KR20070063444A

KR20070063444A - 필름 접착방법 및 그 장치

Info

Publication number: KR20070063444A
Application number: KR1020060127189A
Authority: KR
Inventors: 다케시 이시다; 이사오 다케스에; 슈고 이마오카
Original assignee: 가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지; 가부시키가이샤 산키 테크노스
Priority date: 2005-12-14
Filing date: 2006-12-13
Publication date: 2007-06-19
Also published as: TW200738084A; JP2007160697A; JP4780559B2; KR100782445B1; CN1982053A; CN1982053B; TWI317253B

Abstract

본 발명은 접합하는 기판에 알맞은 크기의 시트형상의 필름을 기판에 접착하는 필름 접착방법 및 그 장치에 관한 것이다.

기판(2)의 위쪽에서 필름(1)을 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)로 보호 필름(7)과는 반대면측에서 경사시켜 흡착 유지하고, 보호 필름(7)에 점착 테이프(55)를 접착하여 점착 테이프(55)를 필름(1)의 선단부에서 역진시켜 보호 필름(7)의 선단부를 박리시키고, 선단 흡착 플레이트(34)를 필름의 선단부로부터 이탈시켜 기판(2)의 선단부에 보호 필름의 선단부를 박리한 필름의 선단부를 맞추어 압착롤러(46)로 가압하고, 흡착 플레이트(33)에 의한 필름의 흡착유지를 해제하여 기판(2)을 필름(1)의 선단부측을 선두로 하여 이동시키면서 점착 테이프(55)의 이동으로 보호 필름(7)을 박리함과 동시에 필름(1)을 기판(2)에 공급하여 압착롤러(46)로 기판(2)에 필름(1)을 접착한다.

본 발명에 의하면 흡착 유지력의 미묘하고 또한 복잡한 컨트롤을 필요로 하지 않아도 필름이 기판 위로 낙하하는 일이 없어, 간편하고 확실하게 필름을 기판에 접착할 수 있다.

Description

필름 접착방법 및 그 장치{A METHOD FOR ADHESION OF FILM AND AN APPARATUS THEREOF}

도 1은 본 발명에 관한 광학 필름 접착장치의 주요부 개략도,

도 2는 도 1에 나타내는 광학 필름 접착장치에 사용되는 광학 필름의 측면도,

도 3은 도 1에 나타내는 광학 필름 접착장치의 광학 필름 흡착 반송기구의 개략도,

도 4는 도 1에 나타내는 광학 필름 접착장치에서의 점착재 보호 필름 박리기구의 개략도,

도 5는 본 발명에 관한 광학 필름 접착장치의 전체의 개략 구성을 나타내는 평면도,

도 6은 도 1에 나타내는 광학 필름 접착장치에 의한 광학 필름과 표시 패널의 위치맞춤에 대하여 설명하는 도,

도 7은 도 1에 나타내는 광학 필름 접착장치에 의한 광학 필름과 표시 패널의 선단부의 위치맞춤에 대하여 설명하는 도,

도 8은 도 4에 나타내는 점착재 보호 필름 박리기구에 의한 광학 필름에서의 보호 필름의 박리에 대하여 설명하는 도,

도 9는 도 1에 나타내는 광학 필름 접착장치에 의한 광학 필름과 표시 패널을 그 선단부에서 후단부까지의 접착을 설명하는 도면이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 광학 필름 2 : 표시 패널

7 : 보호 필름 9 : XYZθ 테이블

33 : 흡착 플레이트 34 : 선단 흡착 플레이트

46 : 압착롤 47 : CCD 카메라

50 : 테이프 권출권취부 55 : 점착 테이프

59 : 선단 박리롤

액정디스플레이나 플라즈마 디스플레이 등의 제작공정에서는, 명암 콘트라스트나 색 재현성의 향상, 패널로부터 방출되는 전자파나 적외선의 차단, 주변 영상의 화면에의 비침방지, 패널의 파손방지 등 여러가지 기능을 아울러 가지는 기능성 필름(이하, 필름이라 약기)을 2매의 유리판을 접착한 상태의 액정 표시패널이나 플라즈마 표시패널 등(이하, 기판이라 약기)의 표면에 접착함으로써 양호한 화상 품질을 실현하고 있다.

필름의 접착에는 기판의 표시면을 상향으로 하여, 기판의 위쪽에서부터 접합시키는 기판에 알맞는 크기로 한 시트형상의 필름을 공급하여 접착하는 필름 접착장치가 사용되고 있다.

필름에는 점착재가 도포되어 있기 때문에, 사용전에 이물 접착방지를 위해 또는 점착재의 변형방지, 또는 필름끼리를 겹칠 수 있도록 점착재 표면을 보호 필름으로 덮고 있다.

이와 같은 필름은, 점착재 보호 필름을 상향으로 흡착 유지 테이블에 세트(장착)하여 접착 직전에 점착재 보호 필름을 박리하고, 흡착 유지 테이블을 반전시켜 필름의 점착재가 노출된 상태에서 기판 위쪽에 배치한다.

필름은 접착하는 한쪽 끝을 기판에 근접시키기 위하여 경사시키고, 압착롤로 가압하여 선단 접착을 행하고, 기판을 필름을 인출하는 방향으로 이동시킴으로써 접착을 행한다.

이때 필름은 압착롤로 차례로 접착되기 전에 기판 상면에 낙하하지 않도록 흡착 유지 테이블면에 흡착 유지된 상태에서 흡착 유지 테이블면을 슬라이딩하도록 하고 있다.

이와 같은 기술을 나타내는 것으로서, 일본국 특개2003-276091호 공보에 기재된 것이 있다.

필름을 기판에 접착하기 위해서는 필름을 유지할 필요가 있으나, 점착재면이 하향인 경우, 점착면을 지지할 수 없기 때문에, 필름 상면을 흡착부재에 의하여 흡착유지할 필요가 있다.

필름의 접착은, 유지된 필름과 기판을 압착롤에 의하여 끼워 넣어 압착롤이 회전함으로써 접착을 행하기 때문에, 필름은 흡착 유지와 흡착 유지상태에서 흡착부재면을 슬라이딩할 필요가 있었다.

흡착부재의 필름 흡착유지는 고진공을 사용하면 흡착 유지력이 확보되나, 흡착부재면을 슬라이딩할 때의 저항력이 커져 필름 표면에 찰상(擦傷)을 발생시킨다. 한편, 필름의 흡착유지에 저진공을 사용하면 저항력이 감소하여 필름 표면의 찰상은 경감되나, 필름의 흡착 유지력이 낮은 것에 의하여 필름이 기판 표면으로 낙하할 위험성이 높아진다.

또, 필름의 접착이 개시되면 흡착부재면을 이동함으로써 접착 끝에 근접함에 따라 흡착면적이 감소하여, 필름이 흡착부재면으로부터 벗겨져 기판 표면으로 낙하하는 경우가 있다. 그리고 필름은 낙하함으로써 기판가 접촉하여, 필름과 기판의 사이에 기포가 혼입한다는 문제가 있다.

또한 필름과 흡착부재가 스침으로써 미소한 마모분이 발생하고, 기판 표면으로 낙하하여 필름과 기판의 사이에 잔존한다. 이 경우, 마모분이나 주위에 생기는 기포에 의하여 투과하는 광의 차광이나 산란을 초래하여 원하는 화상 품질을 얻을 수 없어 화상 품질의 저하나 수율 저하의 원인이 된다.

따라서 이들 문제에 의하여 필름의 흡착 유지력의 미묘하고도 복잡한 컨트롤이 필요하기 때문에 필름을 효율좋게, 양호한 상태에서 접착하는 것이 어려웠다.

따라서 본 발명의 목적은, 필름의 접착에 있어서, 흡착 유지력의 미묘하고도 복잡한 컨트롤을 필요로 하지 않아도 필름이 기판 위로 낙하하지 않고 간편하고 확실하게 필름을 기판에 접착할 수 있는 필름 접착방법과 그 장치를 제공하는 것에 있다.

또, 본 발명의 다른 목적은, 필름의 접착에 있어서, 미소한 마모분이 발생하여 기판 표면으로 낙하하는 일이 없어, 수율이 저하하지 않는 필름 접착방법과 그 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하는 본 발명 필름 접착방법의 특징으로 하는 바는, 기판과 상기 기판에 알맞은 크기로 한 시트형상의 필름을, 상기 필름의 점착면에 설치한 보호 필름을 박리하여 상기 기판에 접착하는 필름 접착방법에 있어서, 수평으로 유지한 기판의 위쪽에 있어서, 상기 필름의 한변 선단부에 대응하는 선단 흡착 플레이트와 상기 한변 선단부 이외의 상기 필름의 영역에 대응하는 흡착 플레이트로 상기 필름을 그 상기 보호 필름과는 반대면측에서 흡착 유지하고, 상기 흡착 플레이트와 상기 선단 흡착 플레이트에 유지된 상기 필름의 상기 보호 필름에 상기 필름의 한변 선단부와 직교하도록 배치한 점착 테이프를 접착하고, 상기 점착 테이프를 상기 필름의 한변 선단부에서 역진하도록 이동시켜 상기 필름의 한변선 단부측에서의 상기 보호 필름의 선단부를 박리시키고, 상기 선단 흡착 플레이트의 상기 필름의 한변 선단부에 대한 흡착 유지를 해제하여 상기 선단 흡착 플레이트를 상기 필름의 한변 선단부로부터 이탈시켜 수평으로 유지한 기판의 상기 필름의 한변 선단부에 대응하는 부분에 상기 보호 필름의 선단부를 박리한 상기 필름의 한변 선단부 를 맞추어서 이 부분을 압착롤로 가압하고, 상기 흡착 플레이트에 의한 상기 필름의 흡착 유지를 해제하여 상기 점착 테이프의 이동과 역진으로 상기 필름을 상기 기판 위에 공급함과 동시에 상기 보호 필름을 박리하면서 상기 기판을 상기 필름의 한변 선단부측을 선두로 하여 수평 이동시킴으로써 상기 보호 필름을 박리하면서 상기 기판에 상기 필름을 접착하는 것에 있다.

또, 상기 목적을 달성하는 본 발명 필름 접착장치의 특징으로 하는 바는, 기판과 상기 기판에 알맞은 크기로 한 시트형상의 필름을, 상기 필름의 점착면에 설치한 보호 필름을 박리하여 상기 기판에 접착하는 필름 접착장치에 있어서, 기판을 수평으로 유지하여 상기 기판의 한변측을 선두로 하여 이동시키는 기판 유지 이동기구와, 상기 기판 유지 이동기구의 위쪽에서 상기 필름을 그 상기 보호 필름과는 반대면측에서 상기 기판의 한변측에 대응하는 상기 필름의 한변 선단부와 상기 한변 선단부 이외의 상기 필름의 영역을 각각 흡착 유지하는 선단 흡착 플레이트와 흡착 플레이트와, 상기 선단 흡착 플레이트와 상기 흡착 플레이트를 상기 선단 흡착 플레이트가 상기 기판의 한변측에 근접하도록 경사시키는 흡착 플레이트 경사기구와, 상기 흡착 플레이트 경사기구에 의하여 경사진 상기 필름의 상기 보호 필름에 상기 필름의 한변 선단부와 직교하도록 배치된 점착 테이프와, 상기 점착 테이프를 상기 필름의 한변 선단부측으로 이동시켜 상기 보호 필름에 점착시킴과 동시에 상기 필름의 한변 선단부측에서 역진시켜 상기 보호 필름을 상기 필름의 한변 선단부측으로부터 박리시키는 점착 테이프 이동기구와, 상기 점착 테이프가 상기 보호 필름을 상기 필름의 한변 선단부측으로부터 박리한 상태에서 상기 선단 흡착 플레이트에 의한 상기 필름의 흡착 유지를 해제하여 상기 필름의 한변 선단부로부터 이탈시키는 선단 흡착 플레이트 해제 이탈수단과, 상기 점착 테이프가 상기 보호 필름을 상기 필름의 한변 선단부측으로부터 박리한 상태에서 상기 흡착 플레이트에 의한 상기 필름의 흡착 유지를 해제하는 흡착 플레이트 해제수단과, 상기 선단 흡착 플레이트가 상기 필름의 한변 선단부로부터 이탈한 상태에서 상기 필름의 한변 선단부를 수평으로 유지한 기판의 상기 필름의 한변 선단부에 대응하는 부분에 맞추고, 맞춘 부분을 압착롤러로 가압하는 가압기구를 구비하고, 상기 점착 테이프 이동기구에 의한 상기 점착 테이프의 이동과 역진으로 상기 필름을 상기 기판 위에 공급함과 동시에 상기 보호 필름을 박리하면서 상기 기판 유지 이동기구에 의하여 상기 기판을 상기 필름의 한변 선단부측을 선두로 하여 수평 이동시킴으로써 상기 보호 필름을 박리하면서 상기 가압기구에 의하여 압착롤로 상기 필름을 상기 기판에 가압하여 접착하는 것에 있다.

이하, 본 발명의 일 실시형태에 대하여 도 1 ∼ 도 9를 참조하여 상세하게 설명한다. 또한 전 도면에서 동일 물건에는 동일한 인용부호를 붙이고 있다.

도 1은, 본 발명을 적용하여 구성한 광학 필름 접착장치의 주요부 개략도이다.

광학 필름 접착장치는 광학 필름(필름)(1)을 표시 패널(기판)(2)의 화상 표시면에 접착하는 장치로서, 크게 구별하여 패널 이동기구(기판 유지 이동기구)와, 흡착 플레이트와 선단 흡착 플레이트 및 흡착 플레이트 경사기구와 선단 흡착 플레이트 해제 이탈수단과 흡착 플레이트 해제수단을 포함하는 광학 필름 흡착 반송기 구와, 점착 테이프 및 점착 테이프 이동기구를 포함하는 점착재 보호 필름 박리기구와, 압착롤과 가압기구를 포함하는 가압롤 기구 등에 의하여 구성되어 있다. 이하, 순서대로 각 부의 구성을 설명한다.

여기서 광학 필름 접착장치는, 표시 패널(2)의 종별이나 구조, 두께는 특별히 한정되는 것이 아니라, 예를 들면 PDP(플라즈마 디스플레이)에서의 화상을 표시하는 PDP 표시 패널이나 표시 패널과 독립된 필터용 단판 유리 기판이나 LCD(액정 디스플레이)의 표시 패널의 제조에 사용할 수 있다.

먼저, 광학 필름(1)에 대하여 설명한다. 광학 필름(1)은 명암 콘트라스트나 색 재현성의 향상, 패널로부터 방출되는 전자파나 근적외선 차단, 주변 영상의 화면에의 비침방지, 패널의 파손방지 등 여러가지 기능을 아울러 가지고 있다.

