JP2001190995A - プリント配線板の製造装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法 - Google Patents
プリント配線板の製造装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法Info
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
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- Organic Chemistry (AREA)
- Spray Control Apparatus (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造装置の製造コスト高騰を招くことなく簡
便かつ普及が容易なプリント配線板の製造装置を提供
し、生産性を低下させることなく上下面の導体パターン
精度を均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩
留りよく生産することを目的とするものである。 【解決手段】 中央に位置するほど狭い間隔でノズルパ
イプ配管したプリント配線板の製造装置を用いて中央の
ノズルパイプの圧力計の表示を両側のノズルパイプの圧
力計の表示より高くなるように、個々の圧力調整バルブ
の開閉の割合により設定し、一定の角度でノズルパイプ
を揺動し処理液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬
送することにより処理するプリント配線板の製造方法。
便かつ普及が容易なプリント配線板の製造装置を提供
し、生産性を低下させることなく上下面の導体パターン
精度を均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩
留りよく生産することを目的とするものである。 【解決手段】 中央に位置するほど狭い間隔でノズルパ
イプ配管したプリント配線板の製造装置を用いて中央の
ノズルパイプの圧力計の表示を両側のノズルパイプの圧
力計の表示より高くなるように、個々の圧力調整バルブ
の開閉の割合により設定し、一定の角度でノズルパイプ
を揺動し処理液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬
送することにより処理するプリント配線板の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器等に使
用されるプリント配線板の製造装置およびそれを用いた
プリント配線板の製造方法に関するものである。
用されるプリント配線板の製造装置およびそれを用いた
プリント配線板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種電子機器等に数多く使用され
ているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化に
伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求される
ようになってきている。
ているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化に
伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求される
ようになってきている。
【０００３】以下に、従来のプリント配線板の導体パタ
ーン形成に用いられる製造装置において、特にエッチン
グ装置について説明する。
ーン形成に用いられる製造装置において、特にエッチン
グ装置について説明する。
【０００４】図３は従来のプリント配線板の製造装置の
概略を示すものである。図３において、２１はスプレー
ノズル、２２は上面用ノズルパイプ、２３は下面用ノズ
ルパイプ、２４は上面用圧力計、２５は下面用圧力計、
２６は上面用圧力調整バルブ、２７は下面用圧力調整バ
ルブ、２８は上面用スプレーポンプ、２９は下面用スプ
レーポンプ、３０は送りローラー、３１はエッチングブ
ース、３２はプリント配線板である。
概略を示すものである。図３において、２１はスプレー
ノズル、２２は上面用ノズルパイプ、２３は下面用ノズ
ルパイプ、２４は上面用圧力計、２５は下面用圧力計、
２６は上面用圧力調整バルブ、２７は下面用圧力調整バ
ルブ、２８は上面用スプレーポンプ、２９は下面用スプ
レーポンプ、３０は送りローラー、３１はエッチングブ
ース、３２はプリント配線板である。
【０００５】以上のように構成されたエッチング装置に
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
【０００６】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などにより
エッチングレジストを形成したプリント配線板３２をエ
ッチングブース３１内にプリント配線板３２の進行方向
に対して平行またはある角度に配管された上面用ノズル
パイプ２２及び下面用ノズルパイプ２３の間に送り、ロ
ーラー３０上で所定の速度で搬送し、上下面に塩化第２
銅などのエッチング液をスプレーノズル２１から吹き付
けてエッチングレジスト非形成部分の露出した銅を溶解
（以下、エッチングと称す）し、導体パターンを得る。
この際、上面用ノズルパイプ２２及び下面用ノズルパイ
プ２３はプリント配線板３２の進行方向に対して４５°
〜６０°の角度で揺動(オシレーション)させることも可
能である。その後、エッチングレジストの剥離や水洗・
乾燥などの工程を経て銅張積層板より導体パターンを形
成している。
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などにより
エッチングレジストを形成したプリント配線板３２をエ
ッチングブース３１内にプリント配線板３２の進行方向
に対して平行またはある角度に配管された上面用ノズル
