KR102258101B1 - 패키지 온 패키지와 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치 - Google Patents

패키지 온 패키지와 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102258101B1
KR102258101B1 KR1020140173629A KR20140173629A KR102258101B1 KR 102258101 B1 KR102258101 B1 KR 102258101B1 KR 1020140173629 A KR1020140173629 A KR 1020140173629A KR 20140173629 A KR20140173629 A KR 20140173629A KR 102258101 B1 KR102258101 B1 KR 102258101B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chip die
pcb
package
chip
solder balls
Prior art date
Application number
KR1020140173629A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20160068218A (ko
Inventor
권흥규
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020140173629A priority Critical patent/KR102258101B1/ko
Priority to TW104137977A priority patent/TWI703704B/zh
Priority to US14/955,281 priority patent/US9811122B2/en
Priority to CN201510888713.0A priority patent/CN105679749A/zh
Publication of KR20160068218A publication Critical patent/KR20160068218A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102258101B1 publication Critical patent/KR102258101B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49811Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F1/00Details not covered by groups G06F3/00 - G06F13/00 and G06F21/00
    • G06F1/16Constructional details or arrangements
    • G06F1/1613Constructional details or arrangements for portable computers
    • G06F1/1633Constructional details or arrangements of portable computers not specific to the type of enclosures covered by groups G06F1/1615 - G06F1/1626
    • G06F1/1656Details related to functional adaptations of the enclosure, e.g. to provide protection against EMI, shock, water, or to host detachable peripherals like a mouse or removable expansions units like PCMCIA cards, or to provide access to internal components for maintenance or to removable storage supports like CDs or DVDs, or to mechanically mount accessories
    • G06F1/1658Details related to functional adaptations of the enclosure, e.g. to provide protection against EMI, shock, water, or to host detachable peripherals like a mouse or removable expansions units like PCMCIA cards, or to provide access to internal components for maintenance or to removable storage supports like CDs or DVDs, or to mechanically mount accessories related to the mounting of internal components, e.g. disc drive or any other functional module
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5383Multilayer substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L24/17Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of a plurality of bump connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0652Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next and on each other, i.e. mixed assemblies
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0655Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0657Stacked arrangements of devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/10Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices having separate containers
    • H01L25/105Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/13147Copper [Cu] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16227Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16235Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a via metallisation of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/17Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/171Disposition
    • H01L2224/1712Layout
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/2919Material with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32135Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/32145Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/33Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of a plurality of layer connectors
    • H01L2224/331Disposition
    • H01L2224/3318Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array
    • H01L2224/33181On opposite sides of the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48145Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48235Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a via metallisation of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73203Bump and layer connectors
    • H01L2224/73204Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/831Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
    • H01L2224/83102Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus using surface energy, e.g. capillary forces
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • H01L2224/921Connecting a surface with connectors of different types
    • H01L2224/9212Sequential connecting processes
    • H01L2224/92122Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector
    • H01L2224/92125Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector the second connecting process involving a layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06506Wire or wire-like electrical connections between devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/0651Wire or wire-like electrical connections from device to substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06517Bump or bump-like direct electrical connections from device to substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/0652Bump or bump-like direct electrical connections from substrate to substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06555Geometry of the stack, e.g. form of the devices, geometry to facilitate stacking
    • H01L2225/06558Geometry of the stack, e.g. form of the devices, geometry to facilitate stacking the devices having passive surfaces facing each other, i.e. in a back-to-back arrangement
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06555Geometry of the stack, e.g. form of the devices, geometry to facilitate stacking
    • H01L2225/06562Geometry of the stack, e.g. form of the devices, geometry to facilitate stacking at least one device in the stack being rotated or offset
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/10All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
    • H01L2225/1005All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/1011All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
    • H01L2225/1017All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement the lowermost container comprising a device support
    • H01L2225/1023All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement the lowermost container comprising a device support the support being an insulating substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/10All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
    • H01L2225/1005All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/1011All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
    • H01L2225/1047Details of electrical connections between containers
    • H01L2225/1058Bump or bump-like electrical connections, e.g. balls, pillars, posts
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • H01L23/3121Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
    • H01L23/3128Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation the substrate having spherical bumps for external connection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49811Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
    • H01L23/49816Spherical bumps on the substrate for external connection, e.g. ball grid arrays [BGA]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L24/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L24/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L24/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L24/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L24/33Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of a plurality of layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/18Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different subgroups of the same main group of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • H01L2924/143Digital devices
    • H01L2924/1434Memory
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • H01L2924/143Digital devices
    • H01L2924/1434Memory
    • H01L2924/1435Random access memory [RAM]
    • H01L2924/1436Dynamic random-access memory [DRAM]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • H01L2924/143Digital devices
    • H01L2924/1434Memory
    • H01L2924/1435Random access memory [RAM]
    • H01L2924/1437Static random-access memory [SRAM]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • H01L2924/143Digital devices
    • H01L2924/1434Memory
    • H01L2924/1435Random access memory [RAM]
    • H01L2924/1438Flash memory
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15192Resurf arrangement of the internal vias
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1532Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate
    • H01L2924/1533Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate the connection portion being formed both on the die mounting surface of the substrate and outside the die mounting surface of the substrate
    • H01L2924/15331Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate the connection portion being formed both on the die mounting surface of the substrate and outside the die mounting surface of the substrate being a ball array, e.g. BGA
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Abstract

패키지 온 패키지가 개시된다. 상기 패키지 온 패키지는 제1PCB와, 제1PCB에 부착된 제1칩 다이와 제2칩 다이를 포함하는 하부 패키지와, 제2PCB와 상기 제2PCB에 부착된 제3칩 다이를 포함하고, 상기 하부 패키지의 위에 가로놓인 상부 패키지와, 상기 제1PCB와 상기 제2PCB 사이에 전기적으로 접속되고, 상기 하부 패키지의 변들 중에서 서로 마주보는 두 개의 변들 주위에만 형성된 제1스택 연결 솔더 볼들과 제2스택 연결 솔더 볼들을 포함한다.

Description

패키지 온 패키지와 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치{PACKAGE ON PACKAGE AND MOBILE COMPUTING DEVICE HAVING THE SAME}
본 발명의 개념에 따른 실시 예는 패키지 온 패키지에 관한 것으로, 하부 패키지와 상부 패키지를 스택하기 위해 사용되는 스택 연결 볼들을 상기 하부 패키지의 인쇄 회로 기판에 부착된 칩 다이들을 포함하는 보호 물질의 변들 중에서 마주보는 두 개의 변들 주위에만 배치하는 패키지 온 패키지와 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치에 관한 것이다.
반도체 칩의 패키징은 칩 다이를 외부 시스템에 연결하기 위한 중간 단계 과정을 의미한다.
최근에 스마트폰과 태블릿 PC와 같은 휴대용 장치의 사용이 증가함에 따라, 휴대용 장치를 제조하는 제조사는 좀더 가볍고 좀더 작은 크기를 갖는 상기 휴대용 장치를 개발하고 있다. 상기 휴대용 장치에는 상당히 많은 집적 회로들이 사용되고, 상기 집적 회로들 각각은 반도체 패키지로 패키징되고 있다.
패키지 온 패키지(package on package(PoP))는 시스템 보드의 공간을 절약하고, 휴대용 전자 장치의 크기를 줄이기 위해 스마트폰과 태블릿 PC의 제조에서 필수가 되고 있다. 특히, 메모리 패키지(예컨대, 상부 패키지)는 인쇄 회로 기판 (printed circuit board(PCB))의 표면 면적을 줄이기 위해 로직 패키지(예컨대, 하부 패키지)의 위(over)에 스택(stack)된다.
복수의 패키지 온 패키지들을 포함하는 휴대용 전자 장치의 크기를 줄이기 위해, 상기 복수의 패키지 온 패키지들 각각의 크기와 높이는 줄어들어야 한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적인 과제는 크기와 높이를 줄이기 위해 하부 패키지와 상부 패키지를 스택하기 위해 사용되는 스택 연결 볼들을 상기 하부 패키지의 인쇄 회로 기판에 부착된 칩 다이들을 포함하는 보호 물질의 변들 중에서 마주보는 두 개의 변들 주위에만 배치하는 패키지 온 패키지와 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 패키지 온 패키지는 제1인쇄 회로 기판(printed circuit board(PCB))와, 제1PCB에 부착된 제1칩 다이와 제2칩 다이를 포함하는 하부 패키지와, 제2PCB와 상기 제2PCB에 부착된 제3칩 다이를 포함하고 상기 하부 패키지의 위(over)에 가로놓인(overlay) 상부 패키지와, 상기 제1PCB와 상기 제2PCB 사이에 전기적으로 접속되고, 상기 하부 패키지의 변들 중에서 서로 마주보는 두 개의 변들 주위에만 형성된 제1스택 연결 솔더 볼들과 제2스택 연결 솔더 볼들을 포함한다.
상기 제1칩 다이는 모뎀 칩 다이이고, 상기 제2칩 다이는 DRAM 칩 다이 또는 슈도(pseudo) SRAM 칩 다이이고, 상기 하부 패키지는 SiP(system in package)이다.
실시 예들에 따라, 상기 제1칩 다이는 제1범프들을 통해 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고, 상기 제2칩 다이는 제2범프들을 통해 상기 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착된다.
다른 실시 예들에 따라, 상기 제1칩 다이는 제1범프들을 통해 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고, 상기 제2칩 다이는 제2범프들을 통해 상기 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고, 상기 제1칩 다이와 상기 제1PCB 사이의 빈 공간과 상기 제2칩 다이와 상기 제1PCB 사이의 빈 공간은 캐피러리 언더필(capillary underfill(CUF)) 물질로 채워진다.
다른 실시 예들에 따라, 상기 제1칩 다이는 제1범프들을 통해 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고, 상기 제2칩 다이는 제2범프들을 통해 상기 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고, 상기 제1칩 다이와 상기 제1PCB 사이의 빈 공간, 상기 제2칩 다이와 상기 제1PCB 사이의 빈 공간, 상기 제1칩 다이, 및 상기 제2칩 다이는 몰디드 언더필 (molded underfill(MUF)) 물질로 밀봉처리(encapsulate)된다.
다른 실시 예들에 따라, 상기 제1칩 다이는 범프들을 통해 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고 상기 제2칩 다이는 와이어 본딩을 통해 상기 제1PCB에 부착되고, 상기 제1칩 다이와 상기 제1PCB 사이의 빈 공간, 상기 제1칩 다이, 및 상기 제2칩 다이는 몰디드 언더필 물질로 밀봉처리된다.
상기 패키지 온 패키지는 상기 상부 패키지는 상기 제2PCB에 부착되고 상기 제3칩 다이의 작동을 제어하는 메모리 컨트롤러를 더 포함하고, 상기 제3칩 다이는 플래시-기반 메모리 칩 다이이다.
실시 예들에 따라, 상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러의 작동들을 위한 모든 신호들과 모든 공급 전압들은 상기 제1스택 연결 솔더 볼들만을 통해 전송된다. 상기 제2스택 연결 솔더 볼들 각각은 전기적으로 플로팅 상태이다.
다른 실시 예들에 따라, 상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러의 작동들을 위한 모든 신호들과, 상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러 중에서 적어도 하나의 작동을 위한 일부의 제1공급 전압들은 상기 제1스택 연결 솔더 볼들을 통해 전송되고, 상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러 중에서 상기 적어도 하나의 작동을 위한 나머지 일부의 제2공급 전압들은 상기 제2스택 연결 솔더 볼들을 통해 전송된다.
상기 제1PCB의 하부 면에 부착된 솔더 볼들을 통해 입력된 상기 제2공급 전압들은 상기 제1PCB를 통해 상기 하부 패키지와 상기 제2스택 연결 솔더 볼들로 전송된다.
상기 제1칩 다이와 상기 제2칩 다이는 상기 제1PCB 내부에 형성된 신호 라인들만을 통해 신호들을 주거나 받는다.
본 발명의 실시 예에 따른 모바일 컴퓨팅 장치는 시스템 보드와, 상기 시스템 보드에 부착된 제1패키지와, 상기 시스템 보드에 부착되고 상기 시스템 보드를 통해 상기 제1패키지로 제1공급 전압들을 공급하는 전력 관리 IC를 포함한다.
상기 제1패키지는 제1PCB와, 제1PCB에 부착된 제1칩 다이와 제2칩 다이를 포함하는 하부 패키지와, 제2PCB와 상기 제2PCB에 부착된 제3칩 다이를 포함하고 상기 하부 패키지의 위(over)에 가로놓인(overlay) 상부 패키지와, 상기 제1PCB와 상기 제2PCB 사이에 전기적으로 접속되고, 상기 하부 패키지의 변들 중에서 서로 마주보는 두 개의 변들 주위에만 형성된 제1스택 연결 솔더 볼들과 제2스택 연결 솔더 볼들을 포함한다.
상기 제1칩 다이는 모뎀 칩 다이이고, 상기 제2칩 다이는 DRAM 칩 다이 또는 슈도(pseudo) SRAM 칩 다이이고, 상기 하부 패키지는 SiP(system in package)이다.
상기 부 패키지는 상기 제2PCB에 부착되고 상기 제3칩 다이의 작동을 제어하는 메모리 컨트롤러를 더 포함하고, 상기 제3칩 다이는 플래시-기반 메모리 칩 다이이다.
실시 예들에 따라, 상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러의 작동들을 위한 모든 신호들과 상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러의 작동들 위한 상기 제1공급 전압들 모두는 상기 제1스택 연결 솔더 볼들만을 통해 전송된다.
상기 모바일 컴퓨팅 장치는 상기 시스템 보드에 부착되고 애플리케이션 프로세서 칩 다이를 포함하는 제2패키지를 더 포함하고, 상기 PMIC는 상기 시스템 보드를 통해 상기 애플리케이션 프로세서 칩 다이로 제2공급 전압들을 공급하고, 상기 시스템 보드는 상기 애플리케이션 프로세서 칩 다이와 상기 제1패키지 사이에서 주고받는 신호들을 전송하는 신호 라인들을 포함하고, 상기 신호 라인들은 상기 제1PCB를 통해 상기 제1스택 연결 솔더 볼들 중에서 대응되는 스택 연결 솔더 볼들에 접속되다.
상기 시스템 보드는 접지 라인을 포함하고, 상기 제1공급 전압들은 작동 전압들과 접지 전압을 포함하고, 상기 제1스택 연결 솔더 볼들 중에서 상기 접지 전압에 관련된 연결 솔더 볼은 상기 제1PCB를 통해 상기 접지 라인에 접속되고, 상기 작동 전압들은 상기 제1PCB를 통해 상기 제1스택 연결 솔더 볼들 중에서 해당하는 연결 솔더 볼들로 공급된다.
다른 실시 예들에 따라, 상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러의 작동들을 위한 모든 신호들과, 상기 제1공급 전압들 중에서 상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러 중에서 적어도 하나의 작동을 위한 제2공급 전압들은 상기 제1스택 연결 솔더 볼들만을 통해 전송되고, 상기 제1공급 전압들 중에서 상기 적어도 하나의 작동을 위한 제3공급 전압들은 상기 제2스택 연결 솔더 볼들 중에서 일부 연결 솔더 볼들만을 통해 전송되고, 상기 제1PCB의 하부 면에 부착된 솔더 볼들을 통해 입력된 상기 제3공급 전압들은 상기 제1PCB를 통해 상기 하부 패키지와 상기 일부 연결 솔더 볼들로 전송된다.
상기 모바일 컴퓨팅 장치는 상기 시스템 보드에 부착되고 애플리케이션 프로세서 칩 다이를 포함하는 제2패키지를 더 포함하고, 상기 PMIC는 상기 시스템 보드를 통해 상기 애플리케이션 프로세서 칩 다이로 제4공급 전압들을 공급하고, 상기 시스템 보드는 상기 애플리케이션 프로세서 칩 다이와 상기 제1패키지 사이에서 주고받는 신호들을 전송하는 신호 라인들을 포함하고, 상기 신호 라인들은 상기 제1PCB를 통해 상기 제1스택 연결 솔더 볼들 중에서 대응되는 스택 연결 솔더 볼들에 접속된다.
상기 시스템 보드는 접지 라인을 포함하고, 상기 제2공급 전압들은 제1작동 전압들과 접지 전압을 포함하고, 상기 제3공급 전압들은 제2작동 전압들과 상기 접지 전압을 포함하고, 상기 제1스택 연결 솔더 볼들 중에서 상기 접지 전압에 관련된 연결 솔더 볼들은 상기 제1PCB를 통해 상기 접지 라인에 접속되고, 상기 제1작동 전압들은 상기 제1PCB를 통해 상기 제1스택 연결 솔더 볼들 중에서 해당하는 연결 솔더 볼들로 공급되고, 상기 제2작동 전압들은 상기 제1PCB를 통해 상기 일부 연결 솔더 볼들 중에서 해당하는 연결 솔더 볼들로 공급된다.
본 발명의 실시 예에 따른 패키지 온 패키지는 하부 패키지와 상부 패키지를 스택하기 위해 사용되는 스택 연결 볼들을 상기 하부 패키지의 인쇄 회로 기판에 부착된 칩 다이들을 포함하는 보호 물질의 변들 중에서 마주보는 두 개의 변들 주위에만 배치할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 상기 패키지 온 패키지는 상기 상부 패키지에 포함된 적어도 하나의 칩 다이의 작동에 필요한 모든 패드들을 상기 스택 연결 볼들 중에서 제1스택 연결 볼들에만 접속할 수 있는 효과가 있다.
따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 상기 패키지 온 패키지의 크기와 높이를 줄일 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 상세한 설명이 제공된다.
도 1부터 도 14는 본 발명의 실시 예에 따른 하부 패키지들의 단면도들을 나타낸다.
도 15부터 도 18은 본 발명의 실시 예들에 따른 하부 패키지와, 상부 패키지를 포함하는 패키지 온 패키지들의 단면도들을 나타낸다.
도 19와 도 20은 본 발명의 다른 실시 예들에 따른 하부 패키지와, 상부 패키지를 포함하는 패키지 온 패키지들의 단면도들을 나타낸다.
도 21은 본 발명의 실시 예에 따라 하부 패키지의 마주보는 두 개의 변들의 주위에 배치되는 제1스택 연결 솔더 볼들과 제2스택 연결 솔더 볼들의 구현 예를 나타내는 평면도이다.
도 22와 도 23은 레이저 드릴 기술을 이용하여 노출된 제1스택 연결 솔더 볼들과 제2스택 연결 솔더 볼들을 포함하는 하부 패키지들의 단면도들이다.
도 24는 본 발명의 실시 예에 따른 모바일 컴퓨팅 장치에 포함되는 패키지 어셈블리의 단면도를 나타내다.
도 25는 도 24에 도시된 패키지 어셈블리를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치의 블록도이다.
본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1구성 요소는 제2구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2구성 요소는 제1구성 요소로도 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 나타낸다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 본 명세서에 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 설명한다.
도 1부터 도 14는 본 발명의 실시 예에 따른 하부 패키지들의 단면도들을 나타낸다.
도 1을 참조하면, 하부 패키지(bottom package; 100A)는 제1인쇄 회로 기판 (printed circuit board(PCB); 110)과, 각각이 제1PCB(110)의 상부 면(top surface)의 위(on)에 부착된 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)를 포함할 수 있다. 제1PCB(110)의 하부 면(bottom surface)에는 솔더 볼들(solder balls; 112)이 부착될 수 있다. 솔더 볼들(112 또는 131)은 범프들, 솔더 펌프들, 또는 구리 범프들(copper bumps)을 의미할 수 있다. 솔더 볼들(112)은 솔더 볼들(11~14)을 포함한다.
본 명세서에 기재된 솔더 볼들, 범프들, 솔더 범프들, 또는 구리 범프들은 접속재들(interconnections)의 실시 예들이다. 솔더 볼(112)은 패드(pad)를 통해 제1PCB (110)의 하부 면에 부착될 수 있다. 전도성을 갖는 패드는 핀(pin) 또는 랜드 패드(land pad)를 의미할 수 있다.
칩 다이는 칩(chip), 또는 다이(die)를 의미할 수 있다. 실시 예에 따라, 도 1부터 도 14에 도시된 하부 패키지(100A~100J, 100A-1, 100B-1, 100C-1, 및 100D-1)는 SiP(system in package)로 구현될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
제1칩 다이(130)는 플립-칩(flip-chip) 구조로 제1PCB(110)에 부착될 수 있다. 실시 예들에 따라, 제1칩 다이(130)는 솔더 볼들(131)을 통해 제1PCB(110)에 부착될 수 있다.
실시 예들에 따라, 제1칩 다이(130)는 모뎀(modem) 칩 다이 또는 WCDMA (Wideband Code Division Multiple Access) 통신 방식을 지원하는 모뎀 칩 다이로 구현될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
솔더 볼들(131)을 통해 제1칩 다이(130)가 제1PCB(110)에 부착됨에 따라, 제1PCB(110)의 상부와 제1칩 다이(130) 사이의 빈 공간에는 언더필 물질(under fill material; 133)이 채워질 수 있다. 예컨대, 언더필 물질(133)은 캐피러리 언더필 (capillary underfill(CUF)) 공정을 통해 채워질 수 있다. 따라서, CUF 공정을 통해 빈 공간에 채워지는 언더필 물질을 CUF 물질이라 한다.
제2칩 다이(140)는 다이 부착 물질(die attach meterial; 141)을 통해 제1PCB(110)에 부착될 수 있다. 실시 예들에 따라, 다이 부착 물질(141)은 필름 (film) 또는 액체 에폭시 접착제(liquid epoxy adhesive) 일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 실시 예에 따라, 제2칩 다이(140)는 DRAM(dynamic random access memory) 칩 다이 또는 슈도 SRAM(pseudo static random access memory) 칩 다이로 구현될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 슈도 SRAM은 SRAM 인터페이스를 갖는 DRAM 마이크로 코어를 포함할 수 있다.
제2칩 다이(140)는 와이어 본딩(wire bonding)을 이용하여 제1PCB(110)에 접촉될 수 있다. 또한, 제2칩 다이(140)는 와이어들(413)을 이용하여 제1PCB(110)와 신호들을 주거나 받을 수 있다.
제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 나란히(side by side) 제1PCB(110)에 부착될 수 있다.
도 1에서는 제1칩 다이(130)가 플립-칩 구조로 제1PCB(110)에 부착되고, 제2칩 다이(140)가 다이 부착 물질(141)을 통해 제1PCB(110)에 부착되는 실시 예가 도시되어 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 제1PCB(110) 내부에 구현된 신호 라인들(SL)을 통해서 전기적으로 접속될 수 있다. 따라서, 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 신호 라인들(SL)을 통해 신호들을 주거나 받을 수 있다.
공급 전압들(supply voltages)은 작동(operation) 전압과 접지 전압을 포함할 수 있다. 상기 공급 전압들은 파워를 의미할 수 있다.
제1작동 전압(VDD1)은 솔더 볼(11)과 제1PCB(110)을 통해 제1칩 다이(130)로 공급될 수 있고 접지 전압(VSS)은 솔더 볼(13)과 제1PCB(110)를 통해 제1칩 다이(130)로 공급될 수 있다. 제2작동 전압(VDD2)은 솔더 볼(12)과 제1PCB(110)을 통해 제2칩 다이(140)로 공급될 수 있고 접지 전압(VSS)은 솔더 볼(14)과 제1PCB (110)를 통해 제2칩 다이(140)로 공급될 수 있다.
즉, 제1칩 다이(130)의 공급 전압들(VDD1과 VSS)과 관련된 컨택들(contacts) 또는 핀들(pins)은 솔더 볼들(11과 13)을 통해 핀-아웃(pin-out) 될 수 있고, 제2칩 다이(140)의 공급 전압들(VDD2과 VSS)과 관련된 컨택들 또는 핀들은 솔더 볼들 (12와 14)을 통해 핀-아웃될 수 있다.
도 2를 참조하면, 하부 패키지(100B)는 제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이 (130)와 제2칩 다이(140)를 포함한다. 도 1과 도 2를 참조하면, 제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 솔더 볼(16)과 제1PCB(110)를 통해 작동 전압(VDD)을 공급받을 수 있고 솔더 볼(17)과 제1PCB(110)를 통해 접지 전압 (VSS)을 공급받을 수 있다. 즉, 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140) 각각의 공급 전압들(VDD과 VSS)과 관련된 컨택들 또는 핀들은 솔더 볼들(16과 17)을 통해 핀-아웃 될 수 있다.
도 3을 참조하면, 하부 패키지(100C)는 제1칩 다이(130) 위(on or over)에 적층된 제2칩 다이(140)를 포함할 수 있다. 제2칩 다이(140)는 다이 부착 물질 (141)을 통해 제1칩 다이(130)의 바닥 면의 위(over)에 적층될 수 있다.
제2칩 다이(140)는 와이어들과 패드들을 통해 제1PCB(110)에 접속될 수 있다. 즉, 제2칩 다이(140)는 와이어 본딩을 통해 제1PCB(110)에 접속될 수 있다.
제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 제1PCB(110) 내부에 구현된 신호 라인들(SL)을 통해 접속될 수 있다. 따라서, 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 제1PCB(110) 내부에 구현된 신호 라인들(SL)을 신호들을 주거나 받을 수 있다.
제1작동 전압(VDD1)은 솔더 볼(21)을 통해 제1칩 다이(130)로 공급될 수 있고 접지 전압(VSS)은 솔더 볼(23)을 통해 제1칩 다이(130)로 공급될 수 있다. 제2작동 전압(VDD2)은 솔더 볼(22)을 통해 제2칩 다이(140)로 공급될 수 있고 접지 전압(VSS)은 솔더 볼(24)을 통해 제2칩 다이(140)로 공급될 수 있다.
도 3과 도 4를 참조하면, 하부 패키지(100D)는 제1칩 다이(130) 위(on or over)에 적층된 제2칩 다이(140)를 포함한다. 제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이 (130)와 제2칩 다이(140)는 솔더 볼(26)를 통해 작동 전압(VDD)을 공급받고 솔더 볼(27)을 통해 접지 전압(VSS)을 공급받는다.
도 5를 참조하면, 하부 패키지(100E)는 제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이 (130)와 제2칩 다이(140)를 포함한다. 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140) 각각은 플립-칩 구조로 제1PCB(110)에 부착될 수 있다. 제2칩 다이(140)는 솔더 볼들 (131a)을 통해 제1PCB(110)에 부착될 수 있다. 제1PCB(110)의 상부와 제2칩 다이 (140) 사이의 빈 공간은 언더필 물질(133a)로 채워질 수 있다. 언더필 물질(133a)은 CUF 물질일 수 있다.
제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 제1PCB(110) 내부에 구현된 신호 라인들(SL)을 신호들을 주거나 받을 수 있다.
제1작동 전압(VDD1)은 솔더 볼(31)을 통해 제1칩 다이(130)로 공급되고 접지 전압(VSS)은 솔더 볼(33)를 통해 제1칩 다이(130)로 공급된다. 제2작동 전압(VDD2)은 솔더 볼(32)을 통해 제2칩 다이(140)로 공급되고 접지 전압(VSS)은 솔더 볼(34)을 통해 제2칩 다이(140)로 공급된다.
도 6을 참조하면, 하부 패키지(100F)는 제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이 (130)와 제2칩 다이(140)를 포함한다. 제PCB(110)에 부착된 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 솔더 볼(36)을 통해 작동 전압(VDD)을 공급받고 솔더 볼(37)을 통해 접지 전압(VSS)을 공급받는다.
도 7을 참조하면, 하부 패키지(100G)는 제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이 (130)와 제2칩 다이(140)를 포함한다. 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140) 각각은 플립-칩 구조로 제1PCB(110)에 부착된다.
제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)은 몰디드 언더필(molded underfill(MUF)) 공정을 통해 MUF 물질(MOLD)로 몰딩될 수 있다. 이때, 제1칩 다이 (130)와 제2칩 다이(140) 각각과 제1PCB(110) 사이의 빈 공간도 MUF 물질(MOLD)로 채워질 수 있다. 예컨대, MUF 물질(MOLD)은 에폭시 몰딩 컴파운드(epoxy molding compound(EMC))일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
제1작동 전압(VDD1)은 솔더 볼(41)을 통해 제1칩 다이(130)로 공급되고 접지 전압(VSS)은 솔더 볼(43)을 통해 제1칩 다이(130)로 공급된다. 제2작동 전압(VDD2)은 솔더 볼(42)을 통해 제2칩 다이(140)로 공급되고 접지 전압(VSS)은 솔더 볼(44)을 통해 제2칩 다이(140)로 공급된다.
도 8을 참조하면, 하부 패키지(100H)는 제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이 (130)와 제2칩 다이(140)를 포함한다. 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140) 각각은 플립-칩 구조로 제1PCB(110)에 부착된다. 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)은 MUF 물질(MOLD)로 몰딩될 수 있다. 이때, 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140) 각각과 제1PCB(110) 사이의 빈 공간도 MUF 물질(MOLD)로 채워질 수 있다.
제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 솔더 볼(46)을 통해 작동 전압(VDD)을 공급받고 솔더 볼(47)을 통해 접지 전압(VSS)을 공급받는다.
도 9를 참조하면, 하부 패키지(100I)는 제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이 (130)와 제2칩 다이(140)를 포함한다. 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140) 각각은 플립-칩 구조로 제1PCB(110)에 부착된다.
제1칩 다이(130)와 제1PCB(110) 사이의 빈 공간은 CUF 공정을 통해 언더필 물질(133)로 채워질 수 있고, 제2칩 다이(140)와 제1PCB(110) 사이의 빈 공간은 CUF 공정을 통해 언더필 물질(133a)로 채워질 수 있다. 제1칩 다이(130)의 주변과 제2칩 다이(140)의 주변은 MUF 공정을 통해 MUF 물질(MOLD)로 밀봉처리 (encapsulate)될 수 있다.
제1작동 전압(VDD1)은 솔더 볼(51)을 통해 제1칩 다이(130)로 공급될 수 있고 접지 전압(VSS)은 솔더 볼(53)을 통해 제1칩 다이(130)로 공급될 수 있다. 제2작동 전압(VDD2)은 솔더 볼(52)을 통해 제2칩 다이(140)로 공급될 수 있고 접지 전압(VSS)은 솔더 볼(54)을 통해 제2칩 다이(140)로 공급될 수 있다.
도 10을 참조하면, 하부 패키지(100J)는 제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이 (130)와 제2칩 다이(140)를 포함한다. 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140) 각각은 플립-칩 구조로 제1PCB(110)에 부착된다. 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 CUF 공정과 MUF 공정을 통해 밀봉처리(encapsulate)될 수 있다.
제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 솔더 볼(56)을 통해 작동 전압(VDD)을 공급받고 솔더 볼(57)을 통해 접지 전압(VSS)을 공급받는다.
도 1과 도 11을 참조면, 하부 패키지(100A-1)는 플립-칩 구조로 제1PCB(110)에 부착된 제1칩 다이(130)와, 와이어 본딩을 통해 제1PCB(110)에 접속된 제2칩 다이(140)를 포함한다.
제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 MUF 공정을 통해 형성된 보호 물질 (150)로 에워싸일 수 있다. 예컨대, 보호 물질(150)은 에폭시 몰딩 컴파운드(epoxy molding compound(EMC))일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
도 2와 도 12를 참조하면, 하부 패키지(100B-1)는 플립-칩 구조로 제1PCB (110)에 부착된 제1칩 다이(130)와, 와이어 본딩을 통해 제1PCB(110)에 접속된 제2칩 다이(140)를 포함한다. 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 MUF 공정을 통해 형성된 보호 물질(150)로 에워싸일 수 있다. 예컨대, 보호 물질(150)은 EMC일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
도 3과 도 13을 참조하면, 하부 패키지(100C-1)는 제1칩 다이(130) 위(on or over)에 적층된 제2칩 다이(140)를 포함한다. 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 MUF 공정을 통해 형성된 보호 물질(150)로 에워싸일 수 있다. 예컨대, 보호 물질(150)은 EMC일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
도 4와 도 14를 참조하면, 하부 패키지(100D-1)는 제1칩 다이(130) 위(on or over)에 적층된 제2칩 다이(140)를 포함한다. 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)는 MUF 공정을 통해 형성된 보호 물질(150)로 에워싸일 수 있다. 예컨대, 보호 물질(150)은 EMC일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
도 15부터 도 18은 본 발명의 실시 예들에 따른 하부 패키지와, 상부 패키지를 포함하는 패키지 온 패키지들의 단면도들을 나타낸다.
도 11과 도 15를 참조하면, 상부 패키지(TPG)의 제2PCB(170)는 접속재들 (160), 예컨대, 스택 연결 솔더 볼들(160)을 통해 제1PCB(110)에 전기적으로 접속될 수 있다. 도 17에 도시된 바와 같이, 스택 연결 솔더 볼들(160)은 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1)과 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2)을 포함할 수 있다. 상술한 바와 같이, 스택 연결 솔더 볼은 제1PCB(110)의 상부 면에 형성된 패드와 제2PCB(170)의 하부 면에 형성된 패드 사이에 접속될 수 있다.
상부 패키지(TPG)는 하부 패키지(100A-1)의 위(over)에 적층될 수 있다.
상부 패키지(TPG)는 제2PCB(170)에 부착된 적어도 하나의 제3칩 다이를 포함할 수 있다. 도 15부터 도 18에서는 설명의 편의를 위해, 4개의 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185)와 4개의 다이 부착 물질들(171, 175, 179, 및 183)이 도시되어 있으나 이에 한정되지 않는다. 따라서, 상부 패키지(TPG)에 포함되는 제3칩 다이들의 개수와 다이 부착 물질들의 개수는 실시 예들에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
4개의 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185) 각각은 플래시-기반 메모리 칩 다이, 예컨대, NAND 플래시 칩 다이 또는 NOR 플래시 칩 다이일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 4개의 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185) 각각은 와이어들 (187)을 통해 서로 접속될 수 있다. 또한, 4개의 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185) 각각은 와이어들(187)을 통해 제2PCB(170)와 신호들을 주거나 받을 수 있다.
다이 부착 물질들(171, 175, 179, 및 183) 각각은 필름 또는 액체 에폭시 접착제일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
상부 패키지(TPG)는 다이 부착 물질(189-1)을 이용하여 제2PCB(170)에 부착된 메모리 컨트롤러(189-2)를 더 포함할 수 있다. 4개의 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185) 각각이 NAND 플래시 칩 다이일 때, 메모리 컨트롤러(189-2)는 NAND 플래시 컨트롤러일 수 있다. 메모리 컨트롤러(189-2)는 와이어들(189-3)을 통해 제2PCB(170)와 신호들을 주거나 받을 수 있다.
4개의 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185), 메모리 컨트롤러(189-2), 및 와이어들(187과 189-3)은 보호 물질(190)에 의해 몰드될 수 있다. 보호 물질(190)은 MUF 공정을 통해 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 보호 물질(190)은 EMC일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
도 17은 도 15에 도시된 하부 패키지(100A-1)와 상부 패키지(TPG)를 포함하는 패키지 온 패키지를 A-방향에서 보았을 때의 단면도이다. 즉, 도 17은 패키지 온 패키지에 대한 정면 단면도이도, 도 19는 상기 패키지 온 패키지에 대한 측면 단면도이다.
도 21은 본 발명의 실시 예에 따라 하부 패키지의 마주보는 두 개의 변들의 주위에 배치되는 제1스택 연결 솔더 볼들과 제2스택 연결 솔더 볼들의 구현 예를 나타내는 평면도이다.
도 17과 도 21을 참조하면, 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1)과 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2)은 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)를 포함하는 보호 물질(150)의 4개의 변들 중에서 서로 마주보는 2개의 변들의 주위에만 형성될 수 있다. 즉, 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1)과 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2)은 나비(butterfly) 구조로 형성될 수 있다.
도 17을 참조하면, 상부 패키지(TPG)에 포함된 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185) 중에서 적어도 하나의 작동들과 메모리 컨트롤러(189-2)의 작동들에 필요한 공급 전압들(예컨대, VDD3과 VSS)과 신호들(SIG)을 전송하는 패드들은 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1)과 제1PCB(110)을 통해 솔더 볼들(112) 중에서 적어도 2개의 솔더 볼들을 통해 핀-아웃될 수 있다.
또한, 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185) 중에서 적어도 하나의 작동들에 필요한 공급 전압들(예컨대, 작동 전압과 접지 전압)을 전송하는 패드들만이 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2) 중에서 적어도 두 개의 연결 솔더 볼들을 통해 제1PCB (110) 내부의 메탈 라인들에 접속될 수 있다.
작동 전압(VDD, VDD1, 또는 VDD2)과 접지 전압(VSS)은 대응되는 솔더 볼들을 통해 제1칩 다이(130), 제2칩 다이(140), 및 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185) 중에서 적어도 하나로 공급될 수 있다.
도 18을 참조하면, 하부 패키지(100A-1')와 상부 패키지(TPG) 사이에 접속된 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2)은 어떠한 작동 전압들과 어떠한 신호들도 전송하지 않을 수 있다. 이때, 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2)은 전기적 플로팅 상태라고 부를 수 있다.
작동 전압(VDD, VDD1, 또는 VDD2)과 접지 전압(VSS)은 대응되는 솔더 볼들을 통해 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)로만 공급될 수 있다.
본 명세서에서 각 작동 전압(VDD, VDD1, VDD2, 및 VDD3)은 하나 또는 그 이상의 작동 전압들을 집합적으로(collectively) 의미하는 것으로서, 각 작동 전압 (VDD, VDD1, VDD2, 및 VDD3)을 전송하는 솔더 볼은 하나 또는 그 이상의 솔더 볼들을 집합적으로 나타낸다. 또한, 신호들(SIG)을 전송하는 솔더 볼은 복수의 신호들을 전송하는 솔더 볼들을 집합적으로 나타낸다.
도 19와 도 20은 본 발명의 다른 실시 예들에 따른 하부 패키지와, 상부 패키지를 포함하는 패키지 온 패키지들의 단면도들을 나타낸다.
패키지 온 패키지는 도 1부터 도 14를 참조하여 설명된 제1칩 다이(130)와 제2칩 다이(140)를 포함하는 하부 패키지(100A~100J, 100A-1, 100B-1, 100C-1, 또는 100D-1, 집합적으로 "100")와 도 15를 참조하여 설명된 상부 패키지(TPG)를 포함할 수 있다. 실시 예들에 따라, 패키지 온 패키지에 포함될 하부 패키지의 구조는 상기 패키지 온 패키지에 대한 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
도 19를 참조하면, 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185) 중에서 적어도 하나의 작동들에 필요한 공급 전압들(예컨대, 작동 전압과 접지 전압)을 전송하는 패드들만이 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2) 중에서 적어도 두 개의 연결 솔더 볼들을 통해 제1PCB(110) 내부의 메탈 라인들에 접속될 수 있다.
제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2) 중에서 적어도 두 개의 연결 솔더 볼들은 독립적으로 제1PCB(110)의 솔더 볼들을 통해 핀-아웃되지 않는다. 따라서, 작동 전압 (VDD, VDD1, 또는 VDD2)과 접지 전압(VSS)은 칩 다이들(130과 140)을 포함하는 하브 패키지(100)로 공급됨과 동시에 상부 패키지(TPG)로 공급될 수 있다.
도 20을 참조하면, 하부 패키지(100)와 상부 패키지(TPG) 사이에 접속된 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2)은 어떠한 작동 전압들과 어떠한 신호들도 전송하지 않을 수 있다.
도 17부터 도 20을 참조하면, 상부 패키지(TPG)에 포함된 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185)의 작동들과 메모리 컨트롤러(189-2)의 작동들에 필요한 신호들 (SIG)을 전송하는 제1패드들 모두는 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1)에만 접속될 수 있다.
도 17과 도 19에 도시된 바와 같이, 상부 패키지(TPG)에 포함된 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185)의 작동들 및/또는 메모리 컨트롤러(189-2)의 작동들에 필요한 공급 전압들(VDD3과 VSS)을 전송하는 제2패드들은 제1스택 연결 솔더 볼들 (SJB1)에 접속되고, 상부 패키지(TPG)에 포함된 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185)의 작동들 및/또는 메모리 컨트롤러(189-2)의 작동들에 필요한 공급 전압들 (VDD, VDD1, 및 VDD2 중에서 적어도 하나와, VSS)을 전송하는 제3패드들은 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2)에 접속될 수 있다. 이때, 제2패드들의 개수는 제3패드들의 개수보다 많을 수 있다.
도 18과 도 20에 도시된 바와 같이, 상부 패키지(TPG)에 포함된 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185)의 작동들과 메모리 컨트롤러(189-2)의 작동들에 필요한 공급 전압들(VDD3과 VSS)을 전송하는 제2패드들은 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1)에만 접속되고, 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2)은 전기적으로 플로팅 상태를 유지할 수 있다.
도 21에 도시된 바와 같이, 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1)과 제2스택 연결 솔더 볼들(SJB2)은 마주보는 두 개의 변들의 주위에만 배치된다. 상부 패키지(TPG)로 전송되는 신호들(SIG) 또는 상부 패키지(TPG)로부터 전송된 신호들(SIG)은 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1)만을 통해 전송될 수 있다.
도 22와 도 23은 레이저 드릴 기술을 이용하여 노출된 제1스택 연결 솔더 볼들과 제2스택 연결 솔더 볼들을 포함하는 하부 패키지들의 단면도들이다.
도 22에서 제1칩 다이(130)는 대응되는 제1솔더 볼들을 통해 입력된 공급 전압들을 수신하고, 제2칩 다이(140)는 대응되는 제2솔더 볼들을 통해 입력된 공급 전압들을 수신한다. 도 23에서, 제1칩 다이(130)는 대응되는 공통 솔더 볼들을 통해 입력된 공급 전압들을 수신하고, 제2칩 다이(140)는 상기 공통 솔더 볼들을 통해 입력된 공급 전압들을 수신한다.
도 22와 도 23에 도시된 바와 같이, 각 하부 패키지(100-1과 100-2)에 포함된 제1칩 다이(130), 제2칩 다이(140), 솔더 볼들(131), 및 와이어들(143)은 보호 물질(150)에 몰딩된 후, 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1)과 제2스택 연결 솔더 볼들 (SJB2)에 접속될 수 있는 솔더 볼들(145)은 레이저 드릴 비아 기술을 이용하여 노출될 수 있다.
따라서, 레이저 드릴된 비아들에 의해 노출된 솔더 볼들(145)은 적외선 리플로우(IR reflow)에 의해 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1)과 제2스택 연결 솔더 볼들 (SJB2)에 전기적으로 접속될 수 있다. 솔더 볼들(145)은 제1PCB(110)의 상부 면에 형성될 수 있다.
도 24는 본 발명의 실시 예에 따른 모바일 컴퓨팅 장치에 포함되는 패키지 어셈블리의 단면도를 나타내다.
도 1부터 도 24를 참조하면, 모바일 컴퓨팅 장치에 포함되는 패키지 어셈블리(200)는 시스템 보드(210), 하부 패키지(100)와 상부 패키지(TPG)를 포함하는 패키지 온 패키지(또는 제1패키지), 전력 관리 IC(205), 및 제2패키지(230)를 포함할 수 있다. 예컨대, 시스템 보드(210)는 PCB의 기능을 수행할 수 있다.
본 명세서에서 설명되는 모바일 컴퓨팅 장치는 이동 전화기, 스마트 폰, 태블릿 PC, 모바일 인터넷 장치(mobile internet device(MID)), 웨어러블 장치(또는 웨어러블 컴퓨터), 랩-탑(lap-top) 컴퓨터, 사물 인터넷(internet of things(IoT)) 장치, 또는 만물 인터넷(internet of everything(IoE)) 장치로 구현될 수 있다.
제1패키지는 솔더 볼들(112)을 통해 시스템 보드(210)에 부착될 수 있다. 전력 관리 IC(205)는 대응되는 솔더 볼들을 통해 시스템 보드(210)에 부착될 수 있다. 제2패키지(230)는 솔더 볼들(231)을 통해 시스템 보드(210)에 부착될 수 있다.
전력 관리 IC(205)로부터 출력된 제1공급 전압들(PW1)은 시스템 보드(210)에 내장된 제1전압 라인들, 솔더 볼들(112) 중에서 대응되는 솔더 볼들, 및 제1PCB (110)를 통해 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1) 중에서 적어도 하나로 공급될 수 있다.
전력 관리 IC(205)로부터 출력된 제2공급 전압들(PW2)은 시스템 보드(210)에 내장된 제2전압 라인들과 솔더 볼들(231) 중에서 적어도 하나를 통해 제2패키지 (230)로 공급될 수 있다.
전력 관리 IC(205)로부터 출력된 제3공급 전압들(PW3)은 시스템 보드(210)에 내장된 제3전압 라인들과 대응되는 솔더 볼들을 통해 무선 칩 다이(250)로 공급될 수 있다.
제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1) 중에서 해당하는 연결 솔더 볼들을 통해 출력된 신호들은 시스템 보드(210)에 내장된 신호 라인들(SL1)을 통해 제2패키지(230)로 전송될 수 있고, 제2패키지(230)로부터 출력된 신호들은 시스템 보드(210)에 내장된 신호 라인들(SL1)을 통해 제1스택 연결 솔더 볼들(SJB1) 중에서 해당하는 연결 솔더 볼들로 전송될 수 있다.
제1패키지에 포함된 제1칩 다이(130)는 시스템 보드(210)에 내장된 신호 라인들(SL2)을 통해 무선 칩 다이(250)와 신호들을 주거나 받을 수 있다.
제1패키지, 전력 관리 IC(205), 제2패키지(230), 및 무선 칩 다이(250) 각각의 접지 라인은 시스템 보드(210)에 내장된 접지 라인(GND)에 접속될 수 있다. 제1패키지의 접지 라인은 제1칩 다이(130)의 접지 라인, 제2칩 다이(140)의 접지 라인, 및 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185) 각각의 접지 라인에 접속될 수 있다.
제2패키지(230)는 솔더 볼들(231)을 통해 시스템 보드(210)에 접속된 제3PCB (233)와, 제3PCB(233)와 연결재들을 통해 접속된 제4칩 다이(235), 제4칩 다이 (235)를 보호하는 보호 물질(237), 제3PCB(233)와 제4PCB(241)를 연결하는 연결재들(239)을 포함할 수 있다.
연결재들(239)은 스택 연결 솔더 볼들을 의미할 수 있다. 실시 예에 따라, 제4칩 다이(235)는 플립-칩 구조로 제3PCB(233)에 부착될 수 있다. 다른 실시 예에 따라, 제4칩 다이(235)는 다이 부착 물질을 이용하여 제3PCB(233)에 부착될 수 있다. 이때, 제4칩 다이(235)는 와이어들을 통해 제3PCB(233)와 신호들을 주거나 받을 수 있다.
실시 예에 따라, 제4칩 다이(235)는 애플리케이션 프로세서(application processor) 칩 다이 또는 SoC를 의미할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
제2패키지(230)는 제5칩 다이(243)를 더 포함하고, 제5칩 다이(243)는 제4PCB(241)의 위(on)에 부착될 수 있다. 실시 예에 따라, 제5칩 다이(243)는 휘발성 메모리 칩 다이 또는 불휘발성 메모리 칩 다이를 의미할 수 있다. 예컨대, 제5칩 다이(243)는 DRAM 칩 다이로 구현될 수 있다.
실시 예에 따라, 제5칩 다이(243)는 플립-칩 구조로 제4PCB(241)에 부착될 수 있다. 다른 실시 예에 따라, 제5칩 다이(243)는 다이 부착 물질을 이용하여 제4PCB(241)에 부착될 수 있다. 이때, 제5칩 다이(243)는 와이어들을 통해 제4PCB(241)와 신호들을 주거나 받을 수 있다. 제2패키지(230)는 제5칩 다이(243)를 보호하기 위해 보호 물질(245)을 더 포함할 수 있다. 실시 예에 따라, 제2패키지 (230)는 패키지 온 패키지로 구현될 수 있다.
각 보호 물질(237과 245)은 EMC로 구현될 수 있다. 제3PCB(233)와 제4칩 다이(235) 사이의 공간은 캐피러리 언더필(capillary underfill(CUF)) 공정을 통해 언더필 물질에 채워질 수 있다.
도 25는 도 24에 도시된 어셈블리를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치의 블록도이다. 도 24와 도 25를 참조하면, 모바일 컴퓨팅 장치(300)는 하부 패키지(100), 상부 패키지(TPG), PMIC(205), 애플리케이션 프로세서(235), DRAM(243), RFIC (250), 및 디스플레이(310)를 포함할 수 있다.
PMIC(205)는 하부 패키지(100), 상부 패키지(TPG), 애플리케이션 프로세서 (235), DRAM(243), RFIC(250), 및 디스플레이(310) 각각으로 해당하는 공급 전압들을 공급할 수 있다.
하부 패키지(100)의 구조와 상부 패키지(TPG)의 구조는 도 1부터 도 24를 참조하여 설명한 바와 같다.
애플리케이션 프로세서(235)는 DRAM(243)에 대한 라이트 작동과 리드 작동을 제어할 수 있다. 애플리케이션 프로세서(235)는 디스플레이(310)에서 디스플레이될 디스플레이 데이터를 디스플레이(310)로 전송할 수 있다.
애플리케이션 프로세서(235)는 제1패키지(100)에 포함된 제1칩 다이(130) 및/또는 제2칩 다이(140)의 작동을 제어할 수 있다. 애플리케이션 프로세서(235)는 상부 패키지(TPG)에 포함된 메모리 컨트롤러(189-2) 및/또는 제3칩 다이들(173, 177, 181, 및 185)의 작동을 제어할 수 있다. 애플리케이션 프로세서(235)는 RFIC (250)의 작동을 제어할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100, 100A~100J, 100A-1, 100B-1, 100C-1, 및 100D-1: 하부 패키지
110: 제1PCB
130: 제1칩 다이
140: 제2칩 다이
170: 제2PCB
173, 177, 181, 및 185: 제3칩 다이
210: 시스템 보드
235: 제4칩 다이
243: 제5칩 다이
SJB1: 제1스택 연결 솔더 볼들
SJB2: 제2스택 연결 솔더 볼들

Claims (20)

  1. 제1인쇄 회로 기판(printed circuit board(PCB));
    제1PCB에 부착된 제1칩 다이와 제2칩 다이를 포함하는 하부 패키지;
    제2PCB와 상기 제2PCB에 부착된 제3칩 다이를 포함하고, 상기 하부 패키지의 위(over)에 가로놓인(overlay) 상부 패키지; 및
    상기 제1PCB와 상기 제2PCB 사이에 전기적으로 접속되고, 상기 하부 패키지의 변들 중에서 서로 마주보는 두 개의 변들 주위에만 형성된 제1스택 연결 솔더 볼들과 제2스택 연결 솔더 볼들을 포함하고,
    상기 상부 패키지는 상기 제2PCB에 부착되고 상기 제3칩 다이의 작동을 제어하는 메모리 컨트롤러를 더 포함하고,
    상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러의 작동들을 위한 모든 신호들과 모든 공급 전압들은 상기 제1스택 연결 솔더 볼들만을 통해 전송되는 것을 특징으로 하는 패키지 온 패키지.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1칩 다이는 모뎀 칩 다이이고,
    상기 제2칩 다이는 DRAM 칩 다이 또는 슈도(pseudo) SRAM 칩 다이이고,
    상기 하부 패키지는 SiP(system in package)인 패키지 온 패키지.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1칩 다이는 제1범프들을 통해 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고, 상기 제2칩 다이는 제2범프들을 통해 상기 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착된 패키지 온 패키지.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1칩 다이는 제1범프들을 통해 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고, 상기 제2칩 다이는 제2범프들을 통해 상기 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고,
    상기 제1칩 다이와 상기 제1PCB 사이의 빈 공간과 상기 제2칩 다이와 상기 제1PCB 사이의 빈 공간은 캐피러리 언더필(capillary underfill(CUF)) 물질로 채워지는 패키지 온 패키지.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1칩 다이는 제1범프들을 통해 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고, 상기 제2칩 다이는 제2범프들을 통해 상기 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고,
    상기 제1칩 다이와 상기 제1PCB 사이의 빈 공간, 상기 제2칩 다이와 상기 제1PCB 사이의 빈 공간, 상기 제1칩 다이, 및 상기 제2칩 다이는 몰디드 언더필 (molded underfill(MUF)) 물질로 밀봉처리(encapsulate)되는 패키지 온 패키지.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1칩 다이는 범프들을 통해 플립-칩 구조로 상기 제1PCB에 부착되고 상기 제2칩 다이는 와이어 본딩을 통해 상기 제1PCB에 부착되고,
    상기 제1칩 다이와 상기 제1PCB 사이의 빈 공간, 상기 제1칩 다이, 및 상기 제2칩 다이는 몰디드 언더필 물질로 밀봉처리되는 패키지 온 패키지.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제3칩 다이는 플래시-기반 메모리 칩 다이인 패키지 온 패키지.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제2스택 연결 솔더 볼들 각각은 전기적으로 플로팅 상태인 패키지 온 패키지.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제1칩 다이와 상기 제2칩 다이는 상기 제1PCB 내부에 형성된 신호 라인들만을 통해 신호들을 주거나 받는 패키지 온 패키지.
  13. 시스템 보드;
    상기 시스템 보드에 부착된 제1패키지; 및
    상기 시스템 보드에 부착되고 상기 시스템 보드를 통해 상기 제1패키지로 제1공급 전압들을 공급하는 전력 관리 IC를 포함하고,
    상기 제1패키지는,
    제1PCB;
    제1PCB에 부착된 제1칩 다이와 제2칩 다이를 포함하는 하부 패키지;
    제2PCB와 상기 제2PCB에 부착된 제3칩 다이를 포함하고, 상기 하부 패키지의 위(over)에 가로놓인(overlay) 상부 패키지; 및
    상기 제1PCB와 상기 제2PCB 사이에 전기적으로 접속되고, 상기 하부 패키지의 변들 중에서 서로 마주보는 두 개의 변들 주위에만 형성된 제1스택 연결 솔더 볼들과 제2스택 연결 솔더 볼들을 포함하고,
    상기 상부 패키지는 상기 제2PCB에 부착되고 상기 제3칩 다이의 작동을 제어하는 메모리 컨트롤러를 더 포함하고,
    상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러의 작동들을 위한 모든 신호들과 상기 제3칩 다이와 상기 메모리 컨트롤러의 작동들 위한 상기 제1공급 전압들 모두는 상기 제1스택 연결 솔더 볼들만을 통해 전송되는 것을 특징으로 하는 모바일 컴퓨팅 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1칩 다이는 모뎀 칩 다이이고,
    상기 제2칩 다이는 DRAM 칩 다이 또는 슈도(pseudo) SRAM 칩 다이이고,
    상기 하부 패키지는 SiP(system in package)인 모바일 컴퓨팅 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제3칩 다이는 플래시-기반 메모리 칩 다이인 모바일 컴퓨팅 장치.
  16. 삭제
  17. 제13항에 있어서, 상기 모바일 컴퓨팅 장치는,
    상기 시스템 보드에 부착되고 애플리케이션 프로세서 칩 다이를 포함하는 제2패키지를 더 포함하고,
    상기 전력 관리 IC는 상기 시스템 보드를 통해 상기 애플리케이션 프로세서 칩 다이로 제2공급 전압들을 공급하고,
    상기 시스템 보드는 상기 애플리케이션 프로세서 칩 다이와 상기 제1패키지 사이에서 주고받는 신호들을 전송하는 신호 라인들을 포함하고,
    상기 신호 라인들은 상기 제1PCB를 통해 상기 제1스택 연결 솔더 볼들 중에서 대응되는 스택 연결 솔더 볼들에 접속되는 모바일 컴퓨팅 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 시스템 보드는 접지 라인을 포함하고,
    상기 제1공급 전압들은 작동 전압들과 접지 전압을 포함하고,
    상기 제1스택 연결 솔더 볼들 중에서 상기 접지 전압에 관련된 연결 솔더 볼은 상기 제1PCB를 통해 상기 접지 라인에 접속되고,
    상기 작동 전압들은 상기 제1PCB를 통해 상기 제1스택 연결 솔더 볼들 중에서 해당하는 연결 솔더 볼들로 공급되는 모바일 컴퓨팅 장치.
  19. 삭제
  20. 삭제
KR1020140173629A 2014-12-05 2014-12-05 패키지 온 패키지와 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치 KR102258101B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140173629A KR102258101B1 (ko) 2014-12-05 2014-12-05 패키지 온 패키지와 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치
TW104137977A TWI703704B (zh) 2014-12-05 2015-11-18 堆疊式封裝、行動電腦裝置以及電子裝置
US14/955,281 US9811122B2 (en) 2014-12-05 2015-12-01 Package on packages and mobile computing devices having the same
CN201510888713.0A CN105679749A (zh) 2014-12-05 2015-12-07 层叠封装件和具有该层叠封装件的移动计算装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140173629A KR102258101B1 (ko) 2014-12-05 2014-12-05 패키지 온 패키지와 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160068218A KR20160068218A (ko) 2016-06-15
KR102258101B1 true KR102258101B1 (ko) 2021-05-28

Family

ID=56094287

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140173629A KR102258101B1 (ko) 2014-12-05 2014-12-05 패키지 온 패키지와 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9811122B2 (ko)
KR (1) KR102258101B1 (ko)
CN (1) CN105679749A (ko)
TW (1) TWI703704B (ko)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190067839A (ko) 2016-10-04 2019-06-17 스카이워크스 솔루션즈, 인코포레이티드 오버몰드 구조를 갖는 양면 라디오-주파수 패키지
WO2018125163A1 (en) * 2016-12-29 2018-07-05 Intel Corporation Multi-point stacked die wirebonding for improved power delivery
US10447274B2 (en) * 2017-07-11 2019-10-15 iCometrue Company Ltd. Logic drive based on standard commodity FPGA IC chips using non-volatile memory cells
KR101942736B1 (ko) * 2017-08-04 2019-04-17 삼성전기 주식회사 반도체 패키지 연결 시스템
US10453821B2 (en) * 2017-08-04 2019-10-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Connection system of semiconductor packages
US10332899B2 (en) * 2017-09-29 2019-06-25 Intel Corporation 3D package having edge-aligned die stack with direct inter-die wire connections
CN109817610A (zh) * 2017-11-21 2019-05-28 环旭电子股份有限公司 半导体封装装置
CN108063095A (zh) * 2017-12-15 2018-05-22 路军 一种智能融合传感器芯片的封装方法
TWI750467B (zh) 2018-05-15 2021-12-21 南韓商三星電子股份有限公司 半導體封裝
TWI700798B (zh) 2018-07-12 2020-08-01 南韓商三星電子股份有限公司 半導體封裝
KR20200011820A (ko) * 2018-07-25 2020-02-04 삼성전자주식회사 반도체 패키지
CN111199934B (zh) * 2018-11-16 2022-07-19 瑞昱半导体股份有限公司 电路装置与电路设计及组装方法
CN109472099A (zh) * 2018-11-19 2019-03-15 郑州云海信息技术有限公司 一种服务器的印刷电路板及制作方法
KR102639895B1 (ko) * 2019-01-21 2024-02-23 삼성전자주식회사 인쇄 회로 기판이 시뮬레이션을 위한 컴퓨터-구현 방법, 프로세서-구현 시스템, 그리고 명령들을 저장하는 비임시의 컴퓨터로 독출 가능한 저장 매체
US11081468B2 (en) * 2019-08-28 2021-08-03 Micron Technology, Inc. Stacked die package including a first die coupled to a substrate through direct chip attachment and a second die coupled to the substrate through wire bonding and related methods, devices and apparatuses
US11923331B2 (en) * 2021-02-25 2024-03-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Die attached leveling control by metal stopper bumps

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050051903A1 (en) * 2003-09-05 2005-03-10 Mark Ellsberry Stackable electronic assembly
US20130175702A1 (en) * 2012-01-11 2013-07-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor package

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6414391B1 (en) * 1998-06-30 2002-07-02 Micron Technology, Inc. Module assembly for stacked BGA packages with a common bus bar in the assembly
JP3957694B2 (ja) * 2004-03-16 2007-08-15 エルピーダメモリ株式会社 半導体パッケージ及びシステムモジュール
JP4512545B2 (ja) * 2005-10-27 2010-07-28 パナソニック株式会社 積層型半導体モジュール
KR101479509B1 (ko) * 2008-08-29 2015-01-08 삼성전자주식회사 반도체 패키지
KR20100071522A (ko) * 2008-12-19 2010-06-29 삼성전자주식회사 패키지 온 패키지 타입의 고용량 다기능 멀티 칩 패키지 구조
TWI499024B (zh) * 2009-01-07 2015-09-01 Advanced Semiconductor Eng 堆疊式多封裝構造裝置、半導體封裝構造及其製造方法
KR20110006482A (ko) 2009-07-14 2011-01-20 삼성전자주식회사 메모리 링크 아키텍쳐를 갖는 멀티 프로세서 시스템에 적합한 멀티 칩 패키지 구조
US8264091B2 (en) * 2009-09-21 2012-09-11 Stats Chippac Ltd. Integrated circuit packaging system with encapsulated via and method of manufacture thereof
KR101855294B1 (ko) * 2010-06-10 2018-05-08 삼성전자주식회사 반도체 패키지
KR20110139983A (ko) * 2010-06-24 2011-12-30 삼성전자주식회사 반도체 패키지
US9437512B2 (en) 2011-10-07 2016-09-06 Mediatek Inc. Integrated circuit package structure
KR101901324B1 (ko) 2011-10-25 2018-09-27 삼성전자주식회사 네 개의 채널들을 가진 반도체 패키지
KR101797079B1 (ko) 2011-12-30 2017-11-14 삼성전자 주식회사 Pop 구조의 반도체 패키지
KR101874803B1 (ko) 2012-01-20 2018-08-03 삼성전자주식회사 패키지 온 패키지 구조체
KR101923535B1 (ko) 2012-06-28 2018-12-03 삼성전자주식회사 패키지 온 패키지 장치 및 이의 제조 방법
KR101909202B1 (ko) 2012-10-08 2018-10-17 삼성전자 주식회사 패키지-온-패키지 타입의 패키지
KR102008014B1 (ko) 2012-10-15 2019-08-06 삼성전자주식회사 반도체 장치 및 그 제조 방법
US9136159B2 (en) 2012-11-15 2015-09-15 Amkor Technology, Inc. Method and system for a semiconductor for device package with a die-to-packaging substrate first bond
KR102043369B1 (ko) 2012-11-21 2019-11-11 삼성전자주식회사 반도체 메모리 칩 및 이를 포함하는 적층형 반도체 패키지
KR102107147B1 (ko) 2013-02-01 2020-05-26 삼성전자주식회사 패키지 온 패키지 장치
KR20150071934A (ko) * 2013-12-19 2015-06-29 에스케이하이닉스 주식회사 워페이지를 억제할 수 있는 패키지 온 패키지

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050051903A1 (en) * 2003-09-05 2005-03-10 Mark Ellsberry Stackable electronic assembly
US20130175702A1 (en) * 2012-01-11 2013-07-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor package

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160068218A (ko) 2016-06-15
US9811122B2 (en) 2017-11-07
TWI703704B (zh) 2020-09-01
TW201633500A (zh) 2016-09-16
CN105679749A (zh) 2016-06-15
US20160161992A1 (en) 2016-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102258101B1 (ko) 패키지 온 패키지와 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치
TWI678777B (zh) 系統封裝及其製造方法與包括該系統封裝的行動裝置
US9583430B2 (en) Package-on-package device
US20180366444A1 (en) Stacked-die including a die in a package substrate
KR102556052B1 (ko) 시스템 모듈과 이를 포함하는 모바일 컴퓨팅 장치
KR101710178B1 (ko) 임베디이드 칩 온 칩 패키지 및 이를 포함하는 패키지 온 패키지
US20140124907A1 (en) Semiconductor packages
US20140124906A1 (en) Semiconductor package and method of manufacturing the same
WO2014163687A1 (en) Stacked memory package, method of manufacturing thereof and pinout designs of ic package substrate
US8399994B2 (en) Semiconductor chip and semiconductor package having the same
KR102123991B1 (ko) 반도체 패키지 및 이를 구비하는 전자 시스템
US9331054B2 (en) Semiconductor package assembly with decoupling capacitor
TWI593032B (zh) 具塊狀介層插塞的封裝基板及其半導體封裝
CN110911380B (zh) 电子设备
JP2022525692A (ja) コールドスペアサポートを提供する複数の電力ゾーンを有するマルチチップモジュールハイブリッド集積回路
KR20190050606A (ko) Pop 반도체 패키지 및 그를 포함하는 전자 시스템
US20050121757A1 (en) Integrated circuit package overlay
US9508690B2 (en) Semiconductor TSV device package for circuit board connection
US10157860B2 (en) Component stiffener architectures for microelectronic package structures
US11854985B2 (en) Semiconductor package and method of manufacturing the same
TWI713163B (zh) 半導體封裝

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant