KR101058237B1 - 기판 지지 장치 - Google Patents

Abstract

기판 지지 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 프레임(frame), 프레임에 결합되며, 사이에 기판이 개재되도록 간격이 조절 가능한 한 쌍의 클램프(clamp), 및 한 쌍의 클램프의 일단부에 서로 대향하도록 각각 형성되어 기판을 지지하며, 단부로 갈수록 단면적이 감소하는 한 쌍의 돌기를 포함하는 기판 지지 장치가 제공된다. 이에 따르면, 기판의 습식 공정을 위해 기판을 지지하는 장치에 있어서, 기판의 손상 및 미현상을 최소화할 수 있다.

기판, 지지, 클램프

Description

기판 지지 장치{Apparatus for Supporting a Substrate}

본 발명은 기판 지지 장치에 관한 것이다.

인쇄회로기판(printed circuit board)은, 현상, 수세 및 에칭 등의 습식 공정(wet process)을 거쳐 제조된다.

종래 기술에 따르면, 기판의 습식 공정은, 수평 다점 롤러 또는 수평 3점 롤러 등과 같은 수평 롤러 방식에 의해, 롤러를 이용하여 기판을 수평 이송시키면서, 노즐을 이용하여 기판의 상하면에 스프레이 방식으로 약품을 분사하여 수행되었다. 그러나, 기판이 박판화되어 가고, 이와 더불어 형성해야 할 회로가 미세화됨에 따라, 종래의 수평 롤러 방식으로는 양산성을 확보하기 어려워지고 있다.

즉, 수평 다점 롤러 방식의 경우, 기판 상에 형성된 미세 회로의 요철과 구동 롤러 간의 충돌에 의해, 미세 회로의 요철이 손상되는 문제가 발생된다. 이와 같이 기판 상의 미세 회로 요철이 손상되면, 이는 결국 최종 제품의 수율 저하의 주요 원인으로 작용한다.

또한, 수평 3점 롤러 방식의 경우, 박판 제품의 이송 시, 롤러가 충분히 기판을 지지 하지 못하여, 기판에 과도한 처짐이 발생하게 된다.

이러한 문제를 극복하기 위하여, 기판을 수직으로 지지하여 이송하는 수직 방식의 습식 공정 설비가 개발되고 있다. 그러나, 이러한 수직 방식의 경우에도, 기판을 지지하는 지그(jig)에 의해, 기판이 손상을 입거나, 현상액의 투입이 방해를 받아 기판이 미(未)현상되는 한계점이 존재한다.

본 발명은, 기판의 습식 공정(wet process)을 위해 기판을 지지함에 있어, 기판의 손상 및 미(未)현상을 최소화할 수 있는 기판 지지 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 프레임(frame), 프레임에 결합되며, 사이에 기판이 개재되도록 간격이 조절 가능한 한 쌍의 클램프(clamp), 및 한 쌍의 클램프의 일단부에 서로 대향하도록 각각 형성되어 기판을 지지하며, 단부로 갈수록 단면적이 감소하는 한 쌍의 돌기를 포함하는 기판 지지 장치가 제공된다.

이 때, 한 쌍의 돌기 중 어느 하나의 단부에는, 다른 하나의 단부의 위치와 대응되도록 홈이 형성될 수 있다.

그리고, 한 쌍의 돌기는, 기판을 기준으로 대칭되도록 배치될 수 있다.

또한, 한 쌍의 돌기는, 원뿔 또는 다각뿔 형상일 수 있다.

한편, 한 쌍의 클램프는, 기판의 가장자리를 따라 복수로 배치될 수 있다.

그리고, 한 쌍의 클램프는 서로 회전 가능하게 결합되며, 기판 지지 장치는, 한 쌍의 클램프의 타단부 사이에 개재되는 스프링(spring)을 더 포함할 수 있다.

이 때, 한 쌍의 클램프 중 어느 하나는, 프레임에 고정될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 기판의 습식 공정을 위해 기판을 지지하는 장치에 있어서, 기판의 손상 및 미현상을 최소화할 수 있다.

본 발명에 따른 기판 지지 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

또한, 결합 또는 형성이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치(100)를 이용한 기판 이송 과정을 나타낸 개략도이다. 본 실시예에 따른 기판 지지 장치(100)는, 도 1에 도시된 습식 공정(wet process) 설비(10)에 적용될 수 있다.

즉, 기판(170)은, 기판 지지 장치(100)에 의하여, 지면에 대하여 수직하도록 지지될 수 있고, 이러한 기판 지지 장치(100)는, 컨베이어(conveyor) 등에 의해 이송될 수 있다. 이렇게 기판(170)이 이송되면서 기판(170)에는 노즐에 의해 현상액, 수세액 또는 에칭액 등의 처리액이 분사된다.

이와 같이, 기판 지지 장치(100)에 의해 기판(170)이 지면에 대해 수직하도록 지지되어 습식 공정 설비(10) 내에서 이송됨으로써, 기판(170)은 기판 지지 장치(100)와의 불필요한 접촉을 줄일 수 있어, 기판(170)의 손상을 최소화할 수 있다. 또한, 이 뿐만 아니라, 기판(170)이 지면에 대해 수직하게 지지됨으로써, 중력에 의해 기판(170)에 분사되어 반응을 마친 현상액, 수세액 또는 에칭액 등과 같은 처리액이 효과적으로 제거될 수 있다.

