CN109226010A - 一种基板清洗机及基板清洗系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基板清洗机及基板清洗系统,包括打磨部件、水平移动组件、垂直移动组件和清洗喷头;其中,水平移动组件包括滑动块、连杆、圆盘和旋转驱动部件;旋转驱动部件的输出端与圆盘连接,连杆的第一端活动连接在圆盘的圆周上,连杆的第二端活动连接在滑动块上;基板置于滑动块和垂直移动组件的下方,垂直移动组件安装在滑动块上,打磨部件安装在垂直移动组件的下端,打磨部件对基板进行打磨,清洗喷头置于基板的斜上方。本发明主要有益效果是可靠性高,采用纯水湿润,绒棉打磨的方式,能有限整合整个行业所有的基板清洗方式,有效的处理基板表面的粉屑,火山口。避免了其他方式清洗不够彻底,超声波有限但对产品膜层的损伤问题。

Description

一种基板清洗机及基板清洗系统
技术领域:
本发明涉及一种印刷线路板的加工技术领域,尤其涉及一种基板清洁装置及基本清洗系统。
背景技术:
在现有技术中对“晶片电阻”的基板表面的清洗工艺,都是采用压缩空气吹气,或者毛刷滚刷或者超声清洗的方式处理。压缩空气吹气和毛刷滚刷的主要的缺陷是不能100%剔除基板表面的脏污,而超声波对产品的二次损伤,镭切工艺后的粉屑,火山口。
电子市场发展迅速的今天,电子被动元件,特别是高可靠性的电子元器件,希求的的越来越多,要求越来越严苛,如汽车品,航空航天品,整个制造工艺有别于民用品。
发明内容:
本发明的目的:针对这些高单价,高性能品的清洗设备和清洗系统,剔除了贴片电阻中存在的粉尘,特别是镭切工艺切割后的火山口,提高产品的的性能。本发明是对基板表面进行清洗的专用设备,是高端电阻生产过程中的一道重要工艺,能有效清洁基板表面的粉屑,镭切火山口或者其他异物,提高贴片电阻的可靠性,安全性。
为了解决上述技术问题,本发明提出了一种基板清洗机及基板清洗系统,其中,一种基板清洗机,包括打磨部件、水平移动组件、垂直移动组件和清洗喷头;其中,水平移动组件包括滑动块、连杆、圆盘和旋转驱动部件;旋转驱动部件的输出端与圆盘连接,连杆的第一端活动连接在圆盘的圆周上,连杆的第二端活动连接在滑动块上;基板置于滑动块和垂直移动组件的下方,垂直移动组件安装在滑动块上,打磨部件安装在垂直移动组件的下端;清洁时,打磨部件在垂直移动组件的驱动下向基板方向移动并接触到基板表面,圆盘在旋转驱动部件的驱动下旋转,连杆的第一端沿着圆盘的圆周同步旋转,连杆的另一端驱动滑动块进行往复移动,打磨部件对基板进行打磨,清洗喷头置于基板的斜上方。
在一个实施例中,所述基板清洗机还包括第一组支架和滑轨,所述滑动块上还开设和滑轨匹配的第一组孔,滑轨水平安装在第一组支架上,滑动块可在滑轨的导向下往复移动。
在一个实施例中,所述垂直移动组件包括垂直移动块和直线驱动部件,滑动块上还开设了与垂直移动块匹配的第二组孔,直线驱动部件驱动垂直移动块沿第二组孔上下移动。
在一个实施例中,所述基板清洗机还包括第二组支架,所述旋转驱动部件安装在第二组支架上。
在一个实施例中,所述清洗喷头安装在所述第一组支架上,所述打磨部件为绒棉。
本发明还提出了一种基板清洗系统,包括基板清洗机、送料机构、烘箱、输送机构和收料机构;其中,送料机构将基板运送到输送机构,输送机构将基板运送到清洗工位,基板清洗机对基板进行清洗,基板清洗结束后由输送机构送到烘箱内进行基板烘干,烘干结束后由输送机构送出烘箱,收料机构取出基板。
在一个实施例中,基板清洗系统还包括翻转机构,翻转机构包括本体、第一组吸料头、转动部件、转动驱动装置、平移驱动装置和升降驱动装置,第一组吸料头安装在转动部件上,转动部件安装在转动驱动装置的输出端,本体与平移驱动装置的输出端连接,本体也与升降驱动装置的输出端连接。
在一个实施例中,基板清洗机分为两组,其中每组所述的基板清洗机各清洁所述基板的一面。
在一个实施例中,所述基板清洗系统还包括烘箱控制系统,在所述烘箱的两侧设有风管,烘箱控制系统控制所述烘箱内热风的温度和吹风时间,热风由所述烘箱一侧的风管进入所述烘箱,并由所述烘箱另一侧的风管吸出。
