JP3434834B2 - プリント配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法 - Google Patents
プリント配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種電子機器などに使
用されるプリント配線板の製造方法、特にプリント配線
板上に導体パターンをエッチングにより形成するプリン
ト配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント
配線板の製造方法に関するものである。
用されるプリント配線板の製造方法、特にプリント配線
板上に導体パターンをエッチングにより形成するプリン
ト配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント
配線板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種電子機器などに数多く使用さ
れているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化
に伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求され
るようになってきている。プリント配線板の製造工程の
中でも導体パターンの形成を行うエッチング工程は重要
な工程である。
れているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化
に伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求され
るようになってきている。プリント配線板の製造工程の
中でも導体パターンの形成を行うエッチング工程は重要
な工程である。
【０００３】以下に、従来のプリント配線板のエッチン
グ方法について説明する。図５は従来のプリント配線板
のエッチング方法の概念を示すものである。図５におい
て、１はスプレーノズル、２はスプレー装置、３は圧力
計、４はポンプ、５は圧力調整バルブ、６は送りローラ
ー、７はエッチングブース、８はプリント配線板、９は
エッチング液である。
グ方法について説明する。図５は従来のプリント配線板
のエッチング方法の概念を示すものである。図５におい
て、１はスプレーノズル、２はスプレー装置、３は圧力
計、４はポンプ、５は圧力調整バルブ、６は送りローラ
ー、７はエッチングブース、８はプリント配線板、９は
エッチング液である。
【０００４】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。エッチングレジ
ストを形成したプリント配線板８をエッチングブース７
内に搬送方向に平行またはある角度で上下に配管された
スプレー装置２の間を送りローラー６上で所定の速度で
搬送させ、プリント配線板の上下面に塩化第２銅などの
エッチング液９をスプレーノズル１から噴射し、エッチ
ングを行う。この際、一般的には上下のスプレー装置２
をプリント配線板搬送方向に対して４５〜６０°の角度
で揺動（オシレーション）する。その後、水洗およびエ
ッチングレジストの剥離などを行い、プリント配線板上
に導体パターンを形成している。
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。エッチングレジ
ストを形成したプリント配線板８をエッチングブース７
内に搬送方向に平行またはある角度で上下に配管された
スプレー装置２の間を送りローラー６上で所定の速度で
搬送させ、プリント配線板の上下面に塩化第２銅などの
エッチング液９をスプレーノズル１から噴射し、エッチ
ングを行う。この際、一般的には上下のスプレー装置２
をプリント配線板搬送方向に対して４５〜６０°の角度
で揺動（オシレーション）する。その後、水洗およびエ
ッチングレジストの剥離などを行い、プリント配線板上
に導体パターンを形成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、プリント配線板の上面と下面のエッチン
グスピードに大きな差が生じやすく、かつプリント配線
板上面においては、プリント配線板中央部分にエッチン
グ劣化したエッチング液が滞留しやすく、またプリント
配線板周辺部分ではエッチング劣化したエッチング液が
直ちに流れ落ちるため滞留することがなく、プリント配
線板上面の中央部分と周辺部分ではエッチング状態に大
きな差が生じ、プリント配線板の上下面とも精度よく均
一なエッチングを行うことは困難であり、高精度プリン
ト配線板の製造工程歩留りを著しく損なうという問題点
を有している。
来の構成では、プリント配線板の上面と下面のエッチン
グスピードに大きな差が生じやすく、かつプリント配線
板上面においては、プリント配線板中央部分にエッチン
グ劣化したエッチング液が滞留しやすく、またプリント
配線板周辺部分ではエッチング劣化したエッチング液が
直ちに流れ落ちるため滞留することがなく、プリント配
線板上面の中央部分と周辺部分ではエッチング状態に大
きな差が生じ、プリント配線板の上下面とも精度よく均
一なエッチングを行うことは困難であり、高精度プリン
ト配線板の製造工程歩留りを著しく損なうという問題点
を有している。
【０００６】これらの問題を解決するため従来では、プ
リント配線板を傾斜、または垂直に配設し、プリント配
線板側面のスプレーノズルからエッチング液を噴射さ
せ、エッチング液のプリント配線板上での滞留をなす装
置が実用化されているが、プリント配線板の搬送機構が
複雑となること、プリント配線板の表面に形成されたエ
ッチングレジストに不具合が生じ易いことや最近のプリ
ント配線板の板厚の薄化などに対応が困難であるなどの
問題点を有している。
リント配線板を傾斜、または垂直に配設し、プリント配
線板側面のスプレーノズルからエッチング液を噴射さ
せ、エッチング液のプリント配線板上での滞留をなす装
置が実用化されているが、プリント配線板の搬送機構が
複雑となること、プリント配線板の表面に形成されたエ
ッチングレジストに不具合が生じ易いことや最近のプリ
ント配線板の板厚の薄化などに対応が困難であるなどの
問題点を有している。
【０００７】また、特開平２−２９８２８１号公報に開
示されるように、スプレーでエッチングを行う金属板な
どの材料にエッチング液を噴射すると共に、空気などの
ガス体を間欠的に噴射し、一時的にエッチング液を金属
板などの材料の表面から除去しつつ、エッチングする方
法も提案されているが、一方向のみ、かつ間欠的ガス体
噴射の方法では、プリント配線板上における劣化したエ
ッチング液は一時的に表面より除去されるが、ガス体の
噴出しない間欠部においてスプレーノズルよりのエッチ
ング新液と劣化した旧液の混合状態が生じ易く、また間
欠部分を構成するためのエッチングブースが必要以上に
冗長になるなどプリント配線板の導体パターン精度の維
持および生産性に影響を及ぼすという問題点を有してい
る。
示されるように、スプレーでエッチングを行う金属板な
どの材料にエッチング液を噴射すると共に、空気などの
ガス体を間欠的に噴射し、一時的にエッチング液を金属
板などの材料の表面から除去しつつ、エッチングする方
法も提案されているが、一方向のみ、かつ間欠的ガス体
噴射の方法では、プリント配線板上における劣化したエ
ッチング液は一時的に表面より除去されるが、ガス体の
噴出しない間欠部においてスプレーノズルよりのエッチ
ング新液と劣化した旧液の混合状態が生じ易く、また間
欠部分を構成するためのエッチングブースが必要以上に
冗長になるなどプリント配線板の導体パターン精度の維
持および生産性に影響を及ぼすという問題点を有してい
る。
【０００８】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、プリント配線板のエッチングの生産性を低下させ
ることなく、特にプリント配線板上面の導体パターンエ
ッチング状態を均一にし、高精度のプリント配線板を歩
留りよく生産することを目的とするものである。
ので、プリント配線板のエッチングの生産性を低下させ
ることなく、特にプリント配線板上面の導体パターンエ
ッチング状態を均一にし、高精度のプリント配線板を歩
留りよく生産することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明のプリント配線板のエッチング装置は、プリン
ト配線板を所定の速度で搬送する送りローラーと、スプ
レーノズルを複数個取り付けたスプレー装置と、前記ス
プレー装置を揺動させる機構と、エッチング液を前記ス
プレー装置に供給するポンプとを備え、前記スプレー装
置は、プリント配線板の進行方向に対して平行に配管さ
れかつ配管方向に対して直角方向にエッチング液を噴出
する第１のスプレー装置と、前記第１のスプレー装置の
位置から進行方向に一定距離の位置でかつ平行に一定間
隔を持たせ、前記第１のスプレー装置とは逆方向にエッ
チング液を噴出するように対向して配管された第２のス
プレー装置を少なくとも１組と、プリント配線板の進行
方向に対して一定角度で配管されかつ配管方向に対して
直角方向にエッチング液を噴出する第３のスプレー装置
と、前記第３のスプレー装置の位置から進行方向に一定
距離の位置でかつ平行に一定間隔を持たせ、前記第３の
スプレー装置とは逆方向にエッチング液を噴出するよう
に対向して配管された第４のスプレー装置を少なくとも
１組と、プリント配線板の進行方向に対して直角に配管
されかつ進行方向にエッチング液を噴出する第５のスプ
レー装置と、前記第５のスプレー装置の位置から進行方
向に一定距離の位置でかつ平行に一定間隔を持たせ、前
記第５のスプレー装置とは逆方向にエッチング液を噴出
するように対向して配管された第６のスプレー装置を少
なくとも１組と、を備えたものである。
に本発明のプリント配線板のエッチング装置は、プリン
ト配線板を所定の速度で搬送する送りローラーと、スプ
レーノズルを複数個取り付けたスプレー装置と、前記ス
プレー装置を揺動させる機構と、エッチング液を前記ス
プレー装置に供給するポンプとを備え、前記スプレー装
置は、プリント配線板の進行方向に対して平行に配管さ
れかつ配管方向に対して直角方向にエッチング液を噴出
する第１のスプレー装置と、前記第１のスプレー装置の
位置から進行方向に一定距離の位置でかつ平行に一定間
隔を持たせ、前記第１のスプレー装置とは逆方向にエッ
チング液を噴出するように対向して配管された第２のス
プレー装置を少なくとも１組と、プリント配線板の進行
方向に対して一定角度で配管されかつ配管方向に対して
直角方向にエッチング液を噴出する第３のスプレー装置
