KR20090124008A - 롱 아크 유브이 램프를 이용한 노광 및 경화 장치 - Google Patents
롱 아크 유브이 램프를 이용한 노광 및 경화 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (8)
- 평판 디스플레이의 전면유리에 포토 마스크를 이용한 노광 공정 또는 경화제를 이용한 경화 공정을 수행하기 위한 노광 및 경화 장치에 있어서,적어도 한 개 이상의 롱 아크 UV 램프와, 상기 롱 아크 UV 램프가 설치되는 램프하우징과, 상기 램프하우징을 좌/우 방향으로 이동시키기 위한 이송축과, 상기 램프하우징에 설치되는 반사경 및 필터와, 상기 램프하우징의 하측으로 일정 간격을 유지하면서 설치되어 상기 평판 디스플레이가 놓여지는 고정대를 포함하는 노광장치를 구성하며;상기 노광장치는 상기 롱 아크 UV 램프의 길이방향으로 적어도 두 개 이상을 직렬로 배치하여 조도의 균일성을 향상시키는 것을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
- 평판 디스플레이의 전면유리에 포토 마스크를 이용한 노광 공정 또는 경화제를 이용한 경화 공정을 수행하기 위한 노광 및 경화 장치에 있어서,적어도 한 개 이상의 롱 아크 UV 램프와, 상기 롱 아크 UV 램프가 설치되는 램프하우징과, 상기 램프하우징을 고정 설치하기 위한 고정축과, 상기 램프하우징에 설치되는 반사경 및 필터와, 상기 램프하우징의 하측으로 일정 간격을 유지하면서 설치되어 상기 평판 디스플레이를 이송시키기 위한 이송대와, 상기 램프하우징 의 저면에 설치되는 반사판을 포함하는 노광장치를 구성하며;상기 노광장치는 상기 롱 아크 UV 램프의 길이방향으로 적어도 두 개 이상을 직렬로 배치하여 조도의 균일성을 향상시키는 것을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
- 제2항에 있어서,상기 램프하우징은 좌/우 측면 하단을 기준으로 중앙부를 일정 각도만큼 경사지게 설치됨을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 필터는 상기 롱 아크 UV 램프에서 조사되는 광원의 투과율을 위치별로 조절할 수 있도록 단계별로 자외선 영역 파장대만 투과할 수 있도록 코팅 처리함을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
- 제4항에 있어서,상기 필터는 상기 롱 아크 UV 램프의 길이방향에 따른 조도의 차이를 줄이기 위하여 가운데 부분에 투과율을 조절할 수 있도록 자외선 영역 파장대만 투과할 수 있도록 코팅 처리함을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 필터의 하부에는 상기 UV 램프로부터 발산되는 고온의 열로 인해 상기 평판 디스플레이가 변형되는 것을 방지하기 위한 워터 자켓이 설치됨을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
- 제6항에 있어서,상기 워터 자켓은 평판 타입으로 형성되고, 글래스 재질의 상/하 플레이트로 구성되며, 그 사이에는 유로가 형성되며;상기 유로가 형성된 지점의 일측 끝부분에는 냉매가 공급되기 위한 유입구가 형성되고, 타측 끝부분에는 상기 유로를 통과한 냉매를 배출하기 위한 배출구가 형성됨을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
- 제7항에 있어서,상기 상/하 플레이트는 Quartz, Pyrex, 유리 중에서 선택된 어느 하나의 재 질로 만들어짐을 특징으로 하는 롱 아크 UV 램프를 이용한 노광 및 경화 장치.
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JP2007178622A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Murakami:Kk | 露光装置および露光方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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