パイプ２２及び下面用ノズルパイプ２３の間に送り、ロ
ーラー３０上で所定の速度で搬送し、上下面に塩化第２
銅などのエッチング液をスプレーノズル２１から吹き付
けてエッチングレジスト非形成部分の露出した銅を溶解
（以下、エッチングと称す）し、導体パターンを得る。
この際、上面用ノズルパイプ２２及び下面用ノズルパイ
プ２３はプリント配線板３２の進行方向に対して４５°
〜６０°の角度で揺動(オシレーション)させることも可
能である。その後、エッチングレジストの剥離や水洗・
乾燥などの工程を経て銅張積層板より導体パターンを形
成している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
エッチング装置及びエッチング方法では、基板の上下面
とも精度よく、かつ均一な銅のエッチングを行うことは
困難であり、特に、プリント配線板の上面と下面ではエ
ッチングスピードに大きな差が生じやすい。これはプリ
ント配線板上面においては、その中央部に溶解した銅を
多量に含む劣化したエッチング液が滞留しやすいが、そ
の周辺部分の劣化したエッチング液は、直ちにプリント
配線板上より流れ落ちるため滞留することがなく、また
プリント配線板下面ではエッチング液の滞留がなく、常
にエッチング能力の高い新液状態のエッチング液がその
下面に供給されるためである。
エッチング装置及びエッチング方法では、基板の上下面
とも精度よく、かつ均一な銅のエッチングを行うことは
困難であり、特に、プリント配線板の上面と下面ではエ
ッチングスピードに大きな差が生じやすい。これはプリ
ント配線板上面においては、その中央部に溶解した銅を
多量に含む劣化したエッチング液が滞留しやすいが、そ
の周辺部分の劣化したエッチング液は、直ちにプリント
配線板上より流れ落ちるため滞留することがなく、また
プリント配線板下面ではエッチング液の滞留がなく、常
にエッチング能力の高い新液状態のエッチング液がその
下面に供給されるためである。
【０００８】これにより上面のプリント配線板中央部と
周辺部では導体パターンのエッチング精度に大きな差が
生じ、さらに上下面ではその差は著しく、高密度・高精
度のプリント配線板の導体パターンのエッチングは極め
て困難となり、工程歩留まりを著しく悪化させ、プリン
ト配線板の板厚が薄く、導体パターンが密であるほど顕
著であるという問題点を有していた。
周辺部では導体パターンのエッチング精度に大きな差が
生じ、さらに上下面ではその差は著しく、高密度・高精
度のプリント配線板の導体パターンのエッチングは極め
て困難となり、工程歩留まりを著しく悪化させ、プリン
ト配線板の板厚が薄く、導体パターンが密であるほど顕
著であるという問題点を有していた。
【０００９】これらの問題の解決方法として、従来はプ
リント配線板を傾斜させたり垂直に立て、横方向のスプ
レーノズルからエッチング液を噴出させ、エッチング液
の滞留をなくす方法が考案されたが、プリント配線板の
搬送およびエッチング条件の設定も困難であり、その生
産性は著しく阻害され、またエッチング装置の製造コス
ト高騰を招くことにより、一般的に普及していないのが
現状である。
リント配線板を傾斜させたり垂直に立て、横方向のスプ
レーノズルからエッチング液を噴出させ、エッチング液
の滞留をなくす方法が考案されたが、プリント配線板の
搬送およびエッチング条件の設定も困難であり、その生
産性は著しく阻害され、またエッチング装置の製造コス
ト高騰を招くことにより、一般的に普及していないのが
現状である。
【００１０】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、エッチング装置の製造コスト高騰を招くことなく簡
便かつ普及が容易なプリント配線板の製造装置とそれを
用いたプリント配線板の製造方法を提供するものであ
り、これによりプリント配線板のエッチングの生産性を
低下させることなく上下面のエッチング精度を均一に
し、高密度・高精度のプリント配線板を歩留りよく生産
することを目的とするものである。
で、エッチング装置の製造コスト高騰を招くことなく簡
便かつ普及が容易なプリント配線板の製造装置とそれを
用いたプリント配線板の製造方法を提供するものであ
り、これによりプリント配線板のエッチングの生産性を
低下させることなく上下面のエッチング精度を均一に
し、高密度・高精度のプリント配線板を歩留りよく生産
することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で所定の間隔に配管
された複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動
させる機構と、処理液としてのエッチング液を前記ノズ
ルパイプに供給するポンプとを有し、前記ポンプと各ノ
ズルパイプとの個々の流路に圧力調整バルブと圧力計を
備え、かつ複数のノズルパイプのうち中央に位置するほ
ど狭い間隔でノズルパイプ配管したプリント配線板の製
造装置を用いて中央のノズルパイプの圧力計の表示を両
側のノズルパイプの圧力計の表示より高くなるように、
個々の圧力調整バルブの開閉の割合により設定し、一定
の角度でノズルパイプを揺動しエッチング液を基板に吹
き付けながら所定の速度で搬送することによりエッチン
グするプリント配線板の製造方法というものである。
に本発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で所定の間隔に配管
された複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動
させる機構と、処理液としてのエッチング液を前記ノズ
ルパイプに供給するポンプとを有し、前記ポンプと各ノ
ズルパイプとの個々の流路に圧力調整バルブと圧力計を
備え、かつ複数のノズルパイプのうち中央に位置するほ
ど狭い間隔でノズルパイプ配管したプリント配線板の製
造装置を用いて中央のノズルパイプの圧力計の表示を両
側のノズルパイプの圧力計の表示より高くなるように、
個々の圧力調整バルブの開閉の割合により設定し、一定
の角度でノズルパイプを揺動しエッチング液を基板に吹
き付けながら所定の速度で搬送することによりエッチン
グするプリント配線板の製造方法というものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１および５に記載
の発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で所定の間隔に配管
された複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動
させる機構と、処理液としてのエッチング液を前記ノズ
ルパイプに供給するポンプとを有し、前記ポンプと各ノ
ズルパイプとの個々の流路に圧力調整バルブと圧力計を
備えたプリント配線板の製造装置というもので、プリン
ト配線板の上面中央部にエッチング液が滞留せず直ちに
流れ落ちるようにするため、中央のノズルパイプの圧力
を両側のノズルパイプの圧力より高くなるように、圧力
計の表示を確認しながら圧力調整バルブの開閉の割合で
容易に設定することができる。これにより中央部と周辺
部および上下面のエッチング速度の均一化を図り高精度
の導体パターンを形成することができ、生産性の低下や
装置製造コストの高騰を招くこともない簡易なプリント
配線板のエッチング装置を提供できるものである。
の発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で所定の間隔に配管
された複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動
させる機構と、処理液としてのエッチング液を前記ノズ
ルパイプに供給するポンプとを有し、前記ポンプと各ノ
ズルパイプとの個々の流路に圧力調整バルブと圧力計を
備えたプリント配線板の製造装置というもので、プリン
ト配線板の上面中央部にエッチング液が滞留せず直ちに
流れ落ちるようにするため、中央のノズルパイプの圧力
を両側のノズルパイプの圧力より高くなるように、圧力
計の表示を確認しながら圧力調整バルブの開閉の割合で
容易に設定することができる。これにより中央部と周辺
部および上下面のエッチング速度の均一化を図り高精度
の導体パターンを形成することができ、生産性の低下や
装置製造コストの高騰を招くこともない簡易なプリント
配線板のエッチング装置を提供できるものである。
【００１３】本発明の請求項２に記載の発明は、複数の
ノズルパイプのうち中央に位置するほど狭い間隔でノズ
ルパイプ配管した請求項１に記載のプリント配線板の製
造装置というもので、中央に位置するほど狭い間隔でノ
ズルパイプを配管することにより、プリント配線板上の
中央部へ吹き付けるエッチングの液量を増加させ、プリ
ント配線板の上面中央部にエッチング液が滞留せずに効
率的かつ即効的に流れ落ちることができる。これにより
中央部と周辺部および上下面のエッチング速度の均一化
を図り高精度の導体パターンを形成することができる装
置を提供できるものである。
ノズルパイプのうち中央に位置するほど狭い間隔でノズ
ルパイプ配管した請求項１に記載のプリント配線板の製
造装置というもので、中央に位置するほど狭い間隔でノ
ズルパイプを配管することにより、プリント配線板上の
中央部へ吹き付けるエッチングの液量を増加させ、プリ
ント配線板の上面中央部にエッチング液が滞留せずに効
率的かつ即効的に流れ落ちることができる。これにより
中央部と周辺部および上下面のエッチング速度の均一化
を図り高精度の導体パターンを形成することができる装
置を提供できるものである。
【００１４】本発明の請求項３に記載の発明は、圧力調
整バルブと圧力計の替わりに流量調整バルブと流量計を
備えた請求項１に記載のプリント配線板の製造装置とい
うもので、中央のノズルパイプの流量を両側のノズルパ
イプの流量より高くなるように、流量計の表示を確認し
ながら流量調整バルブの開閉の割合で容易に設定するこ
とができる。これにより種々のノズル形状およびノズル
個数、エッチング液の比重の変化において、噴霧される
エッチング液の流量を設定管理することによって、中央
部と周辺部および上下面のエッチング速度の均一化を図
り高精度の導体パターンを安定して形成することができ
るプリント配線板のエッチング装置を提供できるもので
ある。
整バルブと圧力計の替わりに流量調整バルブと流量計を
備えた請求項１に記載のプリント配線板の製造装置とい
うもので、中央のノズルパイプの流量を両側のノズルパ
イプの流量より高くなるように、流量計の表示を確認し
ながら流量調整バルブの開閉の割合で容易に設定するこ
とができる。これにより種々のノズル形状およびノズル
個数、エッチング液の比重の変化において、噴霧される
エッチング液の流量を設定管理することによって、中央
部と周辺部および上下面のエッチング速度の均一化を図
り高精度の導体パターンを安定して形成することができ
るプリント配線板のエッチング装置を提供できるもので
ある。
【００１５】本発明の請求項４および７に記載の発明
は、請求項２記載のプリント配線板の製造装置の複数の
ノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプの圧力計の
表示を両側のノズルパイプの圧力計の表示より高くなる
ように、個々の圧力調整バルブの開閉の割合により設定
し、一定の角度でノズルパイプを揺動し処理液を基板に
吹き付けながら所定の速度で搬送することによりエッチ
ングするプリント配線板の製造方法というもので、中央
に位置するほど狭い間隔でノズルパイプを配管すること
により、プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチ
ングの液量を増加させ、さらに中央のノズルパイプの圧
力を両側のノズルパイプの圧力より高くなるように、圧
力計の表示を確認しながら圧力調整バルブの開閉の割合
で容易に設定することができる。これによりプリント配
線板の上面中央部にエッチング液が滞留せずに効率的か