이와 같은 광학 필름(1)은 도 2에 나타내는 바와 같이 반사방지필름(3), 착색 필름(4), 전자파 차단필름(5)으로 구성되어 있다. 또 전자파 차단 필름(5)면에는 표시 패널(2)에 접착하기 위한 점착재(6)가 도포되어 있고, 또한 점착재(6)를 보호하기 위한 보호 필름(7)이 접착되어 알맞은 강성을 구비하고 있다. 각 층 필름(3∼5)의 두께, 재질, 조합순 등은, 특별히 한정되는 것이 아니다.

이와 같이 구성된 광학 필름(1)은, 표시 패널(2)에 접착할 때에 보호 필름(7)을 박리하여 점착재(6)를 노출시킨다. 그리고 광학 필름(1)과 표시 패널(2)을 정확하게 위치 맞춤하여, 점착재(6)를 표시 패널(2)에 접촉시킴으로써 접착된다.

먼저, 패널 이동기구(기판 유지 이동기구)에 대하여 설명한다.

패널 이동기구는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 직선 가이드 베이스(8), XYZθ 테이블(9), 컨베이어(10)를 구비하여 구성되어 있다. 직선 가이드 베이스(8)는, 광학 필름 접착장치의 베이스가 되는 것으로, 평판형상으로 되어 있다. 직선 가이드 베이스(8)의 위에는 도 1에서 좌우로 연장된 직선 가이드(12)가 설치되고, 그 위에 XYZθ 테이블(9), 컨베이어(10)가 배치되어 있다.

XYZθ테이블(9)의 최하면에 배치되어 있는 지지 플레이트(13)에는 서보모터(14)가 설치되고, 지지 플레이트(13)는 서보 모터축에 설치된 피니언 기어(15)를 회전시킴으로써 랙 기어(도시 생략)를 거쳐 직선 가이드(12) 위를 도 1에서 좌우로 이동할 수 있어, 이동 후의 정지위치를 정확하게 재현할 수 있도록 되어 있다.

지지 플레이트(13)에는 도 1에서 좌우로 연장된 직선 가이드(16)와 플레이트(17)가 설치되고, 지지 플레이트(13)에 설치된 펄스모터(도시 생략)에 의하여 플레이트(17)를 도 1에서 좌우로 미세 조정 이동할 수 있도록 되어 있다. 또 플레이트(17)에는 지지 플레이트(13)의 이동방향으로 직교하는 도 1의 지면에 수직한 방향으로 연장된 직선 가이드(18)와 그 위에 플레이트(19)가 설치되고, 플레이트(17)에 설치된 펄스 모터(도시 생략)에 의하여 플레이트(19)를 지지 플레이트(13)의 이동방향으로 직교하는 도 1의 지면에 수직한 방향으로 미세 조정 이동할 수 있도록 되어 있다.

또한, 플레이트(19)에는 회전 베어링(20)과 플레이트(21)가 설치되고, 플레이트(19)에 설치된 펄스 모터(도시 생략)에 의하여 플레이트(21)를 수평한 상태에서 회전방향으로 미세 조정 이동할 수 있도록 되어 있다.

플레이트(21)에는, 플레이트(22)를 승강 이동시키기 위한 승강기구와 도 1에서 좌우로 연장된 직선 가이드(23)가 설치되어 있다.

승강기구는 플레이트(21)에 설치된 직선 가이드(23), 직선 가이드(23)에 연결하는 플레이트(24), 플레이트(24)에 설치된 승강 가이드(25), 플레이트(22)에 설치되어 승강 가이드(25)를 따르는 캠폴로어(26)와 플레이트(21)에 설치되어 플레이트(24)를 이동시키는 실린더(27)로 구성된다.

실린더(27)에 의하여 플레이트(24)를 이동시키면, 플레이트(24)에 설치된 승강 가이드(25)도 이동한다. 이때 플레이트(22)에 설치된 캠 폴로어(26)가 승강 가이드(25)의 경사에 의하여 도 1에서 상하방향으로 이동하고, 플레이트(22)가 직선 가이드(23)로 가이드된 상태에서 승강 이동할 수 있게 되어 있다.

플레이트(22)에는 표시 패널(2)을 고정 장착하기 위한 패널 고정지그(1)를 도 1의 지면에 수직한 방향으로 반송하는 컨베이어(10)가 설치되어 있다. 컨베이어(10)는 표시 패널(2)을 고정 장착한 패널 반송지그(11)를 반송롤러(28)로 수취하여 소정위치까지 이동한 후, 패널 반송지그(11)를 4 방향에서 고정기구(도시 생략)에 의하여 고정할 수 있게 되어 있다.

패널 반송지그(11)는 상면측에 표시 패널(2)을 장착할 때, 표시 패널(2)의 이면측에 패널 표시용 프린트기판 등이 설치된 상태에서도 장착할 수 있도록, 패널표시용 프린트 기판이 설치되어 있지 않은 위치에 패널 지지부재가 설치되어 있다. 또 패널 반송지그(11)에 설치된 위치 결정 가이드(29)는 원하는 위치에 착탈 가능하게 설치되어 있다.

위치 결정 가이드(29)를 이와 같이 구성함으로써, 여러가지의 형상, 크기의 표시 패널(2)에 대응 가능하게 되어, 본 광학 필름 접착장치의 적용의 자유도가 커진다.

또, 표시 패널(2)을 고정 장착한 패널 반송지그(11)를 반송롤러(28)로 수취하는 도 1의 오른쪽 위치로부터 광학 필름(1)을 접착하는 도 1의 왼쪽의 위치로 표시 패널(2)을 이동시키는 도중에, 패널 표면을 청소하기 위한 패널 클리너(75)를 구비하고 있고, 상기한 승강기구는 표시 패널(2)을 패널 클리너(75)에 접근시키기 위하여 이용하여 표시 패널(2)이 패널 클리너(75)를 통과하였으면 표시 패널(2)을 강하시켜, 원래의 위치로 되돌린다.

패널 클리너(75)는 회전 브러시방식으로, 도 1에서는 브러시의 회전방향은 표시 패널(2)이 오른쪽에서 왼쪽으로 진행되는 것에 대하여 역방향의 반시계 방향으로 되어 있고, 이것에 의하여 표시 패널(2) 표면의 먼지나 마모분을 긁어 모아 패널 클리너(75)에 접속되어 있는 집진기로 흡인 제거할 수 있다.

여기서 사용되는 회전 브러시는 표시 패널(2) 표면에서 마찰되기 때문에, 도전성의 재질을 선택함으로써, 표시 패널(2)이 대전하는 것을 방지할 수 있다. 패널 클리너는 회전 브러시방식에 특별히 한정되는 것이 아니라, 표시 패널(2) 표면의 먼지의 크기, 접착상태를 고려하여 임의의 방식을 선택할 수 있다. 예를 들면 점착롤방식이나 초음파 드라이클리닝방식을 선택할 수 있다.

계속해서 광학 필름 흡착 반송기구에 대하여 설명한다.

광학 필름 흡착 반송기구는, 도 1에 나타내는 바와 같이 상기한 패널 이동기 구의 왼쪽의 상부에 배치되어 있다.

광학 필름 흡착 반송기구는, 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 직선 가이드 베이스(30), 흡착 플레이트 지지부재(32), 흡착 플레이트(33)를 구비하여 구성되어 있다. 직선 가이드 베이스(30)는, 광학 필터 접착장치의 상부 베이스 프레임이 되는 것이다. 직선 가이드 베이스(30)의 밑에는 직선 가이드(31)가 설치되고, 직선 가이드(31)에 매달리는 형으로 흡착 플레이트 지지부재(32)를 거쳐 흡착 플레이트(33)가 배치되어 있다.

직선 가이드(31)는 패널 반송기구의 좌우 이동방향으로 직교하는 도 3의 지면에 수직한 방향으로 연장되도록 2열 설치되고, 이 직선 가이드(31)에 매달리는 형으로 플레이트(35)가 설치되어 있다. 플레이트(35)에는 직선 가이드 베이스(30)에 지지된 볼나사(37)의 볼나사 너트(38)가 설치되어 있다. 이에 의하여 볼나사(37) 에 설치되어 있는 서보모터(도시 생략)의 회전에 의하여 플레이트(35)는 직선 가이드(31)를 따라 도 3의 지면에 수직한 방향으로 이동할 수 있어, 이동 후의 정지위치를 정확하게 재현할 수 있도록 되어 있다.

플레이트(35)에는 직선 가이드(31)에 직교하는 도 3의 좌우방향으로 설치된 직선 가이드(36)를 거쳐 흡착 플레이트 지지부재(32)가 설치되어 있고, 플레이트(35)에 설치된 실린더(39)의 작용에 의하여 직선 가이드(31)에 직교하는 도 3의 좌우방향으로 이동할 수 있게 되어 있다.

흡착 플레이트 지지부재(32)에는 승강 실린더(40, 41)를 자유롭게 회전할 수 있도록 설치하고 있고, 승강 실린더(40, 41)의 축에 흡착 플레이트(33)를 자유롭게 회전할 수 있도록 설치하고 있으며, 승강 실린더(40, 41)는 흡착 플레이트(33)를 도 3(a)와 같이 승강시키거나, 도 3(b)와 같이 경사시킬 수 있는 흡착 플레이트 경사기구를 구성하고 있다.

흡착 플레이트(33)의 한쪽 끝은 광학 필름 흡착 고정용 블로어(도시 생략)에 개폐 밸브를 구비한 흡인배관 등을 거쳐 접속되어 있고, 흡착 플레이트(33)의 내부에는 흡인구조가 설치되어 흡착 플레이트(33)를 하면을 향하여 관통하도록 설치된 흡인구멍을 통하여 광학 필름 테이블(42) 위에 얹어 놓여진 광학 필름(1)을 흡착 유지하여 고정할 수 있도록 되어 있다.

또한 광학 필름 테이블(42)의 설치위치에 대해서는 뒤에서 설명한다. 또 흡착 플레이트(33)의 크기는 특별히 한정되는 것이 아니라, 적합한 크기에 따른 흡인구멍을 존 분할함으로써, 존 선택함으로써 동일 흡착 플레이트로 복수의 광학 필름 크기에 적합할 수 있다.

흡착 플레이트(33)에는 광학 필름(1)의 접착 선단(필름의 한변 선단부)측에 선회축(45)을 거쳐 선단 흡착 플레이트(34)가 설치되어 있다. 선단 흡착 플레이트(34)는 흡착 플레이트(33)와 동일한 흡착 유지 기능을 가지고, 광학 필름 테이블(42)위에 얹어 놓여진 광학 필름(1)을 흡착 유지하는 경우는, 흡착 플레이트(33)와 면일해지는 위치에 위치결정되고, 선단 흡착 플레이트(34)에 의하여 광학 필름(1)의 선단부측을 흡인에 의하여 흡착 유지하고, 흡착 플레이트(33)에 의하여 광학 필름(1)의 선단부 이외의 영역을 흡인에 의하여 흡착 유지한다.

또, 뒤에서 설명하는 바와 같이 흡착 유지된 광학 필름(1)에 접착된 보호 필 름 박리후에, 표시 패널(2)에 광학 필름(1)의 선단을 압착롤(46)(도 1 참조)로 접착할 때, 압착롤(46)의 가압 공간을 확보하기 위하여 도 3(c)에 나타내는 바와 같이 선단 흡착 플레이트(34)는, 광학 필름 흡착 고정용 블로어에 의한 흡착 유지를 흡인 배관의 도중에 설치한 개폐밸브를 폐쇄하는 것 등에 의하여 해제하고, 실린더(도시 생략)에 의하여 선회축(45)을 중심으로 하여 선회 퇴피하여 광학 필름(1)으로부터 이탈할 수 있도록 되어 있고, 선단 흡착 플레이트 해제 이탈수단을 구성하고 있다.

선단 흡착 플레이트(34)의 광학 필름(1) 흡착면에는, 점착 시트(점착부재)(43)가 선단 흡착 플레이트(34)와 면일하게 매립되어 있다. 이것에 의하여 뒤에서 설명하는 광학 필름(1)에 접착된 보호 필름(7)의 선단 박리시에 광학 필름(1)과 점착 시트(43)가 가압되어, 광학 필름(1)이 선단 흡착 플레이트(34)의 흡착면으로부터 박리하는 것, 즉 보호 필름(7)의 박리 실패를 방지할 수 있다.

또한, 선단 흡착 플레이트(34)에는 광학 필름(1)을 흡착 유지한 상태에서 광학 필름(1)에 설치된 위치결정 마크(도시 생략)를 인식하는 CCD 카메라(47)(도 1 참조)용 위치맞춤 마크 인식구멍(44)이 설치되어 있다. 이것에 의하여 흡착 플레이트(33)와 선단흡착 플레이트(34)에 흡착된 상태의 광학 필름(1)의 위치를 인식하여, 상기한 패널 이동기구의 XYZθ 테이블(9)에서 표시 패널(2)을 위치 조정함으로써, 원하는 위치에 광학 필름(1)을 고정밀도로 접착할 수 있다.

흡착 플레이트(33)는 도시 생략한 광학 필름 흡착 고정용 블로어에 의한 광학 필름(1)의 흡착유지를 해제할 수 있는 흡착 플레이트 해제수단을 구비하고 있 다.

다음에 점착재 보호 필름 박리기구에 대하여, 도 4(a)에 따라 광학 필름(1) 에서의 보호 필름(7)의 박리를 행하는 점착 테이프(55)와 그 점착 테이프 이동기구를 설명한다.

점착재 보호 필름 박리기구는, 도 1에 나타낸 패널 이동기구에서의 도 1에서 좌우로 연장된 직선 가이드(12)와 평행한 도 4(a)에서 좌우로 연장된 직선 가이드 베이스(48), 테이프 권출권취부(50), 광학 필름 받이(51)를 구비하여 구성되어 있다. 직선 가이드 베이스(48)는, 점착재 보호 필름 박리기구를 지지하는 베이스 프레임이 되는 것이다.

직선 가이드 베이스(48)의 위에는 도 4(a)에서 좌우로 연장된 직선 가이드(49)가 설치되고, 그 위에 테이프 권출권취부(50)와 광학 필름받이(51)가 배치되어 있다.

직선 가이드 베이스(48)에는 실린더(52)가 설치되고, 실린더(52)에 의하여 테이프 권출권취부(50)가 경사진 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)에 흡착유지된 광학 필름(1)의 근방까지 이동할 수 있도록 되어 있다. 그리고 점착 테이프(55)의 일부는 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)에 흡착 유지된 광학 필름(1)의 경사각과 일치하는 경사각을 가지는 바와 같은 경로를 가지고 있다.