と、前記第３のスプレー装置の位置から進行方向に一定
距離の位置でかつ平行に一定間隔を持たせ、前記第３の
スプレー装置とは逆方向にエッチング液を噴出するよう
に対向して配管された第４のスプレー装置を少なくとも
１組と、プリント配線板の進行方向に対して直角に配管
されかつ進行方向にエッチング液を噴出する第５のスプ
レー装置と、前記第５のスプレー装置の位置から進行方
向に一定距離の位置でかつ平行に一定間隔を持たせ、前
記第５のスプレー装置とは逆方向にエッチング液を噴出
するように対向して配管された第６のスプレー装置を少
なくとも１組と、を備えたものである。
【００１０】また、本発明のプリント配線板のエッチン
グ装置は、上記の構成において、スプレー装置と供給す
るポンプとの間に圧力調整バルブと圧力計を備えたもの
である。
グ装置は、上記の構成において、スプレー装置と供給す
るポンプとの間に圧力調整バルブと圧力計を備えたもの
である。
【００１１】また、本発明のプリント配線板の製造方法
は、上記のプリント配線板のエッチング装置を用いた製
造方法であって、一定の角度でノズルパイプを揺動しエ
ッチング液を基板に吹きつけながら所定の速度で一定方
向のみに搬送し、導体パターンを形成するものである。
は、上記のプリント配線板のエッチング装置を用いた製
造方法であって、一定の角度でノズルパイプを揺動しエ
ッチング液を基板に吹きつけながら所定の速度で一定方
向のみに搬送し、導体パターンを形成するものである。
【００１２】
【作用】この構成によって、エッチング液はプリント配
線板上において必ず対向する方向より一定間隔をもち、
流動するので、プリント配線板の上面中央部分にエッチ
ング液が滞留することがなく、プリント配線板上の各部
位におけるエッチング力をほぼ同一にすることが可能と
なり、プリント配線板の中央部分と周辺部分のエッチン
グ状態を均一にすることができる。
線板上において必ず対向する方向より一定間隔をもち、
流動するので、プリント配線板の上面中央部分にエッチ
ング液が滞留することがなく、プリント配線板上の各部
位におけるエッチング力をほぼ同一にすることが可能と
なり、プリント配線板の中央部分と周辺部分のエッチン
グ状態を均一にすることができる。
【００１３】
【実施例】（実施例１）
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。図１は、本発明の第１の実施例におけるプリン
ト配線板のエッチング方法の概念を示すものである。図
１において、１１はスプレーノズル、１２ａおよび１２
ｂは、第１及び第２のスプレー装置、１３は圧力計、１
４は圧力調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１６は送
りローラー、１７はプリント配線板、１８はエッチング
液である。
明する。図１は、本発明の第１の実施例におけるプリン
ト配線板のエッチング方法の概念を示すものである。図
１において、１１はスプレーノズル、１２ａおよび１２
ｂは、第１及び第２のスプレー装置、１３は圧力計、１
４は圧力調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１６は送
りローラー、１７はプリント配線板、１８はエッチング
液である。
【００１４】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。次に、エッチン
グレジストが形成されたプリント配線板１７は、送りロ
ーラー１６によりエッチングブース（図示せず）内に搬
送され、エッチングが開始される。搬送されたプリント
配線板１７は、プリント配線板の搬送方向に平行に配設
された第１のスプレー装置１２ａの複数のスプレーノズ
ル１１より噴射された塩化第２銅などのエッチング液１
８でエッチングされる。
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。次に、エッチン
グレジストが形成されたプリント配線板１７は、送りロ
ーラー１６によりエッチングブース（図示せず）内に搬
送され、エッチングが開始される。搬送されたプリント
配線板１７は、プリント配線板の搬送方向に平行に配設
された第１のスプレー装置１２ａの複数のスプレーノズ
ル１１より噴射された塩化第２銅などのエッチング液１
８でエッチングされる。
【００１５】ついで第１のスプレー装置１２ａに対向
し、プリント配線板の搬送方向と平行な第２のスプレー
装置１２ｂのスプレーノズル１１より噴射されたエッチ
ング液１８により、引続きエッチングされる。この際、
第１、第２のスプレー装置１２ａおよび１２ｂは、約４
５〜６０°の角度で揺動（オシレーション）する。スプ
レーポンプ１５から第１、第２のスプレー装置１２ａお
よび１２ｂへ供給されるエッチング液１８の量は、圧力
調整バルブ１４の開閉により、スプレー圧力を約１．５
〜２．０ｋｇ／ｃｍ2に圧力計１３にて調整される。
し、プリント配線板の搬送方向と平行な第２のスプレー
装置１２ｂのスプレーノズル１１より噴射されたエッチ
ング液１８により、引続きエッチングされる。この際、
第１、第２のスプレー装置１２ａおよび１２ｂは、約４
５〜６０°の角度で揺動（オシレーション）する。スプ
レーポンプ１５から第１、第２のスプレー装置１２ａお
よび１２ｂへ供給されるエッチング液１８の量は、圧力
調整バルブ１４の開閉により、スプレー圧力を約１．５
〜２．０ｋｇ／ｃｍ2に圧力計１３にて調整される。
【００１６】図１において、プリント配線板１７上に第
１のスプレー装置１２ａのスプレーノズル１１から噴射
したエッチング液１８は、プリント配線板１７の搬送方
向と直角方向へまず流出し、ついで第１のスプレー装置
１２ａと対向する第２のスプレー装置１２ｂのスプレー
ノズル１１より噴射したエッチング液１８は、第１のス
プレー装置１２ａにおけるエッチング液の流れ方向と逆
方向に流出する。これによりプリント配線板１７上のエ
ッチング液１８の流れの始点Ｐと流れの終点Ｑにおける
エッチング力をほぼ等しく設定することが可能となる。
１のスプレー装置１２ａのスプレーノズル１１から噴射
したエッチング液１８は、プリント配線板１７の搬送方
向と直角方向へまず流出し、ついで第１のスプレー装置
１２ａと対向する第２のスプレー装置１２ｂのスプレー
ノズル１１より噴射したエッチング液１８は、第１のス
プレー装置１２ａにおけるエッチング液の流れ方向と逆
方向に流出する。これによりプリント配線板１７上のエ
ッチング液１８の流れの始点Ｐと流れの終点Ｑにおける
エッチング力をほぼ等しく設定することが可能となる。
【００１７】本実施例によるエッチング方法によれば、
従来のエッチング方法でのエッチング後の導体パターン
幅のばらつきは、プリント配線板上下面および中央部分
と周辺部分において５０〜１００μｍであったが、１０
〜２０μｍと著しく向上し、導体パターンのエッチング
精度の点で優れた効果が得られた。
従来のエッチング方法でのエッチング後の導体パターン
幅のばらつきは、プリント配線板上下面および中央部分
と周辺部分において５０〜１００μｍであったが、１０
〜２０μｍと著しく向上し、導体パターンのエッチング
精度の点で優れた効果が得られた。
【００１８】（実施例２）
以下本発明の第２の実施例について図面を参照しながら
説明する。図２は本発明の第２の実施例を示すプリント
配線板のエッチング方法の概念図である。図２におい
て、１１はスプレーノズル、１３は圧力計、１４は圧力
調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１６は送りローラ
ー、１７はプリント配線板、１８はエッチング液で、以
上は図１の構成と同様なものである。実施例１のスプレ
ー装置とは異なり、プリント配線板１７の搬送方向に角
度をもたせた第１、第２のスプレー装置１２ｃ、１２ｄ
とした点である。
説明する。図２は本発明の第２の実施例を示すプリント
配線板のエッチング方法の概念図である。図２におい
て、１１はスプレーノズル、１３は圧力計、１４は圧力
調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１６は送りローラ
ー、１７はプリント配線板、１８はエッチング液で、以
上は図１の構成と同様なものである。実施例１のスプレ
ー装置とは異なり、プリント配線板１７の搬送方向に角
度をもたせた第１、第２のスプレー装置１２ｃ、１２ｄ
とした点である。
【００１９】まず、エッチングレジストが形成されたプ
リント配線板１７は、送りローラー１６によりエッチン
グブース（図示せず）内に搬送され、エッチングが開始
される。搬送されたプリント配線板１７は、プリント配
線板１７の搬送方向に約４５°の角度に配設された第１
のスプレー装置１２ｃの複数のスプレーノズル１１より
噴射されたエッチング液１８でエッチングされる。つい
で第１のスプレー装置１２ｃに対向し、プリント配線板
の搬送方向に約４５°の角度で配設された第２のスプレ
ー装置１２ｄのスプレーノズル１１より噴射されたエッ
チング液１８により、引続きエッチングされる。この
際、第１、第２のスプレー装置１２ｃおよび１２ｄは、
約４５〜６０°の角度で揺動（オシレーション）する。
スプレーポンプ１５から第１、第２のスプレー装置１２
ａおよび１２ｂへ供給されるエッチング液１８の量は、
圧力調整バルブ１４の開閉により、スプレー圧力を約
１．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ2に圧力計１３にて調整され
る。
リント配線板１７は、送りローラー１６によりエッチン
グブース（図示せず）内に搬送され、エッチングが開始
される。搬送されたプリント配線板１７は、プリント配
線板１７の搬送方向に約４５°の角度に配設された第１
のスプレー装置１２ｃの複数のスプレーノズル１１より
噴射されたエッチング液１８でエッチングされる。つい
で第１のスプレー装置１２ｃに対向し、プリント配線板
の搬送方向に約４５°の角度で配設された第２のスプレ
ー装置１２ｄのスプレーノズル１１より噴射されたエッ
チング液１８により、引続きエッチングされる。この
際、第１、第２のスプレー装置１２ｃおよび１２ｄは、
約４５〜６０°の角度で揺動（オシレーション）する。
スプレーポンプ１５から第１、第２のスプレー装置１２
ａおよび１２ｂへ供給されるエッチング液１８の量は、
圧力調整バルブ１４の開閉により、スプレー圧力を約
１．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ2に圧力計１３にて調整され
る。
【００２０】図２において、プリント配線板１７上に第
１のスプレー装置１２ｃのスプレーノズル１１から噴射
