KR20050092724A - 진공 증착 장치 및 증착 필름 제조 방법 - Google Patents

진공 증착 장치 및 증착 필름 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 소재 필름 표면에 증착층을 형성해서 증착 필름을 제조하기 위한 진공 증착 장치 및 증착 필름 제조 방법에 관한 것이다. 이 진공 증착 장치에서는, 동조 수단(18)이, 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와 출측 가이드 롤(15)의 외주 속도(v2)를 v1=v2로 한다. 이 때문에, 증착 필름 표면의 증착층이 출측 가이드 롤(15)에 문질러지지 않는다. 이에 따라, 증착층에 상처가 생길 가능성을 해소하고, 증착층의 성능을 충분히 실현시킨다.

Description

진공 증착 장치 및 증착 필름 제조 방법{VACUUM VAPOR-DEPOSITION APPARATUS AND METHOD OF PRODUCING VAPOR-DEPOSITED FILM}
본 발명은 소재 필름 표면에 증착층을 형성해서 증착 필름을 제조하기 위한 진공 증착 장치 및 증착 필름 제조 방법에 관한 것이다.
종래, 필름 시트 형상의 종이나 플라스틱 등으로 이루어지는 소재 필름에 대하여, 가스 배리어성이나 방습성을 갖게 하도록 진공 중에서 금속 등의 증착층을 소재 필름 표면에 형성 가능한 진공 증착 장치가 알려져 있다(예를 들면, 일본국 특개평5-279843호 공보를 참조).
이 종류의 진공 증착 장치는 통상, 다음의 (1)~(3)과 같이 동작한다.
(1) 진공 중에서 풀기 롤로부터 풀어 낸 소재 필름을 적당히, 텐션 롤을 통해 입측 가이드 롤에서 코팅 롤로 도입한다.
(2) 코팅 롤 상에서 증착층을 소재 필름 표면에 형성한다.
(3) 코팅 롤로부터 도출된 증착 필름 표면의 증착층을 출측 가이드 롤로 누르면서, 해당 증착 필름을 적당히 텐션 롤을 통해 감기 롤에 감기게 한다.
여기에서, 풀기 및 감기 롤, 코팅 롤 및 텐션 롤은 각각 도시하지 않은 모터에 의해 회전이 제어되고 있다. 그 이외의 각각의 롤은 필름의 이동에 따라 회전하는 프리 롤로 되어 있다.
그러나, 이상과 같은 진공 증착 장치에서는 통상은 아무런 문제도 없지만 본 발명자의 검토에 의하면 다음과 같은 점에서 개량의 여지가 있다고 생각된다.
예를 들면, 증착 필름이 감기 롤에 감겨질 때까지의 사이에, 증착 필름 표면의 증착층이 각각의 롤에 문질러져, 증착층에 상처가 생길 가능성이 있는 점이다. 가령 증착층에 상처가 생기면 가스 배리어성이나 방습성과 같은 증착층의 성능이 불충분해질 우려가 있다. 이 때문에, 증착층에 상처가 생길 가능성이 있는 점을 해소하도록 개량할 여지가 있다고 생각된다.
본 발명의 목적은 증착층에 상처가 생길 가능성을 해소할 수 있고 증착층의 성능을 충분히 실현할 수 있는 진공 증착 장치 및 증착 필름 제조 방법을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 관한 진공 증착 장치의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 동 실시형태에 있어서의 진공 증착 장치의 일부를 도시한 모식도이다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시형태에 관한 진공 증착 장치에 적용되는 동조 수단의 1예를 도시한 모식도,
도 4는 본 발명의 제 3 실시형태에 관한 진공 증착 장치에 적용되는 동조 수단의 1예를 도시한 모식도이다.
도 5는 동 실시형태에 있어서의 동조 수단의 변형예를 도시한 모식도이다.
도 6은 본 발명의 제 4 실시형태에 관한 진공 증착 장치에 적용되는 동조 수단의 1예를 도시한 모식도이다.
도 7은 본 발명의 제 5 실시형태에 관한 진공 증착 장치의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이다.
도 8~도 10은 동 실시형태에 있어서의 변형예의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이다.
도 11은 본 발명의 제 6 실시형태에 관한 진공 증착 장치의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이다.
도 12~도 14는 동 실시형태에 있어서의 변형예의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제 7 실시형태에 관한 진공 증착 장치의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이다.
도 16은 동 실시형태에 있어서의 변형예의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 진공 증착 장치 및 증착 필름 제조 방법은 하기와 같이 구성되어 있다.
(1) 본 발명의 진공 증착 장치는 진공 중에서 풀기 롤로부터 풀어 낸 소재 필름을 입측 가이드 롤에서 코팅 롤로 도입하고, 이 코팅 롤 상에서 증착층을 소재 필름 표면에 형성하고, 코팅 롤로부터 도출된 증착 필름 표면의 증착층을 출측 가이드 롤로 누르면서, 해당 증착 필름을 감기 롤에 감기게 하는 구성으로서, 코팅 롤의 외주 속도(v1)와 출측 가이드 롤의 외주 속도(v2)를 v1=v2가 되도록 동조시키기 위한 동조 수단을 구비하고 있다.
본 발명에 의하면 동조 수단이 양 롤의 외주 속도(v1, v2)를 v1=v2로 동조시킴으로써, 증착 필름 표면의 증착층이 출측 가이드 롤에 문질러지지 않기 때문에 증착층에 상처가 생길 가능성을 해소할 수 있고, 증착층의 성능을 충분히 실현시킬 수 있다.
(2) 본 발명의 진공 증착 장치는 (1)에 대응하는 구성에 있어서 동조 수단으로서는 코팅 롤의 회전축을 회전중심으로 하는 제 1 기어와, 출측 가이드 롤의 회전축을 회전중심으로 하는 제 2 기어와, 제 1 기어의 회전을 제 2 기어에 전달하기 위한 짝수 개의 중간기어를 구비하고 있다.
(3) 본 발명의 진공 증착 장치는 (1)에 대응하는 구성에 있어서 동조 수단으로서는 코팅 롤의 회전축을 회전중심으로 하는 제 1 벨트 차와, 출측 가이드 롤의 회전축을 회전중심으로 하는 제 2 벨트 차와, 제 1 벨트 차의 회전을 제 2 벨트 차에 전달하기 위한 벨트를 구비하고 있다.
