KR20050026852A

KR20050026852A - 기판 표면 청소 장치

Info

Publication number: KR20050026852A
Application number: KR1020040059728A
Authority: KR
Inventors: 키무라시게루
Original assignee: 요도가와 메덱 가부시키가이샤
Priority date: 2003-09-10
Filing date: 2004-07-29
Publication date: 2005-03-16
Also published as: TWI236936B; CN1593793A; TW200510081A; JP2005081297A

Abstract

본 발명의 목적은 기판의 대형화의 영향을 받지 않고, 기판 표면 청소의 택트 타임을 단축하고, 또한, 장치의 풋 프린트를 작게 하는 것이 가능한, 기판 표면 청소 장치를 제공하는 데 있다.

기판 표면 청소 장치(100A)는, 기판 지지 반송 장치(20)와, 기판 청소 장치(10)를 구비하고 있다. 기판 지지 반송 장치(20)는 액정 패널(50)을 하방면측에서 지지하고, 액정 패널(50)을 Y방향으로 반송하기 위한 반입 롤러 샤프트(21) 및 반출 롤러 샤프트(22)가 복수열 배치되어 있다. 기판 청소 장치(10)는 기판 지지 반송 장치(20)의 중앙부 상방에 마련되고, 무한 궤도를 갖는 청소 벨트(11)와, 이 청소 벨트(11)에 소정의 텐션을 주면서, 청소 벨트(11)가 감겨 걸리는 구동 가이드 풀리(12) 및 종동 가이드 풀리(13, 14, 15)와, 청소 벨트(11)를 회전시키기 위해, 구동 가이드 풀리(12)에 연결되는 구동 모터(16)를 구비하고 있다. 청소 벨트(11)는 액정 패널(50)을 구성하는 유리 기판상을 활주한다. 청소 벨트(11)의 활주(회전) 방향(제 2의 방향, X방향)은 액정 패널(50)의 반송 방향(Y방향)에 대해 교차하는 방향으로 마련된다.

Description

기판 표면 청소 장치{A SUBSTRATE SURFACE CLEANING DEVICE}

기술 분야

본 발명은, 기판 표면 청소 장치에 관한 것으로, 특히, 기판 표면에 부착한 이물질 등을 제거하기 위한 기판 표면 청소 장치에 관한 것이다.

종래의 기술

종래, 액정 패널의 제조 공정에 있어서는, 편광판을 붙이는 이전 공정에서, 유리 기판의 표면에 부착한 밀봉제(UV 경화 수지 등)를 제거하기 위해, 연마기를 이용한 유리 기판 연마 공정이 실시되고 있다. 그러나, 근래의 액정 패널의 제조 공정에서는 액정을 나중에 주입하는 것이 아니라, 미리 유리 기판의 전 주위를 둘러싸는 실 부재가 배치되고, 유리 기판을 합치기 전에, 액정을 적하 주입하게 되어 있다. 그 때문에, 밀봉제에 의해 액정 주입구를 막는 공정이 불필요하게 되고 있다. 따라서 편광판을 붙이는 이전 공정에서 밀봉제를 제거할 목적으로, 기판 연마 공정을 실시할 필요는 없다. 그러나, 편광판을 붙이는 이전 공정에서, 기판 표면에 무엇인가의 요인으로 이물이 부착하는 일이 있기 때문에, 편광판을 붙이는 이전 공정에서, 유리 기판의 표면에서 이물을 제거하는 청소 공정은 반드시 필요하다.

