하로 이동시켜 웨이퍼 기판의 반응 챔버(408) 내외부로의 이동을 용이하게 한다.
기판 또는 웨이퍼는 가령 로봇 전달 메커니즘(비도시)에 의해 진입 포트(434)를 통해 반응 챔버(408)로 배치된다. 일 실시예에서, 로봇 전달 메커니즘은 전달 블레이드와 결합하며 로봇 전달 메커니즘은 전달 블레이드를 제어한다. 전달 블레이드는 반응 챔버(408) 내부로 그리고 가열 디스크(416)의 포켓(422) 상부로 기판을 로드하기 위하여 개구를 통해 기판을 삽입한다. 기판이 로드되고 있을 때, 가열 디스크(416)의 표면이 진입 포트(434) 아래에 있도록 승강기 어셈블리(436)는 축(405)을 따라 내부 방향으로 히터 어셈블리(404) 및 가열 디스크(416)를 하강시킨다. 가열 디스크(416)가 하강될 때, 기판은 반응 챔버(408)에 배치된다. 일단 기판이 로드되고 나면, 진입 포트(434)는 밀봉되고 승강기 어셈블리(436)는 페이스 플레이트(430)쪽을 향해 보다 나은(가령, 상부) 방향으로 히터 어셈블리(404) 및 가열 디스크(416)를 이동시키거나 나아가게 한다. 일 실시예에서, 나아감은 웨이퍼 기판이 페이스 플레이트(430)로부터 짧은 거리(가령 400-900mil)일 때 정지한다.
일 실시예에서, 증착 또는 처리에 대해 준비되었을 때, 가스 패널(401)에 의해 제어되는 공정 가스 또는 전구체 가스가 반응 챔버(408)로 도입된다. 블로커 플레이트(428)는 다수의 구멍(비도시)을 가지므로 이를 통한 가스 유량을 조절한다. 공정 가스는 우선 포트(424)를 통하고, 블로커 플레이트(428)를 통하고, 그 후 페이스 플레이트(430)를 통해 반응 챔버(408) 내부로 도입된다. 공정 가스는 블로커 플레이트(428)에 있는 다수의 구멍을 통해 그 후 페이스 플레이트(430)를 통해 포트(424)로부터 분배된다. 페이스 플레이트(430)는 반응 챔버(408)로 공정 가스를 균일하게 분배한다.
기판은 히터 어셈블리(404)는 히터 어셈블리(404)를 가령 아래쪽으로 (하강) 함으로써 챔버로부터 제거된다. 히터 어셈블리(404)가 승강기 어셈블리(436)의 행동을 통해 아래 방향으로 이동할 때, 승강핀(442)은, 접촉 승강 플레이트(444)와 접촉하고 정지된 채로 유지하며 가열 디스크(416)의 상부 표면 위로 극단적으로 연장하여 하강될 때 기판을 가열 디스크(416)로부터 분리한다. 전달 블레이드는 그 후 개구(434)를 통해 삽입되고 기판과 가열 디스크(416) 사이에 위치된다. 접촉 승강 플레이트(444)는 그 후 하강되고, 이에 의해 승강핀(442)을 하강시키며 기판이 전달 블레이드 상부로 하강되도록 한다. 기판은 그 후 전달 블레이드에 의해 진입 포트(434)를 통해 제거될 수 있다.
상술된 메커니즘은 이후의 기판에 대해 반복될 수 있다. 한 가지 적절한 승강기 어셈블리(436)에 대한 상세한 기재는 캘리포니아 산타클라라 소재 어플라이드 머티어리얼즈 인코포레이티드에 양도된 미국특허 No.5,772,773에 기재되어 있다.
반응기(400)는 반응 챔버(408) 내부의 처리 온도를 모니터링하기 위해 온도 지시기(비도시)를 또한 포함한다. 일례에서, 온도 지시기는 열전쌍일 수 있는데, 이는 가열 디스크(416)의 표면에서의(또는 가열 디스크(416)에 의해 지지되는 기판의 표면에서의) 온도에 대한 데이터를 편리하게 제공하도록 위치된다. 반응기(400)에서 기판의 온도는 가열 디스크(416)의 온도보다 약간 더 차가운 20-30℃이다.
도4는 반응 챔버(408)가 온도 제어된 라이너 또는 절연 라이너(409)와 일직 선상에 있음을 더 도시한다. 전술한 것처럼, 챔버 몸체(406)는 냉벽 챔버 효과를 생성하도록 온도 제어된 유체에 대한 통로(410)를 포함한다. 반응 챔버(408) 내부의 챔버 온도는 600℃ 또는 훨씬 더 높을 수 있다. 반응 챔버(408)에서 층을 형성하기 위해 사용되는 화학제품으로 인해, 고온은 반응 챔버(408)의 챔버 몸체(406)를 쉽게 부패시킬 것이다. 따라서, 챔버 몸체(406)는 챔버 몸체(406)를 냉각시킬 물이나 다른 냉각유체와 같은 온도 제어된 유체를 위한 통로(410)를 구비한다. 이는 챔버 몸체(406)를 쉽게 부패되게 할 너무 뜨겁게 되는 것으로부터 챔버 몸체(406)를 보호한다. 이러한 냉벽 챔버와 연관된 한 가지 문제는 챔버의 냉벽과 아주 가까이에 있는 반응 챔버(408) 내부의 영역은 온도가 급격히 떨어지는 경향이 있다는 것이다. 이 영역에 있어서의 온도의 급격한 하락은 반응 챔버(408)에서 형성된 규소포함층에 대해 원치 않거나 바람직하지 않은 입자의 형성 또는 응결을 조장한다. 예를 들어, 질화규소(Si3N4)층을 형성하기 위한 증착 공정에서 HCD 및 NH3의 반응은 일반적으로 NH4Cl의 형성을 일으킨다. NH4Cl은 Si3N4에 대한 오염이 형성되는 것을 방지하기 위하여 세척을 요하는 바람직하지 않은 염 부산물(salt by-product)이다. 온도가 약 150℃ 미만으로 떨어질 때, NH4Cl과 같은 응결이 발생할 것이다. 이러한 입자는 챔버 벽으로부터 제거될 수 있다. 제거된 입자는 웨이퍼 기판상에 입자 형성에 대한 결정핵 부위를 형성한다. 일 실시예에서, 반응 챔버(408)는 원치 않는 입자의 응결을 방지하기 위하여 온도 제어된 라이너(409)와 일렬로 배치된다.
일 실시예에서, 온도 제어된 라이너(409)는 이 온도 제어된 라이너(409)가 챔버 몸체(406)의 벽을 따라 약간의 물리적 접촉점만을 가지도록 챔버 몸체(406)의 벽과 결합된다. (가령, 도4에 도시된 접촉 점(459)을 참조). 온도 제어된 라이너(409)와 챔버 몸체(406)의 벽 사이의 물리적 접촉을 최소화하는 것은 도전점을 최소화함으로써 챔버 몸체(406)로의 열 손실을 최소화한다.
정화가스(가령, 질소)가 원치 않는 증착을 방지하기 위하여 증착동안 반응 챔버(408)의 바닥으로 보내질 수 있다.
반응기(400)는 또한 압력 조정기(들)(비도시)에 결합된다. 압력 조정기들은 반응 챔버(408)에 압력을 설정하고 유지한다. 이러한 압력 조정기들은 기술분야에서 공지되어 있다. 예시적인 실시예에서 사용될 수 있는 압력 조정기(들)은 압력을 약 10Torr 내지 약 350Torr 범위의 레벨로 유지할 수 있어야 한다. 대안으로, 반응기(400)는 반응 챔버(408)로부터 가스를 펌핑하는 기술 분야에서 공지되어 있는 가스 펌프 아웃 시스템(비도시)와 결합될 수도 있다. 가스 펌프 배출 시스템(이는 가령 스로틀 밸브(들)을 포함한다)은 또한 반응 챔버(408) 내의 압력을 조정하기 위해 사용될 수 있다. 반응기(400)는 또한 반응 챔버(408) 내부의 처리 압력을 모니터하는 센서들(비도시)에 결합된다.
일 실시예에서, 제어기 또는 처리기/제어기(900)가 챔버 압력을 지시하는 센서들로부터 신호를 수신하기 위해 챔버 몸체(406)에 결합된다. 처리기/제어기(900)는 또한 질소 소스 가스, 규소 소스 가스, 및 불활성 및/또는 정화 가스의 흐름을 제어하기 위해서 가스 패널(401) 시스템에 결합될 수도 있다. 처리기(900) 는 반응 챔버(408) 내부의 원하는 압력을 조정 또는 유지하기 위하여 압력 조정기(들)과 결합하여 작동할 수 있다. 또한, 처리기/제어기는 가열 디스크의 온도, 및 따라서 내부에 배치된 기판의 온도를 제어할 수 있다. 처리기/제어기(900)는 본 발명에 따라 질화규소층을 형성하기 위하여 위에서 제시된 매개변수 내에서 질소 소스 가스 흐름, 규소 소스 가스 흐름, 및 불활성 가스 흐름뿐만 아니라 챔버에서의 압력과 가열 디스크의 온도를 제어하기 위한 컴퓨터 판독가능한 포맷의 명령어를 포함하는 메모리를 포함한다. 가령, 550℃ 이하의 온도로 기판을 가열하는 명령어 및 기판을 550℃ 이하의 온도로 가열하면서 챔버(408)로 규소 소스 가스, 및 질소 소스 가스 및/또는 규소 및 질소 소스 가스를 제공하는 명령어, 뿐만 아니라 반응 챔버(408) 내의 압력을 10-350 torr 사이에서 제어하는 명령어가 처리기/제어기(900)의 메모리에 저장된다.
반응기(400)의 구성요소용 물질은 노출된 구성요소가 본 발명의 고온 처리와 호환되어야 하도록 선택된다. 규소포함층을 형성하기 위한 본 발명의 전구체 또는 반응종의 열분해는 600℃까지의 반응 챔버(408) 내부의 온도를 포함한다. 반응기(400)에서의 구성요소용 물질은 이러한 고온을 견디는 형태의 것이어야 한다. 일 실시예에서, 챔버 몸체(406)는 단단한 양극산화된(anodized) 알루미늄과 같은 내식성 금속으로 제조된다. 이러한 형태의 알루미늄은 종종 저가이다. 대안으로 챔버 몸체(406)는 온도 제어된 유체가 이를 통해 지나가는 통로(410)를 포함한다. 온도 제어된 유체의 통로는 챔버 몸체(406)가 매우 저가의 알루미늄 합금 또는 다른 적절한 금속으로부터 제조될 수 있게 하는데, 이는 통로(410)가 챔버 몸체(406) 를 차갑게 유지할 것이기 때문이다. 전술한 것처럼, 이는 반응기(400)가 종종 냉벽 반응기라고 불리는 이유들 중 한가지 이다. 냉벽 또는 냉각된 챔버 몸체(406)에서의 원치 않는 응결을 방지하기 위해서, 전술된 온도 제어된 라이너(409)가 반응 챔버(408)로부터 방사된 열을 흡수하고 온도 제어된 라이너(409)의 온도를 층 형성 어플리케이션에 따라서 적어도 약 150℃ 이상으로 또는 대안으로 적어도 약 200℃ 이상으로 유지할 물질로 제조될 수 있다. 일 실시예에서, 온도 제어된 라이너(409)는 원치 않는 응결을방지하기에 충분한 온도로 유지될 필요가 있다.
또한, 구성요소 물질은 또한 공정 가스 및 다른 화학제품, 가령 반응 챔버(408)로 도입되는 세척 화학제품 및 전구체와 호환되어야 한다. 일 실시예에서, 가열 어셈블리(404)의 노출된 표면은 물질이 공정과 호환가능하다면 다양한 물질로 이루어질 수 있다. 가령, 이 논의에서의 예시적인 실시예는 고온에서 적용될 부식성 화학제품을 요한다. 가열 어셈블리의 구성요소는 따라서 이러한 환경에 견디어야만 한다. 일 실시예에서, 가열 어셈블리의 구성요소는 질화 알루미늄(AlN)과 같은 세라믹 물질로 제조된다. 가열 어셈블리(404)의 가열 디스크(416)는 또한 질화 알루미늄 물질로 이루어질 수 있다.
일 예시적인 실시예에서, 반응 챔버(408)는 N2, He, Ar, 또는 이들의 조합과 같은 안정화 가스를 이용하여 안정화된다. 일례에서, 안정화 가스를 반응 챔버(408)로 해방시킬 가스 패널 시스템(401)에 매니폴드가 포함된다. 안정화 가스는 5-6 리터의 용량을 갖는 반응기(400)에 대하여 1,000 sccm 내지 10,000 sccm, 바람직하게는, 약 2,000 sccm 범위의 유량을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 반응기(400)는 수소 라디컬을 생성하여 반응 챔버(408)에 제공하는 원격 플라즈마 생성기(801)와 결합된다. 원격 플라즈마 생성기(801)는 마이크로파 소스로 마이크로파를 생성하는 마그네트론(Magnetron; 802)을 포함한다. 마그네트론(802)은 바람직하게는 2.5Ghz 마이크로파 에너지의 10,000watt까지 생성할 수 있다. 요구되는 전력의 양은 챔버(408)의 크기에 의존(비례)한다는 것을 주의하여야 한다. 300mm 웨이퍼를 처리하기 위해 사용되는 어닐 챔버에 대하여, 10,000watt의 전력은 충분할 것이다. 비록 마이크로파 소스가 장치(800)에서 플라즈마를 생성하기 위해 사용되지만, 무선 주파수(RF)와 같은 다른 에너지 소스가 사용될 수 있다.
마그네트론(802)은 임피던스 매칭을 위해 제공되는 절연기 및 더미 로드(dummy load; 804)에 결합된다. 더미 로드는 반사된 전력을 흡수하여 어떠한 반사 전력도 마그네트론 헤드(head)부로 가지 않는다. 절연기 및 더미 로드(804)는 도파관(806)에 의해 결합되며, 도파관은 오토튜너(808)로 마이크로파 에너지를 전달한다. 오토튜너(808)는 임피던스 매칭 헤드부와, 전력 소스로 지향된 마이크로파 에너지의 반사 전력을 감소시키기 위하여 세 개의 스테퍼 모터(stepper motor) 구동되는 임피던스 매칭 스터브(stub)를 이용하는 개별 검출기 모듈로 이루어진다. 오토튜너(808)는 마이크로파 에너지를 마이크로파 어플리케이터 공동(또는 챔버)(810)의 중앙으로 집중시켜서, 에너지는 도관(812)에 의해 어플리케이터 공동(810)으로 보내지는 수소 처리 가스에 의해 흡수된다. 오토튜너가 바람직하지만, 수동 튜너가 채용될 수 있다.
어플리케이터(810)는 마그네트론(802)으로부터 수신된 마이크로파 에너지를 사용하여, 수소 처리 가스가 어플리케이터(810) 내부에 위치된 석영 플라즈마 튜브를 통해 아래로 흐를 때 수소 처리 가스로부터 플라즈마를 생성한다. 수소 라디컬을 생성하기 위해 사용되는 H2와 NH3와 같은(이에 한정되지는 않음) 수소 처리 가스의 소스(814)(가령 탱크)는 마이크로파 어플리케이터(810)에 연결된다. 또한, 아르곤(Ar), 또는 헬륨(He)과 같은 불활성 가스의 소스가 또한 어플리케이터(810)에 연결될 수 있다. 프리파이어(prefire) 수은 램프는 자외선 광을 플라즈마 튜브로 방사시키기 위해 사용될 수 있어서, 공정 가스를 부분적으로 이온화하며, 이에 의해 마이크로파 에너지가 플라즈마를 보다 점화시키기 쉽도록 한다.
마그네트론(802)으로부터의 마이크로파 에너지는 수소 처리 가스를 필수적으로 세 개의 구성요소로 이루어지는 플라즈마로 변환시킨다: 상기 구성요소들은 이온화된 또는 대전된 수소 원자, 활성화된(반응성의) 전기적으로 중성인 수소 원자, 및 중간 수소 함유종이며, 본 발명의 목적을 위해 이들 모두는 "수소 라디컬"을 구성한다.
어플리케이터(810)는 장치(400)의 뚜껑에 볼트 결합될 수 있다. 농축된 플라즈마 혼합물은 도관(814)을 통해 챔버(408)로 아래로(downstream) 흐른다. 수소 라디컬은 어닐될 기판이 위치되는 챔버로부터 이격되거나 원격지인 위치(챔버 810)에서 생성되기 때문에, 수소 라디컬은 "원격 생성된다"라고 호칭된다.
원격 플라즈마 소스(801)는 처리기/제어기(900)에 결합될 수 있다. 처리기/ 제어기(900)는 상술한 수소 라디컬 처리 가스를 수득하기 위하여 원격 플라즈마 소스(801)의 동작을 제어하는 컴퓨터 판독가능한 포맷으로 메모리에 저장되는 명령어를 포함할 수 있다. 명령어는 가령, 질화규소층을 처리하는 데 필요한 원하는 수소 라디컬 유량(flux), 가령 5×1015원자/cm2 및 1×1017원자/cm2 사이의 유량을 얻기 위해 수소 처리 가스 유량 및 전력을 제어하는 명령어를 포함할 수 있고, 또한 가열 디스크의 온도(및 따라서 웨이퍼의 온도)를 제어하는 명령어뿐만 아니라 수소 라디컬 처리 공정 동안 챔버(408)내의 압력을 제어하는 명령어도 포함할 수 있다.
또한, 비록 본 발명이 단일 웨이퍼 장치를 이용하는 것에 관하여 기술되었지만, 원한다면 본 발명의 증착 및 처리 공정은 본 발명의 범위를 일탈하지 않고 세미-배치(semi-batch) 또는 튜브 형태의 장치로 실행될 수 있다.
본 발명의 대안의 실시예에서, 저온 질화규소 증착 공정은 가령 도5에 도시된 클러스터 툴(500)과 같은 클러스터 툴로 실행될 수 있다. 클러스터 툴(500)은 로봇과 같은 내장된 웨이퍼 처리기(handler; 504)를 갖는 밀봉가능한 전달 챔버(502)를 포함한다. 로드 로크 또는 한 쌍의 로드로크(506)는 웨이퍼가 로봇(504)에 의해 클러스터 툴(500) 내외부로 수송될 수 있도록 밀봉가능한 문을 통해 전달 챔버(502)에 결합된다. 어플라이드 머티어리얼즈 Xgen 싱글 웨이퍼와 같은 질화규소 증착 반응기(508), 저항성 히터를 구비하는 냉벽 열화학 기상 증착 반응기는 밀봉가능한 문에 의해 전달 챔버(502)에 결합된다. 또한 도5에 도시된 수소 라디컬 처리 챔버(510)가 밀봉가능한 문에 의해 전달 챔버(502)에 결합된다. 수소 라디컬 처리 챔버는 가령 어플라이드 머티어리얼즈 어드밴스드 스트립 패시베이션 플러스(ASP) 챔버와 같은 플라즈마 챔버, 어플라이드 머티어리얼즈 원격 플라즈마 질화 RPN 챔버와 같은 원격 플라즈마 챔버, 또는 "핫 와이어" 챔버일 수 있다. 전형적으로, 전달 챔버(502)는감소된 압력에서 유지되며 N2와 같은 불활성 대기를 포함한다. 이러한 방법으로, 웨이퍼는 산화 대기 또는 오염에 웨이퍼를 노출시키지 않고 하나의 챔버(가령, 질화 규소 증착 챔버(508))로부터 제2 챔버(가령, 수소 라디컬 처리 챔버)로 전달될 수 있다. 클러스터 툴(500)은 질화 규소 증착 반응기(500) 뿐만 아니라 수소 라디컬 처리 챔버(510)의 동작을 제어하여 전술한 것처럼 질화규소층을 증착하고 전술한 것처럼 수소 라디컬로 질화규소층을 처리하기 위하여 전술한 것처럼 처리기/제어기(900)를 또한 포함할 수 있다.
사용에 있어서, 도3A에 도시된 웨이퍼와 같은 웨이퍼 또는 기판은 로드로크(506)로부터 로봇(504)에 의해 전달 챔버(502)로 이송된다. 웨이퍼는 질화규소 증착 챔버(508)로 전달되며, 그 사이에 있는 문은 밀봉되며 낮은 증착 온도 공정을 이용하여 웨이퍼 상부에 질화규소층이 형성된다. 일단 질화규소층이 웨이퍼 상부에 형성되었다면, 웨이퍼는 로봇(504)에 의해 질화규소 증착 챔버(508)로부터 제거되며 로봇(504)에 의해 수소 라디컬 처리 챔버(510)로 이송된다. 수소 라디컬 처리 챔버(510)와 전달 챔버(502) 사이의 문은 그 후 밀봉되며, 질화규소층이 전술한 것처럼 수소 라디컬에 노출된다. 만약 더 두꺼운 질화규소층을 원한다면, 웨이퍼는 챔버(510)로부터 제거되어 부가적인 질화규소를 증착하기 위하여 질화규소 증착 챔버(508)로 다시 이송될 수 있다. 웨이퍼는 질화규소 증착 챔버(508)로부터 다시 한번 제거되며 수소 라디컬 처리 챔버(510)로 되가져와져서 수소 라디컬로 다시 한번 처리된다. 웨이퍼는 증착 챔버(508)와 처리 챔버(510) 사이에서 원하는 두께와 품질의 질화규소층이 얻어질 때까지 연속적으로 전달될 수 있다. 일단 실질적으로 두꺼운 질화규소층이 형성되면, 웨이퍼는 클러스터 툴(500)로부터 제거된다.
따라서, 낮은 증착 온도에서 고품질 질화규소층을 증착하고 처리하는 방법 및 장치가 기술되었다.

Claims (31)

  1. 550℃ 이하의 온도로 기판을 가열하는 단계;
    기판의 표면에 질화규소층을 증착하기 위하여 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 열분해하는 단계; 및
    수소 라디컬에 상기 질화규소층을 노출시키는 단계
    를 포함하는 기판 처리 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수소 라디컬은 수소 함유 소스 가스의 플라즈마 분해에 의해 형성되는, 기판 처리 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 수소 함유 소스 가스는 암모니아(NH3), 수소 가스(H2), 또는 암모니아(NH3)와 수소 가스(H2)의 조합을 포함하는, 기판 처리 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 질화규소층은 5×10 15 및 1×1017원자/cm2 사이의 유량으로 수소 라디컬로 처리되는, 기판 처리 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 규소 함유 소스 가스 또는 규소 및 질소 함유 소스 가스는 Si-Si결합, N=N결합, N-N결합, 또는 이들의 조합의 그룹으로부터 선택된 결합 을 갖는 화합물을 포함하는, 기판 처리 방법.
  6. 제2항에 있어서, 상기 수소 함유 소스 가스는 질소 가스(N2), 아르곤(Ar) 및 헬륨(He)으로 구성되는 그룹으로부터 선택된 불활성 가스를 더 포함하는, 기판 처리 방법.
  7. 제2항에 있어서, 상기 소스 가스의 플라즈마 분해는 질화규소층이 수소 라디컬로 처리되는 챔버로부터 물리적으로 원격지에서 발생하는, 기판 처리 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 질화규소층은 상기 질화규소층을 수소 라디컬에 노출시킨 후에 1.0 원자 퍼센트 미만의 염소 농도를 갖는, 기판 처리 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 질화규소층은 상기 질화규소층을 수소 라디컬에 노출시킨 후에 5 원자 퍼센트 미만의 탄소 농도를 갖는, 기판 처리 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 열분해 온도는 500℃ 미만인, 기판 처리 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 질화규소층은 분당 100Å을 초과하는 증착 속도로 형성되는, 기판 처리 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 규소 함유 소스 가스 또는 규소 및 질소 함유 소스 가스는 단일 결합에 의해 제2 규소 원자에 결합된 제1 규소 원자와, 상기 제1 규소 원자 및 제2 규소 원자에 결합된 염소(Cl) 원자 또는 질소(N) 원자를 포함하는, 기판 처리 방법.
