KR20100008826U - 마스크글라스 지지유닛 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display)용 유리 기판에 도포된 실란트를 경화시키는 실란트 경화장치의 마스크글라스 지지유닛에 관한 것으로서, 챔버 내측면에 고정 설치되는 고정프레임과 상기 고정프레임 상에 설치되는 다수개의 공기배출수단 및 상기 고정프레임 내측에 배열 설치되어 상기 공기배출수단과 연통되도록 구비되는 마스크글라스 지지바로 구성하되, 상기 마스크글라스 지지바는 상기 공기배출수단과 연통되는 중공부와 상기 마스크글라스를 진공 흡착시키는 흡착수단을 구비함으로써, 독립된 다수개의 중공형 마스크글라스 지지바가 마스크글라스를 지지할 수 있게 하여 마스크글라스 지지바의 제조단가 절감은 물론 경량화에 따른 작업능률 향상과 자외선(UV:Ultra Violet)의 조도 손실을 감소시킬 수 있고, 또한 자중에 의한 하향 처짐을 방지함과 아울러 하부에 고정되는 마스크글라스의 처짐 또한 방지할 수 있는 마스크글라스 지지유닛에 관한 것이다.
실란트, UV, 마스크글라스, 고정프레임

Description

마스크글라스 지지유닛{A fixing unit for mask glass of sealant UV cure machine}
본 고안은 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display)용 유리 기판에 도포된 실란트를 경화시키는 실란트 경화장치의 마스크글라스 지지유닛에 관한 것으로서, 외곽 틀을 형성하는 고정프레임 내측에 다수개의 중공형 마스크글라스 지지바를 이격되게 배열 설치하여 상기 마스크글라스 지지바가 마스크글라스를 진공 흡착시킬 수 있게 함으로써, 마스크글라스 지지바의 경량화에 따른 작업능률 향상뿐 아니라, 자외선(UV:Ultra Violet)의 조도 손실 감소는 물론 마스크글라스 지지바의 자중에 의한 처짐을 방지할 수 있는 마스크글라스 지지유닛에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(LCD:liquid crystal display)는 다른 표시장치에 비해 경량일 뿐 아니라, 큰 화면과 높은 해상도를 구현할 수 있어 주요 평판 디스플레이(Flat Pannel Display) 장치로 사용되는 것으로서, 기본적으로 전,후 두 장의 유리 기판 내에 액정을 주입시킨 후 실란트(sealant)로 밀봉시키고, 각 기판에 설치되는 전극을 통해 전압이나 전류를 부가하여 액정의 배열을 변화시킴으로써 빛 을 투과 또는 차폐시켜 화상을 표시할 수 있게 하는 장치이다.
이때 기판에 도포되는 밀봉재인 실란트는 두장의 기판 사이에 액정을 주입한 후, 기판의 가장자리를 따라 도포되어 기판 내의 액정이 외부로 누출되지 않도록 기판을 밀봉시키는 역할을 한다.
실란트 경화장치는 두장의 유리 기판의 가장자리에 도포된 실란트만을 선택적으로 경화시키기 위한 장치로서, 기판상에 자외선(UV:Ultra Violet)을 조사하여 실란트를 경화시키게 된다.
이때 실란트 경화장치는 실란트를 경화시키는 자외선이 액정을 열화시켜 수명을 단축시키는 문제점이 있기 때문에 자외선이 기판의 실란트에만 선택적으로 조사될 수 있도록 자외선램프와 기판 사이에 마스크글라스가 고정되는 마스크글라스 지지유닛을 설치함으로써, 자외선이 마스크글라스에 의해 실란트에만 국부적으로 조사되어 실란트가 경화될 수 있게 하는 것이다.
이하 종래의 마스크글라스 지지유닛을 도 1과 도 2를 참조하여 설명한다.
도 1은 종래의 실란트 경화장치의 개략 단면도를 나타낸 것이고, 도 2는 종래의 실란트 경화장치에 구비된 마스크글라스 지지유닛의 사시도를 나타낸 것이다.
도 1에 도시된 바와 같이 실란트 경화장치는 챔버(1)와, 자외선램프(6)가 구비된 발광부(5)와, 마스크글라스(100)를 고정시키는 마스크글라스 지지유닛(120), 및 LCD panel인 유리 기판(110)을 로딩하여 지지하는 기판지지부(10)를 포함하여 구성된다.
마스크글라스(100)는 마스크글라스 지지유닛(120)의 하측부에 고정 설치되는 것으로서, 표면에는 발광부(5)에서 조사되는 자외선이 유리 기판(110)의 실란트(115)에만 국부적으로 노출될 수 있도록 자외선을 선택적으로 투과시키는 마스킹 패턴이 형성된다.
한편 마스크글라스 지지유닛(120)은 사각 틀을 형성하는 고정프레임(122)과 고정프레임(122)에 설치되는 복수개의 공기배출수단(125) 및 고정프레임(122) 내측에 고정 설치되는 마스크지지글라스(121)로 구성된다.
마스크지지글라스(121)는 마스크글라스(100)를 하측면에 진공 흡착시켜 고정시킬 수 있게 저면의 가장자리를 따라 흡착홈(127)이 형성되어 있고, 공기배출수단(125)은 고정프레임(122)에 일정 간격으로 설치하되, 단부가 마스크지지글라스(121) 상부에서 흡착홈(127)과 연통될 수 있게 구비된다.
이때 다수의 공기배출수단(125)은 서로 연결되어 외부의 진공펌프(도시하지 않음)와 연결되게 된다.
따라서 마스크글라스(100)의 고정은 마스크글라스 지지유닛(120)에 구비된 마스크지지글라스(121)의 저면에 마스크글라스(100)를 밀착시킨 후, 공기배출수단(125)을 통해 흡착홈(127) 내의 공기를 외부로 배출시켜 마스크글라스(100)가 흡착홈(127)에 진공 흡착되게 함으로써 이루어진다.
이때 기판지지부(10)를 이용하여 지지대(16) 상부의 스테이지(15)에 놓여진 기판(110)을 적절한 위치에 로딩시킨 후, 발광부(5)의 자외선램프(6)를 작동시켜 자외선이 마스크지지글라스(121)와 마스크글라스(100)을 통해 기판(110)의 실란트(115)에 조사되게 함으로써 실란트(115)를 경화시키게 되는 것이다.
그러나 상기와 같은 종래의 마스크글라스 지지유닛(120)에 구비된 마스크지지글라스(121)는 다음과 같은 문제점들이 있었다.
첫째, 유리 기판이 대형화됨에 따라 마스크지지글라스 또한 이에 대응되어 대형화됨으로써, 제작이 용이하지 않고 제조단가가 증가될 뿐 아니라, 투과율이 높은 석영(Quartz) 소재를 적용하는 것이 곤란하였고, 둘째, 자체 중량 증가로 인해 설치와 유지보수가 용이하지 않게 되는 문제점이 있었으며, 셋째, 자중에 의해 중앙부에 하향 처짐이 발생되고, 이에 따라 마스크글라스 또한 처짐이 발생됨으로써 실란트의 경화품질이 현저히 저하되는 문제점이 있었다.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 고안의 목적은 다수개의 마스크글라스 지지바를 이용하여 마스크글라스를 고정시킴으로써, 대형화가 용이할 뿐 아니라, 제조단가를 현저히 절감시킬 수 있게 하는 것이다.
본 고안의 다른 목적은 다수개의 마스크글라스 지지바를 중공형으로 형성하여 마스크글라스 지지바의 자체 중량 감소에 따른 경량화를 실현함으로써, 운반이나 설치가 용이하고, 작업 능률 향상과 유지보수가 간편할 뿐 아니라, 유지보수 비용 또한 절감할 수 있게 하는 것이다.
본 고안의 또 다른 목적은 마스크글라스 지지바의 경량화로 인해 자중에 의한 처짐을 방지하여 파손이나 변형 등의 발생을 최소화 하고자 하는 것이다.
본 고안의 또 다른 목적은 자외선의 진행을 최대한 방해하지 않음으로써 자외선의 조도 손실을 최소화하여 공정속도를 향상시킬 수 있게 하는 것이다.
본 고안의 또 다른 목적은 마스크글라스 지지바의 자중에 의한 하향 처짐 방지를 통해 마스크글라스의 처짐 또한 방지함으로써, 마스크글라스의 변형을 최소화하여 마스크글라스와 유리 기판의 이격 거리를 단축시킬 수 있게 하고, 또한 자외선의 조도 손실 방지는 물론 실란트의 경화품질을 향상시킬 수 있는 마스크글라스 지지유닛을 제공하고자 하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 챔버 내측면에 고정 설치되어 일정 크기의 외곽 틀을 형성하는 고정프레임과, 상기 고정프레임 상에 다수개가 이격되게 배열 설치되는 공기배출수단, 및 상기 공기배출수단에 대응되도록 상기 고정프레임 내측에 다수개가 이격되게 배열 설치되어 마스크글라스를 진공 흡착시킬 수 있게 구비하되 상기 공기배출수단과 연통되어 내부 공기가 배출될 수 있는 중공부가 형성되고, 상기 중공부 하측에는 상기 마스크글라스가 흡착될 수 있게 흡착수단이 구비되는 마스크글라스 지지바를 포함하여 구성된다.
또한 본 고안의 상기 마스크글라스 지지바는 상기 중공부가 관통 형성되는 일정 길이의 중공바와 상기 중공바의 양측 단부에 각각 결합되는 밀폐부재로 구성될 수 있다.
또 상기 중공바는 상기 흡착수단이 구비되는 일정 길이의 베이스플레이트와 상기 베이스플레이트 상부에 결합하되 상기 중공부가 형성되도록 하부가 개방된 상부지지관으로 구성된다.
이때 상기 상부지지관은 반원형으로 구비될 수 있다.
한편 본 고안의 상기 밀폐부재는 상기 공기배출수단과 연결될 수 있게 중앙부에 상기 중공부와 연통되는 배출구가 관통 형성된다.
또 상기 고정프레임은 상기 마스크글라스 지지바의 양단부가 각각 안착되어 견고하게 지지될 수 있도록 일정깊이의 양측이 개방된 지지홈이 형성된다.
또한 본 고안의 상기 공기배출수단은 상기 고정프레임에 형성된 지지홈에 삽입되어 일단부가 상기 밀폐부재의 외측면에 밀착되게 설치하되, 상기 밀폐부재의 배출구와 일단이 연통되고 타단은 외부에 노출되는 연결관이 관통 형성된 고정블록 및 상기 연결관의 타단에 연결되는 배출관을 포함하여 구성된다,
한편 상기 흡착수단은 상기 중공부와 연통되도록 관통 형성하되, 상기 마스크글라스 지지바의 길이 방향을 따라 다수개가 이격되게 배열 설치되는 관통공으로 구성될 수 있다.
본 고안의 상기 마스크글라스 지지바는 자외선의 투과율이 높은 석영(Quartz) 소재로 형성될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안은 첫째, 마스크글라스를 지지하는 마스크글라스 지지바의 대형화가 용이할 뿐 아니라, 제조단가 또한 절감할 수 있는 효과가 있다.
둘째, 마스크글라스 지지바의 중량이 현저히 감소됨으로써, 운반 및 설치가 용이하여 작업능률을 향상시키는 효과가 있다.
셋째, 다수개의 마스크글라스 지지바에 의해 마스크글라스를 고정시킴으로써 손상이나 파손시 개별적인 수리 또는 교체가 가능하여 유지보수가 용이하고 또한 유지보수 비용이 현저히 절감되는 효과가 있다.
넷째, 마스크글라스 지지바의 자중에 의한 처짐이 방지될 뿐 아니라, 마스크글라스의 처짐 또한 방지됨으로써, 마스크글라스의 변형을 방지하여 실란트의 경화품질을 현저히 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
다섯째, 자외선의 조도 손실이 낮아 공정시간을 단축시킬 수 있어 생산성 증대의 효과가 있을 뿐 아니라, 공정효율 또한 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이하 본 고안에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 고안의 마스크글라스 지지유닛(80)이 설치된 실란트 경화장치의 개략적인 단면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 고안의 마스크글라스 지지유닛(80)과 마스크글라스(100)의 분해 사시도를 나타낸 것이다.
실란트 경화장치는 챔버(1), 발광부(5), 마스크글라스 지지유닛(80), 및 기판지지부(10)를 포함하여 구성된다.
챔버(1)는 일정 크기로 형성되어 실란트 경화작업이 진행되기 위한 공간을 제공하게 된다.
발광부(5)는 자외선램프(6)를 이용하여 자외선(UV:Ultra violet)을 기판(110)에 조사하는 것으로서, 챔버(1) 내측 상부에 설치되고, 기판지지부(10)는 LCD panel인 기판(110)을 로딩시키는 것으로서, 챔버(1) 하측부에 설치된다.
이때 기판지지부(10)는 상,하로 승강 가능하게 설치되어 기판(110)을 적정 위치에 로딩시키게 된다.
발광부(5)의 자외선램프(6)는 챔버(1) 상부에서 기판지지부(10)에 로딩된 기판(110) 전체에 대해 자외선을 조사할 수 있도록 셋팅된다.
한편 마스크글라스 지지유닛(80)은 챔버(1) 내의 발광부(5)와 기판지지 부(10) 사이에 설치되는 것으로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 고정프레임(20)과 마스크글라스 지지바(30) 및 공기배출수단(60)으로 구성된다.
고정프레임(20)은 일정한 크기의 사각 틀을 형성하는 것으로서, 기판(110)의 크기에 대응되는 마스크글라스(100)가 고정되어 지지될 수 있도록 내측에 적절한 크기의 공간을 형성하며, 챔버(1) 내측에 고정 설치되어 마스크글라스 지지바(30)를 고정시키는 역할을 하게 된다.
한편 본 고안의 마스크글라스 지지바(30)는 고정프레임(20) 내측에 다수개가 이격되게 배열 설치되며, 하기에서 설명하는 밀폐부재(37)의 배출구(38)가 진공펌프(도시하지 않음)에 연결되는 공기배출수단(60)과 연통되도록 고정되는 것이다.
공기배출수단(60)은 배출구(38)와 연결되어 공기의 배출 경로를 제공하게 된다.
따라서 마스크글라스 지지바(30)는 진공펌프와 공기배출수단(60)에 의해 중공부(36)가 진공 상태를 유지하게 됨으로써, 마스킹 패턴(105)이 형성된 마스크글라스(100)을 진공 흡착시켜 챔버(1) 내 일정 위치에 고정시키게 되는 것이다.
따라서 마스크글라스 지지바(30)는 자외선의 진행 경로 상의 최소한의 면적만 차지하게 된다.
한편 도 4에 도시된 바와 같이, 마스크글라스(100)는 마스크글라스 지지유닛(80)의 하측부에 고정 설치되는 것으로서, 발광부(5)에서 조사되는 자외선이 기판(110)의 실란트(115)에만 국부적으로 노출될 수 있도록 표면에 마스킹 패턴(105)이 형성되며, 이때 마스킹 패턴(105)은 기판(110)의 액정(116)을 밀봉시키는 실란 트(115) 도포지점에 대응되게 자외선이 투과될 수 있는 슬롯(slot) 형태의 투과부(106)가 형성된다.
따라서 자외선램프(6)로부터 조사되는 자외선은 본 고안의 마스크글라스 지지바(30) 하측면에 고정된 마스크글라스(100)의 투과부(106)를 통해서만 투과되어 기판(110)의 실란트(115)에만 국부적으로 조사됨으로써, 실란트(115)를 경화시키게 되는 것이다
이하 도 5 내지 도 7을 참조하여 본 고안의 마스크글라스 지지바를 상세히 설명한다.
도 5는 본 고안의 마스크글라스 지지바(30)의 사시도를 나타낸 것이고, 도 6은 도 5의 부분 사시도를 나타낸 것이며, 도 7은 도 5의 부분단면 사시도를 나타낸 것이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 고안의 마스크글라스 지지바(30)는 중공바(35)와 밀폐부재(37)로 구성된다.
마스크글라스 지지바(30)는 일반적으로 빛의 투과가 용이한 투명 유리판 즉, 마스크 지지용 글라스를 사용할 수 있으나, 물리적인 변형이 적고 자외선의 투과율이 일반 투명 유리보다 높은 석영(수정, Quartz)을 사용하는 것이 바람직하다.
중공바(35)는 마스크글라스(100)를 진공 흡착시킬 수 있게 마스크글라스(100)의 크기에 대응되도록 일정 길이로 형성되는 것으로서, 내부에 중공부(36)가 형성되도록 베이스플레이트(32)와 상부지지관(31)으로 구성된다.
베이스플레이트(32)는 하측면에 마스크글라스(100)의 상부면이 밀착되어 진 공 흡착될 수 있게 일정 두께의 판재 형상으로 구비되며, 중앙부에는 다수개의 흡착수단(33)이 형성된다.
흡착수단(33)은 마스크글라스(100)가 베이스플레이트(32)의 하측면에 밀착되어 진공 흡착될 수 있게 하는 것으로서, 베이스플레이트(32)의 중앙부 길이 방향을 따라 다수개가 이격되도록 배열 형성하되, 중공부(36)와 베이스플레이트(32)의 하측면 외부가 연통되도록 일정 직경의 관통공으로 구성된다.
관통공은 도시된 바와 같이, 원통형으로 한정되는 아니며, 삼각형이나 사각형 또는 슬롯형 등 다양한 형태로 구비될 수 있으며, 또한 베이스플레이트(32)에 복수로 배열될 수도 있을 것이다.
한편 상부지지관(31)은 내측에 중공부(36)가 형성되도록 반원형으로 형성되며, 하측 선단부는 베이스플레이트(32)의 상부 양측면에 각각 결합된다.
이때 상부지지관(31)과 베이스플레이트(32)는 중공부(36)가 외부와 완전히 격리될 수 있도록 열 용접(welding) 등을 통해 결합시키는 것이 바람직하다.
따라서 중공부(36)는 베이스플레이트(32)의 흡착수단(33)에 의해 하측 외부와 연통되게 된다.
한편 상부지지관(31)은 베이스플레이트(32)보다 길이가 약간 짧게 형성되도록 하여 베이스플레이트(32)의 양단부 상측면에 하기에서 설명하는 밀폐부재(37)가 각각 결합될 수 있도록 한다.
밀폐부재(37)는 외주면이 상부지지관(31)의 외주면과 대응되도록 반원형으로 형성되며, 중공부(36)가 밀폐될 수 있게 상부지지관(31)과 베이스플레이트(32)에 열 용접되어 결합될 수 있으며, 이때 중앙부에는 중공부(36)가 외부와 연통되도록 배출구(38)가 관통 형성된다.
배출구(38)는 도시된 바와 같이, 일정 직경의 원통형으로 형성되거나 또는 사각형 등 다양한 형태로 형성될 수 있으며, 도 2에 도시된 공기배출수단(60)과 연결된다.
따라서 마스크글라스 지지바(30)의 중공부(36)는 베이스플레이트(32)의 흡착수단(33)과 밀폐부재(37)의 배출구(38)를 통해서만 외부와 연통되게 된다.
마스크글라스 지지바(30)는 양단부가 고정프레임(20)에 각각 고정 결합되며, 마스크글라스 지지바(30)에 대응되게 고정프레임(20)에 설치된 공기배출수단(60)과 결합되는 것이다.
이때 밀폐부재(37)의 배출구(38)가 진공펌프와 연결되는 공기배출수단(60)과 연통되도록 연결되는 것이다.
한편 도 8은 본 고안의 마스크글라스 지지바와 공기배출수단의 분해 사시도를 나타낸 것이다.
도시된 바와 같이, 고정프레임(20)의 상부면에는 마스크글라스 지지바(30)의 양단을 지지할 수 있는 양측이 개방된 지지홈(25)이 일정 간격으로 이격되어 서로 마주볼 수 있게 다수개가 각각 형성된다.
이때 지지홈(25)은 마스크글라스 지지바(30)의 높이와 폭에 대응되게 사각형상으로 형성된다.
한편 마스크글라스 지지바(30)는 양단이 고정프레임(20)의 지지홈(25)에 삽 입되어 고정프레임(20)의 내측에 일정 간격으로 이격되어 배열 설치되며, 이때 양단은 지지홈(25)의 중앙부까지 삽입되어 끼워지게 된다.
공기배출수단(60)은 고정블록(40)과 고정블록(40) 상부에 결합되는 배출관(50)으로 구성된다.
고정블록(40)은 고정프레임(20)의 지지홈(25)에 일단부가 끼워져 마스크글라스 지지바(30)의 단부에 밀착되어 마스크글라스 지지바(30)를 고정시키는 것으로서, 지지홈(25)에 대응되는 크기의 사각 형태로 형성되며, 후단부 양측에는 고정프레임(20)에 나사결합될 수 있게 절곡되어 돌출 형성된 고정부(41)가 각각 구비된다.
또한 고정블록(40) 내부에는 일단이 밀폐부재(37)의 배출구(38)와 연통될 수 있게 전면 중앙부에 노출되고, 타단은 상부면에 노출되는 연결관(48)이 관통 형성된다.
한편 마스크글라스 지지바(30)와 고정블록(40)이 밀착되는 부위에서의 공기의 누출이 방지될 수 있게 고정블록(40) 전면의 연결관(48)의 둘레를 따라 일정 깊이의 원형 띠 형상의 요입홈(46)을 형성하고, 이 요입홈(46)에는 공기 누출을 방지할 수 있는 실링부재(45)가 설치된다.
실링부재(45)는 오링(O-ring) 등을 사용할 수 있으며, 공기 누출 방지 패드 등을 고정블록(40)의 단부에 설치할 수도 있을 것이다.
또한 마스크글라스 지지바(30)가 상부로 이탈되는 것이 방지될 수 있게 마스크글라스 지지바(30)의 단부 상측에는 양측이 고정프레임(20)에 나사(70a)로 결합 되는 고정브래킷(70)이 구비되는 것이 바람직하다.
한편 배출관(50)은 유입관(52)과 유입관(52) 상부 양측에 대칭되게 형성되는 연결구(53)가 구비되어 'T' 자 형태로 형성되며, 이때 유입관(52)의 단부는 고정블록(40)의 상부면에 노출된 연결관(48)의 단부와 연통될 수 있게 결합된다.
이때 유입관(52)은 연결관(48)의 단부에 나사 결합될 수 있다.
또한 배출관(50)은 인접된 타 배출관(50)과 연통될 수 있게 연결구(53)를 별도의 외부 연결관(도시하지 않음)으로 서로 연결시키고, 이 외부 연결관은 하나 또는 다수의 진공펌프(도시하지 않음)와 연결된다.
따라서 진공펌프는 다수개의 마스크글라스 지지바(30)의 중공부(36)와 흡착수단(33) 내부의 공기를 외부로 배출시켜 마스크글라스(100)를 마스크글라스 지지바(30)의 하측면에 진공 흡착시키게 되는 것이다.
이하 도 9를 참조하여 본 고안의 작동과정을 상세히 설명한다.
도 9는 본 고안의 마스크글라스 지지바의 부분 측단면도를 나타낸 것이다.
도시된 바와 같이, 마스크글라스(100)가 마스크글라스 지지바(30)의 베이스플레이트(32) 하측면에 밀착된 상태에서 진공펌프가 작동되면 중공부(36)의 내부 공기는 배출구(38)를 통해 화살표와 같이 배출된 후, 공기배출수단(60)을 경유하여 외부로 강제 배출되고, 이때, 베이스플레이트(32)의 흡입수단(33)의 관통공 내의 공기 또한 중공부(36)와 밀폐부재(37)의 배출구(38)를 경유하여 공기배출수단(60)을 통해 외부에 배출되게 된다.
따라서 중공부(36)가 진공 상태를 유지하게 됨으로써 베이스플레이트(32) 하 측면에 밀착된 마스크글라스(100)는 마스크글라스 지지바(30)의 하측면에 상측면이 밀착되어 진공 흡착된 상태로 고정되게 되는 것이다.
이때 본 고안의 마스크글라스 지지바(30)는 고정프레임(20) 내에 다수개가 배열 설치됨으로써, 마스크글라스(100)를 일정 간격으로 진공 흡착시켜 고정시키게 되는 것이다.
따라서 본 고안은 마스크글라스 지지바(30)가 중공형으로 형성됨으로써, 자체 중량 감소에 따른 경량화로 인해 운반이나 설치가 용이하게 되고, 또한 유지보수 비용을 절감할 수 있게 되며, 마스크글라스 지지바(30)의 자중에 의한 처짐이 방지됨으로써, 파손이나 변형 등의 방지는 물론 마스크글라스(100)의 처짐 또한 방지함으로써, 마스크글라스(100)의 변형을 최소화하여 마스크글라스(100)와 유리 기판(110)의 이격 거리를 단축시켜 자외선의 조도 손실을 방지함과 동시에 실란트의 경화품질을 향상시킬 수 있게 되는 것이다.
이상, 상기의 실시 예는 단지 설명의 편의를 위해 예시로서 설명한 것에 불과하므로 실용신안등록청구범위를 한정하는 것은 아니다.
도 1은 종래의 실란트 경화장치의 개략 단면도,
도 2는 종래의 마스크글라스 지지유닛과 마스크글라스의 사시도,
도 3은 본 고안의 마스크글라스 지지유닛이 설치된 실란트 경화장치의 개략 단면도,
도 4는 본 고안의 마스크글라스 지지유닛과 마스크글라스의 분해 사시도,
도 5는 본 고안의 마스크글라스 지지유닛의 사시도,
도 6은 도 5의 부분 사시도,
도 7은 도 5의 부분단면 사시도,
도 8은 본 고안의 마스크글라스 지지바와 공기배출수단의 분해 사시도,
도 9는 본 고안의 마스크글라스 지지바의 부분 측단면도,
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 챔버 5 : 발광부
6 : 자외선램프 10 : 기판지지부
15 : 스테이지 16 : 지지대
20,122 : 고정프레임 25 : 지지홈
30 : 마스크글라스 지지바 31 : 상부지지관
32 : 베이스플레이트 33 : 흡착수단
35 : 중공바 36 : 중공부
37 : 밀폐부재 38 : 배출구
40 : 고정블록 41 : 고정부
45 : 실링부재 46 : 요입홈
48 : 연결관 40a,70a : 나사
50 : 배출관 52 : 유입관
53 : 연결구 60,125 : 공기배출수단
70 : 고정브래킷 80,120 : 마스크글라스 지지유닛
100 : 마스크글라스 105 : 패턴
106 : 투과부 110 : 기판
115 : 실란트 116 : 액정
121 : 마스크지지글라스 127 : 흡착홈

Claims (9)

  1. 챔버 내측면에 고정 설치되어 일정 크기의 외곽 틀을 형성하는 고정프레임;
    상기 고정프레임 상에 다수개가 이격되게 배열 설치되는 공기배출수단; 및
    상기 공기배출수단에 대응되도록 상기 고정프레임 내측에 다수개가 이격되게 배열 설치되어 마스크글라스를 진공 흡착시킬 수 있게 구비하되, 상기 공기배출수단과 연통되어 내부 공기가 배출될 수 있는 중공부가 형성되고, 상기 중공부 하측에는 상기 마스크글라스가 흡착될 수 있게 흡착수단이 구비되는 마스크글라스 지지바;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크글라스 지지유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마스크글라스 지지바는,
    상기 중공부가 관통 형성되는 일정 길이의 중공바와 상기 중공바의 양측 단부에 각각 결합되는 밀폐부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크글라스 지지유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 중공바는 상기 흡착수단이 구비되는 일정 길이의 베이스플레이트와 상기 베이스플레이트 상부에 결합하되 상기 중공부가 형성되도록 하부가 개방된 상부 지지관으로 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크글라스 지지유닛.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 상부지지관은 반원형으로 구비되는 것을 특징으로 하는 마스크글라스 지지유닛.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 밀폐부재는 상기 공기배출수단과 연결될 수 있게 중앙부에 상기 중공부와 연통되는 배출구가 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크글라스 지지유닛.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 고정프레임은,
    상기 마스크글라스 지지바의 양단부가 각각 안착되어 견고하게 지지될 수 있도록 일정깊이의 양측이 개방된 지지홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크글라스 지지유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 공기배출수단은,
    상기 고정프레임에 형성된 지지홈에 삽입되어 일단부가 상기 밀폐부재의 외측면에 밀착되게 설치하되, 상기 밀폐부재의 배출구와 일단이 연통되고 타단은 외 부에 노출되는 연결관이 관통 형성된 고정블록; 및
    상기 연결관의 타단에 연결되는 배출관;
    을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 마스크글라스 지지유닛.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 흡착수단은 상기 중공부와 연통되도록 관통 형성하되, 상기 마스크글라스 지지바의 길이 방향을 따라 다수개가 이격되게 배열 설치되는 관통공으로 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크글라스 지지유닛.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 마스크글라스 지지바는 자외선의 투과율이 높은 석영(Quartz) 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크글라스 지지유닛.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2018152438A (ja) * 2017-03-10 2018-09-27 東京応化工業株式会社 紫外線照射装置及び紫外線照射方法

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