KR20010113948A

KR20010113948A - 부품흡착노즐 승강장치

Info

Publication number: KR20010113948A
Application number: KR1020017014553A
Authority: KR
Inventors: 가베시타아키라; 오쿠다오사무; 미무라나오토
Original assignee: 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤
Priority date: 1999-05-21
Filing date: 2000-05-19
Publication date: 2001-12-28
Also published as: KR100478983B1; WO2000071306A1; DE60019596D1; EP1195232B1; CN1351534A; EP1195232A4; CN1137805C; EP1195232A1; JP4512275B2; DE60019596T2; US6688833B1; TW491007B

Abstract

노즐 선택시, 노즐 선택 실린더(45)의 피스톤로드(46)가 하단위치에 위치한 상태에서 노즐 승강축(55)의 상단과의 사이에 반드시 간격(A)을 형성해서 노즐 선택시에 실린더(45)의 피스톤로드의 노즐 승강축에 접촉하지 않도록 하고, 승강구동모터(56)의 구동에 의해 승강부재(58)가 하강하는 경우에 처음으로 피스톤로드(46)가 노즐 승강축(55)에 접촉한다.

Description

부품흡착노즐 승강장치{PART SUCKING NOZZLE LIFTER}

종래, 이 종류의 부품흡착노즐 승강장치는 여러 구조의 것이 알려져 있다. 예를 들면, 도 14∼도 17에 도시한 바와 같이, 모터(201)의 회전구동에 의해 볼나사축(202)이 정역회전하며, 볼나사축(202)에 나사결합된 너트를 가지는 승강판(203)이 승강하도록 하고 있다. 이 승강판(203)에는 4개의 노즐 승강축(211)이 관통구멍(204)을 각각 관통해서 플랜지부(208)가 맞닿은 상태로 지지되어 있다. 각 노즐 승강축(211)의 하단에는 부품흡착가능 노즐(210)을 갖는 한편 각 노즐 승강축(211)의 상단에는 승강구동용 에어실린더(205)를 구비하며, 승강구동용 에어실린더(205)내에 있어서, 스프링(206)에 의해 각 노즐 승강축(211)은 항상 아래방향으로 가압되어 각 노즐 승강축(211)의 플랜지부(208)가 승강판(203)에 맞닿도록 되어 있다. 모터(201)의 회전구동에 의해 승강판(203)이 승강하면, 각 노즐(211)은 안내부(209)의 안내에 의해 승강하도록 되어 있다.

도 14는 원점상태를 도시하는 것으로서, 노즐 선택을 행할 경우에는 먼저,도 15에 도시한 바와 같이, 모터(201)의 회전구동에 의해 승강판(203)이 하강하여 스프링(206)의 가압력을 이겨서 승강판(203)으로부터 각 노즐 승강축(211)의 플랜지부(208)를 격리시킨 결과 선택하는 하나의 노즐(210)을 갖는 노즐 승강축(211)의 승강구동용 에어실린더(205)를 구동해서 노즐 승강축(211)을 하강시켜 그 플랜지부(208)를 승강판(203)에 맞닿게 한다.

이어서 도 16에 도시한 바와 같이, 모터(201)의 회전구동에 의해 승강판(203)을 하강시키면서 선택된 노즐 승강축(211)의 승강구동용 에어실린더(205)를 구동해서 노즐 승강축(211)을 하강시켜서 하강한 노즐 승강축(211)의 노즐(210)에 의해 부품을 흡착해서 기판의 소정위치에 실장한다.

그러나 하나의 노즐 선택시, 모터(201)의 승강동작과 에어실린더(205)를 동시에 구동 개시하면, 모터(201)에 의해 승강판(203)의 하강동작과 비교하여 에어실린더(205)에 에어를 공급하여도 에어의 압축성 등 때문에 즉시로는 노즐 승강축(211)이 하강을 개시하지 않고 도 16에 도시한 바와 같이, 노즐 승강축(211)의 플랜지부(208)가 승강판(203)과 비교하여 뒤쳐져 하강하는 실린더 구동지연이 생기는 일이 있다. 그 후, 에어실린더(205)의 구동에 의해 노즐 승강축(211)의 플랜지부(208)가 승강판(203)에 따라붙어서 접촉하는데, 이 접촉의 경우의 충격이 노즐 승강축(211)에 전달되어, 노즐 승강축(211)의 하단의 노즐(210)에 흡착된 부품이 위치 어긋남을 일으킨다거나 부품낙하가 일어날 가능성이 있다.

또한, 도 17에 도시한 바와 같이, 전 노즐을 선택하여 전 노즐 승강축(211)을 승강시켜서 노즐 승강축(211)의 상사점 위치를 조정하는 경우, 전 노즐승강축(211)을 상승기키기 위해서는 모든 실린더의 작동력을 이겨서 모터에 의해 승강판(203)을 거쳐서 모든 노즐 승강축(211)을 상승시켜야 하므로, 모터의 오버로드가 생기게 된다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기 문제를 해결하는 것으로서, 노즐 승강축에 충격이 발생하지 않고 노즐에 흡착된 부품에 위치 어긋남이나 부품낙하를 일으키지 않음과 동시에 최적의 노즐의 승강 스트로크를 설정함으로써 택트 타임(tact time)단축을 도모할 수 있는 부품흡착노즐 승강장치를 제공하는데 있다.

본 발명은 부품실장 등에 있어서 부품을 흡착, 유지하는 흡착노즐을 선택적으로 승강시킴과 동시에 노즐의 상사점 위치를 변경할 수 있는 부품흡착노즐 승강장치에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 부품흡착노즐 승강장치를 구비한 부품실장장치의 사시도이며,

도 2는 도 1의 부품흡착노즐 승강장치의 사시도이며,

도 3은 도 1의 부품흡착노즐 승강장치의 일부 단면 설명도이며,

도 4A, 도 4B, 도 4C는 각기 도 1의 부품흡착노즐 승강장치의 레벨 1, 레벨 2, 레벨 3의 상태에서의 일부 단면 설명도이며,

도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 부품흡착노즐 승강장치의 일부 단면 설명도이며,

도 6A, 도 6B, 도 6C, 도 6D, 도 6E, 도 6F, 도 6G는 각기 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 제1노즐에서의 노즐높이 전환동작을 설명하기 위한 일부 단면 설명도이며,

도 7A, 도 7B, 도 7C, 도 7D, 도 7E, 도 7F, 도 7G는 각기 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 제2노즐에서의 노즐높이 전환동작을 설명하기 위한 일부 단면 설명도이며,

도 8A, 도 8B, 도 8C, 도 8D, 도 8E, 도 8F는 각기 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 제1노즐에서의 노즐 전환동작을 설명하기 위한 일부 단면 설명도이며,

도 9A, 도 9B, 도 9C, 도 9D, 도 9E, 도 9F는 각기 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 제2노즐에서의 노즐 전환동작을 설명하기 위한 일부 단면 설명도이며,

도 10은 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 노즐높이 전환동작의 일례를 행하는 제어부분의 블록도이며,

도 11은 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 노즐높이 전환동작의 다른 예를 행하는 제어부분의 블록도이며,

도 12는 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 노즐높이 전환동작의 일례의 플로우차트이며,

도 13은 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 노즐높이 전환동작의 다른 예에 관한 플로우차트이며,

도 14는 종래의 부품흡착노즐 승강장치의 원점상태에서의 일부 단면 개략도이며,

도 15는 도 14의 종래의 부품흡착노즐 승강장치의 하나의 노즐 선택상태에서의 일부 단면 개략도이며,

도 16은 도 14의 종래의 부품흡착노즐 승강장치의 하나의 노즐 선택상태와 실린더 구동지연상태에서의 일부 단면 개략도이며,

도 17은 도 14의 종래의 부품흡착노즐 승강장치의 전 노즐 선택상태에서 모터의 오버로드상태의 일부 단면 개략도이며,

도 18A, 도 18B는 각기 제1 또는 제2상사점 변경실린더의 피스톤로드의 결합부와 노즐 승강축의 하부의 회전조인트(joint)와의 결합동작 및 결합해제동작을 설명하기 위한 설명도이다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 이하와 같이 구성하고 있다.

본 발명의 제1특징에 의하면, 부품을 흡착 유지하는 흡착노즐을 각 하단에 지지하고 또한 평상시는 위 방향으로 가압되는 복수의 노즐 승강축과,

상기 복수의 노즐 승강축에 대응해서 배치된 복수의 노즐 선택용 액츄에이터로서 상기 복수의 노즐 중 하강시켜야 할 하나의 흡착노즐이 선택된 경우, 이 선택된 흡착노즐을 갖는 선택된 상기 노즐 승강축에 대응하는 실린더를 상기 실린더가 선택된 상기 노즐 승강축에 접촉하지 않는 범위에서 상기 노즐 승강축쪽으로 하강시키는 노즐 선택용 액츄에이터와,

상기 모든 노즐 선택용 액츄에이터를 일제히 하강시켜서 상기 노즐 선택용 액츄에이터로부터 선택적으로 하강시킨 상기 실린더에 의해 상기 선택된 노즐 승강축에 맞닿게 하여 상기 노즐 승강축을 하강시키는 승강용 회전구동장치와,

상기 노즐 승강축의 상사점의 위치를 변경시키는 상사점 변경장치를 구비한부품흡착노즐 승강장치를 제공한다.

본 발명의 제2특징에 의하면, 상기 모든 노즐 선택용 액츄에이터가 고정됨과 함께 상기 승강용 회전구동장치의 회전축에 연결된 나사축에 나사결합하고 또한 상기 나사축의 정역회전에 의해 승강하는 승강부재를 추가로 구비하며, 상기 나사축의 정역회전에 의해, 상기 승강부재가 일제히 하강함으로써 상기 모든 노즐 선택용 액츄에이터를 승강시키도록 한 제1특징에 기재의 부품흡착노즐 승강장치를 제공한다.

본 발명의 제3특징에 의하면, 상기 승강부재는 상기 각 노즐 승강축의 상단부가 관통가능한 관통구멍 또는 절개부를 가지며, 상기 복수의 노즐 중 하강시켜야 할 하나의 흡착노즐이 선택된 경우, 상기 노즐 승강축의 상단부는 상기 관통구멍 또는 절개부보다 상방으로 돌출하지 않는 범위에서 상기 관통구멍 또는 절개부내에 위치함과 함께 상기 노즐 선택용 액츄에이터의 상기 실린더의 하단이 상기 관통구멍 또는 절개부의 가장자리에 맞닿기까지 하강되며, 상기 실린더의 하단과 상기 노즐 승강축의 상단부와의 사이에 간격이 상기 관통구멍 또는 절개부내에 형성되며, 상기 승강용 회전구동장치의 회전구동에 의해 상기 승강부재가 하강하면, 상기 실린더의 하단과 상기 노즐 승강축의 상단부가 맞닿아서 상기 실린더의 하단에 의해 상기 노즐 승강축이 하강하게 되는 제2특징에 기재의 부품흡착노즐 승강장치를 제공한다.

본 발명의 제4특징에 의하면, 상기 노즐 승강축의 상단부에는 상기 실린더의 하단이 맞닿고 또한 밀어내릴 수 있는 평판부가 고정되어 있으며, 상기 복수의 노즐 중 하강시켜야 할 하나의 흡착노즐이 선택되어 상기 실린더의 하단이 하강하면, 상기 실린더의 하단과 상기 노즐 승강축의 상단부의 상기 평판부와의 사이에는 간격이 형성되어 상기 승강용 회전구동장치의 회전구동에 의해 상기 승강부재가 하강하면, 상기 실린더의 하단과 상기 노즐 승강축의 상단부의 상기 평판부가 맞닿아서 상기 실린더의 하단에 의해 상기 노즐 승강축이 하강하게 되는 제2특징에 기재의 부품흡착노즐 승강장치를 제공한다.

본 발명의 제5특징에 의하면, 상기 상사점 변경장치는 상기 노즐 승강축에 결합하는 결합부를 피스톤로드(piston rod)에 가지는 상사점 변경실린더로 구성되어 상기 상사점 변경실린더가 구동되어 상기 피스톤로드의 상기 결합부가 상기 노즐 승강축에 결합하는 경우의 상기 노즐 승강축의 상사점이, 상기 상사점 변경실린더의 상기 피스톤로드의 상기 결합부가 상기 노즐 승강축에 결합하지 않는 경우의 상기 노즐 승강축의 상사점 보다도 하방으로 위치하는 제1∼제4특징 중 어느 하나의 특징에 기재의 부품흡착노즐 승강장치를 제공한다.

본 발명의 제6특징에 의하면, 상기 상사점 변경장치는 제1상사점 변경용 액츄에이터와 제2상사점 변경용 액츄에이터로 구성되며, 각 상사점 변경용 액츄에이터의 피스톤로드에 상기 노즐 승강축에 결합하는 결합부를 구비하여, 상기 제1상사점 변경용 액츄에이터의 상기 피스톤로드의 상기 결합부가 상기 노즐 승강축에 결합하지 않는 경우의 상기 노즐 승강축의 상사점, 상기 제1상사점 변경용 액츄에이터의 상기 피스톤로드의 상기 결합부가 상기 노즐 승강축에 결합하는 경우의 상기 노즐 승강축의 상사점, 상기 제2상사점 변경용 액츄에이터의 상기 피스톤로드의 상기 결합부가 상기 노즐 승강축에 결합하는 경우의 상기 노즐 승강축의 상사점의 순서로 상기 노즐 승강축의 상사점이 하방으로 위치하는 제1∼제4특징 중 어느 하나의 특징에 기재의 부품흡착노즐 승강장치를 제공한다.

본 발명의 제7특징에 의하면, 상기 노즐 선택용 액츄에이터는 노즐 선택 실린더이며, 상기 승강용 회전구동장치는 승강구동모터이며, 상기 나사축은 볼나사축인 제1∼제5특징 중 어느 하나의 특징에 기재의 부품흡착노즐 승강장치를 제공한다.

본 발명의 제8특징에 의하면, 상기 부품흡착노즐 승강장치의 상기 흡착노즐에 의해 흡착되는 부품을 수납하는 부품공급부와,

제1∼제7특징 중 어느 하나의 특징에 기재의 부품흡착노즐 승강장치를 갖는 헤드를 이동시키는 헤드구동장치와,

상기 부품흡착노즐 승강장치의 상기 흡착노즐에 의해 흡착된 부품을 실장하는 기판을 유지하는 기판 반송유지장치를 구비하며,

상기 헤드구동장치의 구동에 의해 상기 헤드를 상기 부품공급부로 이동시켜서 상기 부품흡착노즐 승강장치에 의해 선택된 하나의 상기 흡착노즐을 하강시켜서 상기 부품공급부로부터 상기 부품을 흡착시킨 후 상기 헤드구동장치의 구동에 의해 상기 헤드를 상기 부품공급부로부터 상기 기판으로 이동시켜 상기 부품흡착노즐을 하강시켜서 상기 부품을 상기 기판에 실장하는 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 이들 목적과 기타의 특징은 첨부한 도면에 따른 바람직한 실시형태와 관련한 다음의 기술로부터 명확하게 된다.

본 발명의 기술을 계속하기 전에 첨부도면에 있어서 같은 부품에 대해서는같은 참조번호를 붙이고 있다.

이하 도면을 참조하면서 본 발명의 제1실시형태를 상세히 설명한다.

본 발명의 일실시형태에 관한 부품흡착노즐 승강장치(41)를 구비한 부품실장장치의 전체 개략 사시도를 도 1에 도시한다.

도 1에 있어서, 1은 기판의 일례로서의 전자회로기판(2-0)(위치에 관계없이 기판을 가리키는 경우에는 참조번호 2로 도시, 특정 위치의 기판은 참조번호 2-0, 2-1, 2-2, 2-3과 같이 도시)을 반입하는 로더(loader), 11은 전자회로기판(2-3)을 반출하는 언로더(unloader)이다. 3은 로더(1)로부터 반송되는 전자회로기판(2-1)을 반송유지하는 한쌍의 서포트레일(support rail)부를 구비한 제1기판 반송유지장치(앞쪽 기판 반송유지장치), 4는 전자부품을 흡착유지하는 부품흡착노즐(70)을 교환할 수 있게 복수개, 예를 들면 10개 장착한 작업헤드, 5는 작업헤드(4)를 부품실장 작업영역내의 직교하는 2방향인 XY방향의 소정의 위치에 위치결정하는 XY로봇, 7은 부품실장 작업영역에 있어서, 부품공급부(8A)의 근방에 배치되며, 또한 복수 종류의 전자부품에 적합한 복수 종류의 노즐(70)을 수납해서 필요에 따라서 작업헤드(4)에 장착된 노즐(70)과 교환하는 노즐 스테이션이다. 8A, 8B는 부품실장 작업영역의 작업자 자신에게 가까운쪽, 즉, 작업자에 대해 앞쪽의 단부에 각각 배치되며, 또한 상기 기판(2-1)에 실장해야 할 부품을 테이프형상으로 수납유지된 테이핑 부품을 수납하는 부품공급부, 8C는 부품공급부(8B)의 근방에 배치되며, 또한 상기 기판(2-1)에 실장해야 할 부품을 트레이형상으로 수납유지된 트레이부품을 수납하는 부품공급부, 9는 부품공급부(8A)의 근방의 부품실장 작업영역 중앙에 가까운쪽에 배치되며, 또한 작업헤드(4)의 노즐(70)이 흡착한 전자부품의 흡착자세를 촬상하는 인식 카메라이다.

한편, 13은 제1기판 반송유지장치(3)로부터 반송되는 전자회로기판(2-1)을 반송유지하는 한쌍의 서포트레일부를 구비하는 제2기판 반송유지장치(뒤쪽 기판 반송유지장치), 14는 전자부품을 흡착유지하는 부품흡착노즐(70)을 교환할 수 있게 복수개, 예를 들면 10개 장착한 작업헤드, 15는 작업헤드(14)를 부품실장 작업영역내의 직교하는 2방향인 XY방향의 소정위치에 위치결정하는 XY로봇, 17은 부품공급부(18A)의 근방에 배치되며 또한 복수 종류의 전자부품에 적합한 복수 종류의 노즐(70)을 수납해서 필요에 따라서 작업헤드(14)에 장착된 노즐(70)과 교환하는 노즐 스테이션이다. 18A, 18B는 부품실장 작업영역의 작업자 자신에게 먼쪽, 즉, 작업자에 대해 뒤쪽의 단부에 각각 배치되며, 또한 상기 기판(2-2)에 실장해야 할 부품을 테이프형상으로 수납유지된 테이핑 부품을 수납하는 부품공급부, 18C는 부품공급부(18B)의 근방에 배치되며, 또한 상기 기판(2)에 실장해야 할 부품을 트레이형상으로 수납유지한 트레이부품을 수납하는 부품공급부, 19는 부품공급부(18A)의 근방의 부품실장 작업영역 중앙에 가까운쪽에 배치되며, 또한 작업헤드(14)의 노즐(70)이 흡착한 전자부품의 흡착자세를 촬상하는 인식 카메라이다.

