CN1137805C - 部件吸附喷嘴升降装置 - Google Patents

Abstract

在进行喷嘴选择时，在喷嘴选择气缸45的活塞杆46位于下端位置的状态下，与喷嘴升降轴55的上端之间必然形成间隙A，从而在选择喷嘴时气缸45的活塞杆与喷嘴升降轴不接触，通过升降驱动电动机56的驱动，升降部件58下降时，起初，活塞杆46与喷嘴升降轴55接触。

Description

部件吸附喷嘴升降装置

技术领域

本发明涉及在部件安装等过程中，选择性地使吸附保持部件的吸附喷嘴升降，同时可以改变喷嘴上止点位置的部件吸附喷嘴升降装置。

背景技术

以往，已知这种部件吸附喷嘴升降装置具有各种结构。例如，图14～图17所示，通过电动机201的旋转驱动，圆头螺栓轴202正反旋转，使设有螺纹连接于圆头螺栓轴202上的螺母的升降板203升降。4根喷嘴升降轴211分别穿过贯通孔204，法兰部208以与升降板203接触的状态被支持。在各喷嘴升降轴211的下端设有可吸附部件的喷嘴210，另一方面，在各喷嘴升降轴211的上端备有升降驱动用气缸205，在升降驱动用气缸205的内部，通过弹簧206始终向下地给各喷嘴升降轴211施力，使各喷嘴升降轴211的法兰部208与升降板203接触。通过电动机201的旋转驱动使升降板203升降，使各喷嘴升降轴211通过导向部209的导向进行升降。

图14表示的是原点状态，进行喷嘴选择时，首先，如图15所示，通过电动机201的旋转驱动使升降板203下降，克服弹簧206的弹力，各喷嘴升降轴211的法兰部208离开升降板203，驱动带有选择的1个喷嘴210的喷嘴升降轴211的升降驱动用气缸205，使喷嘴升降轴211下降，使其法兰部208与升降板203接触。

其次，如图16所示，通过电动机201的旋转驱动使升降板203下降的同时，驱动所选择的喷嘴升降轴211的升降驱动用气缸205，使喷嘴升降轴211下降，通过下降了的喷嘴升降轴211的喷嘴210吸附部件，并安装在基板的给定位置。

但是，选择1个喷嘴时，比较电动机201的升降操作和同时开始驱动气缸205通过电动机201使升降板203下降的操作，即使供给气缸205空气，由于空气的压缩性等，喷嘴升降轴211不能立刻开始下降，如图16所示，喷嘴升降轴211的法兰部208与升降板203相比是滞后的，产生下降的气缸驱动滞后。随后，气缸205的驱动使喷嘴升降轴211的法兰部208追上升降板203并与之接触，但是，这种接触时的冲击会传递给喷嘴升降轴211，引起喷嘴升降轴211下端的喷嘴210吸附的部件错位，有可能发生部件掉落。

而且，如图17所示，选择全部喷嘴，使所有喷嘴升降轴211升降，调整喷嘴升降轴211上止点位置的场合，为了使所有喷嘴升降轴211上升，必须借助电动机克服全部气缸的作用力，通过升降板203使所有喷嘴升降轴211上升，产生电动机过载的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于解决上述问题，提供一种不发生冲击喷嘴升降轴，不会产生喷嘴吸附的部件错位或部件掉落，同时通过设定最合适的喷嘴升降冲程能够缩短生产节拍的部件吸附喷嘴升降装置。

本发明为了实现上述目的，采用以下结构。

按照本发明的第1种形式，提供一种部件吸附喷嘴升降装置，包括：

将吸附保持部件的吸附喷嘴支撑于各下端且始终被向上方施力的多个喷嘴升降轴；和

喷嘴选择用促动器，是对应于上述多个喷嘴升降轴配置的多个喷嘴选择用促动器，选择上述多个喷嘴中应下降的一个吸附喷嘴时，使对应于具有该被选择了的吸附喷嘴的被选择了的上述喷嘴升降轴的气缸，在上述汽缸不接触被选择了的上述喷嘴升降轴的的范围内，向该喷嘴升降轴下降；和

使上述所有喷嘴选择用促动器一起下降，通过由上述喷嘴选择用促动器选择性下降了的上述气缸，与上述被选择了的喷嘴升降轴接触，使该喷嘴升降轴下降的升降用旋转驱动装置；和

改变上述各喷嘴升降轴的上止点位置的上止点变更装置。

按照本发明的第2种形式，提供一种第1种形式中记载的部件吸附喷嘴升降装置，还包括固定上述所有喷嘴选择用促动器，同时与连接于上述升降用旋转驱动装置的旋转轴的螺纹轴螺纹连接，并且通过上述螺纹轴的正反旋转进行升降的升降部件，通过上述螺纹轴的正反旋转使上述升降部件一起升降，由此，使上述所有喷嘴选择用促动器升降。

按照本发明的第3种形式，提供一种第2种形式记载的部件吸附喷嘴升降装置，上述升降部件具有上述各喷嘴升降轴的上端可贯穿的贯通孔或切槽，选择上述多个喷嘴中应该下降的一个吸附喷嘴时，上述喷嘴升降轴的上端在不从上述贯通孔或切槽向上方突出的范围内，位于上述贯通孔或切槽内，同时上述喷嘴选择用促动器的上述气缸的下端下降到与上述贯通孔或切槽的边缘接触，在上述气缸的下端与上述喷嘴升降轴的上端部之间，在上述贯通孔或切槽内形成间隙，通过上述升降用旋转驱动装置的旋转驱动使上述升降部件下降时，上述气缸的下端与上述喷嘴升降轴的上端部接触，通过上述气缸的下端使上述喷嘴升降轴下降。

按照本发明的第4种形式，提供一种第2种形式记载的部件吸附喷嘴升降装置，在上述喷嘴升降轴的上端部固定有与上述气缸的下端接触且可向下推压的平板部，选择上述多个喷嘴中应该下降的一个吸附喷嘴使上述气缸的下端下降时，上述气缸的下端与上述喷嘴升降轴的上端部的上述平板部之间形成间隙，通过上述升降用旋转驱动装置的旋转驱动使上述升降部件下降时，上述气缸的下端与上述喷嘴升降轴的上端部的上述平板部接触，通过上述气缸的下端使上述喷嘴升降轴下降。

按照本发明的第5种形式，提供一种第1～4中任意一种形式记载的部件吸附喷嘴升降装置，上述上止点变更装置由活塞杆上设有与上述喷嘴升降轴配合的配合部的上止点变更气缸构成，驱动上述上止点变更气缸，使上述活塞杆的上述配合部与上述喷嘴升降轴配合时的上述喷嘴升降轴的上止点，位于上述上止点变更气缸的上述活塞杆的上述配合部与上述喷嘴升降轴未配合时的上述喷嘴升降轴的上止点的下方。

按照本发明的第6种形式，提供一种第1～4中任意一种形式记载的部件吸附喷嘴升降装置，上述上止点变更装置由第1上止点变更用促动器和第2上止点变更用促动器构成，在各上止点变更用促动器的活塞杆上设有与上述喷嘴升降轴配合的配合部，按照上述第1上止点变更用促动器的上述活塞杆的上述配合部未与上述喷嘴升降轴配合时的上述喷嘴升降轴的上止点、上述第1上止点变更用促动器的上述活塞杆的上述配合部与上述喷嘴升降轴配合时的上述喷嘴升降轴的上止点、上述第2上止点变更用促动器的上述活塞杆的上述配合部与上述喷嘴升降轴配合时的上述喷嘴升降轴的上止点的顺序，上述喷嘴升降轴的上止点位于下方。

按照本发明的第7种形式，提供一种第1～5中任意一种形式记载的部件吸附喷嘴升降装置，上述喷嘴选择用促动器为喷嘴选择气缸，上述升降用旋转驱动装置为升降驱动电动机，上述螺纹轴为圆头螺栓轴。

按照本发明的第8种形式，提供一种部件安装装置，包括：

容纳通过上述部件吸附喷嘴升降装置的上述吸附喷嘴吸附的部件的部件供给部；和

使具有第1～7中任意一种形式记载的部件吸附喷嘴升降装置的头移动的头驱动装置；和

将安装通过上述部件吸附喷嘴升降装置的上述吸附喷嘴吸附了的部件的基板保持住的基板搬送保持装置；

通过上述头驱动装置的驱动，使上述头移动至上述部件供给部，通过上述部件吸附喷嘴升降装置，使被选择了的一个上述吸附喷嘴下降，由上述部件供给部吸附上述部件之后，通过上述头驱动装置的驱动，使上述头从上述部件供给部移动至上述基板，通过上述部件吸附喷嘴升降装置，使上述被选择了的且吸附了上述部件的上述吸附喷嘴下降，从而将上述部件安装到上述基板上。

附图说明

本发明的这些和其它目的以及特征，通过下面对附图的与优选实施形式关联的说明，会更加清楚。图中：

图1是设有本发明一个实施形式的部件吸附喷嘴升降装置的部件安装装置的斜视图；

图2是图1的部件吸附喷嘴升降装置的斜视图；

图3是图1的部件吸附喷嘴升降装置的局部截面说明图；

图4A、图4B、图4C分别是图1的部件吸附喷嘴升降装置的水平1、水平2、水平3的状态下的局部截面说明图；

图5是本发明另一实施形式的部件吸附喷嘴升降装置的局部截面说明图；

图6A、图6B、图6C、图6D、图6E、图6F、图6G分别是用于说明图5的部件吸附喷嘴升降装置的第1喷嘴的喷嘴高度切换操作的局部截面说明图；

图7A、图7B、图7C、图7D、图7E、图7F、图7G分别是用于说明图5的部件吸附喷嘴升降装置的第2喷嘴的喷嘴高度切换操作的局部截面说明图；

图8A、图8B、图8C、图8D、图8E、图8F分别是用于说明图5的部件吸附喷嘴升降装置的第1喷嘴的喷嘴切换操作的局部截面说明图；

图9A、图9B、图9C、图9D、图9E、图9F分别是用于说明图5的部件吸附喷嘴升降装置的第2喷嘴的喷嘴切换操作的局部截面说明图；

图10是进行图5的部件吸附喷嘴升降装置的喷嘴高度切换操作的一个实例的控制部分的方框图；

图11是进行图5的部件吸附喷嘴升降装置的喷嘴高度切换操作的其它实例的控制部分的方框图；

图12是图5的部件吸附喷嘴升降装置的喷嘴高度切换操作的一个实例的流程图；

图13是图5的部件吸附喷嘴升降装置的喷嘴高度切换操作的其它实例的流程图；

图14是以往部件吸附喷嘴升降装置原点状态的局部截面概略图；

图15是选择图14以往部件吸附喷嘴升降装置的1个喷嘴状态下的局部截面概略图；

图16是选择图14以往部件吸附喷嘴升降装置的1个喷嘴状态且气缸驱动滞后状态下的局部截面概略图；

图17是选择图14以往部件吸附喷嘴升降装置的全部喷嘴状态下，电动机过载状态的局部截面概略图；

图18A、图18B分别是用于说明第1或第2上止点变更气缸的活塞杆的配合部与喷嘴升降轴下部的旋转接头配合操作及配合解除操作的说明图。

具体实施形式

在继续叙述本发明之前，附图中相同的部件标有相同的参考符号。

下面，参照附图详细说明本发明的第1种实施形式。

图1表示设有本发明一个实施形式的部件吸附喷嘴升降装置41的部件安装装置的整体概略斜视图。

图1中，1是搬入作为基板一个实例的电子电路基板2-0(在指与位置无关的基板的场合，用参考符号2表示，特定位置的基板用参考符号2-0、2-1、2-2、2-3表示。)的装载器，11是搬出电子电路基板2-3的卸载器。3是设有一对搬送并保持由装载器1搬入的电子电路基板2-1的支撑导轨部的第1基板搬送保持装置(前侧基板搬送保持装置)，4是可交换地装载了多个，例如10个吸附并保持电子部件的部件吸附喷嘴70的作业头，5是将作业头4定位于部件安装作业区域内垂直的两个方向即XY方向的给定位置的XY机械手(robot)，7是在部件安装作业区域，配置于部件供给部8A的旁边，并且容纳有适于多种电子部件的多种喷嘴70，必要时与装载于作业头4上的喷嘴70进行交换的喷嘴站(station)。8A、8B是分别配置在相对于部件安装作业区域的操作者的前侧，即相对于操作者的前侧端部，并且容纳用带缠绕着的部件的部件供给部，其中，上述用带缠绕着的部件是将应安装到上述基板2-1上的部件容纳并保持成带状的部件，8C是配置在部件供给部8B的旁边且容纳托盘部件的部件供给部，其中，上述托盘部件是将应安装到上述基板2-1上的部件容纳并保持成托盘状的部件，9是配置于部件供给部8A旁边的部件安装作业区域中央附近，且拍摄作业头4的喷嘴70吸附的电子部件吸附姿势的识别摄像机。

另一方面，13是设有一对搬送并保持由第1基板搬送保持装置3搬送的电子电路基板2-1的支撑导轨部的第2基板搬送保持装置(后侧基板搬送保持装置)，14是可交换地装载了多个，例如10个吸附并保持电子部件的部件吸附喷嘴70的作业头，15是将作业头14定位于部件安装作业区域内垂直的两个方向即XY方向的给定位置的XY机械手，17是配置于部件供给部18A的旁边，并且容纳有适于多种电子部件的多种喷嘴70，必要时与装载于作业头14上的喷嘴70进行交换的喷嘴站。18A、18B是分别配置在相对于部件安装作业区域的操作者的里侧，即相对于操作者的后侧端部，并且容纳用带缠绕着的部件的部件供给部，其中，上述用带缠绕着的部件是将应安装到上述基板2-2上的部件容纳并保持成带状的部件，18C是配置在部件供给部18B的旁边且容纳托盘部件的部件供给部，其中，上述托盘部件是将应安装到上述基板2上的部件容纳并保持成托盘状的部件，19是配置于部件供给部18A旁边的部件安装作业区域中央附近，且拍摄作业头14的喷嘴70吸附的电子部件吸附姿势的识别摄像机。

上述XY机械手5、15采用下述结构。XY机械手装置6的两根Y轴驱动部6a、6a固定设置在安装装置基座16上的部件安装作业区域200的基板搬送方向前后端边缘，跨越该两根Y轴驱动部6a、6a，可沿Y轴方向独立地移动且可避免冲击地设置两根X轴驱动部6b、6c，而且，在X轴驱动部6b上设置可沿X轴方向移动的作业头4，该作业头4在部件安装作业区域内的前侧半部分的安装区域内移动，同时，在X轴驱动部6c上设置可沿X轴方向移动的作业头14，该作业头14在部件安装作业区域内的里侧半部分的安装区域内移动。因此，上述XY机械手5由固定在安装装置基座16上的两根Y轴驱动部6a、6a，在Y轴驱动部6a、6a上可沿Y轴方向移动的X轴驱动部6b以及在X轴驱动部6b上可沿X轴方向移动的作业头4构成。另外，上述XY机械手15由固定在安装装置基座16上的两根Y轴驱动部6a、6a，在Y轴驱动部6a、6a上可沿Y轴方向移动的X轴驱动部6c以及在X轴驱动部6c上可沿X轴方向移动的作业头14构成。于是，作业头4、14各自独立，可沿XY方向移动。

其次，图2、图3是配置于各作业头4、14内的部件吸附喷嘴升降装置41的斜视图。各部件吸附喷嘴升降装置41大致由多个，例如10个喷嘴升降轴55；与喷嘴升降轴55数目相同的作为喷嘴选择用促动器的一个实例的喷嘴选择气缸(作为例子，如气缸或电磁螺线管等)45；作为升降用旋转驱动装置的一个实例的1个升降驱动电动机56；作为上止点变更装置的一个实例的至少一个上止点变更用促动器；该实施形式中，作为2个上止点变更用促动器的一个实例的上止点切换用第1和第2上止点变更气缸(作为一个实例如气缸)61、62构成。

上述多个喷嘴升降轴55，通过旋转接头69将吸附并保持部件的吸附喷嘴70支持在各喷嘴升降轴55的下端，并且弹簧65始终与设置在喷嘴升降轴55上的平板部55a接触，通过弹簧65对喷嘴升降轴55施加向上的力。各喷嘴升降轴55上下方向的升降操作通过固定在作业头4、14的支持板42上的导向部件59导向。另外，各喷嘴升降轴55的上端位置虽然在图中未具体地表示，但通过设置在导向部件59上的卡合凸起卡住各喷嘴升降轴55等，对其进行限制，使其不能向上方突出到给定的上端位置以上。

上述喷嘴选择气缸45(在指与位置无关的喷嘴选择气缸的情况下，用参考符号45表示，第1～10的喷嘴选择气缸分别用参考符号45-1、45-2、45-3、45-4、45-5、45-6、45-7、45-8、45-9、45-10表示。)分别对应于上述多个喷嘴升降轴55而被固定在相对于作业头4、14的支持板42升降的升降部件58上，当选择上述多个喷嘴70中应下降的1个吸附喷嘴70时，在活塞杆46与被选择的上述喷嘴升降轴55不接触的范围内，使对应于具有该被选择了的吸附喷嘴70的被选择了的上述喷嘴升降轴55的上述喷嘴选择气缸45的活塞杆46向该喷嘴升降轴55的上端部下降。例如，在图2中，表示了对应于第8个喷嘴70的上述喷嘴选择气缸45-8的活塞杆46-8下降至下端位置的状态。各活塞杆46在其下端固定有圆板，使其具有倒T字状的侧面，这样如后所述易于向下推压喷嘴升降轴55。

升降部件58可相对于作业头4、14的支持板42升降地被支持。也就是说，在支持板42上设有两个平行的直线导向部件43、43，设置于上述升降部件58里面的上下各两个滑动器44沿各直线导向部件43升降，由此引导上述升降部件58的升降操作。而且，上述升降部件58具有上述各喷嘴升降轴的上端部可穿过的贯通孔或切槽(在图2中示出了切槽)58a，当选择上述多个喷嘴70中应下降的1个吸附喷嘴70时，上述喷嘴升降轴55的上端部在不从上述切槽58a向上突出的范围内位于上述切槽58a内，同时上述喷嘴选择气缸45的上述活塞杆46的下端下降至与上述切槽58a边缘的升降部件58接触，在上述活塞杆46的下端与上述喷嘴升降轴55的上端部之间，在上述切槽58a内形成间隙A，通过上述升降驱动电动机56的旋转驱动使上述升降部件58下降时，上述喷嘴升降轴55的上端部从上述切槽58a突出，由此使上述活塞杆46的下端与上述喷嘴升降轴55的上端部接触，使上述喷嘴升降轴55通过上述活塞杆46的下端下降。

上述升降驱动电动机56相对于作业头4、14的支持板42由托架60固定。在上述升降驱动电动机56的旋转轴上连接有作为螺栓轴的一个实例的圆头螺栓轴57，圆头螺栓轴57与升降部件58的螺母49螺纹连接。因此，通过上述圆头螺栓轴57的正反旋转，使升降部件58升降，由此，使上述所有喷嘴选择气缸45一体并同时地升降。因此，上述所有喷嘴选择气缸45一体并同时地下降时，从上述喷嘴选择气缸45选择性下降的上述活塞杆46也下降，由此，使该活塞杆46与上述被选择了的喷嘴升降轴55接触，从而使该喷嘴升降轴55下降。

上述第1上止点变更气缸62与第2上止点变更气缸61是变更上述各喷嘴升降轴55上止点位置的结构，在各上止点变更气缸62、61的活塞杆尖端设有与上述喷嘴升降轴55的旋转接头69的上端部配合的配合部64、63。上述第1上止点变更气缸62位于第2上止点变更气缸61的下方，分别被固定在作业头4、14的支持板42上。

上述第1上止点变更气缸62的上述活塞杆的上述配合部64由交替形成非配合贯通孔部64a和配合贯通孔部64b的板体构成，上述非配合贯通孔部64a的内径尺寸大于各喷嘴升降轴55下部的旋转接头69的外径尺寸，旋转接头69穿过成为非配合形式，上述配合贯通孔部64b的内径尺寸小于旋转接头69的外径尺寸，与旋转接头69配合(参照图18A、图18B)。因此，通过上述第1上止点变更气缸62的上述活塞杆62a的横向移动，相对于所有喷嘴升降轴55下部的旋转接头69，通过选择性地处于成为非配合的非配合贯通孔部64a和成为配合的配合贯通孔部64b，一起进行相对于所有喷嘴升降轴55的配合解除操作或配合操作(参照图18A、图18B)。

上述第2上止点变更气缸61的上述活塞杆61a的上述配合部63由交替形成非配合贯通孔部63a和配合贯通孔部63b的板体构成，上述非配合贯通孔部63a的内径尺寸大于各喷嘴升降轴55下部的旋转接头69的外径尺寸，旋转接头69穿过成为非配合形式，上述配合贯通孔部63b的内径尺寸小于旋转接头69的外径尺寸，与旋转接头69配合(参照图18A、图18B)。因此，通过上述第2上止点变更气缸61的上述活塞杆的横向移动，相对于所有喷嘴升降轴55下部的旋转接头69，通过选择性地处于成为非配合的非配合贯通孔部63a和成为配合的配合贯通孔部63b，一起进行相对于所有喷嘴升降轴55的配合解除操作或配合操作(参照图18A、图18B)。

另外，在图3及图4A～图4C中，为了能够更好地理解配合操作与配合解除操作，以对比的方式在图中表示，上述各配合部64、63不为贯通孔而作为切槽孔，在配合时，配合部64、63与喷嘴升降轴55的旋转接头69的上端接触，规定上止点，另一方面，在非配合时，由喷嘴升降轴55拔出，但配合操作与非配合操作的考虑方法与上述非配合贯通孔部63a与配合贯通孔部63b完全相同。

图4A、图4B、图4C分别是图1的部件吸附喷嘴升降装置的喷嘴70处于安装位置(吸附位置，或者也是部件识别位置)L0向上例如仅13mm的最下端位置L1(下面也有时称作“水平1”)、安装位置L0向上例如仅27mm的中间位置L2(下面也有时称作“水平2”)、安装位置L0向上例如仅40mm的最上端位置L3(下面也有时称作“水平3”)的状态下的局部截面说明图。也就是说，在水平1，喷嘴升降轴55下部的旋转接头69与上述第1上止点变更气缸62的配合部64配合，第2上止点变更气缸61位于退回位置，处于非配合状态。在水平2，喷嘴升降轴55下部的旋转接头69与上述第2上止点变更气缸61的配合部63配合，第1上止点变更气缸62位于退回位置，处于非配合状态。在水平3，上述第1上止点变更气缸62的配合部64及第2上止点变更气缸61的配合部63都不配合，喷嘴升降轴55下部的旋转接头69与导向部件59配合，第1上止点变更气缸62及第2上止点变更气缸61位于退回位置，处于非配合状态。在任何一种场合，对应于喷嘴升降轴55高度的变化，升降驱动电动机56的旋转轴以给定量旋转，使升降部件58的位置也发生变化，在任何一个水平，使上述活塞杆46的下端与上述喷嘴升降轴55的上端部之间形成间隙(尺寸A：例如0.02mm)。

图5是本发明其它实施形式的部件吸附喷嘴升降装置的局部截面说明图。基本构成与图3及图4A～图4C相同，但是为了说明喷嘴高度切换操作及喷嘴切换操作，成为更简单的结构。也就是说，喷嘴选择气缸45的活塞杆46的下端可与喷嘴升降轴55的上端部固定的平板部55a接触，通过上述活塞杆46的下端，平板部55a易于接触且易于向下推压。

另外，在图2中，50是用于使喷嘴升降轴55沿围绕其轴的θ方向旋转，调整吸附于喷嘴70的部件姿势的θ旋转驱动用电动机，52是固定在θ旋转驱动用电动机50的旋转轴上的齿轮，53是固定在各喷嘴升降轴55的中间部的θ旋转用齿轮，51是与各喷嘴升降轴55的θ旋转用齿轮53及θ旋转驱动用电动机50的齿轮52啮合的两面带齿的带。因此，如果旋转驱动θ旋转驱动用电动机50，所有喷嘴升降轴55的θ旋转用齿轮53通过两面带齿的带51旋转，调整吸附于喷嘴70的部件的姿势。

下面，详细说明图5的部件吸附喷嘴升降装置的喷嘴高度切换操作。

图6A、图6B、图6C、图6D、图6E、图6F、图6G分别是用于说明图5的部件吸附喷嘴升降装置的第1喷嘴70的喷嘴高度切换操作的局部截面说明图。图7A、图7B、图7C、图7D、图7E、图7F、图7G分别是用于说明图5的部件吸附喷嘴升降装置的第2喷嘴的喷嘴高度切换操作的局部截面说明图。第1喷嘴70及第2喷嘴70在图6A及图7A中位于水平1处，在图6F及图7F中表示变更到水平2的状态。

图6A及图7A表示前工序结束了的状态。此时，通过升降驱动电动机56的驱动，使升降部件58从当前的水平上升到高度仅为给定高度A的位置。另外，此时，喷嘴升降轴55都处在停止的状态，不进行升降操作。另外，在图6A及图7A中，第1喷嘴70处于被选择了的状态，对应于第1喷嘴70的喷嘴选择气缸45-1变成ON，其活塞杆46下降到下端位置，另一方面，对应于第2喷嘴70的喷嘴选择气缸45-2变成OFF，因此活塞杆46位于原来的上端位置。

接着，如图6B及图7B所示，所有喷嘴选择气缸45(45-1～45-10)都处于ON，所有活塞杆46下降到各下端位置。

然后，如图6C及图7C所示，通过升降驱动电动机56的驱动，升降部件58开始下降，接着，与升降部件58同时下降的所有喷嘴选择气缸45的所有活塞杆46的下端与所有喷嘴升降轴55的上端接触，使所有喷嘴升降轴55开始下降。此时，升降部件58下降到使所有喷嘴升降轴55位于相对于当前水平或变更水平中的任何一个低的水平，仅更低于给定高度A的高度的位置。也就是说，例如，作为情况1，在当前水平是最上端位置的水平3，变更到中间位置的水平2时，升降部件58下降，使所有喷嘴升降轴55仅下降水平3与水平2的高度之差ΔH+给定高度A的距离。另外，作为情况2，在当前水平是最上端位置的水平3，变更到中间位置的水平1时，升降部件58下降，使所有喷嘴升降轴55仅下降水平3与水平1的高度之差ΔH+给定高度A的距离。另外，作为情况3，在当前水平是中间位置的水平2，变更到最下端位置的水平1时，升降部件58下降，使所有喷嘴升降轴55仅下降水平2与水平1的高度之差ΔH+给定高度A的距离。另外，作为情况4(相当于图6C及图7C)，在当前水平是最下端位置的水平1，变更到中间位置的水平2时，升降部件58下降，由于当前的水平1低于水平2，因而使所有喷嘴升降轴55只下降给定高度A的距离。另外，作为情况5，在当前水平是最下端位置的水平1，变更到中间位置的水平3时，升降部件58下降，由于当前的水平1低于水平3，因而使所有喷嘴升降轴55只下降给定高度A的距离。

接着，如图6D及图7D和图6E及图7E所示，进行上止点的水平变更。即，对应于想要变更的上止点的水平，使上止点水平切换用第1气缸62及上止点水平切换用第2气缸61或任意一个气缸接通或断开，切换上止点水平。也就是说，在上述情况1(水平3→水平2)下，上止点水平切换用第1气缸62依然断开，上止点水平切换用第2气缸61从断开变为接通。在上述情况2(水平3→水平1)下，上止点水平切换用第2气缸61依然断开，上止点水平切换用第1气缸62从断开变为接通。在上述情况3(水平2→水平1)下，上止点水平切换用第2气缸61从接通变为断开，同时，上止点水平切换用第1气缸62从断开变为接通。在上述情况4(水平1→水平2)(相当于图6C～图6E及图7C～图7E)下，上止点水平切换用第1气缸62从接通变为断开，同时，上止点水平切换用第2气缸61从断开变为接通。在上述情况5(水平1→水平3)下，上止点水平切换用第1气缸62从接通变为断开，同时，上止点水平切换用第1气缸62依然断开。

接着，如图6F及图7F所示，通过升降驱动电动机56的驱动，上升升降部件58，所有喷嘴升降轴55通过弹簧65的弹力，上升到上述切换了的上止点水平，同时，升降部件58上升到上止点水平再加上给定高度A的高度的位置。结果，在所有活塞杆46的下端与所有喷嘴升降轴55的上端部之间形成相当于给定高度A的尺寸的间隙A。

然后，如图6G及图7G所示，所有喷嘴选择气缸45断开，所有活塞杆46上升到其上端位置。至此一连串的喷嘴高度切换操作结束。另外，图6G及图7G为选择第2喷嘴70的状态，与第2喷嘴70对应的喷嘴选择气缸45-2接通，其活塞杆46下降到下端位置，另一方面，与第1喷嘴70对应的喷嘴选择气缸45-1断开，因此，活塞杆46位于原来的上端位置。

接着，说明选择切换到所希望的水平的10个喷嘴70中的1个喷嘴70，进行部件吸附及安装操作的情况。

图8A、图8B、图8C、图8D、图8E、图8F分别是用于说明图5的部件吸附喷嘴升降装置的第1喷嘴的喷嘴切换操作的局部截面说明图。图9A、图9B、图9C、图9D、图9E、图9F分别是用于说明图5的部件吸附喷嘴升降装置的第2喷嘴的喷嘴切换操作的局部截面说明图。其中，第1喷嘴70及第2喷嘴70呈位于水平2的状态。

图8A及图9A表示前工序结束了的状态。其中，第1喷嘴70呈被选择了的状态，对应于第1喷嘴70的喷嘴选择气缸45-1接通，其活塞杆46-1下降到下端位置，另一方面，由于与第2喷嘴70对应的喷嘴选择气缸45-2断开，因此，活塞杆46-2位于上端位置。

接着，如图8B及图9B所示，喷嘴选择气缸45-1处于接通的原状态，通过升降驱动电动机56的驱动，升降部件58开始下降，随后，与升降部件58同时下降的第1喷嘴选择气缸45-1的活塞杆46-1的下端与第1喷嘴70的喷嘴升降轴55的上端接触，只有该喷嘴升降轴55开始下降，下降到吸附位置。然后，作业头4、14移动到希望的部件供给部，吸附希望的部件，随后，作业头4、14移动到识别位置，进行识别操作，接着，移动到基板2，将上述部件安装到给定的安装位置。上述喷嘴70的下降操作也可以在作业头4、14的移动中进行。

然后，如图8C及图9C所示，第1喷嘴70的部件安装操作结束时，通过升降驱动电动机56的反向驱动，升降部件58开始上升，解除第1喷嘴选择气缸45-1的活塞杆46-1的下端向下推压第1喷嘴70的喷嘴升降轴55上端的力，第1喷嘴70的喷嘴升降轴55由于弹簧65的弹力开始上升。于是，在第1喷嘴70的喷嘴升降轴55位于上端位置之后，再通过升降驱动电动机56的反向驱动，升降部件58继续上升，上升到上述活塞杆46-1的下端与上述喷嘴升降轴55上端之间形成间隙(尺寸A)之后，停止上升。

接着，如图8D及图9D所示，进行喷嘴的切换。即与第1喷嘴70对应的喷嘴选择气缸45-1从接通切换到断开，同时，与接着使用的第2喷嘴70对应的喷嘴选择气缸45-2从断开切换到接通，其活塞杆46-2下降到下端位置，另一方面，由于与第1喷嘴70对应的喷嘴选择气缸45-1处于断开状态，因此，活塞杆46-1位于原来的上端位置。

然后，如图8E及图9E所示，第2喷嘴选择气缸45-2处于接通状态，通过升降驱动电动机56的驱动，升降部件58开始下降，随后，与升降部件58同时下降的第2喷嘴选择气缸45-2的活塞杆46-2的下端与第2喷嘴70的喷嘴升降轴55的上端接触，只有该喷嘴升降轴55开始下降，下降到吸附位置。然后，作业头4、14移动到所希望的部件供给部，吸附所希望的部件，随后，作业头4、14移动到识别位置，进行识别操作，接着，移动到基板2，将上述部件安装到给定的安装位置。上述喷嘴70的下降操作也可以在作业头4、14的移动中进行。

然后，如图8F及图9F所示，第2喷嘴70的部件安装操作结束时，通过升降驱动电动机56的反向驱动，升降部件58开始上升，解除第2喷嘴选择气缸45-2的活塞杆46-2的下端向下推压第2喷嘴70的喷嘴升降轴55上端的力，第2喷嘴70的喷嘴升降轴55由于弹簧65的弹力开始上升。于是，在第2喷嘴70的喷嘴升降轴55位于上端位置之后，再通过升降驱动电动机56的反向驱动，升降部件58继续上升，上升到上述活塞杆46-2的下端与上述喷嘴升降轴55的上端之间形成间隙(尺寸A)之后，停止上升。

之后，后续的第3喷嘴70也进行同样的操作，必要时，该操作持续进行到第10喷嘴70，从而能够进行10个喷嘴70的部件安装操作。

其中，在通常的部件安装操作中，在水平1开始安装操作，将在水平1能够进行安装操作的该部件全部安装后，顺次移至水平2、水平3(参照后述图12的流程。)。此时，在切换到水平2或者水平3之后，安装结束一个基板之前，不会返回到水平1。这意味着部件安装顺序是从小部件向大部件的顺序安装。其中，所谓小部件，指面积小而部件高度低的部件，所谓大部件是指面积大而部件高度高的部件。

作为采用这种部件安装顺序的理由是，一般地，希望小部件以部件之间间隔小的方式安装，也就是说，强烈要求相邻螺距小地进行安装。这是因为如果先进行大部件(特别是部件高度高)的安装，必须避开它进行安装，从而不能使相邻螺距变小。QFP等必需安装精度的部件，如果仍然先进行具有大面积的大部件的安装，以后各种部件的安装都会对基板施加安装冲击，可能会影响先安装了的QFP等必需安装精度的部件的精度，因而不理想。基于上述理由，基本上一般从小部件开始进行安装。

作为本实施形式的上述部件安装装置的一个特征，为了提高安装的生产节拍，对部件高度低的部件，通过缩小喷嘴上升距离，缩短喷嘴的上下操作距离，从而能够缩短吸附时间、装载时间。

因此，安装顺序优选按照部件小的(特别是部件高度低的)顺序进行安装。按照部件小的顺序进行安装是基于上述理由，如说明的那样，遵从目前一般的安装顺序进行。因此，在本实施形式的上述部件安装装置中，使喷嘴高度(部件吸附时的上升高度)成为3个阶段的切换方式，根据部件高度，通过切换喷嘴高度，实现安装生产节拍的提高。

图10是图5的部件吸附喷嘴升降装置进行喷嘴高度切换操作一个实例的控制部分的方框图。其中，显示了下述场合下必要的结构，即为了有效地进行喷嘴高度的切换操作，预先根据部件高度信息对部件进行分组，并且进行高度排列处理，结果制成安装程序，根据该安装程序，制成联系喷嘴序号与部件高度信息的安装程序，根据该安装程序判断喷嘴70的高度水平的切换，同时进行安装操作的场合。因此，上述部件吸附喷嘴升降装置大体设有第1记忆装置920、第2记忆装置921、喷嘴吸附部件分组处理部922、相对于各喷嘴的部件高度排列处理部923以及喷嘴部件高度排列数据记忆装置924。

在上述第1记忆装置920中，记忆有应安装的部件的安装顺序数据，例如记忆有N1装载位置(X1，Y1)的部件序号B1、N2装载位置(X2，Y2)的部件序号B2、N3装载位置(X3，Y3)的部件序号B3那样的相对于安装顺序N1，N2，N3，……的XY坐标的装载位置和部件的部件序号相关的信息。

另外，在上述第2记忆装置921中，记忆有应安装部件的部件数据，例如记忆有相对于部件序号B1的部件，X方向及Y方向的部件尺寸(XA，YA)、部件高度尺寸H1、部件主体厚度尺寸HB1的部件信息，还记忆有相对于部件序号B2的部件，X方向及Y方向的部件尺寸(XB，YB)、部件高度尺寸H2、部件厚度尺寸HB2的部件信息。

上述喷嘴吸附部件分组处理部922是进行以下操作的结构。也就是说，能够用作业头4、14吸附保持的部件依赖于喷嘴70的个数，用上述10个喷嘴70，最大可达到10个。但是，根据部件的大小，并不是所有的喷嘴70都能吸附部件，在吸附部件面积大的部件的场合，与吸附了该部件面积大的部件的喷嘴相邻的喷嘴不能进行部件的吸附，有时这成为必须的。因此，在上述安装顺序中，用喷嘴吸附部件分组处理部922进行能够通过具有10个喷嘴70的1个作业头4、14吸附保持的部件数目的确定处理。

上述相对于各喷嘴的部件高度排列处理部923，基于记忆在第2记忆装置921内的部件高度尺寸信息，对喷嘴70应吸附的部件进行分组处理。也就是说，例如，在喷嘴高度可变为上述水平1～3的三种的场合，根据部件的高度信息可分为3组。例如，能够分为高度低的部件即用水平1高度的喷嘴进行部件吸附操作的第1部件组、高度中等的部件即用水平2高度的喷嘴进行部件吸附操作的第2部件组、高度高的部件即用水平3高度的喷嘴进行部件吸附操作的第3部件组。

上述喷嘴部件高度排列数据记忆装置924记忆通过相对各喷嘴的部件高度排列处理部923处理了的结果信息。结果记忆了喷嘴70的序号与应安装部件的部件高度的关系。

图11是图5的部件吸附喷嘴升降装置进行喷嘴高度切换操作的其它实例的控制部分的方框图。在图10的实例中，首先，制作关联喷嘴序号与部件高度信息的安装程序，而在该实例中，基于上述第1记忆装置920的应安装部件的安装顺序数据和上述第2记忆装置921的应安装部件的部件数据，在进行安装装置整体操作控制的控制装置1000内的运算·处理装置部1100中，判断各部件的高度与喷嘴高度水平的关系，进行水平切换。

因此，安装装置的运算·处理装置部1100大体由安装顺序部件高度数据读取部1101、高度判别处理部1102、部件高度切换处理部1103构成。

通过上述安装顺序部件高度数据读取部1101读取上述安装顺序数据和上述部件数据。

接着，通过上述高度判别处理部1102判断各部件的高度与喷嘴高度水平的关系。例如，如上所述，在水平1～3的3个阶段切换喷嘴70，并且假设水平1对低于第1阈值TH1的部件适用，水平2对高于第1阈值TH1且低于第2阈值TH2的部件适用，水平3对高于第2阈值TH2的部件适用，根据各部件的高度判断适用水平1～3的3个阶段中的哪一个。此外，作为第1阈值TH1的一个实例可采用6mm，作为第2阈值TH2的一个实例可采用13mm，但并不限于此，在满足TH1＜TH2条件的基础上，可以设定任意适当的值。

接着，通过上述部件高度切换处理部1103，比较适用于其次应吸附部件的喷嘴水平与当前的水平，判断喷嘴高度的切换操作如何进行，通过气缸·传感器控制部902及电动机控制部903，驱动控制升降驱动电动机56、喷嘴选择气缸45、上止点变更用切换用第1气缸(高度切换用第1气缸)62、上止点变更用切换用第2气缸(高度切换用第2气缸)61等。

下面，说明根据各部件的高度判断喷嘴70适用于水平1～3的3个阶段中哪一个的操作。图12是该判断操作，即图5的部件吸附喷嘴升降装置的喷嘴高度切换操作的流程图。

首先，开始安装，在步骤#50中，喷嘴70回复原点时，使其成为水平1的高度。

接着，在步骤#51中，判断部件高度是否高于第2阈值TH2。如果部件高度低于第2阈值TH2，则进入步骤#52。如果部件高度高于第2阈值TH2，则进入步骤#57。

在步骤#52中，判断部件高度是否高于第1阈值TH1。如果部件高度低于第1阈值TH1，能够适用水平1的喷嘴，因而不需要进行喷嘴的高度切换，则进入步骤#53。另一方面，部件高度高于第1阈值TH1的场合，则进入步骤#59。

在步骤#53中，进行通过喷嘴70的部件吸附，在步骤#54中，进行通过喷嘴70吸附了的部件的部件识别，在步骤#55中，进行通过喷嘴70吸附了的部件的部件装载。

接着，在步骤#56中，判断1块基板是否安装结束，即是否残留有应安装的部件。在没有应安装的部件的场合，作为1块基板安装结束，返回步骤#50。另外，也可以根据情况，结束该一连串的操作。另一方面，在有应安装的部件的场合，返回步骤#51，重复进行上述操作。

另一方面，在步骤#57中，判断当前的水平是否为水平3。在当前水平为水平3的场合，不需要切换水平，因而进入步骤#53，用水平3的喷嘴进行部件安装。另一方面，在当前水平不为水平3的场合，必须切换水平，因此进入步骤#58。

在步骤#58中，将喷嘴高度从当前水平变更到水平3。然后进入步骤#53，用水平3的喷嘴进行部件安装。

在步骤#59中，判断当前水平是否为水平2。在当前水平为水平2的场合，不需要切换水平，因而进入步骤#53，用水平2的喷嘴进行部件安装。另一方面，在当前水平不为水平2的场合，必须切换水平，因此进入步骤#60。

在步骤#60中，将喷嘴高度从当前水平变更到水平2。然后进入步骤#53，用水平2的喷嘴进行部件安装。

这样进行喷嘴高度切换操作。另外，如上所述，在该喷嘴高度切换操作中，一旦从水平1切换到水平2或水平3，就不能返回水平1。这是因为如上所述，在图10中，制作关联喷嘴序号与部件高度信息的安装程序时，成为适用于根据该安装程序判断喷嘴的水平切换的场合。

此外，例如在图10的喷嘴部件高度排列数据记忆装置924内的信息中，在作为第1阈值TH1的一个实例采用6mm，作为第2阈值TH2的一个实例采用13mm的状态下，根据上述图12的流程，判断水平切换的场合，由于在喷嘴70的序号为No.1的部件高度为3mm，在喷嘴70的序号为No.2的部件高度为4mm，在喷嘴70的序号为No.3的部件高度为2mm，……，在喷嘴70的序号为No.20的部件高度为4mm，因此用喷嘴No.1～No.20在水平1的高度进行安装操作。由于在喷嘴70的序号为No.21的部件高度为8mm，在喷嘴70的序号为No.22的部件高度为9mm，……，在喷嘴70的序号为No.30的部件高度为7mm，因此用喷嘴No.20～No.30在水平2的高度进行安装操作。由于在喷嘴70的序号为No.31的部件高度为15mm，……，因此用喷嘴No.31以后的在水平3的高度进行安装操作。另外，其中，假设第1次作业头的安装操作用No.1～No.10的喷嘴进行部件安装，第2次作业头的安装操作用No.11～No.20的喷嘴进行部件安装，第3次作业头的安装操作用No.21～No.30的喷嘴进行部件安装，但是实际使用的喷嘴例如No.1和No.11及No.21为同一喷嘴，即第1喷嘴70。

另一方面，图13是图5的部件吸附喷嘴升降装置的喷嘴高度切换操作的变形实例的流程图。基本上与图12相同，但是在水平1进行一次部件安装后，在步骤#56之后，通过判断是否适用水平1，即使一旦切换到水平2或水平3以后，仍然切换到水平1。因此，成为不仅能够适用于图10的结构，而且也能够适用于图11的结构的流程。

也就是说，在步骤#61中，判断部件高度是否低于第1阈值TH1。如果部件高度高于第1阈值TH1，则进入步骤#51。另一方面，在部件高度低于第1阈值TH1的场合，则进入步骤#62。

在步骤#62中，判断当前水平是否为水平1。在当前水平为水平1的场合，由于不需要切换水平，因而进入步骤#53，用水平1的喷嘴进行部件安装。另一方面，在当前水平不为水平1的场合，由于必须切换水平，因此进入步骤#63。

在步骤#63中，将喷嘴高度从当前水平变更到水平1。然后进入步骤#53，用水平1的喷嘴进行部件安装。

另外，也可以根据场合，代替步骤#50，进行步骤#61，在判断对各部件适用于水平3或水平2之前，判断是否可以适用水平1。

按照上述实施形式，进行喷嘴选择时，在喷嘴选择气缸45的活塞杆46位于下端位置的状态下，与喷嘴升降轴55的上端之间必然形成间隙，从而在选择喷嘴时，喷嘴选择气缸45的活塞杆46与喷嘴升降轴55不接触，通过升降驱动电动机56的驱动，使升降部件58下降时，起初活塞杆46与喷嘴升降轴55接触。这样，由于活塞杆46与喷嘴升降轴55不接触，因此，不会对喷嘴升降轴产生冲击，喷嘴吸附的部件不会错位或出现部件掉落。

另外，使所有喷嘴升降轴55上升时，通过升降驱动电动机56的驱动使所有喷嘴选择气缸45上升，同时，喷嘴升降轴由于弹力上升，因此，不需要象以往那样克服气缸的作用力，借助电动机通过升降板使所有喷嘴升降轴上升，从而不会产生电动机的过载。

另外，将喷嘴高度(部件吸附时的上升高度)作为3个阶段切换的方式，通过根据部件高度切换喷嘴高度，对部件高度低的部件，缩小喷嘴上升的距离，缩短喷嘴上下操作的距离，由此，能够缩短吸附时间、装载时间，实现安装生产节拍的提高。

另外，在图2～图4的实施形式中，由于上述喷嘴选择气缸45的上述活塞杆46的下端下降到与升降部件58的上述切槽58a的边缘接触，因而，上述活塞杆46的下端位置始终一定，没有偏差。结果，上述活塞杆46的下端与喷嘴升降轴55的上端接触的位置一定，能够更精确地控制喷嘴升降轴55的升降量。因此，安装时能够不使部件过负载地进行安装。

另外，本发明并不限于上述实施形式，还可以通过其它各种形式实施。

例如，在上述活塞杆46不与被选择了的上述喷嘴升降轴55接触的范围内，使上述喷嘴选择气缸45的活塞杆46向该喷嘴升降轴55的上端部下降，代替这种形式，也可以将上述喷嘴选择气缸45的活塞杆46固定在升降部件侧，在上述喷嘴选择气缸45的主体不接触被选择了的上述喷嘴升降轴55的范围内，使其向该喷嘴升降轴55的上端部下降。

另外，作为连接于上述升降用旋转驱动装置的旋转轴上的螺纹轴的一个实例，使用上述圆头螺栓轴57，但并不限于此，也可以是常用的螺纹轴。

按照本发明，进行喷嘴选择时，在喷嘴选择气缸的活塞杆位于下端位置的状态下，与喷嘴升降轴的上端之间必然形成间隙，从而选择喷嘴时喷嘴选择气缸的活塞杆与喷嘴升降轴不接触，通过升降驱动电动机的驱动，活塞杆下降，使上述所有喷嘴选择用促动器一起下降时，起初，从上述喷嘴选择用促动器选择地下降的上述气缸与上述被选择了的喷嘴升降轴接触。这样，由于选择喷嘴时活塞杆不与喷嘴升降轴接触，因此不会对喷嘴升降轴产生冲击，喷嘴吸附的部件不会错位或出现部件掉落。

另外，使所有喷嘴升降轴上升时，通过升降驱动电动机的驱动使所有喷嘴选择气缸一起上升，同时，喷嘴升降轴由于弹力上升，因此，不需要象以往那样克服气缸的作用力，借助电动机通过升降板使所有喷嘴升降轴上升，不会发生电动机的过载。

另外，将喷嘴高度(部件吸附时的上升高度)作为多个阶段切换的方式，通过根据部件高度切换喷嘴高度，对部件高度低的部件，缩小喷嘴上升的距离，缩短喷嘴上下操作的距离，从而能够缩短吸附时间、装载时间，实现安装生产节拍的提高。

另外，如果上述喷嘴选择气缸的上述活塞杆的下端下降到与升降部件的上述贯通孔或切槽的边缘接触，上述活塞杆的下端位置始终一定，没有偏差。结果，上述活塞杆的下端与喷嘴升降轴的上端接触的位置一定，能够更精确地控制喷嘴升降轴的升降量。因此，安装时能够不使部件过负载地进行安装。

本发明虽然参照附图同时对相关优选实施形式进行了充分说明，但是，可以理解对于该技术领域的熟练人员来说，可以作出各种变形或修改。应该理解只要这些变形或修改在权利要求的本发明的范围内，就包含在本发明中。

Claims (8)

1、一种部件吸附喷嘴升降装置，设有：

将吸附保持部件的吸附喷嘴(70)支撑在各下端且始终被向上方施力的多个喷嘴升降轴(55)；和

喷嘴选择用促动器(45)，是对应于上述多个喷嘴升降轴设置的多个喷嘴选择用促动器，选择上述多个喷嘴中应下降的1个吸附喷嘴时，使与具有该被选择了的吸附喷嘴的被选择了的上述喷嘴升降轴对应的气缸，在上述气缸与被选择了的上述喷嘴升降轴不接触的范围内，向该喷嘴升降轴下降；和

使上述所有喷嘴选择用促动器一起下降，通过由上述喷嘴选择用促动器中选择地下降的上述气缸，与上述被选择了的喷嘴升降轴接触，使该喷嘴升降轴下降的升降用旋转驱动装置(56)；和

变更上述各喷嘴升降轴的上止点位置的上止点变更装置(61、62)。

2、根据权利要求1所述的部件吸附喷嘴升降装置，其特征在于，还设有固定上述所有喷嘴选择用促动器，同时与连接于上述升降用旋转驱动装置的旋转轴上的螺纹轴(57)螺纹连接，并且通过上述螺纹轴的正反旋转进行升降的升降部件(58)，通过上述螺纹轴的正反旋转使上述升降部件升降，从而使上述所有喷嘴选择用促动器一起升降。

3、根据权利要求2所述的部件吸附喷嘴升降装置，其特征在于，上述升降部件具有上述各喷嘴升降轴的上端部可穿过的贯通孔或切槽(58a)，选择上述多个喷嘴中应下降的1个吸附喷嘴时，上述喷嘴升降轴的上端在不从上述贯通孔或切槽向上方突出的范围内，位于上述贯通孔或切槽内，同时，上述喷嘴选择用促动器的上述气缸的下端下降到与上述贯通孔或切槽的边缘接触，在上述气缸的下端与上述喷嘴升降轴的上端部之间，在上述贯通孔或切槽内形成间隙，通过上述升降用旋转驱动装置的旋转驱动使上述升降部件下降时，上述气缸的下端与上述喷嘴升降轴的上端部接触，通过上述气缸的下端使上述喷嘴升降轴下降。

4、根据权利要求2所述的部件吸附喷嘴升降装置，其特征在于，在上述喷嘴升降轴的上端部固定有与上述气缸的下端接触并且可向下推压的平板部(55a)，选择上述多个喷嘴中应下降的1个吸附喷嘴，使上述气缸的下端下降时，在上述气缸的下端与上述喷嘴升降轴的上端部的上述平板部之间形成间隙，通过上述升降用旋转驱动装置的旋转驱动使上述升降部件下降时，上述气缸的下端与上述喷嘴升降轴的上端部的上述平板部接触，通过上述气缸的下端使上述喷嘴升降轴下降。

5、根据权利要求1～4中任意一项所述的部件吸附喷嘴升降装置，其特征在于，上述上止点变更装置(61、61)由在活塞杆(61a、62a)上设有与上述喷嘴升降轴配合的配合部(63b、64b)的上止点变更气缸构成，驱动上述上止点变更气缸，使上述活塞杆的上述配合部与上述喷嘴升降轴配合时的上述喷嘴升降轴的上止点，位于上述上止点变更气缸的上述活塞杆的上述配合部与上述喷嘴升降轴不配合时的上述喷嘴升降轴的上止点的下方。

6、根据权利要求1～4中任意一项所述的部件吸附喷嘴升降装置，其特征在于，上述上止点变更装置(61、62)由第1上止点变更用促动器(62)和第2上止点变更用促动器(61)构成，在各上止点变更用促动器的活塞杆上设有与上述喷嘴升降轴配合的配合部(63b、64b)，按照上述第1上止点变更用促动器的上述活塞杆的上述配合部(63b)不与上述喷嘴升降轴配合时的上述喷嘴升降轴的上止点、上述第1上止点变更用促动器的上述活塞杆的上述配合部与上述喷嘴升降轴配合时的上述喷嘴升降轴的上止点、上述第2上止点变更用促动器的上述活塞杆的上述配合部(64b)与上述喷嘴升降轴配合时的上述喷嘴升降轴的上止点的顺序，上述喷嘴升降轴的上止点位于下方。

7、根据权利要求1～4中任意一项所述的部件吸附喷嘴升降装置，其特征在于，上述喷嘴选择用促动器(45)是喷嘴选择气缸，上述升降用旋转驱动装置(56)是升降驱动电动机，上述螺纹轴(57)是圆头螺栓轴。

8、一种部件安装装置，设有：

容纳通过上述部件吸附喷嘴升降装置的上述吸附喷嘴吸附的部件的部件供给部(8A、8B、8C、18A、18B、18C)，和

使具有权利要求1～4中任意一项所述的部件吸附喷嘴升降装置的头(4、14)移动的头驱动装置(5、15)，和

将安装通过上述部件吸附喷嘴升降装置的上述吸附喷嘴吸附了的部件的基板(2)保持住的基板搬送保持装置(3、13)，

通过上述头驱动装置的驱动，使上述头移动到上述部件供给部，通过上述部件吸附喷嘴升降装置，使被选择了的1个上述吸附喷嘴下降，由上述部件供给部吸附上述部件后，通过上述头驱动装置的驱动，使上述头从上述部件供给部移动到上述基板上，通过上述部件吸附喷嘴升降装置，使上述被选择的且吸附了上述部件的上述吸附喷嘴下降，将上述部件安装到上述基板上。

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