CN1593793A - 基板表面清扫装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种不会受到基板大型化的影响而能缩短基板表面清扫的流水作业时间、并能减小装置足迹的基板表面清扫装置。该基板表面清扫装置包括基板支撑传送装置和基板清扫装置。基板支撑传送装置，配置有多列从下方面侧支撑液晶面板、用于向Y方向传送液晶面板的送入旋转辊及送出旋转辊。基板清扫装置包括：设置在基板支撑传送装置的中央部上方、由履带式的清扫带；对该清扫带赋予规定的张力且缠绕清扫带的驱动导轮及从动导轮；用于旋转对带进行清扫而连结在驱动导轮上的驱动马达。清扫带，在构成液晶面板的玻璃基板上滑动。清扫带的滑动(旋转)方向(第2方向、X方向)设成相对于液晶面板的传送方向(Y方向)交叉的方向。

Description

基板表面清扫装置
技术领域
本发明涉及一种基板表面清扫装置，特别是涉及一种用于除去附着在基板表面的异物等的基板表面清扫装置。
背景技术
以前，液晶面板的制造工序，在粘贴偏光板的前一道工序中，为了除去附着在玻璃基板表面的密封剂(UV硬化树脂等)，实施使用研磨机的玻璃基板研磨工序。不过，近年的液晶面板制造工序中，不是从后面注入液晶，而是预先配置密封构件包覆玻璃基板的整个周围，在合上玻璃基板之前，滴下注入液晶。从而，不需要用密封剂堵住液晶注入口的工序。因此，在粘贴偏光板的前一道工序中，无需为了除去密封剂而实施基板研磨工序。不过，在粘贴偏光板的前一道工序中，基板表面有时由于某些原因而附着异物，因此，在粘贴偏光板的前一道工序中，从玻璃基板表面除去异物的清扫工序是必需的。
为此，把研磨刮刀(研磨刃)换成研磨布，现有的基板研磨工序中使用的研磨装置也可以直接利用。不过，现有的研磨装置采用的构成是，在固定玻璃基板的状态下，使研磨刮刀边旋转边在玻璃基板表面上移动，因此，存在用于处理基板的流水作业时间(把玻璃基板送入装置内、实施规定的处理后、直到把玻璃基板送出装置外的总时间)长的问题。另外，在液晶面板中，由于两面配置玻璃基板，因此，在上述现有的研磨装置的构成中，一面的处理结束后，将玻璃基板翻过来，再进行另一面的处理，因此流水作业时间更长，另外，还存在装置的足迹(将装置平面设置时，从正上方投影的总设置面积)大型化的问题。
另外，近年来，随着液晶面板进一步大型化，与此相应地要使研磨装置大型化，因此流水作业时间越来越长、装置的足迹(foot print)也大型化的问题显著化。
发明内容
本发明要解决的问题在于以下方面：在用于除去基板表面附着的异物的装置中，与基板的进一步大型化相对应，流水作业时间加长，另外，装置的足迹也大型化。因此，本发明的第1目的在于：不会受到基板大型化的影响而缩短基板表面清扫的流水作业时间。另外，本发明的第2目的在于：提供一种能减小装置足迹的基板表面清扫装置。
本发明的基板表面清扫装置，是一种用于除去基板表面所附着的异物等的基板表面清扫装置，其特征在于，包括：用于支撑上述基板、向第1方向传送上述基板的基板支撑传送装置和具有清扫带的清扫装置，该清扫带，在上述基板向上述第1方向的传送状态下、沿上述基板表面向相对于上述第1方向交叉的第2方向连续滑动、而除去上述基板表面所附着的异物等。
另外，作为优选的特征：上述清扫装置设置2组，以从两侧夹持由上述基板支撑传送装置传送的上述基板。
另外，作为优选的特征：上述清扫带为环形带。
另外，作为优选的特征：在上述清扫带的与面对上述基板侧的相反侧，设有用于向上述基板侧按压上述清扫带的按压装置。再有，优选：上述按压装置包含用于向上述清扫带吹空气的送风装置。
还有，本发明中，所说的“清扫”，包含研磨、清洗等除去基板表面所附着的异物的所有行为。
根据本发明的基板表面清扫装置，在向第1方向传送基板的状态下，清扫装置固定，将具有该清扫装置的清扫带向相对于第1方向交叉的第2方向连续滑动，从而，伴随基板的传送由清扫带进行基板表面的异物除去。从而，能使基板传送与异物除去同时进行，因此，能连续地传送基板、能缩短从基板除去异物所需要的流水作业时间。另外，由于采用的构成是将清扫带向相对于基板传送方向交叉的方向连续滑动，因此不会招至清扫带的大型化，能谋求清扫装置的小型化。
另外，由于能谋求清扫装置的小型化，因此，能夹持基板两面设置2组该清扫装置。从而，能同时进行基板两面的清扫。其结果是，较之分别清扫处理基板两面的情形，能缩短基板清扫处理的流水作业时间。另外，由于不需要用于翻过基板的备用空间等，因此还能谋求基板表面清扫装置的足迹的缩小化。
附图说明
图1是表示实施方式1的基板支撑传送装置的基本构成(概略)斜视示意图。
图2是表示实施方式1的基板支撑传送装置的基本构成(概略)正面示意图。
图3是表示实施方式1的基板支撑传送装置的液晶面板传送方向与清扫带滑动方向的关系的平面示意图。
图4是实施方式1的实施例的基板表面清扫装置的主视图。
图5是实施方式1的基板表面清扫装置的俯视图。
图6是表示实施方式2的基板支撑传送装置的基本构成(概略)正面示意图。
图7是图6中VII-VII线向视剖面图。
图中：10、10A、10B、1010-基板清扫装置，11-清扫带，12、1012-驱动导轮，13、14、15、1013、1014、1015-从动导轮，16、1016、1050-驱动马达，20、20A、1020-基板支撑传送装置，21、21D、21U-送入旋转辊，22、22D、22U-送出旋转辊，23、23-导块，30、1030-送风装置，50-液晶面板，100A、100B、1000-基板表面清扫装置，1001-主体框架，1002-侧框架，1003-底板，1004-铰链轴，1005-倾斜角度调节机构，1023-导辊，1024-导销，1025-导向座，1026-导向轴承，1027-导向轴，1031-测量表，1040-皮带轮。
具体实施方式
实施方式1
下面，参照图1～3对本发明的实施方式的基板表面清扫装置进行说明。还有，本实施方式中，作为一例，对在液晶面板的制造工序中，将本发明适用于实施清扫工序的基板表面清扫装置中的情形加以说明，其中，该清扫工序目的在于在偏光板的粘贴工序前、清扫构成液晶面板的玻璃基板表面。所需说明的是，图1是表示本实施方式的基板支撑传送装置100A的基本构成(概略)的斜视示意图，图2是表示本实施方式的基板支撑传送装置100A的基本构成(概略)的正面示意图，图3是表示本实施方式的基板支撑传送装置100A的液晶面板传送方向与清扫带滑动方向的关系的平面示意图。
基板表面清扫装置100A的概略构成
首先，参照图1，该基板表面清扫装置100A包括基板支撑传送装置20和基板清扫装置10。基板支撑传送装置20，配置有多列从下方面侧支撑液晶面板50、用于向Y方向(第1方向)传送液晶面板50的送入旋转辊21及送出旋转辊22。用于旋转驱动送入旋转辊21及送出旋转辊22的驱动装置，与送入旋转辊21及送出旋转辊22相连结(没有图示)。另外，设置可以沿相对于Y方向垂直的方向滑动的导块23、23，用以对应于液晶面板50的大小而调整液晶面板的传送姿态。
基板清扫装置10包括：设置在基板支撑传送装置20的中央部上方、由履带式的环形带构成的清扫带11；对该清扫带11赋予规定的张力且缠绕清扫带11的驱动导轮12及从动导轮13、14、15；用于使清扫带11旋转而连结在驱动导轮12上的驱动马达16。
如图2所示，清扫带11在构成液晶面板50的玻璃基板上滑动。清扫带11的滑动(旋转)方向(第2方向、X方向)如图3所示，设置成与液晶面板50的传送方向(Y方向)交叉的方向。清扫带11的滑动方向，不限定于图示的方向，即使是与图示相反的方向也没关系。还有，为了缓液晶面板50碰到清扫带11时的冲击，清扫带11的滑动方向不与液晶面板50的传送方向垂直相交，相对于液晶面板50的传送方向，液晶面板50的滑动方向倾斜设置。例如，如图3所示，液晶面板50的传送方向与清扫带11的滑动方向的交叉角度(θ1)设为约70°～85°、95°～110°左右。在液晶面板50碰到清扫带11时的冲击不会有问题的情况下，交叉角度(θ1)即使为90°也没关系。