그래서, 연마 블레이드(연마 칼)를 연마포로 교환하고, 종래의 기판 연마 공정에서 사용되고 있는 연마 장치를 그대로 이용하는 것도 가능하다. 그러나, 종래의 연마 장치는 유리 기판을 고정한 상태에서 연마 블레이드를 회전시키면서 유리 기판의 표면상을 이동시키는 구성을 채용하고 있기 때문에, 유리 기판을 처리하기 위한 택트 타임(장치 내로 유리 기판을 반입하고, 소정의 처리를 실시한 후, 장치 밖으로 유리 기판을 반출하기 까지의 총 시간)이 길다는 문제가 있다. 또한, 액정 패널에는 양면에 유리 기판이 배설되어 있기 때문에, 상기 종래의 연마 장치의 구성에서는, 한쪽 면의 처리가 종료된 후에 유리 기판을 뒤집고, 그 후 다른쪽 면의 처리를 행하기 때문에 더욱 택트 타임이 길어지고, 또한 장치의 풋 프린트(장치를 평면에 설치한 경우, 바로위에서 투영한 총 설치 면적)도 대형화된다는 문제가 있다.

또한, 근래에는, 액정 패널의 대형화가 진척되고 있고, 이에 따라 연마 장치를 대형화하고 있기 때문에, 점점 택트 타임이 길어지고, 장치의 풋 프린트도 대형화된다는 문제가 현저하게 된다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판 표면에 부착한 이물을 제거하기 위한 장치에 있어서, 기판의 대형화가 진척되는 것에 대응하여, 택트 타임이 길어지고, 또한, 장치의 풋 프린트도 대형화하는 점에 있다. 따라서 본 발명의 제 1의 목적은 기판의 대형화의 영향을 받지 않고, 기판 표면 청소의 택트 타임을 단축함에 있다. 또한, 본 발명의 제 2의 목적은 장치의 풋 프린트를 작게 하는 것이 가능한 기판 표면 청소 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명에 의거한 기판 표면 청소 장치에서는, 기판 표면에 부착한 이물질 등을 제거하기 위한 기판 표면 청소 장치로서, 상기 기판을 지지하고, 제 1의 방향으로 상기 기판을 반송하기 위한 기판 지지 반송 장치와, 상기 기판의 상기 제 1의 방향으로의 반송 상태에서, 상기 기판의 표면을 상기 제 1의 방향에 대해 교차하는 제 2의 방향에 연속적으로 활주시켜, 상기 기판 표면에 부착한 이물질 등을 제거하기 위한 청소 벨트를 갖는 청소 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 바람직한 특징으로서, 상기 청소 장치는 상기 기판 지지 반송 장치에 의해 반송되는 상기 기판을 양면측에서 끼우도록 2세트 마련된다.

또한, 바람직한 특징으로서 상기 청소 벨트는 무단 벨트이다.

또한, 바람직한 특징으로서 상기 청소 벨트의 상기 기판에 면하는 측과 반대측에는, 상기 청소 벨트를 상기 기판측으로 가압하기 위한 가압 장치가 마련된다. 또한 바람직하게는, 상기 가압 장치는 상기 청소 벨트에 공기를 분사하기 위한 에어 블로어 장치를 포함하고 있다.

또한, 본 발명에 있어서, 「청소」란, 연마, 세척 등, 기판 표면에 부착한 이물을 제거하는 모든 행위를 포함하는 것으로 한다.

본 발명에 의거한 기판 표면 청소 장치에 의하면, 기판을 제 1의 방향으로 반송시킨 상태에서 청소 장치는 고정되고, 이 청소 장치가 갖는 청소 벨트를 제 1의 방향에 대해 교차하는 제 2의 방향으로 연속 활주시킴에 의해, 기판의 반송에 수반하여 청소 벨트에 의해 기판 표면의 이물질 제거를 행한다. 이로써, 기판의 반송과 이물질 제거를 동시에 행할 수 있기 때문에, 기판을 연속적으로 반송할 수 있고, 기판으로부터 이물질 제거에 요하는 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다. 또한, 청소 벨트를 기판의 반송 방향에 대해 교차하는 방향으로 연속 활주시키는 구성을 채용함으로써, 청소 벨트의 대형화를 초래하지 않고, 청소 장치의 소형화를 도모하는 것을 가능하게 한다.

또한, 청소 장치의 소형화가 도모되기 때문에, 이 청소 장치를 기판의 양면을 끼우도록 2세트 마련할 수 있다. 이로써, 기판 양면의 청소를 동시에 행할 수 있다. 그 결과, 기판의 양면을 제각기 청소 처리하는 경우에 비하여, 기판 청소 처리의 택트 타임을 단축할 수 있다. 또한, 기판을 뒤집기 위한 준비 스페이스 등이 불필요하게 되기 때문에, 기판 표면 청소 장치의 풋 프린트의 축소화를 도모하는 것도 가능해진다.

또한, 청소 벨트를 기판측으로 가압하기 위한 가압 장치를 마련함에 의해, 청소 벨트의 기판에의 접촉압이 청소 벨트의 전면에서 균일화되기 때문에, 청소 효율의 향상을 도모하는 것이 가능해진다.

(제 1의 실시예)

이하, 본 발명에 의거한 실시예에 있어서의 기판 표면 청소 장치에 관해, 도 1부터 도 3을 참조하여 설명한다. 또한, 본 실시예에서는 일예로서, 액정 패널의 제조 공정에서, 편광판의 부착 공정 전에 액정 패널을 구성하는 유리 기판의 표면을 청소하는 것을 목적으로 실시되는 청소 공정에 이용되는 기판 표면 청소 장치에 본 발명을 적용한 경우에 관해 설명한다. 또한, 도 1은 본 실시예에 있어서의 기판 지지 반송 장치(100A)의 기본 구성(개략)을 도시한 사시 모식도이고, 도 2는 본 실시예에 있어서의 기판 지지 반송 장치(100A)의 기본 구성(개략)을 도시한 정면 모식도이고, 도 3은 본 실시예에 있어서의 기판 지지 반송 장치(100A)의 액정 패널의 반송 방향과 청소 벨트의 활주 방향과의 관계를 도시한 평면 모식도이다.

(기판 표면 청소 장치(100A)의 개략 구성)

우선, 도 1을 참조하면, 이 기판 표면 청소 장치(100A)는 기판 지지 반송 장치(20)와, 기판 청소 장치(10)를 구비하고 있다. 기판 지지 반송 장치(20)는 액정 패널(50)을 하방면측에서 지지하고, 액정 패널(50)을 Y방향(제 1의 방향)으로 반송하기 위한 반입 롤러 샤프트(21) 및 반출 롤러 샤프트(22)가 복수열 배치되어 있다. 도시하지 않지만, 반입 롤러 샤프트(21) 및 반출 롤러 샤프트(22)를 회전 구동시키기 위한 구동 장치가, 반입 롤러 샤프트(21) 및 반출 롤러 샤프트(22)에 연결되어 있다. 또한, 액정 패널(50)의 크기에 따라, 액정 패널의 반송 자세를 정돈하기 위해 Y방향에 대해 직교하는 방향으로 슬라이드 가능한 가이드(23, 23)가 마련되어 있다.

기판 청소 장치(10)는, 기판 지지 반송 장치(20)의 중앙부 상방에 마련되고, 무한 궤도를 갖는 무단 벨트로 이루어지는 청소 벨트(11)와, 이 청소 벨트(11)에 소정의 텐션을 주면서, 청소 벨트(11)가 감겨 걸리는 구동 가이드 풀리(12) 및 종동 가이드 풀리(13, 14, 15)와, 청소 벨트(11)를 회전시키기 위해 구동 가이드 풀리(12)에 연결된 구동 모터(16)를 구비하고 있다.

청소 벨트(11)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 액정 패널(50)을 구성하는 유리 기판상을 활주한다. 청소 벨트(11)의 활주(회전) 방향(제 2의 방향, X방향)은 도 3에 도시한 바와 같이, 액정 패널(50)의 반송 방향(Y방향)에 대해 교차하는 방향으로 마련된다. 청소 벨트(11)의 활주 방향은 도시하는 방향으로 한정되지 않고, 도시와는 반대 방향이라도 상관없다. 또한, 액정 패널(50)의 청소 벨트(11)에의 돌입시(突入時)에 있어서의 충격을 완화시키기 위해, 청소 벨트(11)의 활주 방향과, 액정 패널(50)의 반송 방향을 직교시키지 않고, 액정 패널(50)의 반송 방향에 대해, 청소 벨트(11)의 활주 방향이 경사하도록 마련되어 있다. 예를 들면, 도 3에 도시한 바와 같이, 액정 패널(50)의 반송 방향과 청소 벨트(11)의 활주 방향과의 교차 각도(θ1)는 약 70° 내지 85°, 95°내지 110° 정도로 마련된다. 액정 패널(50)의 청소 벨트(11)에의 돌입시에 있어서의 충격이 문제가 되지 않는 경우는 교차 각도(θ1)는 90°라도 상관없다.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 청소 벨트(11)의 액정 패널(50)에의 접촉압이 청소 벨트(11)의 전면에서 균일화시키기 위해, 청소 벨트(11)의 액정 패널(50)에 면하는 측과 반대측에는, 청소 벨트(11)를 액정 패널(50)측으로 가압하기 위한 가압 장치로서, 청소 벨트(11)에 공기를 분사하기 위한 에어 블로어 장치(30)가 마련되어 있다. 청소 벨트(11)의 액정 패널(50)에의 접촉압이 문제가 되지 않는 경우에는 반드시, 에어 블로어 장치(30)를 마련할 필요는 없다.

(실시예)

다음에, 상기 기판 표면 청소 장치(100A)의 구성을 구비한 구체적인 실시예로서의 기판 표면 청소 장치(1000)의 구성에 관해, 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다. 또한, 도 4는 기판 표면 청소 장치(1000)의 정면도이고, 도 5는 기판 표면 청소 장치(1000)의 평면도이다.

양 도면을 참조하면, 이 기판 표면 청소 장치(1000)는 본체 프레임(1001)과, 이 본체 프레임(1001)의 상방에서 소정의 간격을 두고 대향 배치되는 사이드 프레임(1002)를 갖고 있다. 이 사이드 프레임(1002)의 사이에는 기판 청소 장치(1010) 및 기판 지지 반송 장치(1020)가 마련되어 있다.

기판 지지 반송 장치(1020)로서, 반입 롤러 샤프트(1021) 및 반출 롤러 샤프트(1022)가 병렬로 복수 배치되어 있다. 반입 롤러 샤프트(1021) 및 반출 롤러 샤프트(1022)의 일단측에는, 구동 모터(1050)의 회전을 전달하기 위한 풀리(1040)가 부착되어 있다. 또한, 도 4 및 도 5 중에 있어서, 전달 벨트의 기재는 생략하고 있다.

또한, 각각의 반입 롤러 샤프트(1021) 및 반출 롤러 샤프트(1022)의 사이에는 액정 패널의 반송 자세를 정돈하기 위해, 액정 패널의 측면에 맞닿는 가이드 롤러(1023)가 복수 마련되어 있다. 이 가이드 롤러(1023)는 가이드 핀(1024)의 선단부에 회전 가능하게 부착되고, 또한, 가이드 핀(1024)은 좌우에서 각각 공통으로 마련된 가이드 베이스(1025)에 고정되어 있다.

각각의 가이드 베이스(1025)는, 사이드 프레임(1002)에 마련된 가이드 베어링(1026)에 의해 활주 가능하게 축 지지된 가이드 샤프트(1027)가 연결되어 있다. 이 구성에 의해, 가이드 샤프트(1027)를 이동시킴으로써, 반송되는 액정 패널의 크기에 따라 좌우의 가이드 롤러(1023)의 간격을 조절하는 것을 가능하게 하고 있다.

반입 롤러 샤프트(1021) 및 반출 롤러 샤프트(1022) 사이의 상방 위치에는, 기판 청소 장치(1010)가 마련되어 있다. 이 기판 청소 장치(1010)로서 베이스 플레이트(1003)가 마련되고, 이 베이스 플레이트(1003)에 구동 가이드 풀리(1012) 및 종동 가이드 풀리(1013, 1014, 1015)가 부착되어 있다. 또한, 구동 가이드 풀리(1012)에는 구동 모터(1016)가 연결되어 있다. 구동 가이드 풀리(1012) 및 종동 가이드 풀리(1013, 1014, 1015)에는 무한 궤도로 이루어지는 청소 벨트(1011)가 감겨 걸려있다. 청소 벨트(1011)의 저립[연마 입자]의 일예로서는 산화알루미늄, 산화세륨이 사용되고, 액정 패널의 유리 기판에 접하는 표면은, 이물을 제거하면서 유리 기판에의 흠집을 방지하는 등의 처리가 시행되고 있다.

또한, 청소 벨트(1011)의 액정 패널에 면하는 측과 반대측에는, 청소 벨트(1011)를 액정 패널측으로 가압하기 위한 에어 블로어 장치(1030)가, 베이스 플레이트(1003)에 고정되어 있다. 또한, 이 에어 블로어 장치(1030)에는 반송면과 청소 벨트와의 평행도를 확인하기 위한 다이얼 게이지(1031)가 부착되어 있다.

베이스 플레이트(1003)의 일단측에는 사이드 프레임(1002)에 대해 베이스 플레이트(1003)를 회전 가능하게 지지하기 위한 힌지 샤프트(1004)가 부착되고, 베이스 플레이트(1003)의 타단측에는 액정 패널의 반송 방향에 대해, 청소 벨트의 활주 방향의 경사 각도를 설정 고정하기 위한 경사 각도 조절 기구(1005)가 마련되어 있다.

(작용·효과)

이상, 본 실시예에 있어서의 기판 표면 청소 장치(100A)(1000)에 의하면, 액정 패널을 Y방향으로 반송시킨 상태에서 청소 장치(10)(1010)는 고정하고, 이 청소 장치(10)(1010)가 갖는 청소 벨트(11)(1011)를 Y방향에 대해 교차하는 X방향으로 연속 활주시킴에 의해 액정 패널의 반송에 수반하여, 청소 벨트(11)(1011)에 의해 액정 패널의 유리 기판 전체 표면의 이물질 제거를 행할 수 있다.

또한, 액정 패널의 반송과 이물질 제거를 동시에 행할 수 있기 때문에, 액정 패널을 연속적으로 반송할 수 있고, 액정 패널의 유리 기판 표면에서의 이물질 제거에 요하는 택트 타임을 단축할 수 있다.

또한, 청소 벨트(11)(1011)의 활주 방향을 액정 패널의 반송 방향과 같은 방향이 되도록 마련하는 것도 가능하지만, 이 경우에는 반송되는 액정 패널의 폭(반송 방향에 대해 직교한 방향에 따른 길이)을 고려하여, 비교적 폭이 큰 청소 벨트를 준비할 필요가 생기고, 청소 장치의 대형화를 초래하게 된다. 그러나, 상술한 바와 같이, 청소 벨트(11)(1011)를 액정 패널의 반송 방향에 대해 교차하는 방향으로 연속 활주시키는 구성을 채용함으로써, 액정 패널 폭의 대소에 관계없이 청소 벨트(11)(1011)의 장치 구성을 설정할 수 있고, 또한, 청소 벨트(11)(1011)의 불필요한 대형화를 초래하지 않고, 청소 장치의 소형화를 도모하는 것이 가능해진다.

(제 2의 실시예)

상기 제 1의 실시예에 있어서의 기판 표면 청소 장치(100A)에서는, 기판 청소 장치(10)는 기판 지지 반송 장치(20)의 중앙부 상방에 1세트 마련된 경우에 관해 설명하고 있다. 따라서 액정 패널(50)의 양면의 청소 처리를 행하기 위해서는, 한쪽 면의 처리를 행한 후에 액정 패널(50)을 반전시키고, 재차 다른쪽 면의 처리를 행할 필요가 있다. 그래서, 본 실시예에 있어서의 기판 표면 청소 장치에서는 반송되는 기판을 끼우고 기판 청소 장치를 2세트 마련하는 구성, 구체적으로는 기판 지지 반송 장치의 개략 중앙부 상방에 제 1 기판 청소 장치를 배설하고, 기판 지지 반송 장치의 개략 중앙부 하방에 제 2 기판 청소 장치를 배설하는 구성을 채용하고 있다.

이하, 도 6 및 도 7을 참조하여, 본 실시예에 있어서의 기판 표면 청소 장치(100B)의 구성에 관해 설명한다. 또한, 도 6은 본 실시예에 있어서의 기판 지지 반송 장치(100B)의 기본 구성(개략)을 도시한 정면 모식도이고, 도 7은 도 6중 Ⅶ―Ⅶ선 화살표로 본 단면도이다. 또한, 상기 제 1의 실시예에서의 기판 표면 청소 장치(100A)와 동일 또는 상당한 개소에 대해서는 동일한 참조 번호를 붙이고, 중복되는 설명은 반복하지 않기로 한다.

양 도면을 참조하면, 기판 지지 반송 장치(20A)의 개략 중앙부 상방에 제 1의 기판 청소 장치(10A)를 배설하고, 기판 지지 반송 장치(20A)의 개략 중앙부 하방에 제 2의 기판 청소 장치(10B)를 배설한다. 여기서, 도 6에 도시한 바와 같이, 액정 패널(50)의 상표면을 활주하는 청소 벨트(11)의 회전 방향(종동 가이드 풀리(13)로부터 종동 가이드 풀리(14)를 향하는 방향)과, 액정 패널(50)의 하표면을 활주하는 청소 벨트(11)의 회전 방향(종동 가이드 풀리(14)로부터 종동 가이드 풀리(13)를 향하는 방향)이 다르도록, 기판 청소 장치(10A) 및 기판 청소 장치(10B)의 구동 모터(16)의 회전 방향을 제어하고 있다. 이것은, 상하의 청소 벨트(11)의 회전 방향을 역으로 하면, 상하면에서 발생하는 힘이 상쇄되어 액정 패널(50)의 반송에의 악영향을 해소할 수 있다.

또한, 기판 지지 반송 장치(20A)에서는 액정 패널(50)의 지지를 확실한 것으로 하기 위해, 액정 패널(50)의 하면측을 반입 롤러 샤프트(21D) 및 반출 롤러 샤프트(22D)로 지지하고, 이 반입 롤러 샤프트(21D) 및 반출 롤러 샤프트(22D) 모두, 액정 패널(50)을 끼워 넣도록, 반입 롤러 샤프트(21D) 및 반출 롤러 샤프트(22D)의 대향하는 액정 패널(50)의 상면측 위치에 반입 롤러 샤프트(21U) 및 반출 롤러 샤프트(22U)를 배설하고 있다.

(작용·효과)

이 구성에 의해, 액정 패널(50)의 양면에 대해 동시에 청소 공정을 실시할 수 있기 때문에, 청소 공정에 필요하게 되는 택트 타임을 대폭적으로 감소시키는 것이 가능해진다. 또한, 액정 패널(50)을 반전시키기 위한 기구 및 스페이스가 불필요하게 되기 때문에, 기판 표면 청소 장치(100B) 일체의 풋 프린트의 소형화가 가능해진다. 액정 패널(50) 대형화하는 경우에는 보다 효과적이다.

또한, 상기 각 실시예에서는, 무한 궤도를 갖는 무단 벨트로 이루어지는 청소 벨트(11)(1011)를 이용한 경우에 관해 설명하였지만, 예를 들면, 청소 벨트(11)를 오픈 릴과 같이, 청소 벨트(11)가 릴에 감겨진 상태에 있어서, 다른쪽의 릴에 권취되는 형식을 채용하는 것도 가능하다.

또한, 기판 표면 청소 장치로서, 액정 패널 청소의 경우에 관해 설명하였지만, 액정 패널에 한하지 않고, 판형상 기판 표면의 청소를 행하는 경우에는 널리 본 발명을 적용하는 것이 가능하다.

따라서 금회에 개시한 상기 실시예는 모든 점에서 예시이고, 한정적인 해석의 근거가 되는 것이 아니다. 따라서 본 발명의 기술적 범위는 상기한 실시예만에 의해 해석되는 것은 아니고, 특허청구 범위의 기재에 기초하여 확정된다. 또한, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.

도 1은 제 1의 실시예에 있어서의 기판 지지 반송 장치의 기본 구성(개략)을 도시한 사시 모식도.

도 2는 제 1의 실시예에 있어서의 기판 지지 반송 장치의 기본 구성(개략)을 도시한 정면 모식도.

도 3은 제 1의 실시예에 있어서의 기판 지지 반송 장치의, 액정 패널의 반송 방향과 청소 벨트의 활주 방향과의 관계를 도시한 평면 모식도.

도 4는 제 1의 실시예에 있어서의 실시예의 기판 표면 청소 장치의 정면도.

도 5는 제 1의 실시예에 있어서의 실시예의 기판 표면 청소 장치의 평면도.

도 6은 제 2의 실시예에 있어서의 기판 지지 반송 장치의 기본 구성(개략)을 도시한 정면 모식도.

도 7은 도 6중 Ⅶ―Ⅶ선 화살표로 본 단면도.

♣부호의 설명♣

10, 10A, 10B, 1010 : 기판 청소 장치 11 : 청소 벨트

12, 1012 : 구동 가이드 풀리

13, 14, 15, 1013, 1014, 1015 : 종동 가이드 풀리

16, 1016, 1050 : 구동 모터 20, 20A, 1020 : 기판 지지 반송 장치

21, 21D, 21U : 반입 롤러 샤프트 22, 22D, 22U : 반출 롤러 샤프트

23, 23 : 가이드 30, 1030 : 에어 블로어 장치

50 : 액정 패널

100A, 100B, 1000 : 기판 표면 청소 장치1001 : 본체 프레임

1002 : 사이드 프레임 1003 : 베이스 플레이트

1004 : 힌지 샤프트 1005 : 경사 각도 조절 기구

1023 : 가이드 롤러 1024 : 가이드 핀

1025 : 가이드 베이스 1026 : 가이드 베어링

1027 : 가이드 샤프트 1031 : 다이얼 게이지

1040 : 풀리

Claims

기판(50) 표면에 부착한 이물질 등을 제거하기 위한, 기판 표면 청소 장치로서,

상기 기판(50)을 지지하고, 제 1의 방향으로 상기 기판(50)을 반송하기 위한 기판 지지 반송 장치(20)와,

상기 기판(50)의 상기 제 1의 방향으로의 반송 상태에서, 상기 기판(50)의 표면을 상기 제 1의 방향에 대해 교차하는 제 2의 방향으로 연속적으로 활주시켜서, 상기 기판(50) 표면에 부착한 이물질 등을 제거하기 위한 청소 벨트(11)를 갖는 청소 장치(10)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 표면 청소 장치.
제 1항에 있어서,

상기 청소 장치(10)는, 상기 기판 지지 반송 장치(20}에 의해 반송되는 상기 기판(50)을 양면측에서 끼우도록 2세트 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 표면 청소 장치.
제 1항에 있어서,

상기 청소 벨트(11)는 무단 벨트인 것을 특징으로 하는 기판 표면 청소 장치.
제 1항에 있어서,

상기 청소 벨트(11)의 상기 기판(50)에 면하는 측과 반대측에는, 상기 청소 벨트(11)를 상기 기판(50)측으로 가압하기 위한 가압 장치(30)가 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 표면 청소 장치.
제 4항에 있어서,

상기 가압 장치(30)는, 상기 청소 벨트(11)에 공기를 분사하기 위한 에어 블로어 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 표면 청소 장치.