つ即効的に流れ落ち、中央部と周辺部および上下面のエ
ッチング速度の均一化を図り高精度の導体パターンを形
成することができるプリント配線板の製造方法を提供す
るものである。
は、請求項２記載のプリント配線板の製造装置の複数の
ノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプの圧力計の
表示を両側のノズルパイプの圧力計の表示より高くなる
ように、個々の圧力調整バルブの開閉の割合により設定
し、一定の角度でノズルパイプを揺動し処理液を基板に
吹き付けながら所定の速度で搬送することによりエッチ
ングするプリント配線板の製造方法というもので、中央
に位置するほど狭い間隔でノズルパイプを配管すること
により、プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチ
ングの液量を増加させ、さらに中央のノズルパイプの圧
力を両側のノズルパイプの圧力より高くなるように、圧
力計の表示を確認しながら圧力調整バルブの開閉の割合
で容易に設定することができる。これによりプリント配
線板の上面中央部にエッチング液が滞留せずに効率的か
つ即効的に流れ落ち、中央部と周辺部および上下面のエ
ッチング速度の均一化を図り高精度の導体パターンを形
成することができるプリント配線板の製造方法を提供す
るものである。
【００１６】本発明の請求項５および７に記載の発明
は、請求項３記載のプリント配線板の製造装置の複数の
ノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプの流量計の
表示を両側のノズルパイプの流量計の表示より高くなる
ように、個々の流量調整バルブの開閉の割合により設定
し、一定の角度でノズルパイプを揺動し処理液を基板に
吹き付けながら所定の速度で搬送することによりエッチ
ングするプリント配線板の製造方法というもので、中央
に位置するほど狭い間隔でノズルパイプを配管すること
により、プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチ
ングの液量を増加させ、さらに中央のノズルパイプの流
量を両側のノズルパイプの流量より高くなるように、流
量計の表示を確認しながら流量調整バルブの開閉の割合
で容易に設定することができる。これにより種々のノズ
ル形状およびノズル個数、エッチング液の比重の変化に
おいて、噴霧されるエッチング液の流量を設定管理する
ことによって、中央部と周辺部および上下面のエッチン
グ速度の均一化を図り高精度の導体パターンを安定して
形成することができるプリント配線板の製造方法を提供
できるものである。
は、請求項３記載のプリント配線板の製造装置の複数の
ノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプの流量計の
表示を両側のノズルパイプの流量計の表示より高くなる
ように、個々の流量調整バルブの開閉の割合により設定
し、一定の角度でノズルパイプを揺動し処理液を基板に
吹き付けながら所定の速度で搬送することによりエッチ
ングするプリント配線板の製造方法というもので、中央
に位置するほど狭い間隔でノズルパイプを配管すること
により、プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチ
ングの液量を増加させ、さらに中央のノズルパイプの流
量を両側のノズルパイプの流量より高くなるように、流
量計の表示を確認しながら流量調整バルブの開閉の割合
で容易に設定することができる。これにより種々のノズ
ル形状およびノズル個数、エッチング液の比重の変化に
おいて、噴霧されるエッチング液の流量を設定管理する
ことによって、中央部と周辺部および上下面のエッチン
グ速度の均一化を図り高精度の導体パターンを安定して
形成することができるプリント配線板の製造方法を提供
できるものである。
【００１７】（実施の形態）以下本発明の一実施の形態
について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発
明の一実施の形態におけるプリント配線板の製造装置の
概略図、図２は、本発明の一実施の形態におけるプリン
ト配線板の製造装置の詳細を示す図である。
について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発
明の一実施の形態におけるプリント配線板の製造装置の
概略図、図２は、本発明の一実施の形態におけるプリン
ト配線板の製造装置の詳細を示す図である。
【００１８】図１において、１はスプレーノズル、２ａ
〜２ｅはスプレーノズル１を複数個取り付けかつプリン
ト配線板の進行方向に平行またはある角度に配管された
複数の上面用ノズルパイプ、３ａ〜３ｅは同じくスプレ
ーノズル１を複数個取り付けかつプリント配線板の進行
方向に平行またはある角度に配管された複数の下面用ノ
ズルパイプ、４ａ〜４ｅは上面用圧力計、５ａ〜５ｅは
下面用圧力計、６ａ〜６ｅはスプレー圧力の調整可能な
手段としての上面用圧力調整バルブ、７ａ〜７ｅはスプ
レー圧力の調整可能な手段としての下面用圧力調整バル
ブ、８はエッチング液をノズルパイプ２ａ〜２ｅに供給
する上面用スプレーポンプ、９はエッチング液をノズル
パイプ３ａ〜３ｅに供給する下面用スプレーポンプ、１
０は送りローラー、１１はエッチングブース、１２は基
板としてのプリント配線板である。
〜２ｅはスプレーノズル１を複数個取り付けかつプリン
ト配線板の進行方向に平行またはある角度に配管された
複数の上面用ノズルパイプ、３ａ〜３ｅは同じくスプレ
ーノズル１を複数個取り付けかつプリント配線板の進行
方向に平行またはある角度に配管された複数の下面用ノ
ズルパイプ、４ａ〜４ｅは上面用圧力計、５ａ〜５ｅは
下面用圧力計、６ａ〜６ｅはスプレー圧力の調整可能な
手段としての上面用圧力調整バルブ、７ａ〜７ｅはスプ
レー圧力の調整可能な手段としての下面用圧力調整バル
ブ、８はエッチング液をノズルパイプ２ａ〜２ｅに供給
する上面用スプレーポンプ、９はエッチング液をノズル
パイプ３ａ〜３ｅに供給する下面用スプレーポンプ、１
０は送りローラー、１１はエッチングブース、１２は基
板としてのプリント配線板である。
【００１９】さらに上記構成のプリント配線板の製造装
置としてのエッチング装置は、図２に示すように、中央
のノズルパイプ２ｃ，２ｂ及び２ｃと２ｄの配管の間隔
は、他のノズルパイプ２ａと２ｂおよび２ｄと２ｅの間
隔に比較して約１０〜３０％狭くしており、この構造に
より、プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチン
グの液量を増加させることができる。
置としてのエッチング装置は、図２に示すように、中央
のノズルパイプ２ｃ，２ｂ及び２ｃと２ｄの配管の間隔
は、他のノズルパイプ２ａと２ｂおよび２ｄと２ｅの間
隔に比較して約１０〜３０％狭くしており、この構造に
より、プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチン
グの液量を増加させることができる。
【００２０】上記の例においては、ノズルパイプの本数
は２ａ〜２ｅの５本としたが、例えば２ａ〜２ｆ（図示
せず）の６本の場合、２ｃと２ｄの間隔は、他のノズル
パイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆの間隔に比較して約３
０〜５０％狭くしており、必要に応じて中央に近いノズ
ルパイプ２ｂと２ｃ及び２ｄと２ｅの間隔も１０〜３０
％程度狭く配管することもできる。
は２ａ〜２ｅの５本としたが、例えば２ａ〜２ｆ（図示
せず）の６本の場合、２ｃと２ｄの間隔は、他のノズル
パイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆの間隔に比較して約３
０〜５０％狭くしており、必要に応じて中央に近いノズ
ルパイプ２ｂと２ｃ及び２ｄと２ｅの間隔も１０〜３０
％程度狭く配管することもできる。
【００２１】以上のように構成されたエッチング装置に
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
【００２２】まず、所定の大きさに切断され、３５μｍ
厚さの銅はくが絶縁基板の両面に形成された銅張積層板
（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などによりエ
ッチングレジストを形成してプリント配線板１２とす
る。
厚さの銅はくが絶縁基板の両面に形成された銅張積層板
（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などによりエ
ッチングレジストを形成してプリント配線板１２とす
る。
【００２３】このプリント配線板１２は、エッチングブ
ース１１内に進行方向に平行またはある角度に配管され
た上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｅ及び下面用ノズルパイ
プ３ａ〜３ｅの間において、送りローラー１０上で所定
の速度で搬送させ、上下面に塩化第２銅などのエッチン
グ液をスプレーノズル１から吹き付けてエッチングを行
う。エッチング実施の際、上面用ノズルパイプ２ａ〜２
ｅ及び下面用ノズルパイプ３ａ〜３ｅは、プリント配線
板進行方向に対して４５°〜６０°の角度で揺動（オシ
レーション）させ、また上面用スプレーポンプ８から上
面用ノズルパイプ２ａ〜２ｅへ供給されるエッチング液
は、上面用圧力調整バルブ６ａ〜６ｅの開閉の割合で上
面用圧力計４ａ〜４ｅに示すスプレー圧力を調整する。
同様に、下面用スプレーポンプ９から下面用ノズルパイ
プ３ａ〜３ｅへ供給されるエッチング液も、下面用圧力
調整バルブ７ａ〜７ｅの開閉の割合で下面用圧力計５ａ
〜５ｅに示すスプレー圧力を調整する。
ース１１内に進行方向に平行またはある角度に配管され
た上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｅ及び下面用ノズルパイ
プ３ａ〜３ｅの間において、送りローラー１０上で所定
の速度で搬送させ、上下面に塩化第２銅などのエッチン
グ液をスプレーノズル１から吹き付けてエッチングを行
う。エッチング実施の際、上面用ノズルパイプ２ａ〜２
ｅ及び下面用ノズルパイプ３ａ〜３ｅは、プリント配線
板進行方向に対して４５°〜６０°の角度で揺動（オシ
レーション）させ、また上面用スプレーポンプ８から上
面用ノズルパイプ２ａ〜２ｅへ供給されるエッチング液
は、上面用圧力調整バルブ６ａ〜６ｅの開閉の割合で上
面用圧力計４ａ〜４ｅに示すスプレー圧力を調整する。
同様に、下面用スプレーポンプ９から下面用ノズルパイ
プ３ａ〜３ｅへ供給されるエッチング液も、下面用圧力
調整バルブ７ａ〜７ｅの開閉の割合で下面用圧力計５ａ
〜５ｅに示すスプレー圧力を調整する。
【００２４】ここで、上面用圧力計４ａ〜４ｅに表示さ
れる圧力は、中央のノズルパイプが高くなるようにそれ
ぞれ４ａは１．２ｋｇ／ｃｍ2、４ｂは１．６ｋｇ／ｃ
ｍ2、４ｃは２．０ｋｇ／ｃｍ2、４ｄは１．６ｋｇ／ｃ
ｍ2、４ｅは１．２ｋｇ／ｃｍ 2になるように、上面用圧
力調整バルブ６ａ〜６ｅの開閉の割合で調整する。
れる圧力は、中央のノズルパイプが高くなるようにそれ
ぞれ４ａは１．２ｋｇ／ｃｍ2、４ｂは１．６ｋｇ／ｃ
ｍ2、４ｃは２．０ｋｇ／ｃｍ2、４ｄは１．６ｋｇ／ｃ
ｍ2、４ｅは１．２ｋｇ／ｃｍ 2になるように、上面用圧
力調整バルブ６ａ〜６ｅの開閉の割合で調整する。
【００２５】同様に下面用圧力計５ａ〜５ｅに表示され
る圧力は、それぞれ５ａは１．０ｋｇ／ｃｍ2、５ｂは
０．９ｋｇ／ｃｍ2、５ｃは０．８ｋｇ／ｃｍ2、５ｄは
０．９ｋｇ／ｃｍ2、５ｅは１．０ｋｇ／ｃｍ2になるよ
うに、下面用圧力調整バルブ７ａ〜７ｅの開閉の割合で
調整する。
る圧力は、それぞれ５ａは１．０ｋｇ／ｃｍ2、５ｂは
０．９ｋｇ／ｃｍ2、５ｃは０．８ｋｇ／ｃｍ2、５ｄは
０．９ｋｇ／ｃｍ2、５ｅは１．０ｋｇ／ｃｍ2になるよ
うに、下面用圧力調整バルブ７ａ〜７ｅの開閉の割合で
