KR102067852B1 - 기판 처리 장치, 프로그램 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치, 프로그램 및 기판 처리 방법 Download PDF

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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

기판 처리 효율이 저하되는 것을 억제하며, 또한, 밀봉 용기가 개방됨으로써, 내부에 수납된 기판이 받는 데미지를 경감하는 기술을 제공한다.
기판 처리 장치(1)는, 내부에 기판(9)을 수납하는 공간을 가지고 있으며, 기판(9)을 반입 또는 반출하기 위한 개구(121)가 형성되어 있는 밀봉 용기(11), 개구(121)를 개폐하는 개폐 기구(17), 기판(9)에 대해 세정 처리를 행하는 기판 처리부(30), 및, 밀봉 용기(11)에 대해, 기판(9)을 반출입하는 제1 반송 로봇(IR1)을 구비하고 있다. 또, 기판 처리 장치(1)는, 기판 처리부(30)에 있어서의, 기판(9)의 처리 시간에 따라, 개폐 기구(17)가 개구(121)를 개폐하는 타이밍, 및, 기판 반송부(20)가 밀봉 용기(11)로부터 기판(9)을 반입하거나, 또는, 밀봉 용기(11)로부터 기판(9)을 반출하는 타이밍을 규정한 스케줄 데이터(441)를 작성하는 스케줄 작성부(401)를 구비하고 있다.

Description

기판 처리 장치, 프로그램 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE TREATMENT DEVICE, PROGRAM AND SUBSTRATE TREATMENT METHOD}
이 발명은, 처리부에서 복수의 기판을 순차적으로 처리하는 기술에 관한 것이며, 특히 복수의 기판을 수납하는 밀봉 용기로부터 기판을 반출하거나, 또는, 그 밀봉 용기에 기판을 반입하는 기술에 관한 것이다.
반도체의 제조 공정에 있어서는, 수율이나 품질의 향상을 위해, 클린 룸 내에서 웨이퍼(기판)의 처리가 이루어지고 있다. 그러나 반도체 소자의 고집적화나 회로의 미세화 등의 이유로, 허용할 수 있는 먼지 등의 이물의 크기가 매우 작아지고 있다. 이 때문에, 이른바 미니 인바이런먼트 시스템이 채용되는 경우가 있다.
이 미니 인바이런먼트 시스템에서는, 클린 룸 전체가 고청정화되는 것이 아니라, 국소적으로 고세정 공간이 형성된다. 예를 들면, 기판을 수납한 캐리어 카세트가 밀봉 용기(예를 들면, FOUP： Front-Opening Unified Pod)에 수납됨으로써, 기판의 각 공정 간(또는 각 공정 내)에서 반송 또는 보관이 행해진다.
밀봉 용기 내의 기판을 기판 처리 장치(반도체 제조 장치)의 처리부와의 사이에서 넣고 뺌과 함께, 반송 장치와의 사이에서 밀봉 용기의 수도(受渡)를 행하는 로드 포트로 불리는 인터페이스부가 알려져 있다. 클린 룸 내에 있어서 특히 밀봉 용기 내와 기판 처리 장치를 초고청정화하고, 밀봉 용기와 반도체 제조 장치 사이의 기판 수도 공간을 소정 정도 고청정화함으로써, 클린 룸의 건설 비용 또는 가동 비용이 억제된다(예를 들면, 특허 문헌 1).
일본국 특허공개 2010-232560호 공보
그런데 일반적인 기판 처리의 경우, 프로세스 개시 시에 밀봉 용기가 개방되고, 그대로 프로세스 완료 후에 밀봉 용기의 개구가 폐쇄되었다고 해도, 기판 처리에 특별히 문제는 적다. 그러나 기판의 종류에 따라서는, 열림 상태가 계속됨으로써, 기판이 산화되는 등의 데미지를 받게 될 우려가 있었다.
이 문제를 회피하기 위해, 종래의 반도체 제조 장치에 있어서는, 1장(또는 필요한 장수)의 기판이 밀봉 용기로부터 취출되어 일정 시간 경과한 후, 밀봉 용기의 개구를 폐쇄하고, 반송 장치가 다음에 기판을 꺼내러 올 때까지 밀봉 용기를 닫아 둔다는 제어가 이루어진다. 그러나 이 경우, 상기 일정 시간이 경과할 때까지, 밀봉 용기의 열림 상태가 계속되게 되기 때문에, 기판이 데미지를 받게 될 우려가 있었다. 밀폐 용기를 개폐시키기 위한 개폐 장치는, 반도체 제조 장치와는 독립적인 제어계로 되어 있는 것이 일반적이다. 그 때문에, 반송 장치측으로부터 개폐 장치측으로, 기판을 반출하거나, 혹은, 기판을 반입한다는 신호가 보내진 후, 개폐 장치가 밀폐 용기의 개폐 동작을 행한다. 이 때문에, 반송 장치가 기판을 밀봉 용기로부터 반출하거나, 밀봉 용기에 반입할 때에, 밀봉 용기의 개구가 개방될 때까지, 반송 장치를 대기시킬 필요가 있었다. 따라서, 이러한 반송 장치의 대기 시간이 발생함으로써, 반도체 제조 장치의 가동률, 즉, 기판 처리 효율이 저하될 우려가 있었다.
본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 기판 처리 효율이 저하되는 것을 억제하고, 또한, 밀봉 용기의 개방에 의해 내부에 수납된 기판이 받는 데미지를 저감하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 제1 양태는, 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서, 기판을 반입 또는 반출하기 위한 개구가 형성되는 밀봉 용기와, 상기 개구를 개폐하는 개폐부와, 상기 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리부와, 상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하는 기판 반송부와, 상기 처리부에 있어서의 기판의 처리 시간에 따라, 상기 개폐부가 상기 개구를 개폐하는 시간, 및, 상기 기판 반송부가 상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하는 시간을 규정한 스케줄을 작성하는 스케줄 작성부와, 상기 스케줄에 의거하여, 상기 개폐부 및 상기 기판 반송부에 동작의 실행을 지시하는 실행 지시부를 구비하고 있다.
또, 제2 양태는, 제1 양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 스케줄 작성부는, 상기 개구가 개폐부에 의해 개방되어 있는 상태에 있어서, 다음에 상기 기판 반송부가 상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하기 시작하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하기 시작할 때까지의 시간 폭이, 상기 개폐부의 닫힘 동작에 필요로 하는 시간 폭 및 상기 개폐부의 열림 동작에 필요로 하는 시간 폭의 합계 시간 폭보다 긴 경우에, 상기 개폐부가 상기 개구를 닫도록 상기 스케줄을 작성하는, 기판 처리 장치.
또, 제3 양태는, 제1 또는 제2 양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 스케줄 작성부는, 상기 개구가 상기 개폐부에 의해 닫혀져 있는 상태에 있어서, 다음에 상기 기판 반송부가 상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하기 시작하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하기 시작하는 시간보다, 상기 개폐부에 의한 열림 동작에 필요로 하는 시간 폭 이상으로 빠른 타이밍에, 상기 개폐부가 상기 개구의 개방을 개시하도록 상기 스케줄을 작성하는, 기판 처리 장치.
또, 제4 양태는, 제1 내지 제3 양태 중 어느 한 양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 불활성 가스를 상기 용기 내에 공급하는 불활성 가스 공급부와, 상기 밀봉 용기 내의 불활성 가스 농도를 취득하는 농도 취득부를 더 구비하고, 상기 스케줄 작성부는, 상기 농도 취득부에 의해 취득되는 상기 불활성 가스 농도가, 소정의 기준치를 밑도는 경우에, 상기 개폐부에 의해 상기 개구가 닫혀지도록 상기 스케줄을 작성하는, 기판 처리 장치.
또, 제5 양태는, 제1 내지 제4 양태 중 어느 한 양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 개폐부는, 상기 개구를 닫는 제1 개폐부와, 상기 개구를 닫음과 함께, 상기 개구를 닫았을 때에, 상기 제1 개폐부에 의해 상기 개구를 닫았을 때보다, 상기 밀봉 용기의 밀봉도가 낮아지는 제2 개폐부를 가지며, 상기 스케줄 작성부는, 상기 제2 개폐부의 개폐 동작의 타이밍을 규정한 스케줄을 작성하는, 기판 처리 장치.
또, 제6 양태는, 컴퓨터가 판독 가능한 프로그램으로서, 상기 컴퓨터가 상기 프로그램을 실행함으로써, 상기 컴퓨터를, 기판을 반입 또는 반출하기 위한 개구가 형성되는 밀봉 용기와, 상기 개구를 개폐하는 개폐부와, 상기 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리부와, 상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하는 기판 반송부를 구비하고 있는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리부에 있어서의 기판의 처리 시간에 따라, 상기 개폐부가 상기 개구를 개폐하는 타이밍, 및, 상기 기판 반송부가 상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하는 시간을 규정한 스케줄을 작성하는 스케줄 작성부로서 기능시킨다.
또, 제7 양태는, 밀폐 용기에 형성된 개구를 개폐함으로써, 기판의 반입 또는 반출을 가능하게 하는 개폐부와, 상기 개구를 통하여 기판을 반입 또는 반출하는 기판 반송부와, 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리부를 구비한 기판 처리 장치에 있어서, 기판을 처리하는 기판 처리 방법으로서, (a) 상기 처리부에 있어서, 기판에 대한 처리를 행하는 처리 스케줄을 작성하는 공정과, (b) 상기 스케줄에 의거하여, 상기 개폐부가 상기 밀폐 용기의 상기 개구를 개폐하는 타이밍을 결정하는 공정을 포함한다.
또, 제8 양태는, 제7 양태에 관련된 기판 처리 방법에 있어서, 상기 (b) 공정은, 상기 개구가 상기 개폐부에 의해 개방되어 있는 상태에 있어서, 다음에 상기 기판 반송부가 상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하기 시작하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하기 시작할 때까지의 시간 폭이, 상기 개폐부의 닫힘 동작에 필요로 하는 시간 폭 및 상기 개폐부의 열림 동작에 필요로 하는 시간 폭의 합계 시간 폭보다 긴 경우에, 상기 개폐부가 상기 개구부를 닫도록 상기 타이밍을 결정하는 공정이다.
또, 제9 양태는, 제7 또는 제8 양태에 관련된 기판 처리 방법에 있어서, 상기 (b) 공정은, 상기 개구가 상기 개폐부에 의해 닫혀져 있는 상태에 있어서, 다음에 상기 기판 반송부가 상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하기 시작하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하기 시작하는 시간보다, 상기 개폐부에 의한 열림 동작에 필요로 하는 시간 폭 이상으로 빠른 타이밍에, 상기 개폐부가 상기 개구의 개방을 개시하도록 상기 타이밍을 결정하는 공정이다.
또, 제10 양태는, 제7 내지 제9 양태 중 어느 한 양태에 관련된 기판 처리 방법에 있어서, 상기 기판 처리 장치는, 상기 기판 처리 장치는, 불활성 가스를 상기 용기 내에 공급하는 불활성 가스 공급부와, 상기 밀봉 용기 내의 불활성 가스 농도를 취득하는 농도 취득부를 구비하고 있으며, 상기 (b) 공정은, 상기 농도 취득부에 의해 취득되는 상기 불활성 가스 농도가, 소정의 기준치를 밑도는 경우에, 상기 개폐부에 의해 상기 개구가 닫혀지도록, 상기 타이밍을 결정하는 공정이다.
또, 제11 양태는, 제7 내지 제10 양태 중 어느 한 양태에 관련된 기판 처리 방법에 있어서, 상기 개폐부는, 상기 개구를 닫는 제1 개폐부와, 상기 개구를 닫음과 함께, 상기 개구를 닫았을 때에, 상기 제1 개폐부에 의해 상기 개구를 닫았을 때보다, 상기 밀봉 용기의 밀봉도가 낮은 제2 개폐부를 가지고 있으며, 상기 (b) 공정은, 상기 제2 개폐부의 개폐 동작의 타이밍을 결정하는 공정이다.
제1 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 밀봉 용기의 개구를 개폐하는 시간을, 미리 스케줄에서 결정할 수 있다. 이 때문에, 기판의 종류에 따라, 밀봉 용기가 쓸데없이 개방되는 것을 예방함으로써, 기판이 받는 데미지를 경감할 수 있다. 또, 밀봉 용기로부터 기판을 반출하거나, 또는, 기판을 반입하는 시간에 맞추어, 밀봉 용기를 열어 둠으로써, 기판의 가동률이 저하되는 것을 억제할 수 있다.
제2 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 기판 반송부에 의한, 기판의 반출 또는 반입에 지장이 생기지 않도록, 밀봉 용기의 개구를 개폐할 수 있다. 이 때문에, 밀봉 용기 내의 기판이 데미지를 받는 것을 경감할 수 있다.
또, 제3 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 기판 반송부가 기판을 취출하기 위해 밀봉 용기에 침입하기 전에, 개구를 확실히 개방해 둘 수 있다. 이 때문에, 기판의 취출을 원활히 행할 수 있다. 따라서, 기판 처리를 고효율로 행할 수 있다.
제4 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 밀봉 용기 내의 불활성 가스 농도를 기준치 이상으로 유지할 수 있다. 이것에 의해, 밀봉 용기 내의 기판이 받는 데미지를 경감할 수 있다.
제5 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 제1 개폐부를 개방한 채로 하고, 제2 개폐부에서 밀봉 용기의 개구의 개폐를 행함으로써, 개구의 개폐를 간이 하게 행할 수 있다. 이것에 의해, 열림 동작에 필요로 하는 시간 폭 또는 닫힘 동작에 필요로 하는 시간 폭을 단축할 수 있기 때문에, 스케줄 작성의 자유도를 높일 수 있다.
도 1은 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 평면도이다.
도 2는 기판 처리 장치의 개략 측면도이다.
도 3은 용기 재치부에 올려 놓아져 있는 밀봉 용기를 나타내는 개략 단면도이다.
도 4는 제어부의 하드웨어 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 5는 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 6은 기판 처리 장치의 동작의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 7은 임시 타임 테이블에 규정된, 기판 처리 장치의 동작의 흐름을 나타내는 타임 차트이다.
도 8은 기판 처리 동작이 규정된 스케줄의 일례를 나타내는 타임 차트이다.
도 9는 개폐 동작의 시간이 규정된 스케줄의 일례를 나타내는 타임 차트이다.
도 10은 개폐 동작의 시간이 규정된 다른 스케줄의 예를 나타내는 타임 차트이다.
이하, 첨부의 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태는, 본 발명을 구체화한 일례이며, 본 발명의 기술적 범위를 한정하는 사례는 아니다. 또, 도면에 있어서는, 이해 용이를 위해 각 부의 치수나 수가 과장 또는 간략화되어 도시되어 있는 경우가 있다.
＜1. 실시 형태＞
＜1.1. 기판 처리 장치의 구성 및 기능＞
도 1은, 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(1)의 개략 평면도이다. 또, 도 2는, 기판 처리 장치(1)의 개략 측면도이다. 도 1 및 이후의 각 도에 있어서는, 각 요소의 위치 관계를 명확하게 하기 위해, XYZ 직교 좌표계가 첨부되어 있는 경우가 있다. 이 XYZ 직교 좌표계에 있어서, X축 및 Y축으로 정의되는 평면을 수평면, Z축을 연직 방향으로서 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는, 4개의 용기 재치부 ST1~ST4, 기판 수도부 PS1, 제1 반송 로봇 IR1 및 제2 반송 로봇 CR1을 가지는 기판 반송부(20), 복수의 세정 유닛 SP(SP1~SP12)를 가지는 기판 처리부(30), 제어부(40)를 구비하고 있다.