테이프 권출권취부(50)에는 복수의 테이프 권출축(53)이 설치되고, 각 테이프 권출축(53)에 점착 테이프(55)를 설치할 수 있다. 또 테이프 권출축(53) 끝부 에는 테이프 인출시에 늘어짐을 발생하지 않도록 장력을 부여하기 위하여 각 테이프 권출축(53)마다 토오크 모터(56)가 설치되어 있다.

테이프의 감아들임은, 권취축(54)이 설치되어 점착 테이프(55)에 의하여 박리된 보호 필름(7)을 점착 테이프(55)에 접착한 상태에서 감아들인다. 이때의 권취속도와 권취량을 제어하기 위하여 권취축 지름을 계측하는 센서(57)와 서보모터(58)가 설치되어 있다.

점착 테이프(55)는, 직선 가이드(49)의 연신방향과 평행하게 각 테이프 권출축(53)으로부터 풀어내져 광학 필름(1)의 접착 선단(필름의 한변 선단부)방향으로 진행하여 도 4(b)에 나타낸 선단 박리롤(59)에서 경로는 되접어 꺽어 역방향의 방향이 되고, 역진하여 권취축(54)에 감아들여진다.

점착 테이프(55)의 설치개수는 3개이나, 광학 필름(1)이나 표시 패널(2)의 폭치수나 점착 테이프(55)의 보호 필름(7)에 대한 접착력에 맞추어 적당한 개수로 설치하면 좋다.

보호 필름(7)을 적합하게 박리하기 위해서는 광학 필름(1)이나 표시 패널(2)의 폭치수 중앙을 기준으로 하여 그 좌우에 균등한 간격으로 배치하는 것이 바람직하고, 최저 2개는 설치하면 좋다.

광학 필름 받이(51)는 평판형상으로, 점착 테이프(55)로 보호 필름(7)의 선단박리 완료 후, 광학 필름(1)을 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)로부터 수취하여 아래쪽으로부터 지지하고, 광학 필름(1)의 꺽임이나 위치 어긋남을 방지하기 위하여 설치되어 있다. 그 때문에 광학 필름받이(51)는 선단 흡착 플레이 트(34)측이 아니라 흡착 플레이트(33)측에 위치하여 점착 테이프(55)의 일부가 가지는 경사각과 동일한 경사각을 가지게 하고 있다.

도 4(b)에 의하여 광학 필름(1)에 접착된 보호 필름(7)의 박리를 설명한다.

점착 테이프(55)는 각 테이프 권출축(53)으로부터 인출되어 도시하는 바와 같이 소정 위치에 설치된 롤러류를 경유하여 선단 박리롤(59)에서 역진하여, 권취축(54)에 감겨져 있다.

이 상태에서 테이프 권출권취부(50)를 광학 필름(1)의 근방까지 이동시키면, 선단 박리롤(59)은 광학 필름(1)의 선단[도 4(b)에 점선으로 나타낸 경사진 광학 필름(1)의 하단부]과 일치하는 위치에 배치되어 있다.

선단 박리롤(59)은, 가이드(60)를 거쳐 지지부재(61)에 지지되어 있다. 지지부재(61)에는 실린더(62)가 설치되어 있고, 선단 박리롤(59)은 실린더(62)의 동작에 의하여 화살표 a방향으로 이동하여 점착 테이프(55)를 보호 필름(7)의 선단위치에 가압하고, 또한 접착시킬 수 있다.

또, 지지부재(61)는 광학 필름(1)의 경사에 맞추어 설치된 직선 가이드(63)에 지지되고, 볼나사(65)의 볼나사 너트(64)가 설치되어 있다. 이것에 의하여 볼나사(65)에 설치되어 있는 펄스 모터(66)의 회전에 의하여 광학 필름(1)의 경사에 따라 이동할 수 있어, 이동속도와 이동거리를 정확하게 제어할 수 있도록 되어 있다.

이에 의하여 선단 박리롤(59)을 가압한 상태에서 화살표 b 방향으로 이동시 키면 선단 박리롤(59)이 회전하면서 상승한다. 이때 각 점착테이프(55)는 권취축(54)의 권취력에 의하여 화살표 c 방향으로 이동하기 때문에, 각 점착 테이프(55)에 접착된 보호 필름(7)에도 권취력이 작용하여 보호 필름(7)은 선단으로부터 순서대로 박리한다.

또한 가압롤기구에 대하여 설명한다.

가압롤기구는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 압착롤(46)과 레버(69)와 실린더(68)로 구성되어 있다. 가압롤기구는, 도 1에서 좌우의 수평방향으로의 이동을 가능하게 하기 위하여 베이스 프레임(72)의 위에 설치된 직선 가이드(71)와 지주(67)와 실린더(70)가 설치되어 있다. 광학 필름(1)과 표시 패널(2)의 접착은, 실린더(70)의 동작에 의하여 이동후, 실린더(68)의 동작을 레버(69)를 거쳐 압착롤(46)이 하향으로 변환함으로써 행하여진다.

압착롤(46)은 회전 구동기구를 가지지 않고, 광학 필름(1)과 표시 패널(2)을 끼워 넣은 후에 패널 이동기구가 이동함으로써 압착롤(46)이 따라 회전하는 구조로 되어 있다.

압착롤(46)의 크기는 한정되는 것이 아니라, 표시 패널(2)의 강도나 광학 필름(1)의 필요 가압력을 고려하여 설정할 수 있다.

표시 패널(2)의 폭이 넓은 경우나 높은 가압력이 필요한 경우, 압착롤(46)이길어져 중앙부의 늘어짐이 커져 폭방향에서 균등한 가압력을 유지할 수 없게 된다. 따라서 이 늘어짐을 억제하기 위하여, 중앙부의 직경을 약간 크게 한 크라운형상의 롤을 백업롤로서 조합하여 가압롤기구를 구성할 수도 있다.

압착롤(46)의 표면에 탄성 고무를 설치하고 있으나, 그 재질은 특별히 한정되는 것은 아니고, 광학 필름(1)에 의하여 적절하게 선택할 수 있다. PET 필름과 이형성이 좋은 실리콘이나 도전성 고무가 적합하다. 또 고무경도는 표시 패널(2)의 휘어짐을 흡수하기 위해서도 유연한 경도가 바람직하다.

가압롤기구의 상부에는 CCD 카메라기구를 설치하고 있다. CCD 카메라기구는 도시 생략한 장치 프레임에 지지되고, CCD 카메라(47), 수평 이동기구(73), 상하 이동기구(74)에 의하여 구성되어 있다.

CCD 카메라(47)는 2대 설치하여 수평 이동기구(73), 상하 이동기구(74)에 의하여 동일 카메라로 표시 패널(2)과 광학 필름(1)에 적용할 수 있도록 되어 있다.

표시 패널(2)은 XYZθ 테이블(9)에 의하여 도 1의 왼쪽에 실선으로 나타내는 위치에 정지 고정후, 수평 이동기구(73), 상하 이동기구(74)에 의하여 CCD 카메라(47)로 표시 패널(2)에 설치된 위치결정 마크 위치를 인식하여 표시 패널(2)의 XY 각 방향에서의 위치 어긋남이나 기울기(수평면에서의 회전 어긋남)를 계측한다.

또, 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)에 흡착 유지되고, 수평상태에서 광학 필름 접착위치에 정지 고정된 광학 필름(1)도 선단 흡착 플레이트(34)에 설치된 위치맞춤 마크 인식구멍(44)을 거쳐 광학 필름(1)의 위치결정 마크를 인식하여 위치나 경사를 계측한다.

계측된 위치 데이터는 장치 컨트롤러로 처리되고, 패널 이동기구에 설치된 XYZθ 테이블(9)에 의하여 표시 패널(2)을 위치 조정함으로써, 광학 필름(1)과 표시 패널(2)의 위치 맞춤을 행하여 표시 패널(2)의 원하는 위치에 광학 필름(1)을 고정밀도로 접착한다.

다음에 광학 필름(1)을 표시 패널(2)에 접착하는 상기 구성의 광학 필름 접착장치의 동작에 대하여 설명한다.

도 5는 광학 필름 접착장치의 전체의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.

도 5에서 A는 광학 필름 공급부, B는 접착부, C는 표시 패널 공급부, D는 표시 패널 반송부, E는 표시 패널 클리닝부, F는 가압 롤기구 대기부, G는 점착재 보호 필름 박리기구 대기부, H는 표시 패널 회수부이다.

광학 필름(1)을 표시 패널(2)에 접착하기 위하여 광학 필름 공급부(A)에서 광학 필름(1)을 광학 필름 테이블(42)에 얹고, 도시 생략한 위치맞춤 가이드를 사용하여 정확하게 위치맞춤을 행한다.

다음에 표시 패널(2)을 미리 패널 고정지그(11)에 장착하고, 반송 대차(77)를 이용하여 패널 투입위치에 세트한다. 반송 대차(77)의 패널 고정지그(1) 받이면은 프리 롤러구조로 되어 있다. 이상에 의하여 광학 필름(1)접착을 위한 운전준비가 완료한 것이 된다.

다음에 자동운전 기동버턴을 조작함으로써 접착동작이 개시된다. 도 3에 나타내는 광학 필름 흡착 반송기구의 흡착 플레이트 지지부재(32)는, 광학 필름 공급부 (A)에 위치하고 있고, 광학 필름 테이블(42)이 상승하여 도 3(a)에 나타내는 바와 같이 승강 실린더(40, 41)로 강하한 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이 트(34)에 광학 필름(1)을 가압하여 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)로 흡착 유지한후, 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)는 상승하여 도 5에 점선으로 나타내는 바와 같이 흡착 플레이트 지지부재(32)에 의하여 접착부(B)로 이동하여 대기한다.

한편, XYZθ테이블(9)은 표시 패널 반송부(D)에 위치하고 있고, 표시 패널 공급부(C)에서는 반송 대차(77) 위의 표시 패널(2)을 장착한 패널 고정지그(11)를 표시 패널 반송부(D)에 압출한다. 패널 고정지그(11)는 XYZθ테이블(9) 위의 컨베이어(10)에서의 반송롤러(28)에 의하여 인입되어 위치맞춤 후에 고정된다.

다음에 XYZθ 테이블(9) 위의 표시 패널(2)은 표시 패널 클리닝부(E)로 반송되어, XYZθ 테이블(9) 위의 승강 가이드(25)와 캠 폴로어(26)로 표시 패널(2)을 약간 상승시켜 패널 클리너(75)에 의하여 표시 패널(2)의 표면을 청소한 후, 승강 가이드(25)와 캠 폴로어(26)로 표시 패널(2)을 원래의 높이로 되돌린다. 그후, XYZθ테이블(9)은 가압롤기구 대기부(F)의 밑을 통과하여 접착부(B)에 위치 결정된다.

그리고 접착부(B)에서는 점착재 보호 필름 박리기구와 가압롤기구에 의하여 뒤에서 설명하는 바와 같이 광학 필름(1)의 보호 필름(7)의 선단 박리를 행하여, 광학 필름받이(51)와 점착 테이프(55)는 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)로부터 광학 필름(1)을 수취하여 아래쪽으로부터 지지하고, 압착롤(46)로 광학 필름(1)을 가압하여 표시 패널(2)을 XYZθ 테이블(9)에서 도 5의 오른쪽으로 이동시킴으로써 광학 필름(1)을 인출하면서 표시 패널(2)에 접착을 완료한다.

광학 필름받이(51)와 점착 테이프(55)에 광학 필름(1)을 주고 받은 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)는, 광학 필름 흡착 반송기구의 흡착 플레이트 지지부재(32)에 의하여 광학 필름 공급부(A)로 되돌아간다.

광학 필름(1)을 접착한 표시 패널(2)은 XYZθ 테이블(9)에 의하여 표시 패널반송부(D)로 되돌아가서 패널 고정지그(11)의 고정을 해제하여 컨베이어(10)에 의하여 표시 패널 회수부(H)에 보내지고, 반송 대차(77)에서 수취를 행하여 일련의 접착 운전동작을 완료한다.

이상의 일련의 운전동작에서 설명한 광학 필름(1)의 광학 필름 테이블에의 공급방법이나 표시 패널(2)을 공급하는 반송 대차(77)를 사용하는 방법은 특별히 한정되는 것은 아니고, 자동공급기를 사용하는 것도 가능하다.

다음에 점착재 보호 필름 박리기구와 가압롤기구에 의한 광학 필름(1)의 표시 패널(2)에의 접착을 설명한다.

도 6에 나타내는 바와 같이 접착부(B)에서 표시 패널(2)은 XYZθ 테이블(9)에 의하여 광학 필름(1)을 접착하는 위치에 위치결정 완료하고, 광학 필름(1)은 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)에 표시 패널(2)위에 수평으로 흡착 유지되고, 테이프 권출권취부(50)는 대기위치상태에서 광학 필름(1)의 접착동작을 개시한다.

먼저, 광학 필름(1)은 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)에 흡착 유지되어 수평상태를 유지한 상태에서, 선단 흡착 플레이트(34)에 설치된 위치맞춤 인식마크 구멍(44)의 상부로부터 CCD 카메라(47)로 광학 필름(1)에서의 위치맞춤 마크의 위치를 계측한다. 다음에 CCD 카메라(47)를 이동시켜 표시 패널(2)에서의 위치맞춤 마크의 위치를 계측한다.

그후 CCD 카메라(47)는 도 1에 나타내는 원래의 위치(도 6에서는 점선으로 나타내는 위치)로 되돌려지고, 계측된 각각의 위치 데이터는 도시 생략한 장치 컨트롤러로 처리되어 XYZθ 테이블(9)에 의하여 표시 패널(2)을 위치 조정한다.

다음에 도 7에 나타내는 바와 같이 흡착 플레이트(33)는 승강 실린더(40, 41)의 동작에 의하여 광학 필름(1)의 접착 선단측을 밑으로 경사시킨다. 이때 흡착 플레이트(33)의 경사각도는 적당한 각도로 하나, 경사각도가 큰 경우는 광학 필름(1)을 표시 패널(2)에 압착롤(46)로 가압할 때에 광학 필름(1)이 돌출시키는 선단길이를 크게 할 필요가 있다. 또, 경사각도가 작은 경우에는 광학 필름(1)에 접착되어 있는 보호 필름(7)의 선단 박리를 행하는 선단 박리롤(59) 등의 부품을 설치하는 공간이 없어진다.

다음에 실린더(52)에 의하여 테이프 권출권취부(50)를 광학 필름(1) 근방으로 이동시킨다. 이때 테이프 권출권취부(50)에 설치된 점착 테이프(55)와 광학 필름(1)에 접착된 보호 필름(7)은 접촉하지 않도록 약간 간극을 유지하도록 위치 결정시킨다. 이것은 선단 박리롤(59)로 보호 필름(7)에 점착 테이프(55)를 가압하기 전에 접촉한 경우, 보호 필름(7)을 균일하게 박리할 수 없게 되기 때문이다.

다음에 도 8(a)에 나타내는 바와 같이 광학 필름(1)에 접착된 보호 필름(7)의 선단위치에 실린더(62)에 의하여 선단 박리롤(59)로 점착 테이프(55)를 화살표 a 방향으로 가압하여 보호 필름(7)의 선단부에 점착 테이프(55)가 접착된다. 또 선단 박리롤(59)에 의하여 광학 필름(1)과 점착 시트(43)가 가압되어 양자는 접착된다.

이 상태에서 도 8(b)에 나타내는 바와 같이 펄스모터(66)로 선단 박리롤(59)을 보호 필름(7)의 경사를 따라 화살표 b 방향으로 이동[흡착 플레이트(33)측으로 이동)시키면 선단 박리롤(59)은 회전하면서 이동한다.

그 때문에 점착 테이프(55)는 권취축(54)의 권취력에 의하여 화살표 c 방향으로 이동하여 선단 박리롤(59)에서 뒤접어 꺽어 역진하는 형이 되기 때문에, 점착 테이프(55)에 접착된 보호 필름(7)에도 권취력이 작용하여 보호 필름(7)은 선단으로부터 순서대로 이동량분만큼 박리된다.

이때 광학 필름(1)의 선단부는 선단 박리롤(59)에 의하여 점착 시트(43)에 가압되기 때문에, 광학 필름(1)의 선단부가 선단 흡착 플레이트(34)의 면으로부터 박리되는 일은 없고, 보호 필름(7)의 선단 박리 실패는 생기지 않는다.

다음에 흡인 배관의 도중에 설치한 개폐 밸브를 폐쇄하는 등에 의하여 선단 흡착 플레이트(34)의 흡인에 의한 광학 필름(1)의 선단부에 대한 흡착을 개방하여 도 8(c)에 나타내는 바와 같이 흡착 플레이트(33)와 면일하게 위치 결정된 선단 흡착 플레이트(34)를 선회축(45)을 중심으로 선회 퇴피시켜, 광학 필름(1)의 선단을 표시 패널(2)에 접착하기 위한 압착롤(46)의 가압공간을 확보한다.

압착롤(46)로 광학 필름(1)의 선단을 표시 패널(2)에 접착할 때, 선단 흡착 플레이트(34)만 퇴피 이탈시킴으로써, 광학 필름(1)을 CCD 카메라(47)로 위치 인식한 상태를 유지할 수 있다. 또 흡착 플레이트(33)에 의한 광학 필름 흡착 유지와 광학 필름(1)의 강성에 의하여 화살표 c 방향의 테이프 권취력에 의하여 광학 필름(1)이 하향으로 꺽이는 일은 없고, 선단 흡착 플레이트(34)의 선회 퇴피에 따라 상향으로 꺽이는 일도 없다.

다음에 도 9(a)에 나타내는 바와 같이 광학 필름(1)은, 흡착 플레이트(33)에 흡착 유지되어 선단부의 보호 필름(7)을 박리한 상태에서 선단부가 압착롤(46)에 의하여 표시 패널(2)에 접착된다.

이때 압착롤(46)은 도 5에 나타내는 가압롤기구 대기부(F)의 위치로부터 실린더(70)(도 1참조)의 동작에 의하여 접착부(B)의 방향으로 이동하여 광학 필름(1)의 선단위치를 표시 패널(2)의 선단부에 가압함으로써 기포의 발생을 방지할 수 있다.

압착롤(46)로 광학 필름(1)의 선단을 표시 패널(2)의 선단부에 접착한 후, 흡착 플레이트(33)는 흡인 배관의 도중에 설치한 개폐 밸브가 폐쇄되는 것 등에 의하여 광학 필름(1)의 흡착유지를 개방하여 승강 실린더(40, 41)으로 흡착 플레이트(33)와 선단 흡착 플레이트(34)를 수평으로 되돌려 상승시키고 나서 광학 필름 공급부(A)의 광학 필터 테이블(42)로 이동하여 다음의 접착동작에 대비한다.

흡착 플레이트(33)로부터 개방된 광학 필름(1)은, 광학 필름받이(51)와 점착테이프(55)에 의하여 하면측에서 지지되어 있고, 흡착 플레이트(33)로 광학 필름(1)을 흡착 유지한 상태에서 접착동작을 행한 경우에 광학 필름(1)과 흡착 플레이트(33)가 마찰되어 광학 필름(1)의 표면에 찰상이나 마모분이 발생하는 바와 같은 일은 없다.

다음에 도 9(b)에 나타내는 바와 같이 광학 필름(1)의 선단을 접착한 표시 패널(2)은, 압착롤(46)로 가압된 상태 그대로 XYZθ 테이블(9)에 의하여 화살표 e 방향 으로 이동하고, 광학 필름(1)도 동일한 방향으로 인출되어, 압착롤(46)도 따라 회전한다. 또 점착 테이프(55)에 접착된 보호 필름(7)도 마찬가지로 인출되고, 보호 필름(7)은 점착 테이프(55)에 접착된 채로 광학 필름(1)으로부터 박리되어 가서 점착 테이프(55)와 함께 권취축(54)에 감긴다.

이때 선단 박리롤(59)은 보호 필름(7)의 선단부 박리시에 흡착 플레이트(33)의 경사에 따라 흡착 플레이트(33)측으로 이동하여 표시 패널(2)의 상면으로부터 약간 떨어진 위치에 있기 때문에, 점착 테이프(55)가 박리된 보호 필름(7)을 접착한 채로 권취축(54)에 감겨져도 표시 패널(2)에 아무런 영향도 주지 않는다.

즉, 광학 필름(1)은 선단 박리롤(59)로 만들어지는 각도에 의하여 압착롤(46)로 가압되기까지는 표시 패널(2)과의 접촉이 없고, 따라서 광학 필름(1)과 표시 패널(2) 사이의 공기를 뽑으면서 기포의 혼입이 없어 깨끗한 상태에서 접착할 수 있다.

또한 광학 필름(1)이 선단 박리롤(59)로부터 벗어난 위치까지 진행하고, 광학 필름(1)의 후단부가 표시 패널(2)의 표면으로 낙하하여 기포의 혼입이 발생할 염려가 경우에는 압착롤(46)측으로부터 광학 필름(1)의 상면을 흡착하는 플레이트를 설치함으로써, 후단부의 낙하를 방지하여 선단에서 후단까지 기초의 혼입이 없는 깨끗한 접착을 행하도록 하는 것이 가능하다.

이상에 의하여 광학 필름(1)을 표시 패널(2)에 선단에서 후단까지 기포나 마 모분의 혼입이 없고 표면에 찰상 등이 없는 고품질의 접착 완성품을 얻을 수 있다. 또 광학 필름(1)과 표시 패널(2)의 접착전 위치를 인식, 보정 이동할 수 있기 때문에 고정밀도의 접착을 실현할 수 있다.

