JP6866193B2 - 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 - Google Patents

Description

本発明は、紫外線照射装置及び紫外線照射方法に関する。

液晶ディスプレイ等の表示パネルを構成するガラス基板上には、配線パターン及び電極パターン等の微細なパターンが形成されている。例えばこのようなパターンは、フォトリソグラフィ法等の方法によって形成される。フォトリソグラフィ法は、レジスト膜をガラス基板に塗布する工程、レジスト膜を露光する工程、露光後のレジスト膜を現像する工程及び現像後のレジスト膜に対して紫外線等の光を照射する工程（キュア工程）を含む。

上述のキュア工程は、基板に対して紫外線を照射する紫外線照射装置によって行われる。例えば、特許文献１には、照射窓を介して紫外線を照射する紫外線照射装置が開示されている。

特許第４８５９６６０号公報

ところで、上記従来構成において照射窓を大きくする場合、照射窓を枠部材で保持する必要が生じる。このような枠部材を用いると、枠部材によって紫外線が遮られることで基板に対して紫外線を効率良く照射できないおそれがあった。

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、紫外線を効率良く照射できる紫外線照射装置及び紫外線照射方法を提供することを目的とする。

本発明の第１態様に従えば、基板を密閉空間で収容可能な基板収容部と、所定の波長域の紫外線を前記基板に照射する照射部と、前記基板収容部に設けられ、前記照射部から照射された前記紫外線を透過させる透光性部材と、前記透光性部材を前記基板収容部に保持する保持部材と、前記基板収容部と前記照射部とを相対移動させる駆動装置と、を備え、前記保持部材と前記透光性部材とが平面的に重なる割合は、前記透光性基板における面積の１０％以下である紫外線照射装置が提供される。

第１態様に係る紫外線照射装置によれば、透光性部材の撓みを防止した状態で保持するとともに、照射部から照射された紫外線の遮蔽量を抑えることができる。よって、基板上に紫外線を効率良く照射できる。

上記第１態様において、前記透光性部材の材料は石英であってもよい。さらに前記照射部は、前記紫外線として２００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長域の光を照射するのが好ましい。
このようにすれば、２００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長域の光を基板上に効率良く照射することができる。

上記第１態様において、前記透光性部材は複数の透光性基板から構成されている構成としてもよい。
この構成によれば、透光性部材として１枚の大型透光性基板を用いる場合に比べて、透光性部材のコストを低減できる。

上記第１態様において、前記保持部材は、前記基板収容部及び前記照射部が相対移動する第１方向に延びる第１の部位と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる第２の部位と、を含む構成としてもよい。
この構成によれば、第１の部位及び第２の部位を含む保持部材によって透光性部材を撓みを低減した状態で保持できる。

上記第１態様において、前記第１の部位の前記第２方向における幅は１５ｍｍ以下であり、前記第２の部材の前記第１方向における幅は１５ｍｍ以下である構成としてもよい。
この構成によれば、保持部材による紫外線の遮蔽量を低減できる。

上記第１態様において、前記第１の部位の幅は、前記第１方向において変化しており、前記第２の部位の幅は、前記第２方向において変化している構成としてもよい。
この構成によれば、第１の部位及び第２の部位の幅を変化させることで基板上に紫外線を効率良く照射できる。

上記第１態様において、前記第１の部位の幅は、少なくとも一方の端部において相対的に狭くなっている構成としてもよい。
この構成によれば、第１の部位による紫外線の遮蔽量を減らすことで基板の第１方向の端部の紫外線照射量を確保できる。よって、基板上の第１方向における紫外線の照度分布をより均一化できる。

上記第１態様において、前記第２の部位の幅は、少なくとも一方の端部において相対的に狭くなっている構成としてもよい。
この構成によれば、照射部から照射される紫外線量が相対的に少ない基板の第２方向端部の紫外線照射量を確保できる。よって、基板上の第２方向における紫外線の照度分布をより均一化できる。

上記第１態様において、前記第１の部位及び前記第２の部位は互いに交差するように設けられており、前記第１の部位及び前記第２の部位の少なくともの交差部及び前記交差部に隣接する部分の幅は、相対的に狭くなっている構成としてもよい。
この構成によれば、第１の部位及び第２の部位の交差部による紫外線の遮蔽量を減らすことで基板上における紫外線の照度分布をより均一化できる。

上記第１態様において、前記第１の部位及び前記第２の部位において、連続的に幅が変化している構成としてもよい。
この構成によれば、幅を連続的に変化させることで保持部材の機械的な強度を向上させることができる。よって、透光性部材に撓みを生じさせること無く確実に保持することができる。

上記第１態様において、前記保持部材は、一方向に沿って延び、前記透光性基板の表面を保持する線状部材と、前記複数の透光性基板の側端部を枠状に保持する支持部材とを含み、前記支持部材は、前記透光性基板の端面同士を当接させるように、前記複数の透光性基板に付勢力を付与してもよい。
この構成によれば、線状部材を用いて透光性基板の表面を保持するため、照射部から照射された紫外線の遮蔽量を抑えることができる。よって、基板上に紫外線を効率良く照射できる。また、線状部材を引っ張る事により撓みを低減した状態で透光性部材を保持できる。また、支持部材の付勢力を解除することで各透光性基板を容易に取り外しできるため、透光性部材の清掃が容易となる。

本発明の第２態様に従えば、所定の波長域の紫外線を照射する照射部と基板とを相対移動させながら、前記紫外線を基板に照射する照射ステップを含み、前記照射ステップでは、保持部材により保持された透光性部材を介して前記紫外線を前記基板に照射しており、前記保持部材と前記透光性部材とが平面的に重なる割合は、前記透光性基板における一方面の面積の１０％以下である紫外線照射方法が提供される。

第２態様に係る紫外線照射方法によれば、透光性部材の撓みを防止した状態で保持するとともに、照射部から照射された紫外線の遮蔽量を抑えることができる。よって、基板上に紫外線を効率良く照射できる。

上記第２態様において、前記照射ステップにおいて、前記紫外線として２００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長域の光を照射するのが好ましい。
このようにすれば、２００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長域の光が基板上に効率良く照射されるようになる。

本発明によれば、紫外線を効率良く照射することができる。

実施形態に係る紫外線照射装置の斜視図である。 実施形態に係る紫外線照射装置の上面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図を含む、実施形態に係る紫外線照射装置の側面図である。 保持部材の要部構成を示す断面図。 保持部材の平面構成を示す図。 実験に用いた透光性基板を示す平面図。 実験に用いた透光性基板を示す平面図。 実験に用いた透光性基板を示す平面図。 実施形態に係る排気部の斜視図である。 実施形態に係る排気部の上面図である。 図１０のＶＩ−ＶＩ断面を含む、実施形態に係る排気部の側面図である。 図１０のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。 図１１のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。 第１変形例に係る保持部材の要部断面図。 第２変形例に係る保持部材の要部断面図。 第３変形例に係る保持部材の平面。 図１６のＡ−Ａ線矢視による保持部材の要部断面図。 第４変形例に係る保持部材に保持される透光性部材の周辺構成を示す平面図。 図１８のＢ−Ｂ線矢視による要部断面図。 第５変形例に係る排気部を示す側面図である。 第６変形例に係る排気部を示す側面図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ方向、水平面内においてＸ方向と直交する方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向とする。

(紫外線照射装置)
図１は、実施形態に係る紫外線照射装置１の斜視図である。図２は、実施形態に係る紫外線照射装置１の上面図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図を含む、実施形態に係る紫外線照射装置の側面図である。
図１〜図３に示すように、紫外線照射装置１は、基板１０に対して紫外線の照射を行う装置である。紫外線照射装置１は、チャンバ２（基板収容部）、ステージ３、照射ユニット（照射部）４、搬送機構（駆動装置）５、排気部６、ガス供給部７及び制御部８を備える。制御部８は、紫外線照射装置１の構成要素を統括制御する。

(照射ユニット)
照射ユニット４は、チャンバ２の外部に設けられる。照射ユニット４は、照射部４０及び集光部材４１を備える。
照射部４０は、基板１０に所定の波長域の紫外線を照射する。本実施形態において、「所定の波長域の紫外線」とは、例えば、２００ｎｍから４５０ｎｍの光を意味する。

例えば、照射部４０は、メタルハライドランプを用いる。
なお、照射部４０は、これに限らず、高圧水銀ランプ、ＬＥＤランプ及び低圧水銀ランプを用いてもよい。
また、照射部４０は、これらのランプを複数組み合わせてもよい。

例えば、照射部４０の下面には、波長が３００ｎｍよりも低い成分をカットするフィルタが設けられてもよい。これにより、フィルタを介して射出される紫外線の波長は３００ｎｍ以上となるため、紫外線の照射によって基板１０の過度の温度上昇を抑制することができる。

集光部材４１は、照射部４０から射出される紫外線を基板１０上に集光する。基板１０上に紫外線を集光させることで、照射部４０から射出される紫外線が基板１０の外部に拡散することを抑制することができるため、照度を向上することができる。

(チャンバ)
チャンバ２は、紫外線の照射処理が行われる基板１０を収容する。チャンバ２は、上面視で矩形をなす箱状に形成される。具体的に、チャンバ２は、基板１０の上方を覆う矩形板状の天板２０と、基板１０の側方を囲むように覆う矩形枠状の周壁２１と、基板１０の下方を覆う底板２２とによって形成される。周壁２１の−Ｙ方向側には、チャンバ２に対して基板１０の搬入及び搬出をするための基板搬出入口２１ａが設けられる。

例えば、天板２０、周壁２１及び底板２２は、紫外線を遮光する遮光部材によって形成される。これにより、チャンバ２の内部の基板１０に対して紫外線を照射する際に、紫外線がチャンバ２の外部に漏れることを回避することができる。

チャンバ２は、基板１０を密閉空間で収容可能に構成される。例えば、天板２０、周壁２１及び底板２２の各接続部を溶接等で隙間なく結合することで、チャンバ２内の気密性を向上することができる。例えば、チャンバ２には、ポンプ機構等の減圧機構（不図示）が設けられる。これにより、チャンバ２内を減圧させた状態で基板１０を収容することができる。

図３に示すように、チャンバ２内には、基板１０を加熱する加熱機構１１が設けられる。加熱機構１１は、基板１０と略同じ平面視サイズの矩形板状を有し、基板１０を下方から支持するように配置される。加熱機構１１は、ステージ３に取り付けられる。加熱機構１１は、ヒータ等（不図示）を含む。

図２に示すように、チャンバ２の天板２０には、紫外線を通過可能な透光性部材２３が設けられる。透光性部材２３は、天板２０の一部を構成する。透光性部材２３は、上面視で天板２０よりも小さい矩形板状に形成される。透光性部材２３は、天板２０を厚み方向に開口する矩形の開口部２０ｈに取り付けられている。本実施形態において、透光性部材２３は、所定の波長域の紫外線を透過させる材料から構成される。透光性部材２３の材料としては、例えば、石英、耐熱ガラス、樹脂シート、樹脂フィルム等を用いることができる。本実施形態では、石英からなる透光性部材２３を用いた。

透光性部材２３のサイズは、基板１０よりも大きいサイズに設定される。これにより、基板１０に対して紫外線を照射する際に、紫外線が天板２０の遮光部（透光性部材２３以外の部分）によって遮光されることを回避し、基板１０の上面全体に均一に紫外線を照射するようにしている。

なお、開口部２０ｈのサイズは、基板１０を出し入れ可能なサイズに設定されてもよい。また、透光性部材２３は、開口部２０ｈに着脱自在に嵌め込まれてもよい。これにより、透光性部材２３を開口部２０ｈに嵌め込んだときはチャンバ２内を密閉空間とすることができ、透光性部材２３を開口部２０ｈから脱離したときはチャンバ２内に基板１０を出し入れすることができる。

近年、基板１０のサイズの大型化に伴って、透光性部材２３のサイズも大型化している。透光性部材２３として大型のものを用いると、該透光性部材２３に生じる撓み量が大きくなり、透光性部材２３が破損するおそれもある。

本実施形態の透光性部材２３は、複数（４枚）の透光性基板２３ａから構成されている。これにより、透光性部材２３として１枚の大型透光性基板を用いる場合に比べて、透光性部材２３のコストを低減できる。

本実施形態では、保持部材２６を介して透光性部材２３を天板２０の開口部２０ｈに取り付けている。保持部材２６は、チャンバ２内の密閉空間を保持するように複数の透光性基板２３ａを一体に保持する。

図４は保持部材２６の要部構成を示す断面図であり、図５は保持部材２６の平面構成を示す図である。図４に示すように、保持部材２６は、透光性基板２３ａを保持する本体部２６ａと、該本体部２６ａに取り付けられた一対のシール部材２６ｂとを含む。シール部材２６ｂは、本体部２６ａと透光性基板２３ａとの間に生じる隙間を無くすものである。これにより、保持部材２６は、透光性基板２３ａ同士の接合部に隙間を生じさせることなく、これら透光性基板２３ａを一体に保持する。よって、保持部材２６によって一体に保持された複数の透光性基板２３ａからなる透光性部材２３は、チャンバ２内の内部空間と外部空間とを隔てる天板２０の一部として機能する。

ところで、保持部材２６は、照射ユニット４と基板１０との間に配置される。そのため、保持部材２６は、照射ユニット４から照射される紫外線の一部を遮る。以下、保持部材２６により光が遮られることを遮蔽と呼ぶ。

本発明者は鋭意研究の結果、保持部材２６と透光性部材２３とが平面的に重なる割合を透光性部材２３における面積の１０％以下にすれば、照射ユニット４から照射された紫外線の保持部材２６による遮蔽量を低減できるとの知見を得た。ここで、保持部材２６と透光性部材２３とが平面的に重なるとは、天板２０を上方（+Ｚ方向）から平面視した場合における透光性部材２３と保持部材２６との重なり度合いを意味する。

すなわち、保持部材２６及び透光性部材２３の平面的に重なる割合とは、天板２０を上方（+Ｚ方向）から平面視した場合の透光性部材２３の表面積と、天板２０を上方（+Ｚ方向）から平面視した場合の保持部材２６の表面積との割合を意味する。

本実施形態の保持部材２６は、透光性部材２３に対する平面的な重なり量を透光性部材２３における面積の１０％以下にする形状からなる。本実施形態の保持部材２６は、透光性部材２３の撓みを防止した状態で保持するとともに、照射ユニット４から照射された紫外線の遮蔽量を抑えることができる。

以下、本実施形態における保持部材２６の具体的な形状について説明する。

図５に示すように、保持部材２６は、照射ユニット４の走査方向であるＸ方向（第１方向）に延びる第１の部位２７と、Ｘ方向に交差する（直交する）Ｙ方向（第２方向）に延びる第２の部位２８とを含む。第１の部位２７及び第２の部位２８は互いに交差するように設けられている。なお、本実施形態において、保持部材２６は１７６０ｍｍ×１５６０ｍｍの透光性部材２３を保持するものである。

第１の部位２７及び第２の部位２８の幅は、それぞれ同一であっても良いし、異なっていても良い。第１の部位２７の幅Ｈ１とは、該第１の部位２７の延在方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向における幅である。また、第２の部位２８の幅Ｈ２とは、該第２の部位２８の延在方向（Ｙ方向）と直交するＸ方向における幅である。

ここで、保持部材２６による紫外線の遮蔽量をできるだけ小さくするためには、第１の部位２７及び第２の部位２８の各幅Ｈ１，Ｈ２を小さくすればよい。

以下、保持部材２６（第１の部位２７及び第２の部位２８）の幅Ｈ１，Ｈ２と紫外線の遮蔽量との関係について説明する。本発明者は、後述の実験により、紫外線の遮蔽量と保持部材２６の幅との間に成立する関係を見出した。

本実験では、遮光性を有するテープを保持部材とみなし、該テープを貼った透光性基板（ガラス板）を介して紫外線を照射した基板上の所定位置の積算光量を算出する。この実験によって、透光性基板を保持する保持部材による紫外線照射量への影響を求め、保持部材の幅と紫外線の遮蔽量との関係を求めた。

図６は本実験に用いた透光性基板２４を示す平面図である。図６に示すように、本実験では、遮光性を有するテープ２９を十字状に貼り付けた透光性基板２４を用いた。そして、透光性基板２４を介して照射ユニット（不図示）から紫外線を照射し、基板上における紫外線の積算光量を求める。図６に示すように、テープ２９の十字部分の直下に位置するポイントＭの積算光量と、テープ２９の十字部分近傍の直下に位置するポイントＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄにおける積算光量とを求めた。

下記の表１は、照射ユニットと基板とを相対移動させた状態での各ポイントの積算光量とテープ幅との関係を示すものである。なお、表１では、テープの無い部分（照射部から照射した光が基板上に直接照射される部分）に位置するポイントＳの積算光量を１００とした場合の各ポイントＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｍにおける積算光量の値（相対値）を示す。

表１に示されるように、テープ２９の十字部分の直下に位置するポイントＭの積算光量は、テープ幅に比例して低下することが分かる。これはテープ２９の幅に応じて遮蔽量が増加したことによるものと考えられる。

同様に、テープ２９の十字部分の近傍に位置するポイントＡ〜Ｄの積算光量は、テープ幅に比例して低下することが分かる。ポイントＡ〜Ｄは、照射ユニットとテープ２９との位置関係によって紫外線の一部が遮光される。そのため、ポイントＡ〜Ｄの積算光量は、ポイントＳに比べて低くなる。

また、図７に示すように遮光性を有するテープ３０を貼り付けた透光性基板２４Ａを複数種類用意した。各透光性基板２４Ａは、テープ３０の延在方向と照射ユニット（不図示）の走査方向とが一致している。各透光性基板２４Ａは５ｍｍ〜４０ｍｍのテープ幅を有し、各透光性基板２４Ａのテープ幅はそれぞれ５ｍｍずつ異なる。

透光性基板２４Ａを介して照射ユニット（不図示）から紫外線を照射し、基板上における紫外線の積算光量を求めた。図７に示すように、テープ３０の両端部分の直下に位置する各ポイントＥの積算光量の平均値と、テープ３０の近傍の直下に位置するポイントＢにおける積算光量と、テープ３０の影響を受けない位置の直下に位置するポイントＳの積算光量とを求めた。また、各テープ幅に対応する基板上における照度ムラ（照度均一性）について判定した。なお、基板上における照度ムラは、例えば、基板上に塗布したレジスト膜の効果状態を目視判断することで行われる。

下記の表２は、照射ユニットと基板とを相対移動させた状態での各ポイントの積算光量とテープ幅（照射ユニットの走査方向と交差する方向のテープ幅）との関係を示すものである。なお、表２では、ポイントＳの積算光量を１００とした場合の各ポイントＢ，Ｄの積算光量の値（相対値）を示す。表２において、照度ムラの影響が小さい状態を○、照度ムラの影響が大きい状態を△で示す。

表２に示されるように、テープ３０の両端部の直下に位置するポイントＥの積算光量は、テープ幅に比例して低下することが分かる。これはテープ幅に応じて遮蔽量が増加したためである。

同様に、テープ３０の近傍に位置するポイントＢの積算光量もテープ幅に比例して低下することが分かる。ポイントＢは、照射ユニットとテープ３０との位置関係に応じて入射する紫外線の一部が遮光される。そのため、ポイントＢの積算光量はポイントＳに比べて低くなる。

また、表２に示されるように、テープ幅を１５ｍｍ以下にすることで照度ムラを低減できる。すなわち、透光性部材を保持する保持部材（テープ）として１５ｍｍ以下の幅を採用すると、保持部材による紫外線の遮光を抑制しつつ、基板上に紫外線を均一性の高い状態で照射可能となる。

また、図８に示すように遮光性を有するテープ３２を貼り付けた透光性基板２４Ｂを複数種類用意した。各透光性基板２４Ｂは、テープ３２の延在方向と照射ユニット（不図示）の走査方向とが直交（交差）している。各透光性基板２４Ｂは５ｍｍ〜２０ｍｍのテープ幅を有し、各透光性基板２４Ｂのテープ幅はそれぞれ５ｍｍずつ異なる。

透光性基板２４Ｂを介して照射ユニット（不図示）から紫外線を照射し、基板上における紫外線の積算光量を求めた。図８に示すように、テープ３２の両端部分の直下に位置する各ポイントＦの積算光量の平均値と、テープ３２の近傍の直下に位置するポイントＢにおける積算光量と、テープ３２の影響を受けない位置の直下に位置するポイントＳの積算光量とを求めた。また、各テープ幅に対応する基板上における照度ムラ（照度均一性）について判定した。なお、基板上における照度ムラは、例えば、基板上に塗布したレジスト膜の効果状態を目視判断することで行われる。

下記の表３は、照射ユニットと基板とを相対移動させた状態での各ポイントの積算光量とテープ幅（照射ユニットの走査方向のテープ幅）との関係を示すものである。なお、表３では、ポイントＳの積算光量を１００とした場合の各ポイントＢ，Ｆの積算光量の値（相対値）を示す。表３において、照度ムラの影響が小さい状態を○、照度ムラの影響が大きい状態を△で示す。

表３に示されるように、テープ３２の両端部の直下に位置するポイントＦの積算光量は、テープ幅に比例して低下することが分かる。これはテープ幅に応じて遮蔽量が増加したためである。

同様に、テープ３２の近傍に位置するポイントＢの積算光量もテープ幅に比例して低下することが分かる。ポイントＢは、照射ユニットとテープ３２との位置関係に応じて入射する紫外線の一部が遮光される。そのため、ポイントＢの積算光量はポイントＳに比べて低くなる。

また、表３に示されるように、テープ幅を１５ｍｍ以下にすることで照度ムラを低減できる。すなわち、透光性部材を保持する保持部材（テープ）として１５ｍｍ以下の幅を採用すると、保持部材による紫外線の遮光を抑制しつつ、基板上に紫外線を均一性の高い状態で照射可能となる。

以上の実験結果に基づき、本発明者は保持部材の幅を１５ｍｍ以下に抑えることで基板上に紫外線を均一性の高い状態で照射できるとの知見を得た。そして、この知見に基づき、本実施形態の保持部材２６を構成した。すなわち、本実施形態の保持部材２６において、第１の部位２７の幅Ｈ１及び第２の部位２８の幅Ｈ２が１５ｍｍ以下に設定されている。具体的に、第１の部位２７の幅Ｈ１が１５ｍｍ、第２の部位２８の幅Ｈ２が１０ｍｍに設定されている。
なお、本実験結果は照射ユニットと基板を相対移動させた場合の結果であり、照射ユニットを固定した場合は、幅５ｍｍ以上の保持部材があると照射ムラが発生する。
このことから、照射ユニットと基板を相対移動させた場合に効果があることがわかる。

このような構成に基づき、本実施形態の保持部材２６によれば、透光性部材２３の撓みを防止した状態で保持するとともに、照射ユニット４から照射された紫外線を基板１０上に効率良く導くことができる。

(ステージ)
ステージ３は、チャンバ２及び搬送機構５を上面で支持する。ステージ３は、Ｚ方向に厚みを有する板状をなす。
ステージ３は、架台３１によって下方から支持される。
架台３１は、複数の鋼材等の角柱を格子状に組み合わせて形成される。
なお、架台３１の下端部には、複数の車輪３１ａが回転自在に取り付けられる。これにより、架台３１をＸＹ平面内で自在に移動させることができる。

(昇降機構)
図３に示したように、チャンバ２の下方には、基板１０をＺ方向に移動可能とする昇降機構２５が設けられる。昇降機構２５には、複数のリフトピン２５ａが設けられる。複数のリフトピン２５ａの先端（＋Ｚ側の端）は、ＸＹ平面に平行な同一面内に配置される。

複数のリフトピン２５ａの先端は、ステージ３、底板２２及び加熱機構１１を挿通可能とされる。
具体的に、ステージ３には、ステージ３を厚み方向に開口する複数の挿通孔３ａが形成される。底板２２には、各挿通孔３ａに平面視で重なる位置で底板２２を厚み方向に開口する複数の挿通孔２２ａが形成される。加熱機構１１には、各挿通孔２２ａに平面視で重なる位置で加熱機構１１を厚み方向に開口する複数の挿通孔１１ａが形成される。複数のリフトピン２５ａの先端は、各挿通孔３ａ，２２ａ，１１ａを介して基板１０の下面に当接及び離反可能とされる。そのため、複数のリフトピン２５ａの先端によって、基板１０がＸＹ平面に平行に支持されるようになっている。

昇降機構２５は、チャンバ２内に収容される基板１０を支持しつつチャンバ２内のＺ方向に移動するようになっている。図３においては、複数のリフトピン２５ａの先端が各挿通孔３ａ，２２ａ，１１ａを介して基板１０の下面に当接すると共に上昇することによって、基板１０を加熱機構１１から離反した状態を示している。

なお、昇降機構２５において、複数のリフトピン２５ａを昇降させる駆動源２５ｂは、チャンバ２の外部に配置される。そのため、仮に駆動源２５ｂの駆動に伴いパーティクルが発生したとしても、チャンバ２を密閉空間とすることによって、チャンバ２内へのパーティクルの侵入を回避することができる。

(搬送機構)
図１及び図２に示したように、搬送機構５は、チャンバ２の外部に設けられる。搬送機構５は、チャンバ２の外部からチャンバ２の内部に収容されている基板１０に紫外線が照射されるように照射ユニット４をチャンバ２の外部で移動させる。搬送機構５は、ガイド部５０、土台５３及び門型フレーム５４を備える。搬送機構５は、照射部４０と、排気部６の配管６０とを同期させて移動可能に構成されている。

ガイド部５０は、一対のレール５１と、スライダ５２とを備える。例えば、ガイド部５０は、リニアモータアクチュエータを用いる。ガイド部５０は、照射部４０と、排気部６の配管６０とを同期させて移動可能とする共通の駆動源である。ガイド部５０は、請求項に記載の「駆動源」に相当する。

一対のレール５１は、チャンバ２を−Ｙ方向側及び＋Ｙ方向側から挟むように照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向に延びる。
スライダ５２は、一対のレール５１に沿って摺動可能に構成される。
土台５３は、ステージ３の四隅に複数（例えば本実施形態では四隅に一つずつ計四つ）設けられる。各土台５３は、一対のレール５１におけるＸ方向両端部を支持する。

門型フレーム５４は、チャンバ２をＹ方向に跨ぐように門型に形成されると共に、一対のレール５１に沿って移動可能とされる。門型フレーム５４は、Ｚ方向に延びる一対の門柱部５４ａと、一対の門柱部５４ａの間を連結するようにＹ方向に延びる連結部５４ｂとを備える。門型フレーム５４における各門柱部５４ａの下端部には、スライダ５２が取り付けられる。

図３に示すように、門型フレーム５４における連結部５４ｂの内部には、照射ユニット４を保持する保持部５４ｃが設けられる。保持部５４ｃは、門型フレーム５４におけるＹ方向中間部の下面から上方に窪む凹部を形成する。照射ユニット４のうち照射面４ａ（下面）を除く部分は、保持部５４ｃの凹部に囲まれ、門型フレーム５４の壁部によって覆われる。例えば、門型フレーム５４は、紫外線を遮光する遮光部材によって形成される。これにより、照射ユニット４から紫外線を照射する際に、紫外線が門型フレーム５４の側方に拡散することを回避することができ、紫外線を下方（チャンバ２内の基板１０）に向けて照射することができる。

図２に示すように、Ｘ方向において、各レール５１の長さＬ１は、チャンバ２の長さＬ２よりも長い（Ｌ１)Ｌ２）。本実施形態では、Ｘ方向において、各レール５１の長さＬ１は、チャンバ２の長さＬ２と、門型フレーム５４二つ分の長さ（２×Ｌ３）とを足し合わせた長さ（Ｌ２＋２×Ｌ３）よりも長くする。これにより、上面視において、チャンバ２の−Ｘ方向端を超える領域からチャンバ２の＋Ｘ方向端を超える領域まで照射ユニット４を移動させることができる。

(ガス供給部)
チャンバ２には、チャンバ２の内部雰囲気の状態を調整可能なガス供給部７が設けられる。ガス供給部７は、乾燥ガスとして、空気又は窒素（Ｎ_２）、ヘリウム（Ｈｅ）、アルゴン（Ａｒ）、酸素（Ｏ_２）等の不活性ガスを供給する。

ガス供給部７により、チャンバ２の内部雰囲気の露点を調整することができ、チャンバ２内の水分濃度を調整することができる。
例えば、ガス供給部７は、チャンバ２の内部雰囲気の露点を−８０℃（水分濃度０．５４ｐｐｍ質量基準）以上且つ−５℃（水分濃度４０００ｐｐｍ質量基準）以下とするように乾燥ガスの供給を調整する。
例えば、レジスト膜の露光後のプレパターンを硬化するときの雰囲気において、このように露点を好ましい上限以下とすることにより、パターンの硬化を進行しやすくすることができる。一方、好ましい下限以上とすることにより、装置を運用する上での作業性等を向上することができる。

また、ガス供給部７により、チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度を調整することもできる。チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度（質量基準）は、低いほど好ましい。具体的には、チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度を、１０００ｐｐｍ以下とすることが好ましく、５００ｐｐｍ以下とすることがより好ましい。
例えば、レジスト膜の露光後のプレパターンを硬化するときの雰囲気において、このように酸素濃度を好ましい上限以下とすることにより、パターンの硬化を進行しやすくすることができる。

(排気部)
図９は、実施形態に係る排気部６の斜視図である。図１０は、実施形態に係る排気部６の上面図である。図１１は、図１０のＶＩ−ＶＩ断面を含む、実施形態に係る排気部６の側面図である。図１２は、図１０のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。図１３は、図１１のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。なお、図１０及び図１３においては、便宜上、シート７０の図示を省略している。

図１に示したように、排気部６は、チャンバ２の外部に設けられる。排気部６は、ステージ３の＋Ｙ方向側に配置されている。排気部６は、照射ユニット４（照射部４０）の熱を排出可能な配管６０と、配管６０を移動可能に接続する排気ボックス６１とを備える。

図示はしないが、チャンバ２の外部には、照射ユニット４を冷却可能な冷却部が設けられる。例えば、冷却部は、門型フレーム５４の側壁部（門柱部５４ａ）に取り付けられる。例えば、冷却部は、ブロワを用いる。これにより、排気部６（具体的には、配管６０及び排気ボックス６１）を介して、照射ユニット４によって生じた熱気を外部に排気することができる。

(配管)
図１及び図４に示すように、配管６０は、門型フレーム５４の＋Ｙ方向側の側壁部（門柱部５４ａ）と後述する可動部６５との間をわたすように延びる筒状の部材である。配管６０は、Ｌ字状に屈曲している。配管６０の一端部６０ａ（−Ｙ方向側の端部）は、門型フレーム５４の＋Ｙ方向側の側壁部（門柱部５４ａ）に固定されている。配管６０の他端部６０ｂ（−Ｚ方向側の端部）は、後述する可動部６５に固定されている。これにより、配管６０は、照射部４０と共にチャンバ２の外部でＸ方向に移動可能になっている。

なお、配管６０の一端部６０ａは、門型フレーム５４の＋Ｙ方向側の側壁部に着脱可能に接続されている。これにより、配管６０の一端部６０ａのメンテナンス性を向上することができる。

(排気ボックス)
図２及び図４に示すように、排気ボックス６１は、照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向に延びている。排気ボックス６１は、配管６０からの熱を外部に排出可能な排気口６３ｈを有する。Ｘ方向において、排気ボックス６１の長さＬ４は、各レール５１の長さＬ１と実質的に同じ長さである（Ｌ４≒Ｌ１）。

図１０〜図１２に示すように、排気ボックス６１は、第一底壁６１ａ、第二底壁６１ｂ、一対の側壁６１ｃ、一対のガイド壁６１ｄ、第一隔壁６１ｅ及び第二隔壁６１ｆを備える。

第一底壁６１ａは、Ｚ方向に厚みを有するとともにＸ方向に延びる。
第二底壁６１ｂは、第一底壁６１ａよりも−Ｚ方向側に配置されるとともに、第一底壁６１ａと実質的に同一の形状を有する。
一対の側壁６１ｃは、Ｙ方向に厚みを有するとともにＸ方向に延び、かつ、第二底壁６１ｂのＹ方向両端部から＋Ｚ方向に起立して第一底壁６１ａと第二底壁６１ｂとのＹ方向端部間を繋いだ後に更に＋Ｚ方向に延びる。
一対のガイド壁６１ｄは、Ｚ方向に厚みを有するとともにＸ方向に延び、かつ、一対の側壁６１ｃの上端部のＹ方向間の内側に突出する。

第一隔壁６１ｅは、Ｘ方向に厚みを有するとともに、第一底壁６１ａ及び一対の側壁６１ｃの＋Ｘ方向側の端部間をわたすように配置される。すなわち、第一隔壁６１ｅは、排気ボックス６１の内部空間６１ｓを＋Ｘ方向側から閉塞する。
第二隔壁６１ｆは、Ｘ方向において排気ボックス６１の長さＬ４（図２参照）程度の間隔を空けて第一隔壁６１ｅと対向する。第二隔壁６１ｆは、第一隔壁６１ｅと実質的に同一の形状を有し、かつ、第一底壁６１ａ及び一対の側壁６１ｃの−Ｘ方向側の端部間をわたすように配置される。すなわち、第二隔壁６１ｆは、排気ボックス６１の内部空間６１ｓを−Ｘ方向側から閉塞する。

なお、排気ボックス６１の内部空間６１ｓは、第一底壁６１ａ、一対の側壁６１ｃ、第一隔壁６１ｅ、第二隔壁６１ｆ及び後述する案内板６４によって囲まれる空間である。

図１１及び図１２に示すように、第一底壁６１ａと第二底壁６１ｂとの間には、シート７０がＸ方向に移動可能な底壁側空間６１ｔが形成されている。底壁側空間６１ｔのＺ方向の間隔は、シート７０の厚みよりも大きい。すなわち、底壁側空間６１ｔのＺ方向の間隔は、シート７０が第一底壁６１ａと第二底壁６１ｂとの間をスムーズに移動可能な大きさに設定されている。

図１０及び図１１に示すように、一対のガイド壁６１ｄは、配管６０を支持する可動部６５をスライド可能に支持している。一対のガイド壁６１ｄのＹ方向間の間隔は、後述する案内板６４に形成された通過孔６４ｈの形成領域のＹ方向の長さよりも大きい。
一対の側壁６１ｃのうち＋Ｙ方向側の壁部には、排気口６３ｈを形成する円筒状の排気管６３が固定されている。排気管６３は、排気ボックス６１の内部空間６１ｓに連通している。

図９に示すように、排気ボックス６１の下部には、ケーブル支持部材６２が設けられている。例えば、ケーブル支持部材６２は、ケーブルベア（登録商標）である。ケーブル支持部材６２には、不図示の電源線等のケーブルが引き回されている。これにより、ケーブルを屈曲した状態で、排気部６を駆動させることができる。

(シート)
図９及び図１１に示すように、排気部６は、排気ボックス６１の内部空間６１ｓを覆うシート７０を更に備える。シート７０は、照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向に沿うように延びている。シート７０は、配管６０の移動に従って移動可能に構成されている。

具体的に、シート７０は、照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向に沿うように、配管６０と排気ボックス６１との接続部である可動部６５から一方側（−Ｘ方向側）と他方側（＋Ｘ方向側）とに延びるとともに、環状に繋がるように同一の部材により一体に形成されている。シート７０は、内部空間６１ｓを囲むように排気ボックス６１の外周に沿うように配置されている。例えば、シート７０は、樹脂シートである。

図１０及び図１１に示すように、排気部６は、シート７０を巻き掛ける複数（例えば本実施形態では六つ）のローラ（具体的には、第一ローラ７１、第二ローラ７２、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６）を備える。シート７０は、排気ボックス６１の＋Ｘ方向側において二つのローラ（具体的には、第一ローラ７１及び第二ローラ７２）に巻き掛けられている。シート７０は、排気ボックス６１の−Ｘ方向側において四つのローラ（具体的には、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６）に巻き掛けられている。

排気部６は、第一カバー７７及び第二カバー７８を更に備える。
第一カバー７７は、第一ローラ７１及び第二ローラ７２を覆うとともに、第一ローラ７１及び第二ローラ７２を回動自在に支持する。第一カバー７７は、−Ｘ方向側に開口する箱状をなすとともに、排気ボックス６１の各壁（具体的には、第二底壁６１ｂ、一対の側壁６１ｃ及び一対のガイド壁６１ｄ）の＋Ｘ方向側の端部に着脱可能に取り付けられている。これにより、第一カバー７７の内部（例えば、第一ローラ７１及び第二ローラ７２）のメンテナンス性を向上することができる。

第二カバー７８は、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６を覆うとともに、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６を回動自在に支持する。第二カバー７８は、＋Ｘ方向側に開口する箱状をなすとともに、排気ボックス６１の各壁（具体的には、第二底壁６１ｂ、一対の側壁６１ｃ及び一対のガイド壁６１ｄ）の−Ｘ方向側の端部に着脱可能に取り付けられている。これにより、第二カバー７８の内部（例えば、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６）のメンテナンス性を向上することができる。

(テンショナー)
排気部６は、シート７０の張りを調整可能なテンショナー７９を更に備える。テンショナー７９は、第二カバー７８のＹ方向両側部に配置されている。テンショナー７９は、Ｘ方向に間隔を空けて並ぶ第四ローラ７４及び第六ローラ７６に対して、第四ローラ７４と第六ローラ７６との間に位置する第五ローラ７５を近接及び離反可能とする。例えば、第四ローラ７４及び第六ローラ７６に対して第五ローラ７５を近接させた場合には、シート７０の張りを弱めることができる。一方、第四ローラ７４及び第六ローラ７６に対して第五ローラ７５を離反させた場合には、シート７０の張りを強めることができる。

(可動部)
図１０及び図１１に示すように、可動部６５は、ベース部６５ａ、本体部６５ｂ、接続部６５ｃ及び一対のガイド片６５ｄを備える。

図１１に示すように、ベース部６５ａは、後述する案内板６４と、ガイド壁６１ｄとの間に配置される。ベース部６５ａは、Ｚ方向に厚みを有するとともに、上面視で矩形枠状をなす。すなわち、ベース部６５ａには、配管６０からの熱が通過可能な貫通孔６５ｈがＺ方向に開口して形成されている。貫通孔６５ｈは、案内板６４の通過孔６４ｈを介して排気ボックス６１の内部空間６１ｓに連通している。

本体部６５ｂは、ベース部６５ａにおける貫通孔６５ｈの周辺部に接続される。本体部６５ｂは、図１１の断面視で、＋Ｚ方向側ほど開口面積が小さくなるようにＺ方向に延びる筒状をなす。

接続部６５ｃは、本体部６５ｂから＋Ｚ方向に延びる円筒状をなす。接続部６５ｃには、配管６０の他端部６０ｂ（図９参照）が着脱可能に接続される。これにより、配管６０の他端部６０ｂ及び接続部６５ｃのメンテナンス性を向上することができる。

一対のガイド片６５ｄは、本体部６５ｂからＹ方向両側に延びるとともに、ガイド壁６１ｄに沿うようにＸ方向に延びる。一対のガイド片６５ｄは、ベース部６５ａのＹ方向両端部との間で、ガイド壁６１ｄを挟むように配置される。

ベース部６５ａの＋Ｘ方向側の端部には、シート７０の一端部７０ａを着脱可能に係止する第一係止部６６が設けられる。ベース部６５ａの−Ｘ方向側の端部には、シート７０の他端部７０ｂを着脱可能に係止する第二係止部６７が設けられる。

以下、シート７０の配置方法の一例を説明する。先ず、シート７０の一端部７０ａを、第一係止部６６を介してベース部６５ａの＋Ｘ方向側の端部に係止する。その後、シート７０を、第一ローラ７１及び第二ローラ７２に掛け回す。その後、シート７０を、他端部７０ｂの側から底壁側空間６１ｔに通した後、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６に掛け回す。その後、シート７０の他端部７０ｂを、第二係止部６７を介してベース部６５ａの−Ｘ方向の端部に係止する。そして、シート７０の張りをテンショナー７９によって調整する。このようにして、シート７０は、可動部６５を介して環状に繋がるとともに、内部空間６１ｓを囲むように配置される。

(案内板)
図１１に示すように、排気部６は、シート７０を案内する案内板６４を更に備える。案内板６４は、Ｚ方向に厚みを有するとともに、照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向に延びる。案内板６４には、配管６０からの熱が通過可能な通過孔６４ｈが形成されている。

図１０に示すように、上面視において、通過孔６４ｈは円形をなしている。通過孔６４ｈは、照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向とＹ方向とに、案内板６４に規則的に複数配置されている。例えば、案内板６４は、パンチングメタルである。

図１１及び図１３に示すように、案内板６４のうち配管６０と排気ボックス６１との接続部（すなわち可動部６５）における通過孔６４ｈの開口面積Ｓ２は、排気口６３ｈの面積Ｓ１以上である。ここで、通過孔６４ｈの開口面積Ｓ２とは、案内板６４全体に形成されている通過孔６４ｈのうち、上面視で貫通孔６５ｈから露出している通過孔６４ｈのみの開口面積を意味する。排気口６３ｈの面積Ｓ１とは、排気管６３の開口面積を意味する。
なお、図１３においては、便宜上、一対のガイド片６５ｄ等の図示を省略している。

(流量調整部)
図９に示すように、排気部６は、照射部４０（図１参照）の温度に基づいて、配管６０の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能な流量調整部６８を更に備える。流量調整部６８は、配管６０に設けられている。例えば、流量調整部６８は、流量調整弁である。

(紫外線照射方法)
次に、本実施形態に係る紫外線照射方法を説明する。本実施形態では、上記の紫外線照射装置１を用いて基板１０に紫外線を照射する。紫外線照射装置１の各部で行われる動作は、制御部８によって制御される。

本実施形態に係る紫外線照射方法は、収容ステップ、照射ステップを含む。
収容ステップにおいて、チャンバ２は、基板１０を密閉空間で収容する。例えば、基板搬出入口２１ａを介してチャンバ２内に基板１０を搬送した後、基板搬出入口２１ａを閉塞してチャンバ２を密閉する。

照射ステップにおいて、照射ユニット４は、基板１０に紫外線を照射する。
照射ステップにおいて、搬送機構５は、チャンバ２の外部からチャンバ２の内部に収容されている基板１０に紫外線が照射されるように照射ユニット４をチャンバ２の外部で移動させる。以下、照射ステップ内において、照射ユニット４と基板１０とを相対移動させるステップを移動ステップと呼ぶことにする。

移動ステップにおいて、照射ユニット４及び配管６０を同期させて移動させる。移動ステップにおいて、透光性部材２３を介してチャンバ２の内部の基板１０に紫外線が照射されるように照射ユニット４をチャンバ２の外部で移動させる。上述の通り、透光性部材２３は、保持部材２６によりチャンバ２に保持されている。本実施形態の紫外線照射装置１において、保持部材２６と透光性部材２３が平面的に重なる割合は、透光性部材２３における面積の１０％以下となっている。そのため、保持部材２６は、透光性部材２３の撓みを防止した状態で保持するとともに、照射ユニット４から照射された紫外線の遮蔽量を抑える。

また、上述の通り、門型フレーム５４の＋Ｙ方向側の側壁部には配管６０が取り付けられているため、移動ステップにおいて、照射ユニット４と共に配管６０をチャンバ２の外部で移動させる。

移動ステップにおいて、一対のレール５１の−Ｘ方向端（一端）と＋Ｘ方向端（他端）との間で照射ユニット４を往復移動させる。例えば、図３の上面視において、チャンバ２の−Ｘ方向端を超える領域からチャンバ２の＋Ｘ方向端を超える領域まで照射ユニット４を往復移動させる。

本実施形態に係る紫外線照射方法は、流量調整ステップを更に含む。
流量調整ステップにおいて、流量調整部６８は、照射部４０の温度に基づいて、配管６０の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整する。

なお、本実施形態に係る紫外線照射方法は、ガス供給ステップを更に含む。
ガス供給ステップにおいて、ガス供給部７は、チャンバ２の内部雰囲気の露点を調整する。また、ガス供給ステップにおいて、ガス供給部７は、チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度を調整する。

以上のように、本実施形態の紫外線照射方法によれば、チャンバ２の上方に配置される透光性部材２３の撓みを防止するとともに、チャンバ２内の基板１０に対して紫外線を良好に照射することができる。

また、本実施形態によれば、照射部及び配管６０を同期させて移動することができるため、配管６０が照射部４０の移動に追従するように引っ張られることはない。
すなわち、照射部４０を移動させた場合であっても、配管６０に過度の負荷がかかることを抑制することができる。したがって、配管６０の寿命を向上することができる。

また、排気部６が、配管６０を移動可能に接続するともに照射部４０の移動方向に沿うように延び、かつ、配管６０からの熱を排出可能な排気口６３ｈを有する排気ボックス６１を更に含むことで、照射部４０の移動方向に沿うように延びる排気ボックス６１の長手方向に沿って配管６０を移動させつつ、配管６０からの熱を排気口６３ｈから排出することができる。したがって、配管６０の移動を安定して行うとともに、配管６０から排気口６３ｈまでの熱の排気経路を確保することができる。

また、排気部６が、照射部４０の移動方向に沿うように延びるとともに排気ボックス６１の内部空間６１ｓを覆い、かつ、配管６０の移動に従って移動可能なシート７０を更に含むことで、排気ボックス６１の内部空間６１ｓが配管６０の移動に従って移動するシート７０によって覆われるため、配管６０からの熱が外部に漏れることを抑制することができる。したがって、シート７０を用いた簡単な構成で、配管６０からの熱の排出効率を維持することができる。

また、シート７０が、照射部４０の移動方向に沿うように、配管６０と排気ボックス６１との接続部である可動部６５から一方側と他方側とに延びるとともに、環状に繋がるように同一の部材により一体に形成されていることで、環状に形成されたシート７０をその周方向に回動させることができる。そのため、シート７０が可動部６５から一方側と他方側とに直線状に延びるように形成された場合と比較して、配管６０の移動に従って移動するシート７０の移動軌跡を小さくすることができる。したがって、装置を小型化することができる。

また、シート７０が内部空間６１ｓを囲むように排気ボックス６１の外周に沿うように配置されていることで、配管６０の移動に従って移動するシート７０の移動軌跡を可及的に小さくすることができるため、装置を効果的に小型化することができる。

また、シート７０が樹脂製であることで、以下の効果を奏する。シート７０が金属製である場合と比較して、軽量化することができるため、配管６０の移動に従ってシート７０をスムーズに移動させることができる。また、耐酸化性を発揮することができるため、部品劣化を抑制することができ、シート７０の寿命を向上することができる。

また、排気部６が、シート７０の張りを調整可能なテンショナー７９を更に含むことで、シート７０が配管６０の移動に従って移動する際に、シート７０が過度に引っ張られたり過度に撓んだりすることを抑制することができる。したがって、配管６０の移動をより一層安定して行うことができる。

また、排気部６が、照射部４０の移動方向に沿うように延びるとともにシート７０を案内し、かつ、配管６０からの熱が通過可能な通過孔６４ｈが形成された案内板６４を更に含むことで、シート７０が配管６０の移動に従って移動する際にシート７０を案内しつつ、案内板６４の通過孔６４ｈを介して配管６０からの熱を排気口６３ｈから排出することができる。したがって、配管６０の移動をより一層安定して行うとともに、配管６０から排気口６３ｈまでの熱の排気経路を確保することができる。

また、案内板６４のうち配管６０と排気ボックス６１との接続部である可動部６５における通過孔６４ｈの開口面積Ｓ２が排気口６３ｈの面積Ｓ１以上であることで、配管６０からの熱（排気）が通過孔６４ｈを通る前後で排気の流量を一定に維持することができるため、照射部４０の温度を一定に維持することができる。したがって、照射部４０から照射される紫外線の照度分布を均一化することができる。

また、通過孔６４ｈが、照射部４０の移動方向に沿うように案内板６４に規則的に複数配置されていることで、照射部４０及び配管６０を同期させて移動させている間、配管６０と排気ボックス６１との接続部である可動部６５における通過孔６４ｈの開口面積Ｓ２を常時一定に維持することができる。これにより、照射部４０及び配管６０を同期させて移動させている間、排気の流量を一定に維持することができるため、照射部４０の温度を一定に維持することができる。したがって、照射部４０から照射される紫外線の照度分布を常時均一化することができる。

また、排気部６が、照射部４０の温度に基づいて、配管６０の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能な流量調整部６８を更に含むことで、照射部４０の温度に適合するように排気の流量を調整することができるため、照射部４０から照射される紫外線の照度分布をより一層均一化することができる。

また、搬送機構５が、照射部４０及び配管６０を同期させて移動可能とする共通の駆動源であるガイド部５０を含むことで、照射部４０及び配管６０をまとめて一括して移動させることができるため、照射部４０及び配管６０を別個独立に移動させる場合と比較して、装置構成の簡素化を図ることができる。

また、紫外線照射装置１が、基板１０を密閉空間で収容可能なチャンバ２を更に備え、照射部４０、排気部６及び搬送機構５は、チャンバ２の外部に設けられ、搬送機構５は、照射部４０及び配管６０を同期させてチャンバ２の外部で移動させることで、以下の効果を奏する。

密閉空間を有するチャンバ２の内部で基板１０を静止させた状態で、チャンバ２の外部で照射部４０及び配管６０を移動させつつチャンバ２の内部の基板１０に紫外線を照射することができるため、基板１０の移動に伴うパーティクルの発生を考慮する必要がない。
また、照射部４０及び配管６０の移動はチャンバ２の外部で行われるため、仮に照射部４０及び配管６０の移動に伴いパーティクルが発生したとしても、チャンバ２を密閉空間とすることによって、チャンバ２内へのパーティクルの侵入を回避することができる。従って、チャンバ２内のパーティクルの発生を抑制することができ、基板１０を清浄に保つことができる。

また、基板１０を静止させた状態で照射部４０及び配管６０を移動させることによって、照射部４０及び配管６０よりも平面視サイズの大きい基板１０を用いても、照射部４０及び配管６０を静止させた状態で基板１０を移動させる場合と比較して、基板１０に紫外線を照射する際に必要なスペースを節約することができ、フットプリントを小さくすることができる。

また、チャンバ２内で基板１０を静止させた状態とすることによって、チャンバ２内は基板１０の収容スペースを確保するだけで済むため、チャンバ２内で基板１０を移動させる場合と比較して、チャンバ２の容積を小さくすることができ、チャンバ２内の酸素濃度及び露点の管理をしやすくなる。また、チャンバ２内の酸素濃度を調整する際に使用する窒素の消費量を削減することができる。

また、搬送機構５は、チャンバ２を挟むように照射ユニット４の移動方向に延びる一対のレール５１（ガイド部５０）と、チャンバ２を跨ぐように門型に形成されると共に、一対のレール５１に沿って移動可能とされる門型フレーム５４と、を含み、門型フレーム５４には、照射ユニット４を保持する保持部５４ｃが設けられることで、一般的なレールに沿って照射ユニット４を移動させる場合と比較して、高い剛性を有する門型フレーム５４によって照射ユニット４を一対のレール５１に沿って移動させることができるため、照射ユニット４の移動を安定して行うことができる。

また、チャンバ２の外部には、照射ユニット４を冷却可能な冷却部（不図示）が設けられることで、照射ユニット４を冷却することができるため、紫外線を基板１０に連続照射するとき等に照射ユニット４を連続駆動する場合であっても、照射ユニット４が過熱することを抑制することができる。

また、チャンバ２には、チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度及び露点を調整可能なガス供給部７が設けられることで、チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度を所定の濃度に調整することができるため、所定の酸素濃度の条件下で紫外線を基板１０に照射することができる。また、チャンバ２の内部雰囲気の露点を所定の露点に調整することができるため、所定の露点の条件下で紫外線を基板１０に照射することができる。

また、移動ステップにおいて、一対のレール５１の−Ｘ方向端（一端）と＋Ｘ方向端（他端）との間で照射ユニット４を往復移動させることで、一対のレール５１の一端と他端との間で照射ユニット４を一方向にのみ移動させる場合と比較して、紫外線を基板１０に繰り返し照射するときであっても、スムーズに効率良く照射することができる。また、一つの照射ユニット４を設ければ足りるため、装置構成の簡素化を図ることができる。

（第１変形例）
続いて、上記実施形態の第１変形例について、図面を参照しながら説明する。なお、上記実施形態と共通の構成については同じ符号を付し、構成に関する詳細な説明は省略する。
図１４は、第１変形例に係る保持部材を示す平面図である。図１４に示すように、本変形例の保持部材１２６は、照射ユニット４の走査方向であるＸ方向（第１方向）に延びる第１の部位１２７と、Ｘ方向に交差する（直交する）Ｙ方向（第２方向）に延びる第２の部位１２８とを含み、第１の部位１２７及び第２の部位１２８は互いに交差している。なお、本変形例の保持部材１２６は、１７６０ｍｍ×１５６０ｍｍの透光性部材２３を保持するものである。

本変形例において、第１の部位１２７の幅はＸ方向において変化しており、第２の部位１２８の幅はＹ方向において変化している。
例えば、第１の部位１２７において、両端部の幅Ｈ１ａ，Ｈ１ｂはそれぞれ５ｍｍに設定され、第２の部位１２８との交差部１２６Ａ及び該交差部１２６Ａに隣接する部分の幅Ｈ１ｃは５ｍｍに設定され、それ以外の部分の幅は１５ｍｍに設定されている。
すなわち、第１の部位１２７の幅は両端部において相対的に狭くなっている。また、第１の部位１２７の交差部１２６Ａに隣接する部分の幅Ｈ１ｃは相対的に狭くなっている。

図１に示したように、透光性部材２３は、チャンバ２の天板２０の全域に設けられていない。そのため、照射ユニット４が−Ｘ方向に移動することでチャンバ２の上方に移動する際、透光性部材２３の＋Ｘ方向に位置する天板２０により照射ユニット４から照射された紫外線の一部が遮光される。また、同様に、照射ユニット４が−Ｘ方向に移動することでチャンバ２の上方から退避する際、透光性部材２３の−Ｘ方向に位置する天板２０により照射ユニット４から照射された紫外線の一部が遮光される。したがって、基板１０のＸ方向の両端部における紫外線照射量は、基板中央部における紫外線照射量に比べて少なくなるおそれがある。

これに対し、本変形例の構成によれば、第１の部位１２７における両端部の幅Ｈ１ａ，Ｈ１ｂを相対的に狭めている。これにより、第１の部位１２７による紫外線の遮蔽量を減らすことで基板１０のＸ方向両端部の紫外線照射量を確保することができる。よって、基板１０上のＸ方向における紫外線の照度分布をより均一化できる。

さらに、基板１０における紫外線照射量は、保持部材１２６の影響を最も受けやすい第１の部位１２７及び第２の部位１２８の交差部分の直下で最も小さくなる。これに対し、本変形例の構成によれば、第１の部位１２７及び第２の部位１２８の交差部１２６Ａ及び該交差部１２６Ａに隣接する部分の幅Ｈ１ｃを相対的に狭めている。これにより、第１の部位１２７及び第２の部位１２８の交差部１２６Ａによる紫外線の遮蔽量を減らすことで基板１０上における紫外線の照度分布をより均一化できる。

また、第２の部位１２８において、両端部の幅Ｈ２ａ，Ｈ２ｂはそれぞれ５ｍｍに設定され、第１の部位１２７との交差部１２６Ａ及び該交差部１２６Ａに隣接する部分の幅Ｈ２ｃは５ｍｍに設定され、それ以外の部分の幅は１０ｍｍに設定されている。
すなわち、第２の部位１２８の幅は両端部において相対的に狭くなっている。また、第２の部位１２８の交差部１２６Ａに隣接する部分の幅Ｈ２ｃは相対的に狭くなっている。

ここで、照射ユニット４はＹ方向に長尺状の形状を有する。このような長尺形状からなる照射ユニット４は、その構造上、両端部における紫外線照度が相対的に低くなってしまう。そのため、基板１０のＹ方向の両端部における紫外線照射量は、基板中央部における紫外線照射量に比べて少なくなるおそれがある。

これに対し、本変形例の構成によれば、第２の部位１２８における両端部の幅Ｈ２ａ，Ｈ２ｂを相対的に狭めている。これにより、保持部材１２６における紫外線の遮蔽量を減らすことで照射ユニット４から照射される紫外線量が相対的に少ない基板１０のＹ方向両端部の紫外線照射量を確保することができる。よって、基板１０上のＹ方向における紫外線の照度分布をより均一化できる。

なお、本変形例では、第１の部位１２７の両端部の幅Ｈ１ａ，Ｈ１ｂを相対的に狭める構成としたが、一方の端部の幅のみを狭める構成としても良い。また、第２の部位１２８の両端部の幅Ｈ２ａ，Ｈ２ｂを相対的に狭める構成としたが、一方の端部の幅のみを狭める構成としても良い。また、第１の部位１２７及び第２の部位１２８の交差部に隣接する部分において、第１の部位１２７及び第２の部位１２８の両方の幅を相対的に狭める構成としたが、第１の部位１２７及び第２の部位１２８のいずれか一方における交差部に隣接する部分のみを狭める構成としても良い。

（第２変形例）
続いて、上記実施形態の第２変形例について、図面を参照しながら説明する。
図１５は、第２変形例に係る保持部材を示す平面図である。図１５に示すように、本変形例の保持部材２２６は、照射ユニット４の走査方向であるＸ方向（第１方向）に延びる第１の部位２２７と、Ｘ方向に交差する（直交する）Ｙ方向（第２方向）に延びる第２の部位２２８とを含み、第１の部位２２７及び第２の部位２２８は互いに交差している。

本変形例において、第１の部位２２７の幅はＸ方向において変化しており、第２の部位２２８の幅はＹ方向において変化している。第１の部位２２７及び第２の部位２２８において、連続的に幅が変化している。

例えば、第１の部位２２７は、幅の最大値が１５ｍｍであり、幅の最小値が５ｍｍである。具体的に、第１の部位２２７は、両端部の幅Ｈ１ａ，Ｈ１ｂの最小値がそれぞれ５ｍｍに設定され、第２の部位２２８との交差部２２６Ａの幅Ｈ１ｃの最小値が５ｍｍに設定される。第１の部位２２７は、交差部２２６Ａと両端部との間にそれぞれ幅の最大値（１５ｍｍ）となる一定幅部分２２７ａを有する。第１の部位２２７は、一定幅部分２２７ａと交差部２２６Ａとの間において幅が連続的に変化している。

本変形例に係る構成によれば、上記第１変形例と同様の効果に加え、幅を連続的に変化させることで保持部材２２６の機械的な強度を向上させることができる。よって、本変形例の保持部材２２６によれば、透光性部材２３に撓みを生じさせること無く、確実に保持できる。

（第３変形例）
続いて、上記実施形態の第３変形例について、図面を参照しながら説明する。
図１６は、第３変形例に係る保持部材３２６を示す平面図であり、図１７は図１６のＡ−Ａ線矢視による保持部材３２６の要部断面構成を示す図である。

図１６に示すように、本変形例の保持部材３２６は、照射ユニット４の走査方向であるＸ方向（第１方向）に延びる第１の部位３２７と、Ｘ方向に交差する（直交する）Ｙ方向（第２方向）に延びる第２の部位３２８とを含み、第１の部位３２７及び第２の部位３２８は互いに交差している。

なお、本変形例においても、保持部材３２６と透光性部材２３とが平面的に重なる割合を透光性部材２３における面積の１０％以下にしている。これにより、照射ユニット４から照射された紫外線の保持部材３２６による遮蔽量を低減している。

図１７に示すように、第１の部位３２７は、複数の支持部３２９を有している。各支持部３２９の断面形状は略Ｌ字状であり、第一支持部３２９ａ及び第二支持部３２９ｂを含む。本変形例において、第１の部位３２７は、第２の部位３２８との交差部３２６Ａを基準として点対称の関係を満たすように複数の支持部３２９が形成されている。

第一支持部３２９ａは、ＸＹ平面と平行に配置されることで透光性部材２３の下面を支持する。第一支持部３２９ａと透光性基板２３ａとの間にはシール部材３３０が設けられている。シール部材３３０は、第一支持部３２９ａと透光性基板２３ａとの間に生じる隙間を無くすものである。第二支持部３２９ｂは、透光性基板２３ａの端面の位置を規制するためのものであり、透光性基板２３ａに接触しても良いし、接触しなくても良い。

複数の支持部３２９はＸ方向に沿って配置されている。隣り合う支持部３２９同士は第二支持部３２９ｂで接続されており、Ｚ方向から平面した際、第二支持部３２９ｂに対する第一支持部３２９ａのＹ方向の位置が逆向きとなっている。

第２の部位３２８は、第１の部位３２７と同一構成からなり、複数の支持部３３１を有している。各支持部３３１の断面形状は略Ｌ字状であり、第一支持部３３１ａ及び第二支持部３３１ｂを含む。本変形例において、第２の部位３２８は、第１の部位３２７との交差部３２６Ａを基準として点対称の関係を満たすように複数の支持部３３１が形成されている。

第一支持部３３１ａは、ＸＹ平面と平行に配置されることで透光性部材２３の下面を支持する。第一支持部３３１ａと透光性基板２３ａとの間にはシール部材（不図示）が設けられている。

複数の支持部３３１はＹ方向に沿って配置されている。隣り合う支持部３３１同士は第二支持部３３１ｂで接続されており、Ｚ方向から平面した際、第二支持部３３１ｂに対する第一支持部３３１ａのＸ方向の位置が逆向きとなっている。

本変形例において、第１の部位３２７及び第２の部位３２８は交差している。具体的に、第１の部位３２７及び第２の部位３２８は、第二支持部３２９ｂ及び第二支持部３３１ｂにおいて交差する。これにより、照射ユニット４からの紫外線の遮蔽量を低減している。また、第１の部位３２７及び第２の部位３２８は、交差部３２６Ａを基準として点対称の関係を満たすように形成されるため、交差部３２６Ａの近傍における紫外線の遮蔽量を同程度とすることができる。

本変形例の保持部材３２６によれば、透光性部材２３の撓みを防止した状態で保持するとともに、照射ユニット４から照射された紫外線の遮蔽量を抑えることができる。

（第４変形例）
続いて、上記実施形態の第４変形例について、図面を参照しながら説明する。
図１８は、第４変形例に係る保持部材４２６により保持される透光性部材２３の周辺構成を示す平面図であり、図１９は図１８のＢ−Ｂ線矢視による要部断面構成を示す図である。

図１８に示すように、本変形例の保持部材４２６は、４本のワイヤー（線状部材）４２７と、枠状の支持部材４２８とを有する。ワイヤー４２７は、例えば、ＳＵＳ等の金属製からなる１φ〜１０φ、好ましくは１φ〜５φの太さを有する。ワイヤー４２７は、所定の張力で引っ張られることで透光性基板２３ａの下面を支持する。

ワイヤー４２７の表面に例えばテフロン（登録商標）コートなどのコーティングを施しても良い。このようにすれば、後述のようにワイヤー４２７が透光性基板２３ａに接触する場合でも、透光性基板２３ａの表面に傷等のダメージを与えることが無い。

本変形例において、ワイヤー４２７は、Ｙ方向（所定方向）に延びる第１ワイヤー４２７ａ及び第２ワイヤー４２７ｂと、Ｘ方向に延びる第３ワイヤー４２７ｃ及び第４ワイヤー４２７ｄを含む。ワイヤー４２７ａ、４２７ｂは、透光性部材２３を構成する４枚の透光性基板２３ａのうち、Ｙ方向において隣り合う一対（２枚）の透光性基板２３ａの下面を保持する。ワイヤー４２７ａは、ワイヤー４２７ｂに対して＋Ｘ側に配置されている。

ワイヤー４２７ａは透光性基板２３ａの−Ｘ側寄りの下面を保持し、ワイヤー４２７ｂは透光性基板２３ａの＋Ｘ側寄りの下面を保持する。すなわち、ワイヤー４２７ａ，４２７ｂは、４つの透光性基板２３ａからなる透光性部材２３の中央部の近傍を保持している。

また、ワイヤー４２７ｃ、４２７ｄは、透光性部材２３を構成する４枚の透光性基板２３ａのうち、Ｘ方向において隣り合う一対（２枚）の透光性基板２３ａの下面側を保持する。ワイヤー４２７ｃは、ワイヤー４２７ｄに対して＋Ｙ側に配置されている。
本変形例において、ワイヤー４２７ｃ，４２７ｄは、ワイヤー４２７ａ，４２７ｂに対して下方（−Ｚ側）に配置されている。すなわち、ワイヤー４２７ｃ，４２７ｄは、ワイヤー４２７ａ，４２７ｂを介して透光性基板２３ａの下面を保持する。

ワイヤー４２７ｃは透光性基板２３ａの−Ｙ側寄りの下面を保持し、ワイヤー４２７ｄは透光性基板２３ａの＋Ｙ側寄りの下面を保持する。すなわち、ワイヤー４２７ｃ，４２７ｄは、４つの透光性基板２３ａからなる透光性部材２３の中央部の近傍を保持している。

支持部材４２８は、４つの透光性基板２３ａの側端部を枠状に支持する。図１９に示すように、支持部材４２８は、フレーム部４２８ａ及び付勢部材４２８ｂを含む。フレーム部４２８ａは、透光性基板２３ａの側端部２３ａ１に対向する板状の部材からなり、付勢部材４２８ｂを支持する。付勢部材４２８ｂは、透光性基板２３ａの側端部２３ａ１に対して付勢力を付与する部材からなる。本変形例において、付勢部材４２８ｂは、例えば、板バネから構成される。なお、付勢部材４２８ｂは、透光性基板２３ａの側端部２３ａ１における全周に亘って設けられる必要は無く、各透光性基板２３ａの側端部２３ａ１を少なくとも異なる２方向から付勢するように設けられていればよい。

これにより、対向する透光性基板２３ａの端面２３ａ２同士は当接した状態となる。なお、付勢部材４２８ｂによる付勢力を調整すると、透光性基板２３ａの端面２３ａ２間の密着度を調整することができる。これにより、透光性基板２３ａの端面２３ａ２間の隙間量を制御することで、透光性部材２３によるチャンバ２（図１参照）の密閉度を制御することができる。すなわち、チャンバ２内を所望の露点に維持することができる。また、本変形例に係る構成において、チャンバ２の密閉度を高めるには、透光性基板２３ａの端面にゴム等のシール部材を配置すればよい。

ところで、透光性部材２３は紫外線の熱によって熱伸びが発生する。本変形例によれば、付勢部材４２８ｂとしての板バネを用いるため、熱伸びが発生した場合でも熱伸びによる変位を板バネで吸収することで透光性基板２３ａを安定して保持することができる。

また、付勢部材４２８ｂ（板バネ）で透光性基板２３ａを抑える構造を採用するため、透光性基板２３ａの取り外し或いは清掃といったメンテナンス作業を容易に行うことができる。

ここで、透光性部材２３は、各透光性基板２３ａの当接部分、すなわち中央部に撓みが生じ易くなる。これに対し、本変形例の保持部材４２６によれば、ワイヤー４２７を引っ張ることで透光性部材２３を良好に保持することができる。具体的に、透光性部材２３の中央部の近傍を４本のワイヤー４２７ａ〜４２７ｄで保持することで、透光性部材２３の撓みを低減することができる。

また、本変形例の保持部材４２６によれば、透光性基板２３ａをワイヤー４２７で保持するので、照射ユニット４から照射された紫外線の遮蔽量を抑えることができる。また、ワイヤー４２７は一定の太さのため、紫外線の遮蔽量にバラツキが生じ難いため、基板上に紫外線を均一性の高い状態で照射できる。特に、本変形例では、照射ユニット４の走査方向であるＸ方向に交差するＹ方向に沿ってワイヤー４２７が延びるため、Ｘ方向にワイヤー４２７が延びる場合に比べて、照射ユニット４の直下に常にワイヤー４２７が位置しない。よって、上述のように紫外線の遮蔽量を低減できる。
なお、本変形例において、保持部材４２６は、４本のワイヤー４２７を有する場合を例に挙げたが、ワイヤー４２７の数はこれに限定されず、例えば、２本、６本、８本としても良い。

（第５変形例）
次に、実施形態の第５変形例について、図２０を用いて説明する。
図２０は、実施形態に係る排気部の第５変形例を示す側面図である。なお、図２０においては、排気ボックス６１の各壁、案内板６４等の図示を省略している。
図２０に示すように、本変形例では、実施形態に対して、シート１７０が第一シート１７０Ａ及び第二シート１７０Ｂを備える点で特に異なる。図２０において、実施形態と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図２０に示すように、第一シート１７０Ａは、照射部４０の移動方向に沿うように、配管６０と排気ボックス６１との接続部である可動部６５から一方側（＋Ｘ方向側）に延びる。第一シート１７０Ａの一端部の側は、第一駆動ローラ１７１に巻回されている。第一シート１７０Ａの他端部は、第一係止部６６を介して、ベース部６５ａの＋Ｘ方向側の端部に係止されている。

第二シート１７０Ｂは、照射部４０の移動方向に沿うように、可動部６５から他方側（−Ｘ方向側）に延びる。第二シート１７０Ｂは、第一シート１７０Ａに同期して移動可能に構成されている。第二シート１７０Ｂの一端部の側は、第二駆動ローラ１７２に巻回されている。第二シート１７０Ｂの他端部は、第二係止部６７を介して、ベース部６５ａの−Ｘ方向側の端部に係止されている。

第一駆動ローラ１７１は、Ｙ方向に延びる第一駆動軸１７１ａの回りに回動可能に構成されている。第二駆動ローラ１７２は。Ｙ方向に延びる第二駆動軸１７２ａの回りに回動可能に構成されている。図２０においては、第一駆動ローラ１７１が矢印Ｊ１の方向に回動し且つ第二駆動ローラ１７２が矢印Ｊ２の方向に回動することによって、第一シート１７０Ａ及び第二シート１７０Ｂが−Ｘ方向（矢印Ｋの方向）に同期して移動している状態を示している。

本変形例によれば、第一シート１７０Ａに同期して第二シート１７０Ｂを移動させることができるため、配管６０（図１参照）の移動をより一層安定して行うことができる。

（第６変形例）
図２１は、第６変形例に係る排気部を示す側面図である。なお、図２１においては、排気ボックス６１の各壁などの図示を省略している。
図２１に示すように、本変形例では、実施形態に対して、シート７０が、一対の搬送ローラ１８０に掛け回された状態で、照射部４０の移動方向に沿うように移動可能に構成されている点で特に異なる。図２１において、実施形態と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

一対の搬送ローラ１８０は、Ｘ方向に間隔を空けた状態で、Ｘ方向に移動可能に構成されている。一対の搬送ローラ１８０、シート７０及び案内板６４によって囲まれた部分には、配管６０からの熱が通過可能な空間である通過部１８０ｈが形成されている。通過部１８０ｈは、案内板６４の通過孔６４ｈを介して排気ボックス６１の内部空間６１ｓ（図１１参照）に連通している。

例えば、一対の搬送ローラ１８０が常時一定の間隔を空けることによって、通過部１８０ｈを通過する気体の流量を一定に維持することができる。一方、一対の搬送ローラ１８０の間隔を増減することによって、通過部１８０ｈを通過する気体の流量を調整することができる。

なお、上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上記実施形態において、透光性部材２３は複数の透光性基板２３ａから構成される場合を例に挙げたが、透光性部材２３は大型の透光性基板を１枚用いて構成しても良い。この場合においても、保持部材２６を用いてチャンバ２に保持することで大型基板からなる透光性部材２３に生じる撓みを抑えることができる。

また、上記実施形態においては、チャンバ２を一つ設けたが、これに限らず、チャンバ２を二つ以上の複数設けても構わない。

また、上記実施形態においては、案内板６４の通過孔６４ｈの上面視形状が円形である例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、案内板６４の通過孔６４ｈの上面視形状は、楕円形であってもよく、三角形、四角形等の多角形であってもよい。また、案内板６４はパンチングメタルである例を挙げて説明したが、これに限らず、上面視で梯子状をなす部材であってもよい。すなわち、案内板６４の形状は、設計仕様に応じて種々の形状を採用することができる。

また、上記実施形態においては、流量調整部６８が、配管６０の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能に構成されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、流量調整部６８は、排気ボックス６１の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能に構成されていてもよい。すなわち、流量調整部６８は、配管６０及び排気ボックス６１の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能に構成されていればよい。

なお、上記において実施形態又はその変形例として記載した各構成要素は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わせることができるし、また、組み合わされた複数の構成要素のうち一部の構成要素を適宜用いないようにすることもできる。

１…紫外線照射装置、１０…基板、２…チャンバ（収容部）、５…搬送機構（移動部）、６…排気部、４０…照射部、５０…ガイド部（駆動源）、６０…配管、６１…排気ボックス、６１ｓ…内部空間、６３ｈ…排気口、６４…案内板、６４ｈ…通過孔、６５…可動部（接続部）、６８…流量調整部、７０…シート、７９…テンショナー、１７０Ａ…第一シート、１７０Ｂ…第二シート、Ｓ１…排気口の面積、Ｓ２…通過孔の開口面積。

Claims (16)

1. 基板を密閉空間で収容可能な基板収容部と、
   所定の波長域の紫外線を前記基板に照射する照射部と、
   前記基板収容部に設けられ、前記照射部から照射された前記紫外線を透過させる透光性部材と、
   前記透光性部材を前記基板収容部に保持する保持部材と、
   前記基板収容部と前記照射部とを相対移動させる駆動装置と、を備え、
   前記保持部材と前記透光性部材とが平面的に重なる割合は、前記透光性部材における面積の１０％以下であり、
   前記透光性部材は複数の透光性基板から構成されている
   紫外線照射装置。
2. 基板を密閉空間で収容可能な基板収容部と、
   所定の波長域の紫外線を前記基板に照射する照射部と、
   前記基板収容部に設けられ、前記照射部から照射された前記紫外線を透過させる透光性部材と、
   前記透光性部材を前記基板収容部に保持する保持部材と、
   前記基板収容部と前記照射部とを相対移動させる駆動装置と、を備え、
   前記保持部材と前記透光性部材とが平面的に重なる割合は、前記透光性部材における面積の１０％以下であり、
   前記保持部材は、前記基板収容部及び前記照射部が相対移動する第１方向に延びる第１の部位と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる第２の部位と、を含み、
   前記保持部材は、一方向に沿って延び、前記透光性部材の表面を保持する線状部材を含む
   紫外線照射装置。
3. 前記透光性部材の材料は石英である
   請求項１または２に記載の紫外線照射装置。
4. 前記照射部は、前記紫外線として２００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長域の光を照射する
   請求項１乃至３のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
5. 前記透光性部材は複数の透光性基板から構成されている
   請求項１乃至４のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
6. 前記保持部材は、前記基板収容部及び前記照射部が相対移動する第１方向に延びる第１の部位と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる第２の部位と、を含む
   請求項１乃至５のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
7. 前記第１の部位の前記第２方向における幅は１５ｍｍ以下であり、
   前記第２の部位の前記第１方向における幅は１５ｍｍ以下である
   請求項６に記載の紫外線照射装置。
8. 前記第１の部位の幅は、前記第１方向において変化しており、
   前記第２の部位の幅は、前記第２方向において変化している
   請求項６又は７に記載の紫外線照射装置。
9. 前記第１の部位の幅は、少なくとも一方の端部において相対的に狭くなっている
   請求項８に記載の紫外線照射装置。
10. 前記第２の部位の幅は、少なくとも一方の端部において相対的に狭くなっている
    請求項８又は９に記載の紫外線照射装置。
11. 前記第１の部位及び前記第２の部位は互いに交差するように設けられており、
    前記第１の部位及び前記第２の部位の少なくともの交差部及び前記交差部に隣接する部分の幅は、相対的に狭くなっている
    請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
12. 前記第１の部位及び前記第２の部位において、連続的に幅が変化している
    請求項８乃至１１のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
13. 前記保持部材は、一方向に沿って延び、前記透光性基板の表面を保持する線状部材と、前記複数の透光性基板の側端部を枠状に保持する支持部材とを含み、
    前記支持部材は、対向する前記透光性基板の端面同士を当接させるように、前記複数の透光性基板に付勢力を付与する
    請求項１又は５に記載の紫外線照射装置。
14. 所定の波長域の紫外線を照射する照射部と基板とを相対移動させながら、前記紫外線を基板に照射する照射ステップを含み、
    前記照射ステップでは、保持部材により保持された透光性部材を介して前記紫外線を前記基板に照射しており、
    前記保持部材と前記透光性部材とが平面的に重なる割合は、前記透光性部材における面積の１０％以下であり、
    前記透光性部材は複数の透光性基板から構成されている
    紫外線照射方法。
15. 所定の波長域の紫外線を照射する照射部と基板とを相対移動させながら、前記紫外線を基板に照射する照射ステップを含み、
    前記照射ステップでは、前記基板を密閉空間で収容可能な基板収容部に設けられるとともに保持部材により保持された透光性部材を介して前記紫外線を前記基板に照射しており、
    前記保持部材と前記透光性部材とが平面的に重なる割合は、前記透光性部材における面積の１０％以下であり、
    前記保持部材は、前記基板収容部と前記照射部とが相対移動する第１方向に延びる第１の部位と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる第２の部位と、を含み、
    前記保持部材は、一方向に沿って延び、前記透光性部材の表面を保持する線状部材を含む
    紫外線照射方法。
16. 前記照射ステップにおいて、前記紫外線として２００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長域の光を照射する
    請求項１４又は１５に記載の紫外線照射方法。

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