기판 처리 장치(1)는, 원형의 반도체 웨이퍼인 기판(9)을 세정 처리하는 세정 처리 장치로서 구성되어 있다. 단, 기판(9)은, 원형상의 것에 한정되는 것이 아니며, 임의의 형상의 것이어도 된다.
용기 재치부 ST1~ST4는, 복수 장의 기판(9)을 내부에 수납하는 밀봉 용기(11)가 올려 놓아지는 로드 포트를 구성하고 있다. 이러한 로드 포트는, 기판 처리 장치(1)의 본체부(기판 처리부(30) 등이 설치되어 있는 부분)에 대해, 일체적으로 설치되어 있어도 되거나, 혹은, 장착 및 탈착 가능하게 구성되어 있어도 된다. 밀봉 용기(11)는, 기판 처리 장치(1)의 외부 장치(예를 들면, 천정 주행식 무인 반송차(OHT： Overhead Hoist Transfer))에 의해, 용기 재치부 ST1~ST4 중 어느 하나에 반입되거나, 또는, 용기 재치부 ST1~ST4 중 어느 하나로부터 반출된다.
도 3은, 용기 재치부 ST1에 올려 놓아져 있는 밀봉 용기(11)를 나타내는 개략 단면도이다. 여기에서는, 주로 용기 재치부 ST1에 대해서 설명하지만, 용기 재치부 ST2~ST4에 대해서도, 용기 재치부 ST1과 거의 동일한 구성을 구비하고 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 밀봉 용기(11)는, 기판 처리 장치(1)의 본체부측(+X측)에 뚜껑부(12)가 설치되어 있다. 뚜껑부(12)가 닫혀진 상태에서는, 밀봉 용기(11)는, 거의 밀폐 상태가 된다.
밀봉 용기(11)의 저부는, 용기 재치부 ST1에 설치된 불활성 가스 공급부(13) 및 가스 흡인부(14)에 접속 가능하게 구성되어 있다. 밀봉 용기(11)가 용기 재치부 ST1에 올려 놓아지면, 밀봉 용기(11)의 저부에 접속된 불활성 가스 공급부(13)로부터 밀봉 용기(11)의 내부 공간(기판 수납 공간)을 향해, 불활성 가스(예를 들면, N2, Ar, He, Kr, 또는 Xe 가스, 혹은 이들의 혼합 가스)가 공급된다. 이 불활성 가스 공급부(13)에 의해, 밀봉 용기(11)의 내부의 불활성 가스 농도를 고농도로 유지할 수 있다. 또, 가스 흡인부(14)에 의해, 밀봉 용기(11)의 내부 분위기가 외부로 배출된다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 용기 재치부 ST1은, 연직 방향으로 연장되는 프레임(15)을 구비하고 있다. 프레임(15)에 있어서의, 밀봉 용기(11)의 뚜껑부(12)와 대략 동일한 높이에는, X축방향으로 관통하는 프레임 개구부(151)가 형성되어 있다. 또, 프레임(15)에는, 뚜껑부(12)의 +X측 표면에 접근해서, 그 뚜껑부(12)를 유지하고 밀봉 용기(11)로부터 떼어내는, 뚜껑 개폐부(16)를 구비하고 있다. 뚜껑 개폐부(16)는, 도시하지 않은 승강 기구에 의해, 연직 방향으로 승강 가능하게 구성되어 있다. 또, 프레임(15)의 +X측에는, 프레임 개구부(151)를 개폐하는 개폐 기구(17)를 구비하고 있다. 개폐 기구(17)는, 승강 기구(171)에 의해 연직 방향으로 승강 가능하게 구성되어 있다.
뚜껑 개폐부(16)에 의해 뚜껑부(12)가 밀봉 용기(11)로부터 떼어내진 상태로, 개폐 기구(17)가 하강하여 프레임 개구부(151)를 개방하면, 제1 반송 로봇 IR1이, 개구(121)를 통하여, 밀봉 용기(11)의 내부에 진입하는 것이 가능해진다. 즉, 밀봉 용기(11)의 개구(121)가, 개폐 기구(17)에 의해 개방된 상태가 되어, 제1 반송 로봇 IR1이 밀봉 용기(11)로부터 기판(9)을 반출하거나 혹은 밀봉 용기(11)에 기판(9)을 반입할 수 있다.
또, 도 3 중, 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 개폐 기구(17)는, 상승함으로써, 프레임 개구부(151)를 폐쇄한다. 이것에 의해, 밀봉 용기(11)의 개구(121)가, 개폐 기구(17)에 의해 닫혀지게 되어, 제1 반송 로봇 IR1이, 밀봉 용기(11)의 개구에 진입할 수 없는 상태가 된다. 단, 개폐 기구(17)가 개구(121)를 닫고 있는 상태에서는, 밀봉 용기(11)와 개폐 기구(17) 사이에, 약간의 간극이 형성된다. 이 때문에, 밀봉 용기(11)는, 완전하게 밀폐되어 있지 않은 상태가 되어 있다. 이와 같이, 개폐 기구(17)에 의하면, 개구(121)를 뚜껑 개폐부(16)에 의해 뚜껑부(12)로 폐쇄하는 경우보다, 밀폐도는 낮기는 하지만, 단시간에 개구(121)를 닫는 것이 가능해지고 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 뚜껑부(12) 및 뚜껑 개폐부(16)가, 제1 개폐부의 일례이며, 또, 개폐 기구(17)가, 제2 개폐부의 일례로 되어 있다.
도 1 또는 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판 반송부(20)는, 제1 반송 로봇 IR1 및 제2 반송 로봇 CR1을 구비하고 있다. 제1 반송 로봇 IR1은, 용기 재치부 ST1~ST4에 올려 놓아진 밀봉 용기(11)에 수납되어 있는 기판(9)을 반출하고, 기판 수도부 PS1에 기판을 올려 놓는다. 또, 제1 반송 로봇 IR1은, 기판 처리부(30)에서 소정의 기판 처리(여기에서는, 세정 처리)가 실시된 후, 기판 수도부 PS1에 올려 놓아진 기판(9)을, 다시 밀봉 용기(11)에 반입한다. 제1 반송 로봇 IR1은, 기판(9)을 하방으로부터 지지하는 핸드부(21)와, 핸드부(21)를 X축방향으로 전후 이동시키는 아암부(22)와, 핸드부(21) 및 아암부(22)를 일체적으로 Z축방향을 따라 승강시키는 승강 기구(23)를 구비하고 있다. 또, 제1 반송 로봇 IR1은, 제1 반송 로봇 IR1 전체를 Y축방향으로 이동 가능하게 하는 이동 기구(24)를 구비하고 있다. 이동 기구(24)가 구동됨으로써, 제1 반송 로봇 IR1은, 용기 재치부 ST1~ST4의 각각에 대응하는 위치로 이동하여, 기판(9)의 반출 또는 반입을 행한다.
제1 반송 로봇 IR1은, 핸드부(21)로 기판(9)을 수평 자세(기판(9)이 수평면(XY평면)에 대해 평행한 상태)로 유지한다. 제1 반송 로봇 IR1에 의해, 밀봉 용기(11)로부터 기판(9)이 반출되는 경우는, Z축방향으로 다단으로 수납되어 있는 복수의 기판(9) 중에서, 취출해야 할 기판(9)의 높이에 따라, 승강 기구(23)에 의해 핸드부(21)의 높이가 조정된다. 또, 제1 반송 로봇 IR1에 의해 기판(9)이 밀봉 용기(11)에 반입되는 경우는, 기판(9)을 수납해야 할 높이에 따라, 승강 기구(23)에 의해 핸드부(21)의 높이가 조정된다.
제2 반송 로봇 CR1은, 기판 수도부 PS1과 세정 유닛 SP1~SP12 중 어느 하나와의 사이에서, 기판(9)의 반송을 행한다. 제2 반송 로봇 CR1은, 핸드부(21) 및 아암부(22)를 상하로 2세트 구비하고 있다. 이 2세트의 핸드부(21) 및 아암부(22)는, 승강 기구(23)의 구동에 의해, 상하로 일체적으로 승강하도록 구성되어 있어도 되지만, 각각이 개별적으로 승강하도록 구성되어 있어도 된다. 또, 제2 반송 로봇 CR1은, 이동 기구(24)를 구비하지 않기 때문에, XY평면 내에 있어서, 고정된 위치에 배치되어 있다. 단, 이동 기구(24)를 설치함으로써, 제2 반송 로봇 CR1이 X축 및 Y축방향으로 이동하도록 해도 된다.
또한, 제1 반송 로봇 IR1에 대해서도, 복수 세트의 핸드부(21) 및 아암부(22)를 설치함으로써, 복수 장의 기판(9)을 동시에 유지할 수 있도록 구성해도 된다.
기판 처리부(30)는, 기판(9)에 대해 세정 처리를 행하는 복수의 세정 유닛 SP1~SP12를 구비하고 있다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 처리부(30)의 중심부에는, 제2 반송 로봇 CR1이 배치되어 있다. 그리고 제2 반송 로봇 CR1의 주위에는, 세정 유닛 SP1~SP12가 4개의 세트(세정 유닛 SP1~SP3, 세정 유닛 SP4~SP6, 세정 유닛 SP7~SP9 및 세정 유닛 SP10~SP12)로 나누어져 설치되어 있다. 세정 유닛 SP1~SP12는, 각 세트마다, 연직 방향을 따라 적층됨으로써, 다단으로 배치되어 있다.
세정 유닛 SP1~SP12는, 도시를 생략하지만, 각각, 기판(9)을 유지하는 유지대, 그 유지대를 회전시키는 회전 기구, 이 유지대에 유지된 기판(9)에 세정액(약액 또는 린스액 등)을 공급하는 노즐, 및, 세정액을 회수하는 회수 기구 등을 구비하고 있다. 세정 유닛 SP1~SP12는, 레시피 정보에 따라서 기판(9)에 세정액을 공급한 후, 기판(9)을 회전시킴으로써 기판(9)을 건조시킨다(스핀 드라이).
도 4는, 제어부(40)의 하드웨어 구성을 나타내는 블럭도이다. 제어부(40)는, 기판 처리 장치(1)가 구비하는 각 부와 전기적으로 접속되어 있으며, 각종의 연산 처리를 실행하면서 기판 처리 장치(1)의 각 부의 동작을 제어한다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 제어부(40)는, 예를 들면, CPU(41), ROM(42), RAM(43), 기억부(44) 등이 버스 라인(45)을 통하여 상호 접속된 일반적인 컴퓨터에 의해 구성되어 있다. ROM(42)은 기본 프로그램 등을 저장하고 있다. RAM(43)은 CPU(41)가 소정의 처리를 행할 때의 작업 영역으로서 제공된다. 기억부(44)는, 플래시 메모리, 또는, 하드 디스크 장치 등의 불휘발성의 보조 기억 장치에 의해 구성되어 있다.
기억부(44)에는 프로그램 P1이 저장되어 있으며, 이 프로그램 P1에 기술된 순서에 따라서, 주제어부로서의 CPU(41)가 연산 처리를 행함으로써, 각종 기능이 실현되도록 구성되어 있다.
프로그램 P1은, 통상, 미리 기억부(44) 등에 저장되어 사용되는 것이다. 그러나 프로그램 P1은, 광학 미디어(CD-ROM 등), 자기 미디어, 플래시 메모리 등의 반도체 메모리 등, 휴대 가능한 기록 매체에 기록된 형태(프로그램 프로덕트)로 제공되거나, 혹은, 네트워크를 통한 외부 서버로부터의 다운로드 등에 의해 제공되어 기억부(44) 등에 저장되는 것이어도 된다.
또, 제어부(40)에서는, 입력부(46), 표시부(47), 통신부(48)가 버스 라인(45)에 접속되어 있다. 입력부(46)는, 각종 스위치, 터치 패널 등에 의해 구성되어 있으며, 오퍼레이터로부터 각종의 입력 설정 지시를 접수한다. 표시부(47)는, 액정 표시 장치, 램프 등에 의해 구성되어 있으며, CPU(41)에 의한 제어 아래, 각종 정보를 표시한다. 통신부(48)는, LAN 등을 통한 데이터 통신 기능을 가진다.
도 5는, 기판 처리 장치(1)의 구성을 나타내는 블럭도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 제어부(40)에 있어서는, 프로그램 P1에 기술된 순서에 따라서 주제어부로서의 CPU(41)가 연산 처리를 행함으로써, 스케줄 작성부(401) 및 실행 지시부(402)가 실현된다. 또한, 제어부(40)에 있어서 실현되는 일부 혹은 전부의 기능은, 전용의 논리 회로 등에서 하드웨어적으로 실현되어도 된다.
스케줄 작성부(401)는, 처리 내용이 기록된 레시피 정보에 의거하여, 개폐 기구(17), 기판 반송부(20)(제1 반송 로봇 IR1, 제2 반송 로봇 CR1), 및, 기판 처리부(30)(세정 유닛 SP1~SP12)의 동작을 규정한 스케줄을 작성한다. 레시피 정보에는, 대상물에 대해 실시되어야 할 처리의 조건이 소정의 데이터 형식으로 기술되어 있다. 구체적으로는, 처리 순서(예를 들면, 반송 순서 및 세정 처리 순서) 또는 처리 내용(예를 들면, 처리 시간, 온도, 압력 또는 세정액의 공급량) 등이 기술되어 있다. 이러한 레시피 정보는, 오퍼레이터가 입력하는 정보에 의거하여 생성된다.
스케줄 작성부(401)는, 레시피 정보에 의거하여, 기판 처리 장치(1)(특히, 세정 유닛 SP1~SP12)의 가동률이 가능한 한 높게 유지되도록, 기판 처리 장치(1)의 각 요소가 동작하는 시간(동작 개시 타이밍(시각))을 결정한다. 구체적으로는, 개폐 기구(17)가 밀봉 용기(11)의 개구(121)를 개폐하는 시간, 제1 반송 로봇 IR1이 기판(9)을 반송하는 시간, 제2 반송 로봇 CR1이 기판(9)을 반송하는 시간, 및, 세정 유닛 SP1~SP12의 각각이 세정 처리를 행하는 시간 등이 규정된다. 또, 다른 요소에 대한 동작의 시간(예를 들면, 뚜껑 개폐부(16)가 개구(121)를 개폐하는 시간)이 규정되는 것도 생각할 수 있다. 스케줄 작성부(401)가 작성한 스케줄은, 스케줄 데이터(441)로서 기억부(44)(또는 RAM(43))에 보존된다.
또한, 기판 처리 장치(1)의 각 요소가 동작에 필요로 하는 시간 폭은, 요소마다 미리 정해져 있거나, 혹은, 레시피 정보에 의거하여 정해진다. 예를 들면, 제1 반송 로봇 IR1 또는 제2 반송 로봇 CR1이 기판(9)을 반송하는데 필요로 하는 시간 폭은, 요소마다 고유의 것으로서 미리 정해져 있다. 또, 세정 유닛 SP1~SP12가 기판(9)의 세정에 필요로 하는 시간 폭은, 레시피 정보로 규정된 처리 조건 등에 의해 미리 정해진다. 따라서, 각 요소의 동작 개시의 시간이 결정되면, 각 요소의 동작 종료의 시간도 자동적으로 결정되게 된다.
실행 지시부(402)는, 기억부(44)(또는 RAM(43))에 보존된 스케줄 데이터(441)에 의거하여, 기판 처리 장치(1)의 각 요소에, 소정의 동작의 실행을 지시하는 제어 신호를 출력한다. 구체적으로는, 개폐 기구(17), 기판 반송부(20)(제1 반송 로봇 IR1, 제2 반송 로봇 CR1), 및, 세정 유닛 SP1~SP12 등에 동작의 실행을 지시한다.
＜1.2. 기판 처리 장치의 동작＞
도 6은, 기판 처리 장치(1)의 동작의 일례를 나타내는 흐름도이다. 우선, 스케줄 작성부(401)는, 레시피 정보에 의거하여, 처리하는 기판(9)마다, 일련의 처리의 흐름에 관한 임시 타임 테이블을 작성한다(단계 S1). 임시 타임 테이블에는, 제1 반송 로봇 IR1, 제2 반송 로봇 CR1 및 세정 유닛 SP가, 1장의 기판(9)에 대해 실행하는 처리의 시퀀스가 규정되어 있다.
도 7은, 임시 타임 테이블에 규정된, 기판 처리 장치(1)의 동작의 흐름을 나타내는 타임 차트이다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 임시 타임 테이블에는, 우선, 제1 반송 로봇 IR1이, 기판(9)을 밀봉 용기(11)로부터 반출하는 시간(반출 시간, 블록 B11) 및 그 기판(9)을 기판 수도부 PS1에 반입하는 시간(반입 시간, 블록 B12)이 규정되어 있다. 또, 임시 타임 테이블에는, 제2 반송 로봇 CR1이, 제1 반송 로봇 IR1에 의해, 기판 수도부 PS1에 올려 놓아진 기판(9)을 반출하는 시간(반출 시간, 블록 B13) 및 그 기판(9)을 기판 처리부(30)의 세정 유닛 SP에 반입하는 시간(반입 시간, 블록 B14)이 규정되어 있다.
또한, 임시 타임 테이블에는, 세정 유닛 SP가, 제2 반송 로봇 CR1에 의해 반입된 기판(9)을 세정 처리하는 시간(기판 처리 시간, 블록 B15)이 규정되어 있다. 또, 임시 타임 테이블에는, 제2 반송 로봇 CR1이, 세정 처리 후의 기판(9)을 반출하는 시간(반출 시간, 블록 B16) 및 그 기판(9)을 기판 수도부 PS1에 반입하는 시간(반입 시간, 블록 B17)이 규정되어 있다. 그리고 임시 타임 테이블에는, 제1 반송 로봇 IR1이, 제2 반송 로봇 CR1에 의해 기판 수도부 PS1에 올려 놓아진 기판(9)을 반출하는 시간(반출 시간, 블록 B18) 및 그 기판(9)을 밀봉 용기(11)에 반입하는 시간(반입 시간, 블록 B19)이 규정되어 있다.
다음에, 스케줄 작성부(401)는, 기판 처리 동작의 스케줄링을 행한다(단계 S2). 구체적으로는, 스케줄 작성부(401)는, 처리 대상인 복수의 기판(9)에 대해서, 처리하는 순서를 소정의 룰에 따라 결정한다. 그리고 그 결정된 차례에 따라, 모든 기판(9)의 각각의 처리의 흐름을 나타내는 임시 타임 테이블을, 순서대로 조합해 간다. 이것에 의해, 제1 반송 로봇 IR1, 제2 반송 로봇 CR1 및 세정 유닛 SP1~SP12 각각의 동작하는 시간이 규정된 스케줄(처리 스케줄)이 작성된다.
도 8은, 기판 처리 동작이 규정된 스케줄의 일례를 나타내는 타임 차트이다. 또한, 도 8에 나타내는 스케줄은, 이해 용이를 위해, 용기 재치부 ST1에 올려 놓아진 밀봉 용기(11)로부터만, 기판(9)의 반출 및 반입이 행해지고, 또한, 세정 유닛 SP1~SP6의 6개의 처리 유닛 SP 만을 이용하여, 세정 처리가 행해지는 스케줄의 일례이다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 단계 S2에서 생성된 스케줄에서는, 제1 반송 로봇 IR1, 제2 반송 로봇 CR1 및 세정 유닛 SP1~SP6의 각각이 각각의 동작을 실행하는 시간이, 시간의 경과에 맞추어 규정되어 있다.
구체적으로, 도 8에 나타내는 스케줄에 의하면, 제1 반송 로봇 IR1은, 시간 t1부터 시간 t2 사이에, 1장째의 기판(9)을 밀봉 용기(11)로부터 반출하고, 기판 수도부 PS1에 반입한다. 또한, 제2 반송 로봇 CR1은, 그 1장째의 기판(9)을, 시간 t2부터 시간 t3 사이에, 기판 수도부 PS1로부터 반출하고, 세정 유닛 SP1에 반입한다.
또, 세정 유닛 SP1은, 시간 t3부터 시간 t4까지 사이에, 1장째의 기판(9)을 세정한다. 그리고 제2 반송 로봇 CR1은, 시간 t4부터 시간 t5 사이에, 1장째의 기판(9)을 세정 유닛 SP1로부터 반출하고, 기판 수도부 PS1에 반입한다. 또한, 제1 반송 로봇 IR1은, 시간 t5부터 시간 t6 사이에, 1장째의 기판(9)을 기판 수도부 PS1로부터 반출하고, 밀봉 용기(11)에 반입한다. 이상과 같이, 1장째의 기판(9)에 대한 일련의 처리의 흐름이 스케줄 데이터(441)에 있어서 규정되어 있다.
또, 도 8에 나타내는 스케줄에 의하면, 다음의 2장째의 기판(9)에 대해서는, 제1 반송 로봇 IR1이 앞의 1장째의 기판(9)의 반송을 완료한 시간(시간 t2)에, 반송 처리가 개시된다. 즉, 제1 반송 로봇 IR1은, 시간 t2부터 시간 t3 사이에, 2장째의 기판(9)을 밀봉 용기(11)로부터 반출하고, 기판 수도부 PS1에 반입한다. 이와 같이 하여, 제1 반송 로봇 IR1은, 앞의 기판(9)의 반송을 끝낸 시점에서, 다음의 기판(9)의 반송을 실행함으로써, 1장째부터 6장째까지의 기판(9)에 대해서, 밀봉 용기(11)로부터 기판 수도부 PS1로의 반송을 연속해서 행한다.
마찬가지로, 제2 반송 로봇 CR1은, 앞의 기판(9)의 반송을 끝낸 시점에서, 다음의 기판(9)의 반송을 실행함으로써, 1장째부터 6장째까지의 기판(9)에 대해서, 기판 수도부 PS1로부터 각 세정 유닛 SP1~SP6으로의 반송을 연속해서 행한다.
그리고 세정 유닛 SP1이 1장째의 기판(9)의 세정 처리를 끝내면, 제2 반송 로봇 CR1이 그 세정 유닛 SP1에 7장째의 기판(9)을 반입한다. 이 제2 반송 로봇 CR1에 의한 7장째의 기판의 반입에 맞추기 위해, 제1 반송 로봇 IR1은, 세정 유닛 SP1이 세정 처리를 행하고 있는 기간 내(시간 t3부터 시간 t4)의 어느 시점(시간 t7)에서, 7장째의 기판(9)을 밀봉 용기(11)로부터 반출하기 시작하여, 기판 수도부 PS1에 반입한다. 그리고 제2 반송 로봇 CR1은, 세정 유닛 SP1에 있어서의, 1장째의 기판의 세정 처리가 끝나는 타이밍에 맞추어, 시간 t8에, 7장째의 기판(9)을 기판 수도부 PS1로부터 반출하기 시작한다. 그리고 제2 반송 로봇 CR1은, 시간 t4까지 그 기판(9)을 세정 유닛 SP1에 반입한다.
이 시간 t4의 시점에서는, 세정 처리 후의 1장째의 기판(9)이 세정 유닛 SP1에 남아 있다. 이 때문에, 제2 반송 로봇 CR1은, 우선 먼저, 일방의 핸드부(21)로 1장째의 기판(9)을 취출한다. 그리고 타방의 핸드부(21)에 유지한 7장째의 기판(9)을 세정 유닛 SP1에 반입한다. 이것에 의해, 세정 유닛 SP1이, 1장째의 기판(9)의 세정 처리를 끝낸 후, 곧바로 7장째의 기판(9)의 세정 처리를 개시할 수 있다. 따라서, 세정 유닛 SP1의 가동률을 올리는 것이 가능해지고 있다.
또한, 도 8에 나타내는 바와 같이, 세정 유닛 SP1~SP12의 동작으로서, 기판(9)의 세정 처리를 개시하기 전에, 블록 B20에서 나타내는 전처리(예를 들면, 노즐의 초기화, 유지대의 회전의 확인 작업 등)가 실행되도록 스케줄이 작성되어도 된다.
이상과 같이, 제1 반송 로봇 IR1, 제2 반송 로봇 CR1 및 세정 유닛 SP1~SP12의 각각이 처리를 실행하는 시간이 규정된 스케줄이, 단계 S2에 있어서 생성된다.
도 6으로 되돌아와 스케줄 작성부(401)는, 단계 S2의 기판 처리 동작의 스케줄링을 완료하면, 밀봉 용기(11)의 개폐 동작의 스케줄링을 행한다(단계 S3). 구체적으로, 이 단계에서는, 스케줄 작성부(401)가, 단계 S2에 있어서 규정한, 제1 반송 로봇 IR1이 밀봉 용기(11)와의 사이에서 기판(9)의 수수를 행하는 시간에 맞추어, 개폐 기구(17)가 밀봉 용기(11)의 개구(121)를 개폐하는 시간을 결정한다. 이것에 의해, 개폐 기구(17)의 개폐 동작의 시간이 규정된 스케줄이 생성된다.
또, 스케줄 작성부(401)는, 단계 S3의 개폐 동작의 스케줄링을 완료하면, 스케줄을 나타내는 스케줄 데이터(441)를 기억부(44)(또는 RAM(43))에 보존한다. 이 스케줄에 의거하여, 기판 처리 장치(1)의 실행 지시부(402)가, 각 요소에 동작 지시를 행함으로써, 기판 처리가 실행된다(단계 S4).
단계 S3에 관해서, 개폐 기구(17)에 의한 개구(121)의 개폐 동작의 시간은, 이하의 개폐 조건에 따라서 결정된다.
○ 제1 개폐 조건
우선, 제1 개폐 조건은, 개구(121)가 닫혀져 있는 경우, 제1 반송 로봇 IR1이 밀봉 용기(11)로부터 기판(9)을 반출하기 시작하거나, 또는, 밀봉 용기(11)에 기판(9)을 반입하기 시작하는 시간보다, 개폐 기구(17)에 의한 열림 동작에 필요로 하는 시간 폭 이상으로 빠른 타이밍에, 개폐 기구(17)가 개구(121)의 개방을 개시한다.
○ 제2 개폐 조건
또, 제2 개폐 조건은, 개폐 기구(17)에 의해 개구(121)가 개방된 상태로 되어 있는 경우에, 그 시점으로부터, 다음에 제1 반송 로봇 IR1이 밀봉 용기(11)로부터 기판(9)을 반출하기 시작하거나, 또는, 밀봉 용기(11)에 기판(9)을 반입하기 시작할 때까지의 시간 폭이, 개폐 기구(17)에 의한 닫힘 동작 소요 시간 및 열림 동작 소요 시간의 합계 시간 폭보다 긴 경우, 개폐 기구(17)가 개구(121)를 닫는다.
도 9는, 개폐 동작의 시간이 규정된 스케줄의 일례를 나타내는 타임 차트이다. 도 9에 있어서, 블록 B31은, 개폐 기구(17)가 밀봉 용기(11)를 개방하는 시간(열림 동작 시간)을 나타내고 있으며, 블록 B32는, 개폐 기구(17)가 밀봉 용기(11)의 개구(121)를 닫는 시간(닫힘 동작 시간)을 나타내고 있다.
또한, 이하의 설명에 있어서는, 미리, 밀봉 용기(11)의 뚜껑부(12)가 뚜껑 개폐부(16)에 의해 개폐되는 것으로 한다. 물론, 이 뚜껑 개폐부(16)에 의한 뚜껑부(12)의 개폐 동작의 시간에 대해서도, 스케줄 작성부(401)가 규정하도록 해도 된다.
우선, 제1 개폐 조건에 의거하여, 개폐 기구(17)의 열림 동작의 시간이 결정되는 과정에 대해서 설명한다. 예를 들면, 도 9에 나타내는 스케줄에 의하면, 제1 반송 로봇 IR1이 1장째의 기판(9)을 밀봉 용기(11)로부터 반출하기 시작하는 시간이 t1로 되어 있다. 이 시점에서는, 아직, 개구(121)가 개폐 기구(17)에 의해 닫혀진 상태에 있다. 이 때문에, 제1 개폐 조건에 의거하여, 이 시간 t1보다, 개폐 기구(17)에 의한 열림 동작에 필요로 하는 시간 폭(열림 동작 소요 시간 TR1)만큼, 빠른 타이밍(ta)에, 개폐 기구(17)가 개구(121)의 개방을 개시하도록, 스케줄이 작성된다.
마찬가지로, 제1 반송 로봇 IR1이, 세정 처리를 끝낸 1장째의 기판(9)을, 밀봉 용기(11)에 반입하기 시작하는 시간(t9)보다, 열림 동작 소요 시간 TR1 만큼, 빠른 타이밍(tb)에, 개폐 기구(17)가 개구(121)의 개방을 개시하도록, 스케줄이 작성된다.
또한, 제1 반송 로봇 IR1이 7장째의 기판(9)을 밀봉 용기(11)로부터 반출하기 시작하는 시간(t7)보다, 열림 동작 소요 시간 TR1 만큼, 빠른 타이밍(tc)에, 개폐 기구(17)가 개구(121)의 개방을 개시한다. 이것에 의해, 제1 반송 로봇 IR1이 밀봉 용기(11)에 대해 기판(9)의 수수를 행하는 시점에서, 개폐 기구(17)에 의해 개구(121)를 개방시켜 둘 수 있다. 따라서, 제1 반송 로봇 IR1이, 개구(121)가 개방될 때까지 대기하는 일이 없어진다. 이 때문에, 기판 처리 장치(1)의 가동률을 높일 수 있다.
물론, 개폐 기구(17)가 개구(121)를 개방하기 시작하는 시간을, 상기 시간 t1, t9, t7보다 열림 동작 소요 시간 TR1 만큼을 초과하여, 빠르게 해도 된다. 단, 개구(121)의 개방을 필요 최소한으로 억제하여, 기판(9)이 받는 데미지를 경감하는 관점에서, 바람직하게는, 상기 서술한 바와 같이, 개폐 기구(17)가, 시간 t1, t9, t7보다 열림 동작 소요 시간 TR1 만큼만 빠른 타이밍에, 열림 동작을 개시하도록 스케줄이 작성된다.
다음에, 제2 개폐 조건에 의거하여, 개폐 기구(17)의 닫힘 동작의 시간이 결정되는 과정에 대해서 설명한다. 예를 들면, 도 9에 나타내는 스케줄에 의하면, 제1 반송 로봇 IR1이, 6장째의 기판(9)을 밀봉 용기(11)로부터 반출하는 동작을 완료하는 시간은, 시간 td로 되어 있다. 이 시점에 있어서는, 개폐 기구(17)에 의해 개구(121)는 개방되어 있으며, 다음에 제1 반송 로봇 IR1이 밀봉 용기(11)로부터 기판(9)을 반출하기 시작하거나, 또는, 밀봉 용기(11)에 기판(9)을 반입하기 시작하는 시간이 시간 t7이 되어 있다. 여기서, 시간 td부터 시간 t7까지의 시간 폭 TR3은, 개폐 기구(17)에 의한 개구(121)의 열림 동작 소요 시간 TR1과 닫힘 동작 소요 시간 TR2의 합계 시간 폭보다 길어져 있다(TR3＞TR1+TR2).
이러한 경우, 시간 td의 시점에서 개구(121)를 닫았다고 해도, 다음에 제1 반송 로봇 IR1이 밀봉 용기(11)에 액세스하는 시간 t7까지, 다시 개방할 만큼의 충분한 시간을 확보할 수 있다. 따라서, 제2 개폐 조건에 따라서, 시간 td의 시점에서 개폐 기구(17)가 개구(121)를 닫을 수 있게 된다. 마찬가지로, 건조 처리 후의 6장째의 기판(9)이 밀봉 용기(11)에 반입된 시점(시간 td) 및 7장째의 기판(9)이 밀봉 용기(11)로부터 반출된 시점(시간 tf)에 있어서도, 개폐 기구(17)가 개구(121)를 닫을 수 있다. 이것에 의해, 개폐 기구(17)가 개구(121)를 필요한 분만큼 개방하도록, 스케줄을 작성할 수 있다. 따라서, 밀봉 용기(11)의 내부의 기판이, 바깥 공기에 접함으로써 받는 산화 등의 데미지를 경감할 수 있다.
또한, 시간 td, tf부터 소정의 시간(예를 들면, 몇 초~수십 초)이 경과한 후에, 개폐 기구(17)가 닫힘 동작을 개시하도록, 스케줄이 작성되어도 된다.
또, 그 외의 개폐 조건으로서, 밀봉 용기(11)의 내부에 있어서의 불활성 가스 농도에 의거하여, 개폐 기구(17)에 의한 개구(121)의 개폐 시간이 결정되어도 된다. 예를 들면, 밀봉 용기(11)의 내부의 불활성 가스 농도가 있는 기준치가 유지되도록, 개구(121)를 개방할 수 있는 시간이 결정되어도 된다. 이때, 시뮬레이션 등에 의한 소정의 연산 처리에 의해, 개폐 기구(17)가 개구(121)를 개방했을 때의, 밀봉 용기(11)의 내부의 불활성 가스의 농도 변화를 취득하는 농도 취득부(403)가 설치되어 있어도 된다(도 5 참조). 물론, 스케줄 작성부(401)가, 불활성 가스 농도와는 관계없이, 스케줄을 작성하는 경우에는, 이 농도 취득부(403)를 생략해도 된다.
도 10은, 개폐 동작의 시간이 규정된 다른 스케줄의 예를 나타내는 타임 차트이다. 도 10에 나타내는 예에서는, 2개의 용기 재치부 ST1, ST2에 올려 놓아진 밀봉 용기(11)에 대해, 제1 반송 로봇 IR1이, 기판(9)의 반출 또는 반입을 행하도록 스케줄이 작성되어 있다. 보다 구체적으로는, 1장째부터 3장째까지의 기판(9)이, 용기 재치부 ST1의 밀봉 용기(11)로부터 반출되거나, 또는, 용기 재치부 ST1의 밀봉 용기(11)에 반입된다. 그리고 4장째부터 6장째까지의 기판(9)이, 용기 재치부 ST2의 밀봉 용기(11)로부터 반출되거나, 또는, 용기 재치부 ST2의 밀봉 용기(11)에 반입된다. 세정 유닛 SP1~SP6 만을 이용하여, 세정 처리가 행해지고 있는 점은, 도 8 및 도 9에 대해서 나타내는 예와 동일하다.
도 10에 나타내는 스케줄 데이터(441)는, 도 9에 나타내는 스케줄 데이터(441)와 마찬가지로, 제1 반송 로봇 IR1, 제2 반송 로봇 CR1 및 세정 유닛 SP1~SP6의 동작이 스케줄링되고(도 6： 단계 S2), 다음에 상기 제1 및 제2 개폐 조건에 따라서, 개폐 기구(17)의 개폐 동작이 스케줄링됨으로써(도 6： 단계 S3) 생성된 것이다.
도 10에 나타내는 스케줄에 의하면, 예를 들면, 제1 반송 로봇 IR1이 1장째의 기판(9)을 용기 재치부 ST1의 밀봉 용기(11)로부터 반출하기 시작하는 시간(t1)보다 전에, 용기 재치부 ST1의 개폐 기구(17)에 의해, 밀봉 용기(11)의 개구(121)가 개방된다. 그리고 3장째의 기판(9)에 대해서, 밀봉 용기(11)로부터의 반출이 완료된 시점(시간 tg)에서, 용기 재치부 ST1의 개폐 기구(17)에 의해 밀봉 용기(11)의 개구(121)가 닫힌다.
또, 제1 반송 로봇 IR1이 세정 처리 후의 1장째의 기판(9)을 용기 재치부 ST1의 밀봉 용기(11)에 반입하기 시작하는 시간(t9)보다 전에, 용기 재치부 ST1의 개폐 기구(17)에 의해 밀봉 용기(11)의 개구(121)가 개방된다. 그리고 제1 반송 로봇 IR1이 건조 처리 후의 3장째의 기판(9)을 밀봉 용기(11)에 반입을 마친 시점(시간 ti)에서, 용기 재치부 ST1의 개폐 기구(17)에 의해 밀봉 용기(11)의 개구(121)가 닫힌다.
한편, 도 10에 나타내는 스케줄에 의하면, 제1 반송 로봇 IR1이 4장째의 기판(9)을 용기 재치부 ST2의 밀봉 용기(11)로부터 반출하기 시작하는 시간(th)보다 전에, 용기 재치부 ST2의 개폐 기구(17)에 의해 밀봉 용기(11)의 개구(121)가 개방된다. 그리고 6장째의 기판(9)에 대해서, 밀봉 용기(11)로부터의 반출이 완료된 시점(시간 td)에서, 용기 재치부 ST2의 개폐 기구(17)에 의해 밀봉 용기(11)의 개구(121)가 닫힌다.
또, 제1 반송 로봇 IR1이 세정 처리 후의 4장째의 기판(9)을 용기 재치부 ST2의 밀봉 용기(11)에 반입하기 시작하는 시간(tj)보다 전에, 용기 재치부 ST2의 개폐 기구(17)에 의해 밀봉 용기(11)의 개구(121)가 개방된다. 그리고 제1 반송 로봇 IR1이 건조 처리 후의 6장째의 기판(9)을 밀봉 용기(11)에 반입을 마친 시점(시간 te)에서, 용기 재치부 ST2의 개폐 기구(17)에 의해 밀봉 용기(11)의 개구(121)가 닫힌다.
이상과 같이, 복수의 용기 재치부 ST1, ST2의 밀봉 용기(11)에 있어서의 개폐 기구(17)의 개폐 동작을 스케줄링한 경우여도, 단일의 용기 재치부 ST1의 밀봉 용기(11)를 이용한 경우와 마찬가지로, 기판(9)이 받는 데미지를 경감할 수 있다. 또, 제1 반송 로봇 IR1이 밀봉 용기(11)로부터 기판(9)을 반출하거나, 또는 밀봉 용기(11)로 기판(9)을 반입하기 전에, 밀봉 용기(11)의 개구(121)를 개방시켜 둘 수 있다. 이 때문에, 원활한 기판 반송을 실현할 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치(1)의 가동률이 저하되는 것을 억제할 수 있다.
＜2. 변형예＞
이상, 실시 형태에 대해서 설명해 왔지만, 본 발명은 상기와 같은 것에 한정되는 것이 아니며, 다양한 변형이 가능하다.
예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 스케줄 작성부(401)는, 개폐 기구(17)의 개폐 동작을 스케줄링하는 것으로 하고 있다. 그러나 개폐 기구(17) 대신에, 뚜껑 개폐부(16)에 의한 개구(121)의 개폐 동작을 스케줄링하도록 해도 된다. 이 경우, 개폐 동작에 시간이 걸릴(즉, 열림 동작 소요 시간 TR1 또는 닫힘 동작 소요 시간 TR2가 길어질) 우려가 있지만, 밀봉 용기(11)의 밀폐도가 높아지므로, 밀봉 용기(11)에 수용되어 있는 기판(9)이 산화 등에 의해 받는 데미지를 경감할 수 있다.
또, 스케줄 작성부(401)가, 상황에 따라, 뚜껑 개폐부(16) 및 개폐 기구(17) 중 어느 한 쪽으로 개구(121)가 닫혀지도록, 스케줄을 작성해도 된다. 예를 들면, 제1 반송 로봇 IR1이 밀봉 용기(11)에 대해 액세스하는 시간 간격이 비교적 길 때(즉, 액세스 빈도가 낮을 때)는, 뚜껑부(12) 및 뚜껑 개폐부(16)에 의해 개구(121)를 닫고, 액세스하는 시간 간격이 비교적 짧을(즉, 액세스 빈도가 높을) 때는, 개폐 기구(17)에 의해 개구(121)를 닫도록 하는 것도 생각할 수 있다.
또 개폐 기구(17)에 의한 닫힘 상태 시에, 밀봉 용기(11)의 개구부(121)의 위치를, 도 3에 나타내는 위치로부터, 프레임 개구부(151)에 더 들어가는 위치에까지 이동시킴으로써, 개폐 기구(17)에 접근시키도록 해도 된다. 이것에 의해, 개폐 기구(17)에 의해 개구(121)를 닫았을 때의, 밀봉 용기(11)의 밀폐도를 더 향상시키는 것이 가능하다.
또, 밀봉 용기(11)의 개구(121)의 개폐를, 뚜껑부(12)와 뚜껑 개폐부(16)에 의해 행하는 경우에, 뚜껑 개폐부(16)가 뚜껑부(12)를 밀봉 용기(11)의 개구단에 대어 밀착시키기만 하고, 완전히 뚜껑부(12)를 밀봉 용기(11)에 고정(로크)하지 않도록 하는 것도 생각할 수 있다. 이 경우에 있어서도, 뚜껑 개폐부(16)에 의해 밀봉 용기(11)를 밀폐했을 때와, 거의 동일한 밀폐 효과를 얻을 수 있다. 또한, 밀봉 용기(11)를 개폐할 때에, 뚜껑부(12)의 로크 및 로크 해제에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
또, 기판 처리 장치(1)의 기판 처리부(30)는, 복수의 세정 유닛 SP1~SP12를 구비하고 있다. 그러나 본 발명은, 기판 처리부(30)가 단일의 세정 유닛만으로 구성되는 경우에도 유효하다.
또, 기판 처리부(30)에 설치되는 처리 유닛은, 기판을 세정 처리하는 것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 노광, 건조, 플라즈마 에칭 등의 각 처리 중 어느 하나를 실행하는 처리 유닛이, 기판 처리부(30)에 설치되어 있어도 된다. 또, 다른 처리를 행하는 복수 종류의 처리 유닛이, 기판 처리부(30)에 설치되는 것도 유효하다.
또, 기판(9)은, 반도체 웨이퍼에 한정되는 것이 아니며, 그 외의 기판(프린트 기판, 컬러 필터용 기판, 액정 표시 장치나 플라즈마 표시 장치에 구비되는 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판, 광디스크용 기판, 태양 전지용 패널)이어도 된다. 이때, 기판의 종별에 따라, 기판 처리 장치(1)를 변형시켜도 된다. 또, 기판 처리 장치(1)는, 세정 처리를 행하는 것에 한정되는 것이 아니며, 노광 처리, 현상 처리, 플라즈마 에칭 처리, 건조 처리 등의 처리를 행하는 장치에 변형하는 것도 생각할 수 있다.
또, 상기 각 실시 형태 및 각 변형예에서 설명한 각 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적절히 조합할 수 있다.
1: 기판 처리 장치 11: 밀봉 용기
12: 뚜껑부 121: 개구
13: 불활성 가스 공급부 16: 뚜껑 개폐부
17: 개폐 기구 171: 승강 기구
20: 기판 반송부 30: 기판 처리부
40: 제어부 401: 스케줄 작성부
402: 실행 지시부 403: 농도 취득부
441: 스케줄 데이터 9: 기판
CR1: 제2 반송 로봇 IR1: 제1 반송 로봇
P1: 프로그램 PS1: 기판 수도부
SP(SP1~SP12): 세정 유닛 ST1~ST4: 용기 재치부
TR1: 열림 동작 소요 시간 TR2: 닫힘 동작 소요 시간

Claims (11)

  1. 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서,
    기판을 반입 또는 반출하기 위한 개구가 형성되는 밀봉 용기와,
    상기 개구를 개폐하는 개폐부와,
    상기 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리부와,
    상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하는 기판 반송부와,
    상기 처리부에 있어서의 기판의 처리 시간에 따라, 상기 개폐부가 상기 개구를 개폐하는 시간, 및, 상기 기판 반송부가 상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하는 시간을 규정한 스케줄을 작성하는 스케줄 작성부와,
    상기 스케줄에 의거하여, 상기 개폐부 및 상기 기판 반송부에 동작의 실행을 지시하는 실행 지시부를 구비하고 있고,
    상기 개폐부는, 상기 개구를 닫는 제1 개폐부와, 상기 개구를 닫음과 함께, 상기 개구를 닫았을 때에, 상기 제1 개폐부에 의해 상기 개구를 닫았을 때보다, 상기 밀봉 용기의 밀봉도가 낮아지는 제2 개폐부를 가지며,
    상기 스케줄 작성부는, 상기 제2 개폐부의 개폐 동작의 타이밍을 규정한 스케줄을 작성하는, 기판 처리 장치.
  2. 밀봉 용기에 형성된 개구를 개폐함으로써, 기판의 반입 또는 반출을 가능하게 하는 개폐부와, 상기 개구를 통하여 기판을 반입 또는 반출하는 기판 반송부와, 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리부를 구비한 기판 처리 장치에 있어서, 기판을 처리하는 기판 처리 방법으로서,
    (a) 상기 처리부에 있어서, 기판에 대한 처리를 행하는 처리 스케줄을 작성하는 공정과,
    (b) 상기 처리 스케줄에 의거하여, 상기 개폐부가 상기 밀봉 용기의 상기 개구를 개폐하는 타이밍을 결정하는 공정을 포함하고,
    상기 개폐부는, 상기 개구를 닫는 제1 개폐부와, 상기 개구를 닫음과 함께, 상기 개구를 닫았을 때에, 상기 제1 개폐부에 의해 상기 개구를 닫았을 때보다, 상기 밀봉 용기의 밀봉도가 낮은 제2 개폐부를 가지고 있으며,
    상기 (b) 공정은, 상기 제2 개폐부의 개폐 동작의 타이밍을 결정하는 공정인, 기판 처리 방법.
  3. 컴퓨터가 판독 가능한 프로그램을 기록한 기록 매체로서,
    상기 프로그램은, 상기 컴퓨터가 상기 프로그램을 실행함으로써, 상기 컴퓨터를,
    기판을 반입 또는 반출하기 위한 개구가 형성되는 밀봉 용기와,
    상기 개구를 개폐하는 개폐부와,
    상기 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리부와,
    상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하는 기판 반송부를 구비하고 있는 기판 처리 장치에 있어서,
    상기 처리부에 있어서의 기판의 처리 시간에 따라, 상기 개폐부가 상기 개구를 개폐하는 타이밍, 및, 상기 기판 반송부가 상기 밀봉 용기로부터 기판을 반출하거나, 또는, 상기 밀봉 용기에 기판을 반입하는 시간을 규정한 스케줄을 작성하는 스케줄 작성부로서 기능시키며,
    상기 개폐부는, 상기 개구를 닫는 제1 개폐부와, 상기 개구를 닫음과 함께, 상기 개구를 닫았을 때에, 상기 제1 개폐부에 의해 상기 개구를 닫았을 때보다, 상기 밀봉 용기의 밀봉도가 낮아지는 제2 개폐부를 가지며,
    상기 스케줄 작성부는, 상기 제2 개폐부의 개폐 동작의 타이밍을 규정한 스케줄을 작성하는,
    기록 매체.
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