KR20070025917A - 퓨즈 소자 및 그 절단 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 실리콘층을 포함하는 배선부와,상기 배선부의 일단 측에 접속되고, 금속 재료를 포함하는 제 1 콘택트부와,상기 배선부의 타단 측에 접속되고, 금속 재료를 포함하는 제 2 콘택트부를 갖는 것을 특징으로 하는 퓨즈 소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 배선부는 상기 실리콘층 위에 형성된 금속 실리사이드층을 더 갖는 것을 특징으로 하는 퓨즈 소자.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 콘택트부와의 접속 영역에서의 상기 배선부의 폭은, 상기 제 2 콘택트부와의 접속 영역에서의 상기 배선부의 폭보다도 넓은 것을 특징으로 하는 퓨즈 소자.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 배선부와 상기 제 1 콘택트부의 콘택트 면적은 상기 배선부와 상기 제 2 콘택트부의 콘택트 면적보다도 넓은 것을 특징으로 하는 퓨즈 소자.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 배선부와 상기 제 1 콘택트부의 접속 영역 및 상기 배선부와 상기 제 2 콘택트부의 접속 영역은 소자 분리막 위에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 퓨즈 소자.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 배선부와 상기 제 1 콘택트부의 접속 영역은 활성 영역 위에 형성되어 있고, 상기 배선부와 상기 제 2 콘택트부의 접속 영역은 소자 분리막 위에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 퓨즈 소자.
- 실리콘층을 포함하는 배선부와, 상기 배선부의 일단 측에 접속되고 금속 재료를 포함하는 제 1 콘택트부와, 상기 배선부의 타단 측에 접속되고 금속 재료를 포함하는 제 2 콘택트부를 갖는 퓨즈 소자로서,절단 후에는, 상기 제 2 콘택트부를 구성하는 상기 금속 재료의 적어도 일부가 상기 배선층 내로 이동하여, 상기 배선부와 상기 제 2 콘택트부가 전기적으로 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 퓨즈 소자.
- 실리콘층과 상기 실리콘층 위에 형성된 금속 실리사이드층을 포함하는 배선부와, 상기 배선부의 일단 측에 접속된 제 1 콘택트부와, 상기 배선부의 타단 측에 접속된 제 2 콘택트부를 갖는 퓨즈 소자로서,절단 후에는, 상기 금속 실리사이드층을 구성하는 금속 재료의 적어도 일부가 상기 제 1 콘택트부 측으로 이동하여, 상기 제 2 콘택트부가 상기 실리콘층에 접하고 있는 것을 특징으로 하는 퓨즈 소자.
- 실리콘층을 포함하는 배선부와, 상기 배선부의 일단 측에 접속된 제 1 콘택트부와, 상기 배선부의 타단 측에 접속되고 금속 재료를 포함하는 제 2 콘택트부를 갖는 퓨즈 소자의 절단 방법으로서,상기 제 1 콘택트부로부터 상기 제 2 콘택트부에 상기 배선부를 통하여 전류를 흘리고, 상기 제 2 콘택트부의 상기 금속 재료를 상기 실리콘층 중에 마이그레이션시킴으로써, 상기 배선부와 상기 제 2 콘택트부 사이의 접속 저항을 변화시키는 것을 특징으로 하는 퓨즈 소자의 절단 방법.
- 실리콘층과 상기 실리콘층 위에 형성된 금속 실리사이드층을 갖는 배선부와, 상기 배선부의 일단 측에 접속된 제 1 콘택트부와, 상기 배선부의 타단 측에 접속된 제 2 콘택트부를 갖는 퓨즈 소자의 절단 방법으로서,상기 제 1 콘택트부로부터 상기 제 2 콘택트부에 상기 배선부를 통하여 전류를 흘리고, 상기 금속 실리사이드층을 구성하는 금속 재료를 상기 제 1 콘택트부 측으로 마이그레이션시킴으로써, 상기 배선층과 상기 제 2 콘택트부 사이의 접속 저항을 변화시키는 것을 특징으로 하는 퓨즈 소자의 절단 방법.
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