另外，如图2所示，为了使清扫带11施向液晶面板50的接触压力在清扫带11的整个面上均一化，在清扫带11面向液晶面板50的侧的相反侧，作为用于向液晶面板50侧按压清扫带11的按压装置，设置用于用于向清扫带11吹空气的送风装置30。在清扫带11施向液晶面板50的接触压力不会有问题的情况下，也无需设置送风装置30。
实施例
接下来，参照图4及图5对作为具备上述基板表面清扫装置100A的构成的具体实施例的上述基板表面清扫装置1000的构成进行说明。再有，图4是基板表面清扫装置1000的主视图，图5是基板表面清扫装置1000的俯视图。
参照图4及图5，该基板表面清扫装置1000具有主体框架1001和在该主体框架1001上方的、隔开规定间隔对向配置的侧框架1002。在该侧框架1002之间设有基板清扫装置1010及基板支撑传送装置1020。
作为基板支撑传送装置1020，并排配置多个送入旋转辊1021及送出旋转辊1022。在送入旋转辊1021及送出旋转辊1022的一端侧，安装有用于传递驱动马达1050的旋转的皮带轮1040。还有，在图4及图5中，省略传递带的叙述。
另外，在各个送入旋转辊1021及送出旋转辊1022之间，设有多个用于调整液晶面板的传送姿态的、与液晶面板侧面抵接的导辊1023。该导辊1023可以转动地安装在导销1024的前端部。另外，导销1024左右分别固定在通用设置的导向座1025上。
各导向座1025，连结导向轴1027，导向轴1027由设置在侧框架1002的导向轴承1026可以滑动地轴支撑。根据该构成，使导向轴1027移动，从而可以对应于所传送的液晶面板的大小而调节左右导辊1023的间隔。
在送入旋转辊1021及送出旋转辊1022之间的上方位置设有基板清扫装置1010。作为该基板清扫装置1010设有底板1003，该底板1003上安装有驱动导轮1012及从动导轮1013、1014、1015。另外，驱动导轮1012上连结驱动马达1016，驱动导轮1012及从动导轮1013、1014、1015上缠绕有由履带构成的清扫带1011。作为清扫带1011的磨料的一例，可采用铝、氧化铈，与液晶面板的玻璃基板相接触的表面，可以施以除去异物、防止对玻璃基板表面造成损伤等的处理。
另外，在清扫带1011的面向液晶面板的侧的相反侧，用于向液晶面板侧按压清扫带1011的送风装置1030被固定在底板1003上。另外，在该送风装置1030上，安装有用以确认传送面与清扫带的平行度的测量表1031。
在底板1003的一端侧安装有用于相对于侧框架1002可以转动地支撑底板1003的铰链轴1004。在底板1003的另一端侧，设有倾斜角度调节机构1005，用以对应于液晶面板的传送来设定并固定清扫带的滑动方向的倾斜角度。
以上，根据本实施方式的基板表面清扫装置100A(1000)，在沿Y方向传送液晶面板的状态下，清扫装置101(1010)固定，使具有该清扫装置10(1010)的清扫带11(1011)向相对于Y方向交叉的X方向连续滑动，从而，伴随着液晶面板的传送，经由清扫带11(1011)，除去液晶面板的玻璃基板整个表面的异物。
另外，由于能同时进行液晶面板的传送和异物除去，因此，能连续传送液晶面板，能缩短从液晶面板的玻璃基板表面除去异物所需要的流水作业时间。
另外，也可以将清扫带11(1011)的滑动方向与液晶面板的传送方向设置成相同方向，不过，这种情形时，考虑到所传送的液晶面板的宽度(沿与传送方向垂直的方向的长度)，必须准备较大宽度的清扫带而会招致清扫装置的大型化。不过，如上所述，通过采用使清扫带11(1011)向与液晶面板的传送方向交叉的方向连续滑动的结构，因此，能不论液晶面板的宽度大小如何而设定清扫带11(1011)的装置构成，另外，不会招致清扫带11(1011)的不必要的大型化，能谋求清扫装置的小型化。
实施方式2
在上述实施方式1的基板表面清扫装置100A中，对在基板支撑传送装置20的中央部上方设置1组基板清扫装置10的情形进行了说明。因此，为了进行液晶面板50两面的清扫处理，进行一面处理之后，必须翻转液晶面板再进行另外一面的处理。于是，在本实施方式的基板表面清扫装置中，采用的构成是，夹持所传送的基板来设置2组基板清扫装置，具体说是在基板支撑传送装置的大致中央部上方配置第1基板清扫装置，在基板支撑传送装置的大致中央部下方配置第2基板清扫装置。
以下，参照图6及图7，对本实施方式的基板表面清扫装置100B的构成进行说明。还有，图6是表示本实施方式的基板支撑传送装置100B的基本构成(概略)的正面示意图，图7是图6中VII-VII线向视剖面图。另外，对于与上述实施方式1的基板表面清扫装置100A相同或相当之处，使用相同的参照符号，不再重复说明。
参照图6及图7，在基板支撑传送装置20A的大致中央部上方配置第1基板清扫装置10A，在基板支撑传送装置的大致中央部下方配置第2基板清扫装置10B。在此，如图6所示，对基板清扫装置10A及基板清扫装置10B的驱动马达16的旋转方向进行控制，以使在液晶面板50上表面滑动的清扫带11的旋转方向(自从动导轮13向从动导轮14的方向)与在液晶面板50下表面滑动的清扫带11的旋转方向(从从动导轮14向从动导轮13的方向)不同。这样，使上下清扫带11的旋转方向相反，则在上下面产生的力可以相抵消，能消除对液晶面板50的传送所造成的不好影响。
另外，在基板支撑传送装置20A中，为了可靠支撑液晶面板50，由送入旋转辊21D及送出旋转辊22D支撑液晶面板50的下面侧，在送入旋转辊21D及送出旋转辊22D的相对向的液晶面板50上面侧位置配置送入旋转辊21U及送出旋转辊22U，使之与该送入旋转辊21D及送出旋转辊22D一起，夹着液晶面板50。
作用·效果
根据该构成，能同时对液晶面板50的两面实施清扫工序，因此可以大幅度地减少清扫工序所必需的流水作业时间。另外，不需要用于翻转液晶面板50的机构及空间，因此，可以使基板表面清扫装置100B自身的小型化。在液晶面板50大型化的情况下，效果更好。
还有，上述各实施方式中，对使用由履带式的环形带构成的清扫带11(1011)的情形进行了说明，不过，例如也可以如开式滚筒(open reel)那样，采用在将清扫带卷在一滚筒上的状态下，将清扫带11向另一滚筒卷绕的形式。
另外，作为基板表面清扫装置，对液晶面板的清扫的情形进行了说明，不过并不限于液晶面板，在进行板状基板表面清扫时可以广泛适用本发明。
因此，本次公开的上述实施方式全部是例示，不能成为限定的解释根据。本发明的技术范围不能仅仅由上述实施方式解释，而应根据专利技术方案范围来划定。并且涵盖与专利申请范围均等意思及范围内的所有变更。

Claims (5)

1.一种基板表面清扫装置，用于除去基板(50)表面所附着的异物等，其特征在于，包括：
支撑上述基板(50)、用于向第1方向传送上述基板(50)的基板支撑传送装置(20)以及具有清扫带(11)的清扫装置(10)，
上述清扫带(11)，在向上述第1方向传送上述基板(50)的状态下，沿上述基板(50)表面向在相对于上述第1方向交叉的第2方向上连续滑动，而除去上述基板(50)表面所附着的异物等。
2.根据权利要求1所述的基板表面清扫装置，其特征在于：上述清扫装置(10)被设置2组，以便从两面侧夹持由上述基板支撑传送装置(20)传送的上述基板(50)。
3.根据权利要求1所述的基板表面清扫装置，其特征在于：上述清扫带(11)为环形带。
4.根据权利要求1所述的基板表面清扫装置，其特征在于：在上述清扫带(11)的与面对上述基板(50)一侧的相反侧，设有用于向上述基板(50)侧按压上述清扫带(11)的按压装置(30)。
5.根据权利要求4所述的基板表面清扫装置，其特征在于：上述按压装置(30)包含用于向上述清扫带(11)吹空气的送风装置。
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