JP5025546B2 - 基板処理方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
13,14 ボトムコーティングユニット
15 塗布処理装置(塗布処理ユニット)
32〜38,32A 熱処理装置(熱処理ユニット)
60 筐体
64 ウエハ搬送口
70 熱板
71,71A 冷却板
73 昇降体
75 移動機構
76 昇降ピン
77A 第1の紫外線照射体(第1の紫外線照射手段)
77B 第2の紫外線照射体(第2の紫外線照射手段)
77C 紫外線照射体(紫外線照射手段)
78 回転駆動機構
78a 回転機構
78b 昇降機構
110 第1の搬送機構(搬送機構)
Claims (12)
- パターンが形成される基板上に紫外線硬化樹脂膜を形成し、その上にレジスト膜を形成する基板処理方法であって、
基板上に紫外線硬化樹脂液を塗布する塗布工程と、
上記紫外線硬化樹脂液が塗布された基板を冷却板上に載置させて基板の温度上昇を抑制する工程と、
上記紫外線硬化樹脂液が塗布された基板を熱板上に載置させて紫外線硬化樹脂液中の液分を蒸発させる工程と、
上記基板を上記冷却板に載置させる際に基板表面に紫外線を照射する第1の紫外線照射工程と、
上記基板を上記熱板上に載置させる際に基板表面に紫外線を照射する第2の紫外線照射工程と、
次いで、上記紫外線で硬化された上記紫外線硬化樹脂膜の上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1記載の基板処理方法において、
上記第1の紫外線照射工程が、基板の幅全体に渡って直線状に照射する第1の紫外線照射手段に対して基板を平行移動させて基板表面に紫外線を照射する工程であり、
上記第2の紫外線照射工程が、基板の幅全体に渡って直線状に照射する第2の紫外線照射手段に対して基板を上記第1の紫外線照射工程の移動方向と直交する方向に平行移動させて基板表面に紫外線を照射する工程である、
ことを特徴とする基板処理方法。 - パターンが形成される基板上に紫外線硬化樹脂膜を形成し、その上にレジスト膜を形成する基板処理方法であって、
基板上に紫外線硬化樹脂液を塗布する塗布工程と、
上記紫外線硬化樹脂液が塗布された基板を冷却板上に載置させて基板の温度上昇を抑制する工程と、
上記紫外線硬化樹脂液が塗布された基板を熱板上に載置させて紫外線硬化樹脂液中の液分を蒸発させる工程と、
上記基板を上記熱板に載置させる際に、基板の幅全体に渡って直線状に照射する紫外線照射手段に対して基板を平行移動させると共に、同一面上に所定角度回転させて基板表面に紫外線を照射する紫外線照射工程と、
次いで、上記紫外線で硬化された上記紫外線硬化樹脂膜の上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする基板処理方法。 - パターンが形成される基板上に紫外線硬化樹脂膜を形成し、その上にレジスト膜を形成する基板処理装置であって、
基板上に紫外線硬化樹脂液を塗布する塗布手段を具備する塗布処理ユニットと、
紫外線硬化樹脂液が塗布された基板を載置し、該基板の温度上昇を抑制する冷却板と、紫外線硬化樹脂液が塗布された基板を載置し、紫外線硬化樹脂液中の液分を蒸発させる熱板と、を具備する熱処理ユニットと、
上記塗布処理ユニットから上記冷却板へ基板を搬送する搬送機構と、
上記冷却板を上記熱板に対して進退移動すると共に、基板を受け渡しする移動機構と、
上記搬送機構によって基板を上記冷却板に載置させる際に、基板表面に紫外線を照射する第1の紫外線照射手段と、
上記移動機構の駆動によって上記冷却板上の基板を上記熱板上に載置させる際に、基板表面に紫外線を照射する第2の紫外線照射手段と、
上記基板上に上記紫外線で硬化された上記紫外線硬化樹脂膜の上にレジスト液を塗布するレジスト塗布ユニットと、
を具備することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4記載の基板処理装置において、
上記第1の紫外線照射手段は、上記熱処理ユニットにおける基板の搬送口の上方に配設され、基板の幅全体に渡って紫外線を直線状に照射可能に形成され、上記第2の紫外線照射手段は、上記基板の搬送方向と直交する方向に移動する冷却板の移動領域の上方に配設され、基板の幅全体に渡って紫外線を直線状に照射可能に形成される、ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4又は5記載の基板処理装置において、
上記第1及び第2の紫外線照射手段が、冷陰極の低圧水銀灯であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4又は5記載の基板処理装置において、
上記第1及び第2の紫外線照射手段が、キセノンフラッシュランプであることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4又は5記載の基板処理装置において、
上記第1及び第2の紫外線照射手段が、エキシマランプであることを特徴とする基板処理装置。 - パターンが形成される基板上に紫外線硬化樹脂膜を形成し、その上にレジスト膜を形成する基板処理装置であって、
基板上に紫外線硬化樹脂液を塗布する塗布手段を具備する塗布処理ユニットと、
紫外線硬化樹脂液が塗布された基板を載置し、該基板の温度上昇を抑制する冷却板と、紫外線硬化樹脂液が塗布された基板を載置し、紫外線硬化樹脂液中の液分を蒸発させる熱板と、を具備する熱処理ユニットと、
上記塗布処理ユニットから上記冷却板へ基板を搬送する搬送機構と、
上記冷却板を同一平面上に所定角度回転させる回転機構と、
上記冷却板を上記熱板に対して進退移動すると共に、基板を受け渡しする移動機構と、
上記冷却板の移動領域の上方に配設され、基板の幅全体に渡って紫外線を直線状に照射する紫外線照射手段と、
上記基板上に上記紫外線で硬化された上記紫外線硬化樹脂膜の上にレジスト液を塗布するレジスト塗布ユニットと、を具備し、
上記基板を上記熱板に載置させる際に、上記紫外線照射手段に対して基板を平行移動させると共に、同一面上に所定角度回転させて基板表面に紫外線を照射する、ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項9記載の基板処理装置において、
上記紫外線照射手段が、冷陰極の低圧水銀灯であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項9記載の基板処理装置において、
上記紫外線照射手段が、キセノンフラッシュランプであることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項9記載の基板処理装置において、
上記紫外線照射手段が、エキシマランプであることを特徴とする基板処理装置。
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