KR102449949B1 - 자외선 조사 장치 및 자외선 조사 방법 - Google Patents

Abstract

(과제) 자외선을 효율적으로 조사할 수 있는 자외선 조사 장치 및 자외선 조사 방법을 제공한다.
(해결 수단) 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능한 기판 수용부와, 소정의 파장역의 자외선을 기판에 조사하는 조사부와, 기판 수용부에 형성되고, 조사부로부터 조사된 자외선을 투과시키는 투광성 부재와, 투광성 부재를 기판 수용부에 유지하는 유지 부재와, 기판 수용부와 조사부를 상대 이동시키는 구동 장치를 구비하고, 유지 부재와 투광성 부재가 평면적으로 중첩되는 비율은, 투광성 기판에 있어서의 면적의 10 ％ 이하인 자외선 조사 장치에 관한 것이다.

Description

자외선 조사 장치 및 자외선 조사 방법{ULTRAVIOLET IRRADIATION DEVICE AND ULTRAVIOLET IRRADIATION METHOD}

본 발명은 자외선 조사 장치 및 자외선 조사 방법에 관한 것이다.

액정 디스플레이 등의 표시 패널을 구성하는 유리 기판 상에는, 배선 패턴 및 전극 패턴 등의 미세한 패턴이 형성되어 있다. 예를 들어 이와 같은 패턴은, 포토리소그래피법 등의 방법에 의해 형성된다. 포토리소그래피법은, 레지스트막을 유리 기판에 도포하는 공정, 레지스트막을 노광하는 공정, 노광 후의 레지스트막을 현상하는 공정 및 현상 후의 레지스트막에 대해 자외선 등의 광을 조사하는 공정 (큐어 공정) 을 포함한다.

상기 서술한 큐어 공정은, 기판에 대해 자외선을 조사하는 자외선 조사 장치에 의해 실시된다. 예를 들어, 특허문헌 1 에는, 조사창을 개재하여 자외선을 조사하는 자외선 조사 장치가 개시되어 있다.

일본 특허 제4859660호

그런데, 상기 종래 구성에 있어서 조사창을 크게 하는 경우, 조사창을 프레임 부재로 유지할 필요가 생긴다. 이와 같은 프레임 부재를 사용하면, 프레임 부재에 의해 자외선이 차단됨으로써 기판에 대해 자외선을 효율적으로 조사할 수 없을 우려가 있었다.

본 발명은 이와 같은 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 자외선을 효율적으로 조사할 수 있는 자외선 조사 장치 및 자외선 조사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제 1 양태에 따르면, 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능한 기판 수용부와, 소정의 파장역의 자외선을 상기 기판에 조사하는 조사부와, 상기 기판 수용부에 형성되고, 상기 조사부로부터 조사된 상기 자외선을 투과시키는 투광성 부재와, 상기 투광성 부재를 상기 기판 수용부에 유지하는 유지 부재와, 상기 기판 수용부와 상기 조사부를 상대 이동시키는 구동 장치를 구비하고, 상기 유지 부재와 상기 투광성 부재가 평면적으로 중첩되는 비율은, 상기 투광성 기판에 있어서의 면적의 10 ％ 이하인 자외선 조사 장치가 제공된다.

제 1 양태에 관련된 자외선 조사 장치에 의하면, 투광성 부재의 휨을 방지한 상태로 유지함과 함께, 조사부로부터 조사된 자외선의 차폐량을 억제할 수 있다. 따라서, 기판 상에 자외선을 효율적으로 조사할 수 있다.

상기 제 1 양태에 있어서, 상기 투광성 부재의 재료는 석영이어도 된다. 또한 상기 조사부는, 상기 자외선으로서 200 ㎚ ∼ 450 ㎚ 의 파장역의 광을 조사하는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 200 ㎚ ∼ 450 ㎚ 의 파장역의 광을 기판 상에 효율적으로 조사할 수 있다.

상기 제 1 양태에 있어서, 상기 투광성 부재는 복수의 투광성 기판으로 구성되어 있는 구성으로 해도 된다.

이 구성에 의하면, 투광성 부재로서 1 장의 대형 투광성 기판을 사용하는 경우에 비해, 투광성 부재의 비용을 저감시킬 수 있다.

상기 제 1 양태에 있어서, 상기 유지 부재는, 상기 기판 수용부 및 상기 조사부가 상대 이동하는 제 1 방향으로 연장되는 제 1 부위와, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 연장되는 제 2 부위를 포함하는 구성으로 해도 된다.

이 구성에 의하면, 제 1 부위 및 제 2 부위를 포함하는 유지 부재에 의해 투광성 부재를 휨을 저감시킨 상태로 유지할 수 있다.

상기 제 1 양태에 있어서, 상기 제 1 부위의 상기 제 2 방향에 있어서의 폭은 15 ㎜ 이하이고, 상기 제 2 부재의 상기 제 1 방향에 있어서의 폭은 15 ㎜ 이하인 구성으로 해도 된다.

이 구성에 의하면, 유지 부재에 의한 자외선의 차폐량을 저감시킬 수 있다.

상기 제 1 양태에 있어서, 상기 제 1 부위의 폭은, 상기 제 1 방향에 있어서 변화하고 있고, 상기 제 2 부위의 폭은, 상기 제 2 방향에 있어서 변화하고 있는 구성으로 해도 된다.

이 구성에 의하면, 제 1 부위 및 제 2 부위의 폭을 변화시킴으로써 기판 상에 자외선을 효율적으로 조사할 수 있다.

상기 제 1 양태에 있어서, 상기 제 1 부위의 폭은, 적어도 일방의 단부에 있어서 상대적으로 좁아져 있는 구성으로 해도 된다.

이 구성에 의하면, 제 1 부위에 의한 자외선의 차폐량을 줄임으로써 기판의 제 1 방향의 단부의 자외선 조사량을 확보할 수 있다. 따라서, 기판 상의 제 1 방향에 있어서의 자외선의 조도 분포를 보다 균일화할 수 있다.

상기 제 1 양태에 있어서, 상기 제 2 부위의 폭은, 적어도 일방의 단부에 있어서 상대적으로 좁아져 있는 구성으로 해도 된다.

이 구성에 의하면, 조사부로부터 조사되는 자외선량이 상대적으로 적은 기판의 제 2 방향 단부의 자외선 조사량을 확보할 수 있다. 따라서, 기판 상의 제 2 방향에 있어서의 자외선의 조도 분포를 보다 균일화할 수 있다.

상기 제 1 양태에 있어서, 상기 제 1 부위 및 상기 제 2 부위는 서로 교차하도록 형성되어 있고, 상기 제 1 부위 및 상기 제 2 부위의 적어도 교차부 및 상기 교차부에 인접하는 부분의 폭은, 상대적으로 좁아져 있는 구성으로 해도 된다.

이 구성에 의하면, 제 1 부위 및 제 2 부위의 교차부에 의한 자외선의 차폐량을 줄임으로써 기판 상에 있어서의 자외선의 조도 분포를 보다 균일화할 수 있다.

상기 제 1 양태에 있어서, 상기 제 1 부위 및 상기 제 2 부위에 있어서, 연속적으로 폭이 변화하고 있는 구성으로 해도 된다.

이 구성에 의하면, 폭을 연속적으로 변화시킴으로써 유지 부재의 기계적인 강도를 향상시킬 수 있다. 따라서, 투광성 부재에 휨을 발생시키지 않고 확실하게 유지할 수 있다.

상기 제 1 양태에 있어서, 상기 유지 부재는, 일방향을 따라 연장되고, 상기 투광성 기판의 표면을 유지하는 선상 부재와, 상기 복수의 투광성 기판의 측단부를 프레임상으로 유지하는 지지 부재를 포함하고, 상기 지지 부재는, 상기 투광성 기판의 단면끼리를 맞닿게 하도록, 상기 복수의 투광성 기판에 탄성력을 부여해도 된다.

이 구성에 의하면, 선상 부재를 사용하여 투광성 기판의 표면을 유지하기 때문에, 조사부로부터 조사된 자외선의 차폐량을 억제할 수 있다. 따라서, 기판 상에 자외선을 효율적으로 조사할 수 있다. 또, 선상 부재를 인장함으로써 휨을 저감시킨 상태로 투광성 부재를 유지할 수 있다. 또, 지지 부재의 탄성력을 해제함으로써 각 투광성 기판을 용이하게 떼어낼 수 있기 때문에, 투광성 부재의 청소가 용이해진다.

본 발명의 제 2 양태에 따르면, 소정의 파장역의 자외선을 조사하는 조사부와 기판을 상대 이동시키면서, 상기 자외선을 기판에 조사하는 조사 스텝을 포함하고, 상기 조사 스텝에서는, 유지 부재에 의해 유지된 투광성 부재를 개재하여 상기 자외선을 상기 기판에 조사하고 있고, 상기 유지 부재와 상기 투광성 부재가 평면적으로 중첩되는 비율은, 상기 투광성 기판에 있어서의 일방면의 면적의 10 ％ 이하인 자외선 조사 방법이 제공된다.

제 2 양태에 관련된 자외선 조사 방법에 의하면, 투광성 부재의 휨을 방지한 상태로 유지함과 함께, 조사부로부터 조사된 자외선의 차폐량을 억제할 수 있다. 따라서, 기판 상에 자외선을 효율적으로 조사할 수 있다.

상기 제 2 양태에 있어서, 상기 조사 스텝에 있어서, 상기 자외선으로서 200 ㎚ ∼ 450 ㎚ 의 파장역의 광을 조사하는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 200 ㎚ ∼ 450 ㎚ 의 파장역의 광이 기판 상에 효율적으로 조사되게 된다.

본 발명에 의하면, 자외선을 효율적으로 조사할 수 있다.

도 1 은, 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치의 사시도이다.
도 2 는, 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치의 상면도이다.
도 3 은, 도 2 의 III-III 단면도를 포함하는 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치의 측면도이다.
도 4 는, 유지 부재의 주요부 구성을 나타내는 단면도.
도 5 는, 유지 부재의 평면 구성을 나타내는 도면.
도 6 은, 실험에 사용한 투광성 기판을 나타내는 평면도.
도 7 은, 실험에 사용한 투광성 기판을 나타내는 평면도.
도 8 은, 실험에 사용한 투광성 기판을 나타내는 평면도.
도 9 는, 실시형태에 관련된 배기부의 사시도이다.
도 10 은, 실시형태에 관련된 배기부의 상면도이다.
도 11 은, 도 10 의 VI-VI 단면을 포함하는 실시형태에 관련된 배기부의 측면도이다.
도 12 는, 도 10 의 VII-VII 단면도이다.
도 13 은, 도 11 의 VIII-VIII 단면도이다.
도 14 는, 제 1 변형예에 관련된 유지 부재의 주요부 단면도.
도 15 는, 제 2 변형예에 관련된 유지 부재의 주요부 단면도.
도 16 은, 제 3 변형예에 관련된 유지 부재의 평면.
도 17 은, 도 16 의 A-A 선 화살표에서 보는 것에 의한 유지 부재의 주요부 단면도.
도 18 은, 제 4 변형예에 관련된 유지 부재에 유지되는 투광성 부재의 주변 구성을 나타내는 평면도.
도 19 는, 도 18 의 B-B 선 화살표에서 보는 것에 의한 주요부 단면도.
도 20 은, 제 5 변형예에 관련된 배기부를 나타내는 측면도이다.
도 21 은, 제 6 변형예에 관련된 배기부를 나타내는 측면도이다.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태를 설명한다. 이하의 설명에 있어서는, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계에 대해 설명한다. 수평면 내의 소정 방향을 X 방향, 수평면 내에 있어서 X 방향과 직교하는 방향을 Y 방향, X 방향 및 Y 방향의 각각과 직교하는 방향 (즉 연직 방향) 을 Z 방향으로 한다.

(자외선 조사 장치)

도 1 은, 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치 (1) 의 사시도이다. 도 2 는, 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치 (1) 의 상면도이다. 도 3 은, 도 2 의 III-III 단면도를 포함하는 실시형태에 관련된 자외선 조사 장치의 측면도이다.

도 1 ∼ 도 3 에 나타내는 바와 같이, 자외선 조사 장치 (1) 는, 기판 (10) 에 대해 자외선의 조사를 실시하는 장치이다. 자외선 조사 장치 (1) 는, 챔버 (2) (기판 수용부), 스테이지 (3), 조사 유닛 (조사부) (4), 반송 기구 (구동 장치) (5), 배기부 (6), 가스 공급부 (7) 및 제어부 (8) 를 구비한다. 제어부 (8) 는, 자외선 조사 장치 (1) 의 구성 요소를 통괄 제어한다.

(조사 유닛)

조사 유닛 (4) 은, 챔버 (2) 의 외부에 형성된다. 조사 유닛 (4) 은, 조사부 (40) 및 집광 부재 (41) 를 구비한다.

조사부 (40) 는, 기판 (10) 에 소정의 파장역의 자외선을 조사한다. 본 실시형태에 있어서, 「소정의 파장역의 자외선」 이란, 예를 들어, 200 ㎚ 내지 450 ㎚ 의 광을 의미한다.

예를 들어, 조사부 (40) 는, 메탈 할라이드 램프를 사용한다.

또한, 조사부 (40) 는, 이것에 한정되지 않고, 고압 수은 램프, LED 램프 및 저압 수은 램프를 사용해도 된다.

또, 조사부 (40) 는, 이들 램프를 복수 조합해도 된다.

예를 들어, 조사부 (40) 의 하면에는, 파장이 300 ㎚ 보다 낮은 성분을 커트하는 필터가 형성되어도 된다. 이로써, 필터를 개재하여 사출되는 자외선의 파장은 300 ㎚ 이상이 되기 때문에, 자외선의 조사에 의해 기판 (10) 의 과도한 온도 상승을 억제할 수 있다.

집광 부재 (41) 는, 조사부 (40) 로부터 사출되는 자외선을 기판 (10) 상에 집광한다. 기판 (10) 상에 자외선을 집광시킴으로써, 조사부 (40) 로부터 사출되는 자외선이 기판 (10) 의 외부로 확산되는 것을 억제할 수 있기 때문에, 조도를 향상시킬 수 있다.

