JPH0710309A - 金属薄板エッチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】レジストパターンが形成された金属薄板を搬送
しつつ、その両面からエッチング液を吹付けてパターン
エッチングする金属薄板エッチング装置において金属薄
板の表裏両面側に向かって噴射されるエッチング液の噴
射の勢いを保持しつつ金属薄板の表裏両面を均一にエッ
チングすることにある。 【構成】レジストパターンが形成された金属薄板１を搬
送しつつその両面よりエッチング液を吹付けてパターン
エッチングするエッチング手段を備えた金属薄板エッチ
ング装置において、エッチング手段Ｂに、金属薄板１の
搬送幅方向両端部を保持して搬送する無端状の搬送ベル
ト２０を設けたことを特徴とする金属薄板エッチング装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レジストパターンが形
成された金属薄板を搬送しつつ、その両面からエッチン
グ液を吹付けてパターンエッチングすることにより、リ
ードフレームやシャドウマスク等の金属薄板エッチング
製品を製造するための金属薄板エッチング装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の金属薄板エッチング装置は、図５
に示すように、例えば、予めレジストパターンが形成さ
れた金属薄板１をロール状に巻き取った金属薄板巻取ロ
ール２より金属薄板１を巻き出し供給するインフィード
ロール８と、金属薄板１の酸化皮膜（非レジストパター
ン領域の酸化皮膜）の除去と清浄化を行なう酸性溶液等
の前処理液を貯溜する前処理槽５と、その前後に前処理
液の流出を堰き止めるための上下対向シールロール７，
７と、前処理液を水洗するための水洗水噴出ノズル６
と、適宜数の搬送ロール３（駆動回転する若しくは自由
回転するポリ塩化ビニル製等の耐腐食性のコンベアロー
ル）を備えた前処理手段Ａと、適宜数の搬送ロール３
と、金属薄板１の両面よりエッチング液（例えば鉄、鉄
−ニッケル合金をエッチングする塩化第二鉄液等）を吹
付ける該搬送ロール３を挟んで上下に複数設置されたエ
ッチング液噴出ノズル部１０，１１とを備えてパターン
エッチングするエッチング手段Ｂと、適宜数の搬送ロー
ル３と、パターンエッチング後の金属薄板１に付着する
エッチング液を洗浄除去するための水洗水噴出ノズル１
２とを備えた後処理手段Ｃと、該後処理手段Ｃの後段に
金属薄板１を搬出するアウトフィードロール９とを設け
たものである。

【０００３】レジストパターンが形成された長尺シート
状（ウエブシート状）又は枚葉シート状の金属薄板１
（表裏両面にレジストパターンが形成された金属薄板）
を搬送ロール３上に載せて搬送しながら、その搬送ロー
ルの上方及び下方に設置された複数のエッチング液吹付
け用のノズル部１０，１１よりエッチング液を該金属薄
板１表裏両面に向けて噴射させ、金属薄板１をパターン
エッチングするものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の金属薄板エ
ッチング装置のエッチング手段Ｂは、金属薄板１をその
搬送方向の全幅に亘って保持する複数本の搬送ロール３
によって搬送しながらエッチングする方式であり、特に
下方のノズル部１１より金属薄板の裏面に向けて噴射さ
れたエッチング液の一部が搬送ロール３によって遮断さ
れるため、予め設定されたエッチング液の噴射の勢いが
搬送ロール３によって阻害されて変化したり、金属薄板
１裏面に均一に吹付けられない場合があり、特に金属薄
板１の裏面側のエッチング速度が遅れたり、表裏のエッ
チング状態に不均一を生じる場合がある。

【０００５】また、枚葉シート状の金属薄板１をエッチ
ングする場合には、搬送ロール３上にて金属薄板１が搬
送途中で揺れや振動等によって移動したり姿勢が斜めに
なったりして安定しない。

【０００６】そこで搬送ロール３上の金属薄板１を押さ
えロール等によって上側から押さえながら上下より挟み
こむかたちで搬送した場合には、押さえロールによって
上方のノズル部１０からのエッチング液の一部を遮断す
ることになり、金属薄板１の表裏両面のエッチング液の
噴射状態に不均一を生じる。

