JPH09193099A - ウォータジェット樹脂バリ取り装置 - Google Patents
ウォータジェット樹脂バリ取り装置Info
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- JPH09193099A JPH09193099A JP3006396A JP3006396A JPH09193099A JP H09193099 A JPH09193099 A JP H09193099A JP 3006396 A JP3006396 A JP 3006396A JP 3006396 A JP3006396 A JP 3006396A JP H09193099 A JPH09193099 A JP H09193099A
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- roller
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体装置のバリ取り時、薄肉モールドパッ
ケージでも常にスリップさせることなく搬送し正しくバ
リ取りが行える技術の提供。 【解決手段】 バリ取り位置１，２にパッケージ受け板
２４，４１が配置され、パッケージ受け板を挟んで両側
にモールド済みリードフレームの搬送手段５，１８，２
５，３１が配置され、搬送手段の一方側が中実のゴムベ
ルトコンベア７，８および３２，３３で形成され、搬送
手段の他方側が中実のゴム製ローラ１９，２０および２
６，２７で形成され、前記２段のベルトコンベアのうち
上段ベルトコンベアにおけるパッケージ受け板隣接側が
下段ベルトコンベア側へ押圧される付勢手段１６，４０
を備え、２段のローラのうち上段ローラが下段ローラ側
へ押圧される付勢手段２３，３０を備えている。
ケージでも常にスリップさせることなく搬送し正しくバ
リ取りが行える技術の提供。 【解決手段】 バリ取り位置１，２にパッケージ受け板
２４，４１が配置され、パッケージ受け板を挟んで両側
にモールド済みリードフレームの搬送手段５，１８，２
５，３１が配置され、搬送手段の一方側が中実のゴムベ
ルトコンベア７，８および３２，３３で形成され、搬送
手段の他方側が中実のゴム製ローラ１９，２０および２
６，２７で形成され、前記２段のベルトコンベアのうち
上段ベルトコンベアにおけるパッケージ受け板隣接側が
下段ベルトコンベア側へ押圧される付勢手段１６，４０
を備え、２段のローラのうち上段ローラが下段ローラ側
へ押圧される付勢手段２３，３０を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
時にＩＣチップのモールド用パッケージ回りの樹脂バリ
等をウォータジェットで除去するようにしたウォータジ
ェット樹脂バリ取り装置に関する。
時にＩＣチップのモールド用パッケージ回りの樹脂バリ
等をウォータジェットで除去するようにしたウォータジ
ェット樹脂バリ取り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置はＩＣチップのモールド後、
モールドパッケージ回りの樹脂バリ除去工程があり、こ
の従来の樹脂バリ除去工程で使用される装置として、上
下一対のスポンジローラを、噴射ノズルと噴射受け治具
を備えた加工処理部の両側であって搬送方向に複数個板
状ワークの長さより短い間隔で列設させた板状ワーク搬
送機構があった（実開平３−１７６３号公報参照）。
モールドパッケージ回りの樹脂バリ除去工程があり、こ
の従来の樹脂バリ除去工程で使用される装置として、上
下一対のスポンジローラを、噴射ノズルと噴射受け治具
を備えた加工処理部の両側であって搬送方向に複数個板
状ワークの長さより短い間隔で列設させた板状ワーク搬
送機構があった（実開平３−１７６３号公報参照）。
【０００３】この従来の板状ワーク搬送機構では、板状
ワークの幅、厚み、ないしは形状の異なる板状ワーク
を、特にベルト等搬送部分の段取り替えを行うことなく
搬送、つまり加工処理部で超高圧水を受けさせながら板
状ワークをスムーズに通過させるようになされている。
ワークの幅、厚み、ないしは形状の異なる板状ワーク
を、特にベルト等搬送部分の段取り替えを行うことなく
搬送、つまり加工処理部で超高圧水を受けさせながら板
状ワークをスムーズに通過させるようになされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】半導体装置は大量生産
され、それに係わってモールドパッケージ回りのバリ取
りも平行して行われるが、従来のように、スポンジロー
ラだとヘタリが早く細身になって適正な挟持力が得られ
なくなる。特に、近年の半導体装置は多様化され１ｍｍ
厚程度のモールドパッケージを備えたものも製造されて
おり、これだと搬送時にスリップを起して正しいバリ取
りを行えないという問題があった。
され、それに係わってモールドパッケージ回りのバリ取
りも平行して行われるが、従来のように、スポンジロー
ラだとヘタリが早く細身になって適正な挟持力が得られ
なくなる。特に、近年の半導体装置は多様化され１ｍｍ
厚程度のモールドパッケージを備えたものも製造されて
おり、これだと搬送時にスリップを起して正しいバリ取
りを行えないという問題があった。
【０００５】本発明は、かかる従来の問題点を解決する
ためになされたものであって、その目的とするところ
は、半導体装置のモールドパッケージ回りのバリ取り
時、薄肉のモールドパッケージでも常にスリップさせる
ことなく搬送し、正しくバリ取りを行えるようにしたウ
ォータジェット樹脂バリ取り装置を提供することにあ
る。
ためになされたものであって、その目的とするところ
は、半導体装置のモールドパッケージ回りのバリ取り
時、薄肉のモールドパッケージでも常にスリップさせる
ことなく搬送し、正しくバリ取りを行えるようにしたウ
ォータジェット樹脂バリ取り装置を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の手段として本発明請求項１記載のウォータジェット樹
脂バリ取り装置では、ウォータジェットを噴射するバリ
取り位置にパッケージ受け板が配置され、かつ該パッケ
ージ受け板を挟んで両側にモールド済みリードフレーム
の搬送手段が配置され、前記搬送手段の一方側が中実の
ゴムベルトコンベアを上下２段に設けて形成され、前記
搬送手段の他方側が中実のゴムローラを上下２段に設け
て形成され、かつ、前記２段のベルトコンベアのうち上
段ベルトコンベアにおけるパッケージ受け板隣接側が下
段ベルトコンベア側へ押圧される付勢手段を備え、かつ
前記２段のローラのうち上段ローラが下段ローラ側へ押
圧される付勢手段を備えている構成とした。
の手段として本発明請求項１記載のウォータジェット樹
脂バリ取り装置では、ウォータジェットを噴射するバリ
取り位置にパッケージ受け板が配置され、かつ該パッケ
ージ受け板を挟んで両側にモールド済みリードフレーム
の搬送手段が配置され、前記搬送手段の一方側が中実の
ゴムベルトコンベアを上下２段に設けて形成され、前記
搬送手段の他方側が中実のゴムローラを上下２段に設け
て形成され、かつ、前記２段のベルトコンベアのうち上
段ベルトコンベアにおけるパッケージ受け板隣接側が下
段ベルトコンベア側へ押圧される付勢手段を備え、かつ
前記２段のローラのうち上段ローラが下段ローラ側へ押
圧される付勢手段を備えている構成とした。
【０００７】請求項２記載のウォータジェット樹脂バリ
取り装置では、請求項１記載のウォータジェット樹脂バ
リ取り装置において、前記バリ取り位置がリードフレー
ムの搬送方向に前後して２個所設けられ、搬入側のバリ
取り位置には搬送位置より下方から上向きにウォータジ
ェットを噴射するノズルが設けられ、搬出側のバリ取り
位置には搬送位置より上方から下向きにウォータジェッ
トを噴射するノズルが設けられている構成とした。
取り装置では、請求項１記載のウォータジェット樹脂バ
リ取り装置において、前記バリ取り位置がリードフレー
ムの搬送方向に前後して２個所設けられ、搬入側のバリ
取り位置には搬送位置より下方から上向きにウォータジ
ェットを噴射するノズルが設けられ、搬出側のバリ取り
位置には搬送位置より上方から下向きにウォータジェッ
トを噴射するノズルが設けられている構成とした。
【０００８】請求項３記載のウォータジェット樹脂バリ
取り装置では、請求項１または２記載のウォータジェッ
ト樹脂バリ取り装置において、前記ローラに代えベルト
コンベアが配置されている構成とした。
取り装置では、請求項１または２記載のウォータジェッ
ト樹脂バリ取り装置において、前記ローラに代えベルト
コンベアが配置されている構成とした。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１はウォータジェット樹脂バリ
取り装置Ａを示す斜視図、図２は使用状態を示す説明図
である。
に基づいて説明する。図１はウォータジェット樹脂バリ
取り装置Ａを示す斜視図、図２は使用状態を示す説明図
である。
【００１０】図中１，２は所定の水平線上に前後して設
けたバリ取り位置、３は前記バリ取り位置のうち搬入側
のバリ取り位置１に配置され下方から上向きにウォータ
ジェットを揺動して噴射する上向きノズル、４は同様に
搬出側のバリ取り位置２に配置され上方から下向きにウ
ォータジェットを揺動して噴射する下向きノズルであ
る。
けたバリ取り位置、３は前記バリ取り位置のうち搬入側
のバリ取り位置１に配置され下方から上向きにウォータ
ジェットを揺動して噴射する上向きノズル、４は同様に
搬出側のバリ取り位置２に配置され上方から下向きにウ
ォータジェットを揺動して噴射する下向きノズルであ
る。
【００１１】５は前記バリ取り位置１の搬入側に配置さ
れたコンベア搬送部であり、前記バリ取り位置１，２の
水平線上を搬送面６上とした搬送用ベルトコンベア７
と、この上段に配置された押圧用ベルトコンベア８とで
構成されている。図中９は前記搬送用ベルトコンベア７
の搬送面６を形成する中実ゴム製の歯付きベルト、１０
ａ，１０ｂは前記歯付きベルト９を掛止する歯付きプー
リであり、いずれも機体フレーム１１側に回転自在に軸
支されている。このうち歯付きプーリ１０ａは、前記バ
リ取り位置１の搬入側に近接して配置されている。
れたコンベア搬送部であり、前記バリ取り位置１，２の
水平線上を搬送面６上とした搬送用ベルトコンベア７
と、この上段に配置された押圧用ベルトコンベア８とで
構成されている。図中９は前記搬送用ベルトコンベア７
の搬送面６を形成する中実ゴム製の歯付きベルト、１０
ａ，１０ｂは前記歯付きベルト９を掛止する歯付きプー
リであり、いずれも機体フレーム１１側に回転自在に軸
支されている。このうち歯付きプーリ１０ａは、前記バ
リ取り位置１の搬入側に近接して配置されている。
【００１２】また、図中１２は前記押圧用ベルトコンベ
ア８の中実ゴム製の歯付きベルト、１３ａ，１３ｂは前
記歯付きベルト１２を掛止する歯付きプーリであり、こ
のうち、歯付きプーリ１３ｂは、前記機体フレーム１１
に回動自在に軸支されている。尚、この押圧用ベルトコ
ンベア８は、モールド済みリードフレーム１７のバリ取
り側だけに配置されるように、歯付きプーリ１３ａ，１
３ｂの軸間距離が搬送用ベルトコンベア７における歯付
きプーリ１０ａ，１０ｂの軸間距離より短く設定されて
いる。
ア８の中実ゴム製の歯付きベルト、１３ａ，１３ｂは前
記歯付きベルト１２を掛止する歯付きプーリであり、こ
のうち、歯付きプーリ１３ｂは、前記機体フレーム１１
に回動自在に軸支されている。尚、この押圧用ベルトコ
ンベア８は、モールド済みリードフレーム１７のバリ取
り側だけに配置されるように、歯付きプーリ１３ａ，１
３ｂの軸間距離が搬送用ベルトコンベア７における歯付
きプーリ１０ａ，１０ｂの軸間距離より短く設定されて
いる。
【００１３】１４は一端側を水平軸１５で前記機体フレ
ーム１１に回動自在に軸支されたスイングアーム、１６
はこのスイングアーム１４の先端側を下向きに付勢する
スプリングであり、前記スイングアーム１４の先端に
は、前記押圧用ベルトコンベア８の歯付きプーリ１３ａ
が回動自在に軸支されている。そして、このスイングア
ーム１４は、下向きスイング時に前記歯付きプーリ１３
ａを前記搬送用ベルトコンベア７における歯付きプーリ
１０ａと略同一垂直面内で一致させるように設定されて
いる。
ーム１１に回動自在に軸支されたスイングアーム、１６
はこのスイングアーム１４の先端側を下向きに付勢する
スプリングであり、前記スイングアーム１４の先端に
は、前記押圧用ベルトコンベア８の歯付きプーリ１３ａ
が回動自在に軸支されている。そして、このスイングア
ーム１４は、下向きスイング時に前記歯付きプーリ１３
ａを前記搬送用ベルトコンベア７における歯付きプーリ
１０ａと略同一垂直面内で一致させるように設定されて
いる。
【００１４】また、図中１８は前記バリ取り位置１の搬
出側に配置されたローラ搬送部であり、外周面上辺を前
記搬送用ベルトコンベア７の搬送面６と一致させた状態
で前記機体フレーム１１に回動自在に軸支された搬送用
ローラ１９と、この上段に配置された押圧用ローラ２０
とで構成されている。両ローラ１９，２０は、いずれも
中実のゴム製ローラであり、このため、上段の押圧用ロ
ーラ２０は、前記押圧用ベルトコンベア８と同様にスイ
ングアーム２１先端に回動自在に軸支されている。２２
はこのスイングアーム２１の水平軸、２３は付勢用スプ
リングであり、これ等はスイングアーム１４と同様の作
用を行うものである。
出側に配置されたローラ搬送部であり、外周面上辺を前
記搬送用ベルトコンベア７の搬送面６と一致させた状態
で前記機体フレーム１１に回動自在に軸支された搬送用
ローラ１９と、この上段に配置された押圧用ローラ２０
とで構成されている。両ローラ１９，２０は、いずれも
中実のゴム製ローラであり、このため、上段の押圧用ロ
ーラ２０は、前記押圧用ベルトコンベア８と同様にスイ
ングアーム２１先端に回動自在に軸支されている。２２
はこのスイングアーム２１の水平軸、２３は付勢用スプ
リングであり、これ等はスイングアーム１４と同様の作
用を行うものである。
【００１５】また、２４はバリ取り位置１に配置された
パッケージ受け板であり、その下面が前記搬送用ベルト
コンベア７における搬送面６からモールドパッケージ部
１７ａの厚さと略同一寸法だけ上方に、かつバリ取り位
置１の横幅いっぱいに設けられている。
パッケージ受け板であり、その下面が前記搬送用ベルト
コンベア７における搬送面６からモールドパッケージ部
１７ａの厚さと略同一寸法だけ上方に、かつバリ取り位
置１の横幅いっぱいに設けられている。
【００１６】２５は前記バリ取り位置１の後方に引き続
き設けられたバリ取り位置２の搬入側に配置されたロー
ラ搬送部、２６は前記ローラ搬送部の搬送用ローラ、２
７はその搬送用ローラ２６の上段に配置された押圧用ロ
ーラ、２８は前記押圧用ローラを先端側に軸支したスイ
ングアーム、２９は同じく水平軸、３０は付勢用スプリ
ングであり、これ等は前記ローラ搬送部１８と同様の作
用を行うものである。
き設けられたバリ取り位置２の搬入側に配置されたロー
ラ搬送部、２６は前記ローラ搬送部の搬送用ローラ、２
７はその搬送用ローラ２６の上段に配置された押圧用ロ
ーラ、２８は前記押圧用ローラを先端側に軸支したスイ
ングアーム、２９は同じく水平軸、３０は付勢用スプリ
ングであり、これ等は前記ローラ搬送部１８と同様の作
用を行うものである。
【００１７】３１はバリ取り位置２の搬出側に配置され
たコンベア搬送部、３２はそのコンベア搬送部３１の搬
送用ベルトコンベア、３３は押圧用ベルトコンベア、３
４は前記搬送用ベルトコンベア３２の歯付きベルト、３
５ａ，３５ｂは同じく歯付きプーリ、３６は前記押圧用
ベルトコンベア３３の歯付きベルト、３７ａ，３７ｂは
同じく歯付きプーリ、３８は前記歯付きプーリのうちバ
リ取り位置２の搬出側に配置された歯付きプーリ３７ｂ
を軸支したスイングアーム、３９はこのスイングアーム
の水平軸、４０は同じく付勢用スプリングであり、スイ
ングアーム３８は前記ベルト搬送部５のスイングアーム
１４と同様の作用を行うものである。
たコンベア搬送部、３２はそのコンベア搬送部３１の搬
送用ベルトコンベア、３３は押圧用ベルトコンベア、３
４は前記搬送用ベルトコンベア３２の歯付きベルト、３
５ａ，３５ｂは同じく歯付きプーリ、３６は前記押圧用
ベルトコンベア３３の歯付きベルト、３７ａ，３７ｂは
同じく歯付きプーリ、３８は前記歯付きプーリのうちバ
リ取り位置２の搬出側に配置された歯付きプーリ３７ｂ
を軸支したスイングアーム、３９はこのスイングアーム
の水平軸、４０は同じく付勢用スプリングであり、スイ
ングアーム３８は前記ベルト搬送部５のスイングアーム
１４と同様の作用を行うものである。
【００１８】４１は前記バリ取り位置２に配置されたパ
ッケージ受け板であり、このバリ取り位置２では、その
上方でノズル４が下向きに設けられているため、その上
面が前記搬送面６と同一位置に、かつバリ取り位置２の
横幅いっぱいに設けられている。
ッケージ受け板であり、このバリ取り位置２では、その
上方でノズル４が下向きに設けられているため、その上
面が前記搬送面６と同一位置に、かつバリ取り位置２の
横幅いっぱいに設けられている。
【００１９】４２は洗浄ノズル、４３は上下一組の脱水
用スポンジローラ、４４は搬出用ベルトコンベア、４５
はこの搬出用ベルトコンベア等の駆動部、４６は前記搬
出用ベルトコンベア４４の速度制御用速度検出部であ
り、前記駆動部４５は、前記搬出用ベルトコンベア４４
の他、前記搬送用ベルトコンベア７，３２、押圧用ベル
トコンベア８，３３、搬送用ローラ１９，２６の全てを
同一搬送速度となるように駆動する。４７は投入された
モールド済みリードフレーム１７の入口側確認センサ、
４８は同じく搬出されるモールド済みリードフレーム１
７の出口側確認センサである。
用スポンジローラ、４４は搬出用ベルトコンベア、４５
はこの搬出用ベルトコンベア等の駆動部、４６は前記搬
出用ベルトコンベア４４の速度制御用速度検出部であ
り、前記駆動部４５は、前記搬出用ベルトコンベア４４
の他、前記搬送用ベルトコンベア７，３２、押圧用ベル
トコンベア８，３３、搬送用ローラ１９，２６の全てを
同一搬送速度となるように駆動する。４７は投入された
モールド済みリードフレーム１７の入口側確認センサ、
４８は同じく搬出されるモールド済みリードフレーム１
７の出口側確認センサである。
【００２０】次に、作用を説明する。バリ取り前のモー
ルド済みリードフレーム１７は、搬送用ベルトコンベア
７の始端側に一枚ずつ適宜間隔を設けて人手投入され
る。この投入されたモールド済みリードフレーム１７
は、搬送面６上で押圧用ベルトコンベア８との間に形成
される隙間に進入し、その歯付きプーリ１３ａ側で押圧
されながらパッケージ受け板２４の下面側に搬送され
る。このとき、押圧用ベルトコンベア８は、モールド済
みリードフレーム１７のモールドパッケージ部１７ａの
厚さにより、スイングアーム１４がスプリング１６や自
重による付勢力を保持しながら逃げ方向にスイングし、
洗浄位置１側へのスムーズな繰り出しと繰り出し方向へ
の動きのみを確保する。
ルド済みリードフレーム１７は、搬送用ベルトコンベア
７の始端側に一枚ずつ適宜間隔を設けて人手投入され
る。この投入されたモールド済みリードフレーム１７
は、搬送面６上で押圧用ベルトコンベア８との間に形成
される隙間に進入し、その歯付きプーリ１３ａ側で押圧
されながらパッケージ受け板２４の下面側に搬送され
る。このとき、押圧用ベルトコンベア８は、モールド済
みリードフレーム１７のモールドパッケージ部１７ａの
厚さにより、スイングアーム１４がスプリング１６や自
重による付勢力を保持しながら逃げ方向にスイングし、
洗浄位置１側へのスムーズな繰り出しと繰り出し方向へ
の動きのみを確保する。
【００２１】洗浄位置１では、繰り出されたモールド済
みリードフレーム１７の先端が搬送用ローラ１９と押圧
用ローラ２０との間で掴まれ動きが搬送方向のみに限定
された状態となる。このとき、上向きノズル３はウオー
タジェットをパッケージ受け板２４に向け揺動させなが
ら噴射しており、この位置に来たモールドパッケージ部
１７ａは、その上面側をパッケージ受け板２４にて保持
されながらウオータジェットを受け、その下面側からバ
リ取りされる。
みリードフレーム１７の先端が搬送用ローラ１９と押圧
用ローラ２０との間で掴まれ動きが搬送方向のみに限定
された状態となる。このとき、上向きノズル３はウオー
タジェットをパッケージ受け板２４に向け揺動させなが
ら噴射しており、この位置に来たモールドパッケージ部
１７ａは、その上面側をパッケージ受け板２４にて保持
されながらウオータジェットを受け、その下面側からバ
リ取りされる。
【００２２】この様にしてバリ取り位置１をモールドパ
ッケージ部１７ａが次々と通過し、それぞれバリ取りさ
れながら次のバリ取り位置２へ搬送される。このとき、
押圧用ローラ２０は前記押圧用ベルトコンベア８と同様
にモールドパッケージ部１７ａの厚さにより、スイング
アーム２１がスプリング２３や自重による付勢力を保持
しながら逃げ方向にスイングし、洗浄位置２側へのスム
ーズな繰り出しと繰り出し方向への動きのみを確保す
る。
ッケージ部１７ａが次々と通過し、それぞれバリ取りさ
れながら次のバリ取り位置２へ搬送される。このとき、
押圧用ローラ２０は前記押圧用ベルトコンベア８と同様
にモールドパッケージ部１７ａの厚さにより、スイング
アーム２１がスプリング２３や自重による付勢力を保持
しながら逃げ方向にスイングし、洗浄位置２側へのスム
ーズな繰り出しと繰り出し方向への動きのみを確保す
る。
【００２３】この洗浄位置２側では、ローラ搬送部２５
の搬送用ローラ２６と押圧用ローラ２７とによってモー
ルド済みリードフレーム１７が繰り出され、その先端部
がコンベア搬送部３１の搬送用コンベア３２と押圧用コ
ンベア３３との間で掴まれ動きが搬送方向のみに限定さ
れた状態となる。このとき、下向きノズル４はウオータ
ジェットをパッケージ受け板４１に向け揺動させながら
噴射しており、この位置に来たモールドパッケージ部１
７ａは、その下面側をパッケージ受け板４１にて保持さ
れながらウオータジェットを受け、その上面側からバリ
取りされる。
の搬送用ローラ２６と押圧用ローラ２７とによってモー
ルド済みリードフレーム１７が繰り出され、その先端部
がコンベア搬送部３１の搬送用コンベア３２と押圧用コ
ンベア３３との間で掴まれ動きが搬送方向のみに限定さ
れた状態となる。このとき、下向きノズル４はウオータ
ジェットをパッケージ受け板４１に向け揺動させながら
噴射しており、この位置に来たモールドパッケージ部１
７ａは、その下面側をパッケージ受け板４１にて保持さ
れながらウオータジェットを受け、その上面側からバリ
取りされる。
【００２４】全てのモールドパッケージ部１７ａがバリ
取り位置２を通過後、モールド済みリードフレーム１７
は搬送用ベルトコンベア３２で脱水用スポンジローラ４
３側へ搬送され、その途中で洗浄水ノズル４２で洗浄さ
れ、先端部から脱水用スポンジローラ４３，４３の間に
進入し、そこで水切りされた後、搬出用コンベア４４で
次工程側へ搬出される。
取り位置２を通過後、モールド済みリードフレーム１７
は搬送用ベルトコンベア３２で脱水用スポンジローラ４
３側へ搬送され、その途中で洗浄水ノズル４２で洗浄さ
れ、先端部から脱水用スポンジローラ４３，４３の間に
進入し、そこで水切りされた後、搬出用コンベア４４で
次工程側へ搬出される。
【００２５】以上説明してきたように、本ウオータジェ
ット樹脂バリ取り装置Ａにあっては、そのバリ取り位置
１では、モールド済みリードフレーム１７を押圧用ベル
トコンベア８、または押圧用ローラ２０で掴み保持した
状態でモールドパッケージ部１７ａの下面側からバリ取
りし、バリ取り位置２では押圧用ローラ２７または押圧
用ベルトコンベア３３で掴み保持した状態でモールドパ
ッケージ部１７ａの上面側からバリ取りするため、モー
ルド済みリードフレーム１７が変動することがなく正確
にバリ取りすることができる。搬送用及び押圧用のベル
ト９，１２，３４，３６またはローラ１９，２０，２
６，２７は全て中実のゴム製としたため、大量処理して
もスポンジのように細身になることもなく常に正確にバ
リ取りし搬送させることができる。押圧部分はスイング
アーム１４，２１，２８，３８でモールドパッケージの
厚さに応じてスイングさせ、スプリング１６，２３，３
０，４０と自重により付勢力を付与しているから、モー
ルドパッケージ１７ａを保護しながら薄いものから厚い
ものまでスムーズに対応し適正に送ることができる。
ット樹脂バリ取り装置Ａにあっては、そのバリ取り位置
１では、モールド済みリードフレーム１７を押圧用ベル
トコンベア８、または押圧用ローラ２０で掴み保持した
状態でモールドパッケージ部１７ａの下面側からバリ取
りし、バリ取り位置２では押圧用ローラ２７または押圧
用ベルトコンベア３３で掴み保持した状態でモールドパ
ッケージ部１７ａの上面側からバリ取りするため、モー
ルド済みリードフレーム１７が変動することがなく正確
にバリ取りすることができる。搬送用及び押圧用のベル
ト９，１２，３４，３６またはローラ１９，２０，２
６，２７は全て中実のゴム製としたため、大量処理して
もスポンジのように細身になることもなく常に正確にバ
リ取りし搬送させることができる。押圧部分はスイング
アーム１４，２１，２８，３８でモールドパッケージの
厚さに応じてスイングさせ、スプリング１６，２３，３
０，４０と自重により付勢力を付与しているから、モー
ルドパッケージ１７ａを保護しながら薄いものから厚い
ものまでスムーズに対応し適正に送ることができる。
【００２６】以上、実施の形態を説明してきたが、本発
明のウオータジェット樹脂バリ取り装置Ａはこの実施の
形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しな
い範囲の設計変更等があっても本発明に含まれる。
明のウオータジェット樹脂バリ取り装置Ａはこの実施の
形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しな
い範囲の設計変更等があっても本発明に含まれる。
【００２７】例えば、歯付きベルト９，１２，３４，３
６やローラ１９，２０，２６，２７等は合成ゴムや合成
樹脂によるもの等を使用することができる。
６やローラ１９，２０，２６，２７等は合成ゴムや合成
樹脂によるもの等を使用することができる。
【００２８】
【発明の効果】以上、説明してきたように本発明請求項
１記載のウオータジェット樹脂バリ取り装置にあって
は、前記構成としたため、モールド済みリードフレーム
を搬送手段が押圧しながらバリ取り位置に繰り出すの
で、前記モールド済みリードフレームを変動させること
がなく、正確にバリ取りさせることができる。また搬送
手段は中実のゴム製としたので、スポンジローラのよう
に細身になることもなく、常に適正に掴み送ることがで
きる等の効果が得られる。
１記載のウオータジェット樹脂バリ取り装置にあって
は、前記構成としたため、モールド済みリードフレーム
を搬送手段が押圧しながらバリ取り位置に繰り出すの
で、前記モールド済みリードフレームを変動させること
がなく、正確にバリ取りさせることができる。また搬送
手段は中実のゴム製としたので、スポンジローラのよう
に細身になることもなく、常に適正に掴み送ることがで
きる等の効果が得られる。
【００２９】請求項２記載のウオータジェット樹脂バリ
取り装置にあっては、前記構成としたため、モールドパ
ッケージ部の両側からそれぞれ正確にウオータジェット
を当て効率良く正確にバリ取りを行うことができるとい
う効果が得られる。
取り装置にあっては、前記構成としたため、モールドパ
ッケージ部の両側からそれぞれ正確にウオータジェット
を当て効率良く正確にバリ取りを行うことができるとい
う効果が得られる。
【００３０】請求項３記載のウオータジェット樹脂バリ
取り装置にあっては、前記構成としたため、バリ取り位
置の両側でベルトコンベアがモールド済みリードフレー
ムを掴み保持した状態にしながらバリ取り位置に繰り出
すので、前記モールド済みリードフレームを変動させる
ことがなく、正確にバリ取りさせることができるという
効果が得られる。
取り装置にあっては、前記構成としたため、バリ取り位
置の両側でベルトコンベアがモールド済みリードフレー
ムを掴み保持した状態にしながらバリ取り位置に繰り出
すので、前記モールド済みリードフレームを変動させる
ことがなく、正確にバリ取りさせることができるという
効果が得られる。
【図１】本発明実施の形態におけるウオータジェット樹
脂バリ取り装置を示す斜視図である。
脂バリ取り装置を示す斜視図である。
【図２】実施の形態におけるウオータジェット樹脂バリ
取り装置の使用状態を示す説明図である。
取り装置の使用状態を示す説明図である。
Ａ 実施の形態におけるウオータジェット樹脂バリ取り
装置 １ バリ取り位置 ２ バリ取り位置 ３ 上向きノズル（ウオータジェット） ４ 下向きノズル（ウオータジェット） ５，３１ コンベア搬送部（搬送手段） ６ 搬送面（搬送位置） ７，３２ 搬送用ベルトコンベア ８，３３ 押圧用ベルトコンベア ９，１２，３４，３６ 歯付きベルト １４，２１，２８，３８ スイングアーム １６，２３，３０，４０ スプリング １７ モールド済みリードフレーム １７ａ モールドパッケージ部 １８，２５ ローラ搬送部 １９，２６ 搬送用ローラ ２０，２７ 押圧用ローラ ２４，４１ パッケージ受け板
装置 １ バリ取り位置 ２ バリ取り位置 ３ 上向きノズル（ウオータジェット） ４ 下向きノズル（ウオータジェット） ５，３１ コンベア搬送部（搬送手段） ６ 搬送面（搬送位置） ７，３２ 搬送用ベルトコンベア ８，３３ 押圧用ベルトコンベア ９，１２，３４，３６ 歯付きベルト １４，２１，２８，３８ スイングアーム １６，２３，３０，４０ スプリング １７ モールド済みリードフレーム １７ａ モールドパッケージ部 １８，２５ ローラ搬送部 １９，２６ 搬送用ローラ ２０，２７ 押圧用ローラ ２４，４１ パッケージ受け板
Claims (3)
- 【請求項１】 ウォータジェットを噴射するバリ取り位
置にパッケージ受け板が配置され、かつ該パッケージ受
け板を挟んで両側にモールド済みリードフレームの搬送
手段が配置され、 前記搬送手段の一方側が中実のゴムベルトコンベアを上
下２段に設けて形成され、 前記搬送手段の他方側が中実のゴム製ローラを上下２段
に設けて形成され、 かつ、前記２段のベルトコンベアのうち上段ベルトコン
ベアにおけるパッケージ受け板隣接側が下段ベルトコン
ベア側へ押圧される付勢手段を備え、かつ前記２段のロ
ーラのうち上段ローラが下段ローラ側へ押圧される付勢
手段を備えていることを特徴としたウォータジェット樹
脂バリ取り装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のウォータジェット樹脂バ
リ取り装置において、前記バリ取り位置がリードフレー
ムの搬送方向に前後して２個所設けられ、搬入側のバリ
取り位置には搬送位置より下方から上向きにウォータジ
ェットを噴射するノズルが設けられ、搬出側のバリ取り
位置には搬送位置より上方から下向きにウォータジェッ
トを噴射するノズルが設けられていることを特徴とした
ウォータジェット樹脂バリ取り装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載のウォータジェッ
ト樹脂バリ取り装置において、前記ローラに代えベルト
コンベアが配置されていることを特徴としたウォータジ
ェット樹脂バリ取り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03006396A JP3725226B2 (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | ウォータジェット樹脂バリ取り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03006396A JP3725226B2 (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | ウォータジェット樹脂バリ取り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09193099A true JPH09193099A (ja) | 1997-07-29 |
| JP3725226B2 JP3725226B2 (ja) | 2005-12-07 |
Family
ID=12293361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03006396A Expired - Lifetime JP3725226B2 (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | ウォータジェット樹脂バリ取り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3725226B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007125667A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 基板の切断装置 |
| KR20160102888A (ko) | 2015-02-23 | 2016-08-31 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
| CN112976160A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-06-18 | 和氏工业技术股份有限公司 | 多轴联动智能高压水去毛刺设备 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103447318B (zh) * | 2013-09-03 | 2015-09-23 | 济钢集团有限公司 | 带钢冷轧机用带钢厚度控制装置 |
-
1996
- 1996-01-22 JP JP03006396A patent/JP3725226B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007125667A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 基板の切断装置 |
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| CN112976160A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-06-18 | 和氏工业技术股份有限公司 | 多轴联动智能高压水去毛刺设备 |
| CN112976160B (zh) * | 2021-02-04 | 2021-12-28 | 和氏工业技术股份有限公司 | 多轴联动智能高压水去毛刺设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3725226B2 (ja) | 2005-12-07 |
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