JPH05121857A - プリント配線板のエツチング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 各種電子機器に使用されるプリント配線板の
エッチング方法において、導体パターンエッチング状態
を均一にし、高精度のプリント配線板を歩留りよく生産
することを目的とするものである。 【構成】 複数のスプレーノズル１１を有するスプレー
装置１２ａ、１２ｂをプリント配線板１７の搬送方向に
平行な方向、任意の方向および直角な方向で、かつ一定
間隔を持たせて対向させ、スプレーノズル１１からエッ
チング液１８を連続噴射することにより、プリント配線
板１７の上面中央部分にエッチング液１８が滞留するこ
とがなく、流動し、各部位におけるエッチング力をほぼ
同一にすることが可能となり、プリント配線板１７の中
央部分と周辺部分のエッチング状態を均一にすることが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、各種電子機器などに使
用されるプリント配線板の製造方法、特にプリント配線
板上に導体パターンを形成するエッチング方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、各種電子機器などに数多く使用さ
れているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化
に伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求され
るようになってきている。プリント配線板の製造工程の
中でも導体パターンの形成を行うエッチング工程は重要
な工程である。

【０００３】以下に、従来のプリント配線板のエッチン
グ方法について説明する。図５は従来のプリント配線板
のエッチング方法の概念を示すものである。図５におい
て、１はスプレーノズル、２はスプレー装置、３は圧力
計、４はポンプ、５は圧力調整バルブ、６は送りローラ
ー、７はエッチングブース、８はプリント配線板、９は
エッチング液である。

【０００４】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。エッチングレジ
ストを形成したプリント配線板８をエッチングブース７
内に搬送方向に平行またはある角度で上下に配管された
スプレー装置２の間を送りローラー６上で所定の速度で
搬送させ、プリント配線板の上下面に塩化第２銅などの
エッチング液９をスプレーノズル１から噴射し、エッチ
ングを行う。この際、一般的には上下のスプレー装置２
をプリント配線板搬送方向に対して４５〜６０°の角度
で揺動（オシレーション）する。その後、水洗およびエ
ッチングレジストの剥離などを行い、プリント配線板上
に導体パターンを形成している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、プリント配線板の上面と下面のエッチン
グスピードに大きな差が生じやすく、かつプリント配線
板上面においては、プリント配線板中央部分にエッチン
グ劣化したエッチング液が滞留しやすく、またプリント
配線板周辺部分ではエッチング劣化したエッチング液が
直ちに流れ落ちるため滞留することがなく、プリント配
線板上面の中央部分と周辺部分ではエッチング状態に大
きな差が生じ、プリント配線板の上下面とも精度よく均
一なエッチングを行うことは困難であり、高精度プリン
ト配線板の製造工程歩留りを著しく損なうという問題点
を有している。

【０００６】これらの問題を解決するため従来では、プ
リント配線板を傾斜、または垂直に配設し、プリント配
線板側面のスプレーノズルからエッチング液を噴射さ
せ、エッチング液のプリント配線板上での滞留をなくす
装置が実用化されているが、プリント配線板の搬送機構
が複雑となること、プリント配線板の表面に形成された
エッチングレジストに不具合が生じ易いことや最近のプ
リント配線板の板厚の薄化などに対応が困難であるなど
の問題点を有している。

【０００７】また、特開平２−２９８２８１号公報に開
示されるように、スプレーでエッチングを行う金属板な
どの材料にエッチング液を噴射すると共に、空気などの
ガス体を間欠的に噴射し、一時的にエッチング液を金属
板などの材料の表面から除去しつつ、エッチングする方
法も提案されているが、一方向のみ、かつ間欠的ガス体
噴射の方法では、プリント配線板上における劣下したエ
ッチング液は一時的に表面より除去されるが、ガス体の
噴出しない間欠部においてスプレーノズルよりのエッチ
ング新液と劣下した旧液の混合状態が生じ易く、また間
欠部分を構成するためエッチングブースが必要以上に冗
長なるなどプリント配線板の導体パターン精度の維持お
よび生産性に影響を及ぼすという問題点を有している。

【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、プリント配線板のエッチングの生産性を低下させる
ことなく、特にプリント配線板上面の導体パターンエッ
チング状態を均一にし、高精度のプリント配線板を歩留
りよく生産することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を解決するため
に本発明のプリント配線板のエッチング方法は、複数の
スプレーノズルを有するスプレー装置をプリント配線板
の搬送方向に平行でかつ一定間隔を持たせて対向させ、
スプレーノズルからエッチング液を噴出するものであ
る。

【００１０】また、本発明のエッチング方法は、複数の
スプレーノズルを有するスプレー装置をプリント配線板
の搬送方向に任意の方向でかつ一定間隔を持たせて対向
させ、スプレーノズルからエッチング液を連続噴射する
ものである。

【００１１】また、本発明のエッチング方法は、複数の
スプレーノズルを有するスプレー装置をプリント配線板
の搬送方向に直角でかつ一定間隔を持たせて対向させ、
スプレーノズルからエッチング液を連続噴出するもので
ある。

【００１２】さらに、本発明のエッチング方法は、複数
のスプレーノズルを有するスプレー装置がプリント配線
板の搬送方向に平行な方向、任意の方向及び直角な方向
でかつ各方向において一定間隔を持たせて対向させ、ス
プレーノズルからエッチング液を連続噴射するものであ
る。

【００１３】

【作用】この構成によって、エッチング液はプリント配
線板上において必ず対向する方向より一定間隔をもち、
流動するので、プリント配線板の上面中央部分にエッチ
ング液が滞留することがなく、プリント配線板上の各部
位におけるエッチング力をほぼ同一にすることが可能と
なり、プリント配線板の中央部分と周辺部分のエッチン
グ状態を均一にすることができる。

【００１４】

【実施例】（実施例１）以下本発明の一実施例につい
て、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第
１の実施例におけるプリント配線板のエッチング方法の
概念を示すものである。図１において、１１はスプレー
ノズル、１２ａおよび１２ｂはスプレー装置、１３は圧
力計、１４は圧力調整バルブ、１５はスプレーポンプ、
１６は送りローラー、１７はプリント配線板、１８はエ
ッチング液である。

【００１５】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。次に、エッチン
グレジストが形成されたプリント配線板１７は、送りロ
ーラー１６によりエッチングブース（図示せず）内に搬
送され、エッチングが開始される。搬送されたプリント
配線板１７は、プリント配線板の搬送方向に平行に配設
されたスプレー装置１２ａの複数のスプレーノズル１１
より噴射された塩化第２銅などのエッチング液１８でエ
ッチングされる。

【００１６】ついでスプレー装置１２ａに対向し、プリ
ント配線板の搬送方向と平行なスプレー装置１２ｂのス
プレーノズル１１より噴射されたエッチング液１８によ
り、引続きエッチングされる。この際、スプレー装置１
２ａおよび１２ｂは、約４５〜６０°の角度で揺動（オ
シレーション）する。スプレーポンプ１５からスプレー
装置１２ａおよび１２ｂへ供給されるエッチング液１８
の量は、圧力調整バルブ１４の開閉により、スプレー圧
力を約１．５〜２．０kg／cm² に圧力計１３にて調整さ
れる。

【００１７】図１において、プリント配線板１７上にス
プレー装置１２ａのスプレーノズル１１から噴射したエ
ッチング液１８は、プリント配線板１７の搬送方向と直
角方向へまず流出し、ついでスプレー装置１２ａと対向
するスプレー装置１２ｂのスプレーノズル１１より噴射
したエッチング液１８は、スプレー装置１２ａにおける
エッチング液の流れ方向と逆方向に流出する。これによ
りプリント配線板１７上のエッチング液１８の流れの始
点Ｐと流れの終点Ｑにおけるエッチング力をほぼ等しく
設定することが可能となる。

【００１８】本実施例によるエッチング方法によれば、
従来のエッチング方法でのエッチング後の導体パターン
幅のばらつきは、プリント配線板上下面および中央部分
と周辺部分において５０〜１００μｍであったが、１０
〜２０μｍと著しく向上し、導体パターンのエッチング
精度の点で優れた効果が得られた。