(4) 본 발명의 진공 증착 장치는 (1)에 대응하는 구성에 있어서 출측 가이드 롤을 회전시키기 위한 모터와, 코팅 롤의 반경이 r1이며 출측 가이드 롤의 반경이 r2이며 코팅 롤의 단위 시간당의 회전수가 n1일 때, 출측 가이드 롤의 단위 시간당의 회전수(n2)를 n2=n1(r1/r2)로 하도록 모터를 제어하는 제어 수단을 구비하고 있다.
(5) 본 발명의 진공 증착 장치는 (1)에 대응하는 구성에 있어서 코팅 롤 상의 필름에 증착층을 형성하기 위한 증착 유닛과, 증착 유닛을 수용하고 적어도 외벽의 일부가 착탈 또는 개폐 가능한 증착실과, 코팅 롤의 상류측 또는 하류측에 개별적으로 설치된 1개 이상의 처리 롤과, 처리 롤 상의 필름에 증착 유닛과는 다른 방식의 코팅 처리 또는 표면처리를 실시하기 위한 1대 이상의 처리 유닛과, 처리 유닛을 개별적으로 수용하고 적어도 외벽의 일부가 착탈 또는 개폐 가능한 1실 이상의 처리실과, 증착 유닛 및 처리 유닛에 대하여 필름을 「상류측에서 하류측으로의 정방향」 또는 「하류측에서 상류측으로의 역방향」의 쌍방향으로 공급하기 위한 쌍방향 공급 수단을 구비하고 있다.
(6) 본 발명의 진공 증착 장치는 (5)에 대응하는 구성에 있어서 증착 유닛으로서는 PVD방식에 의해 증착 처리를 필름 상에 실시하는 것이다.
(7) 본 발명의 증착 필름 제조 방법은 (1)~(4)의 장치를 방법으로서 표현한 것이다.
(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)
이하, 본 발명의 각각의 실시형태에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 이하의 각각의 실시형태는 증착층에 상처가 생길 가능성을 해소하는 관점에서 코팅 롤의 외주 속도(v1)와 출측 가이드 롤의 외주 속도(v2)를 v1=v2로 하기 위한 동조 수단을 설치한 것이다.
즉, 본 발명자의 검토에 의하면 증착층에 상처가 생기는 상황은 형성된 증착층이 처음에 접하는 출측 가이드 롤의 외주 속도(v2)가 코팅 롤의 외주 속도(v1)보다도 느릴 경우에 증착층이 출측 가이드 롤러에 문질러져 생기기 때문이다. 이 때문에 각각의 실시형태는 어느 것이나 증착층이 출측 가이드 롤에 문질러지지 않도록 하기 위한 동조 수단을 구비한 점에서 공통되고, 동조 수단의 구성이 다른 점에서 상이하고 있다. 이하, 순서대로 설명한다.
(제 1 실시형태)
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 관한 진공 증착 장치의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이며, 도 2는 이 진공 증착 장치의 일부를 도시한 모식도이다. 이 진공 증착 장치(1)는 종이 또는 플라스틱 등의 소재 필름(f1)의 표면에 알루미늄, 산화알루미늄, 산화 규소 등의 증착층을 형성하여 가스 배리어성이나 방습성을 가지는 증착 필름(f2)을 제조하는 것이다. 도시한 바와 같이, 격벽(2)을 사이에 두고 도입출부(10) 및 증착실(20)이 서로 떨어져 있다.
도입출부(10)는 소재 필름(f1)을 증착실(20)에 도입하고, 증착 필름(f2)을 증착실(20)로부터 도출하기 위한 방이며, 풀기 롤(11), 입측 텐션 롤(12), 입측 가이드 롤(13), 코팅 롤(14), 출측 가이드 롤(15), 출측 텐션 롤(16), 감기 롤(17) 및 동조 수단(18)을 구비하고 있다.
풀기 롤(11)은 미리 소재 필름(f1)이 감겨져 있고, 증착 필름의 제조시에 이 소재 필름(f1)이 입측 텐션 롤(12)로 풀어지는 것이다.
입측 텐션 롤(12)은 임의의 풀기 경로 상에 적당히 복수개(도시 생략)가 배치되고, 풀기 롤(11)로부터 풀어진 소재 필름(f1)의 장력을 조정하면서, 입측 가이드 롤(13)에 도출하는 것이다.
입측 가이드 롤(13)은 코팅 롤(14)의 근방에 배치되고, 입측 텐션 롤(12)로부터 도출된 소재 필름(f1)을 코팅 롤(14)에 안내하면서 도출하는 것이다.
코팅 롤(14)은 일부가 증착실(20)내의 도가니(24, crucible)에 대향하도록 배치되고, 입측 가이드 롤(13)로부터 도출된 소재 필름(f1)을 증착실(20)내로 도출하고, 소재 필름(f1) 표면에 증착층이 형성되어 이루어지는 증착 필름(f2)을 출측 가이드 롤(15)로 도출하는 것이다. 또한, 코팅 롤(14), 도시하지 않은 제어장치로부터 회전수(매 분) 등이 제어됨으로써, 결과적으로 외주 속도(v1)로 회전 가능하게 되어 있다.
출측 가이드 롤(15)은 코팅 롤(14)의 근방에 배치되고, 증착 필름(f2)이 코팅 롤(14)로부터 도출된 후에 적어도 처음에 증착층 표면이 접하는 롤이며, 이 증착 필름(f2)을 출측 텐션 롤(16)에 도출하는 것이다. 또한, 출측 가이드 롤(15)은 정확하게는 증착 필름(f2)의 증착층 표면에 접촉하는 롤로서, 감기 롤(17) 이외의 롤을 의미하고 있다. 이 의미에서는 출측 가이드 롤(15)은 통상 3개 있다. 따라서, 후술하는 동조 수단(18)은 처음에 증착층 표면이 접하는 롤에 한하지 않고, 증착층 표면이 접촉하는 모든 롤에 대해서 외주 속도(v2)를 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와 동조시키는 것이 바람직하다.
여기에서, 코팅 롤(14)의 근방이란 예를 들면 15㎜~50㎜의 범위내이지만 이에 한정되지 않고 50㎜~100㎜의 범위내로 해도 된다. 또, 본 명세서 중의 진공 증착 장치(10)는 동조 수단(18)의 설명에 불필요한 것은 그 기재를 생략하고 있다.
또, 출측 가이드 롤(15)은 동조 수단(18)으로부터 제어되고, 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와 같은 외주 속도(v2)를 가지고 회전함으로써 증착 필름(f2)의 증착면에 상처를 내지 않고, 증착 필름(f2)을 출측 텐션 롤(16)에 도출하는 것으로 되어 있다.
출측 텐션 롤(16)은 임의의 감기 경로 상에 적당하게 복수개(도시 생략)가 배치되고, 출측 가이드 롤(15)로부터 도출된 증착 필름(f2)의 장력을 조정하면서, 감기 롤(17)로 도출하는 것이다.
감기 롤(17)은 출측 텐션 롤(16)로부터 도출된 증착 필름(f2)이 감겨지는 것이다.
동조 수단(18)은 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와, 출측 가이드 롤(15)의 외주 속도(v2)를 v1=v2가 되도록 동조시키기 위한 것이며, 예를 들면 다음의 (a)~(c)에 나타낸 방식 등이 사용 가능하게 되어 있다.
(a) 기어를 통해 동조시키는 구성이며, 예를 들면 평기어, 헬리컬 기어, 베벨기어, 나사기어, 웜과 웜휠 등의 임의의 기어가 적당히 이용된다.
(b) 벨트를 통해 동조시키는 방식으로, 예를 들면 V벨트, 타이밍 벨트 또는 톱니 부착 벨트 등의 임의의 벨트가 이용된다. 또한, 벨트에 한하지 않고 체인을 이용해도 좋다.
(c) 모터를 제어하는 방식이며, 예를 들면 코팅 롤(14)의 모터(M1)와는 별도로 설치되고 출측 가이드 롤(15)을 회전시키는 모터(M2)와, 이 모터(M2)의 회전을 제어하는 모터 제어부가 이용된다.
증착실(20)은 증착 재료를 보유하는 도가니(24)를 수용하고, 도시하지 않은 전자총 등의 증발 수단에 의해 도가니(24)안의 증착 재료를 증발시켜, 코팅 롤(14)에 의해 도입되는 소재 필름(f1)의 표면에 증착층을 형성하기 위한 방이다.
또한, 증착실(20)에 이용되는 증착 방식은 PVD(physical vapor deposition:물리증착법)방식 및 CVD(chemical vapor deposition:화학증착법)방식 중 어느 방식으로 해도 좋다. PVD방식으로서는 저항가열, 유도가열 및 전자선가열 등 중 어느 하나의 방식으로 해도 된다.
다음에, 이상과 같이 구성된 진공 증착 장치에 의한 증착 필름의 제조 방법을 설명한다.
진공 증착 장치(1)에 있어서는 진공 중에서 풀기 롤(11)로부터 풀어낸 소재 필름(f1)을 입측 텐션 롤(12)을 통해 입측 가이드 롤(13)에서 코팅 롤(14)로 도입한다.
코팅 롤(14)은 이 소재 필름(f1)을 증착실(20)에 도입하고, 소재 필름(f1) 표면에 증착층이 형성되어 이루어지는 증착 필름(f2)을 출측 가이드 롤(15)로 도출한다.
출측 가이드 롤(15)은 이 증착 필름(f2) 표면의 증착층을 누르면서, 해당 증착 필름(f2)을 출측 텐션 롤(16)로 도출한다.
이 때, 동조 수단(18)에 의해 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와, 출측 가이드 롤(15)의 외주 속도(v2)가 v1=v2가 되도록 동조되어 있다.
이에 따라, 형성 후의 증착층을 도출하는 속도(v1)와, 증착층에 처음 접해서 증착층을 누르는 롤(15)의 속도(v2)가 일치함으로써, 증착층이 출측 가이드 롤(15)에 문질러지지 않으므로, 증착층에 상처를 내지 않고 증착 필름(f2)을 출측 텐션 롤(16)로 도출할 수 있다.
이하 마찬가지로, 출측 텐션 롤(16)은 도출된 증착 필름(f2)을 감기 롤(17)로 도출하고, 감기 롤(17)은 이 증착 필름(f2)을 순서대로 감는다. 그런 뒤, 풀기 롤(11)의 모든 소재 필름(f1)을 증착실을 통과시켜 증착 필름(f2)으로 형성하고, 감기 롤(17)에 감은 시점에서 감기 롤(17) 단위의 증착 필름(f2)의 제조가 완료된다.
상기한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 동조 수단(18)이 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와 출측 가이드 롤(15)의 외주 속도(v2)를 v1=v2로 함으로써, 증착 필름(f2) 표면의 증착층이 출측 가이드 롤(15)에 문질러지지 않기 때문에 증착층에 상처가 생길 가능성을 해소할 수 있고 증착층의 성능을 충분히 실현시킬 수 있다.
(제 2 실시형태)
도 3은 본 발명의 제 2 실시형태에 관한 진공 증착 장치에 적용되는 동조 수단의 1예를 도시한 모식도이며, 도 1과 동일 부분에는 동일 부호를 부여해서 그 상세한 설명을 생략하고, 여기에서는 다른 부분에 대해서 주로 설명한다. 또한, 이하의 각각의 실시형태도 동일하게 하여 중복된 설명을 생략한다.
즉, 본 실시형태는 제 1 실시형태의 구체적인 예이며 동조 수단(18)을 (a)기어에 의해 실현한 구성으로 되어 있다.
이러한 동조 수단(18)은 코팅 롤(14)의 회전축을 회전중심으로 하는 제 1 기어(a1)와, 출측 가이드 롤(15)의 회전축을 회전중심으로 하는 제 2 기어(a2)와, 제 1 기어(a1)의 회전을 제 2 기어(a2)에 전달하기 위한 2개의 중간기어(a3, a4)를 구비하고 있다.
여기에서, 각각의 기어(a1~a4)로서는 평기어를 이용했지만 이에 한정되지 않고, 상기한 바와 같이 임의의 기어가 적용 가능하게 되어 있다.
또, 중간기어(a3, a4)의 개수는 2개로 한정되지 않고, 임의의 짝수개라면 된다. 짝수개의 이유는 코팅 롤(14)과 출측 가이드 롤(15)과의 회전 방향의 관계(서로 역회전)를 바꾸지 않는 의미이며, 이 의미를 충족시킨다면 특수한 배치에 의해 홀수개로 해도 좋다. 또한, 이 짝수개는 0도 포함하고 있다(중간기어(a3, a4)를 생략하고, 제 1 기어(a1)가 직접 제 2 기어(a2)에 회전력을 전달하는 구성으로 변형해도 좋다).
또, 제 1 기어(a1), 제 2 기어(a2) 및 각각의 중간기어(a3, a4)의 톱니수는 코팅 롤(14)의 반경을 r1로 하고, 출측 가이드 롤(15)의 반경을 r2로 했을 때, 제 1 기어(a1)의 단위 시간당의 회전수(n1)와 제 2 기어(a2)의 단위 시간당의 회전수(n2)가 n2=n1(r1/r2)의 관계를 가지도록 설정되어 있다.
이상과 같은 구성으로 해도 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와 출측 가이드 롤(15)의 외주 속도(v2)를 v1=v2가 되도록 동조시킬 수 있으므로 제 1 실시형태의 효과를 얻을 수 있다.
(제 3 실시형태)
도 4는 본 발명의 제 3 실시형태에 관한 진공 증착 장치에 적용되는 동조 수단의 1예를 도시한 모식도이다.
즉, 본 실시형태는 제 1 실시형태의 구체적인 예이며, 동조 수단(18)을 (b)벨트에 의해 실현한 구성으로 되어 있다.
이러한 동조 수단(18)은 제 1 벨트 차(b1), 제 2 벨트 차(b2) 및 벨트(b3)를 구비하고 있다.
제 1 벨트 차(b1)는 코팅 롤(14)의 반경(r1)을 k배(예, 0.4<k≤1)한 반경(r1')을 가지고, 해당 코팅 롤(14)의 회전축을 회전중심으로 회전하는 것이다.
제 2 벨트 차(b2)는 출측 가이드 롤(15)의 반경(r2)을 상기 k배한 반경(r2')을 가지고, 해당 출측 가이드 롤(15)의 회전축을 회전중심으로 해서 회전하는 것이다.
여기에서, 양 벨트 차(b1, b2)의 반경(r1', r2')을 동일값(k)을 이용하여 설계한 이유는 양 벨트 차(b1, b2)와 양 롤(14, 15)을 서로 닮은꼴(相似形)로 함으로써 용이하게 또한 확실하게 양 롤(14, 15)의 외주 속도(v1, v2)를 v1=v2로 동조시키기 위해서이다.
벨트(b3)는 제 1 벨트 차(b1)의 회전력을 제 2 벨트 차(b2)에 전달하는 것이며, 상기한 바와 같이 임의의 벨트가 적용 가능하게 되어 있다.
이상과 같은 구성으로 해도 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와 출측 가이드 롤(15)의 외주 속도(v2)를 v1=v2가 되도록 동조시킬 수 있으므로 제 1 실시형태의 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 실시형태는 도 5에 도시한 바와 같이 변형해도 좋다. 즉, 출측 가이드 롤(15)을 텐션 롤(15b)로 하고 동조 수단(18)이 복수의 볼 베어링(b2)을 포함하는 구성으로 변형해도 좋다.
여기에서, 복수의 볼 베어링(b4)은 제 2 벨트 차(b2)의 외주부와 텐션 롤(15b)의 내주부와의 양자에 접해서 설치되고, 자전 및 공전 자유로운 구형상 부재이다.
텐션 롤(15b)은 각각의 볼 베어링(b4)을 통해 제 2 벨트 차(b2)의 회전력이 전달되는 출측 가이드 롤(15)이다.
도 5에 도시한 변형예에 의하면 제 2 벨트 차(b2)측의 외주 속도(v2')가 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와 다를 경우라도 각각의 볼 베어링(b4)에 의해 속도의 변화가 완화 또는 흡수되어 텐션 롤(15b)(출측 가이드 롤(15))에 전달된다. 따라서, 상기한 바와 마찬가지로 양 롤(14, 15)의 외주 속도(v1, v2)를 v1=v2가 되도록 동조시킬 수 있다.
(제 4 실시형태)
도 6은 본 발명의 제 4 실시형태에 관한 진공 증착 장치에 적용되는 동조 수단의 1예를 도시한 모식도이다.
즉, 본 실시형태는 제 1 실시형태의 구체적인 예이며, 동조 수단(18)을 (c) 모터 제어에 의해 실현한 구성으로 되어 있다.
이러한 동조 수단(18)은 모터(M2), 제 1 회전계(c1), 제 2 회전계(c2) 및 모터 제어부(c3)를 구비하고 있다.
여기에서, 모터(M2)는 코팅 롤(14)을 회전시키는 기존의 모터(M1)와는 독립적으로 설치되고, 모터 제어부(c3)로부터 제어되어 출측 가이드 롤(15)을 회전시키기 위한 것이다.
제 1 회전계(c1)는 코팅 롤(14)의 단위 시간당의 회전수(n1)를 측정하고, 얻어진 회전수(n1)를 모터 제어부(c3)에 송출하는 것이다.
제 2 회전계(c2)는 출측 가이드 롤(15)의 단위 시간당의 회전수(n2')를 측정하고, 얻어진 회전수(n2')를 모터 제어부(c3)에 송출하는 것이다.
모터 제어부(c3)는 제 1 회전계(c1)로부터 받은 회전수(n1) 및 제 2 회전계(c2)로부터 받은 회전수(n2')에 기초하여, 출측 가이드 롤(15)의 단위 시간당의 회전수(n2)를 n2=n1(r1/r2)로 하도록 모터(M2)를 제어하는 기능을 가지고 있다.
이상과 같은 구성으로 해도 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와 출측 가이드 롤(15)의 외주 속도(v2)를 v1=v2가 되도록 동조시킬 수 있으므로 제 1 실시형태의 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본원 발명은 상기 각각의 실시형태로 한정되는 것이 아니며 실시 단계에서는 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러가지로 변형하는 것이 가능하다.
예를 들면 제 4 실시형태의 경우 모터 제어부(c3)는 회전수(n1)를 제 1 회전계(c1)로부터 얻는 경우로 한정하지 않고, 기존의 모터(M1)의 모터 제어부(도시 생략)로부터 얻는 구성으로 해도 된다.
