JP2008192844A - 基板処理方法及び塗布現像処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理容器210の上方には、載置台230上のウエハWに対して120nm〜190nmの波長の紫外線を照射する紫外線照射部240が設けられている。処理容器210の上面には、不活性ガスを処理容器210内に供給するガス供給口220が形成され、処理容器210の下面には、処理容器210内の雰囲気を排気する排気口223が形成されている。ガス供給口220から不活性ガスを供給し、排気口223から処理容器210の内部の雰囲気を排気することで、処理容器210内が酸素原子および水分子を含まない雰囲気に維持される。この雰囲気下でウエハWに紫外線照射部240から紫外線が照射される。
【選択図】図4
Description
200 紫外線処理装置
210 処理容器
220 ガス供給口
222 ガス供給源
223 排気口
225 排気ポンプ
240 紫外線照射部
300 加熱処理装置
303 ホットプレート
400 搬送路
410 ガス供給口
412 ガス供給源
413 排気口
415 排気ポンプ
W ウエハ
Claims (13)
- 露光処理後の基板上のレジストに対して現像処理を行なった後に基板を処理する方法であって、
前記現像処理後に、酸素原子および水分子を大気よりも減じた雰囲気または酸素原子および水分子を実質的に含まない雰囲気の下で、前記基板に対して波長が120nm〜190nmの紫外線を照射する紫外線照射工程と、
前記紫外線照射工程の後、前記レジスト中の溶剤の沸点以上の温度に前記基板を加熱する加熱工程と、
を有することを特徴とする、基板処理方法。 - 前記紫外線の照射は、基板を加熱しながら行うことを特徴とする、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記紫外線の照射は、重水素ランプ又はエキシマランプを用いて行なうことを特徴とする、請求項1または2に記載の基板処理方法。
- 前記レジスト中の溶剤の沸点以上の温度に前記基板を加熱する工程は、減圧雰囲気下で行なうことを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理方法。
- 前記レジスト中の溶剤の沸点以上の温度に前記基板を加熱する工程は、酸素原子および水分子を大気よりも減じた雰囲気または酸素原子および水分子を含まない雰囲気の下で行なうことを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理方法。
- 前記酸素原子および水分子を大気よりも減じた雰囲気または酸素原子および水分子を実質的に含まない雰囲気は、基板のおかれた空間内に、窒素ガスまたは不活性ガスを供給することによって実現することを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の基板処理方法。
- 基板に対してレジスト塗布処理を行い、露光後の基板に対して現像処理を行なう塗布現像処理装置において、
現像処理が行なわれた後の基板を収容する処理容器と、収容した基板に対して波長が120nm〜190nmの紫外線を照射する紫外線照射部とを備えた紫外線処理装置と、
前記紫外線処理装置で紫外線が照射された基板を収容する処理容器と、収容した基板に対して加熱処理を行う加熱部とを備えた加熱処理装置とを有し、
前記紫外線処理装置の処理容器内には、窒素ガスまたは不活性ガスが導入可能であることを特徴とする、塗布現像処理装置。 - 前記紫外線処理装置は、収容した基板を加熱する加熱部を備えたことを特徴とする、請求項7に記載の塗布現像処理装置。
- 紫外線照射部は、重水素ランプ又はエキシマランプであることを特徴とする、請求項7または8に記載の塗布現像処理装置。
- 前記加熱処理装置の処理容器内は減圧可能であることを特徴とする、請求項7〜9のいずれかに記載の塗布現像処理装置。
- 前記加熱処理装置の処理容器内には、窒素ガスまたは不活性ガスが導入可能であることを特徴とする、請求項7〜10のいずれかに記載の塗布現像処理装置。
- 前記紫外線処理装置と加熱処理装置との間を結ぶ基板の搬送路を有し、
前記搬送路内は、減圧可能であることを特徴とする、請求項7〜11のいずれかに記載の塗布現像処理装置。 - 前記紫外線処理装置と加熱処理装置との間を結ぶ基板の搬送路を有し、
前記搬送路内には、窒素ガスまたは不活性ガスが導入可能であることを特徴とする、請求項7〜11のいずれかに記載の塗布現像処理装置。
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