CN1429062A - 印刷电路板的制造方法以及制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种印刷电路板的制造方法，包含通过由第一和第二卷轴(20、22)输送的带状电路板(10)在第一和第二卷轴(20、22)之间松弛，使其浸渍在液体(30)中，第一和第二卷轴(20、22)的至少一方是驱动卷轴(20)，在液槽(32)中配置检测电路板(10)的位置的传感器(50)和液体的喷出口(40)，通过调节电路板(10)的松弛度，来控制液体中的电路板(10)的输送路线。能制造可靠性高的产品。

Description

印刷电路板的制造方法以及制造装置
技术领域
本发明涉及印刷电路板的制造方法以及制造装置。
背景技术
在FPC(Flexible Printed Circuit)的制造方法中，为了进行药液处理及其洗净等，进行把电路板在液槽中的溶液中浸泡的浸渍步骤。在该步骤中，使用了卷轴和卷轴输送。以往，电路板即使在溶液中，也是挂在卷轴上输送的。但是，如果这样，则在由卷轴弯曲的部分产生了向卷轴的轴向应力，在溶液中有时会损坏电路板。
发明内容
本发明的目的在于：进行能制造可靠性高的产品的浸渍步骤。
(1)本发明的印刷电路板的制造方法，使用设置在液槽的上方的第一卷轴和第二卷轴，从所述第一卷轴向所述第二卷轴输送带状的电路板；
所述第一卷轴和所述第二卷轴的至少一方是第一驱动卷轴；
在所述液槽中，配置检测所述电路板位置的传感器；
通过在所述第一卷轴和所述第二卷轴之间使所述电路板松弛，使其浸渍在所述液槽中的液体中；
根据所述传感器的检测结果，调整所述第一驱动卷轴的旋转速度。
根据本发明，通过用传感器检测电路板的位置，根据该结果调整第一驱动卷轴的旋转速度，控制液槽中的电路板的输送路线。即按照传感器检测的电路板的位置，能调整电路板的松弛程度。这样一来，在液槽中，在电路板上不会施加过度的应力，能使电路板的输送路线稳定。因此，能防止电路板的损坏，能提高产品的可靠性。
(2)在该印刷电路板的制造方法中，可以根据所述第一驱动卷轴的旋转速度，控制所述液槽中的所述电路板的输送路线。
(3)在该印刷电路板的制造方法中，所述传感器可以包含：配置在所述电路板的上方的第一检测部和配置在所述电路板的下方的第二检测部。
(4)在该印刷电路板的制造方法中，多个所述传感器可以配置在所述电路板的长度方向。
(5)在该印刷电路板的制造方法中，所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
当所述第一检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板；
当所述第二检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板。
据此，当电路板的松弛变小，第一检测部检测了电路板时，通过使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板，能增大电路板的松弛。而当电路板的松弛变大，第二检测部检测了电路板时，通过使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板，能减小电路板的松弛。
(6)本发明的印刷电路板的制造方法可以以一定的旋转速度使所述第二驱动卷轴旋转。
(7)本发明的印刷电路板的制造方法，使用设置在液槽上方的第一卷轴和第二卷轴，从所述第一卷轴向所述第二卷轴输送带状的电路板；
在所述液槽中，配置向所述电路板喷出液体的喷出器；
通过使所述电路板在所述第一卷轴和所述第二卷轴之间松弛，使其浸渍在所述液槽的液体中；
通过向所述电路板喷出所述液体，控制所述液槽中的所述电路板的输送路线。
根据本发明，通过在液槽中向所述电路板喷出所述液体，控制液槽中的所述电路板的输送路线。这样一来，在液槽中，在电路板上不会产生过度的应力，能使电路板的输送路线稳定。因此，能防止电路板的损坏，能提高产品的可靠性。
(8)在该印刷电路板的制造方法中，可使所述液体向所述电路板沉入所述液槽中的方向喷出。
据此，就能准确地使电路板浸渍在液体中。
(9)在该印刷电路板的制造方法中，可使所述液体向所述电路板的长度方向的多个位置喷出。
据此，能防止电路板在长度方向弯曲。
(10)在该印刷电路板的制造方法中，所述电路板在所述输送路线的一部分上有转换输送方向的曲折部；
可以使所述液体至少喷向所述电路板的所述曲折部。
据此，如果使液体向曲折部喷出，就能容易地控制电路板的输送路线。
(11)在该印刷电路板的制造方法中，在所述液槽中配置障碍物；
所述电路板通过所述障碍物的下方输送；
所述液体可以喷向所述障碍物和所述电路板之间。
据此，能减少喷出的液量，并且能使电路板的输送路线更稳定。
(12)在该印刷电路板的制造方法中，使所述液体从所述电路板的输送路线的上游一侧向下游一侧喷出。
据此，因为按照电路板的输送路线使液体喷出，所以能使电路板的输送路线更稳定。
(13)在该印刷电路板的制造方法中，所述第一卷轴和所述第二卷轴的至少一方是第一驱动卷轴；
在所述液槽中，配置检测所述电路板的位置的传感器；
根据所述传感器的检测结果，调整所述第一驱动卷轴的旋转速度。
据此，用传感器检测电路板的位置，根据该结果，调整第一驱动卷轴的旋转速度。即按照用传感器检测的电路板的位置，调整电路板的松弛的大小。这样一来，能使电路板的输送路线更稳定。
(14)在该印刷电路板的制造方法中，所述传感器可以包含：配置在所述电路板的上方的第一检测部和配置在所述电路板的下方的第二检测部。
(15)在该印刷电路板的制造方法中，所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
当所述第一检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板；
当所述第二检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板。
据此，通过使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板，能增大电路板的松弛。而通过使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板，能减小电路板的松弛。
(16)在该印刷电路板的制造方法中，所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板。
(17)在该印刷电路板的制造方法中，可以以一定的旋转速度使所述第二驱动卷轴旋转。
(18)本发明的印刷电路板的制造装置包含：装入了用于浸渍带状电路板的液体的液槽；
设置在所述液槽的上方，并且输送所述电路板的多个卷轴；
配置在所述液槽中，检测浸渍在所述液体中的所述电路板的位置的传感器；
所述多个卷轴的至少一个是第一驱动卷轴。
根据本发明，通过用传感器检测电路板的位置，根据该结果调整驱动卷轴的旋转速度，控制液槽中的电路板的输送路线。这样一来，在液槽中，不会在电路板上产生过度的应力，能使电路板的输送路线稳定。因此，能防止电路板的损坏，能提高产品的可靠性。
(19)在该印刷电路板的制造装置中，可以通过根据所述传感器的检测结果，调整所述第一驱动卷轴的旋转速度，控制所述液槽中的所述电路板的输送路线。
(20)所述电路板在所述输送路线的一部分上有转换输送方向的曲折部；
所述传感器可以检测所述电路板的所述曲折部的位置。
据此，如果检测曲折部的位置，就能容易地控制电路板的输送路线。
(21)在该印刷电路板的制造装置中，所述传感器可以包含：配置在所述电路板的上方的第一检测部和配置在所述电路板的下方的第二检测部。
(22)在该印刷电路板的制造装置中，所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
当所述第一检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板；
当所述第二检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板。
据此，当电路板的松弛变小，第一检测部检测了电路板时，通过使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板，能增大电路板的松弛。而当电路板的松弛变大，第二检测部检测了电路板时，通过使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板，能减小电路板的松弛。
(23)本发明的印刷电路板的制造装置包含：装有用于浸渍带状电路板的液体的液槽；
设置在所述液槽的上方，并且输送所述电路板的多个卷轴；
在所述液槽中，通过使液体向所述电路板喷出，控制所述液槽中的所述电路板的输送路线的喷出器。
根据本发明，通过在液槽中，使液体向所述电路板喷出，控制液槽中的电路板的输送路线。这样一来，在液槽中，不会在电路板上产生过度的应力，能使电路板的输送路线稳定。因此，能防止电路板的损坏，能提高产品的可靠性。
(24)在该印刷电路板的制造装置中，使所述液体向所述电路板沉入所述液槽中的方向喷出。
(25)在该印刷电路板的制造装置中，使所述液体向所述电路板的长度方向的多个位置喷出。
据此，能防止电路板在长度方向弯曲。
(26)在该印刷电路板的制造装置中，所述电路板在所述输送路线的一部分上有转换输送方向的曲折部；
可以使喷出器至少把所述液体向所述电路板的所述曲折部喷出。
据此，如果使液体向曲折部喷出，就能容易地控制电路板的输送路线。
(27)在该印刷电路板的制造装置中，还包含：配置在所述液槽中，用于控制所述电路板的输送路线的障碍物；
所述喷出器使所述液体向所述障碍物和所述电路板之间喷出。
据此，能使电路板的输送路线更稳定。
(28)在该印刷电路板的制造装置中，所述障碍物配置在所述电路板的所述曲折部的上方；
所述喷出器可以使所述液体向所述障碍物和所述电路板的所述曲折部之间喷出。
(29)在该印刷电路板的制造装置中，所述喷出器可以使所述液体从所述电路板的输送方向的上游一侧向下游一侧喷出。
据此，因为按照电路板的输送方向使液体喷出，所以能使电路板的输送路线更稳定。
(30)在该印刷电路板的制造装置中，还包含：配置在所述液槽中，并且检测浸渍在所述液槽中的所述电路板的位置的传感器；
所述第一卷轴和所述第二卷轴的至少一方是第一驱动卷轴；
根据所述传感器的检测结果，调整第一驱动卷轴的旋转速度。
据此，用传感器检测电路板的位置，根据该结果调整第一驱动卷轴的旋转速度。即按照用传感器检测的电路板的位置，调整电路板的松弛的大小。这样一来，能使电路板的输送路线更稳定。
(31)在该印刷电路板的制造装置中，所述传感器可以包含：配置在所述电路板的上方的第一检测部和配置在所述电路板的下方的第二检测部。
(32)在该印刷电路板的制造装置中，所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
当所述第一检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板；
当所述第二检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板。
据此，当电路板的松弛变小，第一检测部检测了电路板时，通过使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板，能增大电路板的松弛。而当电路板的松弛变大，第二检测部检测了电路板时，通过使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板，能减小电路板的松弛。
(33)在该印刷电路板的制造装置中，所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板。
附图说明
下面简要说明附图。
图1是表示本发明的实施例1的印刷电路板的制造方法以及制造装置的图。
图2是表示本发明的实施例1的印刷电路板的制造方法以及制造装置的图。
图3是表示本发明的实施例1的印刷电路板的制造方法以及制造装置的图。
图4是表示本发明的实施例1的印刷电路板的制造方法以及制造装置的图。
图5是表示本发明的实施例1的印刷电路板的制造方法以及制造装置的图。
图6是表示具有本发明的实施例的印刷电路板的电子仪器的图。
图7是表示具有本发明的实施例的印刷电路板的电子仪器的图。
具体实施方式
下面，参照附图，就本发明的实施例加以说明。但是，本发明并不局限于以下所述的实施例。
(实施例1)
图1是表示适用了本发明的实施例1的印刷电路板的制造方法以及制造装置的图。首先，就印刷电路板的制造装置加以说明。
在对带状的电路板10进行湿处理时使用制造装置1。这里的湿处理是指使电路板10浸渍在液体中的处理。本实施例的制造装置能适用于所有湿处理的形态。例如，有光刻技术的显影步骤、印刷电路板的表面处理、湿蚀刻、抗蚀剂的溶解(剥离)、洗净步骤等。在制造装置1中，使用了用卷轴(reel)输送电路板10的所谓的卷轴到卷轴输送方式。
制造装置1可以是印刷电路板(或半导体装置)的生产线的一部分。即通过卷轴到卷轴输送方式，与湿处理的步骤并行(作为湿处理前后的步骤)，还可以进行其他的步骤。
电路板10是软性电路板(可弯曲性电路板)，并且常常由有机类的材料(例如，聚酰亚胺)构成。电路板10按照湿处理的形态，其结构不同，例如可以具有成为布线的材料。电路板10可以是COF(Chip On Film)用电路板和TAB(Tape Automated Bonding)用电路板。
电路板10为带状(或带状)。电路板10由配置在一条生产线(包含制造装置1)的两侧的最端部的一对卷轴(图中未显示)盘绕为卷状。电路板10在这一对卷轴之间，在电路板10的长度方向输送。
制造装置1在液槽32的上方具有第一和第二卷轴20、22。第一卷轴20、第二卷轴22成一对，能在同一方向旋转(不论能否驱动)。如图1所示，第一卷轴20配置在比第二卷轴22更靠电路板10的输送方向(在图1中，为向右)的上游一侧。第一和第二卷轴20、22至少与电路板10的宽度方向(与长度方向垂直的方向)的两端部接触。第一和第二卷轴20、22可以通过把扣齿嵌入电路板10的宽度方向的两端部的孔中进行输送，也可以没有扣齿进行输送。
如图1所示，通过第一和第二卷轴20、22转换电路板10的输送方向。具体而言，第一卷轴20把水平送入的电路板10向斜下方送出，第一卷轴22把从斜下方送入的电路板10水平送出。换言之，电路板10在一对的第一和第二卷轴20、22之间是松弛的。这样一来，能使10的一部分浸渍在液体30中。在电路板10上，形成了用于在液槽中转换输送方向的一个或多个(在图1中为两个)曲折部12。
制造装置1具有主驱动卷轴24(第二驱动卷轴)作为第三卷轴。第二卷轴22也可以是主驱动卷轴24。主驱动卷轴24通过电动机等的动力，以给定的速度旋转。主驱动卷轴24可以是能以一定的速度旋转的，也可以是能自由调整为不同的速度的。在本实施例中，主驱动卷轴24以一定的速度旋转。如图1所示，主驱动卷轴24在电路板10的输送方向上，配置在比一对的第一和第二卷轴20、22更靠下游一侧。这时，主驱动卷轴24在把电路板10拉入的方向旋转。也可以与图1不同，由主驱动卷轴24把电路板10卷绕为卷状。在第一和第二卷轴20、22，可以至少使一方驱动。在本实施例中，驱动上游一侧的第一卷轴20。这时，第一卷轴20可以是能以一定的速度旋转的，也可以是能自由调整为不同的速度的。在本实施例中，第一卷轴20以一定的速度旋转。
可以使第一卷轴20旋转，使它比主驱动卷轴24更快速地输送电路板10。如图1所示，当第一卷轴20具有与主驱动卷轴24相同的轴径时，第一卷轴20可以比主驱动卷轴24更快地旋转。因为第一卷轴20配置在比主驱动卷轴24更靠上游一侧，所以通过使第一卷轴20快速旋转，能使电路板10松弛。因此，如后所述，能使液体中的电路板10的输送路线的控制变得容易。另外，当电路板10松弛得超过给定量时，因为下游一侧的第二卷轴22空转，所以能防止电路板10的过于松弛。
与以上所述不同，如果在驱动卷轴(例如第一卷轴20)以及主驱动卷轴24(例如第二卷轴22或第三卷轴24)中，一方对于另一方能调整为不同的速度，就能控制电路板10的松弛的大小。
制造装置1具有液槽32。在液槽32中，容纳有用于使电路板10浸渍的液体30。液体30按照湿处理的形态决定其成分，例如可以是碱性的容易、中性、酸性的溶液、或水等。液槽32配置在一对的第一和第二卷轴20、22之间。液槽32的长度(电路板10的输送方向的长度)可以按照电路板10的浸渍时间决定，可以是数m(例如5m)左右。电路板10中的第一和第二卷轴20、22之间的一部分浸渍在液槽32的液体30中。
在本实施例中，制造装置1具有用于喷出液体的喷出器。该液体具有最好为与液槽32中的液体30相同的液体。喷出器具有一个或多个(在图中为两个)液体的喷出口40。喷出口40配置在液槽32的液体30中。喷出口40可以配置在浸渍在液体30中的电路板10的上方(液面一侧)，在电路板10沉入的方向喷出液体。喷出口40也可以沿着电路板10的长度方向，配置在多个位置。如图1所示，喷出口40可以向液槽32中的电路板的曲折部12喷出。反过来说，通过用喷出口40向电路板10的一部分喷出液体，使电路板10的被液体喷射的部分弯曲。
向喷出口40的液体供给方法能使用众所周知的方法。例如，用泵使液体在液槽32内循环，从喷出口40使液体喷出。须指出的是，液体的喷出量可以一定，也可以按照与电路板10的距离调整。
本实施例的印刷电路板的制造装置采用了上述的结构，下面，说明使用了上述的制造装置印刷电路板的制造方法。须指出的是，在以下的印刷电路板的制造方法的事项中，也可以有选择地适用从上述的内容中导出的任意的事项。
本实施例的制造方法包含上述的湿处理的步骤。作为湿处理的步骤，说明使用光刻技术，在电路板10上形成布线的步骤中的处理。须指出的是，本实施例的制造方法并不局限于该例子。
首先，准备在基体材料(例如，聚酰亚胺)上设置了导电箔的(例如铜箔)的电路板10。导电箔例如被用粘合剂粘贴在基体材料的一面的整体上。而且，在电路板10上形成具有感光性的抗蚀剂，通过给定的图案形状的掩模，使抗蚀剂曝光。然后，使抗蚀剂显影。即在本步骤中(显影步骤)，通过使电路板10浸渍在液体30(例如碱性的溶液)中，形成电路图案等。
通过使电路板10在一对的第一和第二卷轴20、22之间松弛，使电路板10浸渍在液体30中。在本实施例中，第一卷轴20比主驱动卷轴24快速旋转，所以在一对的第一和第二卷轴20、22之间，电路板10的松弛很难变得比初始状态小。因此，能准确地使电路板10浸渍在液体30中。
如图1所示，通过在液体中，向电路板10喷出液体，控制液槽32中的电路板10的输送路线。可以在电路板10沉入的方向(向着液槽32的底面的方向)喷出液体。这样一来，能准确地使电路板10浸渍在液体30中。另外，如图1所示，可以向挂在一对的第一和第二卷轴20、22上的电路板10的表面一侧的面(向上方的面)喷出液体。
也可以向电路板10的长度方向的多个位置喷出液体。在图1中，从电路板10的长度方向上排列的两个喷出口40喷出了液体。这样一来，能防止电路板10在长度方向上弯曲。
也可以向电路板10的曲折部12喷出液体。换言之，通过向电路板10的一部分喷出液体，使电路板10的被液体喷射的部分弯曲。据此，能自由控制电路板10的输送方向，所以能使电路板10在液槽中稳定。
如图1所示，电路板10可以在液体中构成反梯形的轮廓的一部分。如图1所示，电路板10可以在两个部分弯曲，但是，电路板10的输送路线并不限定于此。
电路板10最好不接触液槽32的底面或喷出口40等。据此，能防止电路板10的损坏。
这样一来，在电路板10上形成抗蚀图。然后，蚀刻电路板10的导电箔中从抗蚀剂露出的部分，在带状的电路板10上形成多个电路图案。须指出的是，在以后的步骤中，电路板10被冲切成各电路图案。
根据本实施例，通过在液体中，使液体向电路板10喷出，控制液体中的电路板10的输送路线。这样一来，在液体中，在电路板10上不会产生过度的应力，能使电路板10的输送路线稳定。即能在尽可能不产生应力的高自由度的状态下，输送电路板10。因此，能防止电路板的损坏，能提高制品的可靠性。
(实施例2)
图2是表示适用了本发明的实施例2的印刷电路板的制造方法以及制造装置的图。在本实施例中，使用制造装置3，制造印刷电路板。在以下的说明中，能有选择地适用从上述内容导出的任意的事项。
制造装置3在上述的制造装置1(参照实施例1)的结构的基础上，还包含障碍物(例如卷轴26)。
制造装置3在液槽32内，具有用于限制电路板10的输送方向的一个或多个障碍物(在图2中为两个卷轴26)。
在图2所示的例子中，障碍物配置在电路板10的上方。障碍物也可以配置在电路板10的曲折部12的上方。反过来说，通过使液体向障碍物和电路板10之间喷出，可以使电路板10的靠近障碍物的部分弯曲。
未限定障碍物的形状，例如可以是与电路板10的输送中使用的卷轴26相同的形状。在图2所示的例子中，配置了卷轴26作为障碍物。卷轴26可以是能按照液体的喷出旋转的。
喷出口40向障碍物(卷轴26)和电路板10之间喷出液体。因此，能防止过度地向障碍物的轴向按压电路板10。因此，能降低作用于电路板10的应力，所以能防止电路板10的损坏。这时，可以使液体从电路板10的输送方向的上游一侧向下游一侧喷出。据此，因为在与电路板10的输送方向同一方向使液体喷出，所以能使电路板10的输送路线更稳定。
须指出的是，本实施例的印刷电路板的制造方法的构成以及效果能从以上描述中导出，所以省略。
(实施例3)
图3是表示适用了本发明的实施例3的印刷电路板的制造方法以及制造装置的图。在本实施例中，使用制造装置5，制造印刷电路板。在以下的说明中，能有选择地适用从上述内容导出的任意的事项。
制造装置5在制造装置1(参照实施例1)的结构中，代替喷出器(喷出口40)，还包含一个或多个传感器50。
传感器50在液槽32中，非接触地配置在电路板10上，检测液体中的电路板10的位置。而且，根据传感器50的检测结果(把检测信号变换为检测数据)，驱动卷轴20。传感器50的检测手段能使用在传感器的技术领域中众所周知的手段，例如，可以是基于红外线或超声波的检测。
传感器50在野体重，配置在电路板10的上方(液面一侧)、下方(底的一侧)或这双方上。多个传感器50沿着电路板10的长度方向，配置在多个位置(在图中为两个)。如图1所示，传感器50可以配置在电路板10的曲折部12的周围，检测曲折部12的位置。如果检测了曲折部12的位置，就能确定电路板10的输送方向，所以能容易地控制电路板10的输送路线。
在本实施例中，只驱动了卷轴20。在初始状态中，卷轴20旋转，使它与主驱动卷轴24输送电路板10的速度相同。或卷轴20旋转，使它比主驱动卷轴24更快速输送电路板10。这时，因为电路板10的松弛很难变得比初始状态小，所以能使电路板10可靠地浸渍在液体30中。
在本实施例中，传感器50具有第一以及第二检测部52、54。传感器50可以不仅具有第一以及第二检测部52、54，还可以具有其他检测部。各检测部52、54当与电路板10的距离变为给定量，就检测到电路板10，向第一卷轴20发出用于驱动的信号(电信号)。各检测部52、54检测到电路板10时的第一卷轴20的旋转速度可以使用预先由试验等测定的值。
在图3所示的例子中，第一检测部52配置在电路板10的上方，第二检测部54配置在电路板10的下方，两者配置为夹着电路板10。而且，当第一检测部52检测到电路板10时，使第一卷轴20比主驱动卷轴4更快速地旋转。这样，增大电路板10的松弛。当第二检测部54检测到电路板10时，使第一卷轴20比主驱动卷轴4更慢地旋转。这样，减小电路板10的松弛。须指出的是，当第一以及第二检测部52、54都不到电路板10时，因为电路板10在恰当的输送路线上输送，所以保持这样的状态。
作为变形例，传感器50可以具有能检测与电路板10的距离的功能。这样一来，能按照与电路板10的距离量，调整第一卷轴20的旋转速度，所以能更正确地控制电路板10的输送路线。
在上述中，表示了通过传感器50调整上游一侧的第一卷轴20的驱动的例子，但是本发明并不局限于此。例如，也可以根据传感器50的检测结果，使第一和第二卷轴20、22的双方驱动。如果在上游一侧的第一卷轴20和下游一侧的第二卷轴22中，能把一方对于另一方自由地调整为不同的速度，就能更正确地控制电路板10的松弛的大小。
根据本实施例，用传感器50检测电路板10的位置，通过根据该结果，调整第一驱动卷轴(例如，第一卷轴20)的旋转速度，控制液体中的电路板10的输送路线。即按照用传感器50检测的电路板10的位置，调整电路板10的松弛的大小。这样一来，在液槽32中的液体中，不会在电路板10作用过度的应力，能使电路板10的输送路线稳定。因此，能防止电路板10的损坏，能提高制品的可靠性。
须指出的是，本实施例的印刷电路板的制造方法的构成以及效果能从以上描述中导出，所以省略。
(实施例4)
图4是表示适用了本发明的实施例4的印刷电路板的制造方法以及制造装置的图。在本实施例中，使用制造装置7，制造印刷电路板。在以下的说明中，能有选择地适用从上述内容导出的任意的事项。
制造装置7包含制造装置1和制造装置5的构成。即制造装置7包含喷出器(喷出口40)以及传感器50。
第一卷轴20根据传感器50的检测结果，调整了它的旋转速度。而且，来自喷出口40的液体的喷出量(喷出速度)可以是一定的，也可以考虑第一卷轴20以及主驱动卷轴24的旋转速度而决定。
在本实施例中，也能实现上述的效果，能进一步稳定地输送电路板10。须指出的是，本实施例的印刷电路板的制造方法的构成以及效果能从以上描述中导出，所以省略。
(实施例5)
图5是表示适用了本发明的实施例5的印刷电路板的制造方法以及制造装置的图。在本实施例中，使用制造装置9，制造印刷电路板。在以下的说明中，能有选择地适用从上述内容导出的任意的事项。
制造装置9包含制造装置3和制造装置5的构成。即制造装置7包含喷出器(喷出口40)、障碍物(卷轴26)以及传感器50。
障碍物(卷轴26)以及传感器50可以象图5那样，为一体结构，也可以是分体的。
在本实施例中，也能实现上述的效果，能进一步稳定地输送电路板10。须指出的是，本实施例的印刷电路板的制造方法的构成以及效果能从以上描述中导出，所以省略。
本发明的实施例的半导体装置具有上述的印刷电路板，在印刷电路板上设置了电路图案。在上述的印刷电路板上搭载具有电极(突起)的半导体元件，经过把电路板的电路图案与半导体元件的电极电连接的步骤，得到了本发明的实施例的半导体装置。根据本发明的实施例的半导体装置，因为印刷电路板的不良品率低，所以提高了半导体装置的生产线的生产能力。另外，本发明的实施例的电子仪器具有上述的印刷电路板，在印刷电路板上设置了电路图案。在上述的印刷电路板上搭载具有电极的电子元件，经过把电路板的电路图案与电子元件的电极电连接的步骤，得到了本发明的实施例的电子仪器。根据本发明的实施例的电子仪器，因为印刷电路板的不良品率低，所以提高了电子仪器的生产线的生产能力。作为具有本发明的实施例的印刷电路板的电子仪器，在图6中表示了笔记本型个人电脑100，在图7中表示了移动电话200。
本发明并不局限于上述的实施例，还能有各种变形。例如，本发明包含与实施例中说明的构成实质上相同的构成(例如，功能以及结果相同的构成或目的以及结果相同的构成)。另外，本发明包含置换了实施例中说明的构成中的非本质的部分的构成。另外，本发明包含能实现与实施例中说明的构成相同的作用效果的构成或能达到同一目的的构成。另外，本发明包含在实施例中说明的构成中附加了众所周知的技术的构成。

Claims (34)

1.一种印刷电路板的制造方法，使用设置在液槽上方的第一卷轴和第二卷轴，从所述第一卷轴向所述第二卷轴输送带状的电路板；其特征在于：
所述第一卷轴和所述第二卷轴的至少一方是第一驱动卷轴；
在所述液槽中，配置检测所述电路板的位置的传感器；
通过在所述第一卷轴和所述第二卷轴之间使所述电路板松弛，使其浸渍在所述液槽中的液体中；
根据所述传感器的检测结果，调整所述第一驱动卷轴的旋转速度。
2.根据权利要求1所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：根据所述第一驱动卷轴的旋转速度，控制所述液槽中的所述电路板的输送路线。
3.根据权利要求1所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：所述传感器包含：配置在所述电路板的上方的第一检测部和配置在所述电路板的下方的第二检测部。
4.根据权利要求1所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：多个所述传感器被配置在所述电路板的长度方向上。
5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
当所述第一检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板；
当所述第二检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板。
6.根据权利要求5所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：以一定的旋转速度使所述第二驱动卷轴旋转。
7.一种印刷电路板的制造方法，使用设置在液槽的上方的第一卷轴和第二卷轴，从所述第一卷轴向所述第二卷轴输送带状的电路板；其特征在于：
在所述液槽中，配置向所述电路板喷出液体的喷出器；
通过使所述电路板在所述第一卷轴和所述第二卷轴之间松弛，使其浸渍在所述液槽的液体中；
通过向所述电路板喷出所述液体，控制所述液槽中的所述电路板的输送路线。
8.根据权利要求7所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：使所述液体向所述电路板沉入所述液槽中的方向喷出。
9.根据权利要求7所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：使所述液体向所述电路板的长度方向的多个位置喷出。
10.根据权利要求7～9中的任意一项所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：所述电路板在所述输送路线的一部分上有转换输送方向的曲折部；
使所述液体至少喷向所述电路板的所述曲折部。
11.根据权利要求7～9中的任意一项所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：在所述液槽中配置障碍物；
通过所述障碍物的下方输送所述电路板；
所述液体喷向所述障碍物和所述电路板之间。
12.根据权利要求11所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：使所述液体从所述电路板的输送路线的上游一侧向下游一侧喷出。
13.根据权利要求7所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：所述第一卷轴和所述第二卷轴的至少一方是第一驱动卷轴；
在所述液槽中，配置检测所述电路板位置的传感器；
根据所述传感器的检测结果，调整所述第一驱动卷轴的旋转速度。
14.根据权利要求13所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：所述传感器包含：配置在所述电路板的上方的第一检测部和配置在所述电路板的下方的第二检测部。
15.根据权利要求14所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
当所述第一检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板；
当所述第二检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板。
16.根据权利要求7所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板。
17.根据权利要求15或16所述的印刷电路板的制造方法，其特征在于：以一定的旋转速度使所述第二驱动卷轴旋转。
18.一种印刷电路板的制造装置，其特征在于：包含：
装有用于浸渍带状电路板的液体的液槽；
设置在所述液槽的上方，并且输送所述电路板的多个卷轴；
配置在所述液槽中，检测浸渍在所述液体中的所述电路板的位置的传感器；
所述多个卷轴的至少一个是第一驱动卷轴。
19.根据权利要求18所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：通过根据所述传感器的检测结果，调整所述第一驱动卷轴的旋转速度，来控制所述液槽中的所述电路板的输送路线。
20.根据权利要求18或19所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：所述电路板在所述输送路线的一部分上有转换输送方向的曲折部；
所述传感器检测所述电路板的所述曲折部的位置。
21.根据权利要求18或19所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：所述传感器包含：配置在所述电路板的上方的第一检测部和配置在所述电路板的下方的第二检测部。
22.根据权利要求21所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
当所述第一检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板；
当所述第二检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板。
23.一种印刷电路板的制造装置，其特征在于：包含：装有用于浸渍带状电路板的液体的液槽；
设置在所述液槽的上方，并且输送所述电路板的多个卷轴；
在所述液槽中，通过使液体向所述电路板喷出，来控制所述液槽中的所述电路板的输送路线的喷出器。
24.根据权利要求23所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：使所述液体向所述电路板沉入所述液槽中的方向喷出。
25.根据权利要求23或24所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：使所述液体向所述电路板的长度方向的多个位置喷出。
26.根据权利要求23或24所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：所述电路板在所述输送路线的一部分上有转换输送方向的曲折部；
使所述喷出器至少把所述液体向所述电路板的所述曲折部喷出。
27.根据权利要求23或24所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：还包含：配置在所述液槽中，用于控制所述电路板的输送路线的障碍物；
所述喷出器使所述液体向所述障碍物和所述电路板之间喷出。
28.根据权利要求26所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：还包含：配置在所述液槽中，用于控制所述电路板的输送路线的障碍物；
所述喷出器使所述液体向所述障碍物和所述电路板之间喷出。
29.根据权利要求28所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：所述障碍物配置在所述电路板的所述曲折部的上方；
所述喷出器使所述液体向所述障碍物和所述电路板的所述曲折部之间喷出。
30.根据权利要求23或24所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：所述喷出器使所述液体从所述电路板的输送方向的上游一侧向下游一侧喷出。
31.根据权利要求23或24所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：还包含：配置在所述液槽中，并且检测浸渍在所述液槽中的所述电路板的位置的传感器；
所述第一卷轴和所述第二卷轴的至少一方是第一驱动卷轴；
根据所述传感器的检测结果，调整第一驱动卷轴的旋转速度。
32.根据权利要求31所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：所述传感器包含：配置在所述电路板上方的第一检测部和配置在所述电路板的下方的第二检测部。
33.根据权利要求31所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
当所述第一检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板；
当所述第二检测部件检测到所述电路板时，使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更慢地输送所述电路板。
34.根据权利要求23或24所述的印刷电路板的制造装置，其特征在于：所述电路板被从所述第二卷轴再向第三卷轴输送；
所述第一卷轴是所述第一驱动卷轴；
所述第二卷轴或所述第三卷轴是第二驱动卷轴；
使所述第一驱动卷轴旋转，使它比所述第二驱动卷轴更快地输送所述电路板。
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