【０００７】本発明は、レジストパターンが形成された
金属薄板を搬送しつつ、その両面からエッチング液を吹
付けてパターンエッチングする金属薄板エッチング装置
において、金属薄板の表裏両面側に向かって噴射される
エッチング液の噴射の勢いを保持しつつ、金属薄板の表
裏両面を均一にエッチングすることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、レジストパタ
ーンが形成された金属薄板を搬送しつつその両面よりエ
ッチング液を吹付けてパターンエッチングするエッチン
グ手段を備えた金属薄板エッチング装置において、エッ
チング手段に、金属薄板の搬送幅方向両端部を保持して
搬送する無端状の搬送ベルトを設けたことを特徴とする
金属薄板エッチング装置である。

【０００９】

【実施例】本発明の金属薄板エッチング装置を実施例に
従って以下に詳細に説明すれば、図１は本発明の一実施
例における金属薄板エッチング装置の概要側面図であ
り、図１に示すように、金属薄板エッチング装置は、前
処理手段Ａと、エッチング手段Ｂと、後処理手段Ｃとを
備え、予め表裏両面にレジストパターン１ａの形成され
た長尺状の金属薄板１を、前処理手段Ａに搬入し、続い
て、前処理手段Ａよりエッチング手段Ｂに搬入し、続い
て、後処理手段Ｃに搬入することによって、パターンエ
ッチング処理するものである。なお、図示しないが、本
発明装置においては、長尺シート状の金属薄板１の他に
枚葉シート状の金属薄板を搬入してエッチング処理する
ことも可能である。

【００１０】図１に示すようにエッチング手段Ｂには、
長尺シート状の金属薄板１を水平方向に搬送する無端状
の搬送ベルト２０を備え、該搬送ベルト２０は、長尺シ
ート状又は枚葉シート状の金属薄板１を上下より挟んで
支持する無端状の上部搬送ベルト２１と、該上部搬送ベ
ルト２１の下側ベルト面に対向接触して同送行速度で回
転送行する無端状の下部搬送ベルト２２とを備える。

【００１１】上部搬送ベルト２１は、その両端部をガイ
ドロール２３，２４によって巻回支持され、該ガイドロ
ール２３，２４のいずれか一方を適宜モーター（サーボ
モータ、パルスモータ等）によって駆動回転させること
によって、図１矢印方向に回転送行する。

【００１２】下部搬送ベルト２２は、その両端部をガイ
ドロール２５，２６によって巻回支持され、下部搬送ベ
ルト２２は、該ガイドロール２５，２６のいずれか一方
を、前記ガイドロール２３，２４のいずれか一方と適宜
ギア等を介して連動回転させることによって、図１矢印
方向に回転送行する。

【００１３】図２は、金属薄板エッチング装置を示す概
要平面図であり、前処理手段Ａより搬入する長尺シート
状の金属薄板１の表面及び裏面には、レジストパターン
１ａが形成されており、搬送ベルト２０は、その送行幅
方向両側に１対の前記上部搬送ベルト２１が設けられ、
両側１対の該上部搬送ベルト２１，２１と、その下側の
それぞれ下部搬送ベルト２２，２２とによって金属薄板
１の搬送幅方向両端部を挟持して該金属薄板１を矢印方
向に搬送するものである。

【００１４】エッチング手段Ｂに設けた前記搬送ベルト
２０は、図２の平面図に示すようにその搬送幅（送行
幅）方向両側に設けた１対の前記上部搬送ベルト２１，
２１（そのそれぞれ上部搬送ベルト２１下側ベルト面に
は下部搬送ベルト２２の上側ベルト面が対向接触して同
速度で回転している）の間にベルト部分の存在しないベ
ルト間隙部２７が形成されている。

【００１５】該エッチング手段Ａの該ベルト間隙部２７
相当部の上側及び下側には、図１に示すように、金属薄
板１をエッチングするためのエッチング液（例えば、
鉄、鉄−ニッケル合金をエッチングする塩化第二鉄液、
アルミニウムをエッチングする水酸化ナトリウム液又は
塩化第二鉄と濃塩酸希釈混合液等）を該金属薄板１の表
裏両面に向かって噴出する複数の噴出ノズル１０，１１
を備え、それぞれ該噴出ノズル１０，１１は、必要に応
じて、搬送ベルト２０の送行幅方向（左右方向）に、搬
送ベルト２０送行速度に同期して所定周期で反復揺動動
作可能になっている。

【００１６】本発明の一実施例においては、上記エッチ
ング手段Ｂの搬送ベルト２０には、図１、図２に示すよ
うに、上部搬送ベルト２１と下部搬送ベルト２２の対向
接触面を挟んで上下に対向する押さえロール２１ａ，２
２ａを、１乃至数個所に適宜設置することは可能であ
り、該押さえロール２１ａ，２２ａのいずれか一方のロ
ールは定位置に固定回転し、他方のロールは弾性的に一
方のロール方向に付勢されている。

【００１７】また、上記エッチング手段Ｂの前段には、
図１，図２に示すように、前処理手段Ａが併設され、ま
た、後段には後処理手段Ｃが併設されて、エッチング前
処理と、エッチング処理と、エッチング後処理を１ライ
ンで実施できるようになっている。

【００１８】前処理手段Ａは、金属薄板１面の酸化皮膜
を除去するためのシュウ酸（ＨＯＯＣ−ＣＯＯＨ）、過
マンガン酸カリウム（ＫＭｎＯ₄ ）等の酸性溶液あるい
はエッチング液の希釈液等の前処理液を貯溜（オーバー
フロー）する前処理槽５と、前処理液を洗い流して水洗
清浄化する水洗水噴出ノズル６とを備える。

【００１９】前処理手段Ａにおいては、金属薄板１を搬
入、搬出する前処理槽５の前後にある搬入口と搬出口側
に、前処理液をその搬入口と搬出口より外側に流出しな
いように堰き止めるためのゴム製の上下対向する回転シ
ールロール７，７がそれぞれ設置され、また、前処理槽
５の少なくとも側壁部５ａの上端部をその搬入口と搬出
口より高位に設定して、該側壁部５ａの上端部より前処
理液をオーバーフローさせることによって前処理液の液
面高さを金属薄板１の水平搬送高さより高位に設定し
て、金属薄板１を前処理液に浸漬させて酸化皮膜の除去
を行なうものである。

【００２０】前処理手段Ａにおける金属薄板１の搬送
は、搬送ロール（複数本のコンベアロール）、又は無端
状の搬送ベルトによって行なうものであり、本発明の一
実施例においては、例えば、前述した搬送ベルト２０と
同様に、図１、図２に示すように、搬送幅方向両側に１
対の搬送ベルトを設けることによって構成される無端状
の搬送ベルト３０により行なうことができる。

【００２１】該搬送ベルト３０は、金属薄板１をその表
裏側より挟んで支持する無端状の上部搬送ベルト３１
と、該上部搬送ベルト３１の下側ベルト面に接して同じ
送行速度で回転送行する無端状の下部搬送ベルト３２と
を備える。

【００２２】上部搬送ベルト３１は、その両端部をガイ
ドロール３３，３４によって巻回支持され、該ガイドロ
ール３３，３４のいずれか一方を、前述したエッチング
手段Ｂの搬送ベルト２０の回転送行に連動させること
（あるいは該ガイドロール３３，３４のいずれか一方を
適宜モーター）によって駆動回転させることによって、
搬送方向に回転送行する。

【００２３】下部搬送ベルト３２は、その両端部をガイ
ドロール３５，３６によって巻回支持され、下部搬送ベ
ルト３２は、該ガイドロール３５，３６のいずれか一方
を、前記ガイドロール３３，３４のいずれか一方と適宜
ギア等を介して連動回転させることによって、搬送方向
に回転送行する。

【００２４】前処理手段Ａに設けた前記搬送ベルト３０
は、図２の平面図に示すようにその搬送幅（送行幅）方
向両側に設けた１対の前記上部搬送ベルト３１，３１
（そのそれぞれ上部搬送ベルト３１下側ベルト面に対向
して下部搬送ベルト３２の上側ベルト面が接触して同速
度で回転している）の間にベルト部分の存在しないベル
ト間隙部２８が形成されている。

