JPH0544080Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (1) 産業上の利用分野 本考案は、板状ワーク、例えば半導体樹脂パツ
ケージのバリを超高圧水により剥離するための超
高圧水加工装置における板状ワーク搬送機構の改
良に関するものである。

(2) 従来の技術 超高圧水を利用し、水のみを用いて剥離等の加
工を行なう超高圧水加工装置において、板状ワー
クを加工のために搬送するに際し、従来、板状ワ
ークの両端部ないしは一端部の上下面を上下一対
のベルトによつて形成される間隙部分に挟持させ
て、搬送する機構が用いられてきた。

しかしながら、第一に、このベルトによつて挟
持して搬送する搬送機構においては、幅、厚みな
いしは形状の異なる板状ワークごとにベルトの段
取り替えが必要となる。

第二に、このベルトによつて挟持する搬送機構
において、板状ワークの両端部ないしは一端部を
挟持するだけであるため、板状ワークが安定しな
い。従つて、これを安定させるため受治具を板状
ワークとともに一々挟持させなければならなかつ
た。

したがつて、従来の搬送機構では、ワーク変更
に伴う作業の煩雑さが障害となり超高圧水加工装
置の効率的な運用が図れなかつた。

(3) 本考案が解決しようとする問題点 そこで、本考案は上記問題点を解消するため提
供されたものであつて、搬送機構の、二以上の上
下対のスポンジローラーによつて、板状ワーク全
体を挟持して搬送することにより、スポンジとい
う材質の特性により、厚さないし形状の異なる板
状ワークであつても、一々ベルトの段取り替えを
行なう事なく、搬送可能で、且つ、二以上の上下
対である特性により受治具を利用する必要性を省
き、よつて超高圧水加工装置の効率的運用を図れ
るようにしたものである。

(4) 問題点を解決するための技術的手段 そこで、本考案は、所定位置左右の搬送ローラ
ー間に噴射ノズルと噴射受け治具からなる加工処
理部を設けてなる板状ワークの超高圧水加工装置
において、複数個の上下一対からなる搬送スポン
ジローラーを搬送方向に板状ワークの長さよりも
短い間隔で列設させ、上下搬送スポンジローラー
間に板状ワークを挿入し、搬送することを特徴と
した超高圧水加工装置における板状ワーク搬送機
構を提供しようとするものである。

(5) 実施例 第１図は、本考案の全体が示されている超高圧
水加工装置の全体断面図である。

本実施例の超高圧水加工装置は、第４図に示さ
れるような板状ワークＡ、例えば半導体樹脂パツ
ケージのバリを超高圧水により剥離するものであ
つて、搬送部１と加工処理部２とからなる。

搬送部１には板状ワークＡの搬入口側（図中左
方）には、送り込みスポンジローラー３が配置さ
れている。

送り込みスポンジローラー３に続いて、複数個
の搬送スポンジローラー４が、上下一対で長尺方
向（板状ワークＡの搬送方向）に列設されてい
る。本実施例においては11対の搬送スポンジロー
ラー４が列設されている。

各対の搬送スポンジローラー４の左右の間隔は
板状ワークＡの長さよりも狭いものとなつてい
る。左右の搬送スポンジローラー４の間隔が最も
離れているが、加工処理部２の設けられている場
所であるが、そこにおいても第２図に示すように
板状ワークＡが、常時３組の搬送スポンジローラ
ー４に保持されているよう配置するのが好まし
い。

また、搬送スポンジローラー４の横幅は、通常
加工される板状ワークＡの最大幅よりも広いもの
となつている。

一組の搬送スポンジローラー４の間隙、すなわ
ち上下の間隙は、板状ワークＡの厚みよりも狭い
ものとなつている。スポンジという材質の関係で
図示のごとく上下搬送スポンジローラー４同志が
接する状態で良い。

搬送部１の搬出口（図中右端部）には、上下一
対の水きりローラー５が配置されている。該ロー
ラー５もスポンジローラーとすることができる。

また、送り込みスポンジローラー３と水きりロ
ーラー５の横幅は板状ワークＡの最大幅よりも広
いものとなつている。

搬送部１は、それぞれ二枚の上部プレート６及
び下部プレート７とによつて包囲されているが、
それぞれのプレートとの間に噴射ノズル８と、こ
れに対向した噴射受治具９とからなる加工処理部
２が設けられている。

本実施例においては、搬入口側では基枠１０の
上面裏側に噴射ノズル８と、これに対向して、そ
の受治面が上下の搬送スポンジローラー４の広め
の間隔とした位置に来るように噴射受治具９が具
設されている。

第３図に示すように、噴射受治具９の受治面に
は超高圧水を逃がすために多数の水逃孔１１が開
けられている。尚、噴射受治具９の横幅は板状ワ
ークＡの最大幅よりも広くなつている。

搬出路側の加工処理部２は、基枠１０の底面の
内側上に噴射ノズル８が立設され、これに対向し
て、上方に噴射受治具９が具設されている。

板状ワークＡ加工搬送機構の搬入口の前方には
搬入用ベルトコンベヤー１２が設けられ、該搬送
機構の搬出口の後方には搬出用ベルトコンベヤー
１３が設けられている。

(6) 作用 搬入用ベルトコンベヤー１２に載置されてきた
板状ワークＡ、本実施例において半導体リードフ
レームは送り込みスポンジローラー５により、本
考案の搬送部１に送り込まれる。

搬送部１中では、板状ワークＡは、その長さよ
りも短い間隔で列設されている上下一対の搬送ス
ポンジローラー４より安定した状態で図中左手方
向に送られていく。

第２図に示すごとく、この搬送部２の途中二箇
所に設けられた噴射ノズル８と噴射受治具９から
なる加工処理部２において、板状ワークＡの上下
両面のバリ取りが行なわれる。

バリを取られた板状ワークＡは水きりローラー
５により、搬出用ベルトコンベヤー１３に送られ
搬出される。

(7) 効果 本考案は板状ワークＡの搬送に、搬送スポンジ
ローラーを使用したことにより、板状ワークＡ、
例えば半導体リードフレームを破損することなく
搬送でき、幅、厚さないしは形状の異なる板状ワ
ークＡであつても、ベルトの取り替え、受治具の
挟持という作業を省け、連続投入が可能となり、
超高圧水加工装置の効率的運用が図れることとな
つた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の全体が用いられている超高圧
水加工装置の全体断面図であり、第２図は本考案
に係る搬送部において半導体リードフレームに搬
送している状態を示す一部拡大側面断面図であ
り、第３図は噴射受治具の上面図であり、第４図
は、板状ワークの一例を示す図でイは平面図、ロ
は側面図である。 １……搬送部、２……加工処理部、３……送り
込みスポンジローラー、４……搬送スポンジロー
ラー、５……水きりローラー、６……上部プレー
ト、７……下部フレート、８……噴射ノズル、９
……噴射受治具、１０……基枠、１１……水逃
孔、１２……搬入用ベルトコンベヤー、１３……
搬出用ベルトコンベヤー、Ａ……板状ワーク。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 所定位置左右の搬送ローラー間に噴射ノズルと
   噴射受け治具からなる加工処理部を設けてなる板
   状ワークの超高圧水加工装置において、複数個の
   上下一対からなる搬送スポンジローラーを搬送方
   向に板状ワークの長さよりも短い間隔で列設さ
   せ、上下搬送スポンジローラー間に板状ワークを
   挿入し、搬送することを特徴とした超高圧水加工
   装置における板状ワーク搬送機構。