KR20030069044A - 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치 - Google Patents

배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치 Download PDF

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KR20030069044A
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고미츠기오
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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern

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Abstract

본 발명의 목적은, 신뢰성이 높은 제품을 제조할 수 있는 액체의 제거를 행하는 것에 있다.
배선 기판의 제조 방법은, 기판(10)의 표면에 액체(22)를 공급하고, 기판(10) 표면의 액체(22)의 적어도 일부를 제거하는 것을 포함하고, 액체(22)의 제거 공정에서, 기판(10)의 각 표면에 접촉한 한쌍의 롤러를 기판(10)에 대해서 상대적으로 이동시켜 액체(22)를 제거한다.

Description

배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치{MANUFACTURING METHOD AND MANUFACTURING DEVICE OF WIRING BOARD}
본 발명은 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것이다.
배선 기판의 제조 방법에서는, 물, 산 또는 알칼리 등의 액체를 배선 기판의 표면에 공급한다. 그 후, 배선 기판은 액체를 제거한 후 세정한다. 종래, 액체의 제거는 에어를 내뿜음으로써 행하고 있었다.
그러나, 종래의 방법에서는, 대량의 에어를 내뿜기 때문에, 제조 장치가 대규모로 되어 버려서 그 취급이 번잡하였다. 또, 대량의 에어를 내뿜음으로써 배선 기판의 산화가 촉진되어, 품질이 열화하는 경우가 있었다.
본 발명의 목적은, 신뢰성이 높은 제품을 제조할 수 있는 액체의 제거를 행하는 것에 있다.
(1) 본 발명에 관한 배선 기판의 제조 방법은, 기판의 표면에 액체를 공급하고, 상기 기판의 표면의 상기 액체의 적어도 일부를 제거하는 것을 포함하고,
상기 액체의 제거 공정에서, 상기 기판의 각 표면에 접촉한 한쌍의 롤러를, 상기 기판에 대해서 상대적으로 이동시켜, 상기 액체의 적어도 일부를 제거한다.
본 발명에 의하면, 롤러를 사용하기 때문에, 간단히 기판 표면의 액체의 적어도 일부를 제거할 수 있다. 또, 배선 기판을 액체를 제거할 정도로 사이에 끼울 뿐이므로, 배선의 산화를 촉진하는 경우도 없어, 배선 기판의 품질이 열화하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 높은 제품을 제조할 수 있다.
(2) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 액체의 제거 공정을, 상기 액체의 공급 공정 후에 연속하여 행하여도 된다.
(3) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 기판은 장척 형상을 이루고,
상기 기판을, 상기 액체의 공급 공정을 행하는 액체 공급 섹션과, 상기 액체의 제거 공정을 행하는 액체 제거 섹션을 포함하는 영역에서 릴 ·투 ·릴 반송하여도 된다.
이것에 의하면, 배선 기판의 제조 공정을 컨베이어 시스템으로 행할 수 있기 때문에, 생산 효율이 향상하여, 제조 비용을 삭감할 수 있다.
(4) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 액체의 제거 공정은, 상기 롤러에 의해 상기 액체를 제거한 후에 상기 기판에 에어를 내뿜음으로써, 상기 기판 상의 상기 액체의 적어도 일부를 제거하는 것을 포함하여도 된다.
이것에 의해, 보다 확실하게 액체를 제거할 수 있다.
(5) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 기판은 배선을 갖고,
상기 롤러에서의 상기 기판과의 접촉면은 상기 배선의 재료보다도 연한 재료로 형성되어도 된다.
이것에 의해, 배선을 손상시키지 않고, 액체를 제거할 수 있다.
(6) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 액체의 제거 공정 후에, 상기 기판을 세정하는 것을 더 포함하여도 된다.
(7) 본 발명에 관한 배선 기판의 제조 장치는, 기판의 표면에 액체를 공급하는 액체 공급 섹션과,
상기 기판의 표면의 상기 액체의 적어도 일부를 제거하는 액체 제거 섹션과,
상기 액체 제거 섹션에 배치되어, 상기 기판의 각 표면에 접촉하는 한쌍의 롤러를 포함하고,
상기 롤러는, 상기 기판에 대해서 상대적으로 이동하여, 상기 기판 상의 상기 액체의 적어도 일부를 제거한다.