【００２５】該前処理手段Ａには、図１、図２に示すよ
うに、金属薄板１の酸化皮膜を除去するための前記前処
理液５を備え、図１に示すように、搬送ベルト３０（対
向接触して回転送行する上部搬送ベルト３１下側ベルト
と下部搬送ベルト３２上側ベルト）は、前処理槽５の金
属薄板搬入口と搬出口との間に張設されて送行し、該部
搬送ベルト３１上側ベルトと下部搬送ベルト３２下側ベ
ルトは、前処理槽５のそれぞれ上方、下方にガイドされ
て送行している。

【００２６】該搬送ベルト３０の前記ベルト間隙部２８
相当部の上側及び下側には、図１に示すように、金属薄
板１の酸化皮膜を前処理液によって除去する前処理槽５
と、酸化皮膜を除去した後に前処理液を洗い流すための
水洗水を該金属薄板１の表裏両面に向かって噴出する１
乃至複数の水洗水噴出ノズル６，６を上下に備える。

【００２７】なお、前処理槽５内を通過する搬送ベルト
３０（上部搬送ベルト３１と下部搬送ベルト３２本体）
にも前処理液が付着するので、上部搬送ベルト３１と下
部搬送ベルト３２本体をも水洗するための１乃至複数の
水洗水噴出ノズル（図示せず）を備えるようにしてもよ
い。

【００２８】また、金属薄板１両側を挟み込んで送行す
る搬送ベルト３０は、図２に示すように前処理槽５の金
属薄板搬送幅方向両側の側壁部５ａの内側を送行し、金
属薄１の水平搬送高さよりも高位にある側壁部５ａ上端
部よりオーバーフローする前処理液に金属薄板１を浸漬
させる。

【００２９】図１，図２に示すように、本発明の一実施
例において上記エッチング手段Ｂの後段に併設される後
処理手段Ｃは、エッチング手段Ｂにてエッチングされた
金属薄板１面のエッチング液を洗い流して水洗清浄化す
る水洗水噴出ノズル１２を備える。なお、本発明の一実
施例としては、該後処理手段Ｃの後段に、金属薄板１表
裏のレジストパターン（フォトレジスト膜）を剥膜処理
液に浸漬して溶解処理するための水酸化ナトリウム等の
アルカリ溶液等剥膜処理液を貯溜する剥膜処理槽（図示
せず）、剥膜ブラシ、水洗水噴出ノズル、乾燥手段（図
示せず）等を併設することは可能である。

【００３０】後処理手段Ｃにおける金属薄板１の搬送
は、搬送ロール（複数本のコンベアロール）、又は無端
状の搬送ベルトによって行なうものであり、本発明の一
実施例においては、例えば、前述した搬送ベルト２０と
同様に、図１、図２に示すように、搬送幅方向両側に１
対の搬送ベルトを設けることによって構成される無端状
の搬送ベルト４０により行なうことができる。

【００３１】該搬送ベルト４０は、金属薄板１をその表
裏側より挟んで支持する無端状の上部搬送ベルト４１
と、該上部搬送ベルト４１の下側ベルト面に接して同じ
送行速度で回転送行する無端状の下部搬送ベルト４２と
を備える。

【００３２】上部搬送ベルト４１は、その両端部をガイ
ドロール４３，４４によって巻回支持され、該ガイドロ
ール４３，４４のいずれか一方を、前述したエッチング
手段Ｂの搬送ベルト２０の回転送行に連動させること
（あるいは該ガイドロール４３，４４のいずれか一方を
適宜モーター）によって駆動回転させることによって、
搬送方向に回転送行する。

【００３３】下部搬送ベルト４２は、その両端部をガイ
ドロール４５，４６によって巻回支持され、下部搬送ベ
ルト４２は、該ガイドロール４５，４６のいずれか一方
を、前記ガイドロール４３，４４のいずれか一方と適宜
ギア等を介して連動回転させることによって、搬送方向
に回転送行する。