(챔버)

챔버 (2) 는, 자외선의 조사 처리가 실시되는 기판 (10) 을 수용한다. 챔버 (2) 는, 상면에서 보았을 때 사각형을 이루는 박스상으로 형성된다. 구체적으로, 챔버 (2) 는, 기판 (10) 의 상방을 덮는 사각형 판상의 천판 (天板) (20) 과, 기판 (10) 의 측방을 둘러싸도록 덮는 사각형 프레임상의 둘레벽 (21) 과, 기판 (10) 의 하방을 덮는 저판 (22) 에 의해 형성된다. 둘레벽 (21) 의 -Y 방향측에는, 챔버 (2) 에 대해 기판 (10) 의 반입 및 반출을 하기 위한 기판 반출 입구 (21a) 가 형성된다.

예를 들어, 천판 (20), 둘레벽 (21) 및 저판 (22) 은, 자외선을 차광하는 차광 부재에 의해 형성된다. 이로써, 챔버 (2) 의 내부의 기판 (10) 에 대해 자외선을 조사할 때, 자외선이 챔버 (2) 의 외부로 누출되는 것을 회피할 수 있다.

챔버 (2) 는, 기판 (10) 을 밀폐 공간에서 수용 가능하게 구성된다. 예를 들어, 천판 (20), 둘레벽 (21) 및 저판 (22) 의 각 접속부를 용접 등으로 간극없이 결합함으로써, 챔버 (2) 내의 기밀성을 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 챔버 (2) 에는, 펌프 기구 등의 감압 기구 (도시 생략) 가 형성된다. 이로써, 챔버 (2) 내를 감압시킨 상태로 기판 (10) 을 수용할 수 있다.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 챔버 (2) 내에는, 기판 (10) 을 가열하는 가열 기구 (11) 가 형성된다. 가열 기구 (11) 는, 기판 (10) 과 대략 동일한 평면에서 본 사이즈의 사각형 판상을 갖고, 기판 (10) 을 하방에서 지지하도록 배치된다. 가열 기구 (11) 는, 스테이지 (3) 에 장착된다. 가열 기구 (11) 는, 히터 등 (도시 생략) 을 포함한다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 챔버 (2) 의 천판 (20) 에는, 자외선을 통과 가능한 투광성 부재 (23) 가 형성된다. 투광성 부재 (23) 는, 천판 (20) 의 일부를 구성한다. 투광성 부재 (23) 는, 상면에서 보았을 때 천판 (20) 보다 작은 사각형 판상으로 형성된다. 투광성 부재 (23) 는, 천판 (20) 을 두께 방향으로 개구하는 사각형의 개구부 (20h) 에 장착되어 있다. 본 실시형태에 있어서, 투광성 부재 (23) 는, 소정의 파장역의 자외선을 투과시키는 재료로 구성된다. 투광성 부재 (23) 의 재료로는, 예를 들어, 석영, 내열 유리, 수지 시트, 수지 필름 등을 사용할 수 있다. 본 실시형태에서는, 석영으로 이루어지는 투광성 부재 (23) 를 사용하였다.

투광성 부재 (23) 의 사이즈는, 기판 (10) 보다 큰 사이즈로 설정된다. 이로써, 기판 (10) 에 대해 자외선을 조사할 때, 자외선이 천판 (20) 의 차광부 (투광성 부재 (23) 이외의 부분) 에 의해 차광되는 것을 회피하고, 기판 (10) 의 상면 전체에 균일하게 자외선을 조사하도록 하고 있다.

또한, 개구부 (20h) 의 사이즈는, 기판 (10) 을 출납 가능한 사이즈로 설정되어도 된다. 또, 투광성 부재 (23) 는, 개구부 (20h) 에 자유롭게 착탈할 수 있도록 끼워넣어져도 된다. 이로써, 투광성 부재 (23) 를 개구부 (20h) 에 끼워넣었을 때에는 챔버 (2) 내를 밀폐 공간으로 할 수 있고, 투광성 부재 (23) 를 개구부 (20h) 로부터 탈리했을 때에는 챔버 (2) 내에 기판 (10) 을 출납할 수 있다.

최근, 기판 (10) 의 사이즈의 대형화에 수반하여, 투광성 부재 (23) 의 사이즈도 대형화되고 있다. 투광성 부재 (23) 로서 대형의 것을 사용하면, 그 투광성 부재 (23) 에 생기는 휨량이 커져, 투광성 부재 (23) 가 파손될 우려도 있다.

본 실시형태의 투광성 부재 (23) 는, 복수 (4 장) 의 투광성 기판 (23a) 으로 구성되어 있다. 이로써, 투광성 부재 (23) 로서 1 장의 대형 투광성 기판을 사용하는 경우에 비해, 투광성 부재 (23) 의 비용을 저감시킬 수 있다.

본 실시형태에서는, 유지 부재 (26) 를 개재하여 투광성 부재 (23) 를 천판 (20) 의 개구부 (20h) 에 장착하고 있다. 유지 부재 (26) 는, 챔버 (2) 내의 밀폐 공간을 유지하도록 복수의 투광성 기판 (23a) 을 일체로 유지한다.

도 4 는 유지 부재 (26) 의 주요부 구성을 나타내는 단면도이고, 도 5 는 유지 부재 (26) 의 평면 구성을 나타내는 도면이다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 유지 부재 (26) 는, 투광성 기판 (23a) 을 유지하는 본체부 (26a) 와, 그 본체부 (26a) 에 장착된 1 쌍의 시일 부재 (26b) 를 포함한다. 시일 부재 (26b) 는, 본체부 (26a) 와 투광성 기판 (23a) 사이에 생기는 간극을 없애는 것이다. 이로써, 유지 부재 (26) 는, 투광성 기판 (23a) 끼리의 접합부에 간극을 발생시키지 않고, 이들 투광성 기판 (23a) 을 일체로 유지한다. 따라서, 유지 부재 (26) 에 의해 일체로 유지된 복수의 투광성 기판 (23a) 으로 이루어지는 투광성 부재 (23) 는, 챔버 (2) 내의 내부 공간과 외부 공간을 가르는 천판 (20) 의 일부로서 기능한다.

그런데, 유지 부재 (26) 는, 조사 유닛 (4) 과 기판 (10) 사이에 배치된다. 그 때문에, 유지 부재 (26) 는, 조사 유닛 (4) 으로부터 조사되는 자외선의 일부를 차단한다. 이하, 유지 부재 (26) 에 의해 광이 차단되는 것을 차폐라고 부른다.

본 발명자는 예의 연구한 결과, 유지 부재 (26) 와 투광성 부재 (23) 가 평면적으로 중첩되는 비율을 투광성 부재 (23) 에 있어서의 면적의 10 ％ 이하로 하면, 조사 유닛 (4) 으로부터 조사된 자외선의 유지 부재 (26) 에 의한 차폐량을 저감시킬 수 있다는 지견을 얻었다. 여기서, 유지 부재 (26) 와 투광성 부재 (23) 가 평면적과 중첩되는이란, 천판 (20) 을 상방 (+Z 방향) 으로부터 평면에서 보았을 경우에 있어서의 투광성 부재 (23) 와 유지 부재 (26) 의 중첩 정도를 의미한다.

즉, 유지 부재 (26) 및 투광성 부재 (23) 의 평면적으로 중첩되는 비율이란, 천판 (20) 을 상방 (+Z 방향) 으로부터 평면에서 보았을 경우의 투광성 부재 (23) 의 표면적과, 천판 (20) 을 상방 (+Z 방향) 으로부터 평면에서 보았을 경우의 유지 부재 (26) 의 표면적의 비율을 의미한다.

본 실시형태의 유지 부재 (26) 는, 투광성 부재 (23) 에 대한 평면적인 중첩량을 투광성 부재 (23) 에 있어서의 면적의 10 ％ 이하로 하는 형상으로 이루어진다. 본 실시형태의 유지 부재 (26) 는, 투광성 부재 (23) 의 휨을 방지한 상태로 유지함과 함께, 조사 유닛 (4) 으로부터 조사된 자외선의 차폐량을 억제할 수 있다.

이하, 본 실시형태에 있어서의 유지 부재 (26) 의 구체적인 형상에 대해 설명한다.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 유지 부재 (26) 는, 조사 유닛 (4) 의 주사 방향인 X 방향 (제 1 방향) 으로 연장되는 제 1 부위 (27) 와, X 방향에 교차하는 (직교하는) Y 방향 (제 2 방향) 으로 연장되는 제 2 부위 (28) 를 포함한다. 제 1 부위 (27) 및 제 2 부위 (28) 는 서로 교차하도록 형성되어 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서, 유지 부재 (26) 는 1760 ㎜ × 1560 ㎜ 의 투광성 부재 (23) 를 유지하는 것이다.

제 1 부위 (27) 및 제 2 부위 (28) 의 폭은, 각각 동일해도 되고, 상이해도 된다. 제 1 부위 (27) 의 폭 (H1) 이란, 그 제 1 부위 (27) 의 연장 방향 (X 방향) 과 직교하는 Y 방향에 있어서의 폭이다. 또, 제 2 부위 (28) 의 폭 (H2) 이란, 그 제 2 부위 (28) 의 연장 방향 (Y 방향) 과 직교하는 X 방향에 있어서의 폭이다.

여기서, 유지 부재 (26) 에 의한 자외선의 차폐량을 가능한 한 작게 하기 위해서는, 제 1 부위 (27) 및 제 2 부위 (28) 의 각 폭 (H1, H2) 을 작게 하면 된다.

이하, 유지 부재 (26) (제 1 부위 (27) 및 제 2 부위 (28)) 의 폭 (H1, H2) 과 자외선의 차폐량의 관계에 대해 설명한다. 본 발명자는 후술하는 실험에 의해, 자외선의 차폐량과 유지 부재 (26) 의 폭 사이에 성립하는 관계를 알아내었다.

본 실험에서는, 차광성을 갖는 테이프를 유지 부재로 간주하고, 그 테이프를 붙인 투광성 기판 (유리판) 을 개재하여 자외선을 조사한 기판 상의 소정 위치의 적산 광량을 산출한다. 이 실험에 의해, 투광성 기판을 유지하는 유지 부재에 의한 자외선 조사량에 대한 영향을 구하고, 유지 부재의 폭과 자외선의 차폐량의 관계를 구하였다.

도 6 은 본 실험에 사용한 투광성 기판 (24) 을 나타내는 평면도이다. 도 6 에 나타내는 바와 같이, 본 실험에서는, 차광성을 갖는 테이프 (29) 를 십자상으로 첩부 (貼付) 한 투광성 기판 (24) 을 사용하였다. 그리고, 투광성 기판 (24) 을 개재하여 조사 유닛 (도시 생략) 으로부터 자외선을 조사하여, 기판 상에 있어서의 자외선의 적산 광량을 구한다. 도 6 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (29) 의 십자 부분의 바로 아래에 위치하는 포인트 (M) 의 적산 광량과, 테이프 (29) 의 십자 부분 근방의 바로 아래에 위치하는 포인트 (A, B, C, D) 에 있어서의 적산 광량을 구하였다.

하기 표 1 은, 조사 유닛과 기판을 상대 이동시킨 상태에서의 각 포인트의 적산 광량과 테이프폭의 관계를 나타내는 것이다. 또한, 표 1 에서는, 테이프가 없는 부분 (조사부로부터 조사한 광이 기판 상에 직접 조사되는 부분) 에 위치하는 포인트 (S) 의 적산 광량을 100 으로 했을 경우의 각 포인트 (A, B, C, D, M) 에 있어서의 적산 광량의 값 (상대값) 을 나타낸다.

표 1 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (29) 의 십자 부분의 바로 아래에 위치하는 포인트 (M) 의 적산 광량은, 테이프폭에 비례하여 저하되는 것을 알 수 있다. 이것은 테이프 (29) 의 폭에 따라 차폐량이 증가한 것에 의한 것으로 생각된다.

동일하게, 테이프 (29) 의 십자 부분의 근방에 위치하는 포인트 (A ∼ D) 의 적산 광량은, 테이프폭에 비례하여 저하되는 것을 알 수 있다. 포인트 (A ∼ D) 는, 조사 유닛과 테이프 (29) 의 위치 관계에 의해 자외선의 일부가 차광된다. 그 때문에, 포인트 (A ∼ D) 의 적산 광량은, 포인트 (S) 에 비해 낮아진다.

또, 도 7 에 나타내는 바와 같이 차광성을 갖는 테이프 (30) 를 첩부한 투광성 기판 (24A) 을 복수 종류 준비하였다. 각 투광성 기판 (24A) 은, 테이프 (30) 의 연장 방향과 조사 유닛 (도시 생략) 의 주사 방향이 일치하고 있다. 각 투광성 기판 (24A) 은 5 ㎜ ∼ 40 ㎜ 의 테이프폭을 갖고, 각 투광성 기판 (24A) 의 테이프폭은 각각 5 ㎜ 씩 상이하다.

투광성 기판 (24A) 을 개재하여 조사 유닛 (도시 생략) 으로부터 자외선을 조사하여, 기판 상에 있어서의 자외선의 적산 광량을 구하였다. 도 7 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (30) 의 양단 부분의 바로 아래에 위치하는 각 포인트 (E) 의 적산 광량의 평균값과, 테이프 (30) 근방의 바로 아래에 위치하는 포인트 (B) 에 있어서의 적산 광량과, 테이프 (30) 의 영향을 받지 않는 위치의 바로 아래에 위치하는 포인트 (S) 의 적산 광량을 구하였다. 또, 각 테이프폭에 대응하는 기판 상에 있어서의 조도 불균일 (조도 균일성) 에 대해 판정하였다. 또한, 기판 상에 있어서의 조도 불균일은, 예를 들어, 기판 상에 도포한 레지스트막의 효과 상태를 육안 판단함으로써 실시된다.

하기 표 2 는, 조사 유닛과 기판을 상대 이동시킨 상태에서의 각 포인트의 적산 광량과 테이프폭 (조사 유닛의 주사 방향과 교차하는 방향의 테이프폭) 의 관계를 나타내는 것이다. 또한, 표 2 에서는, 포인트 (S) 의 적산 광량을 100 으로 했을 경우의 각 포인트 (B, D) 의 적산 광량의 값 (상대값) 을 나타낸다. 표 2 에 있어서, 조도 불균일의 영향이 작은 상태를 ○, 조도 불균일의 영향이 큰 상태를 △ 로 나타낸다.

표 2 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (30) 의 양단부의 바로 아래에 위치하는 포인트 (E) 의 적산 광량은, 테이프폭에 비례하여 저하되는 것을 알 수 있다. 이것은 테이프폭에 따라 차폐량이 증가했기 때문이다.

동일하게, 테이프 (30) 의 근방에 위치하는 포인트 (B) 의 적산 광량도 테이프폭에 비례하여 저하되는 것을 알 수 있다. 포인트 (B) 는, 조사 유닛과 테이프 (30) 의 위치 관계에 따라 입사하는 자외선의 일부가 차광된다. 그 때문에, 포인트 (B) 의 적산 광량은 포인트 (S) 에 비해 낮아진다.

또, 표 2 에 나타내는 바와 같이, 테이프폭을 15 ㎜ 이하로 함으로써 조도 불균일을 저감시킬 수 있다. 즉, 투광성 부재를 유지하는 유지 부재 (테이프) 로서 15 ㎜ 이하의 폭을 채용하면, 유지 부재에 의한 자외선의 차광을 억제하면서, 기판 상에 자외선을 균일성이 높은 상태로 조사 가능해진다.

또, 도 8 에 나타내는 바와 같이 차광성을 갖는 테이프 (32) 를 첩부한 투광성 기판 (24B) 을 복수 종류 준비하였다. 각 투광성 기판 (24B) 은, 테이프 (32) 의 연장 방향과 조사 유닛 (도시 생략) 의 주사 방향이 직교 (교차) 하고 있다. 각 투광성 기판 (24B) 은 5 ㎜ ∼ 20 ㎜ 의 테이프폭을 갖고, 각 투광성 기판 (24B) 의 테이프폭은 각각 5 ㎜ 씩 상이하다.

투광성 기판 (24B) 을 개재하여 조사 유닛 (도시 생략) 으로부터 자외선을 조사하여, 기판 상에 있어서의 자외선의 적산 광량을 구하였다. 도 8 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (32) 의 양단 부분의 바로 아래에 위치하는 각 포인트 (F) 의 적산 광량의 평균값과, 테이프 (32) 근방의 바로 아래에 위치하는 포인트 (B) 에 있어서의 적산 광량과, 테이프 (32) 의 영향을 받지 않는 위치의 바로 아래에 위치하는 포인트 (S) 의 적산 광량을 구하였다. 또, 각 테이프폭에 대응하는 기판 상에 있어서의 조도 불균일 (조도 균일성) 에 대해 판정하였다. 또한, 기판 상에 있어서의 조도 불균일은, 예를 들어, 기판 상에 도포한 레지스트막의 효과 상태를 육안 판단함으로써 실시된다.

하기 표 3 은, 조사 유닛과 기판을 상대 이동시킨 상태에서의 각 포인트의 적산 광량과 테이프폭 (조사 유닛의 주사 방향의 테이프폭) 의 관계를 나타내는 것이다. 또한, 표 3 에서는, 포인트 (S) 의 적산 광량을 100 으로 했을 경우의 각 포인트 (B, F) 의 적산 광량의 값 (상대값) 을 나타낸다. 표 3 에 있어서, 조도 불균일의 영향이 작은 상태를 ○, 조도 불균일의 영향이 큰 상태를 △ 로 나타낸다.

표 3 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (32) 의 양단부의 바로 아래에 위치하는 포인트 (F) 의 적산 광량은, 테이프폭에 비례하여 저하되는 것을 알 수 있다. 이것은 테이프폭에 따라 차폐량이 증가했기 때문이다.

동일하게, 테이프 (32) 의 근방에 위치하는 포인트 (B) 의 적산 광량도 테이프폭에 비례하여 저하되는 것을 알 수 있다. 포인트 (B) 는, 조사 유닛과 테이프 (32) 의 위치 관계에 따라 입사하는 자외선의 일부가 차광된다. 그 때문에, 포인트 (B) 의 적산 광량은 포인트 (S) 에 비해 낮아진다.

또, 표 3 에 나타내는 바와 같이, 테이프폭을 15 ㎜ 이하로 함으로써 조도 불균일을 저감시킬 수 있다. 즉, 투광성 부재를 유지하는 유지 부재 (테이프) 로서 15 ㎜ 이하의 폭을 채용하면, 유지 부재에 의한 자외선의 차광을 억제하면서, 기판 상에 자외선을 균일성이 높은 상태로 조사 가능해진다.

이상의 실험 결과에 기초하여, 본 발명자는 유지 부재의 폭을 15 ㎜ 이하로 억제함으로써 기판 상에 자외선을 균일성이 높은 상태로 조사할 수 있다는 지견을 얻었다. 그리고, 이 지견에 기초하여, 본 실시형태의 유지 부재 (26) 를 구성하였다. 즉, 본 실시형태의 유지 부재 (26) 에 있어서, 제 1 부위 (27) 의 폭 (H1) 및 제 2 부위 (28) 의 폭 (H2) 이 15 ㎜ 이하로 설정되어 있다. 구체적으로, 제 1 부위 (27) 의 폭 (H1) 이 15 ㎜, 제 2 부위 (28) 의 폭 (H2) 이 10 ㎜ 로 설정되어 있다.

또한, 본 실험 결과는 조사 유닛과 기판을 상대 이동시켰을 경우의 결과이고, 조사 유닛을 고정시킨 경우에는, 폭 5 ㎜ 이상의 유지 부재가 있으면 조사 불균일이 발생한다.

이런 점에서, 조사 유닛과 기판을 상대 이동시켰을 경우에 효과가 있는 것을 알 수 있다.

이와 같은 구성에 기초하여, 본 실시형태의 유지 부재 (26) 에 의하면, 투광성 부재 (23) 의 휨을 방지한 상태로 유지함과 함께, 조사 유닛 (4) 으로부터 조사된 자외선을 기판 (10) 상에 효율적으로 유도할 수 있다.

(스테이지)

스테이지 (3) 는, 챔버 (2) 및 반송 기구 (5) 를 상면에서 지지한다. 스테이지 (3) 는, Z 방향에 두께를 갖는 판상을 이룬다.

스테이지 (3) 는, 설치대 (31) 에 의해 하방에서 지지된다.

설치대 (31) 는, 복수의 강재 등의 각주를 격자상으로 조합하여 형성된다.

또한, 설치대 (31) 의 하단부에는, 복수의 차륜 (31a) 이 자유롭게 회전할 수 있도록 장착된다. 이로써, 설치대 (31) 를 XY 평면 내에서 자유롭게 이동시킬 수 있다.

(승강 기구)

도 3 에 나타낸 바와 같이, 챔버 (2) 의 하방에는, 기판 (10) 을 Z 방향으로 이동 가능하게 하는 승강 기구 (25) 가 형성된다. 승강 기구 (25) 에는, 복수의 리프트 핀 (25a) 이 형성된다. 복수의 리프트 핀 (25a) 의 선단 (+Z 측의 단) 은, XY 평면에 평행한 동일면 내에 배치된다.

복수의 리프트 핀 (25a) 의 선단은, 스테이지 (3), 저판 (22) 및 가열 기구 (11) 를 삽입 통과 가능해진다.

구체적으로, 스테이지 (3) 에는, 스테이지 (3) 를 두께 방향으로 개구하는 복수의 삽통공 (3a) 이 형성된다. 저판 (22) 에는, 각 삽통공 (3a) 에 평면에서 보았을 때 중첩되는 위치에서 저판 (22) 을 두께 방향으로 개구하는 복수의 삽통공 (22a) 이 형성된다. 가열 기구 (11) 에는, 각 삽통공 (22a) 에 평면에서 보았을 때 중첩되는 위치에서 가열 기구 (11) 를 두께 방향으로 개구하는 복수의 삽통공 (11a) 이 형성된다. 복수의 리프트 핀 (25a) 의 선단은, 각 삽통공 (3a, 22a, 11a) 을 개재하여 기판 (10) 의 하면에 맞닿음 및 이반 (離反) 가능해진다. 그 때문에, 복수의 리프트 핀 (25a) 의 선단에 의해, 기판 (10) 이 XY 평면에 평행하게 지지되도록 되어 있다.

승강 기구 (25) 는, 챔버 (2) 내에 수용되는 기판 (10) 을 지지하면서 챔버 (2) 내의 Z 방향으로 이동하게 되어 있다. 도 3 에 있어서는, 복수의 리프트 핀 (25a) 의 선단이 각 삽통공 (3a, 22a, 11a) 을 통해서 기판 (10) 의 하면에 맞닿음과 함께 상승함으로써, 기판 (10) 을 가열 기구 (11) 로부터 이반한 상태를 나타내고 있다.

또한, 승강 기구 (25) 에 있어서, 복수의 리프트 핀 (25a) 을 승강시키는 구동원 (25b) 은, 챔버 (2) 의 외부에 배치된다. 그 때문에, 만일 구동원 (25b) 의 구동에 수반하여 파티클이 발생했다고 해도, 챔버 (2) 를 밀폐 공간으로 함으로써, 챔버 (2) 내에의 파티클의 침입을 회피할 수 있다.

(반송 기구)

도 1 및 도 2 에 나타낸 바와 같이, 반송 기구 (5) 는, 챔버 (2) 의 외부에 형성된다. 반송 기구 (5) 는, 챔버 (2) 의 외부로부터 챔버 (2) 의 내부에 수용되어 있는 기판 (10) 에 자외선이 조사되도록 조사 유닛 (4) 을 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킨다. 반송 기구 (5) 는, 가이드부 (50), 토대 (53) 및 문형 프레임 (54) 을 구비한다. 반송 기구 (5) 는, 조사부 (40) 와, 배기부 (6) 의 배관 (60) 을 동기시켜 이동 가능하게 구성되어 있다.

가이드부 (50) 는, 1 쌍의 레일 (51) 과, 슬라이더 (52) 를 구비한다. 예를 들어, 가이드부 (50) 는, 리니어 모터 액추에이터를 사용한다. 가이드부 (50) 는, 조사부 (40) 와, 배기부 (6) 의 배관 (60) 을 동기시켜 이동 가능하게 하는 공통의 구동원이다. 가이드부 (50) 는, 청구항에 기재된 「구동원」 에 상당한다.

1 쌍의 레일 (51) 은, 챔버 (2) 를 -Y 방향측 및 +Y 방향측으로부터 끼우도록 조사 유닛 (4) 의 이동 방향 (조사부 (40) 의 이동 방향) 인 X 방향으로 연장된다.

슬라이더 (52) 는, 1 쌍의 레일 (51) 을 따라 슬라이딩 가능하게 구성된다.

토대 (53) 는, 스테이지 (3) 의 4 귀퉁이에 복수 (예를 들어 본 실시형태에서는 4 귀퉁이에 1 개씩 합계 4 개) 형성된다. 각 토대 (53) 는, 1 쌍의 레일 (51) 에 있어서의 X 방향 양단부를 지지한다.

문형 프레임 (54) 은, 챔버 (2) 를 Y 방향에 걸치도록 문형으로 형성됨과 함께, 1 쌍의 레일 (51) 을 따라 이동 가능하게 된다. 문형 프레임 (54) 은, Z 방향으로 연장되는 1 쌍의 문기둥부 (54a) 와, 1 쌍의 문기둥부 (54a) 사이를 연결하도록 Y 방향으로 연장되는 연결부 (54b) 를 구비한다. 문형 프레임 (54) 에 있어서의 각 문기둥부 (54a) 의 하단부에는 슬라이더 (52) 가 장착된다.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 문형 프레임 (54) 에 있어서의 연결부 (54b) 의 내부에는, 조사 유닛 (4) 을 유지하는 유지부 (54c) 가 형성된다. 유지부 (54c) 는, 문형 프레임 (54) 에 있어서의 Y 방향 중간부의 하면으로부터 상방으로 패인 오목부를 형성한다. 조사 유닛 (4) 중 조사면 (4a) (하면) 을 제외한 부분은, 유지부 (54c) 의 오목부에 둘러싸이고, 문형 프레임 (54) 의 벽부에 의해 덮인다. 예를 들어, 문형 프레임 (54) 은, 자외선을 차광하는 차광 부재에 의해 형성된다. 이로써, 조사 유닛 (4) 으로부터 자외선을 조사할 때, 자외선이 문형 프레임 (54) 의 측방으로 확산되는 것을 회피할 수 있어, 자외선을 하방 (챔버 (2) 내의 기판 (10)) 을 향하여 조사할 수 있다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, X 방향에 있어서, 각 레일 (51) 의 길이 (L1) 는, 챔버 (2) 의 길이 (L2) 보다 길다 (L1 ＞ L2). 본 실시형태에서는, X 방향에 있어서, 각 레일 (51) 의 길이 (L1) 는, 챔버 (2) 의 길이 (L2) 와, 문형 프레임 (54) 2 개분의 길이 (2 × L3) 를 모두 더한 길이 (L2 + 2 × L3) 보다 길게 한다. 이로써, 상면에서 보았을 때, 챔버 (2) 의 -X 방향단을 초과하는 영역으로부터 챔버 (2) 의 +X 방향단을 초과하는 영역까지 조사 유닛 (4) 을 이동시킬 수 있다.

(가스 공급부)

챔버 (2) 에는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 상태를 조정 가능한 가스 공급부 (7) 가 형성된다. 가스 공급부 (7) 는, 건조 가스로서, 공기 또는 질소 (N₂), 헬륨 (He), 아르곤 (Ar), 산소 (O₂) 등의 불활성 가스를 공급한다.

가스 공급부 (7) 에 의해, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 노점 (露点) 을 조정할 수 있고, 챔버 (2) 내의 수분 농도를 조정할 수 있다.

예를 들어, 가스 공급부 (7) 는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 노점을 -80 ℃ (수분 농도 0.54 ppm 질량 기준) 이상 또한 -5 ℃ (수분 농도 4000 ppm 질량 기준) 이하로 하도록 건조 가스의 공급을 조정한다.

예를 들어, 레지스트막의 노광 후의 프리패턴을 경화시킬 때의 분위기에 있어서, 이와 같이 노점을 바람직한 상한 이하로 함으로써, 패턴의 경화를 진행시키기 쉽게 할 수 있다. 한편, 바람직한 하한 이상으로 함으로써, 장치를 운용하는 데에 있어서의 작업성 등을 향상시킬 수 있다.

또, 가스 공급부 (7) 에 의해, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도를 조정할 수도 있다. 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도 (질량 기준) 는 낮을수록 바람직하다. 구체적으로는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도를, 1000 ppm 이하로 하는 것이 바람직하고, 500 ppm 이하로 하는 것이 보다 바람직하다.

예를 들어, 레지스트막의 노광 후의 프리패턴을 경화시킬 때의 분위기에 있어서, 이와 같이 산소 농도를 바람직한 상한 이하로 함으로써, 패턴의 경화를 진행시키기 쉽게 할 수 있다.

(배기부)

도 9 는, 실시형태에 관련된 배기부 (6) 의 사시도이다. 도 10 은, 실시형태에 관련된 배기부 (6) 의 상면도이다. 도 11 은, 도 10 의 VI-VI 단면을 포함하는 실시형태에 관련된 배기부 (6) 의 측면도이다. 도 12 는, 도 10 의 VII-VII 단면도이다. 도 13 은, 도 11 의 VIII-VIII 단면도이다. 또한, 도 10 및 도 13 에 있어서는, 편의상, 시트 (70) 의 도시를 생략하고 있다.

도 1 에 나타낸 바와 같이, 배기부 (6) 는, 챔버 (2) 의 외부에 형성된다. 배기부 (6) 는, 스테이지 (3) 의 +Y 방향측에 배치되어 있다. 배기부 (6) 는, 조사 유닛 (4) (조사부 (40)) 의 열을 배출 가능한 배관 (60) 과, 배관 (60) 을 이동 가능하게 접속하는 배기 박스 (61) 를 구비한다.

도시하지는 않지만, 챔버 (2) 의 외부에는, 조사 유닛 (4) 을 냉각 가능한 냉각부가 형성된다. 예를 들어, 냉각부는, 문형 프레임 (54) 의 측벽부 (문기둥부 (54a)) 에 장착된다. 예를 들어, 냉각부는 블로워를 사용한다. 이로써, 배기부 (6) (구체적으로는, 배관 (60) 및 배기 박스 (61)) 를 개재하여, 조사 유닛 (4) 에 의해 발생한 열기를 외부에 배기할 수 있다.

(배관)

도 1 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 배관 (60) 은, 문형 프레임 (54) 의 +Y 방향측의 측벽부 (문기둥부 (54a)) 와 후술하는 가동부 (65) 사이를 걸치도록 연장되는 통상의 부재이다. 배관 (60) 은 L 자상으로 굴곡되어 있다. 배관 (60) 의 일단부 (60a) (-Y 방향측의 단부) 는, 문형 프레임 (54) 의 +Y 방향측의 측벽부 (문기둥부 (54a)) 에 고정되어 있다. 배관 (60) 의 타단부 (60b) (-Z 방향측의 단부) 는, 후술하는 가동부 (65) 에 고정되어 있다. 이로써, 배관 (60) 은, 조사부 (40) 와 함께 챔버 (2) 의 외부에서 X 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

또한, 배관 (60) 의 일단부 (60a) 는, 문형 프레임 (54) 의 +Y 방향측의 측벽부에 착탈 가능하게 접속되어 있다. 이로써, 배관 (60) 의 일단부 (60a) 의 메인터넌스성을 향상시킬 수 있다.

(배기 박스)

도 2 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 배기 박스 (61) 는, 조사 유닛 (4) 의 이동 방향 (조사부 (40) 의 이동 방향) 인 X 방향으로 연장되어 있다. 배기 박스 (61) 는, 배관 (60) 으로부터의 열을 외부에 배출 가능한 배기구 (63h) 를 갖는다. X 방향에 있어서, 배기 박스 (61) 의 길이 (L4) 는, 각 레일 (51) 의 길이 (L1) 와 실질적으로 동일한 길이이다 (L4 ≒ L1).

도 10 ∼ 도 12 에 나타내는 바와 같이, 배기 박스 (61) 는, 제 1 저벽 (61a), 제 2 저벽 (61b), 1 쌍의 측벽 (61c), 1 쌍의 가이드벽 (61d), 제 1 격벽 (61e) 및 제 2 격벽 (61f) 을 구비한다.

제 1 저벽 (61a) 은, Z 방향에 두께를 가짐과 함께 X 방향으로 연장된다.

제 2 저벽 (61b) 은, 제 1 저벽 (61a) 보다 -Z 방향측에 배치됨과 함께, 제 1 저벽 (61a) 과 실질적으로 동일한 형상을 갖는다.

1 쌍의 측벽 (61c) 은, Y 방향에 두께를 가짐과 함께 X 방향으로 연장되고, 또한 제 2 저벽 (61b) 의 Y 방향 양단부로부터 +Z 방향으로 기립하여 제 1 저벽 (61a) 과 제 2 저벽 (61b) 의 Y 방향 단부 사이를 연결한 후에 다시 +Z 방향으로 연장된다.

1 쌍의 가이드벽 (61d) 은, Z 방향에 두께를 가짐과 함께 X 방향으로 연장되고, 또한 1 쌍의 측벽 (61c) 의 상단부의 Y 방향간의 내측으로 돌출된다.

제 1 격벽 (61e) 은, X 방향에 두께를 가짐과 함께, 제 1 저벽 (61a) 및 1 쌍의 측벽 (61c) 의 +X 방향측의 단부 사이를 걸치도록 배치된다. 즉, 제 1 격벽 (61e) 은, 배기 박스 (61) 의 내부 공간 (61s) 을 +X 방향측에서 폐색한다.

제 2 격벽 (61f) 은, X 방향에 있어서 배기 박스 (61) 의 길이 (L4) (도 2 참조) 정도의 간격을 두고 제 1 격벽 (61e) 과 대향한다. 제 2 격벽 (61f) 은, 제 1 격벽 (61e) 과 실질적으로 동일한 형상을 갖고, 또한 제 1 저벽 (61a) 및 1 쌍의 측벽 (61c) 의 -X 방향측의 단부 사이를 걸치도록 배치된다. 즉, 제 2 격벽 (61f) 은, 배기 박스 (61) 의 내부 공간 (61s) 을 -X 방향측에서 폐색한다.

또한, 배기 박스 (61) 의 내부 공간 (61s) 은, 제 1 저벽 (61a), 1 쌍의 측벽 (61c), 제 1 격벽 (61e), 제 2 격벽 (61f) 및 후술하는 안내판 (64) 에 의해 둘러싸이는 공간이다.

도 11 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 제 1 저벽 (61a) 과 제 2 저벽 (61b) 사이에는, 시트 (70) 가 X 방향으로 이동 가능한 저벽측 공간 (61t) 이 형성되어 있다. 저벽측 공간 (61t) 의 Z 방향의 간격은, 시트 (70) 의 두께보다 크다. 즉, 저벽측 공간 (61t) 의 Z 방향의 간격은, 시트 (70) 가 제 1 저벽 (61a) 과 제 2 저벽 (61b) 사이를 순조롭게 이동 가능한 크기로 설정되어 있다.

도 10 및 도 11 에 나타내는 바와 같이, 1 쌍의 가이드벽 (61d) 은, 배관 (60) 을 지지하는 가동부 (65) 를 슬라이드 가능하게 지지하고 있다. 1 쌍의 가이드벽 (61d) 의 Y 방향간의 간격은, 후술하는 안내판 (64) 에 형성된 통과공 (64h) 의 형성 영역의 Y 방향의 길이보다 크다.

1 쌍의 측벽 (61c) 중 +Y 방향측의 벽부에는, 배기구 (63h) 를 형성하는 원통상의 배기관 (63) 이 고정되어 있다. 배기관 (63) 은, 배기 박스 (61) 의 내부 공간 (61s) 에 연통되어 있다.

도 9 에 나타내는 바와 같이, 배기 박스 (61) 의 하부에는, 케이블 지지 부재 (62) 가 형성되어 있다. 예를 들어, 케이블 지지 부재 (62) 는, 케이블 베어 (등록상표) 이다. 케이블 지지 부재 (62) 에는, 도시 생략된 전원선 등의 케이블이 둘러쳐져 있다. 이로써, 케이블을 굴곡시킨 상태에서, 배기부 (6) 를 구동시킬 수 있다.

(시트)

도 9 및 도 11 에 나타내는 바와 같이, 배기부 (6) 는, 배기 박스 (61) 의 내부 공간 (61s) 을 덮는 시트 (70) 를 추가로 구비한다. 시트 (70) 는, 조사 유닛 (4) 의 이동 방향 (조사부 (40) 의 이동 방향) 인 X 방향을 따르도록 연장되어 있다. 시트 (70) 는, 배관 (60) 의 이동에 따라 이동 가능하게 구성되어 있다.

구체적으로, 시트 (70) 는, 조사 유닛 (4) 의 이동 방향 (조사부 (40) 의 이동 방향) 인 X 방향을 따르도록, 배관 (60) 과 배기 박스 (61) 의 접속부인 가동부 (65) 로부터 일방측 (-X 방향측) 과 타방측 (+X 방향측) 으로 연장됨과 함께, 환상으로 연결되도록 동일한 부재에 의해 일체로 형성되어 있다. 시트 (70) 는, 내부 공간 (61s) 을 둘러싸도록 배기 박스 (61) 의 외주를 따르도록 배치되어 있다. 예를 들어, 시트 (70) 는 수지 시트이다.

도 10 및 도 11 에 나타내는 바와 같이, 배기부 (6) 는, 시트 (70) 를 걸어 감는 복수 (예를 들어 본 실시형태에서는 6 개) 의 롤러 (구체적으로는, 제 1 롤러 (71), 제 2 롤러 (72), 제 3 롤러 (73), 제 4 롤러 (74), 제 5 롤러 (75) 및 제 6 롤러 (76)) 를 구비한다. 시트 (70) 는, 배기 박스 (61) 의 +X 방향측에 있어서 2 개의 롤러 (구체적으로는, 제 1 롤러 (71) 및 제 2 롤러 (72)) 에 걸어 감겨져 있다. 시트 (70) 는, 배기 박스 (61) 의 -X 방향측에 있어서 4 개의 롤러 (구체적으로는, 제 3 롤러 (73), 제 4 롤러 (74), 제 5 롤러 (75) 및 제 6 롤러 (76)) 에 걸어 감겨져 있다.

배기부 (6) 는, 제 1 커버 (77) 및 제 2 커버 (78) 를 추가로 구비한다.

제 1 커버 (77) 는, 제 1 롤러 (71) 및 제 2 롤러 (72) 를 덮음과 함께, 제 1 롤러 (71) 및 제 2 롤러 (72) 를 자유롭게 회동 (回動) 할 수 있도록 지지한다. 제 1 커버 (77) 는, -X 방향측으로 개구되는 박스상을 이룸과 함께, 배기 박스 (61) 의 각 벽 (구체적으로는, 제 2 저벽 (61b), 1 쌍의 측벽 (61c) 및 1 쌍의 가이드벽 (61d)) 의 +X 방향측의 단부에 착탈 가능하게 장착되어 있다. 이로써, 제 1 커버 (77) 의 내부 (예를 들어, 제 1 롤러 (71) 및 제 2 롤러 (72)) 의 메인터넌스성을 향상시킬 수 있다.

제 2 커버 (78) 는, 제 3 롤러 (73), 제 4 롤러 (74), 제 5 롤러 (75) 및 제 6 롤러 (76) 를 덮음과 함께, 제 3 롤러 (73), 제 4 롤러 (74), 제 5 롤러 (75) 및 제 6 롤러 (76) 를 자유롭게 회동할 수 있도록 지지한다. 제 2 커버 (78) 는, +X 방향측으로 개구되는 박스상을 이룸과 함께, 배기 박스 (61) 의 각 벽 (구체적으로는, 제 2 저벽 (61b), 1 쌍의 측벽 (61c) 및 1 쌍의 가이드벽 (61d)) 의 -X 방향측의 단부에 착탈 가능하게 장착되어 있다. 이로써, 제 2 커버 (78) 의 내부 (예를 들어, 제 3 롤러 (73), 제 4 롤러 (74), 제 5 롤러 (75) 및 제 6 롤러 (76)) 의 메인터넌스성을 향상시킬 수 있다.

(텐셔너)

배기부 (6) 는, 시트 (70) 의 텐션을 조정 가능한 텐셔너 (79) 를 추가로 구비한다. 텐셔너 (79) 는, 제 2 커버 (78) 의 Y 방향 양측부에 배치되어 있다. 텐셔너 (79) 는, X 방향으로 간격을 두고 나열되는 제 4 롤러 (74) 및 제 6 롤러 (76) 에 대해, 제 4 롤러 (74) 와 제 6 롤러 (76) 사이에 위치하는 제 5 롤러 (75) 를 근접 및 이반 가능하게 한다. 예를 들어, 제 4 롤러 (74) 및 제 6 롤러 (76) 에 대해 제 5 롤러 (75) 를 근접시킨 경우에는, 시트 (70) 의 텐션을 약하게 할 수 있다. 한편, 제 4 롤러 (74) 및 제 6 롤러 (76) 에 대해 제 5 롤러 (75) 를 이반시킨 경우에는, 시트 (70) 의 텐션을 강하게 할 수 있다.

(가동부)

도 10 및 도 11 에 나타내는 바와 같이, 가동부 (65) 는, 베이스부 (65a), 본체부 (65b), 접속부 (65c) 및 1 쌍의 가이드편 (65d) 을 구비한다.

도 11 에 나타내는 바와 같이, 베이스부 (65a) 는, 후술하는 안내판 (64) 과, 가이드벽 (61d) 사이에 배치된다. 베이스부 (65a) 는, Z 방향에 두께를 가짐과 함께, 상면에서 보았을 때 사각형 프레임상을 이룬다. 즉, 베이스부 (65a) 에는, 배관 (60) 으로부터의 열이 통과 가능한 관통공 (65h) 이 Z 방향으로 개구되어 형성되어 있다. 관통공 (65h) 은, 안내판 (64) 의 통과공 (64h) 을 통해서 배기 박스 (61) 의 내부 공간 (61s) 에 연통되어 있다.

본체부 (65b) 는, 베이스부 (65a) 에 있어서의 관통공 (65h) 의 주변부에 접속된다. 본체부 (65b) 는, 도 11 을 단면에서 보았을 때, +Z 방향측일수록 개구 면적이 작아지도록 Z 방향으로 연장되는 통상을 이룬다.

접속부 (65c) 는, 본체부 (65b) 에서 +Z 방향으로 연장되는 원통상을 이룬다. 접속부 (65c) 에는, 배관 (60) 의 타단부 (60b) (도 9 참조) 가 착탈 가능하게 접속된다. 이로써, 배관 (60) 의 타단부 (60b) 및 접속부 (65c) 의 메인터넌스성을 향상시킬 수 있다.

1 쌍의 가이드편 (65d) 은, 본체부 (65b) 로부터 Y 방향 양측으로 연장됨과 함께, 가이드벽 (61d) 을 따르도록 X 방향으로 연장된다. 1 쌍의 가이드편 (65d) 은, 베이스부 (65a) 의 Y 방향 양단부 사이에서, 가이드벽 (61d) 을 사이에 끼우도록 배치된다.

베이스부 (65a) 의 +X 방향측의 단부에는, 시트 (70) 의 일단부 (70a) 를 착탈 가능하게 걸리게 하는 제 1 걸림부 (66) 가 형성된다. 베이스부 (65a) 의 -X 방향측의 단부에는, 시트 (70) 의 타단부 (70b) 를 착탈 가능하게 걸리게 하는 제 2 걸림부 (67) 가 형성된다.

이하, 시트 (70) 의 배치 방법의 일례를 설명한다. 먼저, 시트 (70) 의 일단부 (70a) 를, 제 1 걸림부 (66) 를 개재하여 베이스부 (65a) 의 +X 방향측의 단부에 걸리게 한다. 그 후, 시트 (70) 를 제 1 롤러 (71) 및 제 2 롤러 (72) 에 걸어 두른다. 그 후, 시트 (70) 를, 타단부 (70b) 의 측으로부터 저벽측 공간 (61t) 에 통과시킨 후, 제 3 롤러 (73), 제 4 롤러 (74), 제 5 롤러 (75) 및 제 6 롤러 (76) 에 걸어 두른다. 그 후, 시트 (70) 의 타단부 (70b) 를, 제 2 걸림부 (67) 를 개재하여 베이스부 (65a) 의 -X 방향의 단부에 걸리게 한다. 그리고, 시트 (70) 의 텐션을 텐셔너 (79) 에 의해 조정한다. 이와 같이 하여, 시트 (70) 는, 가동부 (65) 를 개재하여 환상으로 연결됨과 함께, 내부 공간 (61s) 을 둘러싸도록 배치된다.

(안내판)

도 11 에 나타내는 바와 같이, 배기부 (6) 는, 시트 (70) 를 안내하는 안내판 (64) 을 추가로 구비한다. 안내판 (64) 은, Z 방향에 두께를 가짐과 함께, 조사 유닛 (4) 의 이동 방향 (조사부 (40) 의 이동 방향) 인 X 방향으로 연장된다. 안내판 (64) 에는, 배관 (60) 으로부터의 열이 통과 가능한 통과공 (64h) 이 형성되어 있다.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 상면에서 보았을 때, 통과공 (64h) 은 원형을 이루고 있다. 통과공 (64h) 은, 조사 유닛 (4) 의 이동 방향 (조사부 (40) 의 이동 방향) 인 X 방향과 Y 방향에, 안내판 (64) 에 규칙적으로 복수 배치되어 있다. 예를 들어, 안내판 (64) 은 펀칭 메탈이다.

도 11 및 도 13 에 나타내는 바와 같이, 안내판 (64) 중 배관 (60) 과 배기 박스 (61) 의 접속부 (즉 가동부 (65)) 에 있어서의 통과공 (64h) 의 개구 면적 (S2) 은, 배기구 (63h) 의 면적 (S1) 이상이다. 여기서, 통과공 (64h) 의 개구 면적 (S2) 이란, 안내판 (64) 전체에 형성되어 있는 통과공 (64h) 중, 상면에서 보았을 때 관통공 (65h) 으로부터 노출되어 있는 통과공 (64h) 만의 개구 면적을 의미한다. 배기구 (63h) 의 면적 (S1) 이란, 배기관 (63) 의 개구 면적을 의미한다.

또한, 도 13 에 있어서는, 편의상, 1 쌍의 가이드편 (65d) 등의 도시를 생략하고 있다.

(유량 조정부)

도 9 에 나타내는 바와 같이, 배기부 (6) 는, 조사부 (40) (도 1 참조) 의 온도에 기초하여, 배관 (60) 의 적어도 일부를 통과하는 기체의 유량을 조정 가능한 유량 조정부 (68) 를 추가로 구비한다. 유량 조정부 (68) 는, 배관 (60) 에 형성되어 있다. 예를 들어, 유량 조정부 (68) 는 유량 조정 밸브이다.

(자외선 조사 방법)

다음으로, 본 실시형태에 관련된 자외선 조사 방법을 설명한다. 본 실시형태에서는, 상기의 자외선 조사 장치 (1) 를 사용하여 기판 (10) 에 자외선을 조사한다. 자외선 조사 장치 (1) 의 각 부에서 실시되는 동작은, 제어부 (8) 에 의해 제어된다.

본 실시형태에 관련된 자외선 조사 방법은, 수용 스텝, 조사 스텝을 포함한다.

수용 스텝에 있어서, 챔버 (2) 는, 기판 (10) 을 밀폐 공간에서 수용한다. 예를 들어, 기판 반출 입구 (21a) 를 개재하여 챔버 (2) 내에 기판 (10) 을 반송한 후, 기판 반출 입구 (21a) 를 폐색하여 챔버 (2) 를 밀폐한다.

조사 스텝에 있어서, 조사 유닛 (4) 은, 기판 (10) 에 자외선을 조사한다.

조사 스텝에 있어서, 반송 기구 (5) 는, 챔버 (2) 의 외부로부터 챔버 (2) 의 내부에 수용되어 있는 기판 (10) 에 자외선이 조사되도록 조사 유닛 (4) 을 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킨다. 이하, 조사 스텝 내에 있어서, 조사 유닛 (4) 과 기판 (10) 을 상대 이동시키는 스텝을 이동 스텝이라고 부르기로 한다.

이동 스텝에 있어서, 조사 유닛 (4) 및 배관 (60) 을 동기시켜 이동시킨다. 이동 스텝에 있어서, 투광성 부재 (23) 를 개재하여 챔버 (2) 의 내부의 기판 (10) 에 자외선이 조사되도록 조사 유닛 (4) 을 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킨다. 상기 서술한 바와 같이, 투광성 부재 (23) 는, 유지 부재 (26) 에 의해 챔버 (2) 에 유지되어 있다. 본 실시형태의 자외선 조사 장치 (1) 에 있어서, 유지 부재 (26) 와 투광성 부재 (23) 가 평면적으로 중첩되는 비율은, 투광성 부재 (23) 에 있어서의 면적의 10 ％ 이하로 되어 있다. 그 때문에, 유지 부재 (26) 는, 투광성 부재 (23) 의 휨을 방지한 상태로 유지함과 함께, 조사 유닛 (4) 으로부터 조사된 자외선의 차폐량을 억제한다.

또, 상기 서술한 바와 같이, 문형 프레임 (54) 의 +Y 방향측의 측벽부에는 배관 (60) 이 장착되어 있기 때문에, 이동 스텝에 있어서, 조사 유닛 (4) 과 함께 배관 (60) 을 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킨다.

이동 스텝에 있어서, 1 쌍의 레일 (51) 의 -X 방향단 (일단) 과 +X 방향단 (타단) 사이에서 조사 유닛 (4) 을 왕복 이동시킨다. 예를 들어, 도 3 을 상면에서 보았을 때, 챔버 (2) 의 -X 방향단을 초과하는 영역으로부터 챔버 (2) 의 +X 방향단을 초과하는 영역까지 조사 유닛 (4) 을 왕복 이동시킨다.

본 실시형태에 관련된 자외선 조사 방법은, 유량 조정 스텝을 추가로 포함한다.

유량 조정 스텝에 있어서, 유량 조정부 (68) 는, 조사부 (40) 의 온도에 기초하여, 배관 (60) 의 적어도 일부를 통과하는 기체의 유량을 조정한다.

또한, 본 실시형태에 관련된 자외선 조사 방법은, 가스 공급 스텝을 추가로 포함한다.

가스 공급 스텝에 있어서, 가스 공급부 (7) 는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 노점을 조정한다. 또, 가스 공급 스텝에 있어서, 가스 공급부 (7) 는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도를 조정한다.

이상과 같이, 본 실시형태의 자외선 조사 방법에 의하면, 챔버 (2) 의 상방에 배치되는 투광성 부재 (23) 의 휨을 방지함과 함께, 챔버 (2) 내의 기판 (10) 에 대해 자외선을 양호하게 조사할 수 있다.

또, 본 실시형태에 의하면, 조사부 및 배관 (60) 을 동기시켜 이동할 수 있기 때문에, 배관 (60) 이 조사부 (40) 의 이동에 추종하도록 인장되는 일은 없다.

즉, 조사부 (40) 를 이동시켰을 경우에도, 배관 (60) 에 과도한 부하가 가해지는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 배관 (60) 의 수명을 향상시킬 수 있다.

또, 배기부 (6) 가, 배관 (60) 을 이동 가능하게 접속함과 함께 조사부 (40) 의 이동 방향을 따르도록 연장되고, 또한 배관 (60) 으로부터의 열을 배출 가능한 배기구 (63h) 를 갖는 배기 박스 (61) 를 추가로 포함함으로써, 조사부 (40) 의 이동 방향을 따르도록 연장되는 배기 박스 (61) 의 길이 방향을 따라 배관 (60) 을 이동시키면서, 배관 (60) 으로부터의 열을 배기구 (63h) 로부터 배출할 수 있다. 따라서, 배관 (60) 의 이동을 안정적으로 실시함과 함께, 배관 (60) 으로부터 배기구 (63h) 까지의 열의 배기 경로를 확보할 수 있다.

또, 배기부 (6) 가, 조사부 (40) 의 이동 방향을 따르도록 연장됨과 함께 배기 박스 (61) 의 내부 공간 (61s) 을 덮고, 또한 배관 (60) 의 이동에 따라 이동 가능한 시트 (70) 를 추가로 포함함으로써, 배기 박스 (61) 의 내부 공간 (61s) 이 배관 (60) 의 이동에 따라 이동하는 시트 (70) 에 의해 덮이기 때문에, 배관 (60) 으로부터의 열이 외부로 누출되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 시트 (70) 를 사용한 간단한 구성으로, 배관 (60) 으로부터의 열의 배출 효율을 유지할 수 있다.

또, 시트 (70) 가 조사부 (40) 의 이동 방향을 따르도록, 배관 (60) 과 배기 박스 (61) 의 접속부인 가동부 (65) 로부터 일방측과 타방측으로 연장됨과 함께, 환상으로 연결되도록 동일한 부재에 의해 일체로 형성되어 있음으로써, 환상으로 형성된 시트 (70) 를 그 둘레 방향으로 회동시킬 수 있다. 그 때문에, 시트 (70) 가 가동부 (65) 로부터 일방측과 타방측으로 직선상으로 연장되도록 형성된 경우와 비교하여, 배관 (60) 의 이동에 따라 이동하는 시트 (70) 의 이동 궤적을 작게 할 수 있다. 따라서, 장치를 소형화할 수 있다.

또, 시트 (70) 가 내부 공간 (61s) 을 둘러싸도록 배기 박스 (61) 의 외주를 따르도록 배치되어 있음으로써, 배관 (60) 의 이동에 따라 이동하는 시트 (70) 의 이동 궤적을 가급적 작게 할 수 있기 때문에, 장치를 효과적으로 소형화할 수 있다.

또, 시트 (70) 가 수지제임으로써, 이하의 효과를 발휘한다. 시트 (70) 가 금속제인 경우와 비교하여, 경량화할 수 있기 때문에, 배관 (60) 의 이동에 따라 시트 (70) 를 순조롭게 이동시킬 수 있다. 또, 내산화성을 발휘할 수 있기 때문에, 부품 열화를 억제할 수 있어, 시트 (70) 의 수명을 향상시킬 수 있다.

또, 배기부 (6) 가, 시트 (70) 의 텐션을 조정 가능한 텐셔너 (79) 를 추가로 포함함으로써, 시트 (70) 가 배관 (60) 의 이동에 따라 이동할 때, 시트 (70) 가 과도하게 인장되거나 과도하게 휘거나 하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 배관 (60) 의 이동을 보다 한층 안정적으로 실시할 수 있다.

또, 배기부 (6) 가, 조사부 (40) 의 이동 방향을 따르도록 연장됨과 함께 시트 (70) 를 안내하고, 또한 배관 (60) 으로부터의 열이 통과 가능한 통과공 (64h) 이 형성된 안내판 (64) 을 추가로 포함함으로써, 시트 (70) 가 배관 (60) 의 이동에 따라 이동할 때 시트 (70) 를 안내하면서, 안내판 (64) 의 통과공 (64h) 을 통해서 배관 (60) 으로부터의 열을 배기구 (63h) 로부터 배출할 수 있다. 따라서, 배관 (60) 의 이동을 보다 한층 안정적으로 실시함과 함께, 배관 (60) 으로부터 배기구 (63h) 까지의 열의 배기 경로를 확보할 수 있다.

또, 안내판 (64) 중 배관 (60) 과 배기 박스 (61) 의 접속부인 가동부 (65) 에 있어서의 통과공 (64h) 의 개구 면적 (S2) 이 배기구 (63h) 의 면적 (S1) 이상임으로써, 배관 (60) 으로부터의 열 (배기) 이 통과공 (64h) 을 통과하기 전후에서 배기의 유량을 일정하게 유지할 수 있기 때문에, 조사부 (40) 의 온도를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 조사부 (40) 로부터 조사되는 자외선의 조도 분포를 균일화할 수 있다.

또, 통과공 (64h) 이, 조사부 (40) 의 이동 방향을 따르도록 안내판 (64) 에 규칙적으로 복수 배치되어 있음으로써, 조사부 (40) 및 배관 (60) 을 동기시켜 이동시키고 있는 동안, 배관 (60) 과 배기 박스 (61) 의 접속부인 가동부 (65) 에 있어서의 통과공 (64h) 의 개구 면적 (S2) 을 항상 일정하게 유지할 수 있다. 이로써, 조사부 (40) 및 배관 (60) 을 동기시켜 이동시키고 있는 동안, 배기의 유량을 일정하게 유지할 수 있기 때문에, 조사부 (40) 의 온도를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 조사부 (40) 로부터 조사되는 자외선의 조도 분포를 항상 균일화할 수 있다.

또, 배기부 (6) 가, 조사부 (40) 의 온도에 기초하여, 배관 (60) 의 적어도 일부를 통과하는 기체의 유량을 조정 가능한 유량 조정부 (68) 를 추가로 포함함으로써, 조사부 (40) 의 온도에 적합하도록 배기의 유량을 조정할 수 있기 때문에, 조사부 (40) 로부터 조사되는 자외선의 조도 분포를 보다 한층 균일화할 수 있다.

또, 반송 기구 (5) 가, 조사부 (40) 및 배관 (60) 을 동기시켜 이동 가능하게 하는 공통의 구동원인 가이드부 (50) 를 포함함으로써, 조사부 (40) 및 배관 (60) 을 모아서 일괄적으로 이동시킬 수 있기 때문에, 조사부 (40) 및 배관 (60) 을 별개로 독립적으로 이동시키는 경우와 비교하여, 장치 구성의 간소화를 도모할 수 있다.

또, 자외선 조사 장치 (1) 가, 기판 (10) 을 밀폐 공간에서 수용 가능한 챔버 (2) 를 추가로 구비하고, 조사부 (40), 배기부 (6) 및 반송 기구 (5) 는, 챔버 (2) 의 외부에 형성되고, 반송 기구 (5) 는, 조사부 (40) 및 배관 (60) 을 동기시켜 챔버 (2) 의 외부에서 이동시킴으로써, 이하의 효과를 발휘한다.

밀폐 공간을 갖는 챔버 (2) 의 내부에서 기판 (10) 을 정지시킨 상태에서, 챔버 (2) 의 외부에서 조사부 (40) 및 배관 (60) 을 이동시키면서 챔버 (2) 의 내부의 기판 (10) 에 자외선을 조사할 수 있기 때문에, 기판 (10) 의 이동에 수반하는 파티클의 발생을 고려할 필요가 없다. 또, 조사부 (40) 및 배관 (60) 의 이동은 챔버 (2) 의 외부에서 실시되기 때문에, 만일 조사부 (40) 및 배관 (60) 의 이동에 수반하여 파티클이 발생했다고 해도, 챔버 (2) 를 밀폐 공간으로 함으로써, 챔버 (2) 내에의 파티클의 침입을 회피할 수 있다. 따라서, 챔버 (2) 내의 파티클의 발생을 억제할 수 있어, 기판 (10) 을 청정하게 유지할 수 있다.

또, 기판 (10) 을 정지시킨 상태에서 조사부 (40) 및 배관 (60) 을 이동시킴으로써, 조사부 (40) 및 배관 (60) 보다 평면에서 본 사이즈가 큰 기판 (10) 을 사용해도, 조사부 (40) 및 배관 (60) 을 정지시킨 상태에서 기판 (10) 을 이동시키는 경우와 비교하여, 기판 (10) 에 자외선을 조사할 때에 필요한 스페이스를 절약할 수 있어, 풋 프린트를 작게 할 수 있다.

또, 챔버 (2) 내에서 기판 (10) 을 정지시킨 상태로 함으로써, 챔버 (2) 내는 기판 (10) 의 수용 스페이스를 확보하기만 하면 되기 때문에, 챔버 (2) 내에서 기판 (10) 을 이동시키는 경우와 비교하여, 챔버 (2) 의 용적을 작게 할 수 있어, 챔버 (2) 내의 산소 농도 및 노점의 관리를 하기 쉬워진다. 또, 챔버 (2) 내의 산소 농도를 조정할 때에 사용하는 질소의 소비량을 삭감할 수 있다.

또, 반송 기구 (5) 는, 챔버 (2) 를 사이에 끼우도록 조사 유닛 (4) 의 이동 방향으로 연장되는 1 쌍의 레일 (51) (가이드부 (50)) 과, 챔버 (2) 를 걸치도록 문형으로 형성됨과 동시에, 1 쌍의 레일 (51) 을 따라 이동 가능해지는 문형 프레임 (54) 을 포함하고, 문형 프레임 (54) 에는, 조사 유닛 (4) 을 유지하는 유지부 (54c) 가 형성됨으로써, 일반적인 레일을 따라 조사 유닛 (4) 을 이동시키는 경우와 비교하여, 높은 강성을 갖는 문형 프레임 (54) 에 의해 조사 유닛 (4) 을 1 쌍의 레일 (51) 을 따라 이동시킬 수 있기 때문에, 조사 유닛 (4) 의 이동을 안정적으로 실시할 수 있다.

또, 챔버 (2) 의 외부에는, 조사 유닛 (4) 을 냉각 가능한 냉각부 (도시 생략) 가 형성됨으로써, 조사 유닛 (4) 을 냉각시킬 수 있기 때문에, 자외선을 기판 (10) 에 연속 조사할 때 등에 조사 유닛 (4) 을 연속 구동시키는 경우에도, 조사 유닛 (4) 이 과열되는 것을 억제할 수 있다.

또, 챔버 (2) 에는, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도 및 노점을 조정 가능한 가스 공급부 (7) 가 형성됨으로써, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 산소 농도를 소정의 농도로 조정할 수 있기 때문에, 소정의 산소 농도의 조건하에서 자외선을 기판 (10) 에 조사할 수 있다. 또, 챔버 (2) 의 내부 분위기의 노점을 소정의 노점으로 조정할 수 있기 때문에, 소정의 노점의 조건하에서 자외선을 기판 (10) 에 조사할 수 있다.

또, 이동 스텝에 있어서, 1 쌍의 레일 (51) 의 -X 방향단 (일단) 과 +X 방향단 (타단) 사이에서 조사 유닛 (4) 을 왕복 이동시킴으로써, 1 쌍의 레일 (51) 의 일단과 타단 사이에서 조사 유닛 (4) 을 일방향으로만 이동시키는 경우와 비교하여, 자외선을 기판 (10) 에 반복하여 조사할 때에도, 순조롭게 효율적으로 조사할 수 있다. 또, 하나의 조사 유닛 (4) 을 형성하면 충분하기 때문에, 장치 구성의 간소화를 도모할 수 있다.

(제 1 변형예)

계속해서, 상기 실시형태의 제 1 변형예에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 상기 실시형태와 공통의 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 구성에 관한 상세한 설명은 생략한다.

도 14 는, 제 1 변형예에 관련된 유지 부재를 나타내는 평면도이다. 도 14 에 나타내는 바와 같이, 본 변형예의 유지 부재 (126) 는, 조사 유닛 (4) 의 주사 방향인 X 방향 (제 1 방향) 으로 연장되는 제 1 부위 (127) 와, X 방향에 교차하는 (직교하는) Y 방향 (제 2 방향) 으로 연장되는 제 2 부위 (128) 를 포함하고, 제 1 부위 (127) 및 제 2 부위 (128) 는 서로 교차하고 있다. 또한, 본 변형예의 유지 부재 (126) 는, 1760 ㎜ × 1560 ㎜ 의 투광성 부재 (23) 를 유지하는 것이다.

본 변형예에 있어서, 제 1 부위 (127) 의 폭은 X 방향에 있어서 변화하고 있고, 제 2 부위 (128) 의 폭은 Y 방향에 있어서 변화하고 있다.

예를 들어, 제 1 부위 (127) 에 있어서, 양단부의 폭 (H1a, H1b) 은 각각 5 ㎜ 로 설정되고, 제 2 부위 (128) 와의 교차부 (126A) 및 그 교차부 (126A) 에 인접하는 부분의 폭 (H1c) 은 5 ㎜ 로 설정되고, 그 이외의 부분의 폭은 15 ㎜ 로 설정되어 있다.

즉, 제 1 부위 (127) 의 폭은 양단부에 있어서 상대적으로 좁아져 있다. 또, 제 1 부위 (127) 의 교차부 (126A) 에 인접하는 부분의 폭 (H1c) 은 상대적으로 좁아져 있다.

도 1 에 나타낸 바와 같이, 투광성 부재 (23) 는, 챔버 (2) 의 천판 (20) 의 전역에 형성되어 있지 않다. 그 때문에, 조사 유닛 (4) 이 -X 방향으로 이동함으로써 챔버 (2) 의 상방으로 이동할 때, 투광성 부재 (23) 의 +X 방향에 위치하는 천판 (20) 에 의해 조사 유닛 (4) 으로부터 조사된 자외선의 일부가 차광된다. 또, 동일하게, 조사 유닛 (4) 이 -X 방향으로 이동함으로써 챔버 (2) 의 상방으로부터 퇴피할 때, 투광성 부재 (23) 의 -X 방향에 위치하는 천판 (20) 에 의해 조사 유닛 (4) 으로부터 조사된 자외선의 일부가 차광된다. 따라서, 기판 (10) 의 X 방향의 양단부에 있어서의 자외선 조사량은, 기판 중앙부에 있어서의 자외선 조사량에 비해 적어질 우려가 있다.

이에 대해, 본 변형예의 구성에 의하면, 제 1 부위 (127) 에 있어서의 양단부의 폭 (H1a, H1b) 을 상대적으로 좁히고 있다. 이로써, 제 1 부위 (127) 에 의한 자외선의 차폐량을 줄임으로써 기판 (10) 의 X 방향 양단부의 자외선 조사량을 확보할 수 있다. 따라서, 기판 (10) 상의 X 방향에 있어서의 자외선의 조도 분포를 보다 균일화할 수 있다.

또한 기판 (10) 에 있어서의 자외선 조사량은, 유지 부재 (126) 의 영향을 가장 받기 쉬운 제 1 부위 (127) 및 제 2 부위 (128) 의 교차 부분의 바로 아래에서 가장 작아진다. 이에 대해, 본 변형예의 구성에 의하면, 제 1 부위 (127) 및 제 2 부위 (128) 의 교차부 (126A) 및 그 교차부 (126A) 에 인접하는 부분의 폭 (H1c) 을 상대적으로 좁히고 있다. 이로써, 제 1 부위 (127) 및 제 2 부위 (128) 의 교차부 (126A) 에 의한 자외선의 차폐량을 줄임으로써 기판 (10) 상에 있어서의 자외선의 조도 분포를 보다 균일화할 수 있다.

또, 제 2 부위 (128) 에 있어서, 양단부의 폭 (H2a, H2b) 은 각각 5 ㎜ 로 설정되고, 제 1 부위 (127) 와의 교차부 (126A) 및 그 교차부 (126A) 에 인접하는 부분의 폭 (H2c) 은 5 ㎜ 로 설정되고, 그 이외의 부분의 폭은 10 ㎜ 로 설정되어 있다.

즉, 제 2 부위 (128) 의 폭은 양단부에 있어서 상대적으로 좁아져 있다. 또, 제 2 부위 (128) 의 교차부 (126A) 에 인접하는 부분의 폭 (H2c) 은 상대적으로 좁아져 있다.

여기서, 조사 유닛 (4) 은 Y 방향에 장척상의 형상을 갖는다. 이와 같은 장척 형상으로 이루어지는 조사 유닛 (4) 은, 그 구조상, 양단부에 있어서의 자외선 조도가 상대적으로 낮아져 버린다. 그 때문에, 기판 (10) 의 Y 방향의 양단부에 있어서의 자외선 조사량은, 기판 중앙부에 있어서의 자외선 조사량에 비해 적어질 우려가 있다.

이에 대해, 본 변형예의 구성에 의하면, 제 2 부위 (128) 에 있어서의 양단부의 폭 (H2a, H2b) 을 상대적으로 좁히고 있다. 이로써, 유지 부재 (126) 에 있어서의 자외선의 차폐량을 줄임으로써 조사 유닛 (4) 으로부터 조사되는 자외선량이 상대적으로 적은 기판 (10) 의 Y 방향 양단부의 자외선 조사량을 확보할 수 있다. 따라서, 기판 (10) 상의 Y 방향에 있어서의 자외선의 조도 분포를 보다 균일화할 수 있다.

또한, 본 변형예에서는, 제 1 부위 (127) 의 양단부의 폭 (H1a, H1b) 을 상대적으로 좁히는 구성으로 했지만, 일방의 단부의 폭만을 좁히는 구성으로 해도 된다. 또, 제 2 부위 (128) 의 양단부의 폭 (H2a, H2b) 을 상대적으로 좁히는 구성으로 했지만, 일방의 단부의 폭만을 좁히는 구성으로 해도 된다. 또, 제 1 부위 (127) 및 제 2 부위 (128) 의 교차부에 인접하는 부분에 있어서, 제 1 부위 (127) 및 제 2 부위 (128) 의 양방의 폭을 상대적으로 좁히는 구성으로 했지만, 제 1 부위 (127) 및 제 2 부위 (128) 중 어느 일방에 있어서의 교차부에 인접하는 부분만을 좁히는 구성으로 해도 된다.

(제 2 변형예)

계속해서, 상기 실시형태의 제 2 변형예에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.

도 15 는, 제 2 변형예에 관련된 유지 부재를 나타내는 평면도이다. 도 15 에 나타내는 바와 같이, 본 변형예의 유지 부재 (226) 는, 조사 유닛 (4) 의 주사 방향인 X 방향 (제 1 방향) 으로 연장되는 제 1 부위 (227) 와, X 방향에 교차하는 (직교하는) Y 방향 (제 2 방향) 으로 연장되는 제 2 부위 (228) 를 포함하고, 제 1 부위 (227) 및 제 2 부위 (228) 는 서로 교차하고 있다.

본 변형예에 있어서, 제 1 부위 (227) 의 폭은 X 방향에 있어서 변화하고 있고, 제 2 부위 (228) 의 폭은 Y 방향에 있어서 변화하고 있다. 제 1 부위 (227) 및 제 2 부위 (228) 에 있어서, 연속적으로 폭이 변화하고 있다.

예를 들어, 제 1 부위 (227) 는, 폭의 최대값이 15 ㎜ 이고, 폭의 최소값이 5 ㎜ 이다. 구체적으로, 제 1 부위 (227) 는, 양단부의 폭 (H1a, H1b) 의 최소값이 각각 5 ㎜ 로 설정되고, 제 2 부위 (228) 와의 교차부 (226A) 의 폭 (H1c) 의 최소값이 5 ㎜ 로 설정된다. 제 1 부위 (227) 는, 교차부 (226A) 와 양단부 사이에 각각 폭의 최대값 (15 ㎜) 이 되는 일정 폭 부분 (227a) 을 갖는다. 제 1 부위 (227) 는, 일정 폭 부분 (227a) 과 교차부 (226A) 사이에 있어서 폭이 연속적으로 변화하고 있다.

본 변형예에 관련된 구성에 의하면, 상기 제 1 변형예와 동일한 효과에 더하여, 폭을 연속적으로 변화시킴으로써 유지 부재 (226) 의 기계적인 강도를 향상시킬 수 있다. 따라서, 본 변형예의 유지 부재 (226) 에 의하면, 투광성 부재 (23) 에 휨을 발생시키지 않고, 확실하게 유지할 수 있다.

(제 3 변형예)

계속해서, 상기 실시형태의 제 3 변형예에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.

도 16 은, 제 3 변형예에 관련된 유지 부재 (326) 를 나타내는 평면도이고, 도 17 은 도 16 의 A-A 선 화살표에서 보는 것에 의한 유지 부재 (326) 의 주요부 단면 구성을 나타내는 도면이다.

도 16 에 나타내는 바와 같이, 본 변형예의 유지 부재 (326) 는, 조사 유닛 (4) 의 주사 방향인 X 방향 (제 1 방향) 으로 연장되는 제 1 부위 (327) 와, X 방향에 교차하는 (직교하는) Y 방향 (제 2 방향) 으로 연장되는 제 2 부위 (328) 를 포함하고, 제 1 부위 (327) 및 제 2 부위 (328) 는 서로 교차하고 있다.

또한, 본 변형예에 있어서도, 유지 부재 (326) 와 투광성 부재 (23) 가 평면적으로 중첩되는 비율을 투광성 부재 (23) 에 있어서의 면적의 10 ％ 이하로 하고 있다. 이로써, 조사 유닛 (4) 으로부터 조사된 자외선의 유지 부재 (326) 에 의한 차폐량을 저감시키고 있다.

도 17 에 나타내는 바와 같이, 제 1 부위 (327) 는, 복수의 지지부 (329) 를 가지고 있다. 각 지지부 (329) 의 단면 형상은 대략 L 자상이고, 제 1 지지부 (329a) 및 제 2 지지부 (329b) 를 포함한다. 본 변형예에 있어서, 제 1 부위 (327) 는, 제 2 부위 (328) 와의 교차부 (326A) 를 기준으로 하여 점대칭의 관계를 만족시키도록 복수의 지지부 (329) 가 형성되어 있다.

제 1 지지부 (329a) 는, XY 평면과 평행하게 배치됨으로써 투광성 부재 (23) 의 하면을 지지한다. 제 1 지지부 (329a) 와 투광성 기판 (23a) 사이에는 시일 부재 (330) 가 형성되어 있다. 시일 부재 (330) 는, 제 1 지지부 (329a) 와 투광성 기판 (23a) 사이에 생기는 간극을 없애는 것이다. 제 2 지지부 (329b) 는, 투광성 기판 (23a) 의 단면의 위치를 규제하기 위한 것이고, 투광성 기판 (23a) 에 접촉해도 되고, 접촉하지 않아도 된다.

복수의 지지부 (329) 는 X 방향을 따라 배치되어 있다. 이웃하는 지지부 (329) 끼리는 제 2 지지부 (329b) 에서 접속되어 있고, Z 방향으로부터 평면했을 때, 제 2 지지부 (329b) 에 대한 제 1 지지부 (329a) 의 Y 방향의 위치가 역방향으로 되어 있다.

제 2 부위 (328) 는, 제 1 부위 (327) 와 동일 구성으로 이루어지고, 복수의 지지부 (331) 를 가지고 있다. 각 지지부 (331) 의 단면 형상은 대략 L 자상이고, 제 1 지지부 (331a) 및 제 2 지지부 (331b) 를 포함한다. 본 변형예에 있어서, 제 2 부위 (328) 는, 제 1 부위 (327) 와의 교차부 (326A) 를 기준으로 하여 점대칭의 관계를 만족시키도록 복수의 지지부 (331) 가 형성되어 있다.

제 1 지지부 (331a) 는, XY 평면과 평행하게 배치됨으로써 투광성 부재 (23) 의 하면을 지지한다. 제 1 지지부 (331a) 와 투광성 기판 (23a) 사이에는 시일 부재 (도시 생략) 가 형성되어 있다.

복수의 지지부 (331) 는 Y 방향을 따라 배치되어 있다. 이웃하는 지지부 (331) 끼리는 제 2 지지부 (331b) 에서 접속되어 있고, Z 방향으로부터 평면했을 때, 제 2 지지부 (331b) 에 대한 제 1 지지부 (331a) 의 X 방향의 위치가 역방향으로 되어 있다.

본 변형예에 있어서, 제 1 부위 (327) 및 제 2 부위 (328) 는 교차하고 있다. 구체적으로, 제 1 부위 (327) 및 제 2 부위 (328) 는, 제 2 지지부 (329b) 및 제 2 지지부 (331b) 에 있어서 교차한다. 이로써, 조사 유닛 (4) 으로부터의 자외선의 차폐량을 저감시키고 있다. 또, 제 1 부위 (327) 및 제 2 부위 (328) 는, 교차부 (326A) 를 기준으로 하여 점대칭의 관계를 만족시키도록 형성되기 때문에, 교차부 (326A) 의 근방에 있어서의 자외선의 차폐량을 동일한 정도로 할 수 있다.

본 변형예의 유지 부재 (326) 에 의하면, 투광성 부재 (23) 의 휨을 방지한 상태로 유지함과 함께, 조사 유닛 (4) 으로부터 조사된 자외선의 차폐량을 억제할 수 있다.

(제 4 변형예)

계속해서, 상기 실시형태의 제 4 변형예에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.

도 18 은, 제 4 변형예에 관련된 유지 부재 (426) 에 의해 유지되는 투광성 부재 (23) 의 주변 구성을 나타내는 평면도이고, 도 19 는 도 18 의 B-B 선 화살표에서 보는 것에 의한 주요부 단면 구성을 나타내는 도면이다.

도 18 에 나타내는 바와 같이, 본 변형예의 유지 부재 (426) 는, 4 개의 와이어 (선상 부재) (427) 와, 프레임상의 지지 부재 (428) 를 갖는다. 와이어 (427) 는, 예를 들어, SUS 등의 금속제로 이루어지는 1φ ∼ 10φ, 바람직하게는 1φ ∼ 5φ 의 굵기를 갖는다. 와이어 (427) 는, 소정의 장력으로 인장됨으로써 투광성 기판 (23a) 의 하면을 지지한다.

와이어 (427) 의 표면에 예를 들어 테플론 (등록상표) 코트 등의 코팅을 실시해도 된다. 이와 같이 하면, 후술하는 바와 같이 와이어 (427) 가 투광성 기판 (23a) 에 접촉하는 경우에도, 투광성 기판 (23a) 의 표면에 흠집 등의 데미지를 주는 일이 없다.

본 변형예에 있어서, 와이어 (427) 는, Y 방향 (소정 방향) 으로 연장되는 제 1 와이어 (427a) 및 제 2 와이어 (427b) 와, X 방향으로 연장되는 제 3 와이어 (427c) 및 제 4 와이어 (427d) 를 포함한다. 와이어 (427a, 427b) 는, 투광성 부재 (23) 를 구성하는 4 장의 투광성 기판 (23a) 중, Y 방향에 있어서 이웃하는 1 쌍 (2 장) 의 투광성 기판 (23a) 의 하면을 유지한다. 와이어 (427a) 는, 와이어 (427b) 에 대해 +X 측에 배치되어 있다.

와이어 (427a) 는 투광성 기판 (23a) 의 -X 측 부근의 하면을 유지하고, 와이어 (427b) 는 투광성 기판 (23a) 의 +X 측 부근의 하면을 유지한다. 즉, 와이어 (427a, 427b) 는, 4 개의 투광성 기판 (23a) 으로 이루어지는 투광성 부재 (23) 의 중앙부의 근방을 유지하고 있다.

또, 와이어 (427c, 427d) 는, 투광성 부재 (23) 를 구성하는 4 장의 투광성 기판 (23a) 중, X 방향에 있어서 이웃하는 1 쌍 (2 장) 의 투광성 기판 (23a) 의 하면측을 유지한다. 와이어 (427c) 는, 와이어 (427d) 에 대해 +Y 측에 배치되어 있다.

본 변형예에 있어서, 와이어 (427c, 427d) 는, 와이어 (427a, 427b) 에 대해 하방 (-Z 측) 에 배치되어 있다. 즉, 와이어 (427c, 427d) 는, 와이어 (427a, 427b) 를 개재하여 투광성 기판 (23a) 의 하면을 유지한다.

와이어 (427c) 는 투광성 기판 (23a) 의 -Y 측 부근의 하면을 유지하고, 와이어 (427d) 는 투광성 기판 (23a) 의 +Y 측 부근의 하면을 유지한다. 즉, 와이어 (427c, 427d) 는, 4 개의 투광성 기판 (23a) 으로 이루어지는 투광성 부재 (23) 의 중앙부의 근방을 유지하고 있다.

지지 부재 (428) 는, 4 개의 투광성 기판 (23a) 의 측단부를 프레임상으로 지지한다. 도 19 에 나타내는 바와 같이, 지지 부재 (428) 는, 프레임부 (428a) 및 탄성 지지 부재 (428b) 를 포함한다. 프레임부 (428a) 는, 투광성 기판 (23a) 의 측단부 (23a1) 에 대향하는 판상의 부재로 이루어지고, 탄성 지지 부재 (428b) 를 지지한다. 탄성 지지 부재 (428b) 는, 투광성 기판 (23a) 의 측단부 (23a1) 에 대해 탄성력을 부여하는 부재로 이루어진다. 본 변형예에 있어서, 탄성 지지 부재 (428b) 는, 예를 들어, 판 스프링으로 구성된다. 또한, 탄성 지지 부재 (428b) 는, 투광성 기판 (23a) 의 측단부 (23a1) 에 있어서의 전체 둘레에 걸쳐 형성될 필요는 없고, 각 투광성 기판 (23a) 의 측단부 (23a1) 를 적어도 상이한 2 방향에서 탄성 지지하도록 형성되어 있으면 된다.

이로써, 대향하는 투광성 기판 (23a) 의 단면 (23a2) 끼리는 맞닿은 상태가 된다. 또한, 탄성 지지 부재 (428b) 에 의한 탄성력을 조정하면, 투광성 기판 (23a) 의 단면 (23a2) 간의 밀착도를 조정할 수 있다. 이로써, 투광성 기판 (23a) 의 단면 (23a2) 간의 간극량을 제어함으로써, 투광성 부재 (23) 에 의한 챔버 (2) (도 1 참조) 의 밀폐도를 제어할 수 있다. 즉, 챔버 (2) 내를 원하는 노점으로 유지할 수 있다. 또, 본 변형예에 관련된 구성에 있어서, 챔버 (2) 의 밀폐도를 높이기 위해서는, 투광성 기판 (23a) 의 단면에 고무 등의 시일 부재를 배치하면 된다.

그런데, 투광성 부재 (23) 는 자외선의 열에 의해 열신장이 발생한다. 본 변형예에 의하면, 탄성 지지 부재 (428b) 로서의 판 스프링을 사용하기 때문에, 열신장이 발생했을 경우에도 열신장에 의한 변위를 판 스프링으로 흡수함으로써 투광성 기판 (23a) 을 안정적으로 유지할 수 있다.

또, 탄성 지지 부재 (428b) (판 스프링) 로 투광성 기판 (23a) 을 억제하는 구조를 채용하기 때문에, 투광성 기판 (23a) 의 떼어냄 혹은 청소와 같은 메인터넌스 작업을 용이하게 실시할 수 있다.

여기서, 투광성 부재 (23) 는, 각 투광성 기판 (23a) 의 맞닿음 부분, 즉 중앙부에 휨이 생기기 쉬워진다. 이에 대해, 본 변형예의 유지 부재 (426) 에 의하면, 와이어 (427) 를 인장함으로써 투광성 부재 (23) 를 양호하게 유지할 수 있다. 구체적으로, 투광성 부재 (23) 의 중앙부의 근방을 4 개의 와이어 (427a ∼ 427d) 로 유지함으로써, 투광성 부재 (23) 의 휨을 저감시킬 수 있다.

또, 본 변형예의 유지 부재 (426) 에 의하면, 투광성 기판 (23a) 을 와이어 (427) 로 유지하므로, 조사 유닛 (4) 으로부터 조사된 자외선의 차폐량을 억제할 수 있다. 또, 와이어 (427) 는 일정한 굵기 때문에, 자외선의 차폐량에 편차가 잘 생기지 않기 때문에, 기판 상에 자외선을 균일성이 높은 상태로 조사할 수 있다. 특히, 본 변형예에서는, 조사 유닛 (4) 의 주사 방향인 X 방향에 교차하는 Y 방향을 따라 와이어 (427) 가 연장되기 때문에, X 방향으로 와이어 (427) 가 연장되는 경우에 비해, 조사 유닛 (4) 의 바로 아래에 항상 와이어 (427) 가 위치하지 않는다. 따라서, 상기 서술한 바와 같이 자외선의 차폐량을 저감시킬 수 있다.

또한, 본 변형예에 있어서, 유지 부재 (426) 는, 4 개의 와이어 (427) 를 갖는 경우를 예로 들었지만, 와이어 (427) 의 수는 이것에 한정되지 않고, 예를 들어, 2 개, 6 개, 8 개로 해도 된다.

(제 5 변형예)

다음으로, 실시형태의 제 5 변형예에 대해, 도 20 을 사용하여 설명한다.

도 20 은, 실시형태에 관련된 배기부의 제 5 변형예를 나타내는 측면도이다. 또한, 도 20 에 있어서는, 배기 박스 (61) 의 각 벽, 안내판 (64) 등의 도시를 생략하고 있다.

도 20 에 나타내는 바와 같이, 본 변형예에서는, 실시형태에 대해, 시트 (170) 가 제 1 시트 (170A) 및 제 2 시트 (170B) 를 구비하는 점에서 특히 상이하다. 도 20 에 있어서, 실시형태와 동일한 구성에는 동일 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 20 에 나타내는 바와 같이, 제 1 시트 (170A) 는, 조사부 (40) 의 이동 방향을 따르도록, 배관 (60) 과 배기 박스 (61) 의 접속부인 가동부 (65) 로부터 일방측 (+X 방향측) 으로 연장된다. 제 1 시트 (170A) 의 일단부의 측은, 제 1 구동 롤러 (171) 에 권회되어 있다. 제 1 시트 (170A) 의 타단부는, 제 1 걸림부 (66) 를 개재하여, 베이스부 (65a) 의 +X 방향측의 단부에 걸려 있다.

제 2 시트 (170B) 는, 조사부 (40) 의 이동 방향을 따르도록, 가동부 (65) 로부터 타방측 (-X 방향측) 으로 연장된다. 제 2 시트 (170B) 는, 제 1 시트 (170A) 에 동기하여 이동 가능하게 구성되어 있다. 제 2 시트 (170B) 의 일단부의 측은, 제 2 구동 롤러 (172) 에 권회되어 있다. 제 2 시트 (170B) 의 타단부는, 제 2 걸림부 (67) 를 개재하여, 베이스부 (65a) 의 -X 방향측의 단부에 걸려 있다.

제 1 구동 롤러 (171) 는, Y 방향으로 연장되는 제 1 구동축 (171a) 둘레로 회동 가능하게 구성되어 있다. 제 2 구동 롤러 (172) 는, Y 방향으로 연장되는 제 2 구동축 (172a) 둘레로 회동 가능하게 구성되어 있다. 도 20 에 있어서는, 제 1 구동 롤러 (171) 가 화살표 J1 의 방향으로 회동하고 또한 제 2 구동 롤러 (172) 가 화살표 J2 의 방향으로 회동함으로써, 제 1 시트 (170A) 및 제 2 시트 (170B) 가 -X 방향 (화살표 K 의 방향) 에 동기하여 이동하고 있는 상태를 나타내고 있다.

본 변형예에 의하면, 제 1 시트 (170A) 에 동기하여 제 2 시트 (170B) 를 이동시킬 수 있기 때문에, 배관 (60) (도 1 참조) 의 이동을 보다 한층 안정적으로 실시할 수 있다.

(제 6 변형예)

도 21 은, 제 6 변형예에 관련된 배기부를 나타내는 측면도이다. 또한, 도 21 에 있어서는, 배기 박스 (61) 의 각 벽 등의 도시를 생략하고 있다.

도 21 에 나타내는 바와 같이, 본 변형예에서는, 실시형태에 대해, 시트 (70) 가, 1 쌍의 반송 롤러 (180) 에 걸어 둘러진 상태로, 조사부 (40) 의 이동 방향을 따르도록 이동 가능하게 구성되어 있는 점에서 특히 상이하다. 도 21 에 있어서, 실시형태와 동일한 구성에는 동일 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

1 쌍의 반송 롤러 (180) 는, X 방향으로 간격을 둔 상태에서, X 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 1 쌍의 반송 롤러 (180), 시트 (70) 및 안내판 (64) 에 의해 둘러싸인 부분에는, 배관 (60) 으로부터의 열이 통과 가능한 공간인 통과부 (180h) 가 형성되어 있다. 통과부 (180h) 는, 안내판 (64) 의 통과공 (64h) 을 통해서 배기 박스 (61) 의 내부 공간 (61s) (도 11 참조) 에 연통되어 있다.

예를 들어, 1 쌍의 반송 롤러 (180) 가 항상 일정한 간격을 둠으로써, 통과부 (180h) 를 통과하는 기체의 유량을 일정하게 유지할 수 있다. 한편, 1 쌍의 반송 롤러 (180) 의 간격을 증감시킴으로써, 통과부 (180h) 를 통과하는 기체의 유량을 조정할 수 있다.

또한, 상기 서술한 예에 있어서 나타낸 각 구성 부재의 여러 형상이나 조합 등은 일례로서, 설계 요구 등에 기초하여 여러 가지 변경 가능하다.

예를 들어, 상기 실시형태에 있어서, 투광성 부재 (23) 는 복수의 투광성 기판 (23a) 으로 구성되는 경우를 예로 들었지만, 투광성 부재 (23) 는 대형의 투광성 기판을 1 장 사용하여 구성해도 된다. 이 경우에 있어서도, 유지 부재 (26) 를 사용하여 챔버 (2) 에 유지함으로써 대형 기판으로 이루어지는 투광성 부재 (23) 에 발생하는 휨을 억제할 수 있다.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 챔버 (2) 를 1 개 형성했지만, 이것에 한정되지 않고, 챔버 (2) 를 2 개 이상의 복수 형성해도 상관없다.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 안내판 (64) 의 통과공 (64h) 의 상면에서 보았을 때의 형상이 원형인 예를 들어 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 안내판 (64) 의 통과공 (64h) 의 상면에서 보았을 때의 형상은, 타원형이어도 되고, 삼각형, 사각형 등의 다각형이어도 된다. 또, 안내판 (64) 은 펀칭 메탈인 예를 들어 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 상면에서 보았을 때 사다리상을 이루는 부재이어도 된다. 즉, 안내판 (64) 의 형상은, 설계 사양에 따라 여러 가지 형상을 채용할 수 있다.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 유량 조정부 (68) 가 배관 (60) 의 적어도 일부를 통과하는 기체의 유량을 조정 가능하게 구성되어 있는 예를 들어 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 유량 조정부 (68) 는, 배기 박스 (61) 의 적어도 일부를 통과하는 기체의 유량을 조정 가능하게 구성되어 있어도 된다. 즉, 유량 조정부 (68) 는, 배관 (60) 및 배기 박스 (61) 의 적어도 일부를 통과하는 기체의 유량을 조정 가능하게 구성되어 있으면 된다.

또한, 상기에 있어서 실시형태 또는 그 변형예로서 기재한 각 구성 요소는, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 조합할 수 있고, 또, 조합된 복수의 구성 요소 중 일부의 구성 요소를 적절히 사용하지 않게 할 수도 있다.

1…자외선 조사 장치
10…기판
2…챔버 (수용부)
5…반송 기구 (이동부)
6…배기부
40…조사부
50…가이드부 (구동원)
60…배관
61…배기 박스
61s…내부 공간
63h…배기구
64…안내판
64h…통과공
65…가동부 (접속부)
68…유량 조정부
70…시트
79…텐셔너
170A…제 1 시트
170B…제 2 시트
S1…배기구의 면적
S2…통과공의 개구 면적.

Claims (20)

1. 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능한 기판 수용부와,
   소정의 파장역의 자외선을 상기 기판에 조사하는 조사부와,
   상기 기판 수용부에 형성되고, 상기 조사부로부터 조사된 상기 자외선을 투과시키고, 복수의 투광성 기판으로 구성되어 있는 투광성 부재와,
   상기 투광성 부재를 상기 기판 수용부에 유지하는 유지 부재와,
   상기 기판 수용부와 상기 조사부를 상대 이동시키는 구동 장치를 구비하고,
   상기 유지 부재와 상기 투광성 부재가 평면적으로 중첩되는 비율은, 상기 투광성 부재에 있어서의 면적의 10 ％ 이하인 자외선 조사 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 투광성 부재의 재료는 석영인 자외선 조사 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 조사부는, 상기 자외선으로서 200 ㎚ ∼ 450 ㎚ 의 파장역의 광을 조사하는 자외선 조사 장치.
4. 삭제
5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 유지 부재는, 상기 기판 수용부 및 상기 조사부가 상대 이동하는 제 1 방향으로 연장되는 제 1 부위와, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 연장되는 제 2 부위를 포함하는 자외선 조사 장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 제 1 부위의 상기 제 2 방향에 있어서의 폭은 15 ㎜ 이하이고,
   상기 제 2 부위의 상기 제 1 방향에 있어서의 폭은 15 ㎜ 이하인 자외선 조사 장치.
7. 제 5 항에 있어서,
   상기 제 1 부위의 폭은, 상기 제 1 방향에 있어서 변화하고 있고,
   상기 제 2 부위의 폭은, 상기 제 2 방향에 있어서 변화하고 있는 자외선 조사 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 제 1 부위의 폭은, 적어도 일방의 단부에 있어서 상대적으로 좁아져 있는 자외선 조사 장치.
9. 제 7 항에 있어서,
   상기 제 2 부위의 폭은, 적어도 일방의 단부에 있어서 상대적으로 좁아져 있는 자외선 조사 장치.
10. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 부위 및 상기 제 2 부위는 서로 교차하도록 형성되어 있고,
    상기 제 1 부위 및 상기 제 2 부위 중 적어도 교차부 및 상기 교차부에 인접하는 부분의 폭은, 상대적으로 좁아져 있는 자외선 조사 장치.
11. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 부위 및 상기 제 2 부위에 있어서, 연속적으로 폭이 변화하고 있는 자외선 조사 장치.
12. 제 1 항에 있어서,
    상기 유지 부재는, 일방향을 따라 연장되고, 상기 투광성 기판의 표면을 유지하는 선상 부재와, 상기 복수의 투광성 기판의 측단부를 프레임상으로 유지하는 지지 부재를 포함하고,
    상기 지지 부재는, 대향하는 상기 투광성 기판의 단면끼리를 맞닿도록, 상기 복수의 투광성 기판에 탄성력을 부여하는 자외선 조사 장치.
13. 소정의 파장역의 자외선을 조사하는 조사부와 기판을 상대 이동시키면서, 상기 자외선을 기판에 조사하는 조사 스텝을 포함하고,
    상기 조사 스텝에서는, 유지 부재에 의해 유지되고, 복수의 투광성 기판으로 구성되어 있는 투광성 부재를 개재하여 상기 자외선을 상기 기판에 조사하고 있고,
    상기 유지 부재와 상기 투광성 부재가 평면적으로 중첩되는 비율은, 상기 투광성 부재에 있어서의 일방면의 면적의 10 ％ 이하인 자외선 조사 방법.
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 조사 스텝에 있어서, 상기 자외선으로서 200 ㎚ ∼ 450 ㎚ 의 파장역의 광을 조사하는 자외선 조사 방법.
15. 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능한 기판 수용부와,
    소정의 파장역의 자외선을 상기 기판에 조사하는 조사부와,
    상기 기판 수용부에 형성되고, 상기 조사부로부터 조사된 상기 자외선을 투과시키는, 투광성 부재와,
    일방향을 따라 연장되고, 상기 투광성 부재의 표면을 유지하는 선상 부재를 포함하고, 상기 투광성 부재를 상기 기판 수용부에 유지하는 유지 부재와,
    상기 기판 수용부와 상기 조사부를 상대 이동시키는 구동 장치를 구비하고,
    상기 유지 부재와 상기 투광성 부재가 평면적으로 중첩되는 비율은, 상기 투광성 부재에 있어서의 면적의 10 ％ 이하인 자외선 조사 장치.
16. 기판을 밀폐 공간에서 수용 가능한 기판 수용부와,
    소정의 파장역의 자외선을 상기 기판에 조사하는 조사부와,
    상기 기판 수용부에 형성되고, 상기 조사부로부터 조사된 상기 자외선을 투과시키는 투광성 부재와,
    상기 투광성 부재를 상기 기판 수용부에 유지하는 유지 부재와,
    상기 기판 수용부와 상기 조사부를 상대 이동시키는 구동 장치를 구비하고,
    상기 유지 부재와 상기 투광성 부재가 평면적으로 중첩되는 비율은, 상기 투광성 부재에 있어서의 면적의 10 ％ 이하이고,
    상기 유지 부재는, 상기 기판 수용부 및 상기 조사부가 상대 이동하는 제 1 방향으로 연장되는 제 1 부위와, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 연장되는 제 2 부위를 포함하는 자외선 조사 장치.
17. 제 16 항에 있어서,
    상기 유지 부재는, 일방향을 따라 연장되고, 상기 투광성 부재의 표면을 유지하는 선상 부재를 포함하는, 자외선 조사 장치.
18. 소정의 파장역의 자외선을 조사하는 조사부와 기판을 상대 이동시키면서, 상기 자외선을 기판에 조사하는 조사 스텝을 포함하고,
    상기 조사 스텝에서는, 일방향을 따라 연장되고, 투광성 부재의 표면을 유지하는 선상 부재를 포함하는 유지 부재에 의해 유지된 상기 투광성 부재를 개재하여 상기 자외선을 상기 기판에 조사하고 있고,
    상기 유지 부재와 상기 투광성 부재가 평면적으로 중첩되는 비율은, 상기 투광성 부재에 있어서의 일방면의 면적의 10 ％ 이하인 자외선 조사 방법.
19. 소정의 파장역의 자외선을 조사하는 조사부와 기판을 상대 이동시키면서, 상기 자외선을 기판에 조사하는 조사 스텝을 포함하고,
    상기 조사 스텝에서는, 유지 부재에 의해 유지된 투광성 부재를 개재하여 상기 자외선을 상기 기판에 조사하고 있고,
    상기 유지 부재와 상기 투광성 부재가 평면적으로 중첩되는 비율은, 상기 투광성 부재에 있어서의 일방면의 면적의 10 ％ 이하이고,
    상기 유지 부재는, 상기 기판을 수용 가능한 기판 수용부와 상기 조사부가 상대 이동하는 제 1 방향으로 연장되는 제 1 부위와, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 연장되는 제 2 부위를 포함하는 자외선 조사 방법.
20. 제 19 항에 있어서,
    상기 유지 부재는, 일방향을 따라 연장되고, 상기 투광성 부재의 표면을 유지하는 선상 부재를 포함하는, 자외선 조사 방법.

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