したエッチング液１８は、プリント配線板１７の搬送方
向と約１３５°の方向へまず流出し、ついで第１のスプ
レー装置１２ｃと対向する第２のスプレー装置１２ｄの
スプレーノズル１１より噴射したエッチング液１８は、
第１のスプレー装置１２ｃにおけるエッチング液の流れ
方向と逆方向に流出する。これによりプリント配線板１
７上のエッチング液１８の流れの始点Ｐと流れの終点Ｑ
におけるエッチング力をほぼ等しく設定することが可能
となる。
１のスプレー装置１２ｃのスプレーノズル１１から噴射
したエッチング液１８は、プリント配線板１７の搬送方
向と約１３５°の方向へまず流出し、ついで第１のスプ
レー装置１２ｃと対向する第２のスプレー装置１２ｄの
スプレーノズル１１より噴射したエッチング液１８は、
第１のスプレー装置１２ｃにおけるエッチング液の流れ
方向と逆方向に流出する。これによりプリント配線板１
７上のエッチング液１８の流れの始点Ｐと流れの終点Ｑ
におけるエッチング力をほぼ等しく設定することが可能
となる。
【００２１】本実施例によるエッチング方法によれば、
実施例１と同様な優れた効果を得ることができた。
実施例１と同様な優れた効果を得ることができた。
【００２２】（実施例３）
以下本発明の第３の実施例について、図面を参照しなが
ら説明する。図３は、本発明の第３の実施例を示すプリ
ント配線板のエッチング方法の概念図である。図３にお
いて、１１はスプレーノズル、１３は圧力計、１４は圧
力調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１６は送りロー
ラー、１７はプリント配線板、１８はエッチング液で、
以上は図１の構成と同様なものである。実施例１のスプ
レー装置とは異なり、プリント配線板１７の搬送方向に
直角な方向とした第１、第２のスプレー装置１２ｅ、１
２ｆとした点である。
ら説明する。図３は、本発明の第３の実施例を示すプリ
ント配線板のエッチング方法の概念図である。図３にお
いて、１１はスプレーノズル、１３は圧力計、１４は圧
力調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１６は送りロー
ラー、１７はプリント配線板、１８はエッチング液で、
以上は図１の構成と同様なものである。実施例１のスプ
レー装置とは異なり、プリント配線板１７の搬送方向に
直角な方向とした第１、第２のスプレー装置１２ｅ、１
２ｆとした点である。
【００２３】まず、エッチングレジストが形成されたプ
リント配線板１７は、送りローラー１６によりエッチン
グブース（図示せず）内に搬送され、エッチングが開始
される。搬送されたプリント配線板１７は、プリント配
線板１７の搬送方向に直角に配設された第１のスプレー
装置１２ｅの複数のスプレーノズル１１より噴射された
エッチング液１８でエッチングされる。
リント配線板１７は、送りローラー１６によりエッチン
グブース（図示せず）内に搬送され、エッチングが開始
される。搬送されたプリント配線板１７は、プリント配
線板１７の搬送方向に直角に配設された第１のスプレー
装置１２ｅの複数のスプレーノズル１１より噴射された
エッチング液１８でエッチングされる。
【００２４】ついで第１のスプレー装置１２ｅに対向
し、プリント配線板１７の搬送方向と直角な方向に配設
された第２のスプレー装置１２ｆのスプレーノズル１１
より噴射されたエッチング液１８により、引続きエッチ
ングされる。この際、第１、第２のスプレー装置１２ａ
および１２ｂは、約４５〜６０°の角度で揺動（オシレ
ーション）する。スプレーポンプ１５から第１、第２の
スプレー装置１２ｅおよび１２ｆへ供給されるエッチン
グ液１８の量は、圧力調整バルブ１４の開閉により、ス
プレー圧力を約１．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ2に圧力計１
３にて調整される。
し、プリント配線板１７の搬送方向と直角な方向に配設
された第２のスプレー装置１２ｆのスプレーノズル１１
より噴射されたエッチング液１８により、引続きエッチ
ングされる。この際、第１、第２のスプレー装置１２ａ
および１２ｂは、約４５〜６０°の角度で揺動（オシレ
ーション）する。スプレーポンプ１５から第１、第２の
スプレー装置１２ｅおよび１２ｆへ供給されるエッチン
グ液１８の量は、圧力調整バルブ１４の開閉により、ス
プレー圧力を約１．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ2に圧力計１
３にて調整される。
【００２５】図３において、プリント配線板１７上に第
１のスプレー装置１２ｅのスプレーノズル１１から噴射
したエッチング液１８は、プリント配線板１７の搬送方
向と平行かつ逆方向へ流出し、ついで第１のスプレー装
置１２ｅと対向する第２のスプレー装置１２ｆのスプレ
ーノズル１１より噴射したエッチング液１８は、第１の
スプレー装置１２ｅにおけるエッチング液１８の流れ方
向と逆方向、すなわちプリント配線板１７の進行方向に
流出する。これによりプリント配線板１７上のエッチン
グ液１８の流れの始点Ｐと流れの終点Ｑにおけるエッチ
ング力をほぼ等しく設定することが可能となる。
１のスプレー装置１２ｅのスプレーノズル１１から噴射
したエッチング液１８は、プリント配線板１７の搬送方
向と平行かつ逆方向へ流出し、ついで第１のスプレー装
置１２ｅと対向する第２のスプレー装置１２ｆのスプレ
ーノズル１１より噴射したエッチング液１８は、第１の
スプレー装置１２ｅにおけるエッチング液１８の流れ方
向と逆方向、すなわちプリント配線板１７の進行方向に
流出する。これによりプリント配線板１７上のエッチン
グ液１８の流れの始点Ｐと流れの終点Ｑにおけるエッチ
ング力をほぼ等しく設定することが可能となる。
【００２６】本実施例によるエッチング方法によれば、
実施例２と同様な優れた効果を得ることができた。
実施例２と同様な優れた効果を得ることができた。
【００２７】（実施例４）
以下本発明の第４の実施例について図面を参照しながら
説明する。図４は本発明の第４の実施例を示すプリント
配線板のエッチング方法の概念図である。図４におい
て、１１はスプレーノズル、１３は圧力計、１４は圧力
調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１６は送りローラ
ー、１７はプリント配線板、１８はエッチング液、１９
はエッチングブースで、以上は実施例１乃至３の構成と
同様なものである。実施例１乃至３のスプレー装置の構
成とは若干異なり、プリント配線板１７の搬送方向に平
行な方向、任意の角度、直角な方向をもたせた第１乃至
第６のスプレー装置１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、
１２ｅ、１２ｆとした点である。
説明する。図４は本発明の第４の実施例を示すプリント
配線板のエッチング方法の概念図である。図４におい
て、１１はスプレーノズル、１３は圧力計、１４は圧力
調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１６は送りローラ
ー、１７はプリント配線板、１８はエッチング液、１９
はエッチングブースで、以上は実施例１乃至３の構成と
同様なものである。実施例１乃至３のスプレー装置の構
成とは若干異なり、プリント配線板１７の搬送方向に平
行な方向、任意の角度、直角な方向をもたせた第１乃至
第６のスプレー装置１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、
１２ｅ、１２ｆとした点である。
【００２８】まず、エッチングレジストが形成されたプ
リント配線板１７は、送りローラー１６によりエッチン
グブース１９内に搬送され、エッチングが開始される。
搬送されたプリント配線板１７は、プリント配線板１７
の搬送方向に平行に配設された第１のスプレー装置１２
ａの複数のスプレーノズル１１より噴射されたエッチン
グ液１８でエッチングされ、ついで第１のスプレー装置
１２ａに対向し、プリント配線板１７の搬送方向と平行
な第２のスプレー装置１２ｂのスプレーノズル１１より
噴射されたエッチング液１８により、エッチングが継続
される。
リント配線板１７は、送りローラー１６によりエッチン
グブース１９内に搬送され、エッチングが開始される。
搬送されたプリント配線板１７は、プリント配線板１７
の搬送方向に平行に配設された第１のスプレー装置１２
ａの複数のスプレーノズル１１より噴射されたエッチン
グ液１８でエッチングされ、ついで第１のスプレー装置
１２ａに対向し、プリント配線板１７の搬送方向と平行
な第２のスプレー装置１２ｂのスプレーノズル１１より
噴射されたエッチング液１８により、エッチングが継続
される。
【００２９】次に、プリント配線板１７の搬送方向に約
４５°の角度に配設された第３のスプレー装置１２ｃの
複数のスプレーノズル１１より噴射されたエッチング液
１８でエッチングが継続され、ついで第３のスプレー装
置１２ｃに対向し、プリント配線板１７の搬送方向に約
４５°の角度で配設された第４のスプレー装置１２ｄの
スプレーノズル１１より噴射されたエッチング液１８に
より、エッチングは継続される。さらに、プリント配線
板１７の搬送方向に直角に配設された第５のスプレー装
置１２ｅの複数のスプレーノズル１１より噴射されたエ
ッチング液１８でエッチングが継続され、ついで第５の
スプレー装置１２ｅに対向し、プリント配線板１７の搬
送方向と直角な方向に配設された第６のスプレー装置１
２ｆのスプレーノズル１１より噴射されたエッチング液
１８により、引続きプリント配線板１７はエッチングさ
れる。この際、第１乃至第６のスプレー装置１２ａ、１
２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆは、約４５
〜６０°の角度で揺動（オシレーション）する。スプレ
ーポンプ１５から各スプレー装置１２へ供給されるエッ
チング液１８の量は、圧力調整バルブ１４の開閉によ
り、スプレー圧力を約０．７〜１．２ｋｇ／ｃｍ2に圧
力計１３にて調整される。
４５°の角度に配設された第３のスプレー装置１２ｃの
複数のスプレーノズル１１より噴射されたエッチング液
１８でエッチングが継続され、ついで第３のスプレー装
置１２ｃに対向し、プリント配線板１７の搬送方向に約
４５°の角度で配設された第４のスプレー装置１２ｄの
スプレーノズル１１より噴射されたエッチング液１８に
より、エッチングは継続される。さらに、プリント配線
板１７の搬送方向に直角に配設された第５のスプレー装
置１２ｅの複数のスプレーノズル１１より噴射されたエ
ッチング液１８でエッチングが継続され、ついで第５の