調整する。
【００２６】上記設定において中央のノズルパイプ４ｃ
の圧力設定値は、中央のノズルパイプの配管を狭くして
いるためプリント配線板上の中央部に噴射されるエッチ
ング液量は周辺部に比較して多く、このため各ノズルパ
イプの配管を等間隔とした場合に比較して、低めに設定
でき、中央のノズルパイプの圧力を高めに設定するもの
の、圧力バランスは比較的緩やかとすることができる。
の圧力設定値は、中央のノズルパイプの配管を狭くして
いるためプリント配線板上の中央部に噴射されるエッチ
ング液量は周辺部に比較して多く、このため各ノズルパ
イプの配管を等間隔とした場合に比較して、低めに設定
でき、中央のノズルパイプの圧力を高めに設定するもの
の、圧力バランスは比較的緩やかとすることができる。
【００２７】このことによる利点効果としては、各ノズ
ルパイプに取り付けられた複数のノズルへの噴射圧力が
極端に低くならないようにできるため、ノズルのエッチ
ング液噴射口の異物の詰まりによるトラブル発生の確率
を低くすることができ、また両側の圧力を圧力調整バル
ブを閉めることで、エッチングの流路を狭めることによ
る流体損失を低くすることができエネルギー効率を高め
るという利点がある。
ルパイプに取り付けられた複数のノズルへの噴射圧力が
極端に低くならないようにできるため、ノズルのエッチ
ング液噴射口の異物の詰まりによるトラブル発生の確率
を低くすることができ、また両側の圧力を圧力調整バル
ブを閉めることで、エッチングの流路を狭めることによ
る流体損失を低くすることができエネルギー効率を高め
るという利点がある。
【００２８】上記の実施の形態で用いた、圧力計と圧力
調整バルブを流量計と流量調整バルブに置き換えて用い
た場合について説明する（なお流量調整バルブは、一般
に流量の調整目盛りを備えたものがあるが、原理的には
圧力調整バルブとほぼ同じである。本発明の実施の形態
の説明においては、便宜上圧力調整バルブと流量調整バ
ルブを使い分けて説明する。）。
調整バルブを流量計と流量調整バルブに置き換えて用い
た場合について説明する（なお流量調整バルブは、一般
に流量の調整目盛りを備えたものがあるが、原理的には
圧力調整バルブとほぼ同じである。本発明の実施の形態
の説明においては、便宜上圧力調整バルブと流量調整バ
ルブを使い分けて説明する。）。
【００２９】圧力調整バルブ使用による各ノズルパイプ
の圧力計の表示を基準とした設定においては、ノズル形
状およびノズル個数を変更した場合、プリント配線板上
に吹き付けられる単位時間当たりのエッチング流量が異
なってくる場合がある。すなわちノズルのエッチング液
噴射口が小さい場合は、同じ圧力計の表示であっても、
噴射口が大きい場合に比較してプリント配線板上に噴射
されるエッチング液の流量が少ない。このことはノズル
に異物が詰まった場合（ノズルの詰まりを生産中に確認
することは困難）圧力計の圧力は上昇するが、エッチン
グ液の流量は減少する。
の圧力計の表示を基準とした設定においては、ノズル形
状およびノズル個数を変更した場合、プリント配線板上
に吹き付けられる単位時間当たりのエッチング流量が異
なってくる場合がある。すなわちノズルのエッチング液
噴射口が小さい場合は、同じ圧力計の表示であっても、
噴射口が大きい場合に比較してプリント配線板上に噴射
されるエッチング液の流量が少ない。このことはノズル
に異物が詰まった場合（ノズルの詰まりを生産中に確認
することは困難）圧力計の圧力は上昇するが、エッチン
グ液の流量は減少する。
【００３０】圧力のみで管理している場合は、圧力計の
表示を下げるため圧力調整バルブを閉める方向に調整す
ることとなるが、このとき益々プリント配線板上に吹き
付けられる流量は減少してしまうという相反する条件を
設定してしまう可能性が生じる。
表示を下げるため圧力調整バルブを閉める方向に調整す
ることとなるが、このとき益々プリント配線板上に吹き
付けられる流量は減少してしまうという相反する条件を
設定してしまう可能性が生じる。
【００３１】さらに一般にエッチング装置は、異物を除
去するために、スプレーポンプとノズルパイプあるいは
エッチング装置本体底部のエッチング液貯蔵部とスプレ
ーポンプの間にフィルターを備えている。そのフィルタ
ー内に異物が充満し、一定限度を越えると圧力計の表示
は下降する。
去するために、スプレーポンプとノズルパイプあるいは
エッチング装置本体底部のエッチング液貯蔵部とスプレ
ーポンプの間にフィルターを備えている。そのフィルタ
ー内に異物が充満し、一定限度を越えると圧力計の表示
は下降する。
【００３２】しかしスプレーノズルに異物が詰まり、さ
らにフィルター内に異物が充満している状態が同時に発
生した場合は、スプレーノズルに異物が詰まることによ
る圧力計の表示の上昇と、フィルター内に異物が充満す
ることによる圧力計の表示の下降が均衡状態となり、圧
力計の表示は当初の正確な設定と同じ値を示す可能性が
ある。この場合、実際にはスプレーノズル詰まりによる
流量の減少と、フィルター詰まりによる流量の減少によ
り、プリント配線板上に吹き付けられるエッチング液の
流量は著しく減少し、極端な場合は、銅の厚みを充分に
エッチングするためのエッチング液の流量に達せず、銅
残りの現象を生じてしまう可能性もある。
らにフィルター内に異物が充満している状態が同時に発
生した場合は、スプレーノズルに異物が詰まることによ
る圧力計の表示の上昇と、フィルター内に異物が充満す
ることによる圧力計の表示の下降が均衡状態となり、圧
力計の表示は当初の正確な設定と同じ値を示す可能性が
ある。この場合、実際にはスプレーノズル詰まりによる
流量の減少と、フィルター詰まりによる流量の減少によ
り、プリント配線板上に吹き付けられるエッチング液の
流量は著しく減少し、極端な場合は、銅の厚みを充分に
エッチングするためのエッチング液の流量に達せず、銅
残りの現象を生じてしまう可能性もある。
【００３３】上記のような問題を解決するために流量計
および流量調整バルブによる条件設定を行うことで、仮
にノズル詰まりやフィルター詰まりの発生による圧力変
化が生じてもプリント配線板上に吹き付けられる単位時
間当たりのエッチング液の流量を一定に保持することが
でき、安定した条件でプリント配線板を製造することが
できる。
および流量調整バルブによる条件設定を行うことで、仮
にノズル詰まりやフィルター詰まりの発生による圧力変
化が生じてもプリント配線板上に吹き付けられる単位時
間当たりのエッチング液の流量を一定に保持することが
でき、安定した条件でプリント配線板を製造することが
できる。
【００３４】以上のスプレー圧力及び流量設定によりエ
ッチングを実施すると、従来のエッチング装置及びエッ
チング方法によるエッチング後の導体パターン幅は設定
値に対して、プリント配線板の上下面及び中央部と周辺
部でそのバラツキは５０〜１００μｍであるが、本発明
でのエッチング装置及びエッチング方法ではバラツキが
１０〜２０μｍと極端に減少できることが実証された。
ッチングを実施すると、従来のエッチング装置及びエッ
チング方法によるエッチング後の導体パターン幅は設定
値に対して、プリント配線板の上下面及び中央部と周辺
部でそのバラツキは５０〜１００μｍであるが、本発明
でのエッチング装置及びエッチング方法ではバラツキが
１０〜２０μｍと極端に減少できることが実証された。
【００３５】なお、本発明の実施の形態においてプリン
ト配線板は、スルーホールめっきなしの両面プリント配
線板としたが、片面プリント配線板、スルーホールめっ
きありの両面プリント配線板や多層プリント配線板であ
ってもよく、またエッチングレジストは、スクリーン印
刷法や写真法で形成される有機材料を用いたが、はんだ
等の金属レジストや感光性電着レジストとしてもよい。
またエッチング液は塩化第２銅としたが塩化第二鉄やア
ンモニア等のアルカリエッチャントとしてもよい。
ト配線板は、スルーホールめっきなしの両面プリント配
線板としたが、片面プリント配線板、スルーホールめっ
きありの両面プリント配線板や多層プリント配線板であ
ってもよく、またエッチングレジストは、スクリーン印
刷法や写真法で形成される有機材料を用いたが、はんだ
等の金属レジストや感光性電着レジストとしてもよい。
またエッチング液は塩化第２銅としたが塩化第二鉄やア
ンモニア等のアルカリエッチャントとしてもよい。
【００３６】また所定の大きさに切断された３５μｍ厚
さの銅はくが絶縁基板の両面に形成された銅張積層板と
したが、種々の基板サイズや要求されるエッチング精度
あるいは異なる導体厚においても設定圧力を調整するこ
とにより容易に対応できることは本発明の構成から明ら
かである。
さの銅はくが絶縁基板の両面に形成された銅張積層板と
したが、種々の基板サイズや要求されるエッチング精度
あるいは異なる導体厚においても設定圧力を調整するこ
とにより容易に対応できることは本発明の構成から明ら
かである。
【００３７】さらに、本発明の実施の形態においては、
プリント配線板の製造装置の中で、特に銅はく等のエッ
チングを行うエッチング装置について説明したが、本発
明は、感光性レジストの未露光部を現像・除去するため
の現像装置としても用いることができる。
プリント配線板の製造装置の中で、特に銅はく等のエッ
チングを行うエッチング装置について説明したが、本発
明は、感光性レジストの未露光部を現像・除去するため
の現像装置としても用いることができる。
【００３８】
【発明の効果】以上のように本発明は、プリント配線板
中央部と周辺部及び上下面のスプレー圧力または流量を
容易な方法で調整することによって、プリント配線板の
エッチングの生産性を低下させることなくプリント配線
板上面の中央部と周辺部及び上下面のエッチング精度を
均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留りよ
く生産することができるものであり、さらに装置の製造
コスト高騰を招くことなく容易に普及しうる簡易な製造
装置を提供することができる。
中央部と周辺部及び上下面のスプレー圧力または流量を
容易な方法で調整することによって、プリント配線板の
エッチングの生産性を低下させることなくプリント配線
板上面の中央部と周辺部及び上下面のエッチング精度を
均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留りよ
く生産することができるものであり、さらに装置の製造
コスト高騰を招くことなく容易に普及しうる簡易な製造
装置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板
の製造装置の概略図
の製造装置の概略図
【図２】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板
の製造装置の詳細図
の製造装置の詳細図
【図３】従来のプリント配線板の製造装置の概略図
１ スプレーノズル ２ａ〜２ｅ 上面用ノズルパイプ ３ａ〜３ｅ 下面用ノズルパイプ ４ａ〜４ｅ 上面用圧力計 ５ａ〜５ｅ 下面用圧力計 ６ａ〜６ｅ 上面用圧力調整バルブ ７ａ〜７ｅ 下面用圧力調整バルブ ８ 上面用スプレーポンプ ９ 下面用スプレーポンプ １０ 送りローラー １１ エッチングブース １２ プリント配線板
Claims (7)
- 【請求項１】 基板を所定の速度で搬送する送りローラ
ーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配
線板の進行方向に平行またはある角度で所定の間隔に配
管された複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺
動させる機構と、処理液を前記ノズルパイプに供給する
ポンプとを有し、前記ポンプと各ノズルパイプとの個々
の流路に圧力調整バルブと圧力計を備えたプリント配線
板の製造装置。 - 【請求項２】 複数のノズルパイプのうち中央に位置す
るほど狭い間隔でノズルパイプ配管した請求項１に記載
のプリント配線板の製造装置。 - 【請求項３】 圧力調整バルブと圧力計の替わりに流量
調整バルブと流量計を備えた請求項１に記載のプリント