【００３４】後処理手段Ｃに設けた前記搬送ベルト４０
は、図２の平面図に示すようにその搬送幅（送行幅）方
向両側に設けた１対の前記上部搬送ベルト４１，４１
（そのそれぞれ上部搬送ベルト４１下側ベルト面に対向
して下部搬送ベルト４２の上側ベルト面が接触して同速
度で回転している）の間にベルト部分の存在しないベル
ト間隙部２９が形成されている。

【００３５】該搬送ベルト４０の前記ベルト間隙部２９
相当部の上側及び下側には、図１に示すように、金属薄
板１に付着しているエッチング液を洗い流すための水洗
水を該金属薄板１の表裏両面に向かって噴出する１乃至
複数の水洗水噴出ノズル１２を上下に備える。なお、前
段のエッチング手段Ｂより後処理手段Ｃに搬入する際
に、金属薄板１に付着しているエッチング液が搬送ベル
ト４０（上部搬送ベルト４１と下部搬送ベルト４２本
体）にも付着する場合があるので、上部搬送ベルト４１
と下部搬送ベルト４２本体をも水洗するための噴射する
１乃至複数の水洗水噴出ノズル（図示せず）を備えるよ
うにしてもよい。

【００３６】次に、本発明装置の他の実施例を、図３、
図４に従って詳細に説明すれば、図３は、その概要側面
図であり、前処理手段Ａの前端部から、エッチング手段
Ｂを通って、後処理手段Ｃの後端部までに亘って、長尺
シート状（若しくは枚葉シート状）の金属薄板１を水平
方向に搬送するための連続する無端状の搬送ベルト５０
を備える。

【００３７】該搬送ベルト５０は、長尺シート状又は枚
葉シート状の金属薄板１を上下より挟んで支持する無端
状の上部搬送ベルト５１と、該上部搬送ベルト５１の下
側ベルト面に対向接触して同送行速度で回転送行する無
端状の下部搬送ベルト５２とを備える。

【００３８】上部搬送ベルト５１は、その両端部を、前
処理手段Ａの前端部にあるガイドロール３３と後処理手
段Ｃの後端部にあるガイドロール４４とによって巻回支
持され、該ガイドロール３３，４４のいずれか一方を適
宜モーター（サーボモータ、パルスモータ等）によって
駆動回転させることによって、図３矢印方向に回転送行
する。

【００３９】下部搬送ベルト５２は、その両端部を、前
記前処理手段Ａの前端部にあるガイドロール３５と後処
理手段Ｃの後端部にあるガイドロール４６とによって巻
回支持され、下部搬送ベルト５２は、該ガイドロール３
５，４６のいずれか一方を、前記ガイドロール３３，４
４のいずれか一方と適宜ギア等を介して連動回転させる
ことによって、図３矢印方向に回転送行する。

【００４０】図４は、上記他の実施例における金属薄板
エッチング装置を示す概要平面図であり、前処理手段Ａ
より搬入する長尺シート状（若しくは枚葉シート状）の
金属薄板１の表面及び裏面には、レジストパターン１ａ
が形成されており、搬送ベルト５０は、その送行幅方向
両側に１対の前記上部搬送ベルト５１が設けられ、両側
１対の該上部搬送ベルト５１，５１と、その下側のそれ
ぞれ下部搬送ベルト５２，５２とによって金属薄板１の
搬送幅方向両端部を挟持して該金属薄板１を矢印方向に
搬送するものである。

【００４１】前記搬送ベルト５０は、図４の平面図に示
すようにその搬送幅（送行幅）方向両側に設けた１対の
前記上部搬送ベルト５１，５１（そのそれぞれ上部搬送
ベルト５１下側ベルト面には下部搬送ベルト５２の上側
ベルト面が対向接触して同速度で回転している）の間に
ベルト部分の存在しないベルト間隙部５３が形成されて
いる。

【００４２】エッチング手段Ｂにおける前記ベルト間隙
部５３相当部の上側及び下側には、図３に示すように、
金属薄板１をエッチングするためのエッチング液を該金
属薄板１の表裏両面に向かって噴出する複数の噴出ノズ
ル１０，１１を備え、それぞれ該噴出ノズル１０，１１
は、必要に応じて、搬送ベルト５０の送行幅方向（左右
方向）に、搬送ベルト５０送行速度に同期して所定周期
で反復揺動動作可能になっている。

