KR20070092427A - 세정 액의 온도 조절 장치 - Google Patents

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KR20070092427A KR1020060022552A KR20060022552A KR20070092427A KR 20070092427 A KR20070092427 A KR 20070092427A KR 1020060022552 A KR1020060022552 A KR 1020060022552A KR 20060022552 A KR20060022552 A KR 20060022552A KR 20070092427 A KR20070092427 A KR 20070092427A
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Abstract

세정조를 갖는 세정 설비에서의 상기 세정조 내의 세정액의 온도를 조절하기 위한 세정액의 온도 조절 장치가 개시된다. 그러한 세정액의 온도 조절 장치는 상기 세정조 내의 세정액의 온도를 복수 개의 포인트에서 센싱하는 온도 센서부 및 상기 온도 센서부에서 센싱된 온도를 디스플레이하고 상기 온도 센서부의 센싱 결과에 따라 상기 세정조 내의 세정액의 온도를 조절하는 온도 디스플레이 및 조절부를 구비한다. 그리하여, 본 발명은 개선된 세정액의 온도 조절 장치를 구비한 세정 설비를 제공함으로써, 세정조에서 하나의 포인트에서만 세정액의 온도를 센싱함으로 인한 온도 오차 발생을 줄여 보다 안정적으로 온도를 조절하고, 세정액의 온도 오차로 인한 공정 사고를 미연에 방지할 수 있다.
세정, 센서, 케미컬, 온도

Description

세정 액의 온도 조절 장치{Apparatus for controling temperature of cleaning liquid}
도 1은 종래의 세정액의 온도 조절 장치를 구비한 세정 설비를 개략적으로 보인 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액의 온도 조절 장치를 구비한 세정 설비를 개략적으로 보인 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
102, 104, 106 : 온도 센서 108 : 센서 플레이트
110 : 온도 센서부 112 : 세정조
116 : 온도 디스플레이 및 조절부
118, 128, 138 : 센서 케이블
본 발명은 반도체 소자 제조용 세정 설비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조를 위한 세정 공정에서 세정에 사용되는 세정액의 온도를 감지하여 이의 온도를 조절하기 위한 온도 조절 장치를 구비한 세정 설비에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 웨이퍼 상에 사진 공정, 식각 공정, 확산 공정, 금속 증착 공정 등의 공정을 반복적으로 수행함으로써 형성된다.
이러한 반도체 소자를 제조하기 위한 공정에서 웨이퍼의 표면 상에 잔존하는 파티클 등의 불순물은 다음의 공정에서의 공정 불량의 요인으로 작용하게 됨에 따라 각 공정의 사이에는 이들 불순물을 제거하기 위한 세정 공정이 실시된다.
상기 세정 공정에 있어서, 특히 습식 세정에 있어서는 세정액이 사용되어지는데, 사용되는 세정액은 적어도 하나 이상의 케미컬(chemical)이 웨이퍼의 종류 및 공정 상태 등의 세정 조건을 제시함에 대응하여 그 농도, 양 및 온도 등의 조건이 매우 정확하게 유지되는 것이 요구된다.
이에 따라, 세정 설비는 세정액의 농도나 온도 등의 상태를 센싱 수단을 이용하여 탈 이온수의 양 및 온도 등의 조건을 제어할 수 있도록 구성되어진다.
여기서, 상기 세정 조건에 따른 제어 관리 중 온도 조건의 관리를 살펴보면, 세정조 내의 세정액에 온도 센서가 잠기도록 설치하고, 이 온도 센서에 의해 감지된 신호를 센서 케이블을 통해 수신한 디스플레이 및 조절부는 상기 세정액이 설정된 온도의 조건에 적합한지를 판단하여 세정액이 설정된 온도에 이르도록 조절한다.
이하에서는 이를 도 1을 참조하여 보다 상세히 살펴보도록 한다.
도 1은 종래의 세정액의 온도 조절 장치를 구비한 세정 설비를 개략적으로 보인 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 세정 설비(10)는 세정조(12), 온도 센서(14) 및 온도 디스플레이 및 조절부(16)를 구비한다.
상기 세정조(12) 내에 수용된 세정액에 상기 온도 센서(14)가 세정액에 잠기도록 설치된다. 그리고, 이에 따라 상기 온도 센서(14)에서 센싱된 세정액의 온도에 관한 신호는 센서 케이블(18)을 통해 상기 온도 디스플레이 및 조절부(16)로 전송된다.
상기 온도 센서(14)의 외부에는 불소 수지 코팅된 튜브(PFA tube)가 구비된다.
상기 온도 디스플레이 및 조절부(16)는 수신된 세정액의 온도에 관한 신호를 외부로 디스플레이하고, 설정된 온도 조건과 비교하여 세정액의 온도를 조절하게 된다. 상기 온도 디스플레이 및 조절부(16)는 상기 온도 센서(14)에서 센싱된 온도 조건에 따라 세정액의 온도를 조절하게 된다.
상기 센서 케이블(18)은 3상의 리드선으로 형성될 수 있으며, 이는 상기 온도 센서(14)와 불소 수지 코팅된 튜브의 내부에 배치되는 상기 온도 디스플레이 및 조절부(16) 간을 연결한다.
그러나, 상기 온도 센서(14)의 포인트 즉, 상기 세정조(12) 내에서 세정액의 온도 측정 포인트는 도 1에 도시된 바와 같이 하나의 포인트이다. 즉, 상기 세정조(12) 내에서 세정액의 한 포인트에서만 온도를 센싱함으로 인해, 온도의 측정에 오 차가 발생한다.
즉, 세정조 내에서의 세정액의 온도의 분포도 다양할 뿐 아니라, 주변의 여건에 따라서 세정액의 온도도 변하므로, 종래와 같이 한 포인트에서만 센싱하면 오차가 많이 발생하는 문제점이 있다. 또한, 웨이퍼에 대한 공정 진행시에는 중앙 포인트의 온도는 센싱할 수 없는 어려움이 있다. 이러한 문제들로 인해 공정 사고가 빈번하게 발생한다.
따라서, 본 발명의 목적은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 개선된 세정액의 온도 조절 장치를 구비한 세정 설비를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 한 포인트에서만 세정액의 온도를 센싱함으로 인한 온도 오차 발생을 줄이기 위한 세정 설비에서의 세정액 온도 조절 장치를 제공함에 있다.
상기의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 세정조를 갖는 세정 설비에서의 상기 세정조 내의 세정액의 온도를 조절하기 위한 세정액의 온도 조절 장치는, 상기 세정조 내의 세정액의 온도를 복수 개의 포인트에서 센싱하는 온도 센서부; 및 상기 온도 센서부에서 센싱된 온도를 디스플레이하고 상기 온도 센서부의 센싱 결과에 따라 상기 세정조 내의 세정액의 온도를 조절하는 온도 디스플레이 및 조절부를 구비함을 특징으로 한다.
여기서, 상기 온도 센서부는 독립적으로 배치되는 복수 개의 온도 센서들; 및 상기 세정조의 하부에 설치되어 상기 온도 센서들을 고정하는 센서 플레이트를 구비할 수 있다.
또한, 상기 온도 센서들 각각은 불소수지 코팅 튜브에 의해 둘러싸여질 수 있다.
또한, 상기 온도 센서들 각각은 상기 온도 디스플레이 및 조절부에 연결될 수 있다.
또한, 상기 온도 디스플레이 및 조절부는 상기 온도 센서들 각각에서 센싱된 온도를 구별되게 디스플레이할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 첨부된 도면 및 이하의 설명들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자에게 본 발명에 대한 이해를 돕기 위한 의도로 예를 들어 도시되고 한정된 것에 불과하다. 따라서, 이하의 설명들이 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 사용되어서는 아니 될 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액의 온도 조절 장치를 구비한 세정 설비를 개략적으로 보인 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액의 온도 조절 장치는 온도 센서부(110), 그리고 온도 디스플레이 및 조절부(116)를 구비한다.
상기 온도 센서부(110)는 세정 설비(100)에서의 세정조(112) 내의 세정액의 온도를 복수 개의 포인트(point)에서 센싱한다.
상기 온도 센서부(110)는 복수 개의 온도 센서들(102, 104, 106) 및 센서 플레이트(108)를 구비한다.
상기 온도 센서들(102, 104, 106)은 각각 독립적으로 구별되어 배치된다.
상기 온도 센서들(102, 104, 106) 각각은 불소수지 코팅 튜브에 의해 둘러싸여질 수 있다. 그리고, 상기 센서 플레이트(108)는 상기 세정조(112)의 하부에 설치되어 상기 온도 센서들(102, 104, 106)을 고정한다.
상기 온도 디스플레이 및 조절부(116)는 상기 온도 센서부(110)에서 센싱된 온도를 디스플레이(display)하고 상기 온도 센서부(110)에서의 온도 센싱 결과에 따라 상기 세정조(112) 내의 세정액의 온도를 조절한다.
만약, 상기 온도 센서부(110)에서 센싱된 온도가 설정된 기준 온도보다 낮은 경우에는 상기 온도 디스플레이 및 조절부(116)에서 상기 세정조(112) 내의 세정액을 가열한다. 만약, 상기 온도 센서부(110)에서 센싱된 온도가 설정된 기준 온도보다 높은 경우에는 상기 온도 디스플레이 및 조절부(116)에서 상기 세정조(112) 내의 세정액을 냉각한다. 그리하여, 상기 온도 디스플레이 및 조절부(116)는 상기 세정조(112) 내의 세정액이 설정된 기준 온도로 유지되도록 한다.
상기 온도 디스플레이 및 조절부(116)에서의 기준 온도는 매뉴얼(manual)로 설정될 수 있다.
상기 온도 디스플레이 및 조절부(116)와 상기 온도 센서들(102, 104, 106) 각각은 센서 케이블(118, 128, 138)에 의해 연결된다. 그리고, 상기 온도 디스플레 이 및 조절부(116)는 상기 온도 센서들(102, 104, 106) 각각에서 센싱된 온도를 구별되게 디스플레이하도록 구성될 수 있다.
이와 같이, 복수 개의 포인트에서 세정조(112) 내의 세정액을 센싱함으로써 반도체 소자 제조 공정 진행 시 온도 측정의 오차를 줄일 수 있게 된다.
따라서, 상기 온도 센서부(110)가 상기 세정조(112) 내의 세정액의 온도를 포인트 별로 확인하여 검출함으로써 온도 오차로 인한 공정 사고를 미연에 방지할 수 있게 된다.
도 2에서는 세 개의 포인트에서 온도를 각각 센싱하는 것이 예시되어져 있으나, 더 많은 포인트에서 온도를 각각 센싱할 수도 있다. 또한, 세정조 내의 세정액에 대한 온도 센싱이 예시되어져 있으나, 반도체 소자 제조에 있어서 케미컬이 사용되는 다른 설비, 예를 들면 에칭조 등에서도 사용되어질 수 있다 하겠다.
본 발명에 따른 세정액의 온도 조절 장치는 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기본 원리를 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 설계되고, 응용될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자에게는 자명한 사실이라 할 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 개선된 세정액의 온도 조절 장치를 구비한 세정 설비를 제공함으로써, 세정조에서 하나의 포인트에서만 세정액의 온도를 센싱함으로 인한 온도 오차 발생을 줄여 보다 안정적으로 온도를 조절할 수 있는 효과를 갖는다. 그리하여, 세정액의 온도 오차로 인한 공정 사고를 미연에 방지할 수 있다.

Claims (5)

  1. 세정조를 갖는 세정 설비에서의 상기 세정조 내의 세정액의 온도를 조절하기 위한 세정액의 온도 조절 장치에 있어서:
    상기 세정조 내의 세정액의 온도를 복수 개의 포인트에서 센싱하는 온도 센서부; 및
    상기 온도 센서부에서 센싱된 온도를 디스플레이하고 상기 온도 센서부의 센싱 결과에 따라 상기 세정조 내의 세정액의 온도를 조절하는 온도 디스플레이 및 조절부를 구비함을 특징으로 하는 세정액의 온도 조절 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 온도 센서부는,
    독립적으로 배치되는 복수 개의 온도 센서들; 및
    상기 세정조의 하부에 설치되어 상기 온도 센서들을 고정하는 센서 플레이트를 구비함을 특징으로 하는 세정액의 온도 조절 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 온도 센서들 각각은 불소수지 코팅 튜브에 의해 둘러싸여짐을 특징으로 하는 세정액의 온도 조절 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 온도 센서들 각각은 상기 온도 디스플레이 및 조절부에 연결됨을 특징으로 하는 세정액의 온도 조절 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 온도 디스플레이 및 조절부는 상기 온도 센서들 각각에서 센싱된 온도를 구별되게 디스플레이함을 특징으로 하는 세정액의 온도 조절 장치.
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