이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 실시예에 따른 기판 지지 장치(100)에 대하여 보다 상세히 설명하도록 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치(100)를 나타낸 사시도이다.

본 실시예에 따르면, 도 2에 도시된 바와 같이, 프레임(frame, 110), 프레임(110)에 결합되며, 사이에 기판(170)이 개재되도록 간격이 조절 가능한 한 쌍의 클램프(clamp, 120, 130), 및 한 쌍의 클램프(120, 130)의 일단부에 서로 대향하도록 각각 형성되어 기판(170)을 지지하며, 단부로 갈수록 단면적이 감소하는 한 쌍의 돌기(140, 150)를 포함하는 기판 지지 장치(100)가 제시된다.

이와 같은 본 실시예에 따르면, 습식 공정 설비 내에서 기판(170)을 이송하 기 위해 기판(170)을 지지함에 있어, 한 쌍의 돌기(140, 150)가, 기판(170)과 접하는 단부로 갈수록 단면적이 감소하도록 형성됨으로써, 기판(170)의 손상 및 미(未)현상 등을 최소화할 수 있다.

즉, 돌기(140, 150)는, 단부로 갈수록 기판(170)의 너비 또는 길이 방향 단면적이 형성됨으로써, 돌기(140, 150)와 기판(170) 간의 접촉 면적을 최소화할 수 있으므로, 돌기(140, 150)에 의해 기판(170)이 손상되는 것을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라, 기판(170) 중, 돌기(140, 150)에 의해 커버되어 현상액 등이 닿지 못하는 영역을 최소화할 수 있어, 기판(170)의 미현상 등을 최소화할 수 있다.

이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 실시예에 따른 기판 지지 장치(100)의 각 구성에 대하여 보다 상세히 설명하도록 한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 프레임(110)에는, 한 쌍의 클램프(120, 130)가 결합되며, 이러한 한 쌍의 클램프(120, 130)에는 한 쌍의 돌기(140, 150)가 각각 형성된다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치(100)의 클램프(120, 130) 및 돌기(140, 150)를 나타낸 부분 확대도이다. 도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치(100)의 클램프(120, 130)의 작동을 나타낸 부분 확대도이다.

클램프(120, 130)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 프레임(110)에 결합되며, 사이에 기판(170)이 개재되도록 간격이 조절 가능하다. 한 쌍의 클램프(120, 130)는, 서로 간의 간격 조절이 가능하므로, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 클램프(120, 130) 사이의 간격을 벌리거나 좁힘에 따라, 기판 지지 장치(100)에 용이하게 기판(170)을 장착하거나 탈거할 수 있다.

즉, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 클램프(120, 130)는 서로 회전 가능하게 결합되며, 한 쌍의 클램프(120, 130)의 타단부 사이에는 스프링(spring, 160) 이 개재된다. 이 때, 어느 하나의 클램프(120)는, 프레임(110)에 고정되며, 다른 하나의 클램프(130)는, 어느 하나의 클램프(120)에 회전 가능하게 힌지 결합됨으로써 프레임(110)에 결합될 수 있다.

이와 같이, 한 쌍의 클램프(120, 130)의 중앙부가 힌지 결합되고, 한 쌍의 클램프(120, 130)의 타단부가 스프링(160)을 통해 연결됨으로써, 상술한 다른 하나의 클램프(130)의 타단부에 아래 방향으로 하중을 작용시킴에 따라, 클램프(120, 130) 사이에 개재되는 기판(170)을 용이하게 장착 또는 탈거하거나, 지지할 수 있다.

즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 클램프(130)의 타단부에 작용하는 하중에 의해 클램프(120, 130)의 일단부가 벌어지므로, 클램프(120, 130)의 사이에 기판(170)을 개재시키거나, 개재된 기판(170)을 제거할 수 있다. 이 경우, 클램프(130)의 타단부에 작용하는 하중은 스프링(160)에 탄성력의 형태로 저장되므로, 하중을 제거하면, 도 5에 도시된 바와 같이, 스프링(160)의 복원력에 의해 기판(170)을 효과적으로 지지할 수 있다.

한편, 이러한 한 쌍의 클램프(120, 130)는, 기판(170)의 가장자리, 즉, 기 판(170)의 외주연부를 따라 복수로 배치된다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 프레임(110)의 상부에 복수개의 클램프(120, 130)를 배치하고, 이와 대응되도록 프레임(110)의 하부에도 복수개의 클램프(120, 130)를 배치함으로써, 기판 지지 장치(100)에 기판(170) 장착 시, 기판(170)의 외주연부가 한 쌍의 클램프(120, 130) 사이에 개재되어, 클램프(120, 130)에 형성된 돌기(140, 150)에 의해 기판(170)의 외주연부가 지지된다.