配線板の製造装置。 - 【請求項４】 請求項２記載のプリント配線板の製造装
置の複数のノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプ
の圧力計の表示を両側のノズルパイプの圧力計の表示よ
り高くなるように、個々の圧力調整バルブの開閉の割合
により設定し、一定の角度でノズルパイプを揺動し処理
液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送することに
より処理するプリント配線板の製造方法。 - 【請求項５】 請求項３記載のプリント配線板の製造装
置の複数のノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプ
の流量計の表示を両側のノズルパイプの流量計の表示よ
り高くなるように、個々の流量調整バルブの開閉の割合
により設定し、一定の角度でノズルパイプを揺動し処理
液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送することに
より処理するプリント配線板の製造方法。 - 【請求項６】 処理液がエッチング液である請求項１に
記載のプリント配線板の製造装置。 - 【請求項７】 処理液がエッチング液である請求項４ま
たは５に記載のプリント配線板の製造方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000002190A JP2001190995A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | プリント配線板の製造装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法 |
| TW090100564A TW579664B (en) | 2000-01-11 | 2001-01-10 | Apparatus and method for manufacturing printed circuit board |
| US09/936,324 US6918989B2 (en) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | Apparatus for manufacturing printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board using the same |
| DE60123706T DE60123706T2 (de) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | Leiterplattenherstellung und entsprechende herstellungsvorrichtung |
| PCT/JP2001/000085 WO2001052610A1 (fr) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | Dispositif de fabrication pour plaquette de circuit imprime et plaquette de circuit imprime ainsi obtenu |
| EP01900662A EP1168899B1 (en) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | Apparatus for manufacturing printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board using the same |
| CNB018000452A CN100387104C (zh) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | 印刷布线板的制造装置以及使用它的印刷布线板的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000002190A JP2001190995A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | プリント配線板の製造装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001190995A true JP2001190995A (ja) | 2001-07-17 |
Family
ID=18531322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000002190A Pending JP2001190995A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | プリント配線板の製造装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001190995A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011096873A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Panasonic Corp | 基板の処理装置 |
-
2000
- 2000-01-11 JP JP2000002190A patent/JP2001190995A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011096873A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Panasonic Corp | 基板の処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20031216 |