KR101906939B1 - 글래스 기판 픽업 및 플레이스 디바이스 - Google Patents

글래스 기판 픽업 및 플레이스 디바이스 Download PDF

Info

Publication number
KR101906939B1
KR101906939B1 KR1020177002080A KR20177002080A KR101906939B1 KR 101906939 B1 KR101906939 B1 KR 101906939B1 KR 1020177002080 A KR1020177002080 A KR 1020177002080A KR 20177002080 A KR20177002080 A KR 20177002080A KR 101906939 B1 KR101906939 B1 KR 101906939B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
loading
stoppers
stopper
bracket
Prior art date
Application number
KR1020177002080A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170019469A (ko
Inventor
스잉 순
Original Assignee
센젠 차이나 스타 옵토일렉트로닉스 테크놀로지 컴퍼니 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 센젠 차이나 스타 옵토일렉트로닉스 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 filed Critical 센젠 차이나 스타 옵토일렉트로닉스 테크놀로지 컴퍼니 리미티드
Publication of KR20170019469A publication Critical patent/KR20170019469A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101906939B1 publication Critical patent/KR101906939B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0028Gripping heads and other end effectors with movable, e.g. pivoting gripping jaw surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0214Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022Flat
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04Arrangements of vacuum systems or suction cups

Abstract

글래스 기판 (12) 픽업 및 플레이스 디바이스, 포함한다: 글래스 기판 (12) 을 베어링하기 위한 캐리어 지지대 (110), 베어링 지지대 (110) 상에 고정되어 배치된 제1 스톱 블록 (111), 그리고 베어링 지지대 (110) 상에 이동할 수 있게 배치된 제2 스톱 블록 (112), 글래스 기판 (12) 상의 기준 포지셔닝을 수행하기 위해 사용되는 제1 스톱 블록 (111), 그리고 베어링 지지대 (110) 로 이동되는 것에 의해 글래스 기판 (12) 을 고정하기 위해 사용되는 제2 스톱 블록 (112). 그 장치는 글래스 기판 (12) 의 이동 위험을 크게 감소시킨다, 그리고 글래스 기판 (12) 의 파손을 감소시킨다, 따라서 제조 비용을 감소시킨다.

Description

글래스 기판 픽업 및 플레이스 디바이스{GLASS SUBSTRATE PICK UP AND PLACE DEVICE}
본 발명은 액정 디스플레이들의 기술 분야에 관련된 것이다, 그리고 더 구체적으로 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에 관련된 것이다.
액정 디스플레이들의 제조에서, 글래스 기판을 카세트로부터 생산 라인으로 이송하는 것, 그리고 원하는 제조 프로세스를 수행하는 것이 필요하다. 게다가, 이송 프로세스에서, 카세트에 로드된 글래스 기판은 카세트로부터 샘플링 검사를 위해 집어진다, 그리고 샘플링 검사에 의해 자격이 획득되면 카세트로 다시 놓여진다.
그러나, 일반적으로 말해서, 글래스 기판은 두께가 보통 0.4-0.7㎜ 이다, 그리고 깨지기 쉽다, 따라서 글래스 기판은 글래스 기판의 로딩과 언로딩 과정에서 쉽게 부서진다. 만약 카세트 상에 글래스 기판의 놓여진 위치가 잘못되면, 글래스 기판은 카세트로부터 로드/언로드될 때 더욱 쉽게 부서진다. 도 1a 내지 1d를 참조하면, 카세트 상에 글래스 기판의 몇몇 잘못된 배치 상황들을 보여준다, 여기서 도 1a는 좌측으로 치우친 글래스 기판을 보여주는 개략도이다; 도 1b는 우측으로 치우친 글래스 기판을 보여주는 개략도이다; 도 1c는 외측으로 치우친 글래스 기판을 보여주는 개략도이다; 도 1d는 치우치고 돌아간 글래스 기판을 보여주는 개략도이다. 추가적으로, 흔들리고 불안정한 공기흐름과 같은 몇몇 문제들이 이송 프로세스 동안 쉽게 발생한다, 이는 글래스 기판이 떨어지거나 부서지는 것을 야기할 수 있다. 즉, 전통적인 기술에서, 글래스 기판의 배치 정밀도가 낮기 때문에, 글래스 기판이 집어지고/놓여질 때 쉽게 부서진다, 그리고 비용이 증가된다.
결과적으로, 앞서 언급된 문제점들을 해결하는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스를 제공하는 것이 필요하다.
본 발명의 목적은 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스를 제공하는 것이다, 그것은 생산 비용을 낮출 수 있도록, 글래스 기판의 이동 편차 위험을 감소시키고, 글래스 기판의 파손 위험을 감소시킬 수 있다.
앞서 언급된 문제점들을 해결하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들의 기술적 해결책은 다음과 같다:
글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스는, 포함한다: 베이스 브라켓; 베이스 브라켓 상에 배치된 로딩 파트; 여기서 로딩 파트는 포함한다: 로딩 브라켓; 로딩 브라켓 상에 움직이지 않게 배치된 적어도 하나의 제1 스토퍼; 그리고 로딩 브라켓 상에 움직일 수 있게 배치된 다수의 제2 스토퍼들, 여기서 텔리스코픽 구조물이 제2 스토퍼들 상에 배치된다.
여기서 제1 스토퍼들 및 제2 스토퍼들의 수량은 적어도 네 개 이상이다; 로딩 브라켓은 글래스 기판을 로드하기 위해 사용된다; 제1 스토퍼는 로딩 브라켓 상에서 글래스 기판의 지향(orientation)을 위해 사용된다; 그리고 제2 스토퍼들은 로딩 브라켓 상에서 연장하거나 수축하고 이동하는 텔리스코픽 구조물에 의해 로딩 브라켓 상의 글래스 기판을 고정하기 위해 사용된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 로딩 브라켓은 다수의 에어 쿠션들과 함께 제공된다, 그리고 에어 쿠션들은 글래스 기판을 집거나 놓을 때 글래스 기판을 빨아들이고 고정하기 위해 사용된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 에어 쿠션들은 제2 스토퍼들이 로딩 브라켓 상에서 움직일 때 글래스 기판과 로딩 브라켓 사이에 에어 서스펜션을 형성하기 위해 사용된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 로딩 브라켓은 두 개의 로딩 암들로서 배치된다, 그리고 베이스 브라켓에 인접한 두 개의 로딩 암들의 각각의 일단은 제1 스토퍼들의 하나에 제공된다, 그리고 그것의 타단은 제2 스토퍼들의 하나에 상응하여 제공된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 제1 스토퍼들에 대응하는 반대편 단에 배치된 제2 스토퍼들은 로딩 암들의 평행한 방향에서 이동에 의해 로딩 암들 상의 글래스 기판을 고정하기 위해 사용된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 두 개의 로딩 암들은 모두 에어 쿠션들이 제공된다, 그리고 에어 쿠션들은 제1 스토퍼와 제1 스토퍼에 대응하는 제2 스토퍼 사이에서 같은 거리에 배치된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 글래스 기판의 좌측 또는 우측 모서리들에 인접한 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆은 제2 스토퍼들에 상응하여 제공된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 로딩 암들의 옆 모서리들에 배치된 제2 스토퍼들은 로딩 암들의 옆 모서리들에 수직인 방향에서 이동에 의해 로딩 암들 상의 글래스 기판을 고정하기 위해 사용된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆이 제2 스토퍼들의 하나에 제공될 때, 제2 스토퍼들은 제1 스토퍼와 제1 스토퍼에 대응하는 제2 스토퍼의 중간에 배치된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆들이 적어도 두 개의 제2 스토퍼들에 제공될 때, 제2 스토퍼들은 제1 스토퍼와 제1 스토퍼에 대응하는 제2 스토퍼 사이에서 같은 거리에 배치된다.
글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스는, 포함한다: 베이스 브라켓; 베이스 브라켓 상에 배치된 로딩 파트; 여기서 로딩 파트는 포함한다: 로딩 브라켓; 로딩 브라켓 상에 움직이지 않게 배치된 적어도 하나의 제1 스토퍼; 그리고 로딩 브라켓 상에 움직일 수 잇게 배치된 다수의 제2 스토퍼들;
