KR102654792B1 - 자외선 조사 장치 및 자외선 조사 방법 - Google Patents

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Abstract

(과제) 수용부 내의 파티클의 발생을 억제할 수 있고, 기판을 청정하게 유지한다.
(해결 수단) 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능한 수용부와, 상기 수용부의 외부에 형성되고, 상기 기판에 자외선을 조사 가능한 조사부와, 상기 수용부의 외부에 형성되고, 상기 수용부의 외부로부터 상기 수용부의 내부에 수용되어 있는 상기 기판에 상기 자외선이 조사되도록 상기 조사부를 상기 수용부의 외부에서 이동시키는 이동부를 포함한다.

Description

자외선 조사 장치 및 자외선 조사 방법{UV IRRADIATION APPARATUS AND UV IRRADIATION METHOD}
본 발명은 자외선 조사 장치 및 자외선 조사 방법에 관한 것이다.
액정 디스플레이 등의 표시 패널을 구성하는 유리 기판 상에는, 배선 패턴 및 전극 패턴 등의 미세한 패턴이 형성되어 있다. 예를 들어 이와 같은 패턴은, 포토리소그래피법 등의 방법에 의해 형성된다. 포토리소그래피법은, 레지스트막을 유리 기판에 도포하는 공정, 레지스트막을 노광하는 공정, 노광 후의 레지스트막을 현상하는 공정 및 현상 후의 레지스트막에 대해서 자외선 등의 광을 조사하는 공정 (큐어 공정) 을 포함한다.
상기 서술한 큐어 공정은, 기판에 대해서 자외선을 조사하는 자외선 조사 장치에 의해 실시된다. 예를 들어, 특허문헌 1 에는, 기판을 수평 방향으로 반송시키는 벨트 반송 기구와, 기판에 대해서 자외선을 조사시키는 자외선 조사 기구를 구비한 구성이 개시되어 있다.
특허문헌 2 에는, 기판을 유지하는 기판 유지구와, 기판에 대해서 자외선을 조사시키는 자외선 발생원과, 자외선 발생원으로부터의 자외선의 조사 방향을 바꾸는 반사판을 구비한 구성이 개시되어 있다.
일본 공개특허공보 평4-97515호 일본 공개특허공보 2006-114848호
그러나, 특허문헌 1 에서는, 벨트 반송 기구의 상방에 자외선 조사 기구 등을 형성한 상부 덮개를 형성하고, 상부 덮개로 덮인 공간에 있어서 기판을 수평 방향으로 반송하면서 자외선을 조사하는 구성이기 때문에, 기판을 반송할 때, 공간 내에 미세한 먼지 등 (이하, 「파티클」 이라고 한다.) 이 발생할 우려가 있다.
특허문헌 2 에서는, 처리실 내에 기판 유지대 및 모터를 형성하고, 모터로 기판 유지대를 상하 이동 또는 회전시키는 구성이기 때문에, 기판을 이동할 때에 처리실 내에 파티클이 발생할 우려가 있다.
이들 특허문헌 1 및 2 에 있어서는, 기판을 이동할 때에 파티클이 발생할 우려가 있기 때문에, 발생한 파티클이 기판 상에 부착하는 경우가 있고, 기판을 청정하게 유지하는 데에 있어서 과제가 있었다.
이상과 같은 사정을 감안하여, 본 발명은, 수용부 내의 파티클의 발생을 억제할 수 있고, 기판을 청정하게 유지하는 것이 가능한 자외선 조사 장치 및 자외선 조사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 관련된 자외선 조사 장치는, 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능한 수용부와, 상기 수용부의 외부에 형성되고, 상기 기판에 자외선을 조사 가능한 조사부와, 상기 수용부의 외부에 형성되고, 상기 수용부의 외부로부터 상기 수용부의 내부에 수용되어 있는 상기 기판에 상기 자외선이 조사되도록 상기 조사부를 상기 수용부의 외부에서 이동시키는 이동부를 포함한다.
이 구성에 의하면, 밀폐 공간을 갖는 수용부의 내부에서 기판을 정지시킨 상태에서, 수용부의 외부에서 조사부를 이동시키면서 수용부의 내부의 기판에 자외선을 조사할 수 있기 때문에, 기판의 이동에 수반하는 파티클의 발생을 고려할 필요가 없다. 또, 조사부의 이동은 수용부의 외부에서 실시되기 때문에, 만일 조사부의 이동에 수반하여 파티클이 발생했다고 해도, 수용부를 밀폐 공간으로 함으로써, 수용부 내로의 파티클의 침입을 회피할 수 있다. 따라서, 수용부 내의 파티클의 발생을 억제할 수 있고, 기판을 청정하게 유지할 수 있다.
또, 기판을 정지시킨 상태에서 조사부를 이동시킴으로써, 조사부보다 평면에서 봤을 때 사이즈가 큰 기판을 사용해도, 조사부를 정지시킨 상태에서 기판을 이동시키는 경우와 비교하여, 기판에 자외선을 조사할 때에 필요한 스페이스를 절약 할 수 있고, 풋프린트를 작게 할 수 있다.
또, 수용부 내에서 기판을 정지시킨 상태로 함으로써, 수용부 내는 기판의 수용 스페이스를 확보하기만 하면 되기 때문에, 수용부 내에서 기판을 이동시키는 경우와 비교하여, 수용부의 용적을 작게 할 수 있고, 수용부 내의 산소 농도·이슬점의 관리를 하기 쉬워진다. 또, 수용부 내의 산소 농도를 조정할 때에 사용하는 질소의 소비량을 삭감할 수 있다.
상기 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 수용부에는, 상기 자외선을 투과 가능한 투과부가 형성되어도 된다.
이 구성에 의하면, 투과부를 사용한 간단한 구성으로, 투과부를 통해서 기판에 자외선을 조사할 수 있다.
상기 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 수용부는, 상기 기판의 상방을 덮는 천판을 포함하고, 상기 투과부는 상기 천판에 형성되어도 된다.
이 구성에 의하면, 수용부의 천판에 투과부를 형성한 간단한 구성으로, 투과부를 통해서 기판에 자외선을 조사할 수 있다. 또, 수용부의 일부에 투과부를 형성함으로써, 수용부 전체에 투과부를 형성하는 경우와 비교하여, 투과부의 메인터넌스성을 향상시킬 수 있다.
상기 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 이동부는, 상기 수용부를 끼우도록 상기 조사부의 이동 방향으로 연장되는 가이드부와, 상기 수용부를 걸치도록 문형으로 형성됨과 함께, 상기 가이드부를 따라 이동 가능하게 되는 문형 프레임을 포함하고, 상기 문형 프레임에는, 상기 조사부를 유지하는 유지부가 형성되어도 된다.
이 구성에 의하면, 일반적인 레일을 따라 조사부를 이동시키는 경우와 비교하여, 높은 강성을 갖는 문형 프레임에 의해 조사부를 가이드부를 따라 이동시킬 수 있기 때문에, 조사부의 이동을 안정적으로 실시할 수 있다.
상기 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 수용부는, 상기 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능하고 또한 상기 조사부의 이동 방향으로 늘어서는 제 1 수용부 및 제 2 수용부를 포함하고, 상기 가이드부는, 상기 제 1 수용부를 끼우도록 연장되는 제 1 레일과, 상기 제 1 레일에 상기 조사부의 이동 방향으로 늘어섬과 함께 상기 제 2 수용부를 끼우도록 연장되는 제 2 레일을 포함해도 된다.
이 구성에 의하면, 제 1 레일 및 제 2 레일을 따라 조사부를 이동시킬 수 있기 때문에, 제 1 수용부 내의 기판으로의 자외선 조사와, 제 2 수용부 내의 기판으로의 자외선 조사를 연속해서 실시할 수 있다.
또, 제 1 수용부 및 제 2 수용부를 포함하기 때문에, 2 개의 기판을 동시에 처리할 수 있다.
또, 밀폐 공간을 갖는 제 1 수용부 내 및 제 2 수용부 내에서 기판을 정지시킨 상태에서, 제 1 수용부 외 및 제 2 수용부 외에서 조사부를 이동시키면서 제 1 수용부 내 및 제 2 수용부 내의 기판에 자외선을 조사할 수 있기 때문에, 제 1 수용부 내 및 제 2 수용부 내의 파티클의 발생을 억제할 수 있고, 기판을 청정하게 유지할 수 있다.
또, 제 1 수용부 및 제 2 수용부를 구비한 구성에 있어서, 풋프린트의 축소화, 각 수용부 내의 산소 농도·이슬점의 관리의 용이화를 도모함과 함께, 각 수용부 내의 산소 농도를 조정할 때에 사용하는 질소의 소비량을 삭감할 수 있다.
상기 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 조사부의 이동 방향에 있어서의 상기 제 1 레일과 상기 제 2 레일의 사이에는, 상기 문형 프레임의 이동을 보조하는 가이드 보조부가 착탈 가능하게 형성되어도 된다.
이 구성에 의하면, 가이드 보조부를 착탈함으로써, 제 1 레일 또는 제 2 레일의 일방만을 따른 문형 프레임의 이동과, 제 1 레일 및 제 2 레일을 연속적으로 따른 문형 프레임의 이동을 전환할 수 있다. 예를 들어, 가이드 보조부를 탈리함으로써, 제 1 레일 또는 제 2 레일의 일방만을 따른 문형 프레임의 이동으로 전환할 수 있다. 한편, 가이드 보조부를 접속함으로써, 제 1 레일 및 제 2 레일을 연속적으로 따른 문형 프레임의 이동으로 전환할 수 있다.
상기 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 수용부의 외부에는, 상기 조사부를 냉각 가능한 냉각부가 형성되어도 된다.
이 구성에 의하면, 조사부를 냉각시킬 수 있기 때문에, 자외선을 기판에 연속 조사할 때 등에 조사부를 연속 구동하는 경우라도, 조사부가 과열되는 것을 억제할 수 있다.
상기 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 이동부는, 상기 조사부와 함께 상기 냉각부를 상기 수용부의 외부에서 이동시켜도 된다.
이 구성에 의하면, 조사부 및 냉각부를 통합하여 일괄하여 이동시킬 수 있기 때문에, 조사부 및 냉각부를 별개 독립적으로 이동시키는 경우와 비교하여, 장치 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
상기 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 수용부에는, 상기 수용부의 내부 분위기의 산소 농도를 조정 가능한 산소 농도 조정부가 형성되어도 된다.
이 구성에 의하면, 수용부의 내부 분위기의 산소 농도를 소정의 농도로 조정할 수 있기 때문에, 소정의 산소 농도의 조건하에서 자외선을 기판에 조사할 수 있다.
상기 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 수용부에는, 상기 수용부의 내부 분위기의 이슬점을 조정 가능한 이슬점 조정부가 형성되어도 된다.
이 구성에 의하면, 수용부의 내부 분위기의 이슬점을 소정의 이슬점으로 조정할 수 있기 때문에, 소정의 이슬점의 조건하에서 자외선을 기판에 조사할 수 있다.
본 발명의 일 양태에 관련된 자외선 조사 방법은, 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능한 수용부와, 상기 수용부의 외부에 형성되고, 상기 기판에 자외선을 조사 가능한 조사부를 포함하는 자외선 조사 장치를 사용한 자외선 조사 방법으로서, 상기 기판을 상기 수용부에 밀폐 공간에서 수용하는 수용 스텝과, 상기 기판에 자외선을 조사하는 조사 스텝과, 상기 수용부의 외부로부터 상기 수용부의 내부에 밀폐 공간에서 수용되어 있는 상기 기판에 상기 자외선이 조사되도록 상기 조사부를 상기 수용부의 외부에서 이동시키는 이동 스텝을 포함한다.
이 방법에 의하면, 밀폐 공간을 갖는 수용부의 내부에서 기판을 정지시킨 상태에서, 수용부의 외부에서 조사부를 이동시키면서 수용부의 내부의 기판에 자외선을 조사할 수 있기 때문에, 기판의 이동에 수반하는 파티클의 발생을 고려할 필요가 없다. 또, 조사부의 이동은 수용부의 외부에서 실시되기 때문에, 만일 조사부의 이동에 수반하여 파티클이 발생했다고 해도, 수용부를 밀폐 공간으로 함으로써, 수용부 내로의 파티클의 침입을 회피할 수 있다. 따라서, 수용부 내의 파티클의 발생을 억제할 수 있고, 기판을 청정하게 유지할 수 있다.
또, 기판을 정지시킨 상태에서 조사부를 이동시킴으로써, 조사부보다 평면에서 봤을 때 사이즈가 큰 기판을 사용해도, 조사부를 정지시킨 상태에서 기판을 이동시키는 경우와 비교하여, 기판에 자외선을 조사할 때에 필요한 스페이스를 절약 할 수 있고, 풋프린트를 작게 할 수 있다.
또, 수용부 내에서 기판을 정지시킨 상태로 함으로써, 수용부 내는 기판의 수용 스페이스를 확보하기만 하면 되기 때문에, 수용부 내에서 기판을 이동시키는 경우와 비교하여, 수용부의 용적을 작게 할 수 있고, 수용부 내의 산소 농도·이슬점의 관리를 하기 쉬워진다. 또, 수용부 내의 산소 농도를 조정할 때에 사용하는 질소의 소비량을 삭감할 수 있다.
상기 자외선 조사 방법에 있어서, 상기 수용부에는, 상기 자외선을 투과 가능한 투과부가 형성되고, 상기 이동 스텝은, 상기 투과부를 통해서 상기 수용부의 내부의 상기 기판에 상기 자외선이 조사되도록 상기 조사부를 상기 수용부의 외부에서 이동시켜도 된다.
이 방법에 의하면, 투과부를 사용한 간단한 구성으로, 투과부를 통해서 기판에 자외선을 조사할 수 있다.
상기 자외선 조사 방법에 있어서, 상기 이동 스텝은, 상기 수용부를 끼우도록 상기 조사부의 이동 방향으로 연장되는 가이드부의 일단과 타단의 사이에서 상기 조사부를 왕복 이동시켜도 된다.
이 방법에 의하면, 가이드부의 일단과 타단의 사이에서 조사부를 일방향으로만 이동시키는 경우와 비교하여, 자외선을 기판에 반복 조사할 때라도, 스무스하게 효율적으로 조사할 수 있다. 또, 1 개의 조사부를 형성하면 충분하기 때문에, 장치 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
상기 자외선 조사 방법에 있어서, 상기 수용부의 외부에는, 상기 조사부를 냉각 가능한 냉각부가 형성되고, 상기 이동 스텝은, 상기 조사부와 함께 상기 냉각부를 상기 수용부의 외부에서 이동시켜도 된다.
이 방법에 의하면, 조사부 및 냉각부를 통합하여 일괄하여 이동시킬 수 있기 때문에, 조사부 및 냉각부를 별개 독립적으로 이동시키는 경우와 비교하여, 장치 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
상기 자외선 조사 방법에 있어서, 상기 수용부의 내부 분위기의 산소 농도를 조정하는 산소 농도 조정 스텝을 포함해도 된다.
이 방법에 의하면, 수용부의 내부 분위기의 산소 농도를 소정의 농도로 조정할 수 있기 때문에, 소정의 산소 농도의 조건하에서 자외선을 기판에 조사할 수 있다.
상기 자외선 조사 방법에 있어서, 상기 수용부의 내부 분위기의 이슬점을 조정하는 이슬점 조정 스텝을 포함해도 된다.
이 방법에 의하면, 수용부의 내부 분위기의 이슬점을 소정의 이슬점으로 조정할 수 있기 때문에, 소정의 이슬점의 조건하에서 자외선을 기판에 조사할 수 있다.
본 발명에 의하면, 수용부 내의 파티클의 발생을 억제할 수 있고, 기판을 청정하게 유지하는 것이 가능한 자외선 조사 장치 및 자외선 조사 방법을 제공할 수 있다.
도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치의 사시도이다.
도 2 는, 제 1 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치의 상면도이다.
도 3 은, 도 2 의 III-III 단면도 (斷面圖) 를 포함하는, 제 1 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치의 측면도이다.
도 4 는, 제 2 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치의 사시도이다.
도 5 는, 제 2 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치의 상면도이다.
도 6 은, 제 2 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치의 측면도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태를 설명한다. 이하의 설명에 있어서는, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계에 대하여 설명한다. 수평면 내의 소정 방향을 X 방향, 수평면 내에 있어서 X 방향과 직교하는 방향을 Y 방향, X 방향 및 Y 방향의 각각과 직교하는 방향 (즉, 연직 방향) 을 Z 방향으로 한다.
(제 1 실시형태)
도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치 (1) 의 사시도이다. 도 2 는, 제 1 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치 (1) 의 상면도이다. 도 3 은, 도 2 의 III-III 단면도를 포함하는, 제 1 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치 (1) 의 측면도이다.
＜자외선 조사 장치＞
도 1 ∼ 도 3 에 나타내는 바와 같이, 자외선 조사 장치 (1) 는, 기판 (10) 에 대해서 자외선 조사를 실시하는 장치이다. 자외선 조사 장치 (1) 는, 챔버 (2) (수용부), 스테이지 (3), 조사 유닛 (4), 반송 기구 (5) (이동부), 냉각부 (6), 가스 공급부 (7) 및 제어부 (8) 를 구비한다. 제어부 (8) 는, 자외선 조사 장치 (1) 의 구성 요소를 통괄 제어한다.
＜챔버＞
챔버 (2) 는, 자외선 조사 처리가 실시되는 기판 (10) 을 수용한다. 챔버 (2) 는, 상면에서 봤을 때 사각형을 이루는 박스 형상으로 형성된다. 구체적으로, 챔버 (2) 는, 기판 (10) 의 상방을 덮는 사각형 판상의 천판 (20) 과, 기판 (10) 의 측방을 둘러싸도록 덮는 사각형 프레임 형상의 둘레벽 (21) 과, 기판 (10) 의 하방을 덮는 바닥판 (22) 에 의해 형성된다. 둘레벽 (21) 의 ―Y 방향측에는, 챔버 (2) 에 대해서 기판 (10) 의 반입 및 반출을 하기 위한 기판 반출입구 (21a) 가 형성된다.
예를 들어, 천판 (20), 둘레벽 (21) 및 바닥판 (22) 은, 자외선을 차광하는 차광 부재에 의해 형성된다. 이에 따라, 챔버 (2) 의 내부의 기판 (10) 에 대해서 자외선을 조사할 때에, 자외선이 챔버 (2) 의 외부로 누출되는 것을 회피할 수 있다.
챔버 (2) 는, 기판 (10) 을 밀폐 공간에서 수용 가능하게 구성된다. 예를 들어, 천판 (20), 둘레벽 (21) 및 바닥판 (22) 의 각 접속부를 용접 등으로 간극없이 결합함으로써, 챔버 (2) 내의 기밀성을 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 챔버 (2) 에는, 펌프 기구 등의 감압 기구 (도시하지 않음) 가 형성된다. 이에 따라, 챔버 (2) 내를 감압시킨 상태에서 기판 (10) 을 수용할 수 있다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 챔버 (2) 내에는, 기판 (10) 을 가열하는 가열 기구 (11) 가 형성된다. 가열 기구 (11) 는, 기판 (10) 과 대략 동일한 평면에서 봤을 때 사이즈의 사각형 판상을 갖고, 기판 (10) 을 하방으로부터 지지하도록 배치된다. 가열 기구 (11) 는, 스테이지 (3) 에 장착된다. 가열 기구 (11) 는, 히터 등 (도시하지 않음) 을 포함한다.
＜투과부＞
도 2 에 나타내는 바와 같이, 챔버 (2) 의 천판 (20) 에는, 자외선을 통과 가능한 투과부 (23) 가 형성된다. 투과부 (23) 는, 천판 (20) 의 일부를 구성한다. 투과부 (23) 는, 상면에서 봤을 때 천판 (20) 보다 작은 사각형 판상으로 형성된다. 투과부 (23) 는, 천판 (20) 을 두께 방향으로 개구하는 사각형 개구부 (20h) 에 장착되어 있다. 예를 들어, 투과부 (23) 는, 석영, 내열 유리, 수지 시트, 수지 필름 등을 사용한다.
투과부 (23) 의 사이즈는, 기판 (10) 보다 큰 사이즈로 설정된다. 이에 따라, 기판 (10) 에 대해서 자외선을 조사할 때에, 자외선이 천판 (20) 의 차광부 (투과부 (23) 이외의 부분) 에 의해 차광되는 것을 회피할 수 있기 때문에, 기판 (10) 의 상면 전체에 균일하게 자외선을 조사할 수 있다.
또한, 개구부 (20h) 의 사이즈는, 기판 (10) 이 출납 가능한 사이즈로 설정되어도 된다. 또, 투과부 (23) 는, 개구부 (20h) 에 자유롭게 착탈할 수 있도록 끼워 넣어져도 된다. 이에 따라, 투과부 (23) 를 개구부 (20h) 에 끼워 넣었을 때는 챔버 (2) 내를 밀폐 공간으로 할 수 있고, 투과부 (23) 를 개구부 (20h) 로부터 탈리했을 때는 챔버 (2) 내에 기판 (10) 이 출납할 수 있다.
＜스테이지＞
스테이지 (3) 는, 챔버 (2) 및 반송 기구 (5) 를 상면에서 지지한다. 스테이지 (3) 는, Z 방향으로 두께를 갖는 판상을 이룬다.
스테이지 (3) 는, 케이싱 하부 (31) 에 의해 하방으로부터 지지된다.
케이싱 하부 (31) 는, 복수의 강재 (鋼材) 등의 각주 (角柱) 를 격자상으로 조합하여 형성된다.
또한, 케이싱 하부 (31) 의 하단부에는, 복수의 차륜 (31a) 이 자유롭게 회전할 수 있도록 장착된다. 이에 따라, 케이싱 하부 (31) 를 XY 평면 내에서 자유롭게 이동시킬 수 있다.
스테이지 (3) 에는, 케이싱 (32) 이 형성된다. 케이싱 (32) 은, 기둥부 (33) 및 벽부 (34) 를 구비한다.
기둥부 (33) 는, 복수의 강재 등의 각주를 격자상으로 조합하여 형성되고, 챔버 (2), 조사 유닛 (4) 및 반송 기구 (5) 를 둘러싼다.
벽부 (34) 는, 기둥부 (33) 의 간극 (각 각주의 사이) 에 형성되고, 챔버 (2), 조사 유닛 (4) 및 반송 기구 (5) 의 주위 및 상방을 덮는다.
예를 들어, 벽부 (34) 는, 투명한 판재에 의해 형성된다. 이에 따라, 케이싱 (32) 의 외부로부터 케이싱 (32) 내의 구성 요소를 시인할 수 있다.
＜승강 기구＞
도 3 에 나타내는 바와 같이, 챔버 (2) 의 하방에는, 기판 (10) 을 Z 방향으로 이동 가능하게 하는 승강 기구 (25) 가 형성된다. 승강 기구 (25) 에는, 복수의 리프트 핀 (25a) 이 형성된다. 복수의 리프트 핀 (25a) 의 선단 (＋Z 측의 단 (端)) 은, XY 평면에 평행한 동일면 내에 배치된다.
복수의 리프트 핀 (25a) 의 선단은, 스테이지 (3), 바닥판 (22) 및 가열 기구 (11) 가 삽입 통과 가능하게 된다.
구체적으로, 스테이지 (3) 에는, 스테이지 (3) 를 두께 방향으로 개구하는 복수의 삽입 통과공 (3a) 이 형성된다. 바닥판 (22) 에는, 각 삽입 통과공 (3a) 에 평면에서 봤을 때 겹치는 위치에서 바닥판 (22) 을 두께 방향으로 개구하는 복수의 삽입 통과공 (22a) 이 형성된다. 가열 기구 (11) 에는, 각 삽입 통과공 (22a) 에 평면에서 봤을 때 겹치는 위치에서 가열 기구 (11) 를 두께 방향으로 개구하는 복수의 삽입 통과공 (11a) 이 형성된다. 복수의 리프트 핀 (25a) 의 선단은, 각 삽입 통과공 (3a, 22a, 11a) 을 통해서 기판 (10) 의 하면에 맞닿음·이반 (離反) 가능하게 된다. 그 때문에, 복수의 리프트 핀 (25a) 의 선단에 의해, 기판 (10) 이 XY 평면에 평행하게 지지되도록 되어 있다.
승강 기구 (25) 는, 챔버 (2) 내에 수용되는 기판 (10) 을 지지하면서 챔버 (2) 내의 Z 방향으로 이동하도록 되어 있다. 도 3 에 있어서는, 복수의 리프트 핀 (25a) 의 선단이 각 삽입 통과공 (3a, 22a, 11a) 을 통해서 기판 (10) 의 하면에 맞닿음과 함께 상승함으로써, 기판 (10) 을 가열 기구 (11) 로부터 이반한 상태를 나타내고 있다.
또한, 승강 기구 (25) 에 있어서, 복수의 리프트 핀 (25a) 을 승강시키는 구동원 (25b) 은, 챔버 (2) 의 외부에 배치된다. 그 때문에, 만일 구동원 (25b) 의 구동에 수반하여 파티클이 발생했다고 해도, 챔버 (2) 를 밀폐 공간으로 함으로써, 챔버 (2) 내로의 파티클의 침입을 회피할 수 있다.
＜조사 유닛＞
조사 유닛 (4) 은, 챔버 (2) 의 외부에 형성된다. 조사 유닛 (4) 은, 조사부 (40) 및 집광 부재 (41) 를 구비한다.
조사부 (40) 는, 기판 (10) 에 i 선 등의 자외선을 조사 가능하게 구성된다.
여기서, 「자외선」 이란, 파장 범위의 하한이 1 ㎚ 정도, 상한이 가시광선의 단파장단의 광을 의미한다.
예를 들어, 조사부 (40) 는, 메탈 할라이드 램프를 사용한다.
또한, 조사부 (40) 는, 이것에 한정되지 않고, 고압 수은 램프, LED 램프를 사용해도 된다. 또, 조사부 (40) 는, 이들 램프를 복수 조합해도 된다.
예를 들어, 조사부 (40) 의 하면에는, 파장이 300 ㎚ 보다 낮은 성분을 커트하는 필터가 형성되어도 된다. 이에 따라, 필터를 통해서 사출되는 자외선의 파장은 300 ㎚ 이상이 되기 때문에, 자외선의 조사에 의해 기판 (10) 의 과도한 온도 상승을 억제할 수 있다.
집광 부재 (41) 는, 조사부 (40) 로부터 사출되는 자외선을 기판 (10) 상에 집광한다. 기판 (10) 상에 자외선을 집광시킴으로써, 조사부 (40) 로부터 사출되는 자외선이 기판 (10) 의 외부로 확산되는 것을 억제할 수 있기 때문에, 조도를 향상시킬 수 있다.
＜반송 기구＞
도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 반송 기구 (5) 는, 챔버 (2) 의 외부에 형성된다. 반송 기구 (5) 는, 챔버 (2) 의 외부로부터 챔버 (2) 의 내부에 수용되어 있는 기판 (10) 에 자외선이 조사되도록 조사 유닛 (4) 을 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킨다. 반송 기구 (5) 는, 가이드부 (50), 토대 (53) 및 문형 프레임 (54) 을 구비한다.
가이드부 (50) 는, 1 쌍의 레일 (51) 과 슬라이더 (52) 를 구비한다. 예를 들어, 가이드부 (50) 는, 리니어 모터 액추에이터를 사용한다.
1 쌍의 레일 (51) 은, 챔버 (2) 를 ―Y 방향측 및 ＋Y 방향측에서 끼우도록 조사 유닛 (4) 의 이동 방향 (조사부 (40) 의 이동 방향) 인 X 방향으로 연장된다.
슬라이더 (52) 는, 1 쌍의 레일 (51) 을 따라 슬라이딩 가능하게 구성된다.
토대 (53) 는, 스테이지 (3) 의 네 귀퉁이에 복수 (예를 들어, 본 실시형태에서는 네 귀퉁이에 1 개씩 합계 4 개) 형성된다. 각 토대 (53) 는, 1 쌍의 레일 (51) 에 있어서의 X 방향 양단부를 지지한다.
문형 프레임 (54) 은, 챔버 (2) 를 Y 방향으로 걸치도록 문형으로 형성됨과 함께, 1 쌍의 레일 (51) 을 따라 이동 가능하게 된다. 문형 프레임 (54) 은, Z 방향으로 연장되는 1 쌍의 문기둥부 (54a) 와, 1 쌍의 문기둥부 (54a) 의 사이를 연결하도록 Y 방향으로 연장되는 연결부 (54b) 를 구비한다. 문형 프레임 (54) 에 있어서의 각 문기둥부 (54a) 의 하단부에는, 슬라이더 (52) 가 장착된다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 문형 프레임 (54) 에 있어서의 연결부 (54b) 의 내부에는, 조사 유닛 (4) 을 유지하는 유지부 (54c) 가 형성된다. 유지부 (54c) 는, 문형 프레임 (54) 에 있어서의 Y 방향 중간부의 하면으로부터 상방으로 패인 오목부를 형성한다. 조사 유닛 (4) 중 조사면 (4a) (하면) 을 제외한 부분은, 유지부 (54c) 의 오목부에 둘러싸이고, 문형 프레임 (54) 의 벽부에 의해 덮인다. 예를 들어, 문형 프레임 (54) 은, 자외선을 차광하는 차광 부재에 의해 형성된다. 이에 따라, 조사 유닛 (4) 으로부터 자외선을 조사할 때에, 자외선이 문형 프레임 (54) 의 측방으로 확산하는 것을 회피할 수 있고, 자외선을 하방 (챔버 (2) 내의 기판 (10)) 을 향하여 조사할 수 있다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, X 방향에 있어서, 각 레일 (51) 의 길이 (L1) 는, 챔버 (2) 의 길이 (L2) 보다 길다 (L1 ＞ L2). 본 실시형태에서는, X 방향에 있어서, 각 레일 (51) 의 길이 (L1) 는, 챔버 (2) 의 길이 (L2) 와, 문형 프레임 (54) 2 개분의 길이 (2 × L3) 를 모두 더한 길이 (L2 ＋ 2 × L3) 보다 길게 한다. 이에 따라, 상면에서 봤을 때에, 챔버 (2) 의 ―X 방향단을 넘는 영역으로부터 챔버 (2) 의 ＋X 방향단을 넘는 영역까지 조사 유닛 (4) 을 이동시킬 수 있다.
＜냉각부＞
도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 챔버 (2) 의 외부에는, 조사 유닛 (4) 을 냉각 가능한 냉각부 (6) 가 형성된다. 냉각부 (6) 는, 문형 프레임 (54) 의 ＋Y 방향측의 측벽부 (문기둥부 (54a)) 에 장착된다. 예를 들어, 냉각부 (6) 는, 블로어를 사용한다. 이에 따라, 조사 유닛 (4) 에 의해 발생한 열기를 외부에 배기할 수 있다.
반송 기구 (5) 는, 조사 유닛 (4) 과 함께 냉각부 (6) 를 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킨다.
＜가스 공급부＞
챔버 (2) 에는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 상태를 조정 가능한 가스 공급부 (7) 가 형성된다. 가스 공급부 (7) 는, 건조 가스로서 질소 (N2), 헬륨 (He), 아르곤 (Ar) 등의 불활성 가스를 공급한다.
여기서, 가스 공급부는, 청구항에 기재된 「산소 농도 조정부」 및 「이슬점 조정부」 에 상당한다.
가스 공급부 (7) 에 의해, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 이슬점을 조정할 수 있고, 챔버 (2) 내의 수분 농도를 조정할 수 있다.
예를 들어, 가스 공급부 (7) 는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 이슬점을 ―80 ℃ (수분 농도 0.54 ppm 질량 기준) 이상 또한 ―5 ℃ (수분 농도 4000 ppm 질량 기준) 이하로 하도록 건조 가스의 공급을 조정한다.
예를 들어, 레지스트막의 노광 후의 프리패턴을 경화할 때의 분위기에 있어서, 이와 같이 이슬점을 바람직한 상한 이하로 함으로써, 패턴의 경화를 진행시키기 쉽게 할 수 있다. 한편, 바람직한 하한 이상으로 함으로써, 장치를 운용하는 데 있어서의 작업성 등을 향상시킬 수 있다.
또, 가스 공급부 (7) 에 의해, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도를 조정할 수도 있다. 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도 (질량 기준) 는 낮을수록 바람직하다. 구체적으로는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도를, 1000 ppm 이하로 하는 것이 바람직하고, 500 ppm 이하로 하는 것이 보다 바람직하다.
예를 들어, 레지스트막의 노광 후의 프리패턴을 경화할 때의 분위기에 있어서, 이와 같이 산소 농도를 바람직한 상한 이하로 함으로써, 패턴의 경화를 진행시키기 쉽게 할 수 있다.
＜자외선 조사 방법＞
다음으로, 본 실시형태에 관련된 자외선 조사 방법을 설명한다. 본 실시형태에서는, 상기 자외선 조사 장치 (1) 를 사용하여 기판 (10) 에 자외선을 조사한다. 자외선 조사 장치 (1) 의 각 부에서 실시되는 동작은, 제어부 (8) 에 의해 제어된다.
본 실시형태에 관련된 자외선 조사 방법은, 수용 스텝, 조사 스텝 및 이동 스텝을 포함한다.
수용 스텝에 있어서, 챔버 (2) 는, 기판 (10) 을 밀폐 공간에서 수용한다. 예를 들어, 기판 반출입구 (21a) 를 통해서 챔버 (2) 내에 기판 (10) 을 반송한 후, 기판 반출입구 (21a) 를 폐색하여 챔버 (2) 를 밀폐한다.
조사 스텝에 있어서, 조사 유닛 (4) 은, 기판 (10) 에 자외선을 조사한다.
이동 스텝에 있어서, 반송 기구 (5) 는, 챔버 (2) 의 외부로부터 챔버 (2) 의 내부에 수용되어 있는 기판 (10) 에 자외선이 조사되도록 조사 유닛 (4) 을 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킨다.
이동 스텝에 있어서, 투과부 (23) 를 통해서 챔버 (2) 의 내부의 기판 (10) 에 자외선이 조사되도록 조사 유닛 (4) 을 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킨다. 상기 서술한 바와 같이, 문형 프레임 (54) 의 ＋Y 방향측의 측벽부에는 냉각부 (6) 가 장착되어 있기 때문에, 이동 스텝에 있어서, 조사 유닛 (4) 과 함께 냉각부 (6) 를 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킨다.
이동 스텝에 있어서, 1 쌍의 레일 (51) 의 ―X 방향단 (일단) 과 ＋X 방향단 (타단) 의 사이에서 조사 유닛 (4) 을 왕복 이동시킨다. 예를 들어, 도 3 의 상면에서 봤을 때에, 챔버 (2) 의 ―X 방향단을 넘는 영역으로부터 챔버 (2) 의 ＋X 방향단을 넘는 영역까지 조사 유닛 (4) 을 왕복 이동시킨다.
또한, 본 실시형태에 관련된 자외선 조사 방법은, 가스 공급 스텝을 포함한다.
여기서, 가스 공급 스텝은, 청구항에 기재된 「산소 농도 조정 스텝」 및 「이슬점 조정 스텝」 에 상당한다.
가스 공급 스텝에 있어서, 가스 공급부 (7) 는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 이슬점을 조정한다. 또, 가스 공급 스텝에 있어서, 가스 공급부 (7) 는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도를 조정한다.
이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 밀폐 공간을 갖는 챔버 (2) 의 내부에서 기판 (10) 을 정지시킨 상태에서, 챔버 (2) 의 외부에서 조사 유닛 (4) 을 이동시키면서 챔버 (2) 의 내부의 기판 (10) 에 자외선을 조사할 수 있기 때문에, 기판 (10) 의 이동에 수반하는 파티클의 발생을 고려할 필요가 없다. 또, 조사 유닛 (4) 의 이동은 챔버 (2) 의 외부에서 실시되기 때문에, 만일 조사 유닛 (4) 의 이동에 수반하여 파티클이 발생했다고 해도, 챔버 (2) 를 밀폐 공간으로 함으로써, 챔버 (2) 내로의 파티클의 침입을 회피할 수 있다. 따라서, 챔버 (2) 내의 파티클의 발생을 억제할 수 있고, 기판 (10) 을 청정하게 유지할 수 있다.
또, 기판 (10) 을 정지시킨 상태에서 조사 유닛 (4) 을 이동시킴으로써 조사 유닛 (4) 보다 평면에서 봤을 때 사이즈가 큰 기판 (10) 을 사용해도, 조사 유닛 (4) 을 정지시킨 상태에서 기판 (10) 을 이동시키는 경우와 비교하여, 기판 (10) 에 자외선을 조사할 때에 필요한 스페이스를 절약할 수 있고, 풋프린트를 작게 할 수 있다.
또, 챔버 (2) 내에서 기판 (10) 을 정지시킨 상태로 함으로써, 챔버 (2) 내는 기판 (10) 의 수용 스페이스를 확보하기만 하면 되기 때문에, 챔버 (2) 내에서 기판 (10) 을 이동시키는 경우와 비교하여, 챔버 (2) 의 용적을 작게 할 수 있고, 챔버 (2) 내의 산소 농도·이슬점의 관리를 하기 쉬워진다. 또, 챔버 (2) 내의 산소 농도를 조정할 때에 사용하는 질소의 소비량을 삭감할 수 있다.
또, 챔버 (2) 에는, 자외선을 투과 가능한 투과부 (23) 가 형성됨으로써, 투과부 (23) 를 사용한 간단한 구성으로, 투과부 (23) 를 통해서 기판 (10) 에 자외선을 조사할 수 있다.
또, 챔버 (2) 는, 기판 (10) 의 상방을 덮는 천판 (20) 을 포함하고, 투과부 (23) 는, 천판 (20) 에 형성됨으로써, 챔버 (2) 의 천판 (20) 에 투과부 (23) 를 형성한 간단한 구성으로, 투과부 (23) 를 통해서 기판 (10) 에 자외선을 조사할 수 있다. 또, 챔버 (2) 의 일부에 투과부 (23) 를 형성함으로써, 챔버 (2) 전체에 투과부를 형성하는 경우와 비교하여, 투과부 (23) 의 메인터넌스성을 향상시킬 수 있다.
또, 반송 기구 (5) 는, 챔버 (2) 를 끼우도록 조사 유닛 (4) 의 이동 방향으로 연장되는 1 쌍의 레일 (51) (가이드부 (50)) 과, 챔버 (2) 를 걸치도록 문형으로 형성됨과 함께, 1 쌍의 레일 (51) 을 따라 이동 가능하게 되는 문형 프레임 (54) 을 포함하고, 문형 프레임 (54) 에는, 조사 유닛 (4) 을 유지하는 유지부 (54c) 가 형성됨으로써, 일반적인 레일을 따라 조사 유닛 (4) 을 이동시키는 경우와 비교하여, 높은 강성을 갖는 문형 프레임 (54) 에 의해 조사 유닛 (4) 을 1 쌍의 레일 (51) 을 따라 이동시킬 수 있기 때문에, 조사 유닛 (4) 의 이동을 안정적으로 실시할 수 있다.
또, 챔버 (2) 의 외부에는, 조사 유닛 (4) 을 냉각 가능한 냉각부 (6) 가 형성됨으로써, 조사 유닛 (4) 을 냉각시킬 수 있기 때문에, 자외선을 기판 (10) 에 연속 조사할 때 등에 조사 유닛 (4) 이 연속 구동하는 경우라도, 조사 유닛 (4) 이 과열되는 것을 억제할 수 있다.
또, 반송 기구 (5) 는, 조사 유닛 (4) 과 함께 냉각부 (6) 를 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킴으로써, 조사 유닛 (4) 및 냉각부 (6) 를 통합하여 일괄하여 이동시킬 수 있기 때문에, 조사 유닛 (4) 및 냉각부 (6) 를 별개 독립적으로 이동시키는 경우와 비교하여, 장치 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
또, 챔버 (2) 에는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도 및 이슬점을 조정 가능한 가스 공급부 (7) 가 형성됨으로써, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도를 소정의 농도로 조정할 수 있기 때문에, 소정의 산소 농도의 조건하에서 자외선을 기판 (10) 에 조사할 수 있다. 또, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 이슬점을 소정의 이슬점으로 조정할 수 있기 때문에, 소정의 이슬점의 조건하에서 자외선을 기판 (10) 에 조사할 수 있다.
또, 이동 스텝에 있어서, 1 쌍의 레일 (51) 의 ―X 방향단 (일단) 과 ＋X 방향단 (타단) 의 사이에서 조사 유닛 (4) 을 왕복 이동시킴으로써, 1 쌍의 레일 (51) 의 일단과 타단의 사이에서 조사 유닛 (4) 을 일방향으로만 이동시키는 경우와 비교하여, 자외선을 기판 (10) 에 반복 조사할 때라도, 스무스하게 효율적으로 조사할 수 있다. 또, 1 개의 조사 유닛 (4) 을 형성하면 충분하기 때문에, 장치 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
(제 2 실시형태)
다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 대하여, 도 4 ∼ 도 6 을 사용하여 설명한다.
도 4 는, 제 2 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치 (201) 의 사시도이다. 도 5 는, 제 2 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치 (201) 의 상면도이다. 도 6 은, 제 2 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치 (201) 의 측면도이다.
제 2 실시형태에서는, 제 1 실시형태에 대해서, 챔버 (202) 가 제 1 챔버 (202A) (제 1 수용부) 및 제 2 챔버 (202B) (제 2 수용부) 를 구비하는 점, 가이드부 (250) 가 제 1 레일 (251A) 및 제 2 레일 (251B) 을 구비하는 점에서 특히 상이하다. 도 4 ∼ 도 6 에 있어서, 제 1 실시형태와 동일한 구성에는 동일 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.
＜자외선 조사 장치＞
도 4 ∼ 도 6 에 나타내는 바와 같이, 자외선 조사 장치 (201) 는, 챔버 (202), 스테이지 (203), 조사 유닛 (4), 반송 기구 (205), 냉각부 (6), 가스 공급부 (7) 및 제어부 (8) 를 구비한다. 제어부 (8) 는, 자외선 조사 장치 (201) 의 구성 요소를 통괄 제어한다.
챔버 (202) 는, 제 1 챔버 (202A) 및 제 2 챔버 (202B) 를 구비한다.
제 1 챔버 (202A) 및 제 2 챔버 (202B) 는, 조사 유닛 (4) 의 이동 방향인 X 방향으로 늘어선다.
제 1 챔버 (202A) 는 제 1 기판 (10A) 을 수용하고, 제 2 챔버 (202B) 는 제 2 기판 (10B) 을 수용한다. 또한, 제 1 기판 (10A) 및 제 2 기판 (10B) 은, 서로 동일한 기판을 사용해도 되고, 서로 상이한 기판을 사용해도 된다.
스테이지 (203) 는, 제 1 챔버 (202A), 제 2 챔버 (202B) 및 반송 기구 (205) 를 상면에서 지지한다. 스테이지 (203) 는, 상면에서 봤을 때 X 방향으로 연장되는 장방형상의 판상을 이룬다.
스테이지 (203) 는, 케이싱 하부 (231) 에 의해 하방으로부터 지지된다.
케이싱 하부 (231) 는, 복수의 강재 등의 각주를 격자상으로 조합하여 형성된다.
스테이지 (203) 에는, 케이싱 (232) 이 형성된다. 케이싱 (232) 은, 기둥부 (233) 및 벽부 (234) 를 구비한다.
기둥부 (233) 는, 복수의 강재 등의 각주를 격자상으로 조합하여 형성되고, 제 1 챔버 (202A), 제 2 챔버 (202B), 조사 유닛 (4) 및 반송 기구 (205) 를 둘러싼다.
벽부 (234) 는, 기둥부 (233) 의 간극 (각 각주의 사이) 에 형성되고, 제 1 챔버 (202A), 제 2 챔버 (202B), 조사 유닛 (4) 및 반송 기구 (205) 의 주위 및 상방을 덮는다.
예를 들어, 벽부 (234) 는, 투명한 판재에 의해 형성된다. 이에 따라, 케이싱 (232) 의 외부로부터 케이싱 (232) 내의 구성 요소를 시인할 수 있다.
반송 기구 (205) 는, 제 1 챔버 (202A) 및 제 2 챔버 (202B) 의 외부에 형성된다. 반송 기구 (205) 는, 각 챔버 (202A, 202B) 의 외부로부터 각 챔버 (202A, 202B) 의 내부에 수용되어 있는 각 기판 (10A, 10B) 에 자외선이 조사되도록 조사 유닛 (4) 을 각 챔버 (202A, 202B) 의 외부에서 이동시킨다. 반송 기구 (205) 는, 가이드부 (250), 토대 (53) 및 문형 프레임 (54) 을 구비한다.
가이드부 (250) 는, 1 쌍의 제 1 레일 (251A) 및 1 쌍의 제 2 레일 (251B) 과, 슬라이더 (52) 를 구비한다.
1 쌍의 제 1 레일 (251A) 은, 제 1 챔버 (202A) 를 ―Y 방향측 및 ＋Y 방향측에서 끼우도록 X 방향으로 연장된다.
1 쌍의 제 2 레일 (251B) 은, 제 2 챔버 (202B) 를 ―Y 방향측 및 ＋Y 방향측에서 끼우도록 X 방향으로 연장된다.
슬라이더 (52) 는, 1 쌍의 각 레일 (251A), 레일 (251B) 을 따라 슬라이딩 가능하게 구성된다.
토대 (53) 는, 스테이지 (203) 에 복수 (예를 들어, 본 실시형태에서는 8 개) 형성된다. 각 토대 (53) 는, 1 쌍의 각 레일 (251A, 251B) 에 있어서의 X 방향 양단부를 지지한다.
문형 프레임 (54) 은, 1 쌍의 각 레일 (251A, 251B) 을 따라 이동 가능하게 된다. 문형 프레임 (54) 에 있어서의 각 문기둥부 (54a) 의 하단부는, 슬라이더 (52) 상면에 재치 (載置) 된다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, X 방향에 있어서, 각 레일 (251A, 251B) 의 길이 (L11, L12) 는, 각 챔버 (202A, 202B) 의 길이 (L21, L22) 보다 길다 (L11 ＞ L21, L12 ＞ L22). 본 실시형태에서는, X 방향에 있어서, 각 레일 (251A, 251B) 의 길이 (L11, L12) 는, 각 챔버 (202A, 202B) 의 길이 (L21, L22) 와, 문형 프레임 (54) 2 개분의 길이 (2 × L3) 를 모두 더한 길이 (L21 ＋ 2 × L3, L22 ＋2 × L3) 보다 길게 한다. 이에 따라, 상면에서 봤을 때에, 각 챔버 (202A, 202B) 의 ―X 방향단을 넘는 영역으로부터 각 챔버 (202A, 202B) 의 ＋X 방향단을 넘는 영역까지 조사 유닛 (4) 을 이동시킬 수 있다.
＜벨트 컨베이어＞
본 실시형태에 있어서, 조사 유닛 (4) 의 이동 방향인 X 방향에 있어서의 제 1 레일 (251A) 과 제 2 레일 (251B) 의 사이에는, 문형 프레임 (54) 의 이동을 보조하는 벨트 컨베이어 (209) (가이드 보조부) 가 착탈 가능하게 형성된다. 벨트 컨베이어 (209) 는, 제 1 레일 (251A) 과 제 2 레일 (251B) 의 사이를 다리 놓도록 X 방향으로 연장된다. 벨트 컨베이어 (209) 는, 회전 방향을 전환 가능하게 된다. 이에 따라, 문형 프레임 (54) 의 제 1 레일 (251A) 로부터 제 2 레일 (251B) 로의 이동과, 제 2 레일 (251B) 로부터 제 1 레일 (251A) 로의 이동을 보조하도록 되어 있다.
＜자외선 조사 방법＞
다음으로, 본 실시형태에 관련된 자외선 조사 방법을 설명한다. 본 실시형태에서는, 상기 자외선 조사 장치 (201) 를 사용하여 각 기판 (10A, 10B) 에 자외선을 조사한다. 자외선 조사 장치 (201) 의 각 부에서 실시되는 동작은, 제어부 (8) 에 의해 제어된다. 또한, 본 실시형태에 관련된 자외선 조사 방법에 있어서, 제 1 실시형태와 동일한 방법에 대해서는, 그 상세한 설명을 생략한다.
이동 스텝에 있어서, 1 쌍의 제 1 레일 (251A) 의 ―X 방향단과 1 쌍의 제 2 레일 (251B) 의 ＋X 방향단의 사이에서 조사 유닛 (4) 을 왕복 이동시킨다. 예를 들어, 도 5 의 상면에서 봤을 때에, 제 1 챔버 (202A) 의 ―X 방향단을 넘는 영역으로부터 제 2 챔버 (202B) 의 ＋X 방향단을 넘는 영역까지 조사 유닛 (4) 을 왕복 이동시킨다. 상기 서술한 바와 같이, 조사 유닛 (4) 의 이동 방향인 X 방향에 있어서의 제 1 레일 (251A) 과 제 2 레일 (251B) 의 사이에는 벨트 컨베이어 (209) 가 형성되기 때문에, 조사 유닛 (4) 의 왕복 이동을 스무스하게 실시할 수 있다.
이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 챔버 (202) 는, 각 기판 (10A, 10B) 을 밀폐 공간에서 수용 가능하고 또한 조사 유닛 (4) 의 이동 방향 (X 방향) 으로 늘어서는 제 1 챔버 (202A) 및 제 2 챔버 (202B) 를 포함하고, 가이드부 (250) 는, 제 1 챔버 (202A) 를 끼우도록 연장되는 제 1 레일 (251A) 과, 제 1 레일 (251A) 에 조사 유닛 (4) 의 이동 방향 (X 방향) 으로 늘어섬과 함께 제 2 챔버 (202B) 를 끼우도록 연장되는 제 2 레일 (251B) 을 포함함으로써, 제 1 레일 (251A) 및 제 2 레일 (251B) 을 따라 조사 유닛 (4) 을 이동시킬 수 있기 때문에, 제 1 챔버 (202A) 내의 기판 (10A) 으로의 자외선 조사와, 제 2 챔버 (202B) 내의 기판 (10B) 으로의 자외선 조사를 연속해서 실시할 수 있다.
또, 제 1 챔버 (202A) 및 제 2 챔버 (202B) 를 포함하기 때문에, 2 개의 기판 (10A, 10B) 을 동시에 처리할 수 있다.
또, 밀폐 공간을 갖는 각 챔버 (202A, 202B) 내에서 각 기판 (10A, 10B) 을 정지시킨 상태에서, 각 챔버 (202A, 202B) 외에서 조사 유닛 (4) 을 이동시키면서 각 챔버 (202A, 202B) 내의 각 기판 (10A, 10B) 에 자외선을 조사할 수 있기 때문에, 각 챔버 (202A, 202B) 내의 파티클의 발생을 억제할 수 있고, 각 기판 (10A, 10B) 을 청정하게 유지할 수 있다.
또, 제 1 챔버 (202A) 및 제 2 챔버 (202B) 를 구비한 구성에 있어서, 풋프린트의 축소화, 각 챔버 (202A, 202B) 내의 산소 농도·이슬점의 관리의 용이화를 도모함과 함께, 각 챔버 (202A, 202B) 내의 산소 농도를 조정할 때에 사용하는 질소의 소비량을 삭감할 수 있다.
또, 조사 유닛 (4) 의 이동 방향 (X 방향) 에 있어서의 제 1 레일 (251A) 과 제 2 레일 (251B) 의 사이에는, 문형 프레임 (54) 의 이동을 보조하는 벨트 컨베이어 (209) 가 착탈 가능하게 형성됨으로써, 벨트 컨베이어 (209) 를 착탈함으로써, 제 1 레일 (251A) 또는 제 2 레일 (251B) 의 일방만을 따른 문형 프레임 (54) 의 이동과, 제 1 레일 (251A) 및 제 2 레일 (251B) 을 연속적으로 따른 문형 프레임 (54) 의 이동을 전환할 수 있다. 예를 들어, 벨트 컨베이어 (209) 를 탈리함으로써, 제 1 레일 (251A) 또는 제 2 레일 (251B) 의 일방만을 따른 문형 프레임 (54) 의 이동으로 전환할 수 있다. 한편, 벨트 컨베이어 (209) 를 접속함으로써, 제 1 레일 (251A) 및 제 2 레일 (251B) 을 연속적으로 따른 문형 프레임 (54) 의 이동으로 전환할 수 있다.
또한, 상기 서술한 예에 있어서 나타낸 각 구성 부재의 여러 형상이나 조합 등은 일례로서, 설계 요구 등에 기초하여 여러 가지 변경 가능하다.
예를 들어, 상기 실시형태에 있어서는, 챔버를 1 개 또는 2 개 형성했지만, 이것에 한정되지 않고, 챔버를 3 개 이상의 복수 형성해도 상관없다.
또, 상기 제 2 실시형태에 있어서는, 보조 가이드부로서 벨트 컨베이어를 사용했지만, 이것에 한정되지 않고, 리니어 모터 액추에이터를 사용해도 상관없다. 예를 들어, 벨트 컨베이어 및 리니어 모터 액추에이터는, X 방향으로 덧붙이기 가능하게 되어도 된다. 이에 따라, X 방향에 있어서의 문형 프레임 (54) 의 이동 거리를 조정할 수 있다.
또, 상기 제 2 실시형태에 있어서는, 제 1 레일 및 제 2 레일을 형성했지만, 1 개의 레일만을 형성해도 상관없다. 이 경우, X 방향에 있어서, 레일의 길이는, 각 챔버 (202A, 202B) 의 길이 (L21, L22) 를 모두 더한 길이보다 길게 한다.
또한, 상기에 있어서 실시형태 또는 그 변형예로서 기재한 각 구성 요소는, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 조합할 수 있으며, 또, 조합된 복수의 구성 요소 중 일부의 구성 요소를 적절히 사용하지 않도록 할 수도 있다.
1, 201 : 자외선 조사 장치
10 : 기판
10A : 제 1 기판 (기판)
10B : 제 2 기판 (기판)
2, 202 : 챔버 (수용부)
5, 205 : 반송 기구 (이동부)
6 : 냉각부
7 : 가스 공급부 (산소 농도 조정부, 이슬점 조정부)
20 : 천판
23 : 투과부
40 : 조사부
50, 250 : 가이드부
54 : 문형 프레임
54c : 유지부
202A : 제 1 챔버 (제 1 수용부)
202B : 제 2 챔버 (제 2 수용부)
209 : 벨트 컨베이어 (보조 가이드부)
251A : 제 1 레일
251B : 제 2 레일

Claims (16)

  1. 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능한 수용부와,
    상기 수용부의 외부에 형성되고, 상기 기판에 자외선을 조사 가능한 조사부와,
    상기 수용부의 외부에 형성되고, 상기 수용부의 외부로부터 상기 수용부의 내부에 수용되어 있는 상기 기판에 상기 자외선이 조사되도록 상기 조사부를 상기 수용부의 외부에서 이동시키는 이동부를 포함하고,
    상기 조사부의 하면에는, 소정 파장 이하의 성분을 커트하는 필터가 형성되고,
    상기 수용부의 외부에는, 상기 조사부를 냉각 가능한 냉각부가 형성되며,
    상기 이동부는, 상기 조사부와 함께 상기 냉각부 전체를 상기 수용부의 외부에서 이동시키는, 자외선 조사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 수용부에는, 상기 자외선을 투과 가능한 투과부가 형성되는, 자외선 조사 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 수용부는, 상기 기판의 상방을 덮는 천판을 포함하고,
    상기 투과부는 상기 천판에 형성되는, 자외선 조사 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동부는,
    상기 수용부를 끼우도록 상기 조사부의 이동 방향으로 연장되는 가이드부와,
    상기 수용부를 걸치도록 문형으로 형성됨과 함께, 상기 가이드부를 따라 이동 가능하게 되는 문형 프레임을 포함하고,
    상기 문형 프레임에는, 상기 조사부를 유지하는 유지부가 형성되는, 자외선 조사 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 수용부는, 상기 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능하고 또한 상기 조사부의 이동 방향으로 늘어서는 제 1 수용부 및 제 2 수용부를 포함하고,
    상기 가이드부는, 상기 제 1 수용부를 끼우도록 연장되는 제 1 레일과, 상기 제 1 레일에 상기 조사부의 이동 방향으로 늘어섬과 함께 상기 제 2 수용부를 끼우도록 연장되는 제 2 레일을 포함하는, 자외선 조사 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 조사부의 이동 방향에 있어서의 상기 제 1 레일과 상기 제 2 레일의 사이에는, 상기 문형 프레임의 이동을 보조하는 가이드 보조부가 착탈 가능하게 형성되는, 자외선 조사 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수용부에는, 상기 수용부의 내부 분위기의 산소 농도를 조정 가능한 산소 농도 조정부가 형성되는, 자외선 조사 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수용부에는, 상기 수용부의 내부 분위기의 이슬점을 조정 가능한 이슬점 조정부가 형성되는, 자외선 조사 장치.
  11. 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능한 수용부와,
    상기 수용부의 외부에 형성되고, 상기 기판에 자외선을 조사 가능한 조사부와,
    상기 조사부의 하면에는, 소정 파장 이하의 성분을 커트하는 필터를 포함하는 자외선 조사 장치를 사용한 자외선 조사 방법으로서,
    상기 기판을 상기 수용부에 밀폐 공간에서 수용하는 수용 스텝과,
    상기 기판에 자외선을 조사하는 조사 스텝과,
    상기 수용부의 외부로부터 상기 수용부의 내부에 밀폐 공간에서 수용되어 있는 상기 기판에 상기 자외선이 조사되도록 상기 조사부를 상기 수용부의 외부에서 이동시키는 이동 스텝을 포함하고,
    상기 수용부의 외부에는, 상기 조사부를 냉각 가능한 냉각부가 형성되고,
    상기 이동 스텝은, 상기 조사부와 함께 상기 냉각부 전체를 상기 수용부의 외부에서 이동시키는, 자외선 조사 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 수용부에는, 상기 자외선을 투과 가능한 투과부가 형성되고,
    상기 이동 스텝은, 상기 투과부를 통해서 상기 수용부의 내부의 상기 기판에 상기 자외선이 조사되도록 상기 조사부를 상기 수용부의 외부에서 이동시키는, 자외선 조사 방법.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 이동 스텝은, 상기 수용부를 끼우도록 상기 조사부의 이동 방향으로 연장되는 가이드부의 일단과 타단의 사이에서 상기 조사부를 왕복 이동시키는, 자외선 조사 방법.
  14. 삭제
  15. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 수용부의 내부 분위기의 산소 농도를 조정하는 산소 농도 조정 스텝을 포함하는, 자외선 조사 방법.
  16. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 수용부의 내부 분위기의 이슬점을 조정하는 이슬점 조정 스텝을 포함하는, 자외선 조사 방법.
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