スプレー装置１２ｅに対向し、プリント配線板１７の搬
送方向と直角な方向に配設された第６のスプレー装置１
２ｆのスプレーノズル１１より噴射されたエッチング液
１８により、引続きプリント配線板１７はエッチングさ
れる。この際、第１乃至第６のスプレー装置１２ａ、１
２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆは、約４５
〜６０°の角度で揺動（オシレーション）する。スプレ
ーポンプ１５から各スプレー装置１２へ供給されるエッ
チング液１８の量は、圧力調整バルブ１４の開閉によ
り、スプレー圧力を約０．７〜１．２ｋｇ／ｃｍ2に圧
力計１３にて調整される。
【００３０】図４において、噴射したエッチング液１８
は、プリント配線板１７の搬送方向と直角方向へまず流
出し、ついで第１のスプレー装置１２ａと対向する第２
のスプレー装置１２ｂのスプレーノズル１１より噴射し
たエッチング液１８は、スプレー装置１２ａにおけるエ
ッチング液の流れ方向と逆方向に流出し、ついで第３の
スプレー装置１２ｃによりプリント配線板１７の搬送方
向と約１３５°の方向へ流出し、第３のスプレー装置１
２ｃと対向する第４のスプレー装置１２ｄのスプレーノ
ズル１１より噴射したエッチング液１８は、第３のスプ
レー装置１２ｃにおけるエッチング液の流れ方向と逆方
向に流出する。さらにエッチング液１８は、第５のスプ
レー装置１２ｅによりプリント配線板１７の搬送方向と
平行かつ逆方向へ流出し、ついで第５のスプレー装置１
２ｅと対向する第６のスプレー装置１２ｆのスプレーノ
ズル１１より噴射したエッチング液１８は、スプレー装
置１２ｅにおけるエッチング液１８の流れ方向と逆方
向、すなわちプリント配線板１７の進行方向に流出す
る。これによりプリント配線板１７上のエッチング液１
８のエッチング力を等しく設定することが可能となる。
は、プリント配線板１７の搬送方向と直角方向へまず流
出し、ついで第１のスプレー装置１２ａと対向する第２
のスプレー装置１２ｂのスプレーノズル１１より噴射し
たエッチング液１８は、スプレー装置１２ａにおけるエ
ッチング液の流れ方向と逆方向に流出し、ついで第３の
スプレー装置１２ｃによりプリント配線板１７の搬送方
向と約１３５°の方向へ流出し、第３のスプレー装置１
２ｃと対向する第４のスプレー装置１２ｄのスプレーノ
ズル１１より噴射したエッチング液１８は、第３のスプ
レー装置１２ｃにおけるエッチング液の流れ方向と逆方
向に流出する。さらにエッチング液１８は、第５のスプ
レー装置１２ｅによりプリント配線板１７の搬送方向と
平行かつ逆方向へ流出し、ついで第５のスプレー装置１
２ｅと対向する第６のスプレー装置１２ｆのスプレーノ
ズル１１より噴射したエッチング液１８は、スプレー装
置１２ｅにおけるエッチング液１８の流れ方向と逆方
向、すなわちプリント配線板１７の進行方向に流出す
る。これによりプリント配線板１７上のエッチング液１
８のエッチング力を等しく設定することが可能となる。
【００３１】本実施例によるエッチング方法によれば、
実施例１、２および３と同等以上の優れた効果を得るこ
とができた。
実施例１、２および３と同等以上の優れた効果を得るこ
とができた。
【００３２】なお、本発明の実施例においてプリント配
線板１７は両面プリント配線板としたが、プリント配線
板１７は片面や多層プリント配線板であってもよく、ま
たエッチングレジストは、剥離可能な樹脂としたがエッ
チングレジストは、はんだなどの金属レジストや感光性
の電着レジストなどとしてもよく、同様にエッチング液
１８は塩化第２銅としたがエッチング液１８は塩化第２
鉄やアンモニアなどのアルカリエッチャントとしてもよ
いことは言うまでもない。
線板１７は両面プリント配線板としたが、プリント配線
板１７は片面や多層プリント配線板であってもよく、ま
たエッチングレジストは、剥離可能な樹脂としたがエッ
チングレジストは、はんだなどの金属レジストや感光性
の電着レジストなどとしてもよく、同様にエッチング液
１８は塩化第２銅としたがエッチング液１８は塩化第２
鉄やアンモニアなどのアルカリエッチャントとしてもよ
いことは言うまでもない。
【００３３】
【発明の効果】以上のように本発明は、プリント配線板
上のエッチング液の滞留を解消し、プリント配線板表面
上のエッチング液の劣化を対向方向へのエッチング液の
噴射を組合せることにより、プリント配線板上の導体パ
ターンのエッチング状態を均一にすることができ、プリ
ント配線板製造工程歩留りの向上と高精度のプリント配
線板を製造することができる優れたプリント配線板のエ
ッチング方法を実現できるものである。
上のエッチング液の滞留を解消し、プリント配線板表面
上のエッチング液の劣化を対向方向へのエッチング液の
噴射を組合せることにより、プリント配線板上の導体パ
ターンのエッチング状態を均一にすることができ、プリ
ント配線板製造工程歩留りの向上と高精度のプリント配
線板を製造することができる優れたプリント配線板のエ
ッチング方法を実現できるものである。
【図１】本発明の第１の実施例におけるプリント配線板
のエッチング方法の概念図
のエッチング方法の概念図
【図２】本発明の第２の実施例におけるプリント配線板
のエッチング方法の概念図
のエッチング方法の概念図
【図３】本発明の第３の実施例におけるプリント配線板
のエッチング方法の概念図
のエッチング方法の概念図