본 발명에 의하며, 필름을 기판에 접착하는 경우, 필름의 유지를 흡착 플레이트로부터 점착 테이프로 이동하여 점착 테이프가 기판에 필름을 반송하기 때문에, 필름이 흡착 유지부재면에서 마찰되어 마모분이 낙하하고, 마모분의 주위에 기포가 발생하지 않아 필름을 기판에 수율좋게 접착할 수 있을 뿐만 아니라, 흡착 플레이트에서의 흡착 유지력의 미묘하고도 복잡한 컨트롤을 필요로 하지 않아 간편하고 확실하게 필름을 기판에 접착할 수 있다.

Claims

기판과 상기 기판에 알맞은 크기로 한 시트형상의 필름을, 상기 필름의 점착면에 설치한 보호 필름을 박리하여 상기 기판에 접착하는 필름 접착방법에 있어서,

수평으로 유지한 기판의 위쪽에서, 상기 필름의 한변 선단부에 대응하는 선단 흡착 플레이트와 상기 한변 선단부 이외의 상기 필름의 영역에 대응하는 흡착 플레이트로 상기 필름을 그 상기 보호 필름과는 반대면측에서 흡착 유지하고, 상기 흡착 플레이트와 상기 선단 흡착 플레이트에 유지된 상기 필름의 상기 보호 필름에 상기 필름의 한변 선단부와 직교하도록 배치한 점착 테이프를 접착하고, 상기 점착 테이프를 상기 필름의 한변 선단부에서 역진하도록 이동시켜 상기 필름의 한변 선단부측에서의 상기 보호 필름의 선단부를 박리시키고, 상기 선단 흡착 플레이트의 상기 필름의 한변 선단부에 대한 흡착 유지를 해제하여 상기 선단 흡착 플레이트를 상기 필름의 한변 선단부로부터 이탈시켜, 수평으로 유지한 기판의 상기 필름의 한변 선단부에 대응하는 부분에 상기 보호 필름의 선단부를 박리한 상기 필름의 한변 선단부를 맞추어서 이 부분을 압착롤러로 가압하고, 상기 흡착 플레이트에 의한 상기 필름의 흡착 유지를 해제하여, 상기 기판을 상기 필름의 한변 선단부측을 선두로 하여 수평 이동시키면서 상기 점착 테이프의 이동과 역진으로 상기 보호 필름을 박리함과 동시에, 상기 필름을 상기 기판 위에 공급하고 상기 압착롤러로 가압하여 상기 기판에 상기 필름을 접착하는 것을 특징으로 하는 필름 접착방법.
제 1항에 있어서,

수평으로 유지한 기판의 위쪽에서, 상기 흡착 플레이트와 상기 선단 흡착 플레이트에 의하여 상기 필름을 그 한변 선단부측이 상기 기판의 선단부측에 근접하는 형으로 경사진 상태에서 흡착 유지하고, 상기 점착 테이프를 상기 보호 필름 선단위치에 선단 박리롤로 가압하여 상기 선단 박리롤을 가압한 상태에서 경사를 따라 상기 기판으로부터 떨어지는 방향으로 이동시킴으로써 상기 점착 테이프가 감아 들여져 상기 보호 필름의 선단을 박리하는 것을 특징으로 하는 필름 접착방법.
제 2항에 있어서,

상기 선단 흡착 플레이트의 선단 박리롤 가압위치에는 점착 시트가 매립되어 있고, 상기 보호 필름에 대한 상기 선단 흡착 플레이트의 흡인에 의한 흡착과 점착 시트의 접착에 의하여 상기 보호 필름 선단 박리시에 상기 필름이 들뜨지 않도록 하고 있는 것을 특징으로 하는 필름 접착방법.
기판과 상기 기판에 알맞은 크기로 한 시트형상의 필름을, 상기 필름의 점착면에 설치한 보호 필름을 박리하여 상기 기판에 접착하는 필름 접착장치에 있어서,

기판을 수평으로 유지하여 상기 기판의 한변측을 선두로 하여 이동시키는 기판 유지 이동기구와, 상기 기판 유지 이동기구의 위쪽에서 상기 필름을 상기 보호 필름과는 반대면측에서 상기 기판의 한변측에 대응하는 상기 필름의 한변 선단부와 상기 한변 선단부 이외의 상기 필름의 영역을 각각 흡착 유지하는 선단 흡착 플레이트와 흡착 플레이트와, 상기 선단 흡착 플레이트와 상기 흡착 플레이트를 상기 선단 흡착 플레이트가 상기 기판의 한변측에 근접하도록 경사시키는 흡착 플레이트 경사기구와, 상기 흡착 플레이트 경사기구에 의하여 경사진 상기 필름의 상기 보호 필름에 상기 필름의 한변 선단부와 직교하도록 배치된 점착 테이프와, 상기 점착 테이프를 상기 필름의 한변 선단부측으로 이동시켜 상기 보호 필름에 점착시킴과 동시에 상기 필름의 한변 선단부측에서 역진시켜 상기 보호 필름을 상기 필름의 한변 선단부측으로부터 박리시키는 점착 테이프 이동기구와, 상기 점착 테이프가 상기 보호 필름을 상기 필름의 한변 선단부측으로부터 박리된 상태에서 상기 선단 흡착 플레이트에 의한 상기 필름의 흡착 유지를 해제하여 상기 필름의 한변 선단부로부터 이탈시키는 선단 흡착 플레이트 해제 이탈수단과, 상기 점착 테이프가 상기 보호 필름을 상기 필름의 한변 선단부측으로부터 박리한 상태에서 상기 흡착 플레이트에 의한 상기 필름의 흡착 유지를 해제하는 흡착 플레이트 해제수단과, 상기 선단 흡착 플레이트가 상기 필름의 한변 선단부로부터 이탈한 상태에서 상기 필름의 한변 선단부를 수평으로 유지한 기판의 상기 필름의 한변 선단부에 대응하는 부분에 맞추고, 맞춘 부분을 압착롤러로 가압하는 가압기구를 구비하고, 상기 기판을 상기 필름의 한변 선단부측을 선두로 하여 수평 이동시키면서 상기 점착 테이프 이동기구에 의한 상기 점착 테이프의 이동과 역진으로 상기 보호 필름을 박리하면서 상기 필름을 상기 기판 위에 공급하여 상기 가압기구의 압착롤러로 상기 필름을 상기 기판에 가압하여 접착하는 것을 특징으로 하는 필름 접착장치.
제 4항에 있어서,

상기 선단 흡착 플레이트는 상기 필름의 한변 선단부를 접착하는 점착부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 필름 접착장치.
제 5항에 있어서,

상기 선단 흡착 플레이트는 상기 필름의 한변 선단부에 설치된 위치맞춤 마크를 카메라로 판독하기 위한 위치맞춤 마크 인식 구멍을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 필름 접착장치.
제 5항에 있어서,

상기 흡착 플레이트와 상기 선단 흡착 플레이트는 상기 필름을 흡인에 의하여 흡착하는 흡착구멍을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 필름 접착장치.
제 5항에 있어서,

상기 점착 테이프 이동기구는 상기 흡착 플레이트 경사기구에 의하여 경사진 상기 필름의 상기 보호 필름에 점착 테이프를 접착하고, 상기 점착 테이프를 상기 경사에 따른 상기 흡착 플레이트측으로의 이동으로 상기 보호 필름의 선단부를 박리시키는 선단 박리롤을 상기 필름의 한변 선단부측에 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 필름 접착장치.