  13. 제12항에 있어서, 유기 그룹이 질소 원자에 결합된, 기판 처리 방법.
  14. 제5항에 있어서, 상기 규소 함유 소스 가스 또는 규소 및 질소 함유 소스 가스는 R2N-Si(R′2)-Si(R′2)-NR2, R3-Si-N3, R′3-Si-NR-NR2의 구조를 갖는 그룹으로부터 선택된 화합물을 포함하는 - y는 1 이상이며, R 및 R'는 할로겐기, 하나 이상의 이중결합을 갖는 유기기, 하나 이상의 삼중 결합을 갖는 유기기, 지방족 알킬기, 고리모양 알킬기, 방향족, 유기규소기, 알킬아미노기, 또는 N 또는 Si를 포함하는 고리모양기(cyclic group), 및 이들의 조합으로부터 선택된 하나 이상의 작용기를 포함함 -, 기판 처리 방법.
  15. 제14항에 있어서, R 및 R'는 클로로, 메틸, 에틸, 이소프로필, 트리메틸실릴, 피롤리딘, 및 이들의 조합의 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 작용기를 포함하는, 기판 처리 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 규소 함유 소스 가스 또는 규소 및 질소 함유 소스 가스는 1,2-디에틸-테트라키스 (디에틸아미노) 디실란 {1,2-diethyl-tetrakis (diethylamino) disilane}, 1,2-디클로로-테트라키스(디에틸아미노)디실란 {1,2-dichloro-tetrakis (diethylamino) disilane}, 헥사키스(N-피롤리디니오)디실란 {hexakis (N-pyrrolidinio) disilane}, 1,1,2,2-테트라클로로-비스(디-트리메틸아미노)디실란 {1,1,2,2-tetrachloro-bis(di-trimethylamino) disilane, 1,1,2,2-테트라클로로-비스(디-이소프로필)디실란 {1,1,2,2-tetrachloro-bis(di-isopropyl) disilane}, 1,2-디메틸-테트라키스(디에틸아미노)디실란 {1,2-dimethyl-tetrakis (diethylamino) disilane}, 트리스(디메틸아미노)실란 아지드 {tris(dimethylamino)silane azide}, 트리메틸아미노 실란 아지드 {trimethylamino silane azide}, (2,2디메틸하이드라진)디메틸실란 {(2,2 dimethylhydrazine)dimethylsilane} 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는, 기판 처리 방법.
  17. 제1항에 있어서,
    규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 열분해하여 상기 처리된 질화규소층상에 제2 질화규소층을 증착하는 단계; 및
    상기 제2 질화규소층을 수소 라디컬에 노출시키는 단계
    를 더 포함하는, 기판 처리 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 열분해하여 상기 처리된 제2 질화규소층상에 제3 질화규소층을 증착하는 단계; 및
    상기 제3 질화규소층을 수소 라디컬에 노출시키는 단계
    를 더 포함하는, 기판 처리 방법.
  19. 제1항에 있어서, 상기 증착된 질화규소층이 450℃ 및 600℃ 사이의 온도에서 수소 라디컬로 처리되는, 기판 처리 방법.
  20. 제1항에 있어서, 상기 질화규소층을 처리한 후에, 상기 질화규소층은 10원자 퍼센트 미만의 수소 농도, 상기 질화규소층을 수소 라디컬에 노출시킨 후에 1.90 이상의 굴절률, 버퍼링된 산화물 에칭을 이용하는 산화규소의 에칭율과 거의 동일한 에칭율, 또는 이들의 조합을 갖는, 기판 처리 방법.
  21. 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 550℃의 온도 및 분당 100Å을 초과하는 증착 속도로 150Å 미만의 두께로 열분해하여 질화규소층을 증착하는 단계; 및
    상기 증착된 질화규소층을 수소 함유 가스의 플라즈마 분해에 의해 형성된 수소 라디컬에 노출시키는 단계
    를 포함하는 질화규소층 형성 방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 규소 함유 소스 가스 또는 상기 규소 및 질소 함유 소스 가스는 유기-디-(organo-di-) 또는 모노-실란(mono-silane) 또는 유기아미노-디-(organoamino-di-) 또는 모노-실란(mono-silane)으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는, 질화규소층 형성 방법.
  23. 제21항에 있어서, 상기 수소 함유 소스 가스는 암모니아(NH3), 수소 가스(H2), 또는 암모니아(NH3)와 수소 가스(H2)의 조합을 포함하는, 질화규소층 형성 방법.
  24. 제21항에 있어서, 상기 증착된 질화규소층은 5×10 15 및 1×1017원자/cm2 사이의 유량을 갖는 수소 라디컬로 처리되는, 질화규소층 형성 방법.
  25. 제21항에 있어서, 상기 수소 라디컬을 갖는 증착된 질화규소층, 처리된 질화규소층은 상기 증착된 질화규소층을 수소 라디컬에 노출시킨 후 10% 미만의 수소 농도 및 실질적으로 감소된 Si-H 결합을 갖는, 질화규소층 형성 방법.
  26. 제21항에 있어서, 상기 플라즈마 분해는 상기 질화규소층이 수소 라디컬로 처리되는 챔버로부터 원격지에서 발생하는, 질화규소층 형성 방법.
  27. 제21항에 있어서, 상기 질화규소층은 이것이 증착된 챔버와 동일한 챔버에서 처리(treat)되는, 질화규소층 형성 방법.
  28. 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 열분해하여 질화규소층을 증착하는 단계 - 상기 규소 함유 소스 또는 규소 및 질소 함유 소스 가스는 염소 및 탄소를 포함함 -; 및
    처리된 질화규소층을 형성하기 위하여 상기 증착된 질화규소층을 수소 함유 가스의 플라즈마 분해에 의해 형성된 수소 라디컬로 처리하는 단계
    를 포함하는 질화규소층 형성 방법.
  29. 규소 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스를 열분해하여 질화규소층을 증착하는 단계 - 상기 질화규소층을 증착한 후에, 상기 질화규소층은 15 원자 퍼센트를 초과하는 수소 농도 및 10 원자 퍼센트를 초과하는 탄소 농도를 가짐 -; 및
    상기 질화규소층이 10 원자 퍼센트 미만의 수소 농도와 5 원자 퍼센트 미만의 탄소 농도를 가질 때까지 상기 증착된 질화규소층을 수소 라디컬로 처리하는 단 계
    를 포함하는 질화규소층 형성 방법.
  30. 제29항에 있어서, 상기 질화규소층은 상기 질화규소층을 수소 라디컬에 노출시킨 후에 1.0 원자 퍼센트 미만의 염소 농도를 갖는, 질화규소층 형성 방법.
  31. 질화규소층을 형성하는 장치로서,
    기판을 파지하는 챔버에 위치된 기판 지지체;
    상기 기판 지지체상에 배치된 기판을 가열하는 히터;
    규소 소스 가스 및 질소 소스 가스 및/또는 규소 및 질소 소스 가스를 포함하는 공정 가스 혼합물을 챔버로 제공하는 가스 주입구;
    수소 함유 가스로부터 수소 라디컬을 생성하는 수단; 및
    상기 장치의 동작을 제어하는 처리기/제어기 - 상기 처리기/제어기는 기판 지지체 상에 배치된 기판을 550℃ 미만의 온도로 가열하고, 및 상기 기판상에 질화규소층을 형성하기 위하여 기판을 가열하면서 챔버로 규소 함유 소스 가스 및 질소 함유 소스 가스 또는 규소 및 질소 함유 소스 가스를 제공하는 다수의 명령어, 및 상기 질화규소층을 수소 라디컬로 처리하기 위한 수소 라디컬을 생성하는 수단을 제어하는 명령어를 구비하는 메모리를 포함한다 -
    를 포함하는, 질화규소층 형성 장치.
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