【図４】本発明の第４の実施例におけるプリント配線板
のエッチング方法の概念図
のエッチング方法の概念図
【図５】従来のプリント配線板のエッチング方法の概念
図
図
１１ スプレーノズル
１２ａ〜１２ｆ スプレー装置
１３ 圧力計
１４ 圧力調整バルブ
１５ スプレーポンプ
１６ 送りローラー
１７ プリント配線板
１８ エッチング液
１９ エッチングブース
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭62−202087（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−132780（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−18434（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭59−177943（ＪＰ，Ｕ)
特公 昭57−44750（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H05K 3/06
C23F 1/08
Claims (3)
- 【請求項１】 プリント配線板を所定の速度で搬送する
送りローラーと、スプレーノズルを複数個取り付けたス
プレー装置と、前記スプレー装置を揺動させる機構と、
エッチング液を前記スプレー装置に供給するポンプとを
備え、 前記スプレー装置は、プリント配線板の進行方向に対し
て平行に配管されかつ配管方向に対して直角方向にエッ
チング液を噴出する第１のスプレー装置と、前記第１の
スプレー装置の位置から進行方向に一定距離の位置でか
つ平行に一定間隔を持たせ、前記第１のスプレー装置と
は逆方向にエッチング液を噴出するように対向して配管
された第２のスプレー装置を少なくとも１組と、 プリント配線板の進行方向に対して一定角度で配管され
かつ配管方向に対して直角方向にエッチング液を噴出す
る第３のスプレー装置と、前記第３のスプレー装置の位
置から進行方向に一定距離の位置でかつ平行に一定間隔
を持たせ、前記第３のスプレー装置とは逆方向にエッチ
ング液を噴出するように対向して配管された第４のスプ
レー装置を少なくとも１組と、 プリント配線板の進行方向に対して直角に配管されかつ
進行方向にエッチング液を噴出する第５のスプレー装置
と、前記第５のスプレー装置の位置から進行方向に一定
距離の位置でかつ平行に一定間隔を持たせ、前記第５の
スプレー装置とは逆方向にエッチング液を噴出するよう
に対向して配管された第６のスプレー装置を少なくとも
１組と、を備えたプリント配線板のエッチング装置。 - 【請求項２】 スプレー装置と供給するポンプとの間に
圧力調整バルブと圧力計を備えた請求項１に記載のプリ
ント配線板のエッチング装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載のプリント配線板のエッ
チング装置を用いた製造方法であって、一定の角度でノ
ズルパイプを揺動しエッチング液を基板に吹きつけなが
ら所定の速度で一定方向のみに搬送し、導体パターンを
形成するプリント配線板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28258791A JP3434834B2 (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | プリント配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28258791A JP3434834B2 (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | プリント配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05121857A JPH05121857A (ja) | 1993-05-18 |
| JP3434834B2 true JP3434834B2 (ja) | 2003-08-11 |
Family
ID=17654445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28258791A Expired - Fee Related JP3434834B2 (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | プリント配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3434834B2 (ja) |
-
1991
- 1991-10-29 JP JP28258791A patent/JP3434834B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05121857A (ja) | 1993-05-18 |
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|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090530 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |