KR100930155B1 - 롱 아크 유브이 램프를 이용한 노광 및 경화 장치 - Google Patents

롱 아크 유브이 램프를 이용한 노광 및 경화 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 롱 아크 UV 램프가 장착되는 램프하우징을 대면적의 평판 디스플레이의 전면유리를 커버(cover)할 수 있는 수량만큼 장착하고, 일정범위 내에서 램프하우징을 좌/우 방향으로 흔들어 주거나 또는 스캔(scan)함으로써 점광원에 비하여 조도의 균일성이 떨어지는 문제점을 극복하고 이와 동시에 롱 아크 UV 램프의 길이방향으로의 조도 균일성은 필터(filter)를 이용하여 자외선 투과율을 가운데를 낮추고 끝부분으로 갈수록 투과율을 높이는 방식으로 자외선 영역 파장대만 투과할 수 있도록 코팅 처리하고, 특히 이와 같은 구성을 가지는 노광장치를 UV 램프의 길이방향으로 두 개 이상 설치하여 구성함으로써 조도의 균일성을 향상시킬 수 있는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광장치를 제시한다.
평판디스플레이, 롱 아크 UV 램프, 필터, LCD, PDP, 노광, 경화, 직렬배치

Description

롱 아크 유브이 램프를 이용한 노광 및 경화 장치{exposure apparatus using long arc uv lamp}
본 발명은 평판 디스플레이 제품인 LCD 또는 PDP 등의 전면유리에 패턴을 형성하는 노광장치 및 경화제를 이용하여 평판 디스플레이의 표면을 경화시키는 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 대면적용 LCD 또는 PDP 등을 노광 또는 경화시킬 때 롱 아크 UV 램프를 이용함으로써 제품의 생산원가를 낮추고 생산성을 높일 뿐만 아니라 제품의 균일성을 향상시킬 수 있고 또한 상기 롱 아크 UV 램프를 길이방향으로 두 개 이상 배치하여 조도의 균일성(Uniformity)을 향상시킬 수 있으며 특히 롱 아크 UV 램프의 하부에 워터 자켓을 설치하여 고온으로 인한 대면적 평판 디스플레이의 변형을 방지할 수 있는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치에 관한 것이다.
현대는 영상화, 정보화 사회라고 불리고 있는 만큼 정보처리 시스템의 발전에 따라 많은 량의 정보를 디스플레이할 수 있는 대면적용 디스플레이 소자들이 개 발되고 있는 실정이다. 그리고 최근 소비자의 요구가 설치공간을 작게 차지하면서 대형화면을 제공할 수 있는 디스플레이 소자로 바뀌면서, 상기와 같은 요구를 충족시킬 수 있는 유기 EL(electro luminescent), LCD(liquid crystal display) 및 PDP(plasma display panel) 등의 평판 디스플레이(flat panel display) 제품이 개발되어 상용화되고 있다.
상기와 같은 대면적 평판 디스플레이 소자들은 패턴 형성을 위해 포토 마스크를 이용한 대면적 노광장치가 필요로 하는데, 구체적으로는 점광원(short arc) 초고압 수은등을 이용한 타원집광경과 플라이 아이 렌즈(fly-eye lens) 및 집광 렌즈(condenser lens) 등을 이용하여 평판 디스플레이의 전면유리에 약 90% 이상의 조도로 자외선(특히, 365nm의 i선)을 조사하여 노광 작업을 실시하고 있다.
그러나, 위와 같은 종래의 노광장치는 고비용의 유지비가 필요할 뿐만 아니라 초고압 수은등(점광원)의 단수명으로 인해 교체비용이 많이 소요되고 또한 상기 초고압 수은등의 고가로 인해 생산원가를 낮추는데 한계가 있다. 또한 종래의 경화장치는 별도의 냉각장치가 설치되어 있지 않기 때문에 노광 작업이나 경화 작업시에 램프에서 발산되는 고온으로 인해 대면적 평판디스플레이의 표면이 변형되는 문제점이 있었다.
종래기술의 문헌정보
[문헌 1] 등록실용신안공보 제20-0245077호(노광장치)
[문헌 2] 공개특허공보 제2001-0055188호(노광기용 조명 광학장치)
[문헌 3] 등록특허공보 제10-0360450호(수직형 노광장치의 마스크 정렬장치)
[문헌 4] 공개특허공보 제10-2005-0061231호(텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털 노광장치)
[문헌 5] 공개특허공보 제10-2006-0122505호(노광장치)
본 발명은 점광원에 비하여 저렴한 롱 아크(long arc) UV 램프를 이용하고 상기 UV 램프를 길이방향으로 두 개 이상 배치하여 조도의 균일성을 향상시키면서 대면적의 평판 디스플레이의 표면을 노광 및 경화시킬 수 있는 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은 롱 아크 UV 램프의 하부에 워터 자켓을 설치하여 상기 UV 램프로부터 발산되는 고온의 열로 인해 대면적 평판디스플레이가 변형되는 것을 방지할 수 있는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은 대면적의 평판 디스플레이를 노광 및 경화 작업을 수행할 때 조도의 균일성(uniformity)을 유지하고 생산성을 높일 수 있는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 평판 디스플레이의 전면유리에 포토 마스크를 이용한 노광 공정 또는 경화제를 이용한 경화 공정을 수행하기 위한 노광 및 경화 장치에 있어서, 적어도 한 개 이상의 롱 아크 UV 램프와, 상기 롱 아크 UV 램프가 설치되는 램프하우징과, 상기 램프하우징을 좌/우 방향으로 이동시키기 위한 이송축과, 상기 램프하우징에 설치되는 반사경 및 필터와, 상기 램프하우징의 하측으로 일정 간격을 유지하면서 설치되어 상기 평판 디스플레이가 놓여지는 고정대를 포함하는 노광장치를 구성하며, 상기 노광장치는 상기 롱 아크 UV 램프의 길이방향으로 적어도 두 개 이상을 직렬로 배치하여 조도의 균일성을 향상시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 평판 디스플레이의 전면유리에 포토 마스크를 이용한 노광 공정 또는 경화제를 이용한 경화 공정을 수행하기 위한 노광 및 경화 장치에 있어서, 적어도 한 개 이상의 롱 아크 UV 램프와, 상기 롱 아크 UV 램프가 설치되는 램프하우징과, 상기 램프하우징을 고정 설치하기 위한 고정축과, 상기 램프하우징에 설치되는 반사경 및 필터와, 상기 램프하우징의 하측으로 일정 간격을 유지하면서 설치되어 상기 평판 디스플레이를 이송시키기 위한 이송대와, 상기 램프하우징의 저면에 설치되는 반사판을 포함하는 노광장치를 구성하며, 상기 노광장치는 상기 롱 아크 UV 램프의 길이방향으로 적어도 두 개 이상을 직렬로 배치하여 조도의 균일성을 향상시키는 것을 특징으로 한다.
그리고, 본 발명은 상기한 바와 같은 구성을 구비하면서 상기 필터의 하부에는 상기 UV 램프로부터 발산되는 고온의 열로 인해 상기 평판 디스플레이가 변형되는 것을 방지하기 위한 워터 자켓을 설치하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 플라이 아이 렌즈와 집광 렌즈 및 여러 가지의 반사 미러(구면경, 평면경)가 필요하지 않게 되고, 쇼트 아크 램프(short arc lamp)에 비하여 저렴한 가격으로 램프를 사용할 수 있으며, 또한 상기의 구성품들을 사용하지 않으므로 인해 생산원가를 낮추고 생산성을 높일 수 있는 장점이 있다. 뿐만 아니라 종래의 노광장치에 적용된 쇼트 아크 램프의 수명은 보통 500~1000시간이지만 본 발명에서 사용하고 있는 롱 아크 UV 램프의 경우는 800~2000시간 정도 사용할 수 있기 때문에 교체 비용을 절감할 수 있다.
특히, 쇼트 아크 램프를 채용한 종래의 노광장치는 통상 1m×1m 이내의 평판 디스플레이를 노광 또는 경화시킬 수 있는 반면에 롱 아크 UV 램프를 적용한 본 발명의 노광장치는 대면적(1m×1m 이상)의 평판 디스플레이를 노광 또는 경화시킬 수 장점이 있다.
또한, 본 발명은 롱 아크 UV 램프의 하단에 필터를 설치하고 상기 UV 램프가 설치된 램프하우징을 좌/우 방향으로 작동시키거나 또는 평판 디스플레이를 이동시키면서 평판 디스플레이를 노광 및 경화 작업을 수행할 뿐만 아니라 상기 UV 램프를 길이방향으로 두 개 이상 배치하여 구성함으로써 조도의 균일성을 높이고 불량률을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 본 발명은 필터의 하부에 별도의 워터 자켓을 설치함으로써 상기 롱 아크 UV 램프로부터 발산되는 고온의 열을 차단시켜 대면적 평판디스플레의 표면이 고열에 의해 변형되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
이하 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 후술 될 상세한 설명에서는 상술한 기술적 과제를 이루기 위해 본 발명에 있어 대표적인 실시 예를 제시할 것이다. 그리고 본 발명으로 제시될 수 있는 다른 실시 예들은 본 발명의 구성에서 설명으로 대체한다.
본 발명은 CRT를 대체하는 LCD 또는 PDP 등과 같은 대면적의 평판 디스플레이의 노광 또는 경화 작업시에 점광원에 비하여 가격이 저렴한 롱 아크 UV 램프를 이용하여 조도의 균일성을 구현하고 생산 원가를 낮추면서 생산성을 향상시킬 수 있는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광장치를 구현하고자 한다.
구체적으로는, 본 발명은 롱 아크 UV 램프가 장착되는 램프하우징을 대면적의 평판 디스플레이의 전면유리를 커버(cover)할 수 있는 수량만큼 장착하고, 일정범위 내에서 램프하우징을 좌/우 방향으로 흔들어 주거나 또는 스캔(scan)함으로써 점광원에 비하여 조도의 균일성이 떨어지는 문제점을 극복하고 이와 동시에 롱 아크 UV 램프의 길이방향으로의 조도 균일성은 필터(filter)를 이용하여 자외선 투과율을 가운데를 낮추고 끝부분으로 갈수록 투과율을 높이는 방식으로 자외선 영역 파장대만 투과할 수 있도록 코팅 처리하고, 특히 이와 같은 구성을 가지는 노광장치를 UV 램프의 길이방향으로 두 개 이상 설치하여 조도의 균일성을 향상시킬 수 있도록 구성한 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광장치를 제시한다.
여기서, 롱 아크 UV 램프가 설치된 노광장치를 한 개를 사용하지 않고 UV 램프의 길이방향으로 두 개 이상을 설치하여 노광 작업을 수행하게 되면, 1개의 노광 장치를 설치한 것에 비해 조도의 균일성을 좀더 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 즉, 대면적 한쪽면 기준(1500mm 이상)의 평판 디스플레이 제품을 롱 아크 UV 램프 한 개로 노광 작업을 진행할 때, 평판 디스플레이의 전면유리 크기(size)가 커짐에 따라 UV 램프의 길이도 길어져야 하는데, UV 램프의 길이가 1500mm 이상(3000mm 수준)까지 제작은 가능하나 제작상 어렵고 또한 UV 램프의 취급(운송 및 교체)이 어려운 점등이 있으며, 또한 UV 램프의 길이가 길어짐에 따라 휨 문제가 발생하기 쉽고, 조도의 균일성을 향상시키기에는 더 어려운 문제점이 있기에 본 발명과 같이 두 개의 노광장치를 UV 램프의 길이방향으로 배치하여 사용함으로써 위와 같은 문제점들을 해결할 수 있었다.
위에서 본 바와 같이 두 개 이상의 노광장치를 설치하고 롱 아크 UV 램프를 이용하여 노광 공정을 수행하는 본 발명의 장치는 램프하우징을 좌/우 방향으로 흔들어 줌으로써 램프하우징 간에 존재하는 조도 차이를 줄일 수 있고, 또한 롱 아크 UV 램프의 길이에 따른 조도 차이를 필터의 위치별로 투과율을 조정하여 램프 길이별 조도 차이를 최소화함으로써 전체적인 조도의 균일성을 평형광과 유사하게 가져갈 수 있다.
또한, 본 발명은 램프하우징을 한 개 또는 여러 개 설치하면서 상기 램프하우징의 아래쪽에 반사판을 설치하여 램프하우징은 이동하지 않고 대면적의 평판 디스플레이 제품이 이동하면서 노광 작업 또는 경화 작업이 가능하도록 하는 장치를 구현할 수 있다. 이때 상기 반사판을 설치한 상태에서 평판 디스플레이 제품은 그대로 있고 램프하우징이 이동하면서 노광 작업 또는 경화 작업이 가능하도록 장치 를 제작할 수도 있다.
그리고, 본 발명은 롱 아크 UV 램프의 길이방향으로 직렬로 배치된 램프하우징의 중앙부분을 약간 높이는, 구체적으로는 상기 램프하우징의 좌/우 측면 하단을 기준면으로 할 경우 약 30°이하로 램프하우징을 위치시켜 램프하우징 간 직렬로 중첩되는 부분의 조도 균일성을 향상시킬 수 있는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광장치를 구현할 수 있다.
여기서, 본 발명은 위와 같은 구성을 가지는 노광장치에 별도의 워터 자켓을 설치함으로써 롱 아크 UV 램프로부터 발산되는 고온의 열을 떨어뜨려 대면적 평판 디스플레이의 표면이 변형되는 것을 방지할 수 있도록 구성한다. 즉, 전술한 필터의 하부에 투명한 재질(예를 들어, 글래스류 등)로 된 평면형태의 상/하 플레이트를 구성하고, 그 사이에 투명한 액체의 냉매를 공급하여 평판 디스플레이의 표면에 전달되는 온도를 떨어뜨리는 역할을 한다. 이때 상기 상/하 플레이트는 빛을 투과할 수 있는 글래스류(구체적으로는, Quartz, Pyrex, 기타 유리 등)로 제작하는 것이 바람직하고, 상기 상/하 플레이트 사이에 유입구와 배출구 및 유로를 형성시켜 투명액체로 된 냉각수 또는 물을 공급하여 사용할 수 있도록 한다.
한편, 본 발명은 LCD 또는 PDP 등의 대면적 평판 디스플레이의 노광 공정시에 적용되는 장치로서, 상기 노광장치는 평판 디스플레이의 경화 작업에도 동일하게 적용됨을 미리 밝혀두는 바이다. 즉, 상기 대면적의 평판 디스플레이를 경화제를 이용한 경화 작업시에 본 발명의 노광장치를 이용하게 되면 노광 작업시에 얻어지는 목적 및 효과를 구현할 수 있으며, 이는 종래에도 노광장치를 이용하여 LCD 또는 PDP 등의 평판 디스플레이를 경화시키는 작업을 진행하기 때문에 본 발명의 노광장치도 평판 디스플레이의 경화 작업시에 동일하게 적용할 수 있다. 따라서 본 발명에서는 노광장치에 대해서 기술하였지만 본 발명의 권리범위가 상기 노광장치에 한정되어서는 아니 될 것이고 대면적의 평판 디스플레이의 노광 공정 또는 경화 공정에 모두 적용되는 것이 바람직할 것이다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 의거 상세히 설명하겠는 바, 상기 본 발명이 실시 예에 의해 한정되는 것은 아니다.
{실시예 1}
도 1과 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 노광장치는 대면적의 평판 디스플레이의 전면유리(20)에 노광 공정을 수행하는 장치로서, 조도의 균일성을 향상시키기 위하여 두 개의 노광장치(100,200)를 UV 램프(16)의 길이방향으로 직렬로 설치하여 구성한 것이다. 즉, 본 발명은 제1 노광장치(100)가 좌측에 설치되고, 그 우측으로 제2 노광장치(200)가 설치됨으로써 대면적의 평판 디스플레이(한쪽면 기준 1500mm 이상)의 노광 작업을 수행할 수 있다. 이때, 상기 제1 노광장치(100)와 제2 노광장치(200)는 동일한 기술적 구성을 하고 있으며, 이러한 이유로 하기에서는 제1 노광장치(100)의 구성 요소만을 구체적으로 설명할 것이다.
상기 제1 노광장치(100)는 적어도 한 개 이상의 롱 아크 UV 램프(이하 "UV 램프(16)"라 함), 램프하우징(12), 필터(18), 이송축(10), 반사경(14), 그리고 워터 자켓(W)으로 구성된다. 이때 상기 UV 램프(16)는 평판 디스플레이의 전면유 리(20)(이하 "전면유리(20)"라 함)를 커버(cover)할 수 있는 개수만큼 설치되는 것이 바람직하고, 상기 UV 램프(16)의 개수에 따라 램프하우징(12)과 반사경(14) 및 필터(18)도 동일한 개수로 설치된다.
상기 UV 램프(16)는 램프하우징(12)에 설치되는데, 상기 램프하우징(12)은 위에서 언급한 것처럼 적어도 한 개 이상으로 구성되고 이들은 이송축(10)에 설치된다. 상기 이송축(10)은 램프하우징(12)을 좌/우 방향으로 이동시키는 역할을 하며, 이러한 동작에 따라 램프하우징(12) 간에 존재하는 조도 차이를 줄일 수 있고 또한 점광원에 비하여 조도의 균일성이 떨어지는 문제점을 극복할 수 있다. 이때 상기 이송축(10)의 상세구성은 통상적인 동력전달장치를 적용하면 되고, 예를 들어 모터, 기어, 벨트 등으로 구성된 통상의 구동장치를 사용한다.
상기 UV 램프(16)가 설치된 램프하우징(12)에는 반사경(14)이 설치되고, 상기 반사경(14)은 UV 램프(16)에서 나오는 광원이 전면유리(20) 쪽으로 조사될 수 있도록 상기 광원을 반사시키는 역할을 한다. 또한 상기 반사경(14)에는 필터(18)가 설치되는데, 상기 필터(18)는 롱 아크 UV 램프(16)와 함께 본 발명의 주요구성 요소를 이루며, 상기 UV 램프(16)의 길이방향으로 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 필터(18)는 도 3a에 도시한 바와 같이 UV 램프(16)의 길이방향으로 투과율(A,B,C)을 다르게 형성하는데, 바람직하게는 UV 램프(16)에서 조사되는 광원의 투과율을 필터(18)의 중앙부분(A)은 낮추고 양측 끝부분(B,C)으로 갈수록 투과율을 높이는 방식으로 자외선 영역 파장대만 투과할 수 있도록 코팅을 하여 필터(18)를 제작한다. 예를 들면, 필터(18)의 중앙을 기점으로 하여 중앙부분(A)은 투과율을 50%로 하고 양측으로 갈수록 70%의 투과율(B)과 90%의 투과율(C)이 되도록 형성할 수 있다. 이와 같이 투과율을 다르게 필터(18)를 구성하게 되면, UV 램프(16)의 길이에 따른 조도 차이를 최소화하여 전체적인 조도의 균일성을 향상시킬 수 있다. 즉, 상기 UV 램프(16)에서 조사되는 광원은 중앙이 제일 강하고 양측으로 갈수록 약하기 때문에 상기와 같이 필터(18)의 투과율을 조정하게 되면 균일한 조도를 구현할 수 있는 것이다.
그리고 전술한 필터(18)는 도 3b에 도시한 바와 같이 길이방향의 중앙지점에도 투과율(D)을 조정할 수 있도록 자외선 영역 파장대만 투과할 수 있도록 코팅을 할 수 있는데, 바람직하게는 UV 램프(16)의 길이방향 가운데 부분에서 조사되는 광원이 제일 강하기 때문에 이 지점의 투과율을 떨어뜨리기 위하여 필터(18)의 가운데 부분에 투과율(D)을 다르게 형성함으로써 UV 램프(16)의 전체적인 조도를 균일하게 맞출 수 있다.
한편, 전술한 필터(18)의 아래쪽에는 워터 자켓(W)이 설치되는데, 상기 워터 자켓(W)은 롱 아크 UV 램프(16)로부터 발산되는 고온의 열로 인해 대면적 평판 디스플레이의 전면유리(20)가 변형되는 것을 방지하며, 그 구성은 도 6과 같다. 즉, 상기 워터 자켓(W)은 평판 타입으로 형성되고, 글래스 재질로 만들어진 상/하 플레이트(100a,100b)로 구성되며, 그 사이에는 유로(102)가 형성된다. 상기 유로(102)가 형성된 지점의 일측 끝부분에는 냉각수(또는 물)가 공급되기 위한 유입구(104a)가 형성되고, 타측 끝부분에는 상기 유로(102)를 통과한 냉각수를 배출하기 위한 배출구(104b)가 형성된다.
끝으로, 전술한 램프하우징(12)의 아래쪽에는 고정대(22)가 설치되는데, 상기 고정대(22)에는 대면적의 평판 플레이트 전면유리(20)가 놓여지고, 상기 램프하우징(12)의 좌/우 이동에 따라 상기 전면유리(20)에는 패턴이 형성되는, 즉 노광 작업이 수행된다.
{실시예 2}
도 4와 도 5에서 도시하고 있는 본 발명의 노광장치는 전술한 실시예 1에서 나타낸 바와 같이 조도의 균일성을 향상시키기 위하여 두 개의 노광장치(300,400)를 UV 램프(56)의 길이방향으로 직렬로 설치하여 구성한 것이다.
구체적으로는, 본 발명은 제3 노광장치(300)가 좌측에 설치되고, 그 우측으로 제4 노광장치(400)가 설치됨으로써 대면적의 평판 디스플레이(한쪽면 기준 1500mm 이상)의 노광 작업을 수행할 수 있다. 이때, 상기 제3 노광장치(300)와 제4 노광장치(400)는 동일한 기술적 구성으로 이루어져 있기 때문에 하기에서는 제3 노광장치(300)의 구성 요소만을 구체적으로 설명할 것이다.
상기 제3 노광장치(300)는 한 개의 롱 아크 UV 램프(56), 상기 UV 램프(56)가 설치된 램프하우징(52), 상기 램프하우징(52)을 고정 설치하기 위한 고정축(50), 그리고 상기 램프하우징(52)에 설치된 반사경(54)과, 상기 반사경(54)에 설치되어 전술한 필터(18)와 동일한 기능을 수행하는 필터(58)로 구성되며, 이러한 기술적 구성은 위에서 언급한 실시예 1의 제1,2 노광장치(100,200)와 동일한 구성임을 알 수 있다. 단지, 상기 UV 램프(16,56)와 램프하우징(12,52)의 개수에 차이가 있고, 실시예 1에서는 램프하우징(12)이 좌/우 방향으로 이동하지만 실시예 2에 서는 램프하우징(52)은 고정되어 있고 평판 디스플레이 전면유리(62)가 놓여지는 이송대(64)가 화살표(←) 방향으로 이동하면서 노광 작업이 이루어진다는 점에서 차이가 있다.
한편, 상기 필터(58)는 전술한 실시예 1에서 제시한 필터(18)와 동일한 구성 및 역할을 수행하는데, 바람직하게는 도 6a 및 도 6b에 도시한 바와 같이 조도의 균일성을 향상시키기 위하여 필터(58)의 표면을 투과율(A,B,C,D)이 다르게 자외선 영역 파장대만 투과할 수 있도록 코팅 처리를 하였다. 또한 상기 필터(58)의 아랫쪽에는 위에서 전술한 실시예 1과 같이 워터 자켓(W)을 설치하여 대면적 평판 디스플레이의 전면유리(62)가 고온에 의해 변형되는 것을 방지한다.
그리고, 실시예 2에서 제시하고 있는 제3,4 노광장치(300,400)는 램프하우징(52)의 아래쪽 양측으로 반사판(60a,60b)을 설치하는데, 이는 UV 램프(56)에서 조사되는 광원이 확산되는 것을 방지하기 위한 것이다. 즉, 상기 반사판(60a,60b)은 UV 램프(56)의 광원이 사방으로 퍼지지 않고 아래쪽으로만 조사되도록 하는 칸막이 역할을 하는데, 이러한 기능으로 인해 평판 디스플레이의 전면유리(62)가 이송대(64)를 타고 화살표(←) 방향으로 이동하면서 노광 작업이 이루어질 때 UV 램프(56)가 위치한 지점에서만 노광 작업이 이루어지고 이 지점을 통과하기 전이나 통과한 후에는 노광 작업이 이루어지지 않도록 하여 전체적으로 균일한 조도를 형성할 수 있도록 한다.
{실시예 3}
도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명의 노광장치는 전술한 실시예 2의 기술적 구성과 동일한 구성요소로 이루어져 있으며, 바람직하게는 조도의 균일성을 향상시키기 위하여 제5 노광장치(500)와 제6 노광장치(600)를 길이방향으로 직렬로 배치한 것이다. 이때, 제5,6 노광장치(500,600)는 동일한 구성으로 이루어져 있으며, 구체적으로는 롱 아크 UV 램프(76), 램프하우징(72), 고정축(70), 반사경(74), 필터(78), 반사판(80)으로 구성된다. 또한 또한 상기 필터(58)의 아랫쪽에는 위에서 전술한 실시예 1과 같이 워터 자켓(W)을 설치하여 대면적 평판 디스플레이의 전면유리(62)가 고온에 의해 변형되는 것을 방지한다. 이와 같은 기술적 구성은 위에서 언급한 제3,4 노광장치(300,400)의 구성 및 작용효과가 모두 동일하므로 하기의 설명에서는 이를 생략할 것이다.
이와 같은 제5,6 노광장치(500,600)는 램프하우징(72)을 UV 램프(76)의 길이방향으로 직력로 배치한 다음, 상기 램프하우징(72)의 중앙부를 약간 높이는 구성, 구체적으로는 좌/우 측면 하단을 기준으로 약 30°이하로 램프하우징(72)을 설치한 것이다.
또한 상기 램프하우징(72)의 아래쪽 테두리면을 따라 반사판(80)이 설치되는데, 상기 반사판(80)은 실시예 2에서 기술하고 있는 반사판(60a,60b)의 역할과 동일한 기능을 한다. 이때 상기 반사판(80)의 재질이나 타입은 UV 램프(76)의 파장에 따라 다양한 종류를 선택하여 사용할 수 있으며, 예를 들어 알루미늄(엠보싱, 전반사 등) 또는 다른 기타 재료(금속, SUS류, Glass류)를 사용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 롱 아크 UV 램프가 설치된 램프하우징을 좌/우 방향으로 이동하면서 LCD 또는 PDP의 전면유리를 경화 및 노광시키는 장치의 구성을 보여주고 있는 정면도.
도 2는 도 1에서 도시하고 있는 노광 및 경화 장치의 구성을 나타낸 측면도.
도 3a 및 도 3b는 도 1에서 도시하고 있는 필터의 투과율을 보여주고 있는 각각의 개략도.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 LCD 또는 PDP가 놓여진 이송대를 좌/우 방향으로 이동하면서 롱 아크 UV 램프로 전면유리를 경화 및 노광시키는 장치의 구성을 보여주고 있는 정면도.
도 5는 도 4에서 도시하고 있는 노광 및 경화 장치의 구성을 나타낸 측면도.
도 6a 및 도 6b는 도 4에서 도시하고 있는 필터의 투과율을 보여주고 있는 각각의 개략도.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 램프하우징을 일정 각도만큼 기울게 설치한 노광 및 경화 장치의 구성을 보여주고 있는 측면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10: 이송축 12, 52, 72: 램프하우징
14, 54, 74: 반사경 16, 56, 76: UV 램프
18, 58, 78: 필터 20, 62, 82: 전면유리
22: 고정대 50,70: 고정축
60a, 60b, 80: 반사판 64: 이송대
100: 제1 노광장치 200: 제2 노광장치
300: 제3 노광장치 400: 제4 노광장치
500: 제5 노광장치 W: 워터 자켓
A, B, C, D: 필터의 투과율

Claims (8)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 평판 디스플레이의 전면유리에 포토 마스크를 이용한 노광 공정 또는 경화제를 이용한 경화 공정을 수행하기 위한 노광 및 경화장치는, 적어도 한 개 이상의 롱 아크 UV 램프와, 상기 롱 아크 UV 램프가 설치되는 램프하우징과, 상기 램프하우징에 설치되는 반사경 및 필터와, 상기 램프하우징의 저면에 설치되는 반사판을 포함하는 노광장치를 포함하여 구성하며; 상기 노광장치는 상기 롱 아크 UV 램프의 길이방향으로 적어도 두 개 이상을 직렬로 배치하여 조도의 균일성을 향상시키도록 구성한 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치에 있어서,
    상기 램프하우징은 좌/우 측면 하단을 기준으로 중앙부를 일정 각도만큼 경사지게 설치됨을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 필터는 상기 롱 아크 UV 램프에서 조사되는 광원의 투과율을 위치별로 조절할 수 있도록 단계별로 자외선 영역 파장대만 투과할 수 있도록 코팅 처리함을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 필터는 상기 롱 아크 UV 램프의 길이방향에 따른 조도의 차이를 줄이기 위하여 가운데 부분에 투과율을 조절할 수 있도록 자외선 영역 파장대만 투과할 수 있도록 코팅 처리함을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 필터의 하부에는 상기 UV 램프로부터 발산되는 고온의 열로 인해 상기 평판 디스플레이가 변형되는 것을 방지하기 위한 워터 자켓이 설치됨을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 워터 자켓은 평판 타입으로 형성되고, 글래스 재질의 상/하 플레이트로 구성되며, 그 사이에는 유로가 형성되며;
    상기 유로가 형성된 지점의 일측 끝부분에는 냉매가 공급되기 위한 유입구가 형성되고, 타측 끝부분에는 상기 유로를 통과한 냉매를 배출하기 위한 배출구가 형성됨을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 상/하 플레이트는 Quartz, Pyrex, 유리 중에서 선택된 어느 하나의 재 질로 만들어짐을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
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