이와 같이, 한 쌍의 클램프(120, 130)가 기판(170)의 가장자리를 따라 복수로 배치됨으로써, 기판(170)의 외주연부를 고르게 지지할 수 있으므로 기판(170)을 보다 안정적으로 지지할 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치(100)의 돌기(140, 150)를 나타낸 사시도이다.

한 쌍의 돌기(140, 150)는, 한 쌍의 클램프(120, 130)의 일단부에 서로 대향하도록 각각 형성되어 기판(170)을 지지하며, 단부로 갈수록 단면적이 감소한다. 즉, 한 쌍의 돌기(140, 150)는 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 클램프(120, 130)의 일단부에 각각 형성되며, 도 5에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 돌기(140, 150)는 서로 대향하도록 형성되므로, 기판(170)을 안정적으로 지지할 수 있다. 또한, 한 쌍의 돌기(140, 150)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 원뿔 형상 등과 같이, 단부로 갈수록 단면적(기판(170)의 너비 또는 길이 방향 단면적)이 감소하도록 형성됨으로써, 기판(170)과의 접촉 면적이 감소하게 되어 기판(170)이 돌기(140, 150)에 의해 손상되거나 현상이 방해되는 것을 최소화할 수 있다.

도 6에는 돌기(140, 150)가 원뿔 형상인 경우를 일 예로서 제시하였으나, 이외에도 다각뿔 형상 등과 같이 단부로 갈수록 단면적이 줄어드는 다양한 형상으로 돌기(140, 150)를 형성할 수 있음은 물론이다.

이 때, 한 쌍의 돌기(140, 150) 중 어느 하나의 단부에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 다른 하나의 단부의 위치와 대응되도록 홈(142)이 형성된다. 즉, 어느 하나의 돌기(140)의 단부에는 홈(142)이 형성되며, 이 홈(142)은, 다른 하나의 돌기(150)의 단부와 편심이 최소화되도록, 다른 하나의 돌기(150)의 단부와 대응되는 위치에 형성된다. 이 경우, 홈(142)의 바닥면은 평면으로 형성될 수 있다.

이에 따라, 도 5에 도시된 바와 같이, 스프링(160)의 복원력에 의해 기판(170)이 지지될 때, 한 쌍의 돌기(140, 150) 간 편심이 다소 발생하는 경우라도, 홈(142)이 형성된 어느 하나의 돌기(140)가 기판(170)에 하중을 작용하는 영역 내에, 다른 하나의 돌기(150)가 기판(170)에 하중의 작용하는 영역이 위치하게 되어, 보다 안정적으로 기판(170)이 지지될 수 있다.

이 뿐만 아니라, 홈(142)의 형성에 의해, 돌기(140)는 기판(170)과 홈(142)의 둘레를 따라 접촉할 뿐이어서, 홈(142) 내부를 통해 현상액 등의 처리액이 유동할 수 있다. 따라서, 기판(170) 중, 홈(142)에 의해 커버되는 영역도 처리액이 효율적으로 스며들게 되어, 기판(170)의 미현상을 최소화할 수 있다.

한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 돌기(140, 150)는, 기판(170)을 기준으로 대칭되도록 배치된다. 이와 같이 한 쌍의 돌기(140, 150)가 기판(170)을 중심으로 좌우 대칭을 이룸으로써, 스프링(160)에 의해 돌기(140, 150)로부터 기 판(170)에 작용하는 하중 역시 좌우 대칭을 이루게 되므로, 보다 효과적이고 안정적으로 기판(170)이 지지될 수 있다.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치를 이용한 기판 이송 과정을 나타낸 개략도.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치를 나타낸 사시도.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치의 클램프 및 돌기를 나타낸 부분 확대도.

도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치의 클램프의 작동을 나타낸 부분 확대도.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치의 돌기를 나타낸 사시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10: 습식 공정 설비

100: 기판 지지 장치

110: 프레임(frame)

120, 130: 클램프(clamp)

160: 스프링(spring)

140, 150: 돌기

142: 홈

170: 기판

Claims (7)

1. 프레임(frame);

   상기 프레임에 결합되며, 사이에 기판이 개재되도록 간격이 조절 가능한 한 쌍의 클램프(clamp); 및

   상기 한 쌍의 클램프의 일단부에 서로 대향하도록 각각 형성되어 상기 기판을 지지하며, 단부로 갈수록 단면적이 감소하는 한 쌍의 돌기를 포함하며,

   상기 한 쌍의 돌기 중 어느 하나의 단부에는, 다른 하나의 단부의 위치와 대응되도록 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 지지 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 한 쌍의 돌기는, 상기 기판을 기준으로 대칭되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 지지 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 한 쌍의 돌기는, 원뿔 또는 다각뿔 형상인 것을 특징으로 하는 기판 지지 장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 한 쌍의 클램프는, 상기 기판의 가장자리를 따라 복수로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 지지 장치.
6. 제1항에 있어서,

   상기 한 쌍의 클램프는 서로 회전 가능하게 결합되며,

   상기 한 쌍의 클램프의 타단부 사이에 개재되는 스프링(spring)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 장치.
7. 제6항에 있어서,

   상기 한 쌍의 클램프 중 어느 하나는, 상기 프레임에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 지지 장치.

Images