1292920 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（1 ) 〔技術背景〕 本發明係有關配線基板之製造方法及製造裝置。 配線基板之製造方法保持水、酸還有鹼等液體供向配 線基板的表面。其後，將此配線基板表面之液體除去之後 洗淨。往常，液體之去除係以吹氣法來進行。 但是，在以往的方法中，因爲需要大量的空氣來吹趕 ，製造裝置將變成大規模，而此裝置之操作將變成複雜。 另外，因爲大量空氣之吹趕，將促進配線基板之氧化，導 致品質劣化。 【爲解決問題之手段】 本發明之目的係爲能製造高信賴性製品而進行之液體 去除工作。 (1) 本發明相關之配線基板的製造方法係包含基板 之表面上供給液體、及至少將前述基板表面之前述液體的 一部分去除之工程；在前述液體的去除工程中，將接觸於 前述基板之各表面之一對滾輪，對稱於前述基板而使其移 動，而至少能去除前述液體之一部分。 根據本發明，因爲使用滾輪，能簡單地至少去除基板 表面液體之一部分。另外，因爲對於配線基板，只有作去 除液體程度之挾持，所以不會造成配線之氧化，故配線基 板之品質將能防止劣化。因此能製造出高信賴度之製品。 (2) 在此配線基板之製造方法中，也可以將前述液 體之除去工程連續進行於前述液體之供給工程之後。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4 - 1292920 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7_五、發明説明（2 ) (3 )在此配線基板之製造方法中，也可以將前述基 板，在包含進行前述液體之供給工程之液體供給部分與進 行去除前述液體之液體去除部分之範圍內，以滑輪對滑輪 來運送。 藉此，因爲以流程作業來進行配線基板之製造工程， 所以生產效率能提升，也能降低製造成本。 (4 )在此配線基板之製造方法之中，前述液體之去 除工程也可以包含藉由在利用前述滾筒將前述液體去除之 後，以空氣噴吹於前述基板，而至少將前述基板上之前述 液體之一部分去除。 藉此，能更確實地去除液體。 (5 )在此配線基板之製造方法中，前述基板因有配 線，所以在前述滾筒中與前述基板之接觸面也可以以較前 述配線之材料更柔軟之材料來形成。 藉此，不會損傷配線，也能將液體去除。 (6 )在此配線基板之製造方法中，也可以再包含於 前述液體之去除工程後，將前述基板洗淨之工程。 (7)有關本發明之配線基板的製造裝置係包含在基 板表面供給液體之液體供給部分、至少去除前述基本板表 面之前述液體之液體去除部分及配置於前述液體去除部分 而接觸於前述基板各表面之一對滾筒；前述滾筒係對前述 基板作對稱的移動，能至少去除前述基板上之前述液體的 一部分。 藉此，本發明將使用滾筒能簡單地至少去除一部分基 ---u——r__II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 1292920 A7 B7 經濟部智慧財產局員、工消費合作社印製 五、發明説明（3 ) 板表面的液體。另外，因爲只將配線基板作去除液體程度 之挾持，所以不會促成配線之氧化，而能防止配線基板品 質之劣化。所以，可以製造出信賴性高之製品。 (8 )在此配線基板之製造裝置中，前述液體去除部 分也可以針對前述液體供給部分，連貫地配置在前述基板 運送方向之下游方向。 (9 )在此配線基板之製造裝置中，前述基板係爲長 方形外，還可以包含爲了在前述液體供給部分及前述液體 去除部分的範圍內滑輪對滑輪運送，而跨過基板所懸掛之 一對滑輪。 藉此，因爲使配線基板之製作工程以流程作業來進行 ，而能使生產效率提升，並削減製造之成本。 (10 )在此配線基板之製造裝置中，於前述液體去除 部分，也可以設置向前述基板噴吹空氣之噴吹部。 藉此，能更確實地將液體去除。 (11) 在此配線基板之製造裝置中，前述空氣之噴吹 部，也可以配置在相對於前述滾筒之前述基板的運送方向 下游方向。 藉此，例如就算使用滾筒後，於基板上残留有液體之 情形，至少也能去除該液體之一部分。 (12) 在此配線基板之製造裝置中，前述基板具有配 線，而前述滾筒中與前述基板之接觸面，可以採用較前述 配線材料更軟的材料來形成。 藉此，能夠不損傷配線，並將液體去除。 ---J---!---^ 裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 1292920 A7 __ B7 五、發明説明（4 ) (1 3 )在此配線基板之製造裝置中，還可以包含在前 述液體去除部分在前述基板之運送方向之下游側，將前述 基板洗淨之洗淨部分。 在此配線基板之製造方法中，也可以將前述基板在前 述液體供給部分及前述液體去除部分之間，在近乎水平方 向滑輪對滑輪地運送。 藉此，雖然在近乎水平方向運送之情形，於運送中液 體不從基板流出而淤積之情形很多，若使用滾筒將能簡單 地將液體去除。 在此配線基板之製造方法中，也可以於前述液體之去 除工程中，在藉由前述滾筒去除前述液體之後，以前述空 氣再噴吹。 藉此，例如就算在使用滾筒，液體残留在基板上的情 形下，至少也能去除該液體之一部分。 在前述液體之供給工程中，也可以將前述液體散布在 前述基板上。 在此配線基板之製造裝置中，也可以在前述液體供給 部分及前述液體去除部分之間，在近乎水平方向滑輪對滑 輪地運送。 藉此，雖然在近乎水平方向運送之情形；於運送中液 體不從基板流出而淤積之情形很多，若使用滾筒將能簡單 地將液體去除。 在此配線基板之製造裝置中，於前述液體供給部分， 也可以設置將前述液體散布在前述基板之噴嘴。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1292920 A7 _____B7 _ 五、發明説明（5 ) 【圖示說明】 第1圖係顯示適用於本發明之有關第1實施形態的配 線基板之製造方法及製造裝置。 第2圖係顯示適用於本發明之有關第2實施形態的配 線基板之製造方法及製造裝置。 第3圖係顯示適用於本發明之有關實施形態之電子機 器。 第4圖係顯示適用於本發明之有關實施形態之電子機 器。 【圖號說明】 10 基板 12 滾輪 14 滾輪 20 液體供給部分 22 液體 24 噴嘴 30 液體去除部分 32 滾筒 34 滾筒 36 噴吹部 38 空氣 40 洗淨部分 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） --------批衣----：IT (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -8- 1292920 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（6 ) 130 液體去除部分 【發明之實施形態】 以下將參照圖面說明本發明之實施形態。但是，本發 明並不單只局限於以下之實施形態。 〔第1實施形態〕 第1圖係顯示適用於本發明有關第1實施形態之配線 基板的製造方法及製造裝置。首先，將說明有關配線基板 之製造裝置。 製造裝置1係使用於基板10之濕式處式。濕式處理 之形態並沒有限定。例如，可舉出如在光顯微技術下之顯 影工程，配線基板之表面處（電鍍處理），濕式腐蝕、光 阻之溶解（剝離）、洗淨工程等。 基板10爲撓性基板（可彎性基板），大多由有機系 之材料（例如聚銑亞氨）所構成。基板10係針對濕式處 理之形態使其構造有所不同，例如也可以爲成爲配線之材 料，基板10也可用爲COF (薄膜晶片）用基板或TAB ( Tape Automated Bonding)用基板。 在製造裝置1中，基板10係適用懸掛於複數滑輪12 、14來運送之所謂滑輪對滑輪之運送方式。也就，製造 裝置1係包含一對滑輪12、14。 製造裝置1也可以爲配線基板（或者半導體裝置）之 製造線之一部分。也就是，藉由滑輪對滑輪之運送方式， ---^---r------Ί--IT------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 1292920 A7 B7 五、發明説明（7 ) 與本實施形態所顯示之工程（液體的供給、去除、洗淨工 程）並列，來進行其他工程。 基板10係爲長條狀（或者膠布狀）。