상기 XY로봇(5,15)은 이하와 같이, 구성되어 있다. XY로봇장치(6)의 2개의 Y축 구동부(6a, 6a)가 실장장치 기부(16)상의 부품실장 작업영역(200)의 기판 반송방향의 전후 단부 가장자리에 고정배치되며, 이들 2개의 Y축 구동부(6a, 6a)에 걸쳐서 2개의 X축 구동부(6b, 6c)가 Y방향으로 독립적으로 이동할 수 있게 또한 충돌을 회피할 수 있게 배치되며, 더불어 X축 구동부(6b)에는 부품실장 작업영역내의 앞쪽 절반부의 실장영역내를 이동하는 작업헤드(4)가 X축 방향으로 이동할 수 있게 배치됨과 동시에, X축 구동부(6c)에는 부품실장 작업영역내의 뒤쪽 절반부의 실장작업내를 이동하는 작업헤드(14)가 X축 방향으로 이동할 수 있게 배치되어 있다. 따라서, 상기 XY로봇(5)은 실장장치 기부(16)에 고정된 2개의 Y축 구동부(6a, 6a)와, Y축 구동부(6a, 6a)상에서 Y축 방향으로 이동할 수 있는 X축 구동부(6b)와, X축 구동부(6b)에서 X축 방향으로 이동할 수 있는 작업헤드(4)로 구성된다. 또한, XY로봇(15)은 실장장치 기부(16)에 고정된 2개의 Y축 구동부(6a, 6a)와, Y축 구동부(6a, 6a)상에서 Y축 방향으로 이동할 수 있는 X축 구동부(6c)와, X축 구동부(6c)에서 X축 방향으로 이동할 수 있는 작업헤드(14)로 구성된다. 따라서, 작업헤드(4, 14)는 독립해서 XY방향으로 이동할 수 있다.

다음으로, 도 2, 도 3은 각 작업헤드(4, 14)내에 배치되는 부품흡착노즐 승강장치(41)의 사시도이다. 각 부품흡착노즐 승강장치(41)는 복수의, 예를 들면 10개의 노즐 승강축(55)과, 노즐 승강축(55)과 동수의 노즐 선택용 액츄에이터의 일례로서의 노즐 선택 실린더(예로서는, 에어실린더 또는 전자 솔레노이드 등)(45)와, 승강용 회전구동장치의 일례로서 1개의 승강구동모터(56)와, 상사점 변경장치의 일례로서 적어도 하나의 상사점 변경용 액츄에이터, 이 실시형태에서는 2개의 상사점 변경용 액츄에이터의 일례로서 상사점 전환용 제1 및 제2의 상사점 변경실린더(일례로서 액츄에이터)(61, 62)로 대략 구성되어 있다.

상기 복수의 노즐 승강축(55)은 부품을 흡착유지하는 흡착노즐(70)을 각 노즐 승강축(55)의 하단에 회전조인트(69)를 거쳐서 지지하며, 또한 평상시는 노즐 승강축(55)에 설치된 평판부(55a)에 스프링이 맞닿아서 위방향으로 스프링(65)에 의해 가압되어 있다. 각 노즐 승강축(55)은 그 상하방향의 승강동작이 작업헤드(4, 14)의 지지판(42)에 고정된 안내부재(59)에 의해 안내되도록 되어 있다. 또 각 노즐 승강축(55)의 상단위치는 구체적으로는 도시하지 않았지만 안내부재(59)에 설치된 걸림돌기에 의해 각 노즐 승강축(55)이 걸려 고정되어 소정의 상단위치 이상으로 상방으로 돌출하지 않도록 규제되어 있다.

상기 노즐 선택 실린더(45)(위치에 관계없이 노즐 선택 실린더를 가리키는 경우에는 참조번호 45로 도시하며, 제1∼제10번째의 노즐 선택 실린더는 각기 참조번호 45-1, 45-2, 45-3, 45-4, 45-5, 45-6, 45-7, 45-8, 45-9, 45-10과 같이 도시)는 작업헤드(4, 14)의 지지판(42)에 대해서 승강하는 승강부재(58)에 상기 복수의 노즐 승강축(55)의 각각에 대응해서 고정되며, 상기 복수의 노즐(70) 중 하강시켜야 할 하나의 흡착노즐(70)이 선택되면, 이 선택된 흡착노즐(70)을 구비하는 선택된 상기 노즐 승강축(55)에 대응하는 상기 노즐 선택 실린더(45)의 피스톤로드(46)를 상기 피스톤로드(46)가 선택된 상기 노즐 승강축(55)에 접촉하지 않는 범위에서 상기 노즐 승강축(55)의 상단부로 향해서 하강시키도록 하고 있다. 예를 들면, 도 2에서는 제8번째의 노즐(70)에 대응하는 상기 노즐 선택 실린더(45-8)의 피스톤로드(46-8)가 하단위치까지 하강하고 있는 상태를 도시하고 있다. 각 피스톤로드(46)는 역 T자 형상의 측면을 갖도록 그 하단에 원판이 고정되어 있으며, 후술하는 바와 같이 노즐 승강축(55)을 밀어내리기 쉽게 되어 있다.

승강부재(58)는 작업헤드(4, 14)의 지지판(42)에 대해서 승강가능하게 지지되어 있다. 즉, 지지판(42)에는 2개의 평행한 직선 가이드부재(43, 43)가 설치되어 있으며, 상기 승강부재(58)의 이면에 설치된 상하 2개씩의 슬라이드(44)가 각 직선 가이드부재(43)를 따라서 승강함으로써 상기 승강부재(58)의 승강동작이 안내되도록 하고 있다. 더욱이, 상기 승강부재(58)는 각 노즐 승강축의 상단부가 관통할 수 있는 관통구멍 또는 절개부(도 2에서는 절개부로서 도시)(58a)를 가지며, 상기 복수의 노즐(70) 중 하강시켜야 할 하나의 흡착노즐(70)이 선택되면, 상기 노즐 승강축(55)의 상단부는 상기 절개부(58a) 보다 상방으로 돌출하지 않는 범위에서 상기 절개부(58a)내에 위치함과 동시에 상기 노즐 선택 실린더(45)의 상기 피스톤로드(46)의 하단이 상기 절개부(58a)의 가장자리의 승강부재(58)에 맞닿기까지 하강되며, 상기 피스톤로드(46)의 하단과 상기 노즐 승강축(55)의 상단부와의 사이에 간격 A가 상기 절개부(58a)내에서 형성되며, 상기 승강구동모터(56)의 회전구동에 의해 상기 승강부재(58)가 하강하면, 상기 절개부(58a)로부터 상기 노즐 승강축(55)의 상단부가 돌출함으로써 상기 피스톤로드(46)의 하단과 상기 노즐 승강축(55)의 상단부가 맞닿아서 상기 피스톤로드(46)의 하단에 의해 상기 노즐 승강축(55)이 하강된다.

상기 승강구동모터(56)는 작업헤드(4, 14)의 지지판(42)에 대해서 브라켓(60)으로 고정되어 있다. 상기 승강구동모터(56)의 회전축에는 나사축의 일례로서 볼나사축(57)이 연결되어 있으며, 볼나사축(57)은 승강부재(58)의 너트(49)에 나사결합되어 있다. 따라서, 상기 볼나사축(57)의 정역회전에 의해승강부재(58)가 승강함으로써 상기 모든 노즐 선택 실린더(45)를 일체적으로 동시에 승강시키도록 하고 있다. 따라서, 상기 모든 노즐 선택 실린더(45)를 일체적으로 동시에 하강하게 되면, 상기 노즐 선택 실린더(45)로부터 선택적으로 하강된 상기 피스톤로드(46)도 하강함으로써 상기 피스톤로드(46)가 상기 선택된 노즐 승강축(55)에 맞닿아서 상기 노즐 승강축(55)을 하강시키도록 하고 있다.

상기 제1상사점 변경실린더(62)와 상기 제2상사점 변경실린더(61)는 상기 각 노즐 승강축(55)의 상사점의 위치를 변경시키는 것으로서, 각 상사점 변경실린더(62, 61)의 피스톤로드의 선단에 상기 노즐 승강축(55)의 회전조인트(69)의 상단부와 결합하는 결합부(64, 63)를 갖고 있다. 상기 제1상사점 변경실린더(62)는 제2상사점 변경실린더(61) 보다도 하방으로 위치하도록 각각 작업헤드(4, 14)의 지지판(42)에 고정되어 있다.

상기 제1상사점 변경실린더(62)의 상기 피스톤로드의 상기 결합부(64)는 각 노즐 승강축(55)의 하부의 회전조인트(69)의 외경치수 보다도 큰 내경치수를 갖는 회전조인트(69)가 관통하여 비결합되는 비결합 관통구멍부(64a)와, 회전조인트(69)의 외경치수 보다도 작은 내경치수를 갖는 회전조인트(69)가 결합하는 결합 관통구멍부(64b)를 교대로 형성한 판체로 구성되어 있다(도 18A, 18B 참조). 따라서, 상기 제1상사점 변경실린더(62)의 상기 피스톤로드(62a)의 횡방향의 이동에 의해 모든 노즐 승강축(55)의 하부의 회전 조인트(69)에 대해서 비결합되는 비결합 관통구멍부(64a)와 결합하는 결합 관통구멍부(64b)가 선택적으로 위치함으로써 모든 노즐 승강축(55)에 대한 결합해제동작 또는 결합동작을 일제히 행하도록 되어 있다(도18A, 18B 참조).

상기 제2상사점 변경실린더(61)의 상기 피스톤로드(61a)의 상기 결합부(63)는 각 노즐 승강축(55)의 하부의 회전조인트(69)의 외경치수 보다도 큰 내경치수를 갖는 회전조인트(69)가 관통하여 비결합되는 비결합 관통구멍부(63a)와, 회전조인트(69)의 외경치수 보다도 작은 내경치수를 갖는 회전조인트(69)가 결합하는 결합 관통구멍부(63b)를 교대로 형성한 판체로 구성되어 있다(도 18A, 18B 참조). 따라서, 상기 제2상사점 변경실린더(61)의 상기 피스톤로드의 횡방향의 이동에 의해 모든 노즐 승강축(55)의 하부의 회전조인트(69)에 대해서 비결합되는 비결합 관통구멍부(63a)와 결합하는 결합 관통구멍부(63b)가 선택적으로 위치함으로써 모든 노즐 승강축(55)에 대한 결합해제동작 또는 결합동작을 일제히 행하도록 되어 있다(도 18A, 18B 참조).

또한, 도 3 및 도4A∼도 4C에서는 결합동작과 비결합동작이 명확히 이해될 수 있도록 상기 각 결합부(64, 63)는 관통구멍이 아닌 절개구멍으로서, 결합시에는 노즐 승강축(55)의 회전조인트(69)의 상단에 결합부(64, 63)가 맞닿아서 상사점을 규제하는 한편, 비결합시에는 노즐 승강축(55)으로부터 빠져 나와서 대비할 수 있도록 도시했는데, 결합동작과 비결합동작 면에 있어서는 상기 비결합 관통구멍부(63a)와 결합 관통구멍부(63b) 모두 동일하다.

도 4A, 도 4B, 도 4C는 각각 도 1의 부품흡착노즐 승강장치의 노즐(70)이 실장위치(흡착위치이며 또한 부품인식위치이다) L0 보다 예를 들면 13 mm 만큼 위의 최하단위치 L1(이하, 「레벨 1」이라 하는 경우도 있음), 실장위치 L0 보다 예를들면 27 mm 만큼 위의 중간위치 L2(이하, 「레벨 2」라 하는 경우도 있음), 실장위치 L0 보다도 예를 들면 40 mm 만큼 위의 최상단위치 L3(이하, 「레벨 3」이라 하는 경우도 있음)의 상태에서의 일부 단면 설명도이다. 즉, 레벨 1에서는 상기 제1상사점 변경실린더(62)의 결합부(64)에 노즐 승강축(55)의 하부의 회전조인트(69)가 결합하고 있으며, 제2상사점 변경실린더(61)는 퇴피위치에 위치하고 있으며, 비결합상태로 되어 있다. 레벨 2에서는 상기 제2상사점 변경실린더(61)의 결합부(63)에 노즐 승강축(55)의 하부의 회전조인트(69)가 결합되어 있으며, 제1상사점 변경실린더(62)는 퇴피위치에 위치하고 있으며, 비결합상태로 되고 있다. 레벨 3에서는 상기 제1 및 제2상사점 변경실린더(62, 61)의 결합부(64, 63)는 결합되지 않고, 안내부재(59)에 노즐 승강축(55)의 하부의 회전조인트(69)가 결합하고 있으며, 제1상사점 변경실린더(62) 및 제2상사점 변경실린더(61)는 퇴피위치에 위치하고 있으며, 비결합상태로 되고 있다. 어느 것의 경우에 있어서도, 노즐 승강축(55)의 높이변경에 대응해서 승강구동모터(56)의 회전축이 소정량 회전되어 승강부재(58)의 위치도 변경되어 있으며, 어느 것의 레벨에 있어서도 상기 피스톤로드(46)의 하단과 상기 노즐 승강축(55)의 상단부의 사이에 간격(치수 A: 예를 들면, 0.2 mm 정도)이 형성되도록 하고 있다.

도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 부품흡착노즐 승강장치의 일부 단면 설명도이다. 기본적인 구성은 도 3 및 도 4A∼도 4C와 같지만, 노즐의 높이 전환동작 및 노즐 전환동작을 설명하기 위해 보다 간단한 구성으로 한 것이다. 즉, 노즐 선택 실린더(45)의 피스톤로드(46)의 하단이 노즐 승강축(55)의 상단부에 고정된평판부(55a)에 맞닿을 수 있게 되어 있으며, 상기 피스톤로드(46)의 하단에 의해 평판부(55a)가 맞닿기 쉽고 또한 밀어내리기 쉽게 하고 있다.

또, 도 2에 있어서, 50은 노즐 승강축(55)을 그 축 주위의 θ방향으로 회전시켜서 노즐(70)에 흡착한 부품의 자세를 조정하기 위한 θ회전구동용 모터, 52는 θ회전구동용 모터(50)의 회전축에 고정된 기어, 53은 노즐 승강축(55)의 중간부에 고정된 θ회전용 기어, 51은 각 노즐 승강축(55)의 θ회전용 기어(53) 및 θ회전구동용 모터(50)의 기어(52)에 맞물리는 양면 이빨(兩面齒)부착 벨트이다. 따라서, θ회전구동용 모터(50)가 회전구동되면, 모든 노즐 승강축(55)의 θ회전용 기어(53)가 양면 이빨부착 벨트(51)에 의해 회전되어서 노즐(70)에 흡착한 부품의 자세를 조정하도록 되어 있다.

다음에 도 5의 부품흡착노즐 승강장치에 있어서 노즐높이 전환동작에 대해서 설명한다.

도 6A, 도 6B, 도 6C, 도 6D, 도 6E, 도 6F, 도 6G는 각기 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 제1노즐(70)에서의 노즐높이 전환동작을 설명하기 위한 일부 단면 설명도이다. 도 7A, 도 7B, 도 7C, 도 7D, 도 7E, 도 7F, 도 7G는 각기 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 제2노즐에서의 노즐높이 전환동작을 설명하기 위한 일부 단면 설명도이다. 제1노즐(70) 및 제2노즐(70)은 도 6A 및 도 7A에서는 레벨 1에 위치하고 있던 것이 도 6F 및 도 7F에서는 레벨 2로 변경되는 상태를 나타내고 있다.

도 6A 및 도 7A는 전 공정이 완료한 상태를 도시하고 있다. 이 경우, 승강구동모터(56)의 구동에 의해 승강부재(58)를 현재의 레벨로부터 소정높이 A 만큼 높은 위치까지 상승시킨다. 또한, 이 경우, 노즐 승강축(55)은 모두 정지한 채로 승강동작은 하지 않는다. 또, 도 6A 및 도 7A에서는 제1노즐(70)이 선택된 상태로 되어 있으며, 제1노즐(70)에 대응하는 노즐 선택 실린더(45-1)가 온으로 되어 그 피스톤로드(46)가 하단위치까지 하강하고 있는 한편, 제2노즐(70)에 대응하는 노즐 선택 실린더(45-2)는 오프로 되어 있기 때문에 피스톤로드(46)는 상단위치에 위치한 그대로이다.

이어서, 도 6B 및 도 7B에 도시한 바와 같이, 모든 노즐 선택 실린더(45)(45-1∼45-10)를 온해서 모든 피스톤로드(46)를 각 하단위치까지 하강시킨다.

다음으로, 도 6C 및 도 7C에 도시한 바와 같이, 승강구동모터(56)의 구동에 의해, 승강부재(58)가 하강을 개시하고, 이어서 승강부재(58)와 함께 하강한 모든 노즐 선택 실린더(45)의 모든 피스톤로드(46)의 하단이 모든 노즐 승강축(55)의 상단에 맞닿아서 모든 노즐 승강축(55)이 하강을 개시한다. 이 경우, 모든 노즐 승강축(55)이 현재의 레벨 또는 변경할 레벨 중 낮은 쪽의 레벨에 대해서 소정높이 A 만큼 더욱 낮은 높이의 위치에 위치하기까지 승강부재(58)가 하강한다. 즉, 예를 들면, 케이스(case) 1로서 현재의 레벨이 최상단 위치의 레벨 3이며, 중간위치인 레벨 2로 변경할 경우에는 레벨 3과 레벨 2의 높이의 차 △H + 소정높이 A의 거리만큼 모든 노즐 승강축(55)이 하강하도록 승강부재(58)가 하강한다. 또한, 케이스 2로서, 현재의 레벨이 최상단 위치의 레벨 3이며, 중간위치인 레벨 1로 변경하는 경우에는, 레벨 3과 레벨 1의 높이의 차 △H + 소정높이 A의 거리만큼 모든 노즐승강축(55)이 하강하도록 승강부재(58)가 하강한다. 또한, 케이스 3으로서, 현재의 레벨이 중간위치의 레벨 2이며, 최하단 위치인 레벨 1로 변경하는 경우에는 레벨 2와 레벨 1의 높이의 차 △H + 소정높이 A의 거리만큼 모든 노즐 승강축(55)이 하강하도록 승강부재(58)가 하강한다. 또한, 케이스 4(도 6C 및 도 7C에 상당)로서, 현재의 레벨이 최하단 위치의 레벨 1이며, 중간위치인 레벨 2로 변경하는 경우에는 현재의 레벨 1의 쪽이 레벨 2 보다도 낮기 때문에, 간단히 소정높이 A의 거리만큼 모든 노즐 승강축(55)이 하강하도록 승강부재(58)가 하강한다. 또한, 케이스 5로서, 현재의 레벨이 최하단 위치의 레벨 1이며, 중간위치인 레벨 3으로 변경하는 경우에는 현재의 레벨 1의 쪽이 레벨 3 보다도 낮기 때문에, 간단히 소정높이 A의 거리만큼 모든 노즐 승강축(55)이 하강하도록 승강부재(58)가 하강한다.

이어서, 도 6D 및 도 7D 그리고 도 6E 및 도 7E에 도시한 바와 같이, 상사점 레벨변경을 행한다. 즉, 변경하려는 상사점의 레벨에 대응해서 상사점 레벨전환용 제1실린더(62) 및 상사점 레벨전환용 제2실린더(61), 또는 이들 중 한쪽의 실린더를 온 또는 오프해서 상사점 레벨을 전환한다. 즉, 상기 케이스 1(레벨 3→레벨 2)에 있어서는, 상사점 레벨전환용 제1실린더(62)를 오프한 채로 상사점 레벨전환용 제2실린더(61)를 오프에서 온으로 한다. 상기 케이스 2(레벨 3→레벨 1)에 있어서는, 상사점 레벨전환용 제2실린더(61)를 오프한 채로 상사점 레벨전환용 제1실린더(62)를 오프에서 온으로 한다. 상기 케이스 3(레벨 2→레벨 1)에 있어서는, 상사점 레벨전환용 제2실린더(61)를 온에서 오프로 함과 동시에 상사점 레벨전환용 제1실린더(62)를 오프에서 온으로 한다. 상기 케이스 4(레벨 1→레벨 2)(도6C∼도 6E 및 도 7C∼도 7E에 상당)에 있어서는, 상사점 레벨전환용 제1실린더(62)를 온에서 오프로 함과 동시에 상사점 레벨전환용 제2실린더(61)를 오프에서 온으로 한다. 상기 케이스 5(레벨 1→레벨 3)에 있어서는, 상사점 레벨전환용 제1실린더(62)를 온에서 오프로 함과 동시에 상사점 레벨전환용 제1실린더(62)는 오프한 채로 유지한다.

이어서, 도 6F 및 도 7F에 도시한 바와 같이, 승강구동모터(56)의 구동에 의해, 승강부재(58)를 상승시켜서 모든 노즐 선택 승강축(55)을 스프링(65)의 가압력에 의해 상기 전환된 상사점 레벨까지 상승시킴과 동시에 승강부재(58)는 상사점 레벨로 더욱 소정높이 A를 가한 높이의 위치까지 상승시킨다. 그 결과, 소정높이 A에 상당하는 치수의 간격 A가 모든 피스톤로드(46)의 하단과 모든 노즐 승강축(55)의 상단부와의 사이에 형성되게 된다.

이어서, 도 6G 및 도 7G에 도시한 바와 같이, 모든 노즐 선택 실린더(45)를 오프해서 모든 피스톤로드(46)를 그들의 상단위치까지 상승시킨다. 이것으로 일련의 노즐높이 전환동작이 종료한다. 또한, 도 6G 및 도 7G에서는, 제2노즐(70)이 선택된 상태로 되어 있으며, 제2노즐(70)에 대응하는 노즐 선택 실린더(45-2)가 온으로 되며, 그 피스톤로드(46)가 하단위치까지 하강하는 한편, 제1노즐(70)에 대응하는 노즐 선택 실린더(45-1)는 오프되어 있기 때문에 피스톤로드(46)는 상단위치에 위치한 채로 유지된다.

다음으로, 소망의 레벨로 전환된 10개의 노즐(70) 중 하나의 노즐(70)을 선택해서 부품흡착 및 실장동작을 행하는 경우에 대해서 설명한다.

도 8A, 도 8B, 도 8C, 도 8D, 도 8E, 도 8F는 각기 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 제1노즐에서의 노즐 전환동작을 설명하기 위한 일부 단면 설명도이다. 도 9A, 도 9B, 도 9C, 도 9D, 도 9E, 도 9F는 각각 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 제2노즐에서의 노즐 전환동작을 설명하기 위한 일부 단면 설명도이다. 여기서는 제1노즐(70) 및 제2노즐(70)은 레벨 2에 위치하고 있는 상태로 되어 있다.

도 8A 및 도 9A는 전 공정이 완료한 상태를 도시하고 있다. 여기서는 제1노즐(70)이 선택된 상태로 되어 있으며, 제1노즐(70)에 대응하는 노즐 선택 실린더(45-1)가 온으로 되며, 그 피스톤로드(46-1)가 하단위치까지 하강하고 있는 한편, 제2노즐(70)에 대응하는 노즐 선택 실린더(45-2)는 오프되어 있기 때문에 피스톤로드(46-2)는 상단위치에 위치한 채 유지된다.

다음으로, 도 8B 및 도 9B에 도시한 바와 같이, 노즐 선택 실린더(45-1)가 온상태인 채로 승강구동모터(56)의 구동에 의해 승강부재(58)가 하강을 개시하고, 이어서, 승강부재(58)와 함께 하강한 제1노즐 선택 실린더(45-1)의 피스톤로드(46-1)의 하단이 제1노즐(70)의 노즐 승강축(55)의 상단에 맞닿아서 이 노즐 승강축(55)만이 하강을 개시하고, 흡착위치까지 하강한다. 이어서, 작업헤드(4, 14)가 소망의 부품공급부까지 이동해서 소망의 부품을 흡착하고, 인식위치로 작업헤드(4, 14)가 이동해서 인식동작을 행하고, 이어서 기판(2)까지 이동하여 소정의 실장위치에 상기 부품을 실장한다. 상기 노즐(70)의 하강동작은 작업헤드(4, 14)의 이동 중에 행하도록 하여도 좋다.

이어서, 도 8C 및 도 9C에 도시한 바와 같이, 제1노즐(70)에 의한 부품실장작업이 종료하면, 승강구동모터(56)의 역구동에 의해 승강부재(58)가 상승을 개시하며, 제1노즐 선택 실린더(45-1)의 피스톤로드(46-1)의 하단에 의한 제1노즐(70)의 노즐 승강축(55)의 상단에의 밀어내리는 힘이 해제되면, 제1노즐(70)의 노즐 승강축(55)은 스프링(65)의 가압력에 의해 상승을 개시한다. 그리고, 제1노즐(70)의 노즐 승강축(55)이 상단위치에 위치한 후도, 또한 승강구동모터(56)의 역구동에 의해 승강부재(58)가 상승을 계속하고, 상기 피스톤로드(46-1)의 하단과 상기 노즐 승강축(55)의 상단부와의 사이에 간격(치수 A)이 형성되기까지 상승한 후 상승을 정지한다.

이어서, 도 8D 및 도 9D에 도시한 바와 같이, 노즐의 전환을 행한다. 즉, 제1노즐(70)에 대응하는 노즐 선택 실린더(45-1)를 온에서 오프로 전환함과 동시에, 다음에 사용할 제2노즐(70)에 대응하는 노즐 선택 실린더(45-2)를 오프에서 온으로 전환해서 그 피스톤로드(46-2)가 하단위치까지 하강하는 한편, 제1노즐(70)에 대응하는 노즐 선택 실린더(45-1)는 오프로 되기 때문에, 피스톤로드(46-1)는 상단위치에 위치한 채로 유지된다.

이어서, 도 8E 및 도 9E에 도시한 바와 같이, 제2노즐 선택 실린더(45-2)가 온 상태인 채로, 승강구동모터(56)의 구동에 의해, 승강부재(58)가 상승을 개시하며, 이어서 승강부재(58)와 함께 하강한 제2노즐 선택 실린더(45-2)의 피스톤로드(46-2)의 하단이 제2노즐(70)의 노즐 승강축(55)의 상단에 맞닿아서 이 노즐 승강축(55)만이 하강을 개시하고, 흡착위치까지 하강한다. 이어서, 작업헤드(4, 14)가 소망의 부품공급부까지 이동하여 소망의 부품을 흡착하고, 이어서 인식위치로 작업헤드(4, 14)가 이동해서 인식동작을 행하고, 다음으로 기판(2)까지 이동해서 소정의 실장위치에 상기 부품을 실장한다. 상기 노즐(70)의 하강동작은 작업헤드(4, 14)의 이동 중에 행하도록 해도 좋다.

이어서, 도 8F 및 도 9F에 도시한 바와 같이, 제2노즐(70)에 의한 부품실장작업이 종료하면, 승강구동모터(56)의 역구동에 의해, 승강부재(58)가 상승을 개시하고, 제2노즐 선택 실린더(45-2)의 피스톤로드(46-2)의 하단에 의한 제2노즐(70)의 노즐 승강축(55)의 상단에의 밀어내리는 힘이 해제되면, 제2노즐(70)의 노즐 승강축(55)은 스프링(65)의 가압력에 의해 상승을 개시한다. 그리고, 제2노즐(70)의 노즐 승강축(55)이 상단위치에 위치한 후도, 또한 승강구동모터(56)의 역구동에 의해 승강부재(58)가 상승을 계속하고, 상기 피스톤로드(46-2)의 하단과 상기 노즐 승강축(55)의 상단부와의 사이에 간격(치수 A)이 형성되기까지 상승한 후 상승을 정지한다.

그 후는 다음의 제3노즐(70)에 대해서도 같은 동작을 행하며, 필요에 따라서 이것을 제10노즐(70)까지 계속함으로써 10개의 노즐(70)에 의한 부품실장동작을 행할 수 있다.

여기서 통상의 부품실장동작에 대해서는 레벨 1에서 실장동작을 개시하고, 레벨 1에서 실장동작을 행할 수 있는 해당부품을 모두 장착한 후, 레벨 2, 레벨 3 순으로 이동하도록 하고 있다(후술하는 도 12의 플로우차트 참조). 이 경우, 레벨 2 또는 레벨 3으로 전환한 후, 1개의 기판실장 완료까지 레벨 1로 복귀하는 것은 아니다. 이것은 부품실장순서는 작은 부품으로부터 큰 부품의 순으로 실장하여 가는 것을 의미하고 있다. 여기서, 작은 부품으로는 면적이 작고 부품높이가 낮은 부품의 것을 나타내며, 큰 부품으로는 면적이 크고 부품높이가 높은 부품의 것을 나타낸다.

이러한 부품실장순서를 채용하는 이유로서는, 작은 부품은 일반적으로 부품사이 끼리의 간격을 작게 실장하려는, 즉, 피치를 좁혀서 실장하려는 요망이 강하다. 이것은 큰 부품(특히 부품높이가 높은)이 먼저 실장되어 있으면, 이것을 피해 실장할 필요가 있으며, 인접(隣接) 피치를 작게 할 수 없기 때문이다. QFP 등의 실장정밀도가 필요한 부품으로, 큰 면적을 갖는 큰 부품은 결국 먼저 실장되어 있으면, 이후에 각종의 부품을 실장하는 것은 기판에 실장충격을 주게 되며, 먼저 실장한 QFP 등의 실장정밀도가 필요한 부품의 정밀도에 영향을 줄 가능성이 있기 때문에 바람직하지 않다. 이상의 이유로써 기본적으로 작은 부품으로부터 실장하는 것이 일반적으로 되어 있다.

본 실시형태에 관한 상기 부품실장장치의 하나의 특징으로서, 실장 택트(tact)를 향상시키기 위해, 부품의 높이가 낮은 부품은 노즐 상승거리를 작게 해서 노즐의 상하 동작거리를 단축시킴으로써 흡착시간, 장착시간을 단축할 수 있도록 하고 있다.

따라서, 실장순번은 부품이 작은(특히, 부품높이가 낮은) 순으로 실장해가는 것이 바람직하다. 부품이 작은 순으로 실장하는 것은 상기 이유에서 설명한 바와 같이, 현상황의 일반적인 실장순서에 따른 것이다. 따라서, 본 실시형태에 관한 상기 부품실장장치에서는, 노즐높이(부품 실장시의 상승높이)를 3단계 전환방식으로서 부품높이에 따라서 노즐높이를 전환함으로써 실장 택트의 향상을 도모하도록 하고 있다.

도 10은 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 노즐높이 전환동작의 일례를 행하는 제어부분의 블록도이다. 여기서는 노즐높이 전환동작을 효율적으로 행하기 위해 미리 부품을 높이정보에 의하여 부품을 그룹화하고 또한 높이 정렬처리를 행해 두고, 그 결과로서 작성된 실장 프로그램에 기초하여 노즐번호와 부품의 높이정보를 관련시킨 실장 프로그램을 작성하고, 그 실장 프로그램에 의해서 노즐(70)의 높이레벨의 전환을 판단하고 또한 실장동작을 행할 경우에 필요한 구성을 도시하고 있다. 이 때문에, 상기 부품흡착노즐 승강장치는 대략 제1기억장치(920)와, 제2기억장치(921)와, 노즐흡착부품 그룹화처리부(922)와, 각 노즐에 대한 부품높이 정렬처리부(923)와, 노즐부품높이 배열데이터 기억장치(924)를 구비하고 있다.

상기 제1기억장치(920)에는 실장해야 할 부품의 실장순서로 데이터가 기억되어 있으며, 예를 들면, N1 장착위치(X1, Y1) 부품번호 B1, N2 장착위치(X2, Y2) 부품번호 B2, N3 장착위치(X3, Y3) 부품번호 B3와 같이, 실장순서 N1, N2, N3, ...에 대해서 XY 좌표의 장착위치와 부품의 부품번호와의 관계정보가 기억되어 있다.

상기 제2기억장치(921)에는 실장해야 할 부품의 부품데이터가 기억되어 있으며, 예를 들면, 부품번호 B1의 부품에 대해서 X방향 및 Y방향의 부품치수(XA, YA), 부품높이치수 H1, 부품본체 두께치수 HB1의 부품정보가 기억되며, 부품번호 B2의 부품에 대해서 X방향 및 Y방향의 부품치수(XB, YB), 부품높이치수 H2, 부품두께치수 HB2의 부품정보가 기억되어 있다.

상기 노즐흡착부품 그룹화처리부(922)는 이하의 동작을 행하는 것이다. 즉, 작업헤드(4, 14)에서 흡착유지할 수 있는 부품은 노즐(70)의 개수에 의존하며, 상기 10개의 노즐(70)에서는 최대 10개까지로 된다. 그러나 부품이 크기에 의해 모든 노즐(70)에서 부품을 흡착할 수는 없으며, 부품면적이 큰 부품을 흡착하는 경우에는 이 해당부품 면적이 큰 부품을 흡착한 노즐에 인접하는 노즐에서는 부품흡착은 행하지 않도록 할 필요가 있을 수 있다. 따라서, 상기 실장순서 중에서 10개의 노즐(70)을 갖는 하나의 작업헤드(4, 14)에 의해 흡착유지할 수 있는 부품수를 결정하는 처리를 노즐흡착부품 그룹화처리부(922)에서 행하도록 하고 있다.

상기 노즐에 대한 부품높이 정렬처리부(923)는 제2기억장치(921)내에 기억되어 있는 부품높이치수 정보에 의하여 노즐(70)에서 흡착할 부품의 그룹화처리를 행한다. 즉, 예를 들면, 노즐높이가 상기한 바와 같이 레벨 1∼3의 3종류로 변경할 수 있는 경우에는, 부품높이 정보에 따라서 3개의 그룹으로 구분하도록 하고 있다. 예를 들면, 높이가 낮은 부품, 즉, 레벨 1의 높이의 노즐에서 부품흡착동작을 행하는 제1부품그룹과, 높이가 중간정도의 부품, 즉, 레벨 2의 높이의 노즐에서 부품흡착동작을 행하는 제2부품그룹과, 높이가 높은 부품, 즉, 레벨 3의 높이의 노즐에서 부품흡착동작을 행하는 제3부품그룹으로 구분하도록 하고 있다.

상기 노즐부품높이 배열데이터 기억장치(924)는 각 노즐에 대한 부품높이 정렬처리부(923)에 의해 처리된 결과정보를 기억하고 있다. 이 결과, 노즐(70)의 번호와 실장해야 할 부품의 부품높이의 관계가 기억되어 있다.

도 11은 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 노즐높이 전환동작의 다른 예를 행하는 제어부분의 블록도이다. 도 10의 예에서는 미리 노즐번호와 부품을 높이 정보와 관련시킨 실장 프로그램을 작성하고 있는데, 이 예에서는 상기 제1기억장치(920)의 실장해야 할 부품의 실장순서 데이터와 상기 제2기억장치(921)의 실장해야 할 부품의 부품 데이터에 의해서, 실장장치 전체의 동작제어를 행하는 제어장치(1000)내의 연산ㆍ처리장치부(1100)에서 각 부품의 높이와 노즐의 높이레벨에 대한 관계를 판별하여 레벨전환을 행하도록 하고 있다.

이를 위해, 실장장치의 연산ㆍ처리장치부(1100)는 대략 실장순서 부품높이 데이터 판독부(1101)와 높이 판별처리부(1102), 부품높이 전환처리부(1103)를 구비하도록 구성되어 있다.

상기 실장순서 부품높이 데이터 판독부(1101)에서는 상기 실장순서 데이터와 상기 부품데이터를 판독한다.

이어서, 상기 높이 판별처리부(1102)에서 각 부품의 높이와 노즐의 높이레벨에 대한 관계를 판별한다. 예를 들면, 상기한 바와 같이 노즐(70)이 레벨 1∼3의 3단계로 전환되며, 또한 레벨 1은 제1임계치 TH1 미만의 부품에 대해서 적용하며, 레벨 2는 제1임계치 TH1 이상이며, 또한 제2임계치 TH2 미만의 부품에 적용하며, 레벨 3은 제2임계치 TH2 이상의 부품에 적용하도록 하고 있다고 가정하면, 각 부품의 높이에 의해 레벨 1∼3의 3단계 중 어느 것을 적용할지를 판단한다. 또한, 제1임계치 TH1의 일례로서는 6 mm, 제2임계치 TH2의 일례로서는 13 mm를 채용할 수 있지만, 이것에 한하지 않으며, TH1 < TH2의 조건으로 돌아가서 적의 임의의 값을 설정하도록 하면 좋다.

다음으로, 상기 부품높이 전환처리부(1103)에서는 다음에 흡착할 부품에 적용되는 노즐의 레벨과 현재의 레벨을 비교하여 노즐높이의 전환동작을 어떻게 행할지를 판단해서, 실린더ㆍ센서제어부(902) 및 모터제어부(903)에 의해 승강구동모터(56), 노즐 선택 실린더(45), 상사점 변경용 전환용 제1실린더(높이전환용 제1실린더)(62), 상사점 변경용 전환용 제2실린더(높이전환용 제2실린더)(61) 등을 구동제어하고 있다.

이어서, 각 부품의 높이에 대응해서, 노즐(70)의 레벨 1∼3의 3단계 중 어느 것을 적용할지를 판단하는 동작에 대해서 설명한다. 도 12는 이 판단동작, 즉, 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 노즐높이 전환동작의 플로우차트이다.

먼저, 실장을 개시해서 스텝(#50)에서는 노즐(70)이 원점복귀한 경우, 레벨 1의 높이로 한다.

이어서, 스텝(#51)에서는 부품높이가 제2임계치 TH2 이상인지 여부를 판단한다. 부품높이가 제2임계치 TH2 미만이라면 스텝(#52)으로 진행한다. 부품높이가 제2임계치 TH2 이상이라면 스텝(#57)으로 진행한다.

스텝(#52)에서는 부품높이가 제1임계치 TH1 이상인지 여부를 판단한다. 부품높이가 제1임계치 TH1 미만이라면 레벨 1의 노즐을 적용할 수 있기 때문에, 노즐의 높이전환동작은 불필요하며, 스텝(#53)으로 진행하고, 한편, 부품높이가 제1임계치 TH1 이상의 경우에는 스텝(#59)으로 진행한다.

스텝(#53)에서는 노즐(70)에 의한 부품흡착을 행하며, 스텝(#54)에서는 노즐(70)에 의해 흡착된 부품의 부품인식을 행하며, 스텝(#55)에서는 노즐(70)에의해 흡착된 부품의 부품장착을 행한다.

이어서, 스텝(#56)에서는 1개의 기판실장이 완료되었는가, 즉, 실장해야 할 부품이 남아있는지 여부를 판단한다. 실장해야 할 부품이 없는 경우에는 1개의 기판실장이 완료한 것으로서 스텝(#50)으로 복귀한다. 또, 경우에 따라서는 이 일련의 동작을 종료하도록 해도 좋다. 한편, 실장해야 할 부품이 있는 경우에는 스텝(#51)으로 복귀하며, 상기 동작을 반복한다.

한편, 스텝(#57)에서는 현재의 레벨이 레벨 3인지를 판단한다. 현재의 레벨이 레벨 3의 경우에는 레벨을 전환할 필요가 없기 때문에 스텝(#53)으로 진행하고, 레벨 3의 노즐에서 부품실장을 행한다. 한편, 현재의 레벨이 레벨 3이 아닌 경우에는 레벨을 전환할 필요가 있으므로 스텝(#58)으로 진행한다.

스텝(#58)에서는 현재의 레벨에서 레벨 3으로 노즐높이를 변경한다. 그 후, 스텝(#53)으로 진행하고, 레벨 3의 노즐에서 부품실장을 행한다.

스텝(#59)에서는 현재의 레벨이 레벨 2인지를 판단한다. 현재의 레벨이 레벨 2의 경우에는 레벨을 전환할 필요가 없기 때문에 스텝(#53)으로 진행하고, 레벨 2의 노즐에서 부품실장을 행한다. 한편, 현재의 레벨이 레벨 2가 아닌 경우에는 레벨을 전환할 필요가 있기 때문에 스텝(#60)으로 진행한다.

스텝(#60)에서는 현재의 레벨로부터 레벨 2로 노즐높이를 변경한다. 그 후, 스텝(#53)으로 진행하고 레벨 2의 노즐에서 부품실장을 행한다.

이와 같이 해서, 노즐높이 전환동작을 행한다. 또한, 노즐높이 전환동작에서는, 상기한 바와 같이 레벨 1에서 일단 레벨 2 또는 3으로 전환하면, 레벨 1로 복귀하는 것은 불가능하게 되어 있다. 이것은 전술한 바와 같이, 도 10에 있어서 노즐번호와 부품을 높이정보와 관련시킨 실장 프로그램을 작성한 경우에, 그 실장 프로그램에 의해서 노즐의 레벨 전환동작을 판단할 경우에 적합한 것으로 되어 있기 때문이다.

또한, 예를 들면, 도 10의 노즐부품높이 배열데이터 기억장치(924)내의 정보에 있어서는 제1임계치 TH1의 일례로서 6 mm, 제2임계치 TH2의 일례로서 13 mm를 채용한 상태에서 상기 도 12의 플로우차트에 따라서 레벨의 전환동작을 판단한 경우, 노즐(70)의 번호 No.1에서는 부품높이는 3 mm, 노즐(70)의 번호 No.2에서는 부품높이는 4 mm, 노즐(70)의 번호 No.3에서는 부품높이는 2 mm, ......, 노즐(70)의 번호 No.20에서는 부품높이는 4 mm로 되어 있기 때문에 노즐 No.1∼No.20에서는 레벨 1의 높이에서 실장동작을 행한다. 노즐(70)의 번호 No.21에서는 부품높이는 8 mm, 노즐(70)의 번호 No.22에서는 부품높이는 9 mm, ....., 노즐(70)의 번호 No.30에서는 부품높이는 7 mm로 되어 있기 때문에, 노즐 No.21∼No.30에서는 레벨 2의 높이로 실장동작을 행한다. 노즐(70)의 번호 No.31에서는 부품높이는 15 mm, .....,로 되어 있기 때문에, 노즐 No.31 이하에서는 레벨 3의 높이에서 실장동작을 행한다. 또, 여기서는 1회째의 작업헤드의 실장동작에서는 No.1∼No.10의 노즐에서 부품실장을 행하며, 2회째의 작업헤드의 실장동작에서는 No.11∼No.20의 노즐에서 부품실장을 행하며, 3회째의 작업헤드의 실장동작에서는 No.21∼No.30의 노즐에서 부품실장을 행하는 것으로 가정하고 있는데, 실제로 사용하는 노즐은, 예를 들면, No.1과 No.11과 No.21에서는 동일의 노즐, 즉, 제1노즐(70)이다.

한편, 도 13은 도 5의 부품흡착노즐 승강장치의 노즐높이 전환동작의 변형례에 관한 플로우차트이다. 기본적으로는 도 12와 같지만, 레벨 1에서 부품실장을 1회 행한 후 스텝(#56)의 후에 레벨 1을 적용할지 여부에 대해서 판단함으로써 일단 레벨 2 또는 3으로 전환한 후에도 레벨 1로 전환되도록 하고 있다. 따라서, 도 10의 구성만 아니라 도 11의 구성에도 적용할 수 있는 플로우로 되어 있다.

즉, 스텝(#61)에서는 부품높이가 제1임계치 TH1 미만인지 여부를 판단한다. 부품높이가 제1임계치 TH1 미만이 아니라면 스텝(#51)으로 진행한다. 한편, 부품높이가 제1임계치 TH1 미만의 경우에는 스텝(#62)으로 진행한다.

스텝(#62)에서는 현재의 레벨이 레벨 1인지 여부를 판단한다. 현재의 레벨이 레벨 1의 경우에는 레벨을 전환할 필요가 없기 때문에 스텝(#53)으로 진행하고, 레벨 1의 노즐에서 부품실장을 행한다. 한편, 현재의 레벨이 레벨 1이 아닌 경우에는 레벨을 전환할 필요가 있기 때문에 스텝(#63)으로 진행한다.

스텝(#63)에서는 현재의 레벨에서 레벨 1로 노즐높이를 변경한다. 그 후, 스텝(#53)으로 진행하고, 레벨 1의 노즐에서 부품실장을 행한다.

또한, 경우에 따라서는 스텝(#50) 대신에 스텝(#61)을 행하도록 해서 각 부품에 대해서 레벨 3 또는 2로의 적용을 판단하기 전에 레벨 1이 적용될 수 있는지 여부에 대해서 판단하도록 하여도 좋다.

상기 실시형태에 의하면, 노즐 선택을 행하는 경우, 노즐 선택 실린더(45)의 피스톤로드(46)가 하단위치에 위치한 상태에서 노즐 승강축(55)의 상단과 사이에 반드시 간격을 형성하도록 해서 노즐 선택시에 노즐 선택 실린더(45)의피스톤로드(46)가 노즐 승강축(55)에 접촉하지 않도록 해서 승강구동모터(56)의 구동에 의해 승강부재(58)가 하강하는 경우에 처음으로 피스톤로드(46)가 노즐 승강축(55)에 접촉하도록 하고 있다. 이와 같이 피스톤로드(46)가 노즐 승강축(55)에 접촉하기 때문에 노즐 승강축에 충격이 발생하지 않고 노즐에 흡착된 부품에 위치 어긋남이나 부품낙하가 발생하지 않는다.

또한, 노즐 승강축(55)을 상승시키는 경우에는 모든 노즐 선택 실린더(45)를 승강구동모터(56)의 구동에 의해 상승시킴과 동시에, 노즐 승강축(55)은 가압력에 의해 상승하기 때문에 종래와 같이 에어 실린더의 작동력을 이겨서 모터에 의해 승강판을 거쳐서 모든 노즐 승강축을 상승시킬 필요가 없으며 모터의 오버로드가 생기는 일이 없다.

또한, 노즐높이(부품흡착시의 상승높이)를 3단계 전환방식으로서 부품높이에 대응해서 노즐높이를 전환함으로써 부품의 부품높이가 낮은 부품은 노즐 상승거리를 작게 해서 노즐의 상하 동작거리를 짧게 함으로써 흡착시간, 장착시간을 단축할 수 있으며, 실장 택트의 향상을 도모하도록 하고 있다.

또한, 도 2∼도 4의 실시형태에서는 상기 노즐 선택 실린더(45)의 상기 피스톤로드(46)의 하단이 승강부재(58)의 상기 절개부(58a)의 가장자리에 맞닿기까지 하강되기 때문에 상기 피스톤로드(46)의 하단위치가 항상 일정하게 되어 흐트러지는 일이 없다. 이 결과, 상기 피스톤로드(46)의 하단이 노즐 승강축(55)의 상단에 맞닿는 위치가 일정하게 되며, 노즐 승강축(55)의 승강량을 보다 정확히 제어할 수 있다. 따라서, 실장시에 부품에 과부하를 주지 않고 실장할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 기타의 종류의 양태에서 실시될 수 있다.

예를 들면, 상기 노즐 선택 실린더(45)의 피스톤로드(46)를 상기 피스톤로드(46)가 선택된 상기 노즐 승강축(55)에 접촉하지 않는 범위에서 해당 노즐 승강축(55)의 상단부를 향해서 하강시키는 대신에 상기 노즐 선택 실린더(45)의 피스톤로드(46)를 상승부재측에 고정해서 상기 노즐 선택 실린더(45)의 본체가 선택된 상기 노즐 승강축(55)에 접촉하지 않는 범위에서 상기 승강축(55)의 상단부를 향해서 하강시키도록 해도 좋다.

또한, 상기 승강용 회전구동장치의 회전축에 연결된 스프링축의 일례로서는 상기 볼나사축(57)을 사용하고 있지만, 이것에 한하지 않으며, 통상의 스프링축으로도 좋다.

본 발명에 의하면, 노즐 선택을 행하는 경우, 노즐 선택 실린더의 피스톤로드가 하단위치에 위치한 상태에서 노즐 승강축의 상단과의 사이에 반드시 간격을 형성하도록 해서 노즐 선택시에 노즐 선택 실린더의 피스톤로드가 노즐 승강축에 접촉하지 않도록 하고, 승강구동모터의 구동에 의해 피스톤로드가 하강해서 상기 모든 노즐 선택용 액츄에이터를 일제히 하강시키는 경우에, 처음으로 상기 모든 노즐 선택용 액츄에이터로부터 선택적으로 하강된 상기 실린더가 상기 선택된 노즐 승강축에 접촉하지 않도록 하고 있다. 이와 같이, 노즐 선택시에는 피스톤로드가 노즐 승강축에 접촉하지 않기 때문에 노즐 승강축에 충격이 발생하지 않고 노즐에 흡착된 부품에 위치 어긋남이나 부품낙하를 일으키는 일이 없다.

또한, 전 노즐 승강축을 상승시키는 경우에는 모든 노즐 선택 실린더를 승강구동모터의 구동에 의해 일제히 상승시킴과 동시에 노즐 승강축은 가압력에 의해 상승하기 때문에 종래와 같이, 액츄에이터의 작동력을 이겨서 모터에 의해 승강판을 거쳐서 모든 노즐 승강축을 상승시킬 필요가 없으며, 모터의 오버로드가 생기는 일이 없다.

또한, 노즐높이(부품흡착시의 상승높이)를 복수단계 전환방식으로서 부품높이에 대응해서 노즐높이를 전환함으로써 부품높이가 낮은 부품은 노즐 상승거리를 작게 해서 노즐의 상하 동작거리를 짧게 함으로써 흡착시간, 장착시간을 단축할 수 있으며, 실장 택트의 향상을 도모하고 있다.

또, 상기 노즐 선택 실린더의 상기 피스톤로드의 하단이 승강부재의 상기 관통구멍 또는 절개부의 가장자리에 맞닿기까지 하강되도록 하려면 상기 피스톤로드의 하단위치가 항상 일정하게 되어 흐트러지는 일이 없다. 이 결과, 상기 피스톤로드의 하단이 노즐 승강축의 상단에 맞닿는 위치가 일정하게 되며, 노즐 승강축의 승강량을 보다 정확히 제어할 수 있다. 따라서 실장시에 부품에 과부하를 주지 않고 실장할 수 있다.

본 발명은 첨부도면을 참조하면서 바람직한 실시형태에 관련하여 충분히 기재되어 있지만, 이 기술에 숙련된 사람에게 있어서는 여러 변형이나 수정은 자명하다. 이와 같은 변형이나 수정은 첨부한 청구범위에 의한 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한 그 속에 포함되는 것으로 이해되어야 할 것이다.

Claims

부품을 흡착 유지하는 흡착노즐(70)을 각 하단에 지지하고 또한 평상시는 위방향으로 가압되는 복수의 노즐 승강축(55)과,

상기 복수의 노즐 승강축에 대응해서 배치된 복수의 노즐 선택용 액츄에이터로서 상기 복수의 노즐 중 하강시켜야 할 하나의 흡착노즐이 선택된 경우, 이 선택된 흡착노즐을 갖는 선택된 상기 노즐 승강축에 대응하는 실린더를 상기 실린더가 선택된 상기 노즐 승강축에 접촉하지 않는 범위에서 상기 노즐 승강축쪽으로 하강시키는 노즐 선택용 액츄에이터(45)와,

상기 모든 노즐 선택용 액츄에이터를 일제히 하강시켜서 상기 노즐 선택용 액츄에이터로부터 선택적으로 하강시킨 상기 실린더에 의해 상기 선택된 노즐 승강축에 맞닿게 하여 상기 노즐 승강축을 하강시키는 승강용 회전구동장치(56)와,

상기 노즐 승강축의 상사점의 위치를 변경시키는 상사점 변경장치(61, 62)를 구비한 것을 특징으로 하는 부품흡착노즐 승강장치.
제1항에 있어서, 상기 모든 노즐 선택용 액츄에이터가 고정됨과 함께 상기 승강용 회전구동장치의 회전축에 연결된 나사축(57)에 나사결합하고, 또한 상기 나사축의 정역회전에 의해 승강하는 승강부재(58)를 추가로 구비하며, 상기 나사축의 정역회전에 의해, 상기 승강부재가 일제히 하강함으로써 상기 모든 노즐 선택용 액츄에이터를 승강시키도록 한 것을 특징으로 하는 부품흡착노즐 승강장치.
제2항에 있어서, 상기 승강부재는 상기 각 노즐 승강축의 상단부가 관통가능한 관통구멍 또는 절개부(58a)를 가지며, 상기 복수의 노즐 중 하강시켜야 할 하나의 흡착노즐이 선택된 경우, 상기 노즐 승강축의 상단부는 상기 관통구멍 또는 절개부 보다 상방으로 돌출하지 않는 범위에서 상기 관통구멍 또는 절개부내에 위치함과 함께 상기 노즐 선택용 액츄에이터의 상기 실린더의 하단이 상기 관통구멍 또는 절개부의 가장자리에 맞닿기까지 하강되며, 상기 실린더의 하단과 상기 노즐 승강축의 상단부의 사이에 간격이 상기 관통구멍 또는 절개부내에 형성되며, 상기 승강용 회전구동장치의 회전구동에 의해 상기 승강부재가 하강하면, 상기 실린더의 하단과 상기 노즐 승강축의 상단부가 맞닿아서 상기 실린더의 하단에 의해 상기 노즐 승강축이 하강하게 되는 것을 특징으로 하는 부품흡착노즐 승강장치.
제2항에 있어서, 상기 노즐 승강축의 상단부에는 상기 실린더의 하단이 맞닿고 또한 밀어내릴 수 있는 평판(55a)부가 고정되어 있으며, 상기 복수의 노즐 중 하강시켜야 할 하나의 흡착노즐이 선택되어 상기 실린더의 하단이 하강하면, 상기 실린더의 하단과 상기 노즐 승강축의 상단부의 상기 평판부와의 사이에는 간격이 형성되어 상기 승강용 회전구동장치의 회전구동에 의해 상기 승강부재가 하강하면, 상기 실린더의 하단과 상기 노즐 승강축의 상단부의 상기 평판부가 맞닿아서 상기 실린더의 하단에 의해 상기 노즐 승강축이 하강하게 되는 것을 특징으로 하는 부품흡착노즐 승강장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상사점 변경장치(61, 62)는 상기 노즐 승강축에 결합하는 결합부(63b, 64b)를 피스톤로드(piston rod; 61a, 62a)에 가지는 상사점 변경실린더로 구성되어 상기 상사점 변경실린더가 구동되어 상기 피스톤로드의 상기 결합부가 상기 노즐 승강축에 결합하는 경우의 상기 노즐 승강축의 상사점이, 상기 상사점 변경실린더의 상기 피스톤로드의 상기 결합부가 상기 노즐 승강축에 결합하지 않는 경우의 상기 노즐 승강축의 상사점 보다도 하방으로 위치하는 것을 특징으로 하는 부품흡착노즐 승강장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상사점 변경장치(61, 62)는 제1상사점 변경용 액츄에이터(62)와 제2상사점 변경용 액츄에이터(61)로 구성되며, 각 상사점 변경용 액츄에이터의 피스톤로드에 상기 노즐 승강축에 결합하는 결합부(63b, 64b)를 구비하여, 상기 제1상사점 변경용 액츄에이터의 상기 피스톤로드의 상기 결합부(63b)가 상기 노즐 승강축에 결합하지 않는 경우의 상기 노즐 승강축의 상사점, 상기 제1상사점 변경용 액츄에이터의 상기 피스톤로드의 상기 결합부가 상기 노즐 승강축에 결합하는 경우의 상기 노즐 승강축의 상사점, 상기 제2상사점 변경용 액츄에이터의 상기 피스톤로드의 상기 결합부(64b)가 상기 노즐 승강축에 결합하는 경우의 상기 노즐 승강축의 상사점의 순서로 상기 노즐 승강축의 상사점이 하방으로 위치하는 것을 특징으로 하는 부품흡착노즐 승강장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 노즐 선택용 액츄에이터(45)는 노즐 선택 실린더이며, 상기 승강용 회전구동장치(56)는 승강구동모터이며, 상기 나사축(57)은 볼나사축인 것을 특징으로 하는 부품흡착노즐 승강장치.
부품흡착노즐 승강장치의 상기 흡착노즐에 의해 흡착되는 부품을 수납하는 부품공급부(8A, 8B, 8C, 18A, 18B, 18C)와,

제1항 내지 제4항 중 어느 한 항 기재의 부품흡착노즐 승강장치를 갖는 헤드(4, 14)를 이동시키는 헤드구동장치(5, 15)와,

상기 부품흡착노즐 승강장치의 상기 흡착노즐에 의해 흡착된 부품을 실장하는 기판(2)을 유지하는 기판 반송유지장치(3, 13)를 구비하며,

상기 헤드구동장치의 구동에 의해 상기 헤드를 상기 부품공급부로 이동시켜서 상기 부품흡착노즐 승강장치에 의해 선택된 하나의 상기 흡착노즐을 하강시켜서 상기 부품공급부로부터 상기 부품을 흡착시킨 후 상기 헤드구동장치의 구동에 의해 상기 헤드를 상기 부품공급부로부터 상기 기판으로 이동시켜 상기 부품흡착노즐을 하강시켜서 상기 부품을 상기 기판에 실장하는 것을 특징으로 하는 부품실장장치.