KR20100091032A - 기판 세정 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 기판을 제 1 방향으로 이송하는 이송 유닛; 및상기 이송 유닛에 의해 이송되는 상기 기판의 이동 경로상에 제공되며, 회전하는 클리닝 헤드를 상기 기판에 가압시켜 상기 기판의 이물질을 제거하는 세정 유닛을 포함하되,상기 세정 유닛의 상기 클리닝 헤드는,상기 기판과 접촉하고, 상기 기판으로 고온의 세정액을 토출하는 토출구가 형성된 클리닝 패드; 및상기 클리닝 패드가 결합되며, 상기 클리닝 패드의 상기 토출구와 연통되는 유로가 형성된 홀더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 홀더에 형성된 상기 유로에 고온의 세정액을 공급하는 세정액 공급 부재를 더 포함하되,상기 세정액 공급 부재는,세정액 탱크;상기 세정액 탱크로부터 공급되는 세정액을 상기 홀더의 유로에 전달하는 세정액 공급 라인; 및상기 세정액 공급 라인상에 배치되며, 상기 세정액을 가열하는 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 홀더에 형성된 상기 유로에 고온의 세정액을 공급하는 세정액 공급 부재를 더 포함하되,상기 세정액 공급 부재는,세정액 탱크;상기 세정액 탱크로부터 공급되는 세정액을 상기 홀더의 유로에 전달하는 세정액 공급 라인; 및상기 세정액 탱크에 설치되며, 상기 세정액 탱크 내의 세정액을 가열하는 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 세정액 공급 부재는,상기 기판의 세정에 사용된 상기 세정액을 상기 세정액 탱크로 회수하는 회수 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 기판의 상부에 제공되며, 상기 기판으로 세정액을 토출하는 노즐을 더 포함하고,상기 노즐은 상기 세정액 공급 라인을 통해 상기 세정액 탱크로부터 상기 세정액을 공급받는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 세정액은 유기 용액인 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 세정액은 탈이온수인 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 기판을 제 1 방향으로 이송하는 이송 유닛;상기 이송 유닛에 의해 이송되는 상기 기판의 이동 경로상에 제공되며, 회전하는 클리닝 헤드를 상기 기판에 가압시켜 상기 기판의 이물질을 제거하는 세정 유닛; 및상기 이송 유닛의 상부에 제공되며, 상기 기판으로 고온의 세정액을 토출하는 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 노즐에 고온의 세정액을 공급하는 세정액 공급 부재를 더 포함하되,상기 세정액 공급 부재는,세정액 탱크;상기 세정액 탱크로부터 공급되는 세정액을 상기 노즐에 전달하는 세정액 공급 라인; 및상기 세정액 공급 라인상에 배치되며, 상기 세정액을 가열하는 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 세정액 공급 부재는,상기 기판의 세정에 사용된 상기 세정액을 상기 세정액 탱크로 회수하는 회수 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 기판을 이송하고,이송되는 상기 기판에 공정 온도로 가열된 세정액을 공급하고,회전하는 클리닝 패드를 상기 기판에 가압시켜 상기 기판을 세정하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 세정액은 상기 클리닝 패드의 중심부에 형성된 토출구를 통해 상기 기 판에 공급되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 세정액은 이송되는 상기 기판의 상부에 제공된 노즐을 통해 상기 기판에 공급되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,상기 기판의 세정에 사용된 세정액을 회수하고,상기 회수된 세정액을 공정 온도로 가열하고,공정 온도로 가열된 세정액을 필터링하여 상기 기판에 공급하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제 14 항에 있어서,상기 세정액은 유기 용액이고, 상기 유기 용액은 20 ~ 50 ℃ 범위의 온도로 가열되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제 14 항에 있어서,상기 세정액은 탈이온수이고, 상기 탈이온수는 40 ~ 80 ℃ 범위의 온도로 가열되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
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