基板10係藉由 配置在1個製造線（包含製造裝置1 )兩側最尖端部之一 對滑輪12、14而被捲成滾筒狀。在第1圖所顯示之例子 中，將基板1 〇從滑輪1 2送出，而將基板10卷取於滑輪 14中。基板10係在滑輪12、14之間運送往基板10之長 方向。而滑輪12、14至少與基板10之寬方向的兩端接觸 滑輪12、14也可以用將帶齒捲盤嵌入於基板10之寬方向 兩端的孔中來運送，也可以不使用帶齒捲盤來運送。 藉由滑輪對滑輪之運送，因爲將配線基板之製造工程 以流程作業來進行，所以能提升生產效率，並削減製造成 本。 經濟部智慧財4局g(工消費合作社印製 製造裝置1係包含在基板10表面供給液體22之液體 供給部分20與至少將基板10表面之一之部分液體去除之 液體去除部分30。如第1圖所示，在一個製造（不管有 沒有用滑輪對滑輪運送）上，於配置有液體供給及液體去 除部分20、30的情形，液體去除部分30係相對於液體供 給部分20，配置在基板10運送方向之下游側。在第1圖 所顯示的例子中，在液體供給及液體去除部分20、30之 間沒有其他部分（其他工程），而被連續地設置。 基板10係在液體供給及液體去除部分20、30之間， 以滑輪對滑輪的運送。第1圖所示，基板1 〇也可以在液 體供給及液體去除部分20、30間以近乎水平的方向來運 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1292920 A7 __B7___ 五、發明説明（8 ) 送。藉此，因爲基板1 0能此儘量不彎曲的方式來運送’ 而能防止於基板1 〇加上應力之作用。另外，在將基板1 〇 於液體供給及液體去除部分20、30間以近乎水平地運送 之情形，雖然於運送中液體22不會從基板10流出而淤積 的情形很多，但藉用本實施形態之適用，將可簡單地至少 去除一部分之液體22。 在第1圖所顯示之例子中，於液供給部分20至少朝 著實施濕式處理之表面，設置有供給液體22之1個或者 複數個（第1圖中爲3個）噴嘴24。也就是，也可以將 噴嘴24設置於基板之上方或者下方。此外，液體22係針 對濕式處理之形態而決定其成分，例如也可爲鹼性溶液、 酸性溶液、或者水等均可。 噴嘴24係將液體22散布在基板10之表面。例如也 可以，藉由噴嘴24將液體22呈霧狀（液滴狀）噴吹。或 者，不限定液體22之供給方法於此，例如也可以將液體 22塗布於基板10之表面，或者將基板10浸漬於液體22 中來處理基板10之表面。 在第1圖所顯示的例子中，係將液體22供給於基板 10之單一表面。例如，也可以將液體供給於形成基板10 之配線的表面。或者，也可以將液體22供給向基板1〇之 兩面。此時，在基板10之各面方向將配置有噴嘴24。 如第1圖所示般，在液體去除部分30中，於與基板 10之兩側主表面，配置有對滾筒32、34。如第1圖所示 般，滾筒32、34係藉由相對於基板10，一邊與基板1〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） --------^^批衣 „II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 - 1292920 A7 B7 五、發明説明（9 ) 接觸，一邊移動並旋轉。基板10將通過滾筒32、34之間 ’而因爲滾筒32、34與基板10接觸，所以至少能去除基 板10表面之液體的一部分。也就是，能夠進行基板10之 水切動作。 在第1圖所顯示之例子中，滾筒32係配置於基板1 0 之第1面，而將滾筒34配置在基板10之第1面的背面方 向。各滾筒32、34係於基板10之平面透視方向上配置於 重疊的位置。滾筒32、34係與基板10的表面幾乎呈線接 觸狀態。如此，相對地將滾筒32、34對於基板10而言， 於朝著與基板10表面由呈線接觸方向之垂直方向移動時 ，便能去除基板10表面之液體22。滾筒32、34之寬（ 滾筒軸方向之寬）雖然最好較基板10的寬爲大，但並不 限定其大小。 在第1圖所顯示的例子中，因爲基板10係以滾輪對 滾輪方式被運送，所以基板10與滾筒32、34將爲可相對 性地移動。此時，液體去除部分30之滾筒32、34的位置 也可以固定在基板10長方向的位置，或者也可以向與基 板10之運送方向相反方向移動。另外，滾筒32、34也可 以爲能向基板10表面垂直方向調節位置之物件。藉此， 針對基板10之厚度，可以調節滾筒32、34間之寬度。 各滾筒32、34也可以爲與第1圖所示之同一形態（ 例如同一半徑或寬度），或者爲不同之形態（例如不同半 徑或寬度）。 於滾筒32、34中，與基板1〇之接觸面，也可以用較 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· -、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 1292920 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1〇 ) 形成於基板10之配線（例如銅）更爲柔軟的材料（例如 塑膠（PET樹脂等）來形成。詳細的說，滾筒32、34中 ，與基板10上之配線（例如導電箔）接觸部分（例如滾 筒32的表面），也可用較配線更柔軟的材料來形成。藉 此，可以不損傷配線，且能至少去除液體22之一部分。 在滾筒32、34中與基板10的接觸面也可以用在基板 10上的凹凸（例如因配線的材料與基材而形形之凹凸） 間呈密著程度而具有彈性之材料來形成。藉此，能更確實 地去從基板10去除液體22。並且，與第1圖不同，在液 體去除部分30,也可以配置複數對之複數滾筒32、34。 此時，各對之滾筒32、34係並列於基板10之運送方向。 在第1圖所顯示的例子中，製造裝置1係包含洗淨基 板10之洗淨部分40。洗淨部分40係相對於液體去除部 分30，配置於基板10運送方向的下游側。在洗淨部分40 中，當在通過液體去除部分30之基板10上，残留有一部 分液體22時，爲了將残留於基板10上之液體22幾乎完 全去除，而將基板10加以洗淨（例如水洗淨）。藉此，在 洗淨部分30之洗淨液的量將得以減少。因此，也能使洗 淨部分30之構造得以簡化。 有關本實施形態之配線基板的製造裝置係上述般構成 ，以下將說明使用上述製造裝置1之配線基板的製造方法 。並且，在以下之配線基板的製作方法事項中，凡由上述 內容所引伸之任何事項也可選擇性地適用。 有關本實施形態之製造方法係包含上述之濕式處理。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---：-----f----,-------φ-------- (請先閱讀背面之注意事項存填寫本頁) -13- 1292920 A7 B7 五 '發明説明（彳1 ) 在本實施形態中，作爲濕式處理之形態，係以將基板1 〇 上之光阻（例如爲了形成配線而作爲遮罩之光阻）溶解（ 剝離）的例子來說明。但是，與本實施形態相關之製造方 法，並不限定於這個例子。 首先，準備在基材（例如聚銑亞胺）上設置有導電箔 (例如銅箔）之基板10。導電箔你例如以接著劑貼付於 基材之一個全體面上（上述之表面）。接著，在基板10 上形成具有感光性之光阻，將光阻藉由所定之模型形狀之 遮罩來曝光、顯影。之後，將在導電箔中從光阻露出部分 加以鈾刻（蝕刻液），而進行蝕刻動作。如此，在基板 10中將形成所定形狀之配線，而在配線上將残留有光阻 〇 如第1圖所示般，將此基板10懸掛於滾淪12、14。 力以滾輪對滾輪方式運送。接著，在液體供給部分20中 ，向基板10供給爲了使上述光阻溶解之液體22 (例如鹼 性溶液）。在第1圖所顯示之例子之中，則適用噴霧方式 ，向基板10供給液體22。藉由供給液體22，將基板22 上之光阻溶解，在基板10上則残留有液體22。 接著，將基板10運往液體去除部分30，藉由滾筒32 、34，將残留於基板10之液體22至少去除一部分。詳而 言之，藉由使滾筒32、34接觸基板10，而將基板10上 之液體22至少除去一部分。此時，也可以藉由滾筒32、 34，將基板10上之液體22中残留於配線表面之一部分去 除。或者，不只去除基板10上了液體22中残留於配線表 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） ---U-----^裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 -14- 1292920 A7 B7 五、發明説明（12 可以將残留於配線間之基板表面的一部分 果有必要，將基板10運徑洗淨部分40， 而近乎完全將液體22去除。 板10形成有所定形狀之複數配線，而能 其後，在長方形之配線基板上，將搭載半 零件，在所定之範圍內使其個別化。 程之詳細情形，如同上述製造裝置中於各 〇 態，因爲使用滾筒32、34，所以能簡單 10上之液體22的一部分。另外，因爲只 去除液體22程度之挾持，所以不會促進 止配線基板之品質劣化。特別在當使用鹼 液體22的情形時，因爲隨著空氣之噴吹 配線基板之氧化，所實施形態之通用將有 因此能夠製造高性賴性之製品。 【第2實施形態】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 部分，也 其後，如 基板1 〇， 此，在基 線基板。 片等電子 且，各工 明之道理 據本實施 去除基板 線基板做 ，而能防 溶液作爲 將會企進 之效果。 面之一 去除。 來洗淨 如 製造配 導體晶 並 部分說 根 地至少 有將配 其氧化 或酸之 工程， 非常好 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 第2圖係爲顯示在本發明中通用第2實施之相關配線 基板的製造方法及製造裝置。在本實施形態中，液體去除 部分1 30之形態與上述相異。在以下之說明，任何從上述 所導引之事項均能選擇性地適用。 如第2圖所示，在液體去除部分130中，含有上述滾 筒32、34與爲了吹出空氣38之吹出器。吹出器也可以爲 空氣刀。吹出器係具有1個或者複數個第2圖中爲（個） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1292920 A7 ____ B7_ 五、發明説明（13 ) 空氣38之噴吹部36。噴吹部36係至少在基板10之單面 將空氣38吹出。藉由空氣之噴吹，能將液體22噴除。藉 此，因爲與滾筒32、34倂用，所以與只利用空氣38之噴 吹來將液體22去除比較，將能以較少之空氣38的量就能 完成去除工程。因爲，而能夠防止配線基板之氧化。 如第2圖所示，空氣38之噴吹部36也可以相對於滾 筒32、34而配置於基板10之運送方向之下游側。藉此， 例如就算在使用滾筒32、34也有液體22残留在基板10 上之情形時，也能至少去除該液體22之一部分。 在本實施形態中可達到上述效果，並且能更確實地將 基板10上之液體22去除。但是，本實施形態中有關配線 基板之製造方法的構成及效果，因爲可由上述所引伸，所 以加以省略。 作爲具有與本發明實施形態相關之配線基板的電子機 器，將於第3圖中顯中筆記型個人腦200，而於第4圖中 顯示行動電話300。 本發明並不限定於上述之實施形態，也可能有各種變 化。例如本發明係包含實質上與在實施形態中所說明之構 成，爲同一構成（例如：機能、方法及結果爲同一構成， 或者目的及結爲同一構成）。另外，本發明也包含非本質 上與實施形態中所說明之構成相同，而只作部分置換之構 成。另外，本發明也包含能與在實施形態中所說明之構成 得到相同作用效果之構成或者達成同一目的之構成。另外 ，本發明係包含在實施形態中所說明之構成中所附加之公 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） —-----------^IT (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -16- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1292920 A7 B7 五、發明説明（14 ) 開技術構成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X：297公釐） I--K---1——0^----^--1T------% (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -17-