또, 회전수(n1)는 여기에서는 측정값으로 했지만 이에 한정하지 않고 설정값으로 변형해도 좋다. 또한, 제 1 회전계(c1)는 코팅 롤(14)의 단위 시간당의 회전수(n1)와, 모터(M1)의 회전수가 같을 경우(롤(14)과 모터(M1)의 회전축이 공통일 경우), 모터(M1)의 회전수를 측정하는 것으로 변형해도 좋다. 또, 회전수(n1)의 변형예는 회전수(n2)라도 동일하게 적용 가능하다.
또, 각각의 회전계(c1, c2)는 회전수(n1, n2)를 측정하는 것으로 한정되지 않고, 각각의 롤(14, 15)의 외주 속도(v1, v2)를 직접 측정하는 것으로 변형해도 좋다. 이 경우, 모터 제어부(c3)도 n2=n1(r1/r2)의 식 대신에, v1=v2의 식을 이용하는 구성으로 변형하면 된다.
이상과 같은 여러 가지의 변형은 제 4 실시형태에 한정되지 않고 제 1 내지 제 3 실시형태에서도 동일하게 생각할 수 있다.
(제 5~제 7 실시형태)
이하의 제 5~제 7 실시형태는 제 1~제 4 실시형태에 설명한 어느 하나의 동조 수단(18)을 가지고, 또한, 다른 증착 처리 또는 표면처리를 실시하기 위한 처리 유닛을 교환 가능하게 설치한 구성으로 되어 있다.
먼저, 제 5~제 7 실시형태의 배경기술을 설명한다.
종래, 진공 증착 장치의 분야에서는 진공 중에서 연속적으로 공급되는 필름에 대하여 복수회의 겹침 증착을 1공정으로 행하기 위한 2헤드 코터 방식이 알려져 있다(예를 들면, 일본국 특개평8-311650호 공보를 참조). 그러나, 이러한 진공 증착 장치에서는 통상은 아무런 문제도 없지만 본 발명자의 검토에 의하면 동일 방식에 의해 증착층을 겹쳐 쌓기 형성하기 때문에 증착층의 가스 배리어성이나 방습성과 같은 품질을 향상시킬 때에 제한이 있다고 생각된다.
그래서, 제 5~제 7 실시형태는 제 1~제 4 실시형태의 작용 효과에 더해 증착층의 품질향상에 대한 제한을 해소시킨 것으로 하였다.
또한, 이하의 제 5~제 7 실시형태는 증착층의 품질향상에 대한 제한을 해소하는 관점에서 PVD(physical vapor deposition:물리증착법)방식의 증착 유닛을 가지는 진공 증착 장치에 대하여, 이 증착 유닛과는 다른 방식의 코팅 처리 또는 표면 처리를 실시하는 처리 유닛을 부가하고 있다.
즉, 본 발명자의 검토에 의하면 증착층의 품질향상에 관해서 제한이 있는 이유는 증착 방식(PVD방식)에 의한 증착층의 겹쳐 쌓기 형성에 따라 PVD방식에 기인한 품질상의 제한을 넘을 수 없기 때문이다. 이 때문에, 제 5~제 7 실시형태는 어느 것이나 PVD방식과는 다른 방식의 코팅 처리 또는 표면 처리를 실시하는 처리 유닛을 부가한 점에서 공통되고, 처리 유닛 및 그 주변구성이 다른 점에서 상이하다. 이하, 순서대로 설명한다.
(제 5 실시형태)
도 7은 본 발명의 제 5 실시형태에 관한 진공 증착 장치의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이다. 이 진공 증착 장치(1)는 종이(웹:두루말이) 또는 플라스틱 등의 필름(f)의 표면에 알루미늄, 산화알루미늄, 산화 규소 등의 증착층을 형성하여, 가스 배리어성이나 방습성을 필름(f)에 갖게 하는 것이다. 도시한 바와 같이 격벽(2)을 사이에 두고 도입출부(10)와 처리실(201) 및 증착실(202)이 각각 떨어져 있다.
도입출부(10)는 필름(f)을 처리실(201) 및 증착실(202)에 도입하고, 증착층을 형성한 필름(f)을 처리실(201) 및 증착실(202)로부터 도출하기 위한 방이며, 풀기 롤(11), 복수의 텐션 롤(12), 제 1 가이드 롤(131, 132), 코팅 롤(141, 142), 제 2 가이드 롤(151, 152), 감기 롤(17) 및 쌍방향 공급 제어부(19)를 구비하고 있다. 또한, 1, 2의 첨자는 각각, 각각의 유닛에 대응해서 부여되고, 이하의 각각의 실시형태에서도 동일하다.
풀기 롤(11)은 미리 필름(f)이 감겨져 있고, 증착층 형성시에 쌍방향 공급 제어부(19)로부터의 제어에 의거하여 이 필름(f)이 옆의 텐션 롤(12)로 풀어지고, 또, 옆의 텐션 롤(12)로부터 필름(f)이 감기는 것이며 최종적으로는 다층막이 형성된 필름(f)이 옆의 텐션 롤(12)로 풀어지는 것이다.
텐션 롤(12)은 임의의 필름 공급 경로 상에 적당하게 복수개가 배치되고, 쌍방향 공급 제어부(19)로부터의 제어에 의거하여, 각각의 롤 사이(롤 11, 131사이, 151, 132사이, 152, 16사이)에서 필름(f)의 장력을 조정하는 것이다.
제 1 가이드 롤(131, 132)은 코팅 롤(141, 142)의 근방에 배치되고, 쌍방향 공급 제어부(19)로부터의 제어에 의거하여 텐션 롤(12)로부터 도출된 필름(f)을 코팅 롤(141, 142)로 안내하면서 도출하고, 또, 코팅 롤(141, 142)로부터 도출된 필름(f)을 텐션 롤(12)로 도출하는 것이다.
코팅 롤(141, 142)은 일부가 처리실(201), 증착실(202)에 대향하도록 배치되고, 쌍방향 공급 제어부(19)로부터의 제어에 의거하여 제 1 가이드 롤(131, 132)로부터 도출된 필름(f)을 처리실(201), 증착실(202)안으로 도출해서 박막층, 증착층이 형성된 필름(f)을 제 2 가이드 롤(151, 152)로 도출하고, 또, 제 2 가이드 롤(151, 152)로부터 도출된 필름(f)을 처리실(201), 증착실(202)안으로 도출해서 박막층, 증착층이 형성된 필름(f)을 제 1 가이드 롤(131, 132)로 도출하는 것이다.
제 2 가이드 롤(151, 152)은 코팅 롤(141, 142)의 근방에 배치되고, 쌍방향 공급 제어부(19)로부터의 제어에 의거하여, 코팅 롤(141, 142)로부터 도출된 필름(f)을 텐션 롤(12)로 도출하고, 또, 텐션 롤(12)로부터 도출된 필름(f)을 코팅 롤(141, 142)로 안내하면서 도출하는 것이다.
감기 롤(17)은 옆의 텐션 롤(12)로부터 도출된 필름(f)이 감기는 것이며, 증착층 형성시에 쌍방향 공급 제어부(19)로부터의 제어에 의거하여 옆의 텐션 롤(12)로부터 필름(f)이 감아지고, 또, 이 필름(f)이 옆의 텐션 롤(12)로 풀리는 것이며, 최종적으로는 다층막이 형성된 필름(f)이 옆의 텐션 롤(12)로부터 감겨지는 것이다.
쌍방향 공급 제어부(19)는 후술하는 각각의 코팅 유닛(221, 222)에 대하여, 필름(f)을 「상류측에서 하류측으로의 정방향」 또는 「하류측에서 상류측으로의 역방향」의 쌍방향으로 공급하기 위한 것이며, 구체적으로는 풀기 롤(11), 텐션 롤(12), 제 1 가이드 롤(131, 132), 코팅 롤(141, 142), 제 2 가이드 롤(151, 152)의 회전을 쌍방향으로 제어하는 기능을 가지고 있다.
한편, 처리실(201)은 PVD방식과는 다른 방식의 코팅 처리를 코팅 롤(141) 상의 필름(f)에 실시하는 코팅 유닛(211)을 개별적으로 수용하고, 외벽(221)이 착탈부(231)를 통해 도입출부(10)에 착탈 가능하게 부착된 것이다. PVD방식과는 다른 방식의 코팅 처리로서는 예를 들면 CVD(chemical vapor deposition:화학증착법)방식, 유기증착 방식, 증착중합방식, 스퍼터링 등의 방식이 있다.
증착실(202)은 PVD방식의 증착 처리를 코팅 롤(142) 상의 필름(f)에 실시하는 코팅 유닛(증착 유닛)(212)을 개별적으로 수용하고, 일부가 플랜지(252)로서 착탈 또는 개폐가능한 외벽(222)이 도입출부(10)의 격벽(2)에 부착된 것이다.
여기에서, 코팅 유닛(212)은 PVD방식의 1예로서 증착 재료를 보유하는 도가니(242)를 수용하고, 도시하지 않은 전자총 등의 증발 수단에 의해 도가니(242)안의 증착 재료를 증발시켜 코팅 롤(142)에 의해 도입되는 필름(f)의 표면에 증착층을 형성하는 것으로 되어 있다. 또한, PVD방식으로서는 저항가열, 유도가열 및 전자선가열 등 중 어느 방식으로 해도 된다.
플랜지(252)는 외벽(222)의 일부에 착탈 또는 개폐 가능하게 설치되고 증착실(202)을 밀폐하는 것이다.
또한, 증착실(201, 202)은 필름(f)이 쌍방향으로 공급되는 것에서, 어느 것을 상류측 또는 하류측에 배치해도 좋다.
다음에, 이상과 같이 구성된 진공 증착 장치의 동작을 설명한다.
진공 증착 장치(1)에 있어서는 진공 중에서 풀기 롤(11)로부터 풀어낸 필름(f)을 텐션 롤(12)을 통해 제 1 가이드 롤(131)로부터 코팅 롤(141)로 도입한다.
코팅 롤(141)은 이 필름(f)을 처리실(201)로 도입하고, 필름(f) 표면에 박막층이 형성되어 이루어지는 필름(f)을 제 2 가이드 롤(151)로 도출한다.
제 2 가이드 롤(151)은 이 필름(f) 표면의 박막층을 누르면서 해당 필름(f)을 텐션 롤(12)로 도출한다.
이하 마찬가지로, 텐션 롤(12)은 도출된 필름(f)을 제 1 가이드 롤(132)에서 코팅 롤(142)로 도입한다.
코팅 롤(142)은 이 필름(f)을 PVD방식의 증착실(202)에 도입하고, 필름(f) 표면에 증착층이 형성되어 이루어지는 필름(f)을 제 2 가이드 롤(152)로 도출한다.
제 2 가이드 롤(152)은 이 필름(f) 표면의 증착층을 누르면서 해당 필름(f)을 텐션 롤(12)로 도출한다.
텐션 롤(12)은 도출된 필름(f)을 감기 롤(17)로 도출하고 감기 롤(17)은 이 필름(f)을 순서대로 감는다. 그런 뒤, 풀기 롤(11)의 모든 필름(f)을 처리실(201), 증착실(202)을 통과시켜 필름(f)으로 형성하고, 감기 롤(17)에 감은 시점에서, 필름(f) 상에 형성되는 층이 2층인 경우 감기 롤(17) 단위의 필름(f)의 제조가 완료된다.
이하, 적당히 쌍방향 공급 제어부(19)의 제어에 의해 필름(f)을 일단, 풀기 롤(11)까지 되돌려 감든지, 또는 감기 롤(17)을 풀기 롤로서 이용함으로써, 다시, 각각의 코팅 유닛(211 및/또는 212)에 의한 코팅 처리를 필름(f)에 실시한다.
또, 두번째 코팅 처리 전에 미리 처리실(201)의 외벽(221) 부분을 착탈하고, 코팅 유닛(211)을 다른 방식의 코팅 처리의 것으로 교환함으로써, 교환 후의 방식에 대응하는 품질의 박막층을 필름(f) 상에 형성할 수 있다.
이하 마찬가지로, 각각의 코팅 유닛(211 및/또는 212)에 의한 코팅 처리와, 쌍방향 공급 제어부(19)에 의한 쌍방향의 필름 공급을 되풀이함으로써 복합된 품질의 박막층을 가지는 필름(f)을 제조할 수 있다.
예를 들면, PVD방식에 의해 적층되는 무기증착층(금속, 무기산화물 등)과, 그 밖의 방식에 의해 적층되는 층, 예를 들면 CVD방식에 의해 적층되는 유기물의 산화 규소의 층, 혹은 유기증착 방식으로 적층되는 유기물층 등을 복수층 포갤 수 있으므로 지금까지 없을 만큼 우수한 가스 배리어성이나 방습성을 가지는 박막층을 적층한 필름(f)을 제조하는 것을 기대할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 실시형태에 의하면 일방의 코팅 유닛(211)에 의해 타방의 코팅 유닛(212)과는 다른 방식의 코팅 처리를 1공정으로 필름(f) 상에 실시할 수 있으므로 증착층의 품질향상에 대한 제한을 해소할 수 있다.
또, 쌍방향 공급 제어부(19)에 의해 코팅 유닛(211) 및/또는 코팅 유닛(212)에 의한 처리를 되풀이해 행할 수 있으므로 상술한 효과를 보다 용이하게 가져올 수 있다. 또한, 증착실(201)의 외벽(221)부분을 착탈하면 코팅 유닛(211)을 교환할 수 있으므로 상술한 효과를 한층 더 용이하게 가져올 수 있다. 또, 이들의 모든 코팅 처리는 진공 중에서 연속적으로 행하여지므로 박막층끼리의 사이에 자연산화막이 개재하지 않으므로 우수한 품질을 기대할 수 있다.
또, 1개의 코팅 유닛(202)을 PVD방식으로 정하므로 PVD방식에 의한 품질을 유지한 상태에서 품질의 향상을 도모할 수 있다.
또한, 본 실시형태는 도 8~도 10에 도시한 바와 같이 변형해도 좋다.
예를 들면, 도 8에 도시한 바와 같이 코팅 처리를 실시하는 코팅 유닛(211) 대신에, 표면처리의 1예로서의 플라스마 처리를 실시하는 플라스마 처리 유닛(211')을 수용하는 처리실(201')로 변형해도 좋다.
또, 도 9 또는 도 10에 도시한 바와 같이, 외벽(221) 전체를 착탈하는 착탈부(231) 대신에 외벽(221)의 일부를 착탈 또는 개폐하는 플랜지(251)를 설치한 구성으로 변형해도 좋다. 다만, 플랜지(251)는 수용하는 유닛(211, 211')을 교환 가능한 크기를 가질 필요가 있다.
(제 6 실시형태)
도 11은 본 발명의 제 6 실시형태에 관한 진공 증착 장치의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이다.
즉, 본 실시형태는 제 5 실시형태의 변형예이며 필름 공급의 경로 상에 새로운 코팅 유닛(213)을 가지는 새로운 처리실(203)을 설치한 구성으로 되어 있다.
이 코팅 유닛(213)은 PVD방식과는 다른 방식의 코팅 처리를 필름 상에 실시하면 되고, 상술한 코팅 유닛(211)과 동일 방식의 것이라도 되지만, 다양한 품질의 박막층을 필름 상에 형성하는 관점에서 상술한 코팅 유닛(211)과는 다른 방식인 편이 바람직하다.
이상과 같은 구성으로 해도 제 5 실시형태의 효과를 얻을 수 있고, 또한, 새로운 코팅 유닛(213)의 코팅 방식에 대응해서 필름(f)의 품질향상을 기대할 수 있다.
또, 각각의 처리실(211, 213)을 합계한 개수는 1 또는 2로 한정되지 않고, 임의의 개수로 변형해도 좋다. 또한, 본 실시형태도 상기와 마찬가지로 도 12~도 14에 도시한 바와 같이 변형해도 좋다.
예를 들면 도 12에 도시한 바와 같이, 코팅 유닛(213) 대신에 플라스마 처리 유닛(213')을 수용하는 처리실(203')로 변형해도 좋다.
또, 도 13 또는 도 14에 도시한 바와 같이, 외벽(221) 전체를 착탈하는 착탈부(231) 대신에 외벽(221)의 일부를 착탈 또는 개폐하는 플랜지(251)를 설치한 구성으로 변형해도 좋다.
(제 7 실시형태)
도 15는 본 발명의 제 7 실시형태에 관한 진공 증착 장치의 구성을 모식적으로 도시한 단면도이다.
즉, 본 실시형태는 제 6 실시형태의 변형예이며. 새로운 처리실(203)을 설치한 개소를 상술한 처리실(201)과 동일한 코팅 롤(141)에 대향한 장소로 한 구성으로 되어 있다.
이상과 같은 구성으로 해도 제 6 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있고, 또한, 2개의 코팅 유닛(211, 213)에 의한 2개의 코팅 방식에 의해 박막층을 형성하는 것으로부터 적절한 코팅 방식을 조합시킴으로써 필름(f)의 품질향상을 더욱 기대할 수 있다.
또, 본 실시형태도 상기한 바와 마찬가지로 도 16에 도시한 바와 같이 변형해도 좋다. 즉, 코팅 유닛(213) 대신에 플라스마 처리 유닛(213')을 수용하는 처리실(203')로 변형해도 좋다. 이 경우, 상술한 코팅 유닛(211)에 의해 형성한 박막층을 플라스마 처리 유닛에 의해 중화하는 처리의 조합이 된다. 이러한 코팅 처리와 표면 처리의 조합을 1개의 코팅 롤(141) 상에서 행하는 구성으로 해도 박막층의 품질향상을 도모할 수 있다.
또한, 본원 발명은 상기 각각의 실시형태로 한정되는 것이 아니며, 실시 단계에서는 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러가지로 변형하는 것이 가능하다. 또, 각각의 실시형태는 가능한 한 적당히 조합해서 실시해도 좋고, 그 경우 조합된 효과가 얻어진다.
예를 들면 각각의 실시형태에 표시한 각각의 처리실(201, 201', 203, 203') 중, 임의의 처리실(20)을 임의의 개수만큼, 필름 공급 경로 상의 임의의 위치에 적당하게 배치한 구성으로 해도 된다.
또한, 상기 각각의 실시형태에는 여러가지 단계의 발명이 포함되어 있고, 개시되는 복수의 구성 요건에 있어서의 적당한 조합에 의해 여러가지 발명이 추출될 수 있다. 예를 들면 실시형태에 나타난 모든 구성 요건에서 몇개인가의 구성 요건이 생략됨으로써 발명이 추출되었을 경우에는, 그 추출된 발명을 실시할 경우에는 생략 부분이 주지관용의 기술로 적당히 보충되는 것이다.
그 밖에, 본 발명은 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러가지로 변형해서 실시할 수 있다.
본 발명에 의하면 증착층에 상처가 생길 가능성을 해소할 수 있고, 증착층의 성능을 충분히 실현할 수 있는 진공 증착 장치 및 증착 필름 제조 방법을 제공할 수 있다.

Claims (10)

  1. 진공 중에서 풀기 롤(11)로부터 풀어낸 소재 필름(f1)을 입측 가이드 롤 (13)에서 코팅 롤(14)로 도입하고, 이 코팅 롤 상에서 증착층을 소재 필름 표면에 형성하고, 상기 코팅 롤로부터 도출된 증착 필름 표면의 증착층을 출측 가이드 롤(15)로 누르면서 해당 증착 필름(f2)을 감기 롤(17)에 감기게 하는 진공 증착 장치(1)로서,
    상기 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와 상기 출측 가이드 롤(15)의 외주 속도(v2)를 v1=v2가 되도록 동조시키기 위한 동조 수단(18)을 구비한 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 동조 수단(18)은
    상기 코팅 롤(14)의 회전축을 회전중심으로 하는 제 1 기어(a1)와,
    상기 출측 가이드 롤(15)의 회전축을 회전중심으로 하는 제 2 기어(a2)와,
    상기 제 1 기어의 회전을 상기 제 2 기어에 전달하기 위한 짝수개의 중간기어(a3, a4),
    를 구비한 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 동조 수단(18)은
    상기 코팅 롤(14)의 회전축을 회전중심으로 하는 제 1 벨트 차(b1)와,
    상기 출측 가이드 롤(15)의 회전축을 회전중심으로 하는 제 2 벨트 차(b2)와,
    상기 제 1 벨트 차의 회전을 상기 제 2 벨트 차에 전달하기 위한 벨트(b3),
    를 구비한 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 출측 가이드 롤(15)을 회전시키기 위한 모터(M2)와,
    상기 코팅 롤(14)의 반경이 r1이며, 상기 출측 가이드 롤의 반경이 r2이며, 상기 코팅 롤의 단위 시간당의 회전수가 n1일 때, 상기 출측 가이드 롤의 단위 시간당의 회전수(n2)를 n2=n1(r1/r2)로 하도록, 상기 모터를 제어하는 제어 수단(c1~c3),
    을 구비한 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 코팅 롤(142) 상의 필름(f)에 증착층을 형성하기 위한 증착 유닛(212)과,
    상기 증착 유닛을 수용하고, 적어도 외벽(222)의 일부(252)가 착탈 또는 개폐가능한 증착실(202)과,
    상기 코팅 롤의 상류측 또는 하류측에 개별적으로 설치한 1개 이상의 처리 롤(141)과,
    상기 처리 롤 상의 필름에, 상기 증착 유닛과는 다른 방식의 코팅 처리 또는 표면 처리를 실시하기 위한 1대 이상의 처리 유닛(211)과,
    상기 처리 유닛을 개별적으로 수용하고, 적어도 외벽(221)의 일부(231, 251)가 착탈 또는 개폐가능한 1실 이상의 처리실(201)과,
    상기 증착 유닛 및 상기 처리 유닛에 대하여, 상기 필름을 「상류측에서 하류측으로의 정방향」 또는 「하류측에서 상류측으로의 역방향」의 쌍방향으로 공급하기 위한 쌍방향 공급 수단(19),
    을 구비한 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 증착 유닛(212)은 PVD방식에 의해 증착 처리를 상기 필름(f) 상에 실시하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
  7. 진공 중에서 풀기 롤(11)로부터 풀어낸 소재 필름(f1)을 입측 가이드 롤 (13)에서 코팅 롤(14)로 도입하고, 이 코팅 롤 상에서 증착층을 소재 필름 표면에 형성하고, 상기 코팅 롤로부터 도출된 증착 필름 표면의 증착층을 출측 가이드 롤(15)로 누르면서 해당 증착 필름(f2)을 감기 롤(17)에 감기게 하는 증착 필름 제조 방법으로서,
    상기 코팅 롤(14)의 외주 속도(v1)와 상기 출측 가이드 롤(15)의 외주 속도(v2)를 v1=v2가 되도록 동조시키기 위한 동조 공정(18)을 구비한 것을 특징으로 하는 증착 필름 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 동조 공정(18)은
    상기 코팅 롤(14)의 회전축을 회전중심으로 제 1 기어(a1)가 회전하는 공정과,
    이 제 1 기어의 회전에 따라 짝수개의 중간기어(a3, a4)가 회전하는 공정과,
    이 짝수개의 중간기어 중 최종단의 중간기어(a4)의 회전에 따라 상기 출측 가이드 롤(15)의 회전축을 회전중심으로 제 2 기어(a2)가 회전하는 공정,
    을 구비한 것을 특징으로 하는 증착 필름 제조 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 동조 공정(18)은
    상기 코팅 롤(14)의 회전축을 회전중심으로 제 1 벨트 차(b1)가 회전하는 공정과,
    이 제 1 벨트 차의 회전에 따라 벨트(b3)가 이동하는 공정과,
    이 벨트의 이동에 따라 상기 출측 가이드 롤(15)의 회전축을 회전중심으로 제 2 벨트 차(b2)가 회전하는 공정,
    을 구비한 것을 특징으로 하는 증착 필름 제조 방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 동조 공정(18)은
    상기 출측 가이드 롤(15)을 모터(M2)에 의해 회전시키는 공정과,
    상기 코팅 롤(14)의 반경이 r1이며, 상기 출측 가이드 롤의 반경이 r2이며, 상기 코팅 롤의 단위 시간당의 회전수가 n1일 때, 상기 출측 가이드 롤의 단위 시간당의 회전수(n2)를 n2=n1(r1/r2)로 하도록 상기 모터를 제어하는 제어 공정(c1~c3),
    을 구비한 것을 특징으로 하는 증착 필름 제조 방법.
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