【００４３】また上記エッチング手段Ｂの前段の前処理
手段Ａには、前処理槽５を備え、前処理槽５には、その
前後にある搬入口と搬出口側に、ゴム製の上下に圧接対
向する回転シールロール７，７がそれぞれ設置され、ま
た前処理槽５の側壁部５ａの上端部より前処理液をオー
バーフローさせながら、金属薄板１を前処理液に浸漬さ
せて酸化皮膜の除去を行なう。

【００４４】前処理手段Ａにおける搬送ベルト５０の上
部搬送ベルト５１下側ベルトと、これに対向接触する下
部搬送ベルト５２上側ベルトは、前処理槽５の搬入口と
搬出口との間に張設され、前記回転シールロール７，７
によって圧接されて送行し、該搬送ベルト５１上側ベル
トと下部搬送ベルト５２下側ベルトは、前処理槽５のそ
れぞれ上方、下方にガイドされて送行している。

【００４５】また金属薄板１両側を挟み込んで送行する
搬送ベルト５０の上部搬送ベルト５１下側ベルトと、こ
れに対向接触する下部搬送ベルト５２上側ベルトは、図
２に示すように前処理槽５の金属薄板搬送幅方向両側の
側壁部５ａの内側を送行し、金属薄１の水平搬送高さよ
りも高位にある側壁部５ａ上端部よりオーバーフローす
る前処理液に金属薄板１を浸漬させる。

【００４６】また前処理手段Ａにおける前記前処理槽５
の後段のベルト間隙部５３相当部上側及び下側には、前
処理液を洗い流して水洗清浄化する１乃至複数の水洗水
噴出ノズル６，６を備える。

【００４７】なお前処理槽５を通過する際に、前処理液
が搬送ベルト３０（上部搬送ベルト３１と下部搬送ベル
ト３２本体）にも付着するので、上部搬送ベルト３１と
下部搬送ベルト３２本体を水洗するための１乃至複数の
水洗水噴出ノズル（図示せず）を備えるようにしてもよ
い。

【００４８】図３，図４に示すように、エッチング手段
Ｂの後段に併設される後処理手段Ｃは、エッチング手段
Ｂにてエッチングされた金属薄板１面のエッチング液を
洗い流して水洗清浄化する水洗水噴出ノズル１２を備え
る。なお、該後処理手段Ｃの後段に、金属薄板１表裏の
レジストパターン（フォトレジスト膜）を剥膜処理液に
浸漬して溶解処理するための水酸化ナトリウム等のアル
カリ溶液等剥膜処理液を貯溜する剥膜処理槽（図示せ
ず）、剥膜ブラシ、水洗水噴出ノズル、乾燥手段（図示
せず）等を併設することは可能である。

【００４９】図４に示すように、後処理手段Ｃにおける
金属薄板１の搬送を行なう搬送ベルト５０のベルト部分
の存在しないベルト間隙部５３相当部の上側及び下側に
は、図１に示すように、金属薄板１に付着しているエッ
チング液を洗い流すための水洗水を該金属薄板１の表裏
両面に向かって噴出する１乃至複数の水洗水噴出ノズル
１２を上下に備える。なお、前段のエッチング手段Ｂよ
り後処理手段Ｃに搬入する際に、金属薄板１に付着して
いるエッチング液が搬送ベルト５０（上部搬送ベルト５
１と下部搬送ベルト５２本体）にも付着する場合がある
ので、上部搬送ベルト５１と下部搬送ベルト５２本体を
も水洗するための噴射する１乃至複数の水洗水噴出ノズ
ル（図示せず）を備えるようにしてもよい。

【００５０】本発明の上記他の実施例においても、前述
の一実施例（図１，図２参照）と同様に、上記エッチン
グ手段Ｂの搬送ベルト５０には、図３、図４に示すよう
に、上部搬送ベルト５１と下部搬送ベルト５２の対向接
触面を挟んで上下に対向する押さえロール５１ａ，５２
ａを１乃至数個所に適宜設置することは可能であり、該
押さえロール５１ａ，５２ａのいずれか一方のロールは
定位置に固定回転し、他方のロールは弾性的に一方のロ
ール方向に付勢されている。

