JP4805195B2

JP4805195B2 - 軸受体、液切り装置及びめっき被膜付きフィルムの製造装置

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Publication number: JP4805195B2
Application number: JP2007063480A
Authority: JP
Inventors: 邦彦府川
Original assignee: Fujifilm Corp
Current assignee: Fujifilm Corp
Priority date: 2007-03-13
Filing date: 2007-03-13
Publication date: 2011-11-02
Anticipated expiration: 2027-03-13
Also published as: JP2008221139A

Description

本発明は、１対の液絞りローラの軸をそれぞれ支持する軸受体、この軸受体を備えた液切り装置、及びこの液切り装置を備えためっき被膜付きフィルムの製造装置に関する。

従来、めっき処理装置では、連続して搬送される処理品に付着した洗浄液の液切りを行なうための装置が用いられている。

例えば、図６に示されるめっき処理装置では、めっき処理したフィルム状の処理品３２０をアルカリ水系水洗槽３００、第１水洗槽３０２、第２水洗槽３０４、純水洗浄槽３０６の順に搬送する。純水洗浄槽３０６から空中に出た部分に１対の液切りローラ３０８を配設し、その液切りローラ３０８の下流側に、通気性と適度な弾力性を有する１対の洗浄用ローラ３１２とバックアップローラ３１４とからなる純水洗浄装置３１０を配設する。１対の液切りローラ３０８は、スポンジ状のローラからなり、フィルム状の処理品３２０を挟持して押圧しながら回転することで、処理品３２０の液切りを行っている。また、バックアップローラ３１４は、回転させながら給水を行う機能、洗浄用ローラ３１２は真空吸水機能を備えており、洗浄用ローラ３１２の間に処理品３２０を通過させ、温風乾燥装置３１６によって処理品３２０の乾燥を行っている（例えば特許文献１を参照）。
特開平９−３１４０８５号公報

しかし、特許文献１に記載の装置では、１対の液切りローラ３０８でフィルム状の処理品３２０を挟持して液切りを行うときに、液切りローラ３０８の挟持部の押し圧（圧力）の調整が難しい。また、メンテナンス等で一度設定した押し圧を変えたときに、元の押し圧に戻すことが困難である。

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、１対の液絞りローラの挟持部の押し圧の調整が容易な軸受体、液切り装置及びめっき被膜付きフィルムの製造装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明に係る軸受体は、１対の液絞りローラの軸をそれぞれ支持して、装置に設けられた軸受凹部に装着される軸受体であって、前記液絞りローラの軸が挿入される軸孔が形成された板体からなり、前記軸孔から前記板体の端面までの長さが異なることを特徴としている。

請求項１に記載の発明によれば、軸受体は、液絞りローラの軸が挿入される軸孔が形成された板体からなり、軸孔から板体の端面までの長さが異なるので、１対の液絞りローラの軸をそれぞれ軸受体の軸孔に挿入し、軸受凹部に装着される軸受体の装着方向を変えることで、１対の液絞りローラの挟持部の押し圧（圧力）を変更することができる。このため、構成を複雑化することなく、液絞り状態に応じて１対の液絞りローラの挟持部の押し圧を容易に調整することができる。また、軸受体の装着方向を変えることで挟持部の押し圧を調整できるので、押し圧の調整時の作業性が良く、また調整ねじで押し圧を調整する場合と比べて、一旦変更した押し圧を容易に元の押し圧に戻すことができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の軸受体において、前記板体が矩形状で、前記軸孔と前記板体の端面までの長さが、４辺で異なることを特徴としている。

請求項２に記載の発明によれば、板体が矩形状で、軸孔と板体の端面までの長さが４辺で異なるので、軸受体の４辺の位置を変えて軸受凹部に装着することで、１対の液絞りローラの挟持部の押し圧を少なくとも４通りに調整することができる。また、１部品の軸受体で複数の押し圧に調整することができ、低コスト化が可能である。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の軸受体において、前記板体の４辺には、前記軸孔と前記板体の端面までの長さを識別する表示部が形成されていることを特徴としている。

請求項３に記載の発明によれば、板体の４辺には、軸孔と板体の端面までの長さを識別する表示部が形成されているので、表示部を確認して軸受体の装着方向を決定することができ、押し圧の調整時の作業性が向上する。また、表示部を確認して軸受体を軸受凹部に装着することで、一旦変更した押し圧を容易に元の押し圧に戻すことができる。

請求項４に記載の発明に係る液切り装置は、一定方向に搬送される帯状のフィルムに付着した液体の液切りを行う液切り装置であって、前記フィルムを挟持して回転する１対のスポンジ状の液絞りローラと、前記液絞りローラの軸を支持する請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の軸受体と、前記軸受体が装着される軸受凹部と、を有することを特徴としている。

請求項４に記載の発明によれば、１対のスポンジ状の液絞りローラがフィルムを挟持して回転することにより、フィルムに付着した液体が絞られ、フィルムの液切りが行われる。その際、１対の液絞りローラの軸をそれぞれ受ける軸受体の軸受凹部への装着方向を変えることで、１対の液絞りローラの挟持部の押し圧を容易に変更することができる。このため、構成を複雑化することなく、フィルムの液切り状態に応じて１対の液絞りローラの挟持部の押し圧を容易に調整することができる。また、押し圧の調整時の作業性が良く、また調整ねじで押し圧を調整する場合と比べて、一旦変更した押し圧を容易に元の押し圧に戻すことができる。

請求項５に記載の発明に係るめっき被膜付きフィルムの製造装置は、帯状のフィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面に電解めっき浴よりめっき被膜を形成する電解めっき浴槽と、前記電解めっき浴槽の下流側で前記フィルムを洗浄液で洗浄する洗浄槽と、前記洗浄槽の下流側に、前記洗浄液の液切りを行う請求項４に記載の液切り装置と、を有することを特徴としている。

請求項５に記載の発明によれば、電解めっき浴槽によって帯状のフィルムの導電面にめっき被膜が形成された後、電解めっき浴槽の下流側でフィルムが洗浄槽で洗浄液により洗浄される。そして、洗浄槽の下流側で請求項４に記載の液切り装置によってフィルムに付着した洗浄液の液切りが行われる。このため、構成を複雑化することなく、フィルムの液切り状態に応じて１対の液絞りローラの挟持部の押し圧を容易に調整することができる。また、押し圧の調整時の作業性が良く、また調整ねじで押し圧を調整する場合と比べて、一旦変更した押し圧を容易に元の押し圧に戻すことができる。

以上説明したように、請求項１に記載の発明に係る軸受体では、１対の液絞りローラの挟持部の押し圧を容易に調整することができ、また一旦変更した押し圧を容易に元の押し圧に戻すことができる。

請求項２に記載の発明に係る軸受体では、軸受体の装着方向を変える作業が容易であると共に、１部品で複数の押し圧に調整でき、低コスト化が可能である。

請求項３に記載の発明に係る軸受体では、軸受体を装着するときに表示部を確認することができ、押し圧の調整時の作業性が向上する。

請求項４に記載の発明に係る液切り装置では、構成を複雑化することなく、フィルムに付着した液体の液切りを行うときの１対の液絞りローラの挟持部の押し圧を容易に調整することができ、また一旦変更した押し圧を容易に元の押し圧に戻すことができる。

請求項５に記載の発明に係るめっき被膜付きフィルムの製造装置では、構成を複雑化することなく、フィルムに付着した洗浄液の液切りを行うときの１対の液絞りローラの挟持部の押し圧を容易に調整することができ、また一旦変更した押し圧を容易に元の押し圧に戻すことができる。

本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。

図１は、本発明の一実施形態に係る液切り装置が搭載されためっき被膜付きフィルムの製造装置１０を示す概略構成図である。

このめっき被膜付きフィルムの製造装置１０は、図１に示すように、露光装置１２、現像装置１４、電解めっき装置１６、後処理装置１７及び巻取装置１９から構成されている。

まず、露光装置１２について説明する。露光装置１２は、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた帯状の長尺フィルムからなる感光ウエブ１８を搬送しながら、所望の細線状パターン（例えば、格子状、ハニカム状などのパターン）露光を行う装置である。このパターン露光により、感光ウエブ１８の銀塩含有層の露光部にはパターン化された細線状の金属銀部が形成される。

露光装置１２には、感光ウエブ１８の搬送路に沿って複数の搬送ローラ対２０が設けられており、これらの搬送ローラ対２０は、駆動ローラとニップローラとから構成される。

露光装置１２には、搬送方向の最上流部に供給部２１が設けられている。供給部２１には、ローラ状に巻かれた長尺の感光ウエブ１８を収納するマガジン２２がセットされる。感光ウエブ１８には、感光ウエブ１８を引き出して下流側に向けて搬送するための引出ローラ２２Ａが設けられている。

そして、供給部２１からの感光ウエブ１８の搬送方向下流側は、露光ユニット２４が設けられている。この露光ユニット２４により、感光ウエブ１８に露光が行われる。露光ユニット２４は、フォトマスクを利用した連続面露光ユニットであってもよく、レーザービームによる走査露光ユニットあってもよい。この走査露光ユニットとしては、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導体レーザー又は半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発光光源（ＳＨＧ）等の単色高密度光を用いた走査露光方式を好ましく適用することができ、さらにＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、Ｆ２レーザー等を用いた走査露光方式も適用することができる。

走査露光ユニットのレーザー光源としては、具体的には、波長４３０〜４６０ｎｍの青色半導体レーザー（２００１年３月の第４８回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表）、半導体レーザー（発振波長約１０６０ｎｍ）を導波路状の反転ドメイン構造を有するＬｉＮｂＯ₃のＳＨＧ結晶により波長変換して取り出した約５３０ｎｍの緑色レーザー、波長約６８５ｎｍの赤色半導体レーザー（日立タイプＮｏ．ＨＬ６７３８ＭＧ）、波長約６５０ｎｍの赤色半導体レーザー（日立タイプＮｏ．ＨＬ６５０１ＭＧ）などが好ましく適用でききる。

なお、露光装置１２は、上記構成に限られず、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の露光装置を適用することができる。

次に、現像装置１４について説明する。現像装置１４は、露光装置１２の搬送方向の下流側に配置され、所望の細線状パターン露光が施された感光ウエブ１８を現像・定着・洗浄を行う装置である。

現像装置１４には、搬送方向の上流側から順に、現像槽２６、漂白定着槽２８、及び水洗槽３０が設けられており、水洗槽３０は、第１水洗槽３０Ａ、第２水洗槽３０Ｂ、第３水洗槽３０Ｃ、及び第４水洗槽３０Ｄからなる。現像槽２６には、例えば、現像液２６Ｌが所定量貯蔵され、漂白定着槽２８には、漂白定着液２８Ｌが所定量貯蔵され、第１水洗槽３０Ａ〜第４水洗槽３０Ｄには、洗浄液３０Ｌが所定量貯蔵されている。各処理槽２６〜３０内のローラとガイドによって感光ウエブ１８が各処理槽２６〜３０の液内を搬送されることで、現像・定着・洗浄の各処理が行われるようになっている。また、現像槽２６の最上流側には、駆動ローラ３２Ａと従動ローラ３２Ｂとを備えた搬入ローラ対３２が配置されており、この搬入ローラ対３２は、露光装置１２から搬出される感光ウエブ１８を現像液２６Ｌ内に案内している。

ここで、現像・定着・洗浄の各処理は、銀塩写真フィルム、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理技術を適用することができる。現像液２６Ｌ、漂白定着液２８Ｌ、洗浄液３０Ｌもこれらに準じて適宜適用することができる。例えば、現像液２６Ｌとしては、特に限定しないが、ＰＱ現像液、ＭＱ現像液、ＭＡＡ現像液等を用いることもでき、例えば、富士フィルム社製のＣＮ−１６、ＣＲ−５６、ＣＰ４５Ｘ、ＦＤ−３、パピトール、ＫＯＤＡＫ社製のＣ−４１、Ｅ−６、ＲＡ−４、Ｄ−１９、Ｄ−７２などの現像液、又はそのキットに含まれる現像液、また、Ｄ−８５などのリス現像液を用いることができる。なお、定着処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる。

なお、現像装置１４では、各処理槽２６〜３０の液内を通過した感光ウエブ１８は、乾燥させずに現像装置１４から排出されるようになっている。

次に、電解めっき装置１６について説明する。電解めっき装置１６は、露光・現像を施され、細線状の金属銀部が形成された感光ウエブ１８に対し、電解めっき処理を施し、当該金属銀部に導電性金属層を形成させめっき（導電性金属部）を形成する装置である。

電解めっき装置１６には、感光ウエブ１８の搬送方向上流側に、水洗槽３０を通過した後の感光ウエブ１８の水分を除去する水分除去装置４０Ａが配設されている。水分除去装置４０Ａには、感光ウエブ１８の両側にエアーナイフ装置４２、４４が配置されており、感光ウエブ１８の両側からエアーナイフを吹き付けることで、感光ウエブ１８に付着した水分を除去する。

水分除去装置４０Ａを通過した感光ウエブ１８は、感光ウエブ１８の金属銀部に接触しながら給電を行うカソード給電ローラ５０Ａに搬送される。感光ウエブ１８を挟んでカソード給電ローラ５０Ａと対向する位置には、感光ウエブ１８の金属銀部をカソード給電ローラ５０Ａに押圧して接触させる弾性ローラ５２Ａが配設されている。この弾性ローラ５２Ａは、回転可能に支持された芯金の外周面にゴムなどからなる弾性体層を備えている。弾性体層としてウレタンゴムなどが用いられる。弾性ローラ５２Ａを構成する芯金の両端部には、芯金の回転を阻害しないようにバネ材５４が装着されており、バネ材５４の上部に取り付けられた重り５５によって、感光ウエブ１８をカソード給電ローラ５０Ａに押圧する押圧力が調整されるようになっている。弾性ローラ５２Ａを押圧することで、感光ウエブ１８とカソード給電ローラ５０Ａとを密着させることができる。

カソード給電ローラ５０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、めっき液６１で満たされためっき槽６０Ａが配置されている。めっき槽６０Ａのめっき液６１中には液中ローラ６２Ａが設けられており、液中ローラ６２Ａの周面に感光ウエブ１８が巻き掛けられている。この工程では、カソード給電ローラ５０Ａに接触させた感光ウエブ１８の金属銀部をめっき槽６０Ａのめっき液６１中で液中ローラ６２Ａにより搬送する。銅ボールを積層充填したケース６４Ａをアノード電極にして、カソード電極をカソード給電ローラ５０Ａとして、直流電源（図示省略）により給電し、感光ウエブ１８に層状のめっき被膜を形成する。本実施形態では、直流電源（図示省略）により、カソード給電ローラ５０Ａからアノード電極であるケース６４Ａへ給電し、感光ウエブ１８に、０．２〜１０Ａ／ｄｍ²の電流密度となるようにしてめっき被膜を形成する。

ここで、電解めっき処理として、例えば、プリント配線板などで用いられている電解めっき技術を適用することができ、電解めっきは電解銅めっきであることが好ましい。本実施形態では、めっき液６１として、電解銅めっき浴液が適用されている。電解銅めっき浴としては、硫酸銅浴、ピロリン酸銅浴、ホウフッ化銅浴等が挙げられる。電解銅めっき液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、めっき液の安定性、導電性を高め、均一電着性の増加を図る硫酸、アノードの溶解促進及び添加剤の補助効果作用の塩素、浴の安定化やめっき緻密性を向上させるための添加剤としてポリエチレンオキサイド、ビピリジン等が挙げられる。

なお、めっき槽６０Ａの下部には循環パイプ６７が連結されており、循環パイプ６７にポンプ６８とフィルター６９と複数の開閉弁６５が配設されている。めっき槽６０Ａ内のめっき液６１は、ポンプ６８により循環パイプ６７に供給され、フィルター６９を通すことでめっき液６１中の異物が除去され、めっき槽６０Ａ内に戻されるようになっている。

図２に示すように、めっき槽６０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、感光ウエブ１８を案内する支持ローラ５８が配設され、さらにその搬送方向下流側に、洗浄液７１で満たされた洗浄槽７０Ａが配設されている。この洗浄槽７０Ａ内には液中ローラ７２Ａが配置され、液中ローラ７２Ａに感光ウエブ１８が巻き掛けられている。

洗浄槽７０Ａの側部には仕切板７４が設けられ、この仕切板７４とほぼ平行に洗浄液７１の液面を規定するためのオーバーフロー堰７６が設けられている。オーバーフロー堰７６と対向する位置には、側壁７８がほぼ平行に設けられている。仕切板７４の上端部は、オーバーフロー堰７６の上端部よりも高く形成され、仕切板７４と洗浄槽７０Ａの底部との間に洗浄液７１を流す流出口８０が配設されている。仕切板７４とオーバーフロー堰７６との間には、流出口８０と連通して連通路８１が形成されている。また、オーバーフロー堰７６と側壁７８との間には、洗浄液７１を排出する排出路８２が形成されている。これにより、洗浄槽７０Ａ内の洗浄液７１は、下部の流出口８０を通って連通路８１を流れ、オーバーフロー堰７６の上端部からオーバーフローして排出路８２へ排出されるようになっている。さらに、排出路８２へ排出された洗浄液７１は、排出パイプ８３を通って排出される。

また、洗浄槽７０Ａの内部には、液中ローラ７２Ａに巻き掛けられた感光ウエブ１８の搬送方向上流側と搬送方向下流側に、感光ウエブ１８の表裏に対向して複数の長尺パイプ８６、８７が幅方向にほぼ平行に配設されている。長尺パイプ８６、８７には、感光ウエブ１８と対向する位置に複数のノズル（図示省略）が形成されており、感光ウエブ１８の表裏に洗浄液を噴出するようになっている。洗浄槽７０Ａの底部には、洗浄液７１を流す流出パイプ８８が接続されており、流出パイプ８８は２本の供給パイプ９０に分岐されている。２本の供給パイプ９０はそれぞれ分岐して、感光ウエブ１８の表裏に対向する長尺パイプ８６、８７に接続されている。流出パイプ８８には、ポンプ９２が配設されており、供給パイプ９０にはそれぞれ開閉弁９４が設けられている。ポンプ９２が駆動されると、洗浄槽７０Ａ内の洗浄液７１が流出パイプ８８を通って供給パイプ９０に導入され、複数の長尺パイプ８６、８７に供給される。そして、複数の長尺パイプ８６、８７から感光ウエブ１８の表裏に洗浄液が噴出されるようになっている。なお、本例では、洗浄液７１として、純水が用いられている。

洗浄槽７０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、感光ウエブ１８に付着した洗浄液の液切りを行う液切り装置２００Ａが設けられている。さらに、液切り装置２００Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、感光ウエブ１８の表裏に乾燥温風を噴出して感光ウエブ１８を乾燥させる温風乾燥装置２４０Ａが設けられている。

液切り装置２００Ａは、洗浄槽７０Ａの洗浄液７１の液面から感光ウエブ１８が搬出される位置に、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の親水性の液絞りローラ２０２を備えている。さらに、液絞りローラ２０２より感光ウエブ１８の搬送方向下流側の空中に、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の液絞りローラ２３０を備えている。

液絞りローラ２０２は、図２及び図３に示すように、円柱状の軸２０４の周囲に親水性のスポンジ層２０６を備えており、感光ウエブ１８の移動に伴って従動回転する。このスポンジ層２０６は、洗浄液７１に周面の一部が浸漬するように配置されている。本例では、液絞りローラ２０２は、直径の０．１〜０．４の部分、望ましくは、０．２〜０．３の部分を洗浄液中に浸漬している。

図３に示すように、１対の液絞りローラ２０２の両側にはフレーム２１０が設けられており、フレーム２１０には、軸受凹部２１２Ａが形成された保持部材２１２が固着されている。１対の液絞りローラ２０２の両端部には、それぞれの軸２０４を支持する２個の軸受体２１４が配設されており、２個の軸受体２１４が保持部材２１２の軸受凹部２１２Ａに挿入されることで装着されている。なお、図３では液絞りローラ２０２の軸方向端部の一方のみを表示しており、他方は同じであるので省略する。

１対の液絞りローラ２０２の各軸２０４には、軸受体２１４よりも軸方向内側に軸受２１６を介して回転する円筒体２１８が設けられている。軸２０４と円筒体２１８との間には、隙間２１９が形成されている。円筒体２１８の中央部は小径となっており、その小径部に円筒状のスポンジ層２０６が設けられている。スポンジ層２０６は、弾力性と吸水性に優れた親水性の発泡性樹脂で形成されており、例えば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）又はポリビニルアルコールの部分フォルマール化物（ＰＶＦ）などが用いられている。また、軸２０４には、円筒体２１８の両端部に、円筒体２１８の軸方向の移動（ウォーク）を規制する板状のストッパ２２０が固定支持されている。

図４に示すように、軸受体２１４は、矩形状の板体からなり、中心部に軸２０４が挿入される軸孔２２４を備えている。この軸受体２１４は、矩形状の板体の端面と軸孔２２４の中心までの長さが、４辺でそれぞれ異なる値に設定されている。また、軸受体２１４には、矩形状の板体の３辺の縁部に、板体の端面と軸孔２２４の中心までの長さを識別するための表示部２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃが形成されている。表示部２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃは異なる色からなり、色によって板体の端面と軸孔２２４の中心までの長さを識別することができる。また、軸受体２１４の裏側にも３辺の縁部の同じ部分に表示部２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃが形成されている。

本実施形態では、軸受体２１４の４辺の端面と軸孔２２４の中心との長さは、それぞれ１３ｍｍ、１４ｍｍ、１５ｍｍ、１５.５ｍｍに設定されており、表示部２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃは、それぞれ青色、黄色、赤色に設定されている。また、図５に示す保持部材２１２の軸受凹部２１２Ａの軸２０４に対して直交する方向の壁間の寸法（図５中の左右の壁間の寸法）は、６２ｍｍに設定されている。

図５（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、軸受体２１４は、軸２０４が軸孔２２４に挿入された状態で、保持部材２１２の軸受凹部２１２Ａへの装着方向を４通りに変えることができる。すなわち、軸受体２１４の異なる４辺（表示部２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃが設けられた辺、及び表示部が無い辺）をそれぞれ軸受凹部２１２Ａの奥部に接触させるように配置することで、軸受凹部２１２Ａへの装着方向を４通りに変えることができる。このとき、２個の軸受体２１４の配置は、１対の液絞りローラ２０２の接触部（挟持部）を通る線に対して左右対称となるように配置している。軸受凹部２１２Ａの壁間の寸法が一定であり、軸受体２１４の４辺の端面と軸孔２２４の中心との長さが異なるので、軸受体２１４の軸受凹部２１２Ａへの装着方向を４通りに変えることで、フィルムを挟持する１対の液絞りローラ２０２の挟持部の押し圧（圧力）を４通りに変更することができる。本例では、１対の液絞りローラ２０２の挟持部の押し圧（圧力）が、２〜３０Ｎ、望ましくは５〜１５Ｎとなるように設定している。

図２に示すように、液絞りローラ２０２の下部には、新鮮な洗浄液を液絞りローラ２０２に下方斜め方向から噴出する２本の長尺パイプ９６が配設されている。長尺パイプ９６には、それぞれ供給パイプ９８が接続されており、供給パイプ９８から新鮮な洗浄液が供給される構成となっている。

このような液絞りローラ２０２では、軸２０４の両端部を支持する軸受体２１４が保持部材２１２の軸受凹部２１２Ａに装着されており、軸２０４に設けられた軸受２１６を介して円筒体２１８が回転することで、スポンジ層２０６が回転する。そのとき、軸２０４と円筒体２１８との間に隙間２１９が形成されているので、円筒体２１８をスムーズに回転させることができる。１対の液絞りローラ２０２の間に感光ウエブ１８が挟持されており、感光ウエブ１８の搬送に伴って液絞りローラ２０２が従動回転する。液絞りローラ２０２が感光ウエブ１８を挟持した状態で従動回転することで、感光ウエブ１８に付着した洗浄液の液切れが行われる。

また、軸受凹部２１２Ａに装着された軸受体２１４を取り出し、軸受体２１４の向きを変えて軸受凹部２１２Ａに装着することで、１対の液絞りローラ２０２の挟持部の押し圧を変更することができる。本実施形態では、軸受体２１４の軸受凹部２１２Ａへの装着方向を４通りに変えることにより、１対の液絞りローラ２０２の挟持部の押し圧を４通りに変更することができる。このため、感光ウエブ１８の液切り状態に応じて、液絞りローラ２０２の挟持部の押し圧を容易に調整することができる。また、軸受体２１４の軸受凹部２１２Ａへの装着方向を変えるのみで挟持部の押し圧を調整することができるので、作業性が良い。

また、液絞りローラ２０２のメンテナンス等で、軸受体２１４を保持部材２１２の軸受凹部２１２Ａから取外しても、表示部２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃの位置を確認することで、軸受体２１４を容易に同じ方向に装着することができる。従って、調整ねじなどで１対の液絞りローラ２０２の挟持部の押し圧を調整する場合と比較して、一旦変更した押し圧を容易に元の押し圧に戻すことができる。また、軸受体２１４は１部品であり、軸受体２１４と保持部材２１２の構成も簡単であるので、低コスト化が可能である。

図２に示すように、１対の液絞りローラ２３０は、軸２０４の周囲に疎水性のスポンジ層２３２を備えたものであり、感光ウエブ１８の移動に伴って従動回転する。この液絞りローラ２３０は、図３に示す液絞りローラ２０２のスポンジ層２０６を、弾力性と吸水性に優れた疎水性のスポンジ層２３２に代えたもので、他の構成は同じである。スポンジ層２３２の材質は疎水性的な樹脂が選択され、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリプロピレン（ＰＰ）などが望ましい。１対の液絞りローラ２３０は、液絞りローラ２０２と同様に図５に示す軸受体２１４を備えており、軸受体２１４の軸受凹部２１２Ａへの装着方向を変えることで、液絞りローラ２３０の挟持部の押し圧を容易に調整することができる。

図２に示されるように、温風乾燥装置２４０Ａは、箱状のフード２４２の下部に、感光ウエブ１８が搬入される搬入口２４３と、感光ウエブ１８が搬出される搬出口２４４とを備えている。フード２４２内の上方部には、感光ウエブ１８をガイドする３本の搬送ガイドローラ２４６が千鳥状に配置されており、３本の搬送ガイドローラ２４６に感光ウエブ１８が巻き掛けられている。最も上流側の搬送ガイドローラ２４６は、液中ローラ７２Ａの上方部に位置をずらして配置されており、下部の液中ローラ７２Ａに巻き掛けられた感光ウエブ１８が上部の搬送ガイドローラ２４６に巻き掛けられた状態で搬送されるようになっている。

搬送ガイドローラ２４６は、ＳＵＳからなる軸芯に導電性のゴム層を形成したものであり、感光ウエブ１８の両面が搬送ガイドローラ２４６に接触する構成となっている。ＳＵＳなどの金属表面が感光ウエブ１８に接触すると、感光ウエブ１８の表面に液滴が残存した場合に液滴が感光ウエブ１８に転移し、しみ状の汚れとなるが、搬送ガイドローラ２４６のゴム層が感光ウエブ１８に接触することで、このようなしみ状の汚れを防止できる。

３本の搬送ガイドローラ２４６の搬送方向上流側と搬送方向下流側には、感光ウエブ１８の表裏に対向する位置に乾燥温風を噴出する温風噴出器２４８、２５０が配設されている。温風噴出器２４８、２５０には、感光ウエブ１８側に複数のスリット状の噴出ノズル２４９が幅方向に複数設けられており、温風噴出器２４８、２５０には、乾燥温風を送る供給パイプ２５２がそれぞれ接続されている。

上記構成の液切り装置２００Ａでは、洗浄槽７０Ａの感光ウエブ１８の搬出位置に、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の液絞りローラ２０２が配設されており、感光ウエブ１８の搬送に伴って液絞りローラ２０２が従動回転する。液絞りローラ２０２に感光ウエブ１８が挟持されて搬送されることにより、感光ウエブ１８に付着した洗浄液が絞られる。その際、スポンジ層２０６の周面の一部が洗浄液７１に浸漬されており、スポンジ層２０６は親水性であるため、スポンジ層２０６の周面が常に濡れた状態となる。このため、液絞りローラ２０２に汚れが付着しにくく、感光ウエブ１８に汚れが付着することが抑制されると共に、感光ウエブ１８の表面に傷が発生することが抑制される。また、供給パイプ９８から液絞りローラ２０２の斜め下方方向へ新鮮な洗浄液が噴出されているので、液絞りローラ２０２の汚れが除去される。

さらに、感光ウエブ１８は、２本の液絞りローラ２３０の挟持部に搬送され、液絞りローラ２０２に感光ウエブ１８が挟まれて搬送されることにより、感光ウエブ１８に付着した洗浄液が更に絞られる。その際、スポンジ層２３２が疎水性であるため、液絞りローラ２３０の周面に洗浄液が付着しにくく、感光ウエブ１８に洗浄液が付着することが抑制される。

次いで、感光ウエブ１８は、搬送ガイドローラ２４６にガイドされながら温風乾燥装置２４０Ａへ搬送される。温風乾燥装置２４０Ａのフード２４２内では、搬入側に配置された温風噴出器２４８と、搬出側に配置された温風噴出器２５０により、感光ウエブ１８の表裏に乾燥温風が噴出されており、感光ウエブ１８が乾燥温風によって十分に乾燥される。噴出された乾燥温風は、フード２４２の下部に配置された搬入口２４３と搬出口２４４から外部に排出される。

この温風乾燥装置２４０Ａでは、温風噴出器２４８、２５０、感光ウエブ１８及び搬送ガイドローラ２４６がフード２４２で覆われているので、感光ウエブ１８の表裏に乾燥温風を噴出したときに、感光ウエブ１８から除去された洗浄液がフード２４２の外部に飛散して感光ウエブ１８に再付着することが防止される。このため、感光ウエブ１８のムラなどの発生が抑制される。また、搬入口２４３から排出された温風は、下部の液絞りローラ２３０に吹き当たるので、液絞りローラ２３０に吸収された洗浄液が蒸発する。このため、液絞りローラ２３０に洗浄液が蓄積されるのを抑制できる。

上記構成の液切り装置２００Ａ及び温風乾燥装置２４０Ａを設けることにより、少量のエネルギーで、短時間で、長尺広幅の感光ウエブ１８を連続的に効率よく確実に液切り及び乾燥させることができる。このため、めっき時の洗浄乾燥作業等の負担が大幅に低減し、生産効率の向上を図ることができ、安価に製品を提供できる。

図１では図示を省略するが、電解めっき装置１６では、カソード給電ローラ５０Ａと、めっき槽６０Ａと、洗浄槽７０Ａと、液切り装置２００Ａ、温風乾燥装置２４０Ａとを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では２ユニット）、上記のような工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８に所定の厚さの銅めっきが形成される。

さらに、感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、ニッケルめっきを施すためのカソード給電ローラ５０Ｂと、めっき槽６０Ｂと、洗浄槽７０Ｂと、液切り装置２００Ａ、温風乾燥装置２４０Ａとを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では２ユニット）、上記と同様の工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８に所定の厚さのニッケルめっきが形成される。

次いで、図１に示すように、めっきが施された感光ウエブ１８は、フィルム張力を検出できるローラ１２５を介して、めっき液を除去する洗浄液１１５（水）の入った水洗部１１４、めっき被膜を保護する防錆処理液１１７の入った防錆処理部１１６を経て、過剰な防錆処理液を除去する洗浄液１１９（水）の入った水洗部１１８に搬送される。さらに、めっきが施された感光ウエブ１８は、水分を除去する乾燥炉をもつ乾燥工程部１２０を経て、速度調整部１２１を経て、バランスローラ部１２２を経て、張力調整された後、アキュムレータ１２３を通してロール状フィルム１２４Ａとする。このようにして、感光ウエブ１８の細線状金属銀部にめっき（導電性金属部）が形成される。このような工程により、めっき被膜付きフィルムを得ることができる。

実質的なフィルム搬送張力は、５Ｎ／ｍ以上２００Ｎ／ｍ以下とすることが好ましい。実際に張力を５Ｎ／ｍ未満にすると、フィルムが蛇行し始め、搬送経路の制御がうまくいかなかった。また２００Ｎ／ｍを超えると、フィルムの形成されるめっき被膜金属が内部歪みを持つために、製品にカールが発生するなどの問題があった。

なお、電解めっき装置１６のめっき槽の数は、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）に応じて複数セット増設してもよい。この数に応じて、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）を容易に得ることができる。

次に、感光ウエブ１８について説明する。被めっき素材としての感光ウエブ１８は、例えば、光透過性支持体上に銀塩（例えばハロゲン化銀）が含有した銀塩含有層を設けた、感光材料からなる長尺フレキシブル基材である。また、銀塩含有層上には保護層が設けられていてもよく、この保護層とは例えばゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために銀塩含有層上に形成される。保護層の厚みは０．０２〜２０μｍであることが好ましい。

これらの銀塩含有層や保護層の組成などは、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に適用されるハロゲン化銀乳剤層（銀塩含有層）や保護層を適宜適用することができる。

特に、感光ウエブ１８（感光材料）としては、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）が好ましく、白黒銀塩写真フィルム（白黒銀塩感光材料）が最もよい。また、銀塩含有層に適用する銀塩としては、特にハロゲン化銀が最も好適である。

一方、光透過性支持体としては、単層のプラスチックフィルムや、これを２層以上組み合わせた多層フィルムを適用することができる。プラスチックフィルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡなどのポリオレフィン類；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂；その他、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などを用いることができる。

また、ディスプレイ用の電磁波遮蔽材では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合における光透過性支持体の全可視光透過率は７０〜１００％が好ましい。

感光ウエブ１８の幅は、例えば、２０ｃｍ以上とし、厚みは５０〜２００μｍとすることがよい。

また、感光ウエブ１８には、露光・現像後、その露光部に金属銀部が形成されるが、この金属銀部に含まれる金属銀の質量が、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上の含有率であることが好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上であれば、その後の電解めっき処理で高い導電性を得ることができるため好ましい。

露光及び現像処理により形成された金属銀部に導電性を付与するために、上述の電解めっき装置１６によって、金属銀部に導電性金属部を形成させる電解めっき処理を行う。すなわち、めっき被膜付きフィルムの製造装置１０では、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた感光ウエブ１８を用い、これの銀塩含有層に露光・現像を行って被めっき部として所望の細線状金属銀部を形成する。この細線状金属銀部は、銀塩含有層に露光・現像して形成されるため、非常に細い細線でパターン化された細線状金属銀部となる。このような感光ウエブ１８に対し、電解めっき処理を施すと、細線状金属銀部上に導電性金属部が形成され、これが導電性金属部となる。このため、得られる電磁波遮蔽材料は、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部とを有することとなる。

なお、上記実施形態の液切り装置２００Ａでは、１対の液絞りローラ２０２の軸２０４を支持する軸受体２１４は、中心部に軸２０４が挿入される軸孔２２４を備えた矩形状の板体であるが、これに限定されず、他の形状に設定することができる。また、１対の液絞りローラ２０２の形状は、軸２０４に隙間２１９を介して円筒体２１８を配設した構成であるが、これに限定されず、他の形状の液絞りローラを用いることができる。例えば、軸の周面に直接スポンジ層を形成した液絞りローラにも本実施形態の軸受体２１４を用いることができる。

なお、上記実施形態の液切り装置は、洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの洗浄液に浸漬された感光ウエブ１８の液切りを行うものであるが、これに限定されず、他の洗浄槽に浸漬された感光ウエブ１８の液切りを行うときにも本発明を適用可能である。また、洗浄槽に限定されず、液体の液切りを行うものであれば、本発明を適用可能である。

なお、上記実施形態の液切り装置は、フィルム上の金属銀部に電解めっきを施すめっき被膜付きフィルムの製造装置に適用するものであるが、これに限定するものではない。例えば、フィルムに、通常の電気めっき、無電解めっきを行うとき、又はプリント配線板の液切り乾燥に適用することもできる。

本発明の一実施形態におけるめっき被膜付きフィルムの製造装置を示す概略縦断面図である。図１に示す製造装置で用いられる洗浄槽、液切り装置及び温風乾燥装置を示す概略構成図である。図２に示す液切り装置の１対の液絞りローラを示す横断面図である。液絞りローラの軸を受ける軸受体の単体構造を示す平面図である。１対の親水性液絞りローラの軸を支持する軸受体の装着方向を変えて軸受凹部に装着した状態を示す平面図である。従来のフィルム状の処理品を乾燥する装置を示す概略構成図である。

符号の説明

１０めっき被膜付きフィルム製造装置
１６電解めっき装置
１８感光ウエブ（フィルム）
６０Ａめっき槽（電解めっき槽）
６０Ｂめっき槽（電解めっき槽）
７０Ａ洗浄槽
７０Ｂ洗浄槽
７１洗浄液（液体）
２００Ａ液切り装置
２０２液絞りローラ
２０４軸
２１２Ａ軸受凹部
２１４軸受体
２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃ表示部
２２４軸孔
２３０液絞りローラ

Claims

１対の液絞りローラの軸をそれぞれ支持して、装置に設けられた軸受凹部に装着される軸受体であって、
前記液絞りローラの軸が挿入される軸孔が形成された板体からなり、前記軸孔から前記板体の端面までの長さが異なることを特徴とする軸受体。
前記板体が矩形状で、前記軸孔と前記板体の端面までの長さが、４辺で異なることを特徴とする請求項１に記載の軸受体。
前記板体の４辺には、前記軸孔と前記板体の端面までの長さを識別する表示部が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の軸受体。
一定方向に搬送される帯状のフィルムに付着した液体の液切りを行う液切り装置であって、
前記フィルムを挟持して回転する１対のスポンジ状の液絞りローラと、
前記液絞りローラの軸を支持する請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の軸受体と、
前記軸受体が装着される軸受凹部と、
を有することを特徴とする液切り装置。
帯状のフィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面に電解めっき浴よりめっき被膜を形成する電解めっき浴槽と、
前記電解めっき浴槽の下流側で前記フィルムを洗浄液で洗浄する洗浄槽と、
前記洗浄槽の下流側に、前記洗浄液の液切りを行う請求項４に記載の液切り装置と、
を有することを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造装置。