여기서 제1 스토퍼들 및 제2 스토퍼들의 수량은 적어도 네 개 이상이다; 로딩 브라켓은 글래스 기판을 로드하기 위해 사용된다; 제1 스토퍼는 로딩 브라켓 상에서 글래스 기판의 지향(orientation)을 위해 사용된다; 그리고 제2 스토퍼들은 로딩 브라켓 상에서 움직이는 제2 스토퍼들에 의해 로딩 브라켓 상의 글래스 기판을 고정하기 위해 사용된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 로딩 브라켓은 다수의 에어 쿠션들이 제공된다, 그리고 에어 쿠션들은 글래스 기판을 집거나 놓을 때 글래스 기판을 빨아들이고 고정하기 위해 사용된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 에어 쿠션들은 제2 스토퍼들이 로딩 브라켓 상에서 움직일 때 글래스 기판과 로딩 브라켓 사이에서 에어 서스펜션을 형성하기 위해 사용된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 로딩 브라켓은 두 개의 로딩 암들로서 배치된다, 그리고 베이스 브라켓과 인접한 두 개의 로딩 암들의 각각의 일단은 제1 스토퍼들의 하나에 제공된다, 그리고 그것의 타단은 제2 스토퍼들의 하나에 상응하여 제공된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 제1 스토퍼들에 대응하는 반대편 단에 배치되는 제2 스토퍼들은 로딩 암들의 평행한 방향에서 이동에 의해 로딩 암들 상의 글래스 기판을 고정하기 위해 사용된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 두 개의 로딩 암은 모두 에어 쿠션들이 제공된다, 그리고 에어 쿠션들은 제1 스토퍼와 제2 스토퍼에 대응하는 제2 스토퍼 사이에서 같은 거리에 배치된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 글래스 기판의 좌측 또는 우측 모서리들에 인접한 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆은 제2 스토퍼들에 상응하여 제공된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 로딩 암들의 옆 모서리들에 배치된 제2 스토퍼들은 로딩 암들의 옆 모서리들에 수직인 방향에서 이동에 의해 로딩 암들 상의 글래스 기판을 고정하기 위해 사용된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆이 제2 스토퍼들의 하나에 제공될 때, 제2 스토퍼들은 제1 스토퍼와 제1 스토퍼에 대응하는 제2 스토퍼의 중간에 배치된다.
앞서 언급된 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에서, 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆들이 적어도 두 개의 제2 스토퍼들에 제공될 때, 제2 스토퍼들은 제1 스토퍼와 제1 스토퍼에 대응하는 제2 스토퍼 사이에서 같은 거리에 배치된다.
이런 이유로, 기존의 기술과 비교하여, 본 발명의 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스는, 제1 스토퍼와 제2 스토퍼가 글래스 기판을 조정하기 위해 추가된다, 그리고 로딩 암들 상의 글래스 기판의 위치를 1차로 확인하는 것이 가능하다, 그리고 진공을 켠다. 그러므로, 글래스 기판의 이동 편차의 위험을 감소시킨다, 그리고 글래스 기판의 파손 위험을 감소시킨다, 그것에 의해 비용을 낮출 수 있도록 한다.
아래에서는, 수반하는 도면들을 참조하여, 본 발명의 면들과 그것의 이로운 효과들이 더욱 명확히 정의되도록, 본 발명의 구체적인 실시예들을 더 설명한다.
도 1a 내지 1d는 카세트에서 글래스 기판의 잘못된 배치들을 보여주는 개략도들이다;
도 2는 본 발명의 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스의 구조적인 개략도이다;
도 3은 본 발명의 글래스 기판을 위한 다른 픽 앤 플레이스 디바이스의 구조적인 개략도이다;
도 4는 본 발명의 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스의 개략적인 측면도이다;
도 5는 본 발명의 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스의 다른 개략적인 측면도이다;
도 6은 본 발명의 제2 스토퍼의 구조적인 개략도이다; 그리고
도 7은 본 발명의 제2 스토퍼의 다른 구조적인 개략도이다.
구성 등을 나타내는 동일한 부호들이 예시들로서 적절한 계산 환경에서 구현된 본 발명의 원리들을 나타내기 위해 사용된 도면들을 참조해 달라. 다음 서술은 본 발명의 구체적으로 설명된 실시예에 기초한다, 그것은 본 발명의 설명되지 않은 실시예를 제한하는 것으로서 해석되어서는 안될 것이다.
도 2를 참조하면, 도 2는 본 발명의 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스의 구조적인 개략도이다, 여기서 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스는 포함한다: 베이스 브라켓 10 및 베이스 브라켓 10 상에 배치된 로딩 파트 11.
로딩 파트 11 는 로딩 브라켓 110 과 다수의 제1 및 제2 스토퍼들을 포함한다, 여기서 제1 스토퍼 111 는 로딩 브라켓 110 상에 움직이지 않게 배치된다; 제2 스토퍼 112 는 로딩 브라켓 110 상에 움직일 수 있게 배치된다; 그리고 제1 스토퍼들 111 과 제2 스토퍼들 112 의 수량은 적어도 네 개 이상이다.
게다가, 로딩 브라켓 110 은 글래스 기판 12 을 로드하기 위해 사용된다.
제1 스토퍼 111 는 로딩 브라켓 110 상에서 글래스 기판 12 의 지향(orientation)을 위해 사용된다.
제2 스토퍼 112 는 로딩 브라켓 110 상에서 이동에 의해 로딩 브라켓 110 상의 글래스 기판 12 을 고정하기 위해 사용된다.
로딩 브라켓 110 상에 배치되는 스토퍼들은 제1 스토퍼 111 와 제2 스토퍼 112 를 포함하는 것으로 이해되어야 한다, 그리고 제1 스토퍼들 111 과 제2 스토퍼들 112 의 수량은 적어도 네 개 이상이다. 바람직하게, 도 2에 보여지는 것처럼, 스토퍼들은 로딩 브라켓 110 의 네 개의 모서리들 상에 배치될 수 있다, 그리고 적어도 네 개의 스토퍼들에서, 적어도 하나의 제1 스토퍼 111 가 포함된다.
바람직하게, 도 2에 보여지는 것처럼, 로딩 브라켓 110 의 각 모서리들은 하나의 스토퍼가 제공된다, 여기서 각각의 제1 스토퍼들 111 의 일단은 베이스 브라켓 10 에 가장 근접한 모서리에 배치된다, 그리고 세 개의 제2 스토퍼들 112 은 로딩 브라켓 110 의 다른 모서리들에 배치된다.
글래스 기판 12 이 로딩 브라켓 110 상에 놓여진 후, 글래스 기판 12 은 제1 스토퍼 111 에 기초하여 지향될 수 있다, 그리고 제2 스토퍼들 112 은 로딩 브라켓 110 상에 글래스 기판 12 을 고정할 수 있도록, 글래스 기판 12 을 향해, 즉 안쪽으로, 이동될 수 있다. 결과적으로, 만약 글래스 기판 12 이 로딩 브라켓 110 으로부터 집어지면, 제2 스토퍼 112 가 글래스 기판 12 의 언로딩을 이루기 위해, 글래스 기판 12 으로부터 멀리, 즉 바깥쪽으로, 이동될 수 있다. 도 2에서, 제2 스토퍼들 112 의 이동 방향들을 가리키는 화살표들이 있다.
바람직하게, 도 2에 보여지는 것처럼, 로딩 브라켓 110 은 다수의 에어 쿠션들 114 이 제공된다, 그리고 에어 쿠션들 114 은 글래스 기판 12 을 집고/놓을 때 글래스 기판 12 을 빨아들이고 고정하기 위해 사용된다. 즉, 에어 쿠션들 114 이 글래스 기판 12 을 집고/놓을 때 진공 패드들이 되도록 사용된다. 글래스 기판 12 은 글래스 기판 12 이 떨어지는 것을 피하기 위하여, 스토퍼들에 의해 고정되기 전에 진공 패드들의 빨아들이는 기능에 의해 고정될 수 있다.
뿐만 아니라, 바람직하게, 에어 쿠션들 114 은 제2 스토퍼들 112 이 로딩 브라켓 110 상에서 이동할 때 글래스 기판 12 과 로딩 브라켓 110 사이에서 에어 서스펜션을 형성하기 위해 사용될 수 있다. 제2 스토퍼들 112 은 로딩 브라켓 110 상에서 이동된다, 그리고 그것에 의해 글래스 기판 12 이 그것과 함께 이동되도록 드라이브하는 것이 가능하다, 이 순간에서, 그것의 빨아들이는 기능이 턴-온 되고, 에어 서스펜션 쿠션들로서 사용된다. 즉, 에어 서스펜션 쿠션들과 플레인 사이에 형성된 얇은 에어 층에 의해, 얇은 에어 층의 두께는 1mm 또는 그보다 작은, 그리고 글래스 기판 12 이 긁히는 것을 피할 수 있도록 마찰 없이 미끄러지는 상태가 수립된다.
바람직하게, 로딩 브라켓 110 의 비용을 절감할 수 있도록, 로딩 브라켓 110 은 두 개의 로딩 암들로서 배치될 수 있다. 도 3을 참조하면, 도 3은 본 발명의 글래스 기판을 위한 다른 픽 앤 플레이스 디바이스의 구조적인 개략도이다.
바람직하게, 로딩 브라켓 110 은 두 개의 로딩 암들로서 배치된다, 여기서 베이스 브라켓 10 에 인접한 두 개의 로딩 암들의 각 단은 제1 스토퍼들 111 의 하나에 제공된다, 그리고 그것의 다른 단은 제2 스토퍼들 112 의 하나에 상응하여 제공된다. 게다가, 글래스 기판 12 의 모서리들에 인접한 두 개의 로딩 암들의 각 옆은 제2 스토퍼들 112 에 상응하여 제공된다. 도 3에 보여지는 것처럼, 두 개의 로딩 암들의 각 바깥 옆이 제2 스토퍼들 112 의 두 개에 제공된다.
도 4와 도 5를 참조하면, 도 4와 도 5는 도 3의 글래스를 위한 픽 액 플레이스 디바이스의 개략적인 측면도이다.
바람직하게, 제2 스토퍼들 112 의 옆모습은 L-형태로서 형성될 수 있다, 여기서 그것의 긴 옆의 끝은 로딩 암과 연결된다, 동시에, 도 3을 참조하면, 그것의 긴 옆은 로딩 암에 수직이다.
게다가, 제2 스토퍼들 112 의 긴 옆은 텔리스코프 구조물이 제공된다.
제2 스토퍼들 112 의 긴 옆이 텔리스코프 구조물에 의해 텔리스코픽하게 이동되면, 제2 스토퍼들 112 의 짧은 옆이 텔리스코프 구조물의 이동 방향을 따라 이동된다. 도 4에 보여지는 것처럼, 글래스 기판 12 이 로딩 암들 상에 놓여지기 전에, 제2 스토퍼들 112 의 텔리스코프 구조물과 그것과 함께 연결된 짧은 옆이 바깥쪽으로 연장된다. 도 5에 보여지는 것처럼, 글래스 기판 12 이 로딩 암들 상에 놓여진 후에, 제2 스토퍼들 112 의 텔리스코프 구조물과 그것과 함께 연결된 짧은 옆이 제2 스토퍼 112 의 짧은 옆이 글래스 기판 12 과 접촉될 때까지 안쪽으로 수축된다. 도 4 및 5에서, 제2 스토퍼들 112 의 이동 방향들을 가리키는 화살표들이 있다.
즉, 제1 스토퍼 111 에 대응하여 반대편 단에 배치된 제2 스토퍼들 112 은 로딩 암들의 그것에 평행한 방향에서 이동에 의해 로딩 암들 상의 글래스 기판 12 을 고정하기 위해 사용된다; 그리고 로딩 암들의 옆 모서리들에 배치된 제2 스토퍼들은 로딩 암들의 그것에 수직인 방향에서 이동에 의해 로딩 암들 상의 글래스 기판 12 을 고정하기 위해 사용된다.
본 발명의 바람직한 실시예들에서 제2 스토퍼들 112 의 옆모습이 비표준적인 L 형태일 수 있는 것을 설명할 필요가 있다. 예를 들어, 빗각이 긴 옆과 짧은 옆 사이에 있을 수 있다(그것들은 직각이 아닌 각과 함께 연결될 수 있다), 또는 스토핑 블락이 글래스 기판 12 이 떨어지는 것을 피하기 위해 짧은 옆의 끝에 배치될 수 있다, 그리고 앞서 언급된 형태들은 제2 스토퍼들 112 의 기능에 영향을 주지 않는다.
도 4와 5에서 제1 스토퍼 111 에 대응하는 반대편 단 또는 로딩 암들의 좌측 모서리들에 배치된 하나의 제2 스토퍼 112, 모든 제2 스토퍼들 112 이 같은 장치에 있을 수 있는 것을 보여주기 때문에, 이것은 여기서 논의되지 않는다는 것이 쉽게 이해될 수 있다.
구체적으로, 제2 스토퍼들 112 의 긴 옆의 안쪽에 배치된 텔리스코프 구조물이 제2 스토퍼들 112 의 이동을 이루기 위해 아래 구조물로서 설치될 수 있다.
도 6을 참조하면, 도 6은 텔리스코픽 구조물의 구조적인 개략도이다, 여기서 숫자 115는 텔리스코픽 구조물을 가리킨다. 텔리스코픽 구조물 115 은 제2 스토퍼들 112 의 긴 옆의 안쪽에 배치된다, 그리고 나사의 날로서 형성된다. 게다가, 제2 스토퍼들 112 의 긴 옆의 안쪽 부분은 또한 텔리스코픽 구조물 115 과 함께 동작하는 나사의 날로서 형성된다.
외부 도구를 사용함에 의해, 렌치 같은, 텔리스코픽 구조물 115 을 드라이브하는, 텔리스코픽 구조물 115 은 돌려질 수 있고 외부 힘 하에서 긴 옆의 안쪽으로 이동될 수 있다, 그것에 의해 이동되는 제2 스토퍼들 112 의 짧은 옆을 드라이빙한다. 도 6에서, 텔리스코픽 구조물 115 의 이동 방향들을 가리키는 화살표가 있다.
도 7을 참조하면, 도 7은 텔리스코픽 구조물의 다른 구조적인 개략도이다, 여기서 숫자 116은 텔리스코픽 구조물을 가리킨다. 텔리스코픽 구조물 116 은 제2 스토퍼들 112 의 긴 옆의 안쪽에 배치된다, 여기서 긴 옆은 레벨 가이드 슬롯 117 과 함께 제공된다, 그리고 텔리스코픽 구조물 116 은 슬라이딩 핀 118 이 레벨 가이드 슬롯 117 안에서 미끄러질 수 있도록 슬라이딩 핀 118 과 함께 제공된다.
레벨 가이드 슬롯 117 과 함께 동작하는 슬라이딩 핀 118 에 의해, 텔리스코픽 구조물 116 은 슬라이딩 핀 118 의 한계 하에서 이동될 수 있다, 그리고 이동되는 제2 스토퍼들 112 의 짧은 옆을 드라이브한다. 도 7에서, 텔리스코픽 구조물 116 의 이동 방향들을 가리키는 화살표가 있다.
텔리스코픽 구조물 116 이 사용자의 요구되는 위치에 도달할 때, 당김 잠금장치나 클립 잠금장치와 같은, 잠금장치가 텔리스코픽 구조물 116 을 고정하기 위해 사용될 수 있다; 그것은 구체적으로 여기에 제한되지 않는다.
도 6과 7은 단지 바람직한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것이고, 본 발명을 제한하지 않는다는 것이 이해되어야만 한다.
도 3에 보여지는 것처럼, 두 개의 로딩 암은 모두 에어 쿠션들 114 이 제공된다, 그리고 에어 쿠션들 114 은 제1 스토퍼 111 와 제1 스토퍼 11 에 대응하는 제2 스토퍼 112 사이에서 같은 거리에 배치된다. 바람직한 실시에에서, 각각의 로딩 암은 세 개의 에어 쿠션들 114 이 제공된다, 그러나 그것의 숫자는 여기에 제한되지 않는다.
게다가, 로딩 브라켓 110 의 제2 스토퍼들 112 의 수는 글래스 기판의 크기에 의존한다. 로드된 G3.5의 글래스 기판을 위하여, 두 개의 로딩 암들의 각각의 좌측 및 우측 옆들은 제2 스토퍼들 112 의 하나에 제공된다, 여기서 제2 스토퍼 112 는 제1 스토퍼 111 와 제1 스토퍼 111 에 대응하는 제2 스토퍼 112 의 중간에 배치된다.
로드된 G5 또는 그보다 큰 글래스 기판을 위하여, 두 개의 로딩 암들의 각각의 좌측 및 우측 옆들은 적어도 두 개의 제2 스토퍼들 112 이 제공된다, 여기서 제2 스토퍼 112 는 제1 스토퍼 111 와 제1 스토퍼 111 에 대응하는 제2 스토퍼 112 사이에서 같은 거리에 배치된다.
더 좋은 본 발명의 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스를 이루기 위하여, 도 3에서 보여지는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스에 따르면, 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스는 다음과 같이 간단히 설명된다:
첫 번째 단계에서, 로딩 암은 카세트/머신으로부터 글래스 기판을 집는다; 로딩 암들이 이동될 때 글래스 기판이 미끄러지는 것을 방지하기 위하여, 에어 쿠션들 114 이 글래스 기판을 고정하는 진공 기능으로 턴-온 된다.
두 번째 단계에서, 로딩 암들이 목표 위치에 도달할 때, 에어 쿠션들 114 이 진공 기능으로부터 턴-오프 되고 에어 서스펜션 기능으로 변경된다, 그리고 글래스 기판이 조정되고 제1 스토퍼 111 와 제2 스토퍼들 112 에 의해 지향된다.
세 번째 단계는, 조정이 완료되고 제2 스토퍼들 112 이 글래스 기판으로부터 출발하지 않은 때, 에어 쿠션들 114 은 글래스 기판을 다시 고정하는 진공 기능으로 턴-온 된다.
네 번째 단계에서, 진공 기능으로 턴-온 된 후, 제2 스토퍼들 112 은 로딩 암들의 집고/놓는 작동을 완료하기 위하여, 느슨해지고 원래 위치로 돌아간다.
위에 언급된 것처럼, 본 발명의 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스는 그것의 이동 편차를 개선할 수 있다. 만약 로딩 암들에 조정 구조물(제1 스토퍼 111 및 제2 스토퍼들 112)이 제공되지 않는다면, 글래스 기판을 집고/놓는 것의 편차는 1mm 에서 2mm 사이이다. 그것의 이유는 글래스 기판을 패킹하는 동안 로딩 암들의 진공 기능이 턴-온 되지 않는다면 글래스 기판은 이동하는 위험을 갖는 것이다. 본 발명에서, 제1 스토퍼 111 와 제2 스토퍼들 112 이 글래스 기판을 조정하기 위해 추가되기 때문에, 로딩 암들 상의 글래스 기판의 위치를 첫 번째로 확인하는 것이 가능하다, 그리고 진공을 턴-온 한다. 그러므로, 글래스 기판의 이동 편차 위험을 감소시킨다, 그리고 그것은 비용을 낮출 수 있도록 글래스 기판의 파손 위험을 감소시킬 수 있다.
위의 실시예들에서, 특정 실시예에 집중된 다양한 실시예들의 설명이 세부적인 부분에서 설명되지 않는다, 여기에 설명되지 않은 다른 실시예들에서의 관련된 설명을 볼 수 있다.
이 기술에서 숙련된 자들은 여기에 사용된 단어들과 관련하여, "바람직하게"는 예시, 샘플 또는 실례로서 제공하는 것을 의미하는 것을 인식할 것이다. "선호되는" 어느 측면 또는 설계로서 설명된 텍스트는 반드시 다른 측면들 또는 설계들 상에 이점이 있는 것으로 해석된다. 반대로, 용어 "선호되는"은 특정 방법 컨셉을 의미한다. 여기서 사용된 것처럼, 용어 "또는"은 "또는"을 포함하거나 "또는"을 배제하지 않는 것을 의미하는 것으로 의도된다. 즉, 달리 명시하지 않는 한, 또는 문맥으로부터 명확하지 않는 한, "X는 101 또는 102를 이용한다"는 어떤 성질의 배열을 의미하고, 포함한다. 즉, 만약 X는 101을 이용하거나; X는 102를 이용하거나; 또는 X는 101과 102를 모두 이용하면, "X는 101 또는 102를 이용한다"는 전술한 예시들의 어느 하나에 부응된다.
더욱이, 본 개시에서 보여지고 서술된 하나 이상의 구현들과 관련된 것에 불구하고, 본 명세서 및 도면들에 기초하여 이 기술에서 숙련된 자들은 균등한 변형들과 변경들을 읽고 이해하는 것이 초래될 것이다. 본 개시는 그런 모든 변경들과 변형들을 포함한다, 그리고 첨부된 청구항들의 범위에 의해서만 제한된다. 특히, 앞서 설명된 구성들(예, 구성요소들, 자원들, 등)에 의해 수행된 다양한 기능들과 관련하여, 비록 여기서 보여진 본 개시의 구현의 구조물과 기능의 실행이 구조적으로 동등하지 않은 예시를 개시로 개시되더라도, 그러한 구성들을 설명하기 위해 사용된 용어들은 구성들 중 어느 하나(달리 지시되지 않는 한)의 특정 구성(예, 기능적으로 균등한)에 대응하는 기능을 수행하는 것을 의도된다.
또한, 본 개시의 특정 특징이 특정 구현 예와 관련하여 이루어졌지만, 단지 하나만이 열리지만, 이 특징은 주어진 애플리케이션 또는 특정 애플레케이션 및 원하는 하나 이상의 다른 구현을 가능하게 하는 목적일 수 있다. 또한, 용어 "포함하는", "갖는", "포함하는", 또는 그것의 변형은 상세한 설명 및 청구범위에서 사용되며, 이러한 용어는 용어 "포함하는"에 유사한 방식으로 사용되는 것이 의도된다.
비록 본 발명은 위에서 설명된 바람직한 실시예들에서 개시되었지만, 앞서 말한 바람직한 실시예들이 본 발명을 제한하는 것을 의도되지 않는다. 이 기술에서 보통의 스킬을 가진 자는, 본 발명의 정신과 범위로부터 벗어나지 않고, 다양한 변경들과 변형들을 구현할 것이다, 따라서 청구 범위들에서 정의된 발명의 보호 범위는 우세할 것이다.

Claims (20)

  1. 베이스 브라켓;
    상기 베이스 브라켓 상에 배치된 로딩 파트;
    상기 로딩 파트는 로딩 브라켓; 상기 로딩 브라켓 상에 움직이지 않게 배치된 적어도 하나의 제1 스토퍼; 및 상기 로딩 브라켓 상에 움직일 수 있게 배치된 다수의 제2 스토퍼들을 포함하고, 텔리스코픽 구조물이 상기 제2 스토퍼들 상에 배치되며,
    상기 제1 스토퍼들 및 상기 제2 스토퍼들의 수량은 적어도 네 개 이상이고; 상기 로딩 브라켓은 글래스 기판을 로딩하기 위해 사용되며; 상기 제1 스토퍼는 상기 로딩 브라켓 상에서 상기 글래스 기판의 지향(orientation)을 위해 사용되며; 그리고 상기 제2 스토퍼들은 상기 로딩 브라켓 상에서 연장하거나 수축하는 상기 텔리스코픽 구조물에 의해 상기 로딩 브라켓 상의 상기 글래스 기판을 고정하기 위해 사용되고;
    상기 로딩 브라켓은 두 개의 로딩 암들로서 배치되고, 상기 베이스 브라켓에 인접한 상기 두 개의 로딩 암들의 각각의 일단은 상기 제1 스토퍼들의 하나에 제공되며, 타단은 상기 제2 스토퍼들의 하나에 상응하여 제공되고;
    상기 제1 스토퍼들에 대응하는 반대편 단에 배치된 상기 제2 스토퍼들은 상기 로딩 암들의 평행한 방향에서 이동에 의해 상기 로딩 암들 상의 상기 글래스 기판을 고정하기 위해 사용되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 로딩 브라켓은 다수의 에어 쿠션들과 함께 제공되고, 상기 에어 쿠션들은 상기 글래스 기판을 피킹 또는 플레이싱할 때 상기 글래스 기판을 빨아들이고 고정하기 위해 사용되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 에어 쿠션들은 상기 제2 스토퍼들이 상기 로딩 브라켓 상에서 움직일 때 상기 글래스 기판과 상기 로딩 브라켓 사이에 에어 서스펜션을 형성하기 위해 사용되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 두 개의 암은 모두 에어 쿠션들이 제공되고, 상기 에어 쿠션들은 제1 스토퍼와 상기 제1 스토퍼에 대응하는 상기 제2 스토퍼 사이에서 같은 거리에 배치되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 글래스 기판의 좌측 또는 우측 모서리들에 인접한 상기 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆은 상기 제2 스토퍼들에 상응하여 제공되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 로딩 암들의 옆 모서리들에 배치된 상기 제2 스토퍼들은 상기 로딩 암들의 옆 모서리들에 수직인 방향에서 이동에 의해 상기 로딩 암들 상의 상기 글래스 기판을 고정하기 위해 사용되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆에 상기 제2 스토퍼가 하나 제공될 때, 상기 하나의 제2 스토퍼는 상기 제1 스토퍼와 상기 제1 스토퍼에 대응하는 상기 제2 스토퍼의 중간에 배치되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆에 상기 제2 스토퍼가 적어도 두 개 제공될 때, 상기 적어도 두 개의 제2 스토퍼들은 상기 제1 스토퍼와 상기 제1 스토퍼에 대응하는 상기 제2 스토퍼 사이에서 같은 거리에 배치되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  11. 베이스 브라켓;
    상기 베이스 브라켓 상에 배치된 로딩 파트;
    상기 로딩 파트는 로딩 브라켓; 상기 로딩 브라켓 상에 움직이지 않게 배치된 적어도 하나의 제1 스토퍼; 및 상기 로딩 브라켓 상에 움직일 수 있게 배치된 다수의 제2 스토퍼들을 포함하고,
    상기 제1 스토퍼들 및 상기 제2 스토퍼들의 수량은 적어도 네 개 이상이고; 상기 로딩 브라켓은 글래스 기판을 로드하기 위해 사용되며; 상기 제1 스토퍼는 상기 로딩 브라켓 상에서 상기 글래스 기판의 지향(orientation)을 위해 사용되고; 그리고 상기 제2 스토퍼들은 상기 로딩 브라켓 상에서 움직이는 상기 제2 스토퍼들에 의해 상기 로딩 브라켓 상의 상기 글래스 기판을 고정하기 위해 사용되고;
    상기 로딩 브라켓은 두 개의 로딩 암들로서 배치되고, 상기 베이스 브라켓에 인접한 두 개의 로딩 암들의 각각의 일단은 상기 제1 스토퍼들의 하나에 제공되고, 타단은 상기 제2 스토퍼들의 하나에 상응하여 제공되고;
    상기 제1 스토퍼들에 대응하는 반대편 단에 배치되는 상기 제2 스토퍼들은 상기 로딩 암들의 평행한 방향에서 이동에 의해 상기 로딩 암들 상의 상기 글래스 기판을 고정하기 위해 사용되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 로딩 브라켓은 다수의 에어 쿠션들이 제공되고, 상기 에어 쿠션들은 상기 글래스 기판을 피킹하거나 플레이싱할 때 상기 글래스 기판을 빨아들이고 고정하기 위해 사용되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 에어 쿠션들은 상기 제2 스토퍼들이 상기 로딩 브라켓 상에서 움직일 때 상기 글래스 기판과 상기 로딩 브라켓 사이에서 에어 서스펜션을 형성하기 위해 사용되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제11항에 있어서,
    상기 두 개의 로딩 암은 모두 에어 쿠션들이 제공되고, 상기 에어 쿠션들은 상기 제1 스토퍼와 상기 제1 스토퍼에 대응하는 상기 제2 스토퍼 사이에서 같은 거리에 배치되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 글래스 기판의 좌측 또는 우측 모서리들에 인접한 상기 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆은 상기 제2 스토퍼들에 상응하여 제공되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 로딩 암들의 옆 모서리들에 배치된 상기 제2 스토퍼들은 상기 로딩 암들의 옆 모서리들에 수직인 방향에서 이동에 의해 상기 로딩 암들 상의 상기 글래스 기판을 고정하기 위해 사용되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 두 개의 로딩 암들의 각각의 옆에 상기 제2 스토퍼가 하나 제공될 때, 상기 하나의 제2 스토퍼는 상기 제1 스토퍼와 상기 제1 스토퍼에 대응하는 상기 제2 스토퍼의 중간에 배치되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 두 개의 암들의 각각의 옆에 상기 제2 스토퍼가 적어도 두 개 제공될 때, 상기 적어도 두 개의 제2 스토퍼들은 상기 제1 스토퍼와 상기 제1 스토퍼에 대응하는 상기 제2 스토퍼 사이에서 같은 거리에 배치되는 글래스 기판을 위한 픽 앤 플레이스 디바이스.
KR1020177002080A 2014-07-08 2014-07-24 글래스 기판 픽업 및 플레이스 디바이스 KR101906939B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410321724.6 2014-07-08
CN201410321724.6A CN104108605B (zh) 2014-07-08 2014-07-08 一种玻璃基板的取放装置
PCT/CN2014/082943 WO2016004655A1 (zh) 2014-07-08 2014-07-24 一种玻璃基板的取放装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170019469A KR20170019469A (ko) 2017-02-21
KR101906939B1 true KR101906939B1 (ko) 2018-10-11

Family

ID=51705635

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020177002080A KR101906939B1 (ko) 2014-07-08 2014-07-24 글래스 기판 픽업 및 플레이스 디바이스

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9452536B2 (ko)
JP (1) JP6388704B2 (ko)
KR (1) KR101906939B1 (ko)
CN (1) CN104108605B (ko)
EA (1) EA031175B1 (ko)
GB (1) GB2542545B (ko)
WO (1) WO2016004655A1 (ko)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2843695B9 (de) * 2013-08-28 2021-04-14 Mechatronic Systemtechnik GmbH Vorrichtung, insbesondere Endeffektor
CN104891083B (zh) * 2015-05-19 2017-07-21 深圳市华星光电技术有限公司 一种用于自动化仓库的货架
CN107984485B (zh) * 2017-12-01 2021-04-02 吉林大学 一种镀膜玻璃夹取机械手的夹具装置
CN108016878A (zh) * 2018-01-11 2018-05-11 广东科达洁能股份有限公司 一种具有视觉系统的瓷砖桁架机械装置
CN109573613A (zh) * 2018-10-24 2019-04-05 芜湖中义玻璃有限公司 一种玻璃运输架
CN110294321A (zh) * 2019-06-27 2019-10-01 苏州精濑光电有限公司 一种基板固定装置
CN110294325B (zh) * 2019-06-28 2022-04-12 苏州精濑光电有限公司 一种基板移载装置
CN113548473B (zh) * 2021-07-21 2022-09-30 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 一种玻璃基板生产用牵引机构

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003321117A (ja) * 2002-05-07 2003-11-11 Mineya Mori フラットパネルと保持機器との間の圧力域によってフラットパネルを保持する機器及びロボットハンド
JP2007176638A (ja) * 2005-12-27 2007-07-12 Harmotec Corp 非接触搬送装置

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4832558A (en) * 1988-01-15 1989-05-23 Tauscheck Russell W Glass handling apparatus
US5085329A (en) * 1990-12-07 1992-02-04 Crowell John W Sheeting support
JPH10264071A (ja) * 1997-03-24 1998-10-06 Hitachi Ltd 基板搬送装置
JPH1159895A (ja) * 1997-08-27 1999-03-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 基板取り離し装置およびそれを用いた基板取り離し方法
DE19755694C2 (de) * 1997-12-16 2000-05-31 Sez Semiconduct Equip Zubehoer Handhabungsvorrichtung für dünne, scheibenförmige Gegenstände
US6167322A (en) * 1998-07-10 2000-12-26 Holbrooks; Orville Ray Intelligent wafer handling system and method
US6256555B1 (en) * 1998-12-02 2001-07-03 Newport Corporation Robot arm with specimen edge gripping end effector
JP4297305B2 (ja) * 1999-11-29 2009-07-15 大日本印刷株式会社 基板位置決め装置
US6860531B2 (en) * 2001-12-20 2005-03-01 Abb Inc. Gripping and vacuum end effector for transferring articles
JP4495509B2 (ja) * 2004-04-30 2010-07-07 株式会社ダイヘン トランスファロボット
US8785812B2 (en) * 2004-06-03 2014-07-22 Tel Solar Ag Table for receiving a workpiece and method for processing a workpiece on such table
CN201109667Y (zh) * 2007-08-10 2008-09-03 中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 超薄玻璃在线自动取片的玻璃对中定位装置
DE102008026506A1 (de) * 2008-05-26 2009-12-03 J. Schmalz Gmbh Greif- und Transportvorrichtung
WO2010109923A1 (ja) * 2009-03-27 2010-09-30 シャープ株式会社 移載装置、移載ハンド、および、移載方法
JP5449856B2 (ja) * 2009-05-15 2014-03-19 リンテック株式会社 半導体ウエハの搬送方法
EP2279959A1 (en) * 2009-07-01 2011-02-02 Vitro Cristalglass, S.L. Support for laminar elements
WO2012056985A1 (ja) * 2010-10-27 2012-05-03 シャープ株式会社 基板移載装置およびこれを備えた基板処理システム
US8702142B2 (en) * 2011-01-05 2014-04-22 Electro Scientific Industries, Inc. Apparatus and method for handling a substrate
CN202487550U (zh) * 2012-02-24 2012-10-10 胜佳精密有限公司 玻璃基板搬运装置
RU2585000C1 (ru) * 2012-04-06 2016-05-27 Фудзи Сейко Ко., Лтд. Захватывающее устройство для бортового кольца
CN102897507B (zh) * 2012-11-13 2015-01-07 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板位置校正装置及方法
US8757357B2 (en) 2012-11-13 2014-06-24 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Aligning apparatus and method for glass substrate
CN202952273U (zh) * 2012-11-26 2013-05-29 京东方科技集团股份有限公司 用于基板搬运的机械手臂及其定位停止梢

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003321117A (ja) * 2002-05-07 2003-11-11 Mineya Mori フラットパネルと保持機器との間の圧力域によってフラットパネルを保持する機器及びロボットハンド
JP2007176638A (ja) * 2005-12-27 2007-07-12 Harmotec Corp 非接触搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
US9452536B2 (en) 2016-09-27
JP6388704B2 (ja) 2018-09-12
EA201790155A1 (ru) 2017-05-31
JP2017521864A (ja) 2017-08-03
GB2542545A (en) 2017-03-22
CN104108605A (zh) 2014-10-22
EA031175B1 (ru) 2018-11-30
WO2016004655A1 (zh) 2016-01-14
US20160008986A1 (en) 2016-01-14
CN104108605B (zh) 2016-08-17
GB201701387D0 (en) 2017-03-15
KR20170019469A (ko) 2017-02-21
GB2542545B (en) 2021-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101906939B1 (ko) 글래스 기판 픽업 및 플레이스 디바이스
US9616577B2 (en) Robot having end effector and method of operating the same
CN103534798B (zh) 空中搬运车
KR20080082928A (ko) 현수식 반송 캐리지 및 반송 시스템
JP5553065B2 (ja) 基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボット
JP6332133B2 (ja) 容器搬送設備
WO2016175133A1 (ja) 基板搬送ロボットおよび基板検出方法
JP2012020382A (ja) 産業用ロボット
KR20200032042A (ko) 기판 보유 지지 장치
KR20160086392A (ko) 필링 방법 및 장치
JP5449856B2 (ja) 半導体ウエハの搬送方法
KR101544285B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치
EP2301868A1 (en) Apparatus for handling glass sheets
KR101515908B1 (ko) 기판이송장치
WO2011096033A1 (ja) 搬送装置
JP2005223204A (ja) 搬送ロボット
JPH02174244A (ja) ウェハキャリア用治具枠およびウェハ移換装置
JP2008171929A (ja) 基板搬送装置
US20170087727A1 (en) Conveying apparatus and conveying system with cant surfaces
JP2011020818A (ja) カセットの位置決めクランプ装置
JP5480024B2 (ja) カバー付きロボットハンド
KR20070122182A (ko) 센터링 핑거의 웨이퍼 센터링 가이드 장치
JP5635357B2 (ja) 基板搬送装置及び搬送ユニット
JP2011210767A (ja) 基板処理装置および移載方法
KR20060084973A (ko) 기판반송장치 및 그를 이용한 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant