CN102649337B - 一种膜片贴附方法和膜片贴附装置 - Google Patents
一种膜片贴附方法和膜片贴附装置 Download PDFInfo
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Abstract
本发明提供一种膜片贴附方法,包括以下步骤:A.将膜片平整展开,然后将膜片输送至与基板相对的位置;B.将膜片与基板进行对位;C.采用面接触方式将膜片贴附在基板上。相应地,提供一种膜片贴附装置。本发明膜片贴附方法和膜片贴附装置能够使采用柔性材料制成的膜片与基板之间实现高精度的贴附,且贴附过程中不易产生气泡。
Description
技术领域
本发明涉及一种膜片贴附方法和膜片贴附装置。
背景技术
膜片贴附装置的作用是将膜片等柔性材料贴附至相应的基板(panel)上,例如应用在三维偏光式(Pattern Retarder)技术中的三维(3D)偏光片贴附装置。
目前,偏光片贴附装置大多采用线贴附方式,其贴附过程具体如下:将需要进行偏光片贴附的基板置于水平台面上,待贴附的偏光片被吸附在吸附台面上,然后旋转吸附台面,使其与水平台面成一定的倾斜角度,同时使吸附台面上被吸附的偏光片的边缘与水平台面上的基板的边缘进行线接触,此时固定吸附台面,使水平台面沿与所述基板边缘的偏光片的延展方向水平移动,从而使偏光片逐步贴附到基板上。由于偏光片是一种柔性材料制成的膜片,其本身具有一定的翘曲(curl)值,采用上述这种线贴附方式的偏光片贴附装置很难实现偏光片与基板之间的高精度贴附,而且在贴附过程中容易产生气泡。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述问题,提供一种膜片贴附方法和膜片贴附装置,该贴附方法可以使采用柔性材料制成的膜片与基板之间实现高精度的贴附,且贴附过程中不易产生气泡。
解决本发明技术问题所采用的技术方案是该膜片贴附方法,包括以下步骤:
A.将膜片平整展开,然后将膜片输送至与基板相对的位置;
B.将膜片与基板进行对位;
C.采用面接触方式将膜片贴附在基板上。
要实现膜片与基板之间高精度的对位,必须解决将膜片平整展开的问题。因而,优选的是,在步骤A中,先将膜片吸附在膜片吸附台面上,并使膜片在该膜片吸附台面上平整展开,然后将所述膜片吸附台面输送至与基板相对的位置。其中,膜片通过以下步骤吸附在所述膜片吸附台面上:
A1.设置一支撑台面,将膜片放置在所述支撑台面上,并使膜片的一端超出支撑台面一侧的边沿;
A2.使膜片吸附台面移动至与所述支撑台面相对的位置;
A3.控制所述支撑台面倾斜,直至膜片超出所述支撑台面边沿的一端接近所述膜片吸附台面;
A4.使膜片超出支撑台面的一端与所述膜片吸附台面线接触,并使得膜片的该端吸附在所述膜片吸附台面上;
A5.控制所述膜片吸附台面沿其板面方向移动,以使得膜片沿着其在支撑台面上的延展方向逐步与所述膜片吸附台面线接触,直至达到膜片的另一端,此时整个膜片全部贴附在所述膜片吸附台面上。
进一步优选的是,所述膜片未与膜片吸附台面接触的一面上覆盖有保护膜,在步骤A4中,当膜片逐步在所述膜片吸附台面上平整展开的同时,控制将覆盖在膜片上的保护膜逐步剥离。
优选的是,膜片和基板上分别设置有膜片标记和基板标记,在步骤B中,所述膜片与基板采用CCD对位法进行对位,具体包括以下步骤:
B1.分别检测膜片上的膜片标记和基板上的基板标记的位置;
B2.判断膜片标记是否与基板标记重合;