【００５１】

【作用】本発明の金属薄板エッチング装置は、エッチン
グ手段Ｂに、金属薄板１の搬送幅方向両端部を保持して
搬送する無端状の搬送ベルト２０を設けたので、搬送ベ
ルト２０は、金属薄板１の両端のみを保持して前方に搬
送することができ、金属薄板１の両端以外の領域には搬
送ベルト２０が存在しないため、金属薄板１表裏両面に
向かって噴出したエッチング液は、その両面に十分に供
給されて円滑にエッチングされるものである。

【００５２】

【発明の効果】本発明の金属薄板エッチング装置は、エ
ッチングレジストパターンの形成された長尺シート状
（若しくは枚葉シート状）の金属薄板を、その両端部の
みを保持して搬送しつつ、エッチング液を金属薄板の表
裏両面に噴射してエッチングする装置であり、従来のよ
うに金属薄板の裏面をその搬送幅方向の全幅に亘って保
持して搬送するロールコンベア方式等の搬送機構を使用
しないため、金属薄板の裏面に向けて噴射されたエッチ
ング液が搬送機構によって遮断されて、エッチング液の
噴射の勢いが変動したり、金属薄板裏面へのエッチング
液の噴射量の変量によるエッチング速度の変動や、表裏
のエッチング状態の不均一の発生を回避できる。

【００５３】また、特に枚葉シート状の金属薄板をエッ
チングする場合には、従来のような搬送ロールを用いた
場合における金属薄板の搬送途中の揺れや振動により移
動したり姿勢が斜めになったりする不安定さを解消で
き、金属薄板の表裏両面側だけでなく、裏面側より金属
薄板に向かって噴射されるエッチング液の噴射の勢いを
正常に保持しつつ、金属薄板の表裏両面を均一にエッチ
ングでき、リードフレームやシャドウマスク等の金属薄
板、あるいはＴＡＢ（テープオートメイテッドボンディ
ング）リードパターン等のエッチング製品の製造に効果
的である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の金属薄板エッチング装置の一実施例に
おける概要側面図である。

【図２】本発明の金属薄板エッチング装置の一実施例に
おける概要平面図である。

【図３】本発明の金属薄板エッチング装置の他の実施例
における概要側面図である。

【図４】本発明の金属薄板エッチング装置の他の実施例
における概要平面図である。

【図５】ロールコンベア方式による従来の装置の概要側
面図である。

【符号の説明】

Ａ…前処理手段 Ｂ…エッチング手段 Ｃ…後処理手段 １…金属薄板 ２…巻取ロール状金属薄板 ３…搬送ロ
ール ４…前処理液 ５…前処理槽 ６…水洗水噴出ノズル ７…シールロー
ル ８…インフィードロール ９…アウトフィードロール １０，１１…エッチング液噴出ノズル １２…水洗水噴
出ノズル ２０…搬送ベルト ２１…上部搬送ベルト ２１ａ…押
さえロール ２２…下部搬送ベルト ２２ａ…押さえロール ２３，２４，２５，２６…ガイドロール ２７…ベルト
間隙部 ２８…ベルト間隙部 ２９…ベルト間隙部 ３０…搬送ベルト ３１…上部搬送ベルト ３２…下部
搬送ベルト ３３，３４，３５，３６…ガイドロール ４０…搬送ベルト ４１…上部搬送ベルト ４２…下部
搬送ベルト ４３，４４，４５，４６…ガイドロール ５０…搬送ベルト ５１…上部搬送ベルト ５１ａ…押
さえロール ５２…下部搬送ベルト ５２ａ…押さえロール ５３…
ベルト間隙部

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【手続補正書】

【提出日】平成５年１２月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レジストパターンが形成された金属薄板を
   搬送しつつその両面よりエッチング液を吹付けてパター
   ンエッチングするエッチング手段を備えた金属薄板エッ
   チング装置において、エッチング手段に、金属薄板の搬
   送幅方向両端部を保持して搬送する無端状の搬送ベルト
   を設けたことを特徴とする金属薄板エッチング装置。