JP2014033180A - 基板処理装置、プログラムおよび基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置1は、内部に基板9を収納する空間を有しており、基板9を搬入または搬出するための開口121が形成されている密封容器11、開口121を開閉する開閉機構17、基板9に対して洗浄処理を行う基板処理部30、および、密封容器11に対し、基板9を搬出入する第一搬送ロボットIR1、を備えている。また、基板処理装置1は、基板処理部30における、基板9の処理時間に応じて、開閉機構17が開口121を開閉するタイミング、および、基板搬送部20が密封容器11から基板9を搬入する、または、密封容器11から基板9を搬出するタイミングを規定したスケジュールデータ441を作成するスケジュール作成部401を備えている。
【選択図】図3
Description
<1.1. 基板処理装置の構成および機能>
図1は、実施形態に係る基板処理装置1の概略平面図である。また、図2は、基板処理装置1の概略側面図である。図1および以降の各図においては、各要素の位置関係を明確にするため、XYZ直交座標系が付されている場合がある。このXYZ直交座標系において、X軸およびY軸で定義される平面を水平面、Z軸を鉛直方向として説明する。
図6は、基板処理装置1の動作の一例を示す流れ図である。まず、スケジュール作成部401は、レシピ情報に基づき、処理する基板9毎に、一連の処理の流れに関する仮タイムテーブルを作成する(ステップS1)。仮タイムテーブルには、第一搬送ロボットIR1、第二搬送ロボットCR1および洗浄ユニットSPが、1枚の基板9に対して実行する処理のシーケンスが規定されている。
まず、第1の開閉条件は、開口121が閉じられている場合、第一搬送ロボットIR1が密封容器11から基板9を搬出し始める、または、密封容器11に基板9を搬入し始める時間よりも、開閉機構17による開動作に要する時間幅以上に早いタイミングで、開閉機構17が開口121の開放を開始する。
また、第2の開閉条件は、開閉機構17によって開口121が開放された状態とされている場合に、その時点から、次に第一搬送ロボットIR1が密封容器11から基板9を搬出し始める、または、密封容器11に基板9を搬入し始めるまでの時間幅が、開閉機構17による閉動作所要時間および開動作所要時間の合計時間幅よりも長い場合、開閉機構17が開口121を閉じる。
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
11 密封容器
12 蓋部
121 開口
13 不活性ガス供給部
16 蓋開閉部
17 開閉機構
171 昇降機構
20 基板搬送部
30 基板処理部
40 制御部
401 スケジュール作成部
402 実行指示部
403 濃度取得部
441 スケジュールデータ
9 基板
CR1 第二搬送ロボット
IR1 第一搬送ロボット
P1 プログラム
PS1 基板受渡部
SP(SP1〜SP12) 洗浄ユニット
ST1〜ST4 容器載置部
TR1 開動作所要時間
TR2 閉動作所要時間
Claims (11)
- 基板を処理する基板処理装置であって、
基板を搬入または搬出するための開口が形成される密封容器と、
前記開口を開閉する開閉部と、
前記基板に対して所定の処理を行う処理部と、
前記密封容器から基板を搬出する、または、前記密封容器に基板を搬入する基板搬送部と、
前記処理部における基板の処理時間に応じて、前記開閉部が前記開口を開閉する時間、および、前記基板搬送部が前記密封容器から基板を搬出する、または、前記密封容器に基板を搬入する時間を規定したスケジュールを作成するスケジュール作成部と、
前記スケジュールに基づいて、前記開閉部および前記基板搬送部に動作の実行を指示する実行指示部と
を備えている、基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記スケジュール作成部は、
前記開口が開閉部によって開放されている状態において、次に前記基板搬送部が前記密封容器から基板を搬出し始める、または、前記密封容器に基板を搬入し始めるまでの時間幅が、前記開閉部の閉動作に要する時間幅および前記開閉部の開動作に要する時間幅の合計時間幅よりも長い場合に、前記開閉部が前記開口を閉じるように前記スケジュールを作成する、基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
前記スケジュール作成部は、
前記開口が前記開閉部によって閉じられている状態において、次に前記基板搬送部が前記密封容器から基板を搬出し始める、または、前記密封容器に基板を搬入し始める時間よりも、前記開閉部による開動作に要する時間幅以上に早いタイミングで、前記開閉部が前記開口の開放を開始するように前記スケジュールを作成する、基板処理装置。 - 請求項1から3までのいずれか1項に記載の基板処理装置において、
不活性ガスを前記容器内に供給する不活性ガス供給部と、
前記密封容器内の不活性ガス濃度を取得する濃度取得部と、
をさらに備え、
前記スケジュール作成部は、
前記濃度取得部によって取得される前記不活性ガス濃度が、所定の基準値を下回る場合に、前記開閉部によって前記開口が閉じられるように前記スケジュールを作成する、基板処理装置。 - 請求項1から4までのいずれか1項に記載の基板処理装置において、
前記開閉部は、
前記開口を閉じる第一開閉部と、
前記開口を閉じるとともに、前記開口を閉じた際に、前記第一開閉部によって前記開口を閉じたときよりも、前記密封容器の密封度が低くなる第二開閉部と、
を有し、
前記スケジュール作成部は、
前記第二開閉部の開閉動作のタイミングを規定したスケジュールを作成する、基板処理装置。 - コンピュータが読み取り可能なプログラムであって、前記コンピュータが前記プログラムを実行することによって、前記コンピュータを、
基板を搬入または搬出するための開口が形成される密封容器と、
前記開口を開閉する開閉部と、
前記基板に対して所定の処理を行う処理部と、
前記密封容器から基板を搬出する、または、前記密封容器に基板を搬入する基板搬送部と、
を備えている基板処理装置において、
前記処理部における基板の処理時間に応じて、前記開閉部が前記開口を開閉するタイミング、および、前記基板搬送部が前記密封容器から基板を搬出する、または、前記密封容器に基板を搬入する時間を規定したスケジュールを作成するスケジュール作成部、として機能させるプログラム。 - 密閉容器に形成された開口を開閉することによって、基板の搬入または搬出を可能にする開閉部と、前記開口を介して基板を搬入または搬出する基板搬送部と、基板に対して所定の処理を行う処理部とを備えた基板処理装置において、基板を処理する基板処理方法であって、
(a) 前記処理部において、基板に対する処理を行う処理スケジュールを作成する工程と、
(b) 前記処理スケジュールに基づいて、前記開閉部が前記密閉容器の前記開口を開閉するタイミングを決定する工程と、
を含む、基板処理方法。 - 請求項7に記載の基板処理方法において、
前記(b)工程は、
前記開口が前記開閉部によって開放されている状態において、次に前記基板搬送部が前記密封容器から基板を搬出し始める、または、前記密封容器に基板を搬入し始めるまでの時間幅が、前記開閉部の閉動作に要する時間幅および前記開閉部の開動作に要する時間幅の合計時間幅よりも長い場合に、前記開閉部が前記開口部を閉じるように前記タイミングを決定する工程である、基板処理方法。 - 請求項7または8に記載の基板処理方法において、
前記(b)工程は、
前記開口が前記開閉部によって閉じられている状態において、次に前記基板搬送部が前記密封容器から基板を搬出し始める、または、前記密封容器に基板を搬入し始める時間よりも、前記開閉部による開動作に要する時間幅以上に早いタイミングで、前記開閉部が前記開口の開放を開始するように前記タイミングを決定する工程である、基板処理方法。 - 請求項7から9までのいずれか1項に記載の基板処理方法において、
前記基板処理装置は、不活性ガスを前記容器内に供給する不活性ガス供給部と、
前記密封容器内の不活性ガス濃度を取得する濃度取得部と、
を備えており、
前記(b)工程は、
前記濃度取得部によって取得される前記不活性ガス濃度が、所定の基準値を下回る場合に、前記開閉部によって前記開口が閉じられるように、前記タイミングを作成する工程である、基板処理方法。 - 請求項7から10までのいずれか1項に記載の基板処理方法において、
前記開閉部は、
前記開口を閉じる第一開閉部と、
前記開口を閉じるとともに、前記開口を閉じた際に、前記第一開閉部によって前記開口を閉じたときよりも、前記密封容器の密封度が低い第二開閉部と、
を有しており、
前記(b)工程は、
前記第二開閉部の開閉動作のタイミングを決定する工程である、基板処理方法。
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