JP3725226B2 - ウォータジェット樹脂バリ取り装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造時にICチップのモールド用パッケージ回りの樹脂バリ等をウォータジェットで除去するようにしたウォータジェット樹脂バリ取り装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置はICチップのモールド後、モールドパッケージ回りの樹脂バリ除去工程があり、この従来の樹脂バリ除去工程で使用される装置として、上下一対のスポンジローラを、噴射ノズルと噴射受け治具を備えた加工処理部の両側であって搬送方向に複数個板状ワークの長さより短い間隔で列設させた板状ワーク搬送機構があった(実開平3−1763号公報参照)。
【0003】
この従来の板状ワーク搬送機構では、板状ワークの幅、厚み、ないしは形状の異なる板状ワークを、特にベルト等搬送部分の段取り替えを行うことなく搬送、つまり加工処理部で超高圧水を受けさせながら板状ワークをスムーズに通過させるようになされている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
半導体装置は大量生産され、それに係わってモールドパッケージ回りのバリ取りも平行して行われるが、従来のように、スポンジローラだとヘタリが早く細身になって適正な挟持力が得られなくなる。特に、近年の半導体装置は多様化され1mm厚程度のモールドパッケージを備えたものも製造されており、これだと搬送時にスリップを起して正しいバリ取りを行えないという問題があった。
【0005】
本発明は、かかる従来の問題点を解決するためになされたものであって、その目的とするところは、半導体装置のモールドパッケージ回りのバリ取り時、薄肉のモールドパッケージでも常にスリップさせることなく搬送し、正しくバリ取りを行えるようにしたウォータジェット樹脂バリ取り装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための手段として本発明請求項1記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置では、ウォータジェットを噴射するバリ取り位置にパッケージ受け板が配置され、かつ該パッケージ受け板を挟んで両側にモールド済みリードフレームの搬送手段が配置され、前記搬送手段の一方側が中実のゴムベルトコンベアを上下2段に設けて形成され、前記搬送手段の他方側が中実のゴムローラを上下2段に設けて形成され、かつ、前記2段のベルトコンベアのうち上段ベルトコンベアにおけるパッケージ受け板隣接側が下段ベルトコンベア側へ押圧される付勢手段を備え、かつ前記2段のローラのうち上段ローラが下段ローラ側へ押圧される付勢手段を備えている構成とした。
【0007】
請求項2記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置では、請求項1記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置において、前記バリ取り位置がリードフレームの搬送方向に前後して2個所設けられ、搬入側のバリ取り位置には搬送位置より下方から上向きにウォータジェットを噴射するノズルが設けられ、搬出側のバリ取り位置には搬送位置より上方から下向きにウォータジェットを噴射するノズルが設けられている構成とした。
【0008】
請求項3記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置では、請求項1または2記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置において、前記ローラに代えベルトコンベアが配置されている構成とした。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1はウォータジェット樹脂バリ取り装置Aを示す斜視図、図2は使用状態を示す説明図である。
【0010】
図中1,2は所定の水平線上に前後して設けたバリ取り位置、3は前記バリ取り位置のうち搬入側のバリ取り位置1に配置され下方から上向きにウォータジェットを揺動して噴射する上向きノズル、4は同様に搬出側のバリ取り位置2に配置され上方から下向きにウォータジェットを揺動して噴射する下向きノズルである。
【0011】
5は前記バリ取り位置1の搬入側に配置されたコンベア搬送部であり、前記バリ取り位置1,2の水平線上を搬送面6上とした搬送用ベルトコンベア7と、この上段に配置された押圧用ベルトコンベア8とで構成されている。
図中9は前記搬送用ベルトコンベア7の搬送面6を形成する中実ゴム製の歯付きベルト、10a,10bは前記歯付きベルト9を掛止する歯付きプーリであり、いずれも機体フレーム11側に回転自在に軸支されている。このうち歯付きプーリ10aは、前記バリ取り位置1の搬入側に近接して配置されている。
【0012】
また、図中12は前記押圧用ベルトコンベア8の中実ゴム製の歯付きベルト、13a,13bは前記歯付きベルト12を掛止する歯付きプーリであり、このうち、歯付きプーリ13bは、前記機体フレーム11に回動自在に軸支されている。
尚、この押圧用ベルトコンベア8は、モールド済みリードフレーム17のバリ取り側だけに配置されるように、歯付きプーリ13a,13bの軸間距離が搬送用ベルトコンベア7における歯付きプーリ10a,10bの軸間距離より短く設定されている。
【0013】
14は一端側を水平軸15で前記機体フレーム11に回動自在に軸支されたスイングアーム、16はこのスイングアーム14の先端側を下向きに付勢するスプリングであり、前記スイングアーム14の先端には、前記押圧用ベルトコンベア8の歯付きプーリ13aが回動自在に軸支されている。
そして、このスイングアーム14は、下向きスイング時に前記歯付きプーリ13aを前記搬送用ベルトコンベア7における歯付きプーリ10aと略同一垂直面内で一致させるように設定されている。
【0014】
また、図中18は前記バリ取り位置1の搬出側に配置されたローラ搬送部であり、外周面上辺を前記搬送用ベルトコンベア7の搬送面6と一致させた状態で前記機体フレーム11に回動自在に軸支された搬送用ローラ19と、この上段に配置された押圧用ローラ20とで構成されている。両ローラ19,20は、いずれも中実のゴム製ローラであり、このため、上段の押圧用ローラ20は、前記押圧用ベルトコンベア8と同様にスイングアーム21先端に回動自在に軸支されている。22はこのスイングアーム21の水平軸、23は付勢用スプリングであり、これ等はスイングアーム14と同様の作用を行うものである。
【0015】
また、24はバリ取り位置1に配置されたパッケージ受け板であり、その下面が前記搬送用ベルトコンベア7における搬送面6からモールドパッケージ部17aの厚さと略同一寸法だけ上方に、かつバリ取り位置1の横幅いっぱいに設けられている。
【0016】
25は前記バリ取り位置1の後方に引き続き設けられたバリ取り位置2の搬入側に配置されたローラ搬送部、26は前記ローラ搬送部の搬送用ローラ、27はその搬送用ローラ26の上段に配置された押圧用ローラ、28は前記押圧用ローラを先端側に軸支したスイングアーム、29は同じく水平軸、30は付勢用スプリングであり、これ等は前記ローラ搬送部18と同様の作用を行うものである。
【0017】
31はバリ取り位置2の搬出側に配置されたコンベア搬送部、32はそのコンベア搬送部31の搬送用ベルトコンベア、33は押圧用ベルトコンベア、34は前記搬送用ベルトコンベア32の歯付きベルト、35a,35bは同じく歯付きプーリ、36は前記押圧用ベルトコンベア33の歯付きベルト、37a,37bは同じく歯付きプーリ、38は前記歯付きプーリのうちバリ取り位置2の搬出側に配置された歯付きプーリ37bを軸支したスイングアーム、39はこのスイングアームの水平軸、40は同じく付勢用スプリングであり、スイングアーム38は前記ベルト搬送部5のスイングアーム14と同様の作用を行うものである。
【0018】
41は前記バリ取り位置2に配置されたパッケージ受け板であり、このバリ取り位置2では、その上方でノズル4が下向きに設けられているため、その上面が前記搬送面6と同一位置に、かつバリ取り位置2の横幅いっぱいに設けられている。
【0019】
42は洗浄ノズル、43は上下一組の脱水用スポンジローラ、44は搬出用ベルトコンベア、45はこの搬出用ベルトコンベア等の駆動部、46は前記搬出用ベルトコンベア44の速度制御用速度検出部であり、前記駆動部45は、前記搬出用ベルトコンベア44の他、前記搬送用ベルトコンベア7,32、押圧用ベルトコンベア8,33、搬送用ローラ19,26の全てを同一搬送速度となるように駆動する。47は投入されたモールド済みリードフレーム17の入口側確認センサ、48は同じく搬出されるモールド済みリードフレーム17の出口側確認センサである。
【0020】
次に、作用を説明する。
バリ取り前のモールド済みリードフレーム17は、搬送用ベルトコンベア7の始端側に一枚ずつ適宜間隔を設けて人手投入される。この投入されたモールド済みリードフレーム17は、搬送面6上で押圧用ベルトコンベア8との間に形成される隙間に進入し、その歯付きプーリ13a側で押圧されながらパッケージ受け板24の下面側に搬送される。このとき、押圧用ベルトコンベア8は、モールド済みリードフレーム17のモールドパッケージ部17aの厚さにより、スイングアーム14がスプリング16や自重による付勢力を保持しながら逃げ方向にスイングし、洗浄位置1側へのスムーズな繰り出しと繰り出し方向への動きのみを確保する。
【0021】
洗浄位置1では、繰り出されたモールド済みリードフレーム17の先端が搬送用ローラ19と押圧用ローラ20との間で掴まれ動きが搬送方向のみに限定された状態となる。このとき、上向きノズル3はウオータジェットをパッケージ受け板24に向け揺動させながら噴射しており、この位置に来たモールドパッケージ部17aは、その上面側をパッケージ受け板24にて保持されながらウオータジェットを受け、その下面側からバリ取りされる。
【0022】
この様にしてバリ取り位置1をモールドパッケージ部17aが次々と通過し、それぞれバリ取りされながら次のバリ取り位置2へ搬送される。このとき、押圧用ローラ20は前記押圧用ベルトコンベア8と同様にモールドパッケージ部17aの厚さにより、スイングアーム21がスプリング23や自重による付勢力を保持しながら逃げ方向にスイングし、洗浄位置2側へのスムーズな繰り出しと繰り出し方向への動きのみを確保する。
【0023】
この洗浄位置2側では、ローラ搬送部25の搬送用ローラ26と押圧用ローラ27とによってモールド済みリードフレーム17が繰り出され、その先端部がコンベア搬送部31の搬送用コンベア32と押圧用コンベア33との間で掴まれ動きが搬送方向のみに限定された状態となる。このとき、下向きノズル4はウオータジェットをパッケージ受け板41に向け揺動させながら噴射しており、この位置に来たモールドパッケージ部17aは、その下面側をパッケージ受け板41にて保持されながらウオータジェットを受け、その上面側からバリ取りされる。
【0024】
全てのモールドパッケージ部17aがバリ取り位置2を通過後、モールド済みリードフレーム17は搬送用ベルトコンベア32で脱水用スポンジローラ43側へ搬送され、その途中で洗浄水ノズル42で洗浄され、先端部から脱水用スポンジローラ43,43の間に進入し、そこで水切りされた後、搬出用コンベア44で次工程側へ搬出される。
【0025】
以上説明してきたように、本ウオータジェット樹脂バリ取り装置Aにあっては、そのバリ取り位置1では、モールド済みリードフレーム17を押圧用ベルトコンベア8、または押圧用ローラ20で掴み保持した状態でモールドパッケージ部17aの下面側からバリ取りし、バリ取り位置2では押圧用ローラ27または押圧用ベルトコンベア33で掴み保持した状態でモールドパッケージ部17aの上面側からバリ取りするため、モールド済みリードフレーム17が変動することがなく正確にバリ取りすることができる。
搬送用及び押圧用のベルト9,12,34,36またはローラ19,20,26,27は全て中実のゴム製としたため、大量処理してもスポンジのように細身になることもなく常に正確にバリ取りし搬送させることができる。
押圧部分はスイングアーム14,21,28,38でモールドパッケージの厚さに応じてスイングさせ、スプリング16,23,30,40と自重により付勢力を付与しているから、モールドパッケージ17aを保護しながら薄いものから厚いものまでスムーズに対応し適正に送ることができる。
【0026】
以上、実施の形態を説明してきたが、本発明のウオータジェット樹脂バリ取り装置Aはこの実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっても本発明に含まれる。
【0027】
例えば、歯付きベルト9,12,34,36やローラ19,20,26,27等は合成ゴムや合成樹脂によるもの等を使用することができる。
【0028】
【発明の効果】
以上、説明してきたように本発明請求項1記載のウオータジェット樹脂バリ取り装置にあっては、前記構成としたため、モールド済みリードフレームを搬送手段が押圧しながらバリ取り位置に繰り出すので、前記モールド済みリードフレームを変動させることがなく、正確にバリ取りさせることができる。
また搬送手段は中実のゴム製としたので、スポンジローラのように細身になることもなく、常に適正に掴み送ることができる等の効果が得られる。
【0029】
請求項2記載のウオータジェット樹脂バリ取り装置にあっては、前記構成としたため、モールドパッケージ部の両側からそれぞれ正確にウオータジェットを当て効率良く正確にバリ取りを行うことができるという効果が得られる。
【0030】
請求項3記載のウオータジェット樹脂バリ取り装置にあっては、前記構成としたため、バリ取り位置の両側でベルトコンベアがモールド済みリードフレームを掴み保持した状態にしながらバリ取り位置に繰り出すので、前記モールド済みリードフレームを変動させることがなく、正確にバリ取りさせることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明実施の形態におけるウオータジェット樹脂バリ取り装置を示す斜視図である。
【図2】実施の形態におけるウオータジェット樹脂バリ取り装置の使用状態を示す説明図である。
【符号の説明】
A 実施の形態におけるウオータジェット樹脂バリ取り装置
1 バリ取り位置
2 バリ取り位置
3 上向きノズル(ウオータジェット)
4 下向きノズル(ウオータジェット)
5,31 コンベア搬送部(搬送手段)
6 搬送面(搬送位置)
7,32 搬送用ベルトコンベア
8,33 押圧用ベルトコンベア
9,12,34,36 歯付きベルト
14,21,28,38 スイングアーム
16,23,30,40 スプリング
17 モールド済みリードフレーム
17a モールドパッケージ部
18,25 ローラ搬送部
19,26 搬送用ローラ
20,27 押圧用ローラ
24,41 パッケージ受け板
Claims (3)
- ウォータジェットを噴射するバリ取り位置にパッケージ受け板が配置され、かつ該パッケージ受け板を挟んで両側にモールド済みリードフレームの搬送手段が配置され、
前記搬送手段の一方側が中実のゴムベルトコンベアを上下2段に設けて形成され、
前記搬送手段の他方側が中実のゴム製ローラを上下2段に設けて形成され、
かつ、前記2段のベルトコンベアのうち上段ベルトコンベアにおけるパッケージ受け板隣接側が下段ベルトコンベア側へ押圧される付勢手段を備え、かつ前記2段のローラのうち上段ローラが下段ローラ側へ押圧される付勢手段を備えていることを特徴としたウォータジェット樹脂バリ取り装置。 - 請求項1記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置において、前記バリ取り位置がリードフレームの搬送方向に前後して2個所設けられ、搬入側のバリ取り位置には搬送位置より下方から上向きにウォータジェットを噴射するノズルが設けられ、搬出側のバリ取り位置には搬送位置より上方から下向きにウォータジェットを噴射するノズルが設けられていることを特徴としたウォータジェット樹脂バリ取り装置。
- 請求項1または2記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置において、前記ローラに代えベルトコンベアが配置されていることを特徴としたウォータジェット樹脂バリ取り装置。
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- 1996-01-22 JP JP03006396A patent/JP3725226B2/ja not_active Expired - Lifetime
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