B3.根据判断结果来控制膜片和/或基板的移动:如果膜片标记与基板标记重合,控制膜片和基板均不移动;如果膜片标记与基板标记不重合,控制膜片和/或基板移动以调整两者之间的相对位置,在膜片和/或基板移动的过程中,重复步骤B1和步骤B2,直至膜片标记与基板标记重合,控制膜片和/或基板停止移动。
当然,膜片与基板之间的对位也可以采用其他的对位方法。
优选的是,在步骤C中,使膜片与基板在真空环境下进行面贴附。
一种膜片贴附装置,包括膜片吸附台面、基板吸附台面、运动单元以及控制单元,其中:
膜片吸附台面,用于吸附膜片;
基板吸附台面,用于吸附基板;
运动单元,用于驱使膜片吸附台面和/或基板吸附台面运动;
控制单元,用于控制运动单元的运动,并且在运动单元驱使膜片吸附台面和/或基板吸附台面运动至两者处于相对的位置后,控制运动单元驱使膜片吸附台面和/或基板吸附台面在两者之间作相对运动,以使膜片吸附台面和基板吸附台面接触,从而使膜片通过面接触方式贴附在基板上。
优选的是,该膜片贴附装置中还包括有对位单元,所述对位单元用于使膜片吸附台面上的膜片和基板吸附台面上的基板对准,并在两者对准之后将对准信号传送给控制单元,控制单元根据此信号指令运动单元驱使膜片吸附台面和基板吸附台面进行面接触,以使膜片贴附在基板上。
进一步优选的是,膜片和基板上分别设置有膜片标记和基板标记,所述对位单元包括图像传感器标记捕捉单元、判断单元和位置调整单元,其中:
图像传感器标记捕捉单元,用于捕捉膜片上的膜片标记和基板上的基板标记,并将所捕捉到的信号传送给判断单元;
位置调整单元,用于调整膜片吸附台面和/或基板吸附台面的位置;
判断单元,用于接收图像传感器标记捕捉单元传送的信号,并根据此信号判断膜片标记和基板标记是否对准,再根据判断结果来指令位置调整单元和图像传感器标记捕捉单元是否启动:如果判断膜片标记和基板标记对准,指令图像传感器标记捕捉单元和位置调整单元均不启动;如果判断膜片标记和基板标记没有对准,指令位置调整单元和图像传感器标记捕捉单元启动,由位置调整单元调整膜片吸附台面和/或基板吸附台面的位置,并同时启动图像传感器标记捕捉单元捕捉调整位置后的膜片标记和基板标记,直至判断单元判断膜片标记和基板标记对准。
优选的是,所述基板标记为镂空式标记,其位于基板中的黑矩阵位置上。
优选的是,所述膜片标记与基板标记数量相等。进一步优选所述膜片标记为4个,所述基板标记为4个。
优选的是,所述图像传感器标记捕捉单元可包括反射光右侧照相单元(camera)和反射光左侧照相单元(camera),反射光右侧照相单元包括上、下两个照相机,反射光左侧照相单元也包括上、下两个照相机。
其中,反射光右侧照相单元的上照相机与反射光左侧照相单元的上照相机用于捕捉位于膜片上的膜片标记,反射光右侧照相单元的下照相机与反射光左侧照相单元的下照相机用于捕捉位于基板上的基板标记。
优选的是,所述位置调整单元可包括有X方向调整马达、Y方向调整马达和θ方向调整马达,分别用于调整基板吸附台面与吸附于其上的基板按一定方向移动或按一定角度倾斜。
优选的是,所述膜片贴附装置还包括有膜片平整展开单元,所述膜片平整展开单元用于使膜片平整展开地贴附在所述膜片吸附台面上,所述膜片平整展开单元包括延展压入滚筒(roller)和支撑台面(settable),膜片放置在所述支撑台面上,且膜片的一端超出支撑台面一侧的边沿;所述延展压入滚筒位于支撑台面被膜片超出的一侧,当运动单元驱动膜片吸附台面移动至与支撑台面相对的位置后,延展压入滚筒向膜片的方向移动,同时支撑台面倾斜直至延展压入滚筒压向膜片超出支撑台面的一端并使之与膜片吸附台面线接触,此时膜片吸附台面沿其板面方向移动,直至与膜片的另一端进行线接触,从而使整个膜片全部贴附在膜片吸附台面上。由于膜片是一种柔性材料,其本身具有一定的翘曲(curl)值,通过增加膜片平整展开单元,在将膜片与基板进行对位前可以先解决柔性膜片平整展开的问题,以利于将膜片与基板之间的高精度贴附。
进一步优选的是,所述膜片未与膜片吸附台面接触的一面上覆盖有保护膜,所述膜片贴附装置中还包括有膜片供给机构和膜片保护膜剥离单元,所述膜片供给机构用于将膜片放置在所述支撑台面上,所述膜片保护膜剥离单元用于将覆盖在膜片的保护膜剥离。
更优选的是,所述膜片贴附装置还包括有真空单元,所述真空单元包括真空室(chamber)和真空泵,所述真空泵用于将真空室内的空气抽离,在膜片和基板进行贴附时,膜片吸附台面和基板吸附台面处于所述真空室内,所述真空室为膜片与基板的贴附过程提供一个真空环境。
优选的是,所述膜片吸附台面为一张平整的粘着板(sheet),所述粘着板具有一定的平整度和粘着力,所述粘着板能够重复使用。
优选的是,所述基板吸附台面的表面还均匀分布有若干粘着垫(pad),所述粘着垫具有一定的粘性,用于吸附基板,能够重复使用。
优选的是,所述基板采用刚性材料制成。进一步优选的是,所述基板采用玻璃基板(glass)。
本发明膜片贴附装置采用面贴附方式将膜片贴附在基板上,在贴附过程中不易产生气泡,实现了膜片与基板之间的高精度贴附。在贴附前,通过对位单元先将膜片与基板进行高精度对位,可以提高膜片与基板之间的对位精度;在进行面贴附时,通过使膜片与基板位于真空单元内,可进一步避免膜片与基板在贴附过程中易产生气泡的问题。
本发明膜片贴附方法和膜片贴附装置可以实现膜片与基板之间的高精度贴附,其贴附精度可达到±10μm。
附图说明
图1为本发明实施例1中膜片贴附装置的结构示意图;
图2为本发明实施例1中膜片贴附装置中膜片吸附单元的结构示意图,其中,图2a为膜片吸附单元的主视图,图2b为膜片吸附单元的仰视图;
图3为本发明实施例1膜片贴附装置中基板吸附单元结构示意图,其中,图3a为基板吸附单元的俯视图,图3b为基板吸附单元的主视图;
图4为本发明实施例1膜片贴附装置中膜片平整展开单元与膜片保护膜剥离单元的位置关系示意图;
图5为本发明实施例1膜片贴附装置中对位单元的结构示意图,其中,图5a为图像传感器标记捕捉单元的结构示意图,图5b为基板及基板标记的示意图,图5c为膜片及膜片标记的示意图;
图6为本发明实施例1膜片贴附装置中真空单元和对位单元的结构示意图;
图7为本发明实施例1中膜片贴附方法的流程图。
图中:a-膜片吸附单元;a-1-膜片吸附台面;b-基板吸附单元;b-1-基板吸附台面;b-2-粘着垫;c-膜片平整展开单元;c-1-延展压入滚筒;c-2-支撑台面;d-膜片保护膜剥离单元;e-真空单元;e-1-真空室;e-2-真空泵;f-图像传感器标记捕捉单元;f-1-反射光右侧照相单元;f-2-反射光左侧照相单元;g-位置调整单元;g-1-X方向调整马达;g-2-Y方向调整马达;g-3-θ方向调整马达;h-膜片供给机构;I-货台;
1-膜片;2-基板;3-膜片标记;4-基板标记。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图和具体实施方式对本发明膜片贴附方法和膜片贴附装置作进一步详细描述。
实施例1:
图1为本实施例中膜片贴附装置的整体结构示意图。如图1所示,该膜片贴附装置包括膜片供给机构h、基板传送机构、膜片吸附单元a、基板吸附单元b、膜片平整展开单元c、膜片保护膜剥离单元d、运动单元、对位单元、真空单元e以及控制单元(图中未示出)。其中,膜片吸附单元a用于吸附膜片1,基板吸附单元b用于吸附基板2,运动单元用于驱使膜片吸附单元和基板吸附单元运动,控制单元用于对整个装置的运动过程进行控制。
出于对图1清晰度的考虑,图像传感器标记捕捉单元f与位置调整单元g在图1中并没有显示,而真空单元e在图1中也仅显示了真空室e-1,所述图像传感器标记捕捉单元f、位置调整单元g与真空单元e的结构请参看图6。
本实施例中,膜片1采用三维偏光片,基板2采用刚性材料制成,优选采用刚性玻璃制成。
如图2a、2b所示,膜片吸附单元a包括有膜片吸附台面a-1,所述膜片吸附台面a-1用于吸附膜片1。本实施例中,膜片吸附台面a-1为一张平整的粘着板,其具有一定的平整度及粘着力,以便于膜片平整展开单元c将膜片1平整展开并粘附于该粘着板上,所述粘着板可以重复使用。膜片吸附台面a-1沿水平方向设置。
所述运动单元可带动膜片吸附单元a沿水平方向(X轴方向)、垂直方向(Y轴方向)以及与XY平面垂直的方向移动。
如图3a、3b所示,基板吸附单元b包括基板吸附台面b-1,所述基板吸附台面b-1用于吸附基板2。本实施例中,基板吸附台面b-1的表面均匀分布有若干粘着垫b-2,粘着垫b-2具有一定的粘性,以便于更好地吸附基板2,粘着垫b-2可以重复使用。基板吸附台面b-1沿水平方向设置。
其中,基板传送机构用于将基板2传送至基板吸附台面b-1上。
本实施例中,由于膜片与基板的贴附过程是在真空单元的真空室e-1内进行,因而直接将基板吸附单元b设置在真空室e-1内,由基板传送机构将基板2传送到基板吸附台面b-1上。这样,在进行膜片贴附时,只需要将膜片吸附单元a移动至真空室e-1中,使膜片吸附台面a-1移动至与基板吸附单元b中的基板吸附台面b-1对应的位置即可,而无需移动基板吸附单元b。
如图1所示,膜片供给机构h可沿水平方向(X轴方向)与垂直方向(Y轴方向)移动,膜片供给机构h用于将膜片1从货台I上拾起并放置在膜片平整展开单元c中的支撑台面c-2上。基板传送机构(图1中未示出)用于将基板2传送至基板吸附台面b-1上。
如图4所示,膜片平整展开单元c用于使膜片1平整展开地贴附在膜片吸附台面a-1上。所述膜片平整展开单元c包括延展压入滚筒c-1和沿水平方向放置的支撑台面c-2,所述延展压入滚筒c-1可以沿Y轴方向移动,所述支撑台面c-2可以倾斜一定角度。
由膜片供给机构h将膜片1放置在支撑台面c-2上,且膜片1的一端超出支撑台面c-2一侧的边沿。延展压入滚筒c-1位于支撑台面的被膜片超出的一侧,并处于膜片的下方,当运动单元驱动膜片吸附单元a移动至与支撑台面c-2相对的位置后,延展压入滚筒c-1向膜片1的方向移动,同时支撑台面c-2向膜片吸附台面a-1的方向倾斜,直至延展压入滚筒c-1压向膜片超出支撑台面的一端并使之与膜片吸附台面a-1线接触,此时膜片吸附台面a-1沿水平方向移动,直至与膜片1的另一端进行线接触,从而使整个膜片1全部贴附在膜片吸附台面a-1上。
膜片保护膜剥离单元d设置在膜片吸附台面a-1的下方,在膜片未与膜片吸附台面a-1接触的一面上覆盖有保护膜,膜片保护膜剥离单元d用于当膜片1在膜片吸附台面a-1上平整展开的过程中将膜片1上覆盖的保护膜剥离。
如图6所示,真空单元e包括真空室e-1和真空泵e-2,所述真空泵e-2用于将真空室e-1内的空气抽离,使得真空室e-1内成为真空环境,所述真空室e-1包括上、下两个腔室,基板吸附单元b设置在真空室e-1的下腔室内。
所述对位单元用于使膜片吸附台面a-1上的膜片1和基板吸附台面上的基板2对准,并在两者对准之后将对准信号传送给控制单元,控制单元根据此信号指令运动单元驱使膜片吸附台面和基板吸附台面进行面接触,以使膜片1贴附在基板2上。
如图5b、5c所示,膜片1和基板2上分别设置有膜片标记3和基板标记4。本实施例中,膜片1上布置了四个膜片标记3,基板2上布置了四个基板标记4。这里需要说明的是,膜片标记3的数量与基板标记4的数量不限于本实施例中所列举的数量,只要满足膜片标记3的数量与基板标记4的数量相等的原则即可。
其中,所述基板标记4为镂空式标记,其位于基板2的黑矩阵位置上,在贴附完成后不会影响膜片的显示区域。
对位单元包括图像传感器标记捕捉单元f、判断单元和位置调整单元。
如图5a所示,本实施例中,图像传感器标记捕捉单元f包括反射光右侧照相单元f-1与反射光左侧照相单元f-2。其中,反射光右侧照相单元f-1包括上、下两个照相机,反射光左侧照相单元f-2也包括上、下两个照相机。反射光右侧照相单元f-1的上照相机与反射光左侧照相单元f-2的上照相机用于捕捉位于膜片1上的膜片标记3,反射光右侧照相单元f-1的下照相机与反射光左侧照相单元f-2的下照相机用于捕捉位于基板上的基板标记4,反射光右侧照相单元f-1中的上、下两个照相机和反射光左侧照相单元f-2中的上、下两个照相机分别将其各自捕捉到的信号传送给判断单元。
如图6所示,本实施例中,位置调整单元g用于调整基板吸附单元b的位置。具体地,位置调整单元g包括X方向调整马达g-1,其用于使基板吸附单元b和吸附于其上的基板2沿X轴方向进行微调;Y方向调整马达g-2,其用于使基板吸附单元b和吸附于其上的基板2沿Y轴方向进行微调;θ方向调整马达g-3,其用于调整基板吸附单元b和吸附于其上的基板2按一定的角度倾斜。
通过在基板吸附单元b下设置位置调整单元g,从而可对基板吸附单元b进行水平方向(X轴方向)与垂直方向(Y轴方向)微调,也可以使其按照一定的角度倾斜。
判断单元用于接收从图像传感器标记捕捉单元f中反射光右侧照相单元f-1中的上、下两个照相机和反射光左侧照相单元f-2中的上、下两个照相机各自所捕捉到的信号,并根据此信号判断膜片标记3和基板标记4是否对准,再根据判断结果来指令位置调整单元g和图像传感器标记捕捉单元f是否启动:如果判断膜片标记3和基板标记4对准,指令图像传感器标记捕捉单元f和位置调整单元g均不启动;如果判断膜片标记3和基板标记4没有对准,指令位置调整单元g和图像传感器标记捕捉单元f启动,由位置调整单元g调整基板吸附单元b的位置,从而可调整基板与膜片之间的对应位置,在位置调整单元g动作的同时,启动图像传感器标记捕捉单元f捕捉调整位置后的膜片标记3和基板标记4,并将捕捉到的信息传送给判断单元进行判断,重复上述动作,直至判断单元判断膜片标记3和基板标记4对准。
本实施例中,对位单元中的判断单元的功能是由控制单元来实现的,也就是说,该装置中的控制单元同时也为对位单元中的判断单元。
本实施例中,控制单元除了用于控制运动单元进行运动外,同时还控制膜片平整展开单元c、膜片保护膜剥离单元d、真空单元e、图像传感器标记捕捉单元f、位置调整单元g、膜片供给机构h、基板传送机构的运动,并接收上述部件的反馈信号,以及通过接收到的反馈信号控制相应的部件进行运动。优选控制单元可采用PLC控制器。
本实施例中膜片贴附装置的工作流程如下:
如图1所示,膜片供给机构h静止时位于初始位置,在接收到控制单元的工作指令后,膜片供给机构h沿Y轴反方向移动至货台I处,将膜片1从货台I上拾起后,再沿Y轴正方向返回至其初始位置,之后膜片供给机构h沿X轴正方向移动至膜片平整展开单元c的正上方,再沿Y轴反方向移动至支撑台面c-2处,将膜片1放置在水平放置的支撑台面c-2上,放置时膜片1的一端超出支撑台面c-2一侧的边沿,然后膜片供给机构h沿原路径返回至其初始位置。膜片吸附单元a静止时位于初始位置,在膜片1被膜片供给机构h放置在支撑台面c-2之后,控制单元控制膜片吸附单元a从初始位置沿与XY平面垂直的方向移动至膜片平整展开单元c的正上方。
如图4所示,控制单元控制支撑台面c-2倾斜,若膜片1超出支撑台面c-2的一端位于支撑台面c-2沿X轴正方向的一侧,则控制单元控制支撑台面c-2沿逆时针方向倾斜;若膜片1超出支撑台面c-2的一端位于支撑台面c-2沿X轴正方向的一侧,则控制单元控制支撑台面c-2沿顺时针方向倾斜,直至位于支撑台面c-2上的膜片1的一端与膜片吸附台面a-1接触,此时控制单元控制延展压入滚筒c-1向Y轴正方向移动,直至延展压入滚筒c-1与膜片吸附台面a-1线接触贴合,此时控制单元控制膜片吸附单元a沿X轴正方向移动,直至膜片吸附台面a-1与膜片1的另一端线接触,此时整个膜片1都已经平整展开,并完全贴附于膜片吸附台面a-1上,在膜片1贴附在膜片吸附台面a-1上的过程中,控制单元控制膜片保护膜剥离单元d将覆盖在膜片1上的保护膜剥离。
将膜片1贴附于膜片吸附台面a-1上之后,控制单元控制膜片吸附单元a继续沿X轴正方向移动,直至膜片吸附台面a-1处于基板吸附台面b-1的正上方,并使吸附有膜片1的膜片吸附单元a位于真空室e-1的上腔室中。在膜片吸附单元a向基板吸附单元b移动的同时,基板传送机构将基板2传送至基板吸附台面b-1上。
如图5所示,将反射光右侧照相单元f-1与反射光左侧照相单元f-2移动至吸附有膜片1的膜片吸附单元a与吸附有基板2的基板吸附单元b之间,当膜片吸附台面a-1处于基板吸附台面b-1的正上方时,控制单元控制反射光右侧照相单元f-1中的上照相机与反射光左侧照相单元f-2中的上照相机捕捉位于膜片1上的膜片标记3,控制反射光右侧照相单元f-1的下照相机与反射光左侧照相单元f-2的下照相机捕捉位于基板2上的基板标记4。
如图6所示,当图像传感器标记捕捉单元f标记捕捉完成后,控制单元控制位于基板吸附单元b下方的位置调整单元g对基板吸附单元b的位置进行调整,以对膜片标记3和基板标记4进行对位,具体的,通过X方向调整马达g-1、Y方向调整马达g-2与θ方向调整马达g-3依次对基板吸附单元b进行X方向、Y方向与θ方向的微调,直至膜片1上的四个膜片标记3与基板2上的四个基板标记4重合,此时完成膜片1与基板2的对位。控制反射光右侧照相单元f-1与反射光左侧照相单元f-2从膜片吸附单元a与基板吸附单元b之间撤出。
此时已完成膜片1与基板2的图像传感器对位工作,且吸附有膜片1的膜片吸附单元a位于真空室e-1的上腔室中,吸附有基板2的基板吸附单元b处于真空室e-1的下腔室中,控制单元控制真空泵e-2启动,将真空室e-1上、下两个腔室内的空气抽离,使得真空室e-1内构成一个真空环境。
当真空室e-1内的真空环境达到所需的真空要求之后,控制单元控制膜片吸附单元a沿Y轴反方向移动,使吸附于膜片吸附单元a上的膜片1与吸附于基板吸附单元b上的基板2进行面贴附,从而使膜片通过面接触方式贴附在基板上,贴附完成之后由控制单元控制贴附有膜片1的基板2从真空室e-1移出。
由于膜片1与基板2进行贴附时处于真空环境中,避免了进行面贴附时二者之间产生气泡。
本实施例还提供一种膜片贴附方法,如图7所示,所述方法包括如下步骤:
s701,膜片供给,以将膜片1输送至膜片平整展开单元c;
s702,膜片平整展开并与保护膜剥离,膜片平整展开单元c将膜片1平整展开并贴附于膜片吸附单元a上,在膜片展开过程中,膜片保护膜剥离单元d将膜片1上覆盖的保护膜剥离;
s703,将膜片1移至对位位置;
s704,基板供给,用于输送基板2;
s705,使基板移至对位位置,控制将基板2移至对位位置;
s706,对膜片1和基板2进行CCD对位。
s707,在真空环境下使膜片1与基板2进行面贴附。
实施例2:
本实施例与实施例1的区别在于:本实施例中,膜片贴附方法中,膜片1与基板2直接进行面贴附,而不是在真空环境下进行面贴附;相应地,本实施例中的膜片贴附装置中也不具有真空单元。
本实施例中的其他步骤以及结构都与实施例1相同,这里不再赘述。
需要说明的是,本发明中的膜片既可以是三维偏光片,也可以是其他柔性材料制成的膜片。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
Claims (11)
1.一种膜片贴附方法,包括以下步骤:
A.将膜片平整展开,然后将膜片输送至与基板相对的位置;
B.将膜片与基板进行对位;
C.采用面接触方式将膜片贴附在基板上;
在步骤A中,先将膜片吸附在膜片吸附台面上,并使膜片在该膜片吸附台面上平整展开,然后将所述膜片吸附台面输送至与基板相对的位置;
膜片通过以下步骤吸附在所述膜片吸附台面上:
A1.设置一支撑台面,将膜片放置在所述支撑台面上,并使膜片的一端超出支撑台面一侧的边沿;
A2.使膜片吸附台面移动至与所述支撑台面相对的位置;
A3.控制所述支撑台面倾斜,直至膜片超出所述支撑台面边沿的一端接近所述膜片吸附台面;
A4.使膜片超出支撑台面的一端与所述膜片吸附台面线接触,并使得膜片的该端吸附在所述膜片吸附台面上;
A5.控制所述膜片吸附台面沿其板面方向移动,以使得膜片沿着其在支撑台面上的延展方向逐步与所述膜片吸附台面线接触,直至达到膜片的另一端,此时整个膜片全部贴附在所述膜片吸附台面上。
2.根据权利要求1所述的膜片贴附方法,其特征在于,所述膜片未与膜片吸附台面接触的一面上覆盖有保护膜,在步骤A4中,当膜片逐步在所述膜片吸附台面上平展展开的同时,控制将覆盖在膜片上的保护膜逐步剥离。
3.根据权利要求1或2所述的膜片贴附方法,其特征在于,膜片和基板上分别设置有膜片标记和基板标记,在步骤B中,所述膜片与基板采用CCD对位法进行对位,具体包括以下步骤:
B1.分别检测膜片上的膜片标记和基板上的基板标记的位置;
B2.判断膜片标记是否与基板标记重合;
B3.根据判断结果来控制膜片和/或基板的移动:如果膜片标记与基板标记重合,控制膜片和基板均不移动;如果膜片标记与基板标记不重合,控制膜片和/或基板移动以调整两者之间的相对位置,在膜片和/或基板移动的过程中,重复步骤B1和步骤B2,直至膜片标记与基板标记重合,控制膜片和/或基板停止移动。
4.根据权利要求1或2所述的膜片贴附方法,其特征在于,在步骤C中,使膜片与基板在真空环境下进行面贴附。
5.一种膜片贴附装置,其特征在于包括膜片吸附台面、基板吸附台面、运动单元以及控制单元,其中:
膜片吸附台面,用于吸附膜片;
基板吸附台面,用于吸附基板;
运动单元,用于驱使膜片吸附台面和/或基板吸附台面运动;
控制单元,用于控制运动单元的运动,并且在运动单元驱使膜片吸附台面和/或基板吸附台面运动至两者处于相对的位置后,控制运动单元驱使膜片吸附台面和/或基板吸附台面在两者之间作相对运动,以使膜片吸附台面和基板吸附台面接触,从而使膜片通过面接触方式贴附在基板上;
所述膜片贴附装置还包括有膜片平整展开单元,所述膜片平整展开单元用于使膜片平整展开地贴附在所述膜片吸附台面上,所述膜片平整展开单元包括延展压入滚筒和支撑台面,膜片放置在所述支撑台面上,且膜片的一端超出支撑台面一侧的边沿;所述延展压入滚筒位于支撑台面被膜片超出的一侧,当运动单元驱动膜片吸附台面移动至与支撑台面相对的位置后,延展压入滚筒向膜片的方向移动,同时支撑台面倾斜直至延展压入滚筒压向膜片超出支撑台面的一端并使之与膜片吸附台面线接触,此时膜片 吸附台面沿其板面方向移动,直至与膜片的另一端进行线接触,从而使整个膜片全部贴附在膜片吸附台面上。
6.根据权利要求5所述的膜片贴附装置,其特征在于,该膜片贴附装置中还包括有对位单元,所述对位单元用于使膜片吸附台面上的膜片和基板吸附台面上的基板对准,并在两者对准之后将对准信号传送给控制单元,控制单元根据此信号指令运动单元驱使膜片吸附台面和基板吸附台面进行面接触,以使膜片贴附在基板上。
7.根据权利要求6所述的膜片贴附装置,其特征在于,膜片和基板上分别设置有膜片标记和基板标记,所述对位单元包括图像传感器标记捕捉单元、判断单元和位置调整单元,其中:
图像传感器标记捕捉单元,用于捕捉膜片上的膜片标记和基板上的基板标记,并将所捕捉到的信号传送给判断单元;
位置调整单元,用于调整膜片吸附台面和/或基板吸附台面的位置;
判断单元,用于接收图像传感器标记捕捉单元传送的信号,并根据此信号判断膜片标记和基板标记是否对准,再根据判断结果来指令位置调整单元和图像传感器标记捕捉单元是否启动:如果判断膜片标记和基板标记对准,指令图像传感器标记捕捉单元和位置调整单元均不启动;如果判断膜片标记和基板标记没有对准,指令位置调整单元和图像传感器标记捕捉单元启动,由位置调整单元调整膜片吸附台面和/或基板吸附台面的位置,并同时启动图像传感器标记捕捉单元捕捉调整位置后的膜片标记和基板标记,直至判断单元判断膜片标记和基板标记对准。
8.根据权利要求5所述的膜片贴附装置,其特征在于,所述膜片未与膜片吸附台面接触的一面上覆盖有保护膜,所述膜片贴附装置中还包括有膜片供给机构和膜片保护膜剥离单元,所述膜片供给机构用于将膜片放置在所述支撑台面上,所述膜片保护膜剥离单元用于将覆盖在膜片的保护膜剥离。
9.根据权利要求5所述的膜片贴附装置,其特征在于,所述膜片贴附装置还包括有真空单元,所述真空单元包括真空室和真空泵,所述真空泵用于将真空室内的空气抽离,在膜片和基板进行贴附时,膜片吸附台面和基板吸附台面处于所述真空室内。
10.根据权利要求5-7之一所述的膜片贴附装置,其特征在于,所述膜片贴附装置还包括有真空单元,所述真空单元包括真空室和真空泵,所述真空泵用于将真空室内的空气抽离,在膜片和基板进行贴附时,膜片吸附台面和基板吸附台面处于所述真空室内。
11.根据权利要求5-7之一所述的膜片贴附装置,其特征在于,所述膜片吸附台面为一张平整的粘着板,所述粘着板具有一定的粘着力;所述基板吸附台面的表面还均匀分布有若干粘着垫,所述粘着垫具有一定的粘性,用于吸附基板。
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