【００１９】（実施例２）以下本発明の第２の実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。図２は本発明の第
２の実施例を示すプリント配線板のエッチング方法の概
念図である。図２において、１１はスプレーノズル、１
３は圧力計、１４は圧力調整バルブ、１５はスプレーポ
ンプ、１６は送りローラー、１７はプリント配線板、１
８はエッチング液で、以上は図１の構成と同様なもので
ある。図１の構成と異なるスプレー装置１２ａ、１２ｂ
をプリント配線板１７の搬送方向に角度をもたせたスプ
レー装置１２ｃ、１２ｄとした点である。

【００２０】まず、エッチングレジストが形成されたプ
リント配線板１７は、送りローラー１６によりエッチン
グブース（図示せず）内に搬送され、エッチングが開始
される。搬送されたプリント配線板１７は、プリント配
線板１７の搬送方向に約４５°の角度に配設されたスプ
レー装置１２ｃの複数のスプレーノズル１１より噴射さ
れたエッチング液１８でエッチングされる。ついでスプ
レー装置１２ｃに対向し、プリント配線板の搬送方向に
約４５°の角度で配設されたスプレー装置１２ｄのスプ
レーノズル１１より噴射されたエッチング液１８によ
り、引続きエッチングされる。この際、スプレー装置１
２ｃおよび１２ｄは、約４５〜６０°の角度で揺動（オ
シレーション）する。スプレーポンプ１５からスプレー
装置１２ａおよび１２ｂへ供給されるエッチング液１８
の量は、圧力調整バルブ１４の開閉により、スプレー圧
力を約１．５〜２．０kg／cm²に圧力計１３にて調整さ
れる。

【００２１】図２において、プリント配線板１７上にス
プレー装置１２ｃのスプレーノズル１１から噴射したエ
ッチング液１８は、プリント配線板１７の搬送方向と約
１３５°の方向へまず流出し、ついでスプレー装置１２
ｃと対向するスプレー装置１２ｄのスプレーノズル１１
より噴射したエッチング液１８は、スプレー装置１２ａ
におけるエッチング液の流れ方向と逆方向に流出する。
これによりプリント配線板１７上のエッチング液１８の
流れの始点Ｐと流れの終点Ｑにおけるエッチング力をほ
ぼ等しく設定することが可能となる。

【００２２】本実施例によるエッチング方法によれば、
実施例１と同様な優れた効果を得ることができた。

【００２３】（実施例３）以下本発明の第３の実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。図３は、本発明
の第３の実施例を示すプリント配線板のエッチング方法
の概念図である。図３において、１１はスプレーノズ
ル、１３は圧力計、１４は圧力調整バルブ、１５はスプ
レーポンプ、１６は送りローラー、１７はプリント配線
板、１８はエッチング液で、以上は図１の構成と同様な
ものである。図１の構成と異なるスプレー装置１２ｃ、
１２ｄを、プリント配線板１７の搬送方向に直角な方向
としたスプレー装置１２ｅ、１２ｆとした点である。

【００２４】まず、エッチングレジストが形成されたプ
リント配線板１７は、送りローラー１６によりエッチン
グブース（図示せず）内に搬送され、エッチングが開始
される。搬送されたプリント配線板１７は、プリント配
線板１７の搬送方向に直角に配設されたスプレー装置１
２ｅの複数のスプレーノズル１１より噴射されたエッチ
ング液１８でエッチングされる。

【００２５】ついでスプレー装置１２ｅに対向し、プリ
ント配線板１７の搬送方向と直角な方向に配設されたス
プレー装置１２ｆのスプレーノズル１１より噴射された
エッチング液１８により、引続きエッチングされる。こ
の際、スプレー装置１２ａおよび１２ｂは、約４５〜６
０°の角度で揺動（オシレーション）する。スプレーポ
ンプ１５からスプレー装置１２ｅおよび１２ｆへ供給さ
れるエッチング液１８の量は、圧力調整バルブ１４の開
閉により、スプレー圧力を約１．５〜２．０kg／cm² に
圧力計１３にて調整される。

【００２６】図３において、プリント配線板１７上にス
プレー装置１２ｅのスプレーノズル１１から噴射したエ
ッチング液１８は、プリント配線板１７の搬送方向と平
行かつ逆方向へ流出し、ついでスプレー装置１２ｅと対
向するスプレー装置１２ｆのスプレーノズル１１より噴
射したエッチング液１８は、スプレー装置１２ｅにおけ
るエッチング液１８の流れ方向と逆方向、すなわちプリ
ント配線板１７の進行方向に流出する。これによりプリ
ント配線板１７上のエッチング液１８の流れの始点Ｐと
流れの終点Ｑにおけるエッチング力をほぼ等しく設定す
ることが可能となる。

【００２７】本実施例によるエッチング方法によれば、
実施例２と同様な優れた効果を得ることができた。

【００２８】（実施例４）以下本発明の第４の実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。図４は本発明の第
４の実施例を示すプリント配線板のエッチング方法の概
念図である。図４において、１１はスプレーノズル、１
３は圧力計、１４は圧力調整バルブ、１５はスプレーポ
ンプ、１６は送りローラー、１７はプリント配線板、１
８はエッチング液、１９はエッチングブースで、以上は
図３の構成と同様なものである。図３の構成と異なるの
スプレー装置をプリント配線板１７の搬送方向に平行な
方向、任意の角度、直角な方向をもたせたスプレー装置
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆとし
た点である。

【００２９】まず、エッチングレジストが形成されたプ
リント配線板１７は、送りローラー１６によりエッチン
グブース１９内に搬送され、エッチングが開始される。
搬送されたプリント配線板１７は、プリント配線板１７
の搬送方向に平行に配設されたスプレー装置１２ａの複
数のスプレーノズル１１より噴射されたエッチング液１
８でエッチングされ、ついでスプレー装置１２ａに対向
し、プリント配線板１７の搬送方向と平行なスプレー装
置１２ｂのスプレーノズル１１より噴射されたエッチン
グ液１８により、エッチングが継続される。

【００３０】次に、プリント配線板１７の搬送方向に約
４５°の角度に配設されたスプレー装置１２ｃの複数の
スプレーノズル１１より噴射されたエッチング液９でエ
ッチングが継続され、ついでスプレー装置１２ｃに対向
し、プリント配線板１７の搬送方向に約４５°の角度で
配設されたスプレー装置１２ｄのスプレーノズル１１よ
り噴射されたエッチング液１８により、エッチングは継
続される。さらに、プリント配線板１７の搬送方向に直
角に配設されたスプレー装置１２ｅの複数のスプレーノ
ズル１１より噴射されたエッチング液１８でエッチング
が継続され、ついでスプレー装置１２ｅに対向し、プリ
ント配線板１７の搬送方向と直角な方向に配設されたス
プレー装置１２ｆのスプレーノズル１１より噴射された
エッチング液９により、引続きプリント配線板１７はエ
ッチングされる。この際、スプレー装置１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆは、約４５〜
６０°の角度で揺動（オシレーション）する。スプレー
ポンプ１５から各スプレー装置１２へ供給されるエッチ
ング液１８の量は、圧力調整バルブ１４の開閉により、
スプレー圧力を約０．７〜１．２kg／cm² に圧力計１３
にて調整される。

【００３１】図４において、噴射したエッチング液１８
は、プリント配線板１７の搬送方向と直角方向へまず流
出し、ついでスプレー装置１２ａと対向するスプレー装
置１２ｂのスプレーノズル１１より噴射したエッチング
液１８は、スプレー装置１２ａにおけるエッチング液の
流れ方向と逆方向に流出し、ついでプリント配線板１７
の搬送方向と約１３５°の方向へ流出し、スプレー装置
１２ｃと対向するスプレー装置１２ｄのスプレーノズル
１１より噴射したエッチング液１８は、スプレー装置１
２ａにおけるエッチング液の流れ方向と逆方向に流出す
る。さらにエッチング液１８は、プリント配線板１７の
搬送方向と平行かつ逆方向へ流出し、ついでスプレー装
置１２ｅと対向するスプレー装置１２ｆのスプレーノズ
ル１１より噴射したエッチング液１８は、スプレー装置
１２ｅにおけるエッチング液１８の流れ方向と逆方向、
すなわちプリント配線板１７の進行方向に流出する。こ
れによりプリント配線板１７上のエッチング液１８のエ
ッチング力を等しく設定することが可能となる。

【００３２】本実施例によるエッチング方法によれば、
実施例１、２および３と同等以上の優れた効果を得るこ
とができた。

【００３３】なお、本発明の実施例においてプリント配
線板１７は両面プリント配線板としたが、プリント配線
板１７は片面や多層プリント配線板であってもよく、ま
たエッチングレジストは、剥離可能な樹脂としたがエッ
チングレジストは、はんだなどの金属レジストや感光性
の電着レジストなどとしてもよく、同様にエッチング液
１８は塩化第２銅としたがエッチング液１８は塩化第２
鉄やアンモニアなどのアルカリエッチャントとしてもよ
いことは言うまでもない。

【００３４】

【発明の効果】以上のように本発明は、プリント配線板
上のエッチング液の滞留を解消し、プリント配線板表面
上のエッチング液の劣下を対向方向へのエッチング液の
噴射を組合せることにより、プリント配線板上の導体パ
ターンのエッチング状態を均一にすることができ、プリ
ント配線板製造工程歩留りの向上と高精度のプリント配
線板を製造することができる優れたプリント配線板のエ
ッチング方法を実現できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例におけるプリント配線板
のエッチング方法の概念図

【図２】本発明の第２の実施例におけるプリント配線板
のエッチング方法の概念図

【図３】本発明の第３の実施例におけるプリント配線板
のエッチング方法の概念図

【図４】本発明の第４の実施例におけるプリント配線板
のエッチング方法の概念図

【図５】従来のプリント配線板のエッチング方法の概念
図

【符号の説明】

１１ スプレーノズル １２ａ〜１２ｆ スプレー装置 １３ 圧力計 １４ 圧力調整バルブ １５ スプレーポンプ １６ 送りローラー １７ プリント配線板 １８ エッチング液 １９ エッチングブース

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】エッチング液を供給ポンプを介してスプレ
   ー装置で噴射するエッチング方法において、複数のスプ
   レーノズルを有するスプレー装置をプリント配線板の搬
   送方向に平行でかつ一定間隔を持たせて対向させ、上記
   スプレーノズルからエッチング液を噴射し、導体パター
   ンを形成するプリント配線板のエッチング方法。
2. 【請求項２】エッチング液を供給ポンプを介してスプレ
   ー装置で噴射するエッチング方法において、複数のスプ
   レーノズルを有するスプレー装置をプリント配線板の搬
   送方向に任意の方向でかつ一定間隔を持たせて対向さ
   せ、上記スプレーノズルからエッチング液を連続噴射
   し、導体パターンを形成するプリント配線板のエッチン
   グ方法。
3. 【請求項３】エッチング液を供給ポンプを介してスプレ
   ー装置で噴射するエッチング方法において、複数のスプ
   レーノズルを有するスプレー装置をプリント配線板の搬
   送方向に直角でかつ一定間隔を持たせて対向させ、上記
   スプレーノズルからエッチング液を噴射し、導体パター
   ンを形成するプリント配線板のエッチング方法。
4. 【請求項４】エッチング液を供給ポンプを介してスプレ
   ー装置で噴射するエッチング方法において、複数のスプ
   レーノズルを有するスプレー装置をプリント配線板の搬
   送方向に対して、平行な方向、任意の方向及び直角な方
   向でかつ各方向において一定間隔を持たせて対向させ、
   上記スプレーノズルからエッチング液を連続噴射し、導
   体パターンを形成するプリント配線板のエッチング方
   法。