본 발명에 의하면, 롤러를 사용하여, 간단히 기판 표면의 액체의 적어도 일부를 제거할 수 있다. 또, 배선 기판을, 액체를 제거할 정도로 사이에 끼울 뿐이므로, 배선의 산화를 촉진하는 경우도 없어, 배선 기판의 품질이 열화하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 높은 제품을 제조할 수 있다.
(8) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 액체 제거 섹션은, 상기 액체 공급 섹션에 대해서, 상기 기판의 반송 방향의 하류측에 연속적으로 배치되어도 된다.
(9) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 기판은 장척 형상을 이루고,
상기 액체 공급 섹션 및 상기 액체 제거 섹션을 포함하는 영역에서 릴 ·투·릴 반송하기 위한 상기 기판이 놓여지는 한쌍의 릴을 더 포함하여도 된다.
이것에 의하면, 배선 기판의 제조 공정을 컨베이어 시스템으로 행할 수 있기 때문에, 생산 효율이 향상하여, 제조 비용을 삭감할 수 있다.
(10) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 액체 제거 섹션에는 상기 기판으로의 에어 분출부가 설치되어도 된다.
이것에 의해, 보다 확실하게 액체를 제거할 수 있다.
(11) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 에어 분출부는, 상기 롤러에 대해서, 상기 기판의 반송 방향의 하류측에 배치되어도 된다.
이것에 의해, 예를 들면, 롤러를 사용하여도, 기판 상에 액체가 남는 경우에, 그 액체의 적어도 일부를 제거할 수 있다.
(12) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 기판은, 배선을 갖고,
상기 롤러에서의 상기 기판과의 접촉면은 상기 배선의 재료보다도 연한 재료로 형성되어도 된다.
이것에 의해, 배선을 손상시키지 않고, 액체를 제거할 수 있다.
(13) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 액체 제거 섹션에 대해서, 상기 기판의 반송 방향의 하류측에, 상기 기판을 세정하는 세정 섹션을 더 포함하여도 된다.
이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 기판을, 상기 액체 공급 섹션 및 상기 액체 제거 섹션의 사이에서, 거의 수평 방향으로 릴 ·투 ·릴 반송하여도 된다.
이것에 의하면, 거의 수평 방향으로 반송하는 경우에는, 반송 중에 있어서 액체가 기판으로부터 유출되지 않고 머무르는 경우가 많지만, 롤러를 사용하면 간단히 액체를 제거할 수 있다.
이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 액체의 제거 공정에서, 상기 롤러에 의해서 상기 액체를 제거한 후에, 상기 에어를 내뿜어도 된다.
이것에 의해, 예를 들면, 롤러를 사용하여도, 기판 상에 액체가 남는 경우에, 그 액체의 적어도 일부를 제거할 수 있다.
이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 액체의 공급 공정에서, 상기 액체를 상기 기판에 산포하여도 된다.
이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 액체 공급 섹션 및 상기 액체 제거 섹션의 사이에서, 거의 수평 방향으로 릴 ·투 ·릴 반송되어도 된다.
이것에 의하면, 거의 수평 방향으로 반송하는 경우에는, 반송 중에 있어서 액체가 기판으로부터 유출되지 않고 머무르는 경우가 많지만, 롤러를 사용하면 간단히 액체를 제거할 수 있다.
이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 액체 공급 섹션에는 상기 액체를 상기 기판에 산포하는 노즐이 설치되어도 된다.
도 1은 본 발명을 적용한 제1 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면,
도 2는 본 발명을 적용한 제2 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면,
도 3은 본 발명을 적용한 실시 형태에 관한 전자 기기를 도시하는 도면,
도 4는 본 발명을 적용한 실시 형태에 관한 전자 기기를 도시하는 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판12 : 릴
14 : 릴20 : 액체 공급 섹션
22 : 액체24 : 노즐
30 : 액체 제거 섹션32 : 롤러
34 : 롤러36 : 분출부
38 : 에어40 : 세정 섹션
130 : 액체 제거 섹션
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 단, 본 발명은 이하의 실시 형태에 한정되지 않는다.
(제1 실시 형태)
도 1은 본 발명을 적용한 제1 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면이다. 먼저, 배선 기판의 제조 장치에 대해 설명한다.
제조 장치(1)는 기판(10)의 웨트(습식) 처리에 사용된다. 웨트 처리의 형태는 한정되지 않는다. 예를 들면, 포토리소그래피 기술에서의 현상 공정, 배선 기판의 표면 처리(도금 처리), 웨트 에칭, 레지스트의 용해(박리), 세정 공정 등을 들 수 있다.
기판(10)은, 플렉시블 기판(가요성 기판)이고, 유기계의 재료(예를 들면 폴리이미드)로 구성되는 경우가 많다. 기판(10)은, 웨트 처리의 형태에 따라 그 구성이 다르고, 예를 들면 배선이 되는 재료를 가져도 된다. 기판(10)은 COF(Chip On Film)용 기판이나 TAB(Tape Automated Bonding)용 기판이어도 된다.
제조 장치(1)에서는, 기판(10)이 다수의 릴(12, 14)에 놓여져 반송되는 말하자면 릴 ·투 ·릴 반송 방식이 적용되고 있다. 즉, 제조 장치(1)는 한쌍의 릴(12, 14)을 포함한다.
제조 장치(1)는 배선 기판(또는 반도체 장치)의 제조 라인의 일부이어도 된다. 즉, 릴 ·투 ·릴 반송 방식에 의해, 본 실시 형태에서 나타내는 공정(액체의공급, 제거, 세정 공정)과 병렬하여(전후의 공정으로서) 다른 공정을 행하여도 된다.
기판(10)은 장척 형상(또는 테이프 형상)을 이룬다. 기판(1)은 1개의 제조 라인(제조 장치(1)를 포함함)의 양측의 최단부에 배치되는 한쌍의 릴(12, 14)에 의해서 롤 형상으로 감겨진다. 도 1에 도시하는 예에서는, 릴(12)로부터 기판(10)을 송출하고, 릴(14)에 기판(10)을 감고 있다. 기판(10)은, 릴(12, 14)의 사이에서, 기판(10)의 길이 방향으로 반송된다. 릴(12, 14)은 적어도 기판(10)의 폭 방향의 양단부와 접촉하고 있다. 릴(12, 14)은, 스프로킷을 기판(10)의 폭 방향의 양단부의 구멍에 끼움으로써 반송하여도 되고, 스프로킷없이 반송하여도 된다. 릴 ·투 ·릴 반송에 의하면, 배선 기판의 제조 공정을 컨베이어 시스템으로 행할 수 있으므로, 생산 효율이 향상하여, 제조 비용을 삭감할 수 있다.
제조 장치(1)는, 기판(10)의 표면에 액체(22)를 공급하는 액체 공급 섹션(20)과, 기판(10) 표면의 액체(22)의 적어도 일부를 제거하는 액체 제거 섹션(30)을 포함한다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 1개의 제조 라인(릴·투·릴 반송인지를 묻지 않음) 상에 액체 공급 및 액체 제거 섹션(20, 30)이 배치되는 경우에는, 액체 제거 섹션(30)은 액체 공급 섹션(20)에 대해서 기판(10)의 반송 방향의 하류측에 배치된다. 도 1에 도시하는 예에서는, 액체 공급 및 액체 제거 섹션(20, 30)은 그들 사이에 다른 섹션(다른 공정)없이, 연속적으로 배치되어 있다.
기판(10)은, 액체 공급 및 액체 제거 섹션(20, 30)의 사이에서, 릴 ·투 ·릴 반송된다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 기판(10)은 액체 공급 및 액체 제거 섹션(20, 30)의 사이에서 거의 수평 방향으로 반송되어도 된다. 이렇게 함으로써, 기판(10)을 가능한 한 굴곡시키지 않고 반송할 수 있기 때문에, 기판(10)에 응력이 가해지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 기판(10)을 액체 공급 및 액체 제거 섹션(20, 30)의 사이에서 거의 수평으로 반송하는 경우에는, 반송 중에 있어서 액체(22)가 기판(10)으로부터 유출되지 않고 머무르는 경우가 많지만, 본 실시 형태를 적용함으로써 간단히 액체(22)의 적어도 일부를 제거하는 것이 가능하게 된다.
도 1에 도시하는 예에서는, 액체 공급 섹션(20)에는, 적어도 기판(10) 중 웨트 처리를 실시하는 표면을 향해서, 액체(22)를 공급하는 1개 또는 다수(도 1에서는 3개)의 노즐(24)이 설치되어 있다. 즉, 기판의 위쪽 또는 아래쪽에 노즐(24)이 설치되어도 된다. 여기에서, 액체(22)는 웨트 처리의 형태에 따라 그 성분이 결정되고, 예를 들면 알칼리성의 용액, 산성의 용액 또는 물 등이어도 된다.
노즐(24)은 액체(22)를 기판(10)의 표면에 산포한다. 예를 들면, 노즐(24)에 의해, 액체(22)를 안개 형상(액체 물방울 형상)으로 분출하여도 된다. 혹은, 액체(22)의 공급 방법은 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 액체(22)를 기판(10)의 표면에 도포한다든지, 기판(10)을 액체(22)에 침지시켜 기판(10)의 표면을 처리한다든지 하여도 된다.
도 1에 도시하는 예에서는, 기판(10)의 한쪽의 표면에 액체(22)를 공급한다. 예를 들면, 기판(10)의 배선이 형성되는 표면에 액체(22)를 공급하여도 된다. 혹은, 기판(10)의 양쪽의 면에 액체(22)를 공급하여도 된다. 그 경우에는, 기판(10)의 각 면의 측에 노즐(24)이 배치된다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 액체 제거 섹션(30)에는, 기판(10)의 양쪽의 주 표면에 접촉하는 한쌍의 롤러(32, 34)가 배치되어 있다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 롤러(32, 34)는, 기판(10)에 대해서 상대적으로, 기판(10)의 표면과 접촉하면서 이동함으로써, 회전하도록 되어 있다. 기판(10)이 롤러(32, 34)의 사이를 통과하고, 롤러(32, 34)가 기판(10)과 접촉함으로써, 기판(10) 표면의 액체(22)의 적어도 일부가 제거된다. 즉, 기판(10)의 액체를 적어도 일부 없앨 수 있다.
도 1에 도시하는 예에서는, 기판(10)의 제1 면에 롤러(32)가 배치되고, 기판(10)의 제1 면의 안쪽측의 제2 면에 롤러(34)가 배치되어 있다. 각 롤러(32, 34)는 기판(10)의 평면에서 보았을 때에 겹쳐지는 위치에 배치되어 있다. 롤러(32, 34)는 기판(10)의 표면과 거의 선 접촉하도록 되어 있다. 이렇게 함으로써, 상대적으로 롤러(32, 34)를, 기판(10)에 대해서, 기판(10)의 표면에서의 선 접촉하는 방향과 직교 방향으로 이동시켜, 기판(10)의 표면의 액체(22)를 제거할 수 있다. 롤러(32, 34)의 폭(롤러의 축 방향의 폭)은 기판(10)의 폭보다도 넓은 쪽이 바람직하지만, 그 크기는 한정되지 않는다.
도 1에 도시하는 예에서는, 기판(10)이 릴 ·투 ·릴 반송됨으로써, 기판(10)과 롤러(32, 34)가 상대적으로 이동 가능하게 되어 있다. 그 경우, 액체 제거 섹션(30)에서의 롤러(32, 34)의 위치는 기판(10)의 길이 방향으로 위치가 고정되어 있어도 좋고, 혹은 기판(10)의 반송 방향과 역방향으로 이동 가능하여도 된다. 또, 롤러(32, 34)는 기판(10)의 표면에 직교하는 방향으로 위치를 조절할 수있는 것이어도 된다. 이것에 의해, 기판(10)의 두께에 따라, 롤러(32, 34) 사이의 폭을 조절할 수 있다.
각 롤러(32, 34)는 도 1에 도시하는 바와 같이 동일 형태(예를 들면 동일한 직경 및 폭)이어도 되고, 혹은 다른 형태(예를 들면 다른 직경 또는 폭)이어도 된다.
롤러(32, 34)에서의 기판(10)과의 접촉면은 기판(10)에 형성되는 배선(예를 들면 구리)보다도 연한 재료(예를 들면 플라스틱(PET 수지 등))로 형성되어도 된다. 상세하게는, 롤러(32, 34) 중, 기판(10) 상의 배선의 재료(예를 들면 도전박)와 접촉하는 부분(예를 들면 롤러(32)의 표면)은 배선보다도 연한 재료로 형성되어도 된다. 이렇게 함으로써, 배선을 손상시키지 않고, 액체(22)의 적어도 일부를 제거할 수 있다.
롤러(32, 34)에서의 기판(10)과의 접촉면은, 기판(10) 상의 요철(예를 들면 배선의 재료와 기재(基材)에 의해서 형성되는 요철)의 사이에 밀착할 정도로, 탄력성을 갖는 재료로 형성되어도 된다. 이렇게 함으로써, 보다 확실하게 기판(10)으로부터 액체(22)를 제거할 수 있다.
또한, 도 1과는 별도로, 액체 제거 섹션(30)에 다수쌍을 이루는 다수의 롤러(32, 34)가 배치되어도 된다. 그 경우, 각 쌍의 롤러(32, 34)는 기판(10)의 반송 방향으로 나열된다.
도 1에 도시하는 예에서는, 제조 장치(1)는 기판(10)을 세정하는 세정 섹션(40)을 포함한다. 세정 섹션(40)은, 액체 제거 섹션(30)에 대해서, 기판(10)의 반송 방향의 하류측에 배치되어 있다. 세정 섹션(40)에서는, 액체 제거 섹션(30)을 통과한 기판(10) 상에 액체(22)의 일부가 남은 경우에, 기판(10) 상의 남은 액체(22)를 거의 완전히 제거하기 위해서, 기판(10)을 세정(예를 들면 물 세정)한다. 이것에 의하면, 앞 공정의 액체 제거 섹션(30)에서 액체(22)의 적어도 일부를 제거하기 때문에, 세정 섹션(30)에서의 세정액의 양을 적게 할 수 있다. 이것에 의해, 세정 섹션(30)의 구조도 간단히 할 수 있다.
본 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 장치는, 상술한 바와 같이 구성되어 있고, 이하에, 상술한 제조 장치(1)를 사용한 배선 기판의 제조 방법을 설명한다. 또한, 이하의 배선 기판의 제조 방법의 사항에는 상술한 내용으로부터 인도되는 어느 하나의 사항을 선택적으로 적용하여도 된다.
본 실시 형태에 관한 제조 방법은, 상술한 웨트 처리의 공정을 포함한다. 본 실시 형태에서는, 웨트 처리의 형태로서, 기판(10) 상의 레지스트(예를 들면 배선을 형성하기 위한 마스크로서의 레지스트)를 용해(박리)시키는 예를 설명한다. 또한, 본 실시 형태에 관한 제조 방법은 이 예에 한정되는 것은 아니다.
먼저, 기재(예를 들면 폴리이미드)에 도전박(예를 들면 구리박)이 설치된 기판(10)을 준비한다. 도전박은, 기재의 한쪽면(상술한 표측면)의 전체에, 예를 들면 접착제로 부착되어 있다. 그리고, 기판(10)에 감광성을 갖는 레지스트를 형성하고, 레지스트를 소정의 패터닝 형상의 마스크를 통해서 노광하여 현상한다. 그 후, 도전박에서의 레지스트로부터 노출하는 부분에 에천트(에칭액)를 진행시켜, 에칭을 행한다. 이렇게 해서, 기판(10)에는 소정 형상의 배선이 형성되고, 배선 상에는 레지스트가 남는다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 이와 같은 기판(10)을 릴(12, 14)에 놓아 릴 ·투 ·릴 반송시킨다. 그리고, 액체 공급 섹션(20)에서, 기판(10)에 상술한 레지스트를 용해시키기 위한 액체(22)(예를 들면 알칼리성의 용액)를 공급한다. 도 1에 도시하는 예에서는, 스프레이 방식을 적용하여, 기판(10)에 액체(22)를 공급한다. 액체(22)를 공급함으로써, 기판(10) 상의 레지스트는 용해하고, 기판(10) 상에는 액체(22)가 남는다.
다음에, 기판(10)을 액체 제거 섹션(30)으로 반송시키고, 롤러(32, 34)에 의해, 기판(10) 상에 남는 액체(22)의 적어도 일부를 제거한다. 상세하게는, 롤러(32, 34)를 기판(10)에 접촉시킴으로써, 기판(10) 상의 액체(22)의 적어도 일부를 제거한다. 그 경우, 롤러(32, 34)에 의해, 기판(10) 상의 액체(22) 중, 배선의 표면에 남는 일부를 제거하여도 된다. 혹은, 기판(10) 상의 엑체(22) 중, 배선의 표면에 남는 일부뿐만 아니라, 배선 사이의 기재의 표면에 남는 일부도 제거하여도 된다. 그 후, 필요에 따라, 기판(10)을 세정 섹션(40)에 반송시키고, 기판(10)을 세정하여, 액체(22)를 거의 완전하게 제거한다.
이렇게 해서, 기판(10)에 소정 형상의 다수의 배선을 형성하여, 배선 기판을 제조할 수 있다. 그 후, 장척 형상의 배선 기판에는, 반도체 칩 등의 전자 부품이 탑재되고, 소정 영역에서 개편화(個片化)된다.
또한, 각 공정의 상세한 설명은 상술한 제조 장치에서의 각 섹션에서 설명한 바와 같다.
본 실시 형태에 의하면, 롤러(32, 34)를 사용하기 때문에, 간단히 기판(10) 상의 액체(22)의 적어도 일부를 제거할 수 있다. 또, 배선 기판을, 액체(22)를 제거할 정도로 사이에 끼울 뿐이므로, 산화를 촉진하는 경우도 없어, 배선 기판의 품질이 열화하는 것을 방지할 수 있다. 특히, 액체(22)로서 알칼리나 산의 용액을 사용한 경우에는, 에어를 내뿜는 공정을 수반하면, 배선 기판의 산화가 촉진되어 버리기 때문에, 본 실시 형태를 적용하는 것이 효과적이다. 따라서, 신뢰성이 높은 제품을 제조할 수 있다.
(제2 실시 형태)
도 2는, 본 발명을 적용한 제2 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면이다. 본 실시 형태에서는, 액체 제거 섹션(130)의 형태가 상술한 것과 다르다. 이하의 설명에서는, 상술한 내용으로부터 인도되는 어느 하나의 사항을 선택적으로 적용할 수 있다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 액체 제거 섹션(130)에는, 상술한 롤러(32, 34)와, 에어(38)를 분출하기 위한 분출기를 갖는다. 분출기는 에어 나이프이어도 된다. 분출기는 1개 또는 다수(도 2에서는 1개)의 에어(38)의 분출부(36)를 갖는다. 분출부(36)는 기판(10)의 적어도 한쪽면에 에어(38)를 내뿜는다. 에어를 내뿜음으로써 액체(22)를 날려서 제거할 수 있다. 이것에 의하면, 롤러(32, 34)와 병용하기 때문에, 에어(38)의 분출만으로서 액체(22)를 제거하는 것보다도 에어(38)의 양이 적어진다. 따라서, 배선 기판이 산화하는 것을 방지할 수 있다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 에어(38)의 분출부(36)는 롤러(32, 34)에 대해서 기판(10)의 반송 방향의 하류측에 배치되어도 된다. 이것에 의해, 예를 들면, 롤러(32, 34)를 사용하여도, 기판(10) 상에 액체(22)가 남는 경우에, 그 액체(22)의 적어도 일부를 제거할 수 있다.
본 실시 형태에서도 상술한 효과를 달성할 수 있고, 보다 확실하게, 기판(10) 상의 액체(22)를 제거할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서의 배선 기판의 제조 방법의 구성 및 효과는 상세한 설명으로부터 인도될 수 있기 때문에 생략한다.
본 발명의 실시 형태에 관한 배선 기판을 갖는 전자 기기로서, 도 3에는 노트형 퍼스널 컴퓨터(200)가 도시되고, 도 4에는 휴대 전화(300)가 도시되어 있다.
본 발명은, 상술한 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 다양한 변형이 가능하다. 예를 들면, 본 발명은 실시 형태에서 설명한 구성과 실질적으로 동일한 구성(예를 들면, 기능, 방법 및 결과가 동일한 구성, 혹은 목적 및 결과가 동일한 구성)을 포함한다. 또, 본 발명은 실시 형태에서 설명한 구성의 본질적이지 않은 부분을 치환한 구성을 포함한다. 또, 본 발명은 실시 형태에서 설명한 구성과 동일한 작용 효과를 이루는 구성 또는 동일 목적을 달성할 수 있는 구성을 포함한다. 또, 본 발명은 실시 형태에서 설명한 구성에 공지 기술을 부가한 구성을 포함한다.
본 발명에 의하면, 롤러를 사용하기 때문에, 간단히 기판 표면의 액체의 적어도 일부를 제거할 수 있다. 또, 배선 기판을 액체를 제거할 정도로 사이에 끼울 뿐이므로, 배선의 산화를 촉진하는 경우도 없어, 배선 기판의 품질이 열화하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 높은 제품을 제조할 수 있다.

Claims (13)

  1. 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
    기판의 표면에 액체를 공급하고, 상기 기판의 표면의 상기 액체의 적어도 일부를 제거하는 것을 포함하고,
    상기 액체의 제거 공정에서, 상기 기판의 각 표면에 접촉한 한쌍의 롤러를, 상기 기판에 대해서 상대적으로 이동시켜, 상기 액체의 적어도 일부를 제거하는 것인 배선 기판의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 액체의 제거 공정을, 상기 액체의 공급 공정 후에 연속하여 행하는 것인 배선 기판의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판은 장척 형상을 이루고,
    상기 기판을, 상기 액체의 공급 공정을 행하는 액체 공급 섹션과, 상기 액체의 제거 공정을 행하는 액체 제거 섹션을 포함하는 영역에서 릴 ·투 ·릴 반송하는 것인 배선 기판의 제조 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 액체의 제거 공정은, 상기 롤러에 의해 상기 액체를 제거한 후에 상기 기판에 에어를 내뿜음으로써, 상기 기판 상의 상기 액체의 적어도 일부를 제거하는 것을 포함하는 것인 배선 기판의 제조 방법.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판은 배선을 갖고,
    상기 롤러에서의 상기 기판과의 접촉면은 상기 배선의 재료보다도 연한 재료로 형성되어 이루어지는 것인 배선 기판의 제조 방법.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 액체의 제거 공정 후에, 상기 기판을 세정하는 것을 더 포함하는 것인 배선 기판의 제조 방법.
  7. 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
    기판의 표면에 액체를 공급하는 액체 공급 섹션과,
    상기 기판의 표면의 상기 액체의 적어도 일부를 제거하는 액체 제거 섹션과,
    상기 액체 제거 섹션에 배치되어, 상기 기판의 각 표면에 접촉하는 한쌍의 롤러를 포함하고,
    상기 롤러는, 상기 기판에 대해서 상대적으로 이동하여, 상기 기판 상의 상기 액체의 적어도 일부를 제거하는 것인 배선 기판의 제조 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 액체 제거 섹션은, 상기 액체 공급 섹션에 대해서, 상기 기판의 반송 방향의 하류측에 연속적으로 배치되어 이루어지는 것인 배선 기판의 제조 장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 기판은 장척 형상을 이루고,
    상기 액체 공급 섹션 및 상기 액체 제거 섹션을 포함하는 영역에서 릴 ·투 ·릴 반송하기 위한 상기 기판이 놓여지는 한쌍의 릴을 더 포함하는 것인 배선 기판의 제조 장치.
  10. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 액체 제거 섹션에는, 상기 기판으로의 에어 분출부가 설치되어 이루어지는 것인 배선 기판의 제조 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 에어 분출부는, 상기 롤러에 대해서, 상기 기판의 반송 방향의 하류측에 배치되어 이루어지는 것인 배선 기판의 제조 장치.
  12. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 기판은 배선을 갖고,
    상기 롤러에서의 상기 기판과의 접촉면은 상기 배선의 재료보다도 연한 재료로 형성되어 이루어지는 것인 배선 기판의 제조 장치.
  13. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 액체 제거 섹션에 대해서, 상기 기판의 반송 방향의 하류측에, 상기 기판을 세정하는 세정 섹션을 더 포함하는 것인 배선 기판의 제조 장치.
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