KR100567435B1 - 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치 - Google Patents

배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 목적은, 신뢰성이 높은 제품을 제조할 수 있는 침지 공정을 행하는 데에 있다.
배선 기판의 제조 방법은, 제1 및 제2 롤러(20, 22)에 의해서 반송되는 장척 형상의 기판(10)을 제1 및 제2 롤러(20, 22)의 사이에서 휘어지게 함으로써, 액체(30)에 침지시키는 것을 포함하고, 제1 및 제2 롤러(20, 22)의 적어도 한쪽은 구동 롤러(20)이고, 액체조(32) 중에 기판(10)의 위치를 검출하는 센서(50)나 액체의 분출구(40)를 배치하고, 기판(10)의 휘어짐을 조절함으로써, 액체내에서 기판(10)의 반송 경로를 컨트롤한다.
배선 기판, 액체조, 분출구

Description

배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치{MANUFACTURING METHOD AND MANUFACTURING DEVICE OF WIRING BOARD}
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면,
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면,
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면,
도 4는 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면,
도 5는 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면,
도 6은 본 발명의 실시 형태에 관한 배선 기판을 갖는 전자 기기를 도시하는 도면,
도 7은 본 발명의 실시 형태에 관한 배선 기판을 갖는 전자 기기를 도시하는 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판
12 : 굴곡부
20 : 제1 롤러(제1 구동 롤러)
22 : 제2 롤러
24 : 제3 롤러(주구동 롤러, 제2 구동 롤러)
26 : 롤러(장해물)
30 : 액체
32 : 액체조
40 : 분출구
50 : 센서
52 : 제1 검출부
54 : 제2 검출부
본 발명은 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것이다.
FPC(Flexible Printed Circuit)의 제조 방법에서는, 약액 처리 및 세정 등을 행하기 위해서, 기판을 액체 조 내의 용액에 담그는 침지 공정이 행해진다. 이 공정에서는 릴·투·릴 반송이 적용된다. 종래, 기판은 용액 내에 있어도 롤러(릴)에 걸쳐 반송되고 있었다. 그러나, 이것에 의하면, 롤러에 의해 굴곡된 부분에 롤 러의 축방향으로의 응력이 가해져서 액체 내에서 기판이 손상되는 경우가 있었다.
본 발명의 목적은, 신뢰성이 높은 제품을 제조할 수 있는 침지 공정을 행하는 데에 있다.
(1) 본 발명에 관한 배선 기판의 제조 방법은, 액체조의 위쪽에 설치된 제1 롤러와 제2 롤러를 사용하고, 상기 제1 롤러로부터 상기 제2 롤러를 향해서 장척 형상의 기판이 반송되는 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 적어도 한쪽은 제1 구동 롤러이고,
상기 액체조 내에는 상기 기판의 위치를 검출하는 센서가 배치되고,
상기 기판은 상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 사이에서 휘어지게 함으로써, 상기 액체조 내의 액체에 침지되고,
상기 제1 구동 롤러의 회전 속도는, 상기 센서에 의한 검출 결과에 기초하여 조정된다.
본 발명에 의하면, 센서로 기판의 위치를 검출하고, 그 결과에 기초하여 제1 구동 롤러의 회전 속도를 조정함으로써, 액체조 내에서의 기판의 반송 경로를 컨트롤한다. 즉, 센서로 검출한 기판의 위치에 따라서, 기판의 휘어짐의 크기를 조정할 수 있다. 이렇게 함으로써, 액체조 내에서 기판에 무리한 응력을 가하지 않고, 기판의 반송 경로를 안정시킬 수 있다. 따라서, 기판의 손상을 방지하고, 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.
(2) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 제1 구동 롤러의 회전 속도에 의해서, 상기 액체조 내에서의 상기 기판의 반송 경로가 컨트롤되어도 좋다.
(3) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 센서는 상기 기판의 위쪽에 배치되는 제1 검출부와, 상기 기판의 아래쪽에 배치되는 제2 검출부를 포함하는 것이어도 좋다.
(4) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
다수의 상기 센서가 상기 기판의 길이 방향으로 배치되어도 좋다.
(5) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 기판은, 상기 제2 롤러로부터 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
상기 제1 롤러는 상기 제1 구동 롤러이고,
상기 제2 롤러 또는 상기 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
상기 제1 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러를 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전시키고,
상기 제2 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러를 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 느리게 반송하도록 회전시켜도 좋다.
이것에 의하면, 기판의 휘어짐이 작아짐으로써 제1 검출부가 기판을 검출한 경우, 제1 구동 롤러를 제2 구동 롤러보다도 기판을 빠르게 반송하도록 회전시킴으로써, 기판의 휘어짐을 크게 할 수 있다. 한편, 기판의 휘어짐이 커짐으로써 제2 검출부가 기판을 검출한 경우, 제1 구동 롤러를 제2 구동 롤러보다도 기판을 느리게 반송하도록 회전시킴으로써, 기판의 휘어짐을 작게 할 수 있다.
(6) 본 발명에 관한 배선 기판의 제조 방법은, 상기 제2 구동 롤러를 일정한 회전 속도로 회전시켜도 좋다.
(7) 본 발명에 관한 배선 기판의 제조 방법은, 액체조의 위쪽에 설치된 제1 롤러와 제2 롤러를 사용하고, 상기 제1 롤러로부터 상기 제2 롤러를 향해서 장척 형상의 기판이 반송되는 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 액체조 내에는, 상기 기판에 액체를 분출시키는 분출기가 배치되고,
상기 기판은, 상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 사이에서 휘어지게 함으로써, 상기 액체조 내의 액체에 침지되고,
상기 기판에 상기 액체를 분출시킴으로써, 상기 액체조 내에서의 상기 기판의 반송 경로를 컨트롤한다.
본 발명에 의하면, 액체조 내에서 기판에 액체를 분출시킴으로써, 액체조 내에서의 기판의 반송 경로를 컨트롤한다. 이렇게 함으로써, 액체내에서 기판에 무리한 응력을 가하지 않고, 기판의 반송 경로를 안정시킬 수 있다. 따라서, 기판의 손상을 방지하고, 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.
(8) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 액체를 상기 기판이 상기 액체조 내에 가라앉는 방향으로 분출시켜도 좋다.
이것에 의해서, 기판을 확실하게 액체에 침지시킬 수 있다.
(9) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 액체를 상기 기판의 길이 방향의 다수 위치에 분출시켜도 좋다.
이것에 의해서, 기판이 길이 방향으로 구부러지는 것을 방지할 수 있다.
(10) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 기판은 상기 반송 경로의 일부에, 반송 방향을 전환하는 굴곡부를 갖고,
상기 액체를 상기 기판의 적어도 상기 굴곡부에 분출시켜도 좋다.
이것에 의하면, 액체를 굴곡부에 분출하면, 기판의 반송 경로를 컨트롤하기 쉽다.
(11) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
장해물을 상기 액체조 내에 배치하고,
상기 기판은, 상기 장해물의 아래쪽을 통해서 반송되고,
상기 액체는 상기 장해물과 상기 기판의 사이에 분출되는 것이어도 좋다.
이것에 의해서, 분출시키는 액체량을 적게 할 수 있고, 또한 기판의 반송 경로를 보다 안정시킬 수 있다.
(12) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 액체를 상기 기판의 반송 방향의 상류측에서 하류측을 향해서 분출시켜도 좋다.
이것에 의하면, 기판의 반송 방향을 따라서 액체를 분출시키기 때문에, 기판의 반송 경로를 보다 안정시킬 수 있다.
(13) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 적어도 한쪽은 제1 구동 롤러이고,
상기 액체조 내에는, 상기 기판의 위치를 검출하는 센서가 배치되고,
상기 제1 구동 롤러의 회전 속도는, 상기 센서에 의한 검출 결과에 기초하여 조정되는 것이어도 좋다.
이것에 의하면, 센서로 기판의 위치를 검출하고, 그 결과에 기초하여 제1 구동 롤러의 회전 속도를 조정한다. 즉, 센서로 검출한 기판의 위치에 따라서 기판의 휘어짐의 크기를 조정한다. 이렇게 함으로써, 기판의 반송 경로를 보다 안정시킬 수 있다.
(14) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 센서는, 상기 기판의 위쪽에 배치되는 제1 검출부와, 상기 기판의 아래쪽에 배치되는 제2 검출부를 포함하는 것이어도 좋다.
(15) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 기판은 상기 제2 롤러로부터 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
상기 제1 롤러는 상기 제1 구동 롤러이고,
상기 제2 롤러 또는 상기 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
상기 제1 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러를 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전시키고,
상기 제2 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러를 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 느리게 반송하도록 회전시키는 것이어도 좋다.
이것에 의하면, 제1 구동 롤러를 제2 구동 롤러보다도 기판을 빠르게 반송하도록 회전시킴으로써, 기판의 휘어짐을 크게 할 수 있다. 한편, 제1 구동 롤러를 제2 구동 롤러보다도 기판을 느리게 반송하도록 회전시킴으로써, 기판의 휘어짐을 작게 할 수 있다.
(16) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 기판은, 상기 제2 롤러로부터 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
상기 제1 롤러는 제1 구동 롤러이고,
상기 제2 롤러 또는 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
상기 제1 구동 롤러를 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전시켜도 좋다.
(17) 이 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
상기 제2 구동 롤러를 일정한 회전 속도로 회전시켜도 좋다.
(18) 본 발명에 관한 배선 기판의 제조 장치는, 장척 형상의 기판을 침지하기 위한 액체가 넣어진 액체조와,
상기 액체조의 위쪽에 설치되고, 상기 기판을 반송하는 다수의 롤러와,
상기 액체조 내에 배치되고, 상기 액체 중에 침지되는 상기 기판의 위치를 검출하는 센서를 포함하고,
상기 다수의 롤러의 적어도 하나는 제1 구동 롤러이다.
본 발명에 의하면, 센서로 기판의 위치를 검출하고, 그 결과에 기초하여 구동 롤러의 회전 속도를 조정함으로써, 액체조 내에서의 기판의 반송 경로를 컨트롤한다. 즉, 센서로 검출한 기판의 위치에 따라서, 기판의 휘어짐의 크기를 조정한다. 이렇게 함으로써, 액체조 내에서 기판에 무리한 응력을 가하지 않고, 기판의 반송 경로를 안정시킬 수 있다. 따라서, 기판의 손상을 방지하고, 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.
(19) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 센서의 검출 결과에 기초하여, 상기 제1 구동 롤러의 회전 속도를 조정함으로써, 상기 액체조 내에서의 상기 기판의 반송 경로를 컨트롤해도 좋다.
(20) 상기 기판은, 상기 반송 경로의 일부에, 반송 방향을 전환하는 굴곡부를 갖고,
상기 센서는, 상기 기판의 상기 굴곡부의 위치를 검출해도 좋다.
이것에 의하면, 굴곡부의 위치를 검출하면, 기판의 반송 경로를 컨트롤하기 쉽다.
(21) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 센서는, 상기 기판의 위쪽에 배치되는 제1 검출부와, 상기 기판의 아래쪽에 배치되는 제2 검출부를 포함하는 것이어도 좋다.
(22) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 기판은, 상기 제2 롤러로부터 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
상기 제1 롤러는 상기 제1 구동 롤러이고,
상기 제2 롤러 또는 상기 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
상기 제1 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러는 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전하고,
상기 제2 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러는 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 느리게 반송하도록 회전하여 이루어지는 것이어도 좋다.
이것에 의하면, 기판의 휘어짐이 작아짐으로써 제1 검출부가 기판을 검출한 경우, 제1 구동 롤러를 제2 구동 롤러보다도 기판을 빠르게 반송하도록 회전시킴으로써, 기판의 휘어짐을 크게 할 수 있다. 한편, 기판의 휘어짐이 커짐으로써 제2 검출부가 기판을 검출한 경우, 제1 구동 롤러를 제2 구동 롤러보다도 기판을 느리게 반송하도록 회전시킴으로써, 기판의 휘어짐을 작게 할 수 있다.
(23) 본 발명에 관한 배선 기판의 제조 장치는, 장척 상의 기판을 침지하기 위한 액체가 넣어진 액체조와,
상기 액체조의 위쪽에 설치되고, 상기 기판을 반송하는 다수의 롤러와,
상기 액체조 내에서 상기 기판에 액체를 분출시킴으로써, 상기 액체조 내에서의 상기 기판의 반송 경로를 컨트롤하는 분출기를 포함한다.
본 발명에 의하면, 액체조 내에서 기판에 액체를 분출시킴으로써, 액체조 내에서의 기판의 반송 경로를 컨트롤한다. 이렇게 함으로써, 액체조 내에서 기판에 무리한 응력을 가하지 않고, 기판의 반송 경로를 안정시킬 수 있다. 따라서, 기판의 손상을 방지하고, 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.
(24) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 분출기는, 상기 액체를 상기 기판이 상기 액체조에 가라앉는 방향으로 분출시켜도 좋다.
이것에 의해서, 기판을 확실하게 액체에 침지시킬 수 있다.
(25) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 분출기는, 상기 액체를 상기 기판의 길이 방향의 다수 위치에 분출시켜도 좋다.
이것에 의해서, 기판이 길이 방향으로 구부러지는 것을 방지할 수 있다.
(26) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 기판은, 상기 반송 경로의 일부에 반송 방향을 전환하는 굴곡부를 갖고,
상기 분출기는, 상기 액체를 상기 기판의 적어도 상기 굴곡부에 분출시켜도 좋다.
이것에 의하면, 액체를 굴곡부에 분출하면, 기판의 반송 경로를 컨트롤하기 쉽다.
(27) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 액체조 내에 배치되고, 상기 기판의 반송 경로를 컨트롤하기 위한 장해물을 더 포함하고,
상기 분출기는, 상기 액체를 상기 장해물과 상기 기판의 사이에 분출시켜도 좋다.
이것에 의해서, 기판의 반송 경로를 보다 안정시킬 수 있다.
(28) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 장해물은, 상기 기판의 상기 굴곡부의 위쪽에 배치되고,
상기 분출기는, 상기 액체를 상기 장해물과 상기 기판의 상기 굴곡부의 사이 에 분출시켜도 좋다.
(29) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 분출기는, 상기 액체를 상기 기판의 반송 방향의 상류측에서 하류측을 향해서 분출시켜도 좋다.
이것에 의하면, 기판의 반송 방향을 따라서 액체를 분출시키기 때문에, 기판의 반송 경로를 보다 안정시킬 수 있다.
(30) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 액체조 내에 배치되고, 상기 액체 내에 침지되는 상기 기판의 위치를 검출하는 센서를 더 포함하고,
상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 적어도 한쪽은 제1 구동 롤러이고,
상기 센서의 검출 결과에 기초하여, 상기 제1 구동 롤러의 회전 속도를 조정해도 좋다.
이것에 의하면, 센서로 기판의 위치를 검출하고, 그 결과에 기초하여 제1 구동 롤러의 회전 속도를 조정한다. 즉, 센서로 검출한 기판의 위치에 따라서 기판의 휘어짐의 크기를 조정한다. 이렇게 함으로써, 기판의 반송 경로를 보다 안정시킬 수 있다.
(31) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 센서는, 상기 기판의 위쪽에 배치되는 제1 검출부와, 상기 기판의 아래쪽에 배치되는 제2 검출부를 포함하는 것이어도 좋다.
(32) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 기판은, 상기 제2 롤러로부터 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
상기 제1 롤러는 상기 제1 구동 롤러이고,
상기 제2 롤러 또는 상기 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
상기 제1 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러는 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전하고,
상기 제2 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러는 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 느리게 반송하도록 회전하여 이루어지는 것이어도 좋다.
이것에 의하면, 기판의 휘어짐이 작아짐으로써 제1 검출부가 기판을 검출한 경우, 제1 구동 롤러를 제2 구동 롤러보다도 기판을 빠르게 반송하도록 회전시킴으로써, 기판의 휘어짐을 크게 할 수 있다. 한편, 기판의 휘어짐이 커짐으로써 제2 검출부가 기판을 검출한 경우, 제1 구동 롤러를 제2 구동 롤러보다도 기판을 느리게 반송하도록 회전시킴으로써, 기판의 휘어짐을 작게 할 수 있다.
(33) 이 배선 기판의 제조 장치에 있어서,
상기 기판은, 상기 제2 롤러로부터 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
상기 제1 롤러는 상기 제1 구동 롤러이고,
상기 제2 롤러 또는 상기 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
상기 제1 구동 롤러는 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전하여 이루어지는 것이어도 좋다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 단, 본 발명은, 이하의 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.
(제1 실시 형태)
도 1은, 본 발명을 적용한 제1 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면이다. 먼저, 배선 기판의 제조 장치에 대해서 설명한다.
제조 장치(1)는 장척 형상의 기판(10)에 웨트 처리를 실시할 때에 사용된다. 여기에서의 웨트 처리는 기판(10)을 액체에 침지시키는 처리를 가리킨다. 본 실시 형태에 관한 제조 장치는, 모든 웨트 처리의 형태에 적용할 수 있다. 예를 들면, 포토리소그래피 기술에서의 현상 공정, 배선 기판의 표면 처리, 웨트 에칭, 레지스트의 용해(박리), 세정 공정 등을 들 수 있다. 제조 장치(1)에서는 기판(10)을 다수의 롤러(릴)로 반송하는, 말하자면 릴·투·릴 반송 방식이 적용되고 있다.
제조 장치(1)는 배선 기판(또는 반도체 장치)의 제조 라인의 일부이어도 좋다. 즉, 릴·투·릴 반송 방식에 의해서, 웨트 처리의 공정과 병렬로(웨트 처리의 전후의 공정으로서), 다른 공정을 행해도 좋다.
기판(10)은 플렉서블 기판(가요성 기판)이고, 유기계의 재료(예를 들면 폴리이미드)로 구성되는 경우가 많다. 기판(10)은 웨트 처리의 형태에 따라서 그 구성이 다르고, 예를 들면 배선이 되는 재료를 가져도 좋다. 기판(10)은 COF(Chip On Film)용 기판이나 TAB(Tape Automated Bonding)용 기판이어도 좋다.
기판(10)은, 장척 형상(또는 테이프 형상)을 이룬다. 기판(10)은 1개의 제 조 라인(제조 장치(1)를 포함한다)의 양측의 최단부에 배치되는 한쌍의 롤러(도시하지 않음)에 의해서, 롤형상으로 감겨진다. 기판(10)은, 그 한쌍의 롤러 사이에서 기판(10)의 길이 방향으로 반송된다.
제조 장치(1)는, 액체조(32)의 위쪽에 제1 및 제2 롤러(20, 22)를 갖는다. 제1 롤러(20), 제2 롤러(22)는 한쌍을 이루고, 동일 방향으로 회전 가능(구동 가능한지를 묻지 않는다)하게 되어 있다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 제1 롤러(20)는 제2 롤러(22)보다도 기판(10)의 반송 방향(도 1에서는 우방향)의 상류측에 배치되어 있다. 제1 및 제2 롤러(20, 22)는 적어도 기판(10)의 폭방향(길이 방향에 대해서 수직인 방향)의 양단부와 접촉한다. 제1 및 제2 롤러(20, 22)는 스프로킷을 기판(10)의 폭방향의 양단부의 구멍에 끼워 넣음으로써 반송해도 좋고, 스프로킷 없이 반송해도 좋다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 제1 및 제2 롤러(20, 22)에 의해서, 기판(10)의 반송 방향을 전환시키고 있다. 상세하게는, 제1 롤러(20)는, 수평으로 보내진 기판(10)을 비스듬히 아래 방향으로 송출하고, 제2 롤러(22)는 비스듬히 아래 방향에서 보내진 기판(10)을 수평으로 송출하고 있다. 바꿔 말하면, 기판(10)은 한쌍의 제1 및 제2 롤러(20, 22)의 사이에서 휘어지도록 되어 있다. 이렇게 함으로써, 기판(10)의 일부를 액체(30)에 침지시킬 수 있다. 기판(10)에는 액체조 내에서 반송 방향을 전환하기 위한 1개 또는 다수(도 1에서는 2개)의 굴곡부(12)가 형성되어도 좋다.
제조 장치(1)는 제3 롤러로서, 주 구동 롤러(24)(제2 구동 롤러)를 갖는다. 제2 롤러(22)가 주 구동 롤러(24)이어도 좋다. 주 구동 롤러(24)는 모터 등의 동력에 의해서 소정의 속도로 회전한다. 주 구동 롤러(24)는 일정한 속도로 회전 가능해도 좋고, 다른 속도로 자유롭게 조정 가능해도 좋다. 본 실시 형태에서는, 주 구동 롤러(24)는 일정한 속도로 회전한다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 주 구동 롤러(24)는 기판(10)의 반송 방향에서 한쌍의 제1 및 제2 롤러(20, 22)보다도 하류측에 배치되어도 좋다. 그 경우, 주 구동 롤러(24)는 기판(10)을 끌어들이는 방향으로 회전한다. 도 1과는 달리, 주 구동 롤러(24)가 기판(10)을 롤형상으로 감아도 좋다.
제1 및 제2 롤러(20, 22) 중, 적어도 한쪽을 구동시켜도 좋다. 본 실시 형태에서는, 상류측의 제1 롤러(20)를 구동한다. 그 경우, 제1 롤러(20)는 일정한 속도로 회전 가능해도 좋고, 다른 속도로 자유롭게 조정 가능해도 좋다. 본 실시 형태에서는 제1 롤러(20)는 일정한 속도로 회전한다.
제1 롤러(20)는, 주 구동 롤러(24)보다도 기판(10)을 빠르게 반송하도록 회전해도 좋다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 제1 롤러(20)가 주 구동 롤러(24)와 동일한 축직경을 갖는 경우에는, 제1 롤러(20)는 주 구동 롤러(24)보다도 빠르게 회전해도 좋다. 제1 롤러(20)는 주 구동 롤러(24)보다도 상류측에 배치되어 있기 때문에, 제1 롤러(20)를 빠르게 회전시킴으로써, 기판(10)을 휘어지게 할 수 있다. 그 때문에, 후술하는 바와 같이 액체 내에서의 기판(10)의 반송 경로의 컨트롤이 쉬워진다. 또, 기판(10)이 소정량을 넘어서 휘어진 경우에는, 하류측의 제2 롤러(22)가 공회전하기 때문에, 기판(10)의 지나친 휘어짐을 방지할 수 있다.
상술한 바와는 달리, 구동하는 롤러(예를 들면 제1 롤러(20)) 및 주 구동 롤러(24)(예를 들면 제2 롤러(22) 또는 제3 롤러(24))에 있어서, 한쪽이 다른 쪽에 대해서 다른 속도로 자유롭게 조정 가능하면, 기판(10)의 휘어짐의 크기를 제어하는 것이 가능하게 된다.
제조 장치(1)는 액체조(32)를 갖는다. 액체조(32)에는 기판(10)을 침지시키기 위한 액체(30)가 들어가 있다. 액체(30)는 웨트 처리의 형태에 따라서 그 성분이 결정되고, 예를 들면 알칼리성의 용액, 중성·산성의 용액, 또는 물 등이어도 좋다. 액체조(32)는 한 쌍의 제1 및 제2 롤러(20, 22)의 사이에 배치된다. 액체조(32)의 길이(기판(10)의 반송 방향의 길이)는 기판(10)의 침지 시간에 따라서 결정되면 좋고, 수m(예를 들면 5m) 정도이어도 좋다. 기판(10)에서의 제1 및 제2 롤러(20, 22) 사이의 일부가 액체조(32)의 액체(30)에 침지된다.
본 실시 형태에서는, 제조 장치(1)는 액체를 분출하기 위한 분출기를 갖는다. 이 액체는 액체조(32) 내의 액체(30)와 동일 액체인 것이 바람직하다. 분출기는 1개 또는 다수(도 1에서는 2개)의 액체의 분출구(40)를 갖는다. 분출구(40)는 액체조(32)의 액체(30) 내에 배치된다. 분출구(40)는 액체(30)에 침지되는 기판(10)의 위쪽(액면측)에 배치되고, 기판(10)이 가라앉는 방향으로 액체를 분출해도 좋다. 분출구(40)는 기판(10)의 길이 방향을 따라서 다수 위치에 배치되어도 좋다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 분출구(40)는 액체조(32) 내에서의 기판(10)의 굴곡부(12)에 분출해도 좋다. 역으로 말하면, 분출구(40)에서 기판(10)의 일부에 액체를 분출함으로써, 액체가 분출된 기판(10)의 부분을 굴곡시킨다.
분출구(40)에의 액체의 공급 방법은, 주지의 방법을 적용할 수 있다. 예를 들면, 펌프로 액체를 액체조(32) 내에서 순환시키고, 분출구(40)로부터 액체를 분출시켜도 좋다. 또한, 액체의 분출량(또는 분출 속도)은 일정해도 좋고, 기판(10)과의 거리 등에 따라서 조정하면 좋다.
본 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 장치는, 상술한 바와 같이 구성되어 있고, 이하에, 상술한 제조 장치(1)를 사용한 배선 기판의 제조 방법을 설명한다. 또한, 이하의 배선 기판의 제조 방법의 사항에는, 상술한 내용으로부터 안내된 어느 하나의 사항을 선택적으로 적용해도 좋다.
본 실시 형태에 관한 제조 방법은, 상술한 웨트 처리의 공정을 포함한다. 웨트 처리의 공정으로서, 포토리소그래피 기술을 적용하고, 기판(10)에 배선을 형성하는 공정에서의 처리를 설명한다. 또한, 본 실시 형태에 관한 제조 방법은 이 예에 한정되는 것은 아니다.
먼저, 기재(基材)(예를 들면 폴리이미드)에 도전박(예를 들면 구리박)이 설치된 기판(10)을 준비한다. 도전박은 기재의 한쪽면의 전체에 예를 들면 접착제로 부착되어 있다. 그리고, 기판(10)에 감광성을 갖는 레지스트를 형성하고, 레지스트를 소정의 패터닝 형상의 마스크를 통해서 노광한다. 그 후, 레지스트를 현상한다. 즉, 본 공정(현상 공정)으로 기판(10)을 액체(30)(예를 들면 알칼리성의 용액)에 침지시킴으로써, 배선 패턴 등을 형성한다.
기판(10)을 한쌍의 제1 및 제2 롤러(20, 22)의 사이에서 휘어지게 함으로써, 액체(30)에 침지시킨다. 본 실시 형태에서는 제1 롤러(20)가 주 구동 롤러(24)보 다도 빠르게 회전하고 있기 때문에, 한쌍의 제1 및 제2 롤러(20, 22)의 사이에서 기판(10)의 휘어짐이 초기 상태보다도 작아지기 어렵다. 따라서, 기판(10)을 확실하게 액체(30)에 침지시킬 수 있다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 액체내에서 기판(10)에 액체를 분출시킴으로써, 액체조(32) 내에서의 기판(10)의 반송 경로를 컨트롤한다. 액체를 기판(10)이 가라앉는 방향(액체조(32)의 저면을 향하는 방향)으로 분출해도 좋다. 이렇게 함으로써, 기판(10)을 확실하게 액체(30)에 침지시킬 수 있다. 또, 도 1에 도시하는 바와 같이, 한쌍의 제1 및 제2 롤러(20, 22)에 걸쳐진 기판(10)의 표측면(위쪽을 향하는 면)에 액체를 분출해도 좋다.
액체를 기판(10)의 길이 방향의 다수 위치에 분출해도 좋다. 도 1에서는, 기판(10)의 길이 방향으로 늘어서는 2개의 분출구(40)로부터 액체가 분출되고 있다. 이렇게 함으로써, 기판(10)이 길이 방향으로 구부러지는 것을 방지할 수 있다.
액체를 기판(10)의 굴곡부(12)에 분출해도 좋다. 바꿔 말하면, 기판(10)의 일부에 액체를 분출함으로써, 기판(10)에서의 액체가 분출된 부분을 굴곡시켜도 좋다. 이것에 의하면, 기판(10)의 반송 방향을 자유롭게 컨트롤할 수 있기 때문에, 기판(10)을 액체조 내에서 안정시킬 수 있다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 기판(10)이 액체 내에서 거의 역사다리꼴 형상의 윤곽의 일부를 구성하도록 해도 좋다. 도 1에 도시하는 바와 같이 기판(10)은 2개의 부분에서 굴곡시켜도 좋고, 기판(10)의 반송 경로는 이것에 한정되지 않는 다.
기판(10)은 액체조(32)의 저면 또는 분출구(40) 등에 접촉시키지 않는 쪽이 바람직하다. 이것에 의해서, 기판(10)의 손상을 방지할 수 있다.
이렇게 해서, 기판(10)에 레지스트의 패턴을 형성한다. 그리고, 기판(10)의 도전박 중, 레지스트로부터 노출되는 부분을 에칭하여 장척 형상의 기판(10)에 다수의 배선 패턴을 형성한다. 또한, 기판(10)은 뒤의 공정에서 각 배선 패턴마다 펀칭된다.
본 실시 형태에 의하면, 액체 내에서 기판(10)에 액체를 분출시킴으로써, 액체 내에서의 기판(10)의 반송 경로를 컨트롤한다. 이렇게 함으로써, 액체 내에서 기판(10)에 무리한 응력을 가하지 않고, 기판(10)의 반송 경로를 안정시킬 수 있다. 즉, 기판(10)을 가능한 한 응력이 가해지지 않는 자유도가 높은 상태에서 반송할 수 있다. 따라서, 기판의 손상을 방지하고, 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.
(제2 실시 형태)
도 2는, 본 발명을 적용한 제2 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면이다. 본 실시 형태에서는, 제조 장치(3)를 사용하여 배선 기판을 제조한다. 이하의 설명에서는 상술한 내용으로부터 안내된 어느 하나의 사항을 선택적으로 적용할 수 있다.
제조 장치(3)는 상술한 제조 장치(1)(제1 실시 형태 참조)의 구성에 더하여, 장해물(예를 들면 롤러(26))를 또한 포함한다.
제조 장치(3)는 액체조(32) 내에 기판(10)의 반송 방향을 규제하기 위한 1개 또는 다수의 장해물(도 2에서는 2개의 롤러(26))을 갖는다.
도 2에서 도시하는 예에서는, 장해물은 기판(10)의 위쪽에 배치되어 있다. 장해물은 기판(10)의 굴곡부(12)의 위쪽에 배치되어도 좋다. 바꿔 말하면, 장해물과 기판(10)의 사이에 액체를 분출시킴으로써, 기판(10)에서의 장해물에 가까운 부분을 굴곡시켜도 좋다.
장해물의 형상은 한정되지 않고, 예를 들면 기판(10)의 반송에 사용되는 롤러(26)와 동일 형상이어도 좋다. 도 2에 도시하는 예에서는, 장해물로서 롤러(26)가 배치되어 있다. 롤러(26)는 액체의 분출에 따라서 회전 가능해도 좋다.
분출구(40)는 액체를 장해물(롤러(26))과 기판(10)면의 사이에 분출시킨다. 이 때문에, 장해물의 축 방향으로 기판(10)이 무리하게 눌러 붙여지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판(10)에 작용하는 응력을 저감할 수 있기 때문에, 기판(10)의 손상을 방지할 수 있다. 그 경우, 액체를 기판(10)의 반송 방향의 상류측에서 하류측을 향해서 분출시켜도 좋다. 이것에 의하면, 기판(10)의 반송 방향과 동일 방향으로 액체를 분출시키기 때문에, 기판(10)의 반송 경로를 보다 안정시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서의 배선 기판의 제조 방법의 구성 및 효과는 상술한 것으로부터 알 수 있으므로 생략한다.
(제3 실시 형태)
도 3은, 본 발명을 적용한 제3 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면이다. 본 실시 형태에서는, 제조 장치(5)를 사용하여 배선 기판을 제조한다. 이하의 설명에서는 상술한 내용으로부터 안내되는 어느 하나의 사항을 선택적으로 적용할 수 있다.
제조 장치(5)는 제조 장치(1)(제1 실시 형태 참조)의 구성에 있어서, 분출기(분출구(40)) 대신, 1개 또는 다수의 센서(50)를 또한 포함한다.
센서(50)는 액체조(32) 내에서 기판(10)에 비접촉으로 배치되고, 액체 내에서의 기판(10)의 위치를 검출한다. 그리고, 센서(50)의 검출 결과에 기초하여, (검출 데이터를 신호로 변환하고), 롤러(20)를 구동한다. 센서(50)의 검출 수단은 센서의 기술 분야에서의 주지의 수단을 적용할 수 있고, 예를 들면, 적외선 또는 초음파에 의한 검출이어도 좋다.
센서(50)는 액체 내에서, 기판(10)의 위쪽(액체면측), 아래쪽(바닥측) 또는 그들의 양쪽에 배치된다. 다수의 센서(50)가 기판(10)의 길이 방향을 따라서 다수 위치(도 3에서는 2개)에 배치되어도 좋다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 센서(50)는 기판(10)의 굴곡부(12)의 주위에 배치되고, 굴곡부(12)의 위치를 검출해도 좋다. 굴곡부(12)의 위치를 검출하면, 기판(10)의 반송 방향을 특정할 수 있기 때문에, 기판(10)의 반송 경로를 컨트롤하기 쉽다.
본 실시 형태에서는, 롤러(20)만이 구동된다. 초기 상태에서, 롤러(20)는 주 구동 롤러(24)와, 기판(10)의 반송 속도를 동일하게 되도록 회전해도 좋다. 혹은, 롤러(20)는 주 구동 롤러(24)보다도 기판(10)을 빠르게 반송하도록 회전해도 좋다. 그 경우, 기판(10)의 휘어짐이 초기 상태보다도 작아지기 어렵기 때문에, 기판(10)을 확실하게 액체(30)에 침지시킬 수 있다.
본 실시 형태에서는, 센서(50)는 제1 및 제2 검출부(52, 54)를 갖는다. 센서(50)는 제1 및 제2 검출부(52, 54)뿐만 아니라, 또한 검출부를 갖는 것이어도 좋다. 각 검출부(52, 54)는 기판(10)과의 거리가 소정량이 되면 기판(10)을 검출하고, 제1 롤러(20)에 구동하기 위한 신호(전기 신호)를 보내도록 되어 있다. 각 검출부(52, 54)가 기판(10)을 검출하였을 때의 제1 롤러(20)의 회전 속도는 미리 실험 등으로 측정해 둔 값을 적용하면 된다.
도 3에 도시하는 예에서는, 제1 검출부(52)는 기판(10)면의 위쪽에 배치되고, 제2 검출부(54)는 기판(10)면의 아래쪽에 배치되며, 양자가 기판(10)을 사이에 두도록 배치되어 있다. 그리고, 제1 검출부(52)가 기판(10)을 검출한 경우에는, 제1 롤러(20)를 주 구동 롤러(24)보다도 빠르게 회전시킨다. 이렇게 해서, 기판(10)의 휘어짐을 크게 한다. 제2 검출부(54)가 기판(10)을 검출한 경우에는, 제1 롤러(20)를 주 구동 롤러(24)보다도 느리게 회전시킨다. 이렇게 해서, 기판(10)의 휘어짐을 작게 한다. 또한, 제1 및 제2 검출부(52, 54) 중 어느 쪽이든 기판(10)을 검출하지 않는 경우에는, 기판(10)이 적정한 반송 경로로 반송되고 있기 때문에 그대로의 상태를 유지한다.
변형예로서, 센서(50)는 기판(10)과의 거리를 검출할 수 있는 기능을 구비해도 좋다. 이렇게 함으로써, 기판(10)과의 거리량에 따라서 제1 롤러(20)의 회전 속도를 조정할 수 있기 때문에, 보다 정확하게 기판(10)의 반송 경로를 컨트롤할 수 있다.
상술에서는, 센서(50)에 의해서 상류측의 제1 롤러(20)의 구동을 조정하는 예를 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 센서(50)의 검출 결과에 기초하여, 제1 및 제2 롤러(20, 22)의 양쪽을 구동시켜도 좋다. 상류측의 제1 롤러(20) 및 하류측의 제2 롤러(22)에 있어서, 한쪽이 다른쪽에 대해서 다른 속도로 자유롭게 조정 가능하면, 기판(10)의 휘어짐의 크기를 보다 정확하게 제어하는 것이 가능하게 된다.
본 실시 형태에 의하면, 센서(50)에서 기판(10)의 위치를 검출하고, 그 결과에 기초하여 제1 구동 롤러(예를 들면, 제1 롤러(20))의 회전 속도를 조정함으로써, 액체 내에서의 기판(10)의 반송 경로를 컨트롤한다. 즉, 센서(50)에서 검출한 기판(10)의 위치에 따라서, 기판(10)의 휘어짐의 크기를 조정한다. 이렇게 함으로써, 액체조(32) 내의 액체(30)에 있어서, 기판(10)에 무리한 응력을 가하지 않고, 기판(10)의 반송 경로를 안정시킬 수 있다. 따라서, 기판(10)의 손상을 방지하고, 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서의 배선 기판의 제조 방법의 구성 및 효과는, 상술로부터 알 수 있으므로 생략한다.
(제4 실시 형태)
도 4는, 본 발명을 적용한 제4 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면이다. 본 실시 형태에서는, 제조 장치(7)를 사용하여 배선 기판을 제조한다. 이하의 설명에서는 상술한 내용으로부터 안내되는 어느 하나의 사항을 선택적으로 적용할 수 있다.
제조 장치(7)는 제조 장치(1) 및 제조 장치(5)의 구성을 포함한다. 즉, 제 조 장치(7)는 분출기(분출구(40)) 및 센서(50)의 양쪽을 포함한다.
제1 롤러(20)는 센서(50)의 검출 결과에 기초하여, 그 회전 속도가 조정된다. 그리고, 분출구(40)로부터의 액체의 분출량(분출 속도)은 일정하여도 좋고, 제1 롤러(20) 및 주 구동 롤러(24)의 회전 속도 등을 고려하여 결정하면 좋다.
본 실시 형태에서도 상술한 효과를 달성할 수 있고, 보다 한층, 기판(10)을 안정하게 반송할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서의 배선 기판의 제조 방법의 구성 및 효과는 상술로부터 알 수 있으므로 생략한다.
(제5 실시 형태)
도 5는, 본 발명을 적용한 제5 실시 형태에 관한 배선 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 도시하는 도면이다. 본 실시 형태에서는 제조 장치(9)를 사용하여 배선 기판을 제조한다. 이하의 설명에서는, 상술한 내용으로부터 인도되는 어느 하나의 사항을 선택적으로 적용할 수 있다.
제조 장치(9)는, 제조 장치(3) 및 제조 장치(5)의 구성을 포함한다. 즉, 제조 장치(7)는 분출기(분출구(40)), 장해물(롤러(26)) 및 센서(50)를 포함한다.
장해물(롤러(26)) 및 센서(50)는 도 5에 도시하는 바와 같이 일체적으로 구성되어도 좋고, 별체로 구성되어도 좋다.
본 실시 형태에서도 상술한 효과를 달성할 수 있고, 보다 한층, 기판(10)을 안정하게 반송할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서의 배선 기판의 제조 방법의 구성 및 효과는 상술로부터 알 수 있으므로 생략한다.
본 발명의 실시 형태에 관한 반도체 장치는, 상술한 배선 기판을 갖고, 배선 기판에는 배선 패턴이 설치된다. 상술한 배선 기판에 전극(범프 등)을 갖는 반도체 소자를 탑재하고, 기판의 배선 패턴과 반도체 소자의 전극을 전기적으로 접속하는 공정을 거쳐서, 본 발명의 실시 형태에 관한 반도체 장치를 얻을 수 있다. 본 발명의 실시 형태에 관한 반도체 장치의 제조 방법에 의하면, 회로 기판의 불량품률이 적기 때문에, 반도체 장치의 제조 라인의 스루풋이 향상한다. 또, 본 발명의 실시 형태에 관한 전자 기기는, 상술한 배선 기판을 갖고, 배선 기판에는 배선 패턴이 설치된다. 상술한 배선 기판에 전극을 갖는 전자 부품을 탑재하고, 기판이 배선 패턴과 전자 부품의 전극을 전기적으로 접속하는 공정을 거쳐서, 본 발명의 실시 형태에 관한 전자 기기를 얻을 수 있다. 본 발명의 실시 형태에 관한 전자 기기의 제조 방법에 의하면, 회로 기판의 불량품률이 적기 때문에, 전자 기기의 제조 라인의 스루풋이 향상한다. 본 발명의 실시 형태에 관한 배선 기판을 갖는 전자 기기로서, 도 6에는 노트형 퍼스널 컴퓨터(100)가 도시되고, 도 7에는 휴대 전화(200)가 도시되어 있다.
본 발명은, 상술한 실시 형태로 한정되는 것이 아니라, 다양한 변형이 가능하다. 예를 들면, 본 발명은 실시 형태에서 설명한 구성과 실질적으로 동일한 구성(예를 들면, 기능, 방법 및 결과가 동일한 구성, 혹은 목적 및 결과가 동일한 구성)을 포함한다. 또, 본 발명은 실시 형태에서 설명한 구성의 본질적이지 않은 부분을 치환한 구성을 포함한다. 또, 본 발명은 실시 형태에서 설명한 구성과 동일한 작용 효과를 이루는 구성 또는 동일한 목적을 달성할 수 있는 구성을 포함한다. 또, 본 발명은 실시 형태에서 설명한 구성에 공지 기술을 부가한 구성을 포함한다.
본 발명에 의하면, 액체조 내에서 기판에 무리한 응력을 가하지 않고, 기판의 반송 경로를 안정시킬 수 있다. 따라서, 기판의 손상을 방지하고, 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.

Claims (34)

  1. 액체조의 위쪽에 설치된 제1 롤러와 제2 롤러를 사용하고, 상기 제1 롤러로부터 상기 제2 롤러를 향해서 장척 형상의 기판이 반송되는 배선 기판의 제조 방법에 있어서,
    상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 적어도 한쪽은 제1 구동 롤러이고,
    상기 액체조 내에는, 상기 기판의 위치를 검출하는 센서가 배치되고,
    상기 기판은 상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 사이에서 휘어지게 함으로써 상기 액체조 내의 액체에 침지되고,
    상기 제1 구동 롤러의 회전 속도는, 상기 센서에 의한 검출 결과에 기초하여 조정되는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 구동 롤러의 회전 속도에 의해서 상기 액체조 내에서의 상기 기판의 반송 경로가 컨트롤되는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서는 상기 기판의 위쪽에 배치되는 제1 검출부와, 상기 기판의 아래쪽에 배치되는 제2 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    다수의 상기 센서가 상기 기판의 길이 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  5. (정정)
    제 3 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 제2 롤러로부터, 상기 제1 및 제2 롤러보다도 하류측에 배치된 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
    상기 제1 롤러는 상기 제1 구동 롤러이고,
    상기 제2 롤러 또는 상기 제3 롤러는 제2 구동 롤러이고,
    상기 제1 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러를 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전시키고,
    상기 제2 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러를 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 느리게 반송하도록 회전시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2 구동 롤러를 일정한 회전 속도로 회전시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  7. 액체조의 위쪽에 설치된 제1 롤러와 제2 롤러를 사용하고, 상기 제1 롤러로부터 상기 제2 롤러를 향해서 장척 형상의 기판이 반송되는 배선 기판의 제조 방법 에 있어서,
    상기 액체조 내에는 상기 기판에 액체를 분출시키는 분출기가 배치되고,
    상기 기판은 상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 사이에서 휘어지게 함으로써 상기 액체조 내의 액체에 침지되고,
    상기 기판에 상기 액체를 분출시킴으로써 상기 액체조 내에서의 상기 기판의 반송 경로를 컨트롤하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 액체를 상기 기판이 상기 액체조 내에 가라앉는 방향으로 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 액체를 상기 기판의 길이 방향의 다수 위치에 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  10. 제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 반송 경로의 일부에 반송 방향을 전환하는 굴곡부를 갖고,
    상기 액체를 상기 기판의 적어도 상기 굴곡부에 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  11. 제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    장해물을 상기 액체조 내에 배치하고,
    상기 기판은 상기 장해물의 아래쪽을 통해서 반송되고,
    상기 액체는 상기 장해물과 상기 기판의 사이에 분출되는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 액체를 상기 기판의 반송 방향의 상류측에서 하류측을 향해서 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 적어도 한쪽은 제1 구동 롤러이고,
    상기 액체조 내에는 상기 기판의 위치를 검출하는 센서가 배치되고,
    상기 제1 구동 롤러의 회전 속도는 상기 센서에 의한 검출 결과에 기초하여 조정되는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 센서는 상기 기판의 위쪽에 배치되는 제1 검출부와, 상기 기판의 아래쪽에 배치되는 제2 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  15. (정정) 제 14 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 제2 롤러로부터, 상기 제1 및 제2 롤러보다도 하류측에 배치된 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
    상기 제1 롤러는 상기 제1 구동 롤러이고,
    상기 제2 롤러 또는 상기 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
    상기 제1 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러를 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전시키고,
    상기 제2 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러를 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 느리게 반송하도록 회전시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  16. (정정) 제 7 항에 있어서,
    제3 롤러를 더 구비하고,
    상기 기판은 상기 제2 롤러로부터 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
    상기 제1 롤러는 제1 구동 롤러이고,
    상기 제2 롤러 또는 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
    상기 제1 구동 롤러를 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 제2 구동 롤러를 일정한 회전 속도로 회전시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
  18. (2회정정) 장척 형상의 기판을 침지하기 위한 액체가 넣어진 액체조;
    상기 액체조의 위쪽에 설치되고, 상기 기판을 반송하는 제1 및 제2 롤러; 및
    상기 액체조 내에 배치되고, 상기 액체 중에 침지되는 상기 기판의 위치를 검출하는 센서를 포함하고,
    상기 제1 롤러로부터 상기 제2 롤러를 향하여 상기 기판이 반송되고,
    상기 제1 및 제2 롤러의 적어도 1개는 제1 구동 롤러이며,
    상기 센서의 검출 결과에 기초하여, 상기 제1 구동 롤러의 회전 속도를 조정함으로써, 상기 액체조 내에서의 상기 기판의 반송 경로를 컨트롤하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  19. 삭제
  20. (정정) 제 18 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 반송 경로의 일부에 반송 방향을 전환하는 굴곡부를 갖고,
    상기 센서는 상기 기판의 상기 굴곡부의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  21. (정정) 제 18 항에 있어서,
    상기 센서는 상기 기판의 위쪽에 배치되는 제1 검출부와, 상기 기판의 아래쪽에 배치되는 제2 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  22. (정정) 제 21 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 제2 롤러로부터, 상기 제1 및 제2 롤러보다도 하류측에 배치된 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
    상기 제1 롤러는 상기 제1 구동 롤러이고,
    상기 제2 롤러 또는 상기 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
    상기 제1 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러는 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전하고,
    상기 제2 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러는 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 느리게 반송하도록 회전하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  23. (정정) 장척 형상의 기판을 침지하기 위한 액체가 넣어진 액체조;
    상기 기판을 반송하는 다수의 롤러; 및
    상기 액체조 내에서 상기 기판에 액체를 분출시키는 분출기를 포함하고,
    상기 다수의 롤러는, 상기 액체조의 위쪽에 설치된 제1 및 제2 롤러를 구비하고,
    상기 기판은 상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 사이에서 상기 액체조 내 액체에 침지되고,
    상기 분출기에 의해, 상기 액체조 내에서 상기 기판에 상기 액체를 분출시킴으로써, 상기 액체조 내에서의 상기 기판의 반송 경로를 콘트롤하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 분출기는 상기 액체를, 상기 기판이 상기 액체조에 가라앉는 방향으로 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  25. 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서,
    상기 분출기는 상기 액체를, 상기 기판의 길이 방향의 다수 위치에 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  26. 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 반송 경로의 일부에 반송 방향을 전환하는 굴곡부를 갖고,
    상기 분출기는 상기 액체를, 상기 기판의 적어도 상기 굴곡부에 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  27. 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서,
    상기 액체조 내에 배치되고, 상기 기판의 반송 경로를 컨트롤하기 위한 장해물을 또한 포함하고,
    상기 분출기는 상기 액체를, 상기 장해물과 상기 기판의 사이에 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  28. 제 26 항에 있어서,
    상기 액체조 내에 배치되고, 상기 기판의 반송 경로를 컨트롤하기 위한 장해물을 또한 포함하고,
    상기 분출기는 상기 액체를, 상기 장해물과 상기 기판의 사이에 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 장해물은 상기 기판의 상기 굴곡부의 위쪽에 배치되고,
    상기 분출기는 상기 액체를, 상기 장해물과 상기 기판의 상기 굴곡부와의 사이에 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  30. 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서,
    상기 분출기는 상기 액체를, 상기 기판의 반송 방향의 상류측에서 하류측을 향해서 분출시키는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  31. 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서,
    상기 액체조 내에 배치되고, 상기 액체 중에 침지되는 상기 기판의 위치를 검출하는 센서를 또한 포함하고,
    상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러의 적어도 한쪽은 제1 구동 롤러이며,
    상기 센서의 검출 결과에 기초하여, 상기 제1 구동 롤러의 회전 속도를 조정하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  32. 제 31 항에 있어서,
    상기 센서는, 상기 기판의 위쪽에 배치되는 제1 검출부와, 상기 기판의 아래쪽에 배치되는 제2 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  33. (정정) 제 32 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 제2 롤러로부터, 상기 제1 및 제2 롤러보다도 하류측에 배치된 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
    상기 제1 롤러는 상기 제1 구동 롤러이고,
    상기 제2 롤러 또는 상기 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
    상기 제1 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러는 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전하고,
    상기 제2 검출부가 상기 기판을 검출한 경우에, 상기 제1 구동 롤러는 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 느리게 반송하도록 회전하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
  34. (정정) 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 제2 롤러로부터, 상기 제1 및 제2 롤러보다도 하류측에 배치된 제3 롤러를 향해서 또한 반송되고,
    상기 제1 롤러는 상기 제1 구동 롤러이고,
    상기 제2 롤러 또는 상기 제3 롤러는 제2 구동 롤러이며,
    상기 제1 구동 롤러는 상기 제2 구동 롤러보다도 상기 기판을 빠르게 반송하도록 회전하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 장치.
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