JPH03297754A - セラミック基板の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はセラミック基板をブラスト用搬送コンベアで搬
送してセラミック基板をブラスト室内でブラスト処理し
た後、ブラスト用搬送コンベアから搬出コンベアに移送
するとき用いる技術に関するものである。

［従来の技術］ セラミック基板の表面をブラスト処理により研摩するも
のとして本出願人は先に特願平２−１７１９５号を出願
した。これはブラスト室を通過する搬送コンベアの外周
にＶ字状をした基板支持部を設け、このＶ字状をした基
板支持部の一方の傾斜部にセフミック基板を傾けた状態
で支持し、ブラスト室に設けたブラスト材噴出ノズルか
らブラスト材を噴出してセラミック基板の一方の表面の
ブラスト処理をし、その後Ｖ字状をした基板支持部の片
方の傾斜部に支持していたセラミック基板に反転用空気
を当ててセラミック基板を反転させて７字状をした基板
支持部の他方の傾斜部に支持させ、次いでブラスト室内
のブラスト材噴出ノズルからブラスト材を噴出してセラ
ミック基板の他方の表面のブラスト処理をするようにな
っている。

このブラスト処理したセラミック基板をブラスト用搬送
コンベア２から次工程の搬出コンベア３に移送するとき
第６図に示すようにブラスト用搬送コンベア２と搬出コ
ンベア３との間に断面Ｖ字状のシュート４′を配置しで
ある。そしてブラスト用搬送コンベア２の７字状の基板
支持部５に立てかけて支持されたセラミック基板を立て
た状態でシュート４′に送り込み、シュート４′上を滑
らせてシュート４′から搬出コンベア３に落として搬出
コンベア３で搬出するようになっている。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、上記従来例の場合、シュート４′上を滑らせ
てセラミック基板をブラスト用搬送コンベア２から搬出
コンベア３に移送する落下移送方式のため、円滑に移送
されなくてシュート４′にセラミック基板が詰まるとい
う問題があり、また落下時に衝撃で破損するという問題
があり、さらにシュート４′でセラミック基板に汚れが
付着するという問題があり、さらにまた搬出コンベア３
で次工程で搬送するのにセラミック基板の間隔のばらつ
きやセラミック基板の方向のばらつきがひどくトラブル
が多発するという問題がある。

本発明は叙述の点に鑑みてなされたものであって、本発
明の目的とするところはセラミック基板の表面処理後、
異物付着、衝撃破損、基板汚れ等を伴わず、スムーズに
次工程に搬送することがで外るセラミック基板の搬送装
置を提供するにある。

［課題を解決するための手段１ 上記目的を達成するため本発明セラミック基板の搬送装
置は、セラミック基板１をブラスト工程で搬送するブラ
スト用搬送コンベア２と、ブラスト用搬送コンベア２の
搬出側に配置された搬出コンベアと、ブラスト用搬送コ
ンベア２と搬出コンベア３との間に配置された移送コン
ベア４とを具備し、ブラスト用搬送コンベア２にはセラ
ミック基板１を斜めに立てかけて支持するためのＶ字状
３ をした基板支持部５を有し、移送コンベア４は相対向す
るように配置した受けコンベア４ａζ−押さえコンベア
４ｂとで構成し、受けコンベア４ａ及び押さえコンベア
４ｂを、軸方向が上下方向を向くガイドローラ６に複数
条のロープ７を掛け渡したロープコンベアとし、ブラス
ト用搬送コンベア２で立てて搬送されてきたセラミック
基板１を受けコンベア４ａのロー１７と押さえコンベア
４ｂのロープ７どの間に挟持して搬出コンベア３に移送
するようにしたことを特徴とする。

［作用］ ブラスト用搬送コンベア２で立てて搬送されてきたセラ
ミック基板１を移送コンベア４の受けコンベア４ａのロ
ープッと押さえフンベア４ｂのロープ７どの間に挟持し
て移送して搬出コンベア３に載せて搬出できるものであ
って、セラミック基板１が次々とスムーズに搬送され、
しかもセラミック基板１が一定の間隔でかつ一定の向き
で搬送され、またセラミック基板１に衝撃がかからなく
、さらにセラミック基板１が汚れないように搬送で４ きる。

Ｅ大施例］ 本発明はプラス・ト用搬送コンベア２から移送コンベア
４を介して次工程に送る搬出コンベア３にセラミック基
板１を搬送する装置に関するものであるが、まずセラミ
ック基板１をブラスト処理する装置について説明する。

第３図、第４図に示すようにブラスト用搬送コンベア２
は一対のチェーンコンベア２ａ間に多数のバー２ｂを一
定間隔で架設して構成してあり、このバー２ｂには７字
状をした線状材よりなる基板支持部５が取り付けである
。この７字状をした基板支持部５にはセラミック基板１
が支持されてブラスト用搬送コンベア２により搬送する
ようになっているが、この場合、セラミック基板１は７
字状をした基板支持部５の両側の傾斜部８のうち一方の
傾斜部８にもたれかかるようにして傾けて支持するよう
になっている。

ブラスト用搬送コンベア２はブラスト室９、ブラスト室
９の隣に設けた空気洗浄室１０を通過してセラミック基
板１を搬送するようになっている。

ブラスト室９の入口側近傍のブラスト用搬送コンベア２
の一方の側方の上部に前反転用空気噴出７ズルｌｌａを
設けてあって、この前反転用空気噴出ノズルｌｌａから
反転用空気を噴出し、■字状をした基板支持部５に傾け
て支持させているセラミック基板１の側方より反転用空
気を吹き付けるものである。この場合、ブラスト用搬送
コンベア２の始端側において７字状をした基板支持部５
にセラミック基板１を載せて支持した際に、第５図（、
）に示すように予めこの前反転用空気噴出ノズルｌｌａ
側の傾斜部８に支持させであると、前反転用空気噴出ノ
ズルｌｌａから噴出された反転用空気がセラミック基板
１に当たり、第５図（、）に示す想像線のように反転し
て７字状をした基板支持部５の他方の傾斜部８側に支持
されるものであり、またブラスト用搬送コンベア２の始
端側において７字状をした基板支持部５にセラミック基
板１を載せて支持した際に、第５図（ｂ）に示すように
予めこの前反転用空気噴出ノズルｌｌａと反対側の傾斜
部８に支持させであると、前反転用空気噴出ノズルｌｌ
ａから噴出された反転用空気がセラミック基板１に当た
っても反転しないものである。したがって、ブラスト用
搬送コンベア２の始端側において７字状をした基板支持
部５の両頭斜部８のうちいずれの傾斜部８にセラミック
基板１を支持させてあっても前反転用空気噴出ノズル１
１８部分を通過すると７字状の基板支持部５のうち同じ
方の傾斜部８に傾斜して支持されるものである。ブラス
ト室９の前半部にはブラスト材噴出ノズル１２を設けて
あり、このブラスト材噴出ノズル１２は７字状をした基
板支持部５の片側の傾斜部８に支持されたセラミック基
板１の搬送方向の一方の側方上部（つまり前記の前反転
用空気噴出ノズルｌｌａと同じ側の側方の上部）におい
てセラミック基板１の傾斜している表面に対向するよう
に配置されていて、傾斜したセラミック基板１の一方の
表面をブラスト処理するようになっている。ブラスト室
９の小□間部に設けた中間反転用空気噴出ノズルｌｌｂ
は７字状の基板支持部５に支持されたセラミック基板１
の搬送方向の他方の側７ 方（つまり前空気噴出／ズルＩｌａと反対側の側方）に
配置してあり、この中間反転用空気噴出ノズル１１１〕
から反転用空気を噴出して７字状をした基板支持部５の
一方の傾斜部８に支持されていたセラミック基板１を反
転して他方の傾斜部８に支持させるものである。ブラス
ト室１の後半部にもブラスト材噴出ノズル１２が設けて
あり、このブラスト材噴出７ズル１２は７字状をした基
板支持部５に支持されたセラミック基板１の搬送方向の
他方の側方上部（つまり前記前反転用噴出ノズル１１ａ
と反対側の側方の上部）においてセラミック基板１の傾
斜している他方の表面に対向するように配置されていて
、傾斜したセラミック基板１の他方の表面にブラスト材
を噴出してセラミック基板１の他方の表面をブラスト処
理するようになっている。空気洗浄室１０内の中間部分
には洗浄室反転用空気噴出ノズル１１Ｃが設けてあって
、この洗浄室反転用空気噴出ノズル１１Ｃは前反転用空
気噴出ノズル１１ａと同じ側に配置しである。また空気
洗浄室１０内の前半部と後半部とにはそれ８− ぞれ洗浄用空気噴出／ズル１３を設けてあり、前半部に
設けた洗浄用空気噴出ノズル１３は洗浄室反転用空気噴
出ノズルｌｌｃと反対側の側方の上部に配設してあり、
後半部に設けた洗浄用空気噴出ノズル１３は洗浄室反転
用空気噴出ノズル１１Ｃと同じ側の側方の上部に配設し
である。また空気洗浄室１０の外の側方には後反転用空
気噴出７ズルｌｉｄを設けてあり、後反転用空気噴出ノ
ズルｌｉｄは前反転用空気噴出ノズルｌｌａと反対側に
配置しである。しかして、■字状をした基板支持部５の
傾斜部８に支持されたセラミック基板１が搬送されると
、前反転用空気噴出ノズルｌｌａで空気が噴出されて一
方の傾斜部８にセラミック基板１を傾斜して支持させ、
この状態でブラスト室９内に入り、前半部のブラスト材
噴出ノズル１２から噴出されたブラスト材によりセラミ
ック基板１の一方の表面がブラスト処理され、次に中間
反転用空気噴出ノズル１１１）がら噴出された反転用空
気によりセラミック基板１が反転し、次いで後半部のブ
ラスト材噴出ノズル１２がら噴出されたブラスト材によ
りセラミック基板１の他方の表面をブラスト処理し、次
いで空気洗浄室１０内に送られ、萌半邪の洗浄用空気噴
出ノズル１３がら噴出された空気によりセラミック基板
１の他方の表面が洗浄され、次いで洗浄室反転用空気噴
出ノズルｌｌｃより噴出された空気によりセラミック基
板１が反転し、次いで後半部の洗浄用空気噴出ノズル１
３がら噴出された空気によりセラミック基板１の一方の
表面を洗浄し、その後、後反転用空気噴出ノズルｌｉｄ
がら噴出された反転用空気によりセラミック基板１が反
転される。

上記のようにブラスト処理する装置のブラスト用搬送コ
ンベア２からベルトコンベアのような搬出コンベア３に
セラミック基板１を移送するために第１図に示すように
ブラスト用搬送コンベア２と搬出コンベア３との間に移
送コンベア４を架設しである。この移送コンベア４は受
けコンベア４ａと押さえコンベア４ｂとを相対向するよ
うに設けて構成されている。受けコンベア４ａ及び押さ
えコンベア４ｂはロープコンベアであって、７レーム１
４に複数本のガイドローラ６を装着すると共にガイドロ
ーラ６に複数本のロープ７を巻回して形成されている。

上記ロープ７はポリウレタンのような材料にて形成され
ている。受けコンベア４ａと押さえコンベア４１〕とは
受けコンベア４ａの長さが艮＜、押さえコンベア４ｂの
技手方向の両端より受けコンベア４ａの両端が突出して
いる。上記ブラスト用搬送コンベア２の基板支持部５に
支持されたセラミック基板１は第２図（ａ）に示すよう
に受けコンベア４ａと反対側の傾斜部８に沿って移送コ
ンベア４の方に搬送されてきて、受けコンベア４ａの位
置まできたとき、反転用空気が噴出されてセラミック基
板１が第２図（ｂ）に示すよウニ受ケコンベア４ａに沿
うように起立させられ、受けコンベア４ａで送られ、第
２図（ｃ）に示すように受けコンベア４ａと押さえコン
ベア４ｂとの間に導入され、相対向するロープ７間に挟
持されてセラミック基板１が送られ、第２図（ｄ）に示
すように受けコンベア４ａと押さえコンベア４ｂとで挟
持されて搬出コンベア３上まで搬送され、第２図（ｅ）
１１− に示すようにセラミック基板１が押さえコンベア４１〕
から離れてセラミック基板１が搬出コンベア３上に倒れ
（このとき必要に応じてセラミック基板１に空気を吹き
付けて倒す）、搬出コンベア３で搬出される。このよう
にしてセラミック基板１が次々とブラスト用搬送コンベ
ア２がら移送コンベア４を介して搬出コンベア３に移送
され、次々と一定間隔でセラミック基板１が移送される
と共にセラミック基板１が一定の向きに向くように載せ
られる。

［発明の効果］ 本発明は叙述の如く構成されているので、ブラスト用搬
送コンベアで立てて搬送されてきたセラミック基板を移
送コンベアの受けコンベアのロープと押さえコンベアの
ロープとの開に挟持して移送して搬出コンベアに載せて
搬出できるものであって、セラミック基板を確実に挟持
して搬送で外でセラミック基板を一定の間隔で搬送で評
ると共にセラミック基板が一定の向きになるように搬出
コンベアに載せることができて処理能力がアップす２− ると共にトラブルが発生することがないものであり、し
かも従来のようにシュートで詰まるようなトラブルなし
にスムーズに移動できてこの点でも処理能力をアップで
きるものであり、またシュートで落下させるもののよう
に基板の破損や基板の汚れがなくなるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一部切欠斜視図、第２図（ａ）（１＋
）（ｃ）（ｄ）（ｅ）は同上の動作を説明する斜視図、
第３図（ａ）（＋１）は同上のブラスト処理する装置の
平面図及び正面図、第４図（ａ）（ｂ）はブラスト用搬
送コンベアの一部切欠平面図及び側面図、第５図（ａ）
（ｂ）はセラミック基板の反転を説明する説明図、第６
図は従来例の斜視図であって、１はセラミック基板、２
はブラスト用搬送コンベア、３は搬出コンベア、４は移
送コンベア、４ａは受けコンベア、４ｂは押さえコンベ
ア、５は基板支持部、６はガイドローラ、７はロープで
ある。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ［１］セラミック基板をブラスト工程で搬送するブラス
   ト用搬送コンベアと、ブラスト用搬送コンベアの搬出側
   に配置された搬出コンベアと、ブラスト用搬送コンベア
   と搬出コンベアとの間に配置された移送コンベアとを具
   備し、ブラスト用搬送コンベアにはセラミック基板を斜
   めに立てかけて支持するためのＶ字状をした基板支持部
   を有し、移送コンベアは相対向するように配置した受け
   コンベアと押さえコンベアとで構成し、受けコンベア及
   び押さえコンベアを、軸方向が上下方向を向くガイドロ
   ーラに複数条のロープを掛け渡したロープコンベアとし
   、ブラスト用搬送コンベアで立てて搬送されてきたセラ
   ミック基板を受けコンベアのロープと押さえコンベアの
   ロープとの間に挟持して搬出コンベアに移送するように
   したことを特徴とするセラミック基板の搬送装置。