在一个实施例中,所述送料机构和所述收料机构都包括料仓和移送装置,在移送装置上安装第二组吸料头,料仓内放置所述基板;其中,通过第二组吸料头吸住所述基板,移送装置将所述基板运送到所述输送机构或所述料仓内。
本发明所述的技术方案主要具有如下有益效果:
1、可靠性高,采用纯水湿润,绒棉打磨的方式,能有限整合整个行业所有的基板清洗方式,有效的处理基板表面的粉屑,火山口。
2、避免了其他方式清洗不够彻底,超声波有限但对产品膜层的损伤问题。
3、效率高,正反两面能在一台设备上同时清洗,最高能实现10S/片的清洗速度。
4、简化了生产工艺流程,提高了产品的可靠性,提升了品质。
5、烘箱及控制系统结构简单,热能循环,节能高效。
附图说明:
图1揭示了本发明某些实施例中基板清洗机的立体结构示意图。
图2揭示了本发明某些实施例中带清洗喷头的基板清洗机的立体结构示意图。
图3揭示了本发明某些实施例中基板清洗系统的立体结构示意图。
图4揭示了本发明某些实施例中基板清洗系统中翻转机构的安装示意图。
图5揭示了本发明某些实施例中基板清洗系统中送料机构的立体结构示意图。
图6揭示了本发明某些实施例中送料机构中移送装置的立体结构示意图。
图7揭示了本发明某些实施例中烘箱的安装示意图。
具体实施方式:
本发明上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变的更加明显,在附图中相同的附图标记始终表示相同的特征,其中:
参考图1,图1揭示了本发明某些实施例中基板清洗机的立体结构示意图。在图1的实施例中,一种基板清洗机,包括打磨部件、水平移动组件和垂直移动组件3;其中,水平移动组件包括滑动块21、连杆22、圆盘23和旋转驱动部件24;旋转驱动部件24的输出端与圆盘23连接,连杆22的第一端活动连接在圆盘23的圆周上,连杆22的第二端活动连接在滑动块21上。
可以理解的是,在本实施中的旋转驱动部件24可以是马达或旋转气缸或其他的驱动形式。
继续参考图1:基板置于滑动块21和垂直移动组件3的下方(图1中未标注),垂直移动组件3安装在滑动块21上,打磨部件安装在垂直移动组件3的下端(图1中未标注);打磨时,打磨部件在垂直移动组件3的驱动下向基板方向移动并接触到基板表面,圆盘23在旋转驱动部件24的驱动下旋转,连杆22的第一端沿着圆盘23的圆周同步旋转,连杆22的另一端驱动滑动块21进行往复移动,打磨部件1对基板进行清洁。
继续参考图1,作为本实施例的优选项,基板清洗机还包括第一组支架4和滑轨5,滑动块21上还开设和滑轨5匹配的第一组孔,滑轨5水平安装在第一组支架4上,滑动块21可在滑轨5的导向下往复移动。
继续参考图1,作为本实施例的优选项,垂直移动组件3包括垂直移动块31和直线驱动部件32,滑动块21上还开设了与垂直移动块31匹配的第二组孔(图1未标注),直线驱动部件32驱动垂直移动块31沿第二组孔上下移动。
可以理解的是,直线驱动部件32包括但不限定于电机丝杠或液压缸或气缸等驱动形式。
继续参考图1,基板清洗机还包括第二组支架6,旋转驱动部件24安装在第二组支架6上。
可以理解的是,旋转驱动部件24可以是马达或旋转气缸或其他的驱动形式。
参考图2,图2揭示了本发明某些实施例中带清洗喷头的基板清洗机的立体结构示意图。基板清洗机还包括清洗喷头7,清洗喷头7置于基板的斜上方并安装在第一组支架4上。
作为本实施例的优选项,打磨部件可以是绒棉,直线驱动部件可以是直线气缸,旋转驱动部件可以是马达。
检测基板后,清洗喷头喷淋基板上表面,使基板保持湿润,直线气缸下顶,使绒棉接触到基板,绒棉气缸8向左运动,挤压绒棉,使之固定,马达带动圆盘转动,绒棉在连杆的驱动下左右往复运动,完成打磨基板的动作,完毕后清洗喷头再次对基板进行喷淋清洗,然后传送至下一个工位。
参考图3,图3揭示了本发明某些实施例中基板清洗系统的立体结构示意图。在图3的实施例中的一种基板清洗系统,包括基板清洗机100、送料机构200、烘箱300、输送机构400和收料机构500;其中,
送料机构500将基板运送到输送机构400,输送机构400将基板运送到清洗工位,基板清洗机100对基板进行清洗,基板清洗结束后由输送机构400送到烘箱300内进行基板烘干,烘干结束后由输送机构400送出烘箱,收料机构500取出基板。
参考图4,图4揭示了本发明某些实施例中基板清洗系统中翻转机构的安装示意图。在图4的实施例中,翻转机构600可以包括本体601、第一组吸料头602、转动部件603、转动驱动装置604、平移驱动装置605和升降驱动装置(图4未标注),第一组吸料头602安装在转动部件603上,转动部件603安装在转动驱动装置的输出端605上,本体601也与平移驱动装置605的输出端连接,本体601也与升降驱动装置的输出端连接。
翻转时,首先由转动驱动装置604驱动转动部件603转动,转动到第一组吸料头602向下位置。
然后升降驱动装置驱动本体601向下,直到吸料头602碰到基板并吸住基板。
然后升降驱动装置驱动本体601向上,转动驱动装置604驱动转动部件603转动,直到吸料头602向上的位置。
然后升降驱动装置驱动本体601向下,吸料头602与基板脱离,平移驱动装置605驱动本体601向左远离基板。
最后升降驱动装置驱动本体601向上到原始位置,转动驱动装置604驱动转动部件603转动到原始位置。
作为一个优选的实施例,基板清洗机可以分为两组,其中每组基板清洗机各清洁基板的一个面,当然可以理解的是,也可以通过翻转机构的翻转,完成一个基板清洗机清洗基板的两个面。
参考图5并结合图6,图5揭示了本发明某些实施例中基板清洗系统中送料机构的立体结构示意图。图6揭示了本发明某些实施例中送料机构中的移送装置的立体结构示意图。在图5和图6的实施例中,送料机构700包括料仓701和移送装置702,在移送装置702上安装第二组吸料头703,料仓701内放置基板;其中,通过第二组吸料头703吸住基板,移送装置702将所述基板运送到输送机构400或料仓701内。
基板以叠加的形式放在料仓701内,在料仓驱动装置704的驱动下,基板可在料仓701内上下移动。
继续参考图6,移送装置702可以由两个皮带轮705、皮带706、滑块707和滑轨708组成,滑块707上开设与滑轨708匹配的孔(图6未标注),滑块707沿着滑轨708的方向横向滑动,皮带706设在两个皮带轮705之间,滑块707与皮带706连接并在皮带706的驱动下与皮带706同步移动。
继续参考图6,移送装置702还包括驱动第二组吸料头703上下移动的驱动装置709,并作为优先的实施例中,第二组吸料头703上还安装吹气嘴710,吹气嘴710用压缩空气吹气时,防止第二组吸料头703同时吸到料仓701内的叠加的两片基板。
驱动滑块707滑动的驱动装置709可以是直线气缸,料仓驱动装置704也可以是马达。
收料机构的工作原理和结构设计与图5和图6中实施例相同或相似,在此不再重复说明。
参考图7,图7揭示了本发明某些实施例中烘箱的安装示意图。在本实施例中包括烘箱控制系统30,在烘箱300的两侧设有风管301和302,烘箱控制系统30控制烘箱300内热风的温度和吹风时间,热风由烘箱一侧的风管301进入烘箱300,并由烘箱另一侧的风管302吸出。
在本实施例的优选项中,烘箱控制系统30还包括操作界面303。
在本实施例的有选项中,输送机构可以匀速地传送湿的基板进入烘箱,热风口可以吹入100~150℃的热风进入烘箱,部分水分蒸发掉,部分滴落到沥水箱304流出设备,热风出口对烘箱内部的热风进行抽出,循环利用,测温探头对烘箱内的温度进行实时监控。
清洗内容如下:
1、基板表面的油污,手污,粉屑,等异物。
2、清洁打磨镭切工艺后的火山口,高温灼烧后的熔融物。
3、适用基板:本设备适用于片状的陶瓷或者其他材质的基板。
需要说明的是,本发明的保护范围中现有技术部分并不局限于本申请文件所给出的实施例,所有不与本发明的方案相矛盾的现有技术,包括但不局限于在先专利文献、在先公开出版物,在先公开使用等等,都可纳入本发明的保护范围。
此外,本案中各技术特征的组合方式并不限本案权利要求中所记载的组合方式或是具体实施例所记载的组合方式,本案记载的所有技术特征可以以任何方式进行自由组合或结合,除非相互之间产生矛盾。
还需要注意的是,以上所列举的实施例仅为本发明的具体实施例。显然本发明不局限于以上实施例,随之做出的类似变化或变形是本领域技术人员能从本发明公开的内容直接得出或者很容易便联想到的,均应属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种基板清洗机,其特征在于:包括打磨部件、水平移动组件、垂直移动组件和清洗喷头;其中,
水平移动组件包括滑动块、连杆、圆盘和旋转驱动部件;旋转驱动部件的输出端与圆盘连接,连杆的第一端活动连接在圆盘的圆周上,连杆的第二端活动连接在滑动块上;
基板置于滑动块和垂直移动组件的下方,垂直移动组件安装在滑动块上,打磨部件安装在垂直移动组件的下端;打磨时,打磨部件在垂直移动组件的驱动下向基板方向移动并接触到基板表面,圆盘在旋转驱动部件的驱动下旋转,连杆的第一端沿着圆盘的圆周同步旋转,连杆的另一端驱动滑动块进行往复移动,打磨部件对基板进行打磨,清洗喷头置于基板的斜上方。
2.如权利要求1所述的基板清洗机,其特征在于:所述基板清洗机还包括第一组支架和滑轨,所述滑动块上还开设和滑轨匹配的第一组孔,滑轨水平安装在第一组支架上,所述滑动块可在滑轨的导向下往复移动。
3.如权利要求2所述的基板清洗机,其特征在于:所述垂直移动组件包括垂直移动块和直线驱动部件,所述滑动块上还开设了与垂直移动块匹配的第二组孔,直线驱动部件驱动垂直移动块沿第二组孔上下移动。
4.如权利要求3所述的基板清洗机,其特征在于:所述基板清洗机还包括第二组支架,所述旋转驱动部件安装在第二组支架上。
5.如权利要求2所述的基板清洗机,其特征在于:所述清洗喷头安装在所述第一组支架上,所述打磨部件为绒棉。
6.一种基板清洗系统,其特征在于:包括如权利要求1-5中任一所述的基板清洗机、送料机构、烘箱、输送机构和收料机构;其中,
送料机构将基板运送到输送机构,输送机构将基板运送到清洗工位,基板清洗机对基板进行清洗,清洗结束后由输送机构送到烘箱内进行基板烘干,烘干结束后由输送机构送出烘箱,收料机构取出基板。
7.如权利要求6所述的基板清洗系统,其特征在于:所述基板清洗系统还包括翻转机构,翻转机构包括本体、第一组吸料头、转动部件、转动驱动装置、平移驱动装置和升降驱动装置,第一组吸料头安装在转动部件上,转动部件安装在转动驱动装置的输出端,本体与平移驱动装置的输出端连接,本体也与升降驱动装置的输出端连接。
8.如权利要求7所述的基板清洗系统,其特征在于:所述基板清洗机分为两组,其中每组所述的基板清洗机各清洁所述基板的一面。
9.如权利要求8所述的基板清洗系统,其特征在于:所述基板清洗系统还包括烘箱控制系统,在所述烘箱的两侧设有风管,烘箱控制系统控制所述烘箱内热风的温度和吹风时间,热风由所述烘箱一侧的风管进入所述烘箱,并由所述烘箱另一侧的风管吸出。
10.如权利要求9所述的基板清洗系统,其特征在于:所述送料机构和所述收料机构都包括料仓和移送装置,在移送装置上安装第二组吸料头,料仓内放置所述基板;其中,
通过第二组吸料头吸住所述基板,移送装置将所述基板运送到所述输送机构或所述料仓内。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109877082A (zh) * 2019-02-28 2019-06-14 南京涵铭置智能科技有限公司 一种立式清洁设备及其清洁方法
CN112146359A (zh) * 2020-09-25 2020-12-29 长江存储科技有限责任公司 干燥装置、干燥方法、清洗干燥系统及清洗干燥方法
CN112964035A (zh) * 2021-02-23 2021-06-15 安徽慕曼德家具有限公司 一种节能型实木板烘干装置及其烘干工艺
CN114812111A (zh) * 2022-04-22 2022-07-29 京东方科技集团股份有限公司 基板干燥装置、清洗系统及干燥方法

Citations (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1593793A (zh) * 2003-09-10 2005-03-16 淀川美科株式会社 基板表面清扫装置
JP2006184388A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Yuichiro Niizaki 液晶表示装置の基板表面を洗浄するブラシ組立体および液晶基板洗浄装置
CN101261935A (zh) * 2007-03-09 2008-09-10 大日本网目版制造株式会社 基板处理装置
CN101758036A (zh) * 2008-11-18 2010-06-30 细美事有限公司 基板清洁单元和具有该清洁单元的基板处理装置
CN101954358A (zh) * 2010-05-06 2011-01-26 东莞宏威数码机械有限公司 平移式基板清洗装置
CN203292158U (zh) * 2013-05-31 2013-11-20 京东方科技集团股份有限公司 一种基板清洗系统
CN103426797A (zh) * 2012-05-17 2013-12-04 株式会社荏原制作所 基板清洗装置
CN103472610A (zh) * 2013-08-23 2013-12-25 京东方科技集团股份有限公司 一种基板干燥装置及基板清洗系统
CN103572356A (zh) * 2012-07-18 2014-02-12 株式会社荏原制作所 电镀装置及基板保持架清洗方法
CN104785459A (zh) * 2015-03-24 2015-07-22 京东方科技集团股份有限公司 基板清洗刷组件以及基板清洗装置
CN105344640A (zh) * 2015-11-20 2016-02-24 苏州光韵达光电科技有限公司 一种bga基板的清洗设备
CN205819139U (zh) * 2016-08-01 2016-12-21 燕乃伟 一种车窗玻璃内侧雾刷
CN107333395A (zh) * 2017-08-17 2017-11-07 湖北华锐铝基板科技有限公司 一种铝基板清洁铺装生产线
CN107564835A (zh) * 2016-06-30 2018-01-09 株式会社荏原制作所 基板处理装置
CN207103261U (zh) * 2017-07-11 2018-03-16 天津市东方鑫盛玻璃科技发展有限公司 一种玻璃清洗机
CN107825253A (zh) * 2017-11-30 2018-03-23 广东仕博精工科技有限公司 一种玻璃研磨清洗装置
CN108067447A (zh) * 2017-12-13 2018-05-25 武汉华星光电技术有限公司 擦拭机构及基板清洗装置
CN207611216U (zh) * 2017-11-20 2018-07-13 无锡华氏恒辉精密装备科技有限公司 一种液晶显示屏双面清扫装置
CN207665290U (zh) * 2018-01-05 2018-07-27 山东天益通元电子科技有限公司 一种fpc基板清洗系统
CN208906180U (zh) * 2018-09-28 2019-05-28 昆山市和博电子科技有限公司 一种基板清洗机及基板清洗系统

Patent Citations (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1593793A (zh) * 2003-09-10 2005-03-16 淀川美科株式会社 基板表面清扫装置
JP2006184388A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Yuichiro Niizaki 液晶表示装置の基板表面を洗浄するブラシ組立体および液晶基板洗浄装置
CN101261935A (zh) * 2007-03-09 2008-09-10 大日本网目版制造株式会社 基板处理装置
CN101758036A (zh) * 2008-11-18 2010-06-30 细美事有限公司 基板清洁单元和具有该清洁单元的基板处理装置
CN101954358A (zh) * 2010-05-06 2011-01-26 东莞宏威数码机械有限公司 平移式基板清洗装置
CN103426797A (zh) * 2012-05-17 2013-12-04 株式会社荏原制作所 基板清洗装置
CN103572356A (zh) * 2012-07-18 2014-02-12 株式会社荏原制作所 电镀装置及基板保持架清洗方法
CN203292158U (zh) * 2013-05-31 2013-11-20 京东方科技集团股份有限公司 一种基板清洗系统
CN103472610A (zh) * 2013-08-23 2013-12-25 京东方科技集团股份有限公司 一种基板干燥装置及基板清洗系统
CN104785459A (zh) * 2015-03-24 2015-07-22 京东方科技集团股份有限公司 基板清洗刷组件以及基板清洗装置
CN105344640A (zh) * 2015-11-20 2016-02-24 苏州光韵达光电科技有限公司 一种bga基板的清洗设备
CN107564835A (zh) * 2016-06-30 2018-01-09 株式会社荏原制作所 基板处理装置
CN205819139U (zh) * 2016-08-01 2016-12-21 燕乃伟 一种车窗玻璃内侧雾刷
CN207103261U (zh) * 2017-07-11 2018-03-16 天津市东方鑫盛玻璃科技发展有限公司 一种玻璃清洗机
CN107333395A (zh) * 2017-08-17 2017-11-07 湖北华锐铝基板科技有限公司 一种铝基板清洁铺装生产线
CN207611216U (zh) * 2017-11-20 2018-07-13 无锡华氏恒辉精密装备科技有限公司 一种液晶显示屏双面清扫装置
CN107825253A (zh) * 2017-11-30 2018-03-23 广东仕博精工科技有限公司 一种玻璃研磨清洗装置
CN108067447A (zh) * 2017-12-13 2018-05-25 武汉华星光电技术有限公司 擦拭机构及基板清洗装置
CN207665290U (zh) * 2018-01-05 2018-07-27 山东天益通元电子科技有限公司 一种fpc基板清洗系统
CN208906180U (zh) * 2018-09-28 2019-05-28 昆山市和博电子科技有限公司 一种基板清洗机及基板清洗系统

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109877082A (zh) * 2019-02-28 2019-06-14 南京涵铭置智能科技有限公司 一种立式清洁设备及其清洁方法
CN112146359A (zh) * 2020-09-25 2020-12-29 长江存储科技有限责任公司 干燥装置、干燥方法、清洗干燥系统及清洗干燥方法
CN112964035A (zh) * 2021-02-23 2021-06-15 安徽慕曼德家具有限公司 一种节能型实木板烘干装置及其烘干工艺
CN114812111A (zh) * 2022-04-22 2022-07-29 京东方科技集团股份有限公司 基板干燥装置、清洗系统及干燥方法
CN114812111B (zh) * 2022-04-22 2024-04-19 京东方科技集团股份有限公司 基板干燥装置、清洗系统及干燥方法

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