EA031175B1 - Перегрузочное устройство для стеклянной подложки - Google Patents

Перегрузочное устройство для стеклянной подложки Download PDF

Info

Publication number
EA031175B1
EA031175B1 EA201790155A EA201790155A EA031175B1 EA 031175 B1 EA031175 B1 EA 031175B1 EA 201790155 A EA201790155 A EA 201790155A EA 201790155 A EA201790155 A EA 201790155A EA 031175 B1 EA031175 B1 EA 031175B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
glass substrate
loading
stoppers
arrows
bracket
Prior art date
Application number
EA201790155A
Other languages
English (en)
Other versions
EA201790155A1 (ru
Inventor
Ших Ин Сунь
Original Assignee
Шэньчжэнь Чайна Стар Оптоэлектроникс Текнолоджи Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Шэньчжэнь Чайна Стар Оптоэлектроникс Текнолоджи Ко., Лтд. filed Critical Шэньчжэнь Чайна Стар Оптоэлектроникс Текнолоджи Ко., Лтд.
Publication of EA201790155A1 publication Critical patent/EA201790155A1/ru
Publication of EA031175B1 publication Critical patent/EA031175B1/ru

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0028Gripping heads and other end effectors with movable, e.g. pivoting gripping jaw surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0214Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022Flat
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04Arrangements of vacuum systems or suction cups

Abstract

Представлено перегрузочное устройство для стеклянной подложки. Перегрузочное устройство имеет погрузочный кронштейн для погрузки стеклянной подложки, по меньшей мере один первый стопор, неподвижно расположенный на погрузочном кронштейне, и множество вторых стопоров, подвижно расположенных на погрузочном кронштейне. Первый стопор используется для исходной ориентации со стеклянной подложкой; и второй стопор используется для закрепления стеклянной подложки. Таким образом, снижается риск отклонения во время переноса стеклянной подложки и это может снизить риск разбивания стеклянной подложки для снижения производственных затрат.

Description

Настоящее изобретение относится к области техники жидкокристаллических дисплеев и, в частности, к перегрузочному устройству для стеклянной подложки.
Предпосылки изобретения
Во время изготовления жидкокристаллических дисплеев необходимо переместить стеклянную подложку из кассеты на производственную линию и выполнить необходимый производственный процесс. Кроме того, в процессе перемещения стеклянная подложка, вставленная в кассету, вынимается из кассеты для выборочной проверки, а затем помещается обратно в кассету после оценки, проводимой посредством выборочной проверки.
Тем не менее, в общем случае стеклянная подложка обычно имеет толщину 0,4-0,7 мм и является хрупкой, так что стеклянную подложку легко разбить в процессе ее вставки или извлечения. Если положение, в котором стеклянная подложка расположена на кассете, является неправильным, тогда стеклянную подложку еще легче разбить во время вставки/извлечения из кассеты. Далее осуществляется ссылка на фиг. 1a-1d, на которых показано несколько случаев неправильного расположения стеклянной подложки на кассете, при этом на фиг. 1a показан схематический вид, на котором показана стеклянная подложка, наклоненная в левую сторону; на фиг. 1b показан схематический вид, на котором показана стеклянная подложка, наклоненная в правую сторону; на фиг. 1c показан схематический вид, на котором показана стеклянная подложка, наклоненная наружу; и на фиг. 1d показан схематический вид, на котором показана наклоненная и повернутая стеклянная подложка. Кроме того, некоторые проблемы, такие как вибрация и нестабильный поток воздуха, могут легко возникнуть в процессе перемещения, что может вызвать падение и разбивание стеклянной подложки. То есть в случае традиционной технологии, вследствие низкой точности расположения стеклянной подложки стеклянную подложку легко разбить во время подъема/размещения, что приводит к увеличению затрат.
В результате необходимо предоставить перегрузочное устройство для стеклянной подложки для решения вышеупомянутых проблем.
Сущность изобретения
Целью настоящего изобретения является предоставление перегрузочного устройства для стеклянной подложки, которое может снизить риск отклонения во время переноса стеклянной подложки и снизить риск разбивания стеклянной подложки для снижения производственных затрат.
Для решения вышеупомянутых проблем техническое решение предпочтительных вариантов осуществления настоящего изобретения является следующим:
перегрузочное устройство для стеклянной подложки, содержащее основной кронштейн; погрузочную часть, расположенную на основном кронштейне; при этом погрузочная часть содержит погрузочный кронштейн; по меньшей мере один первый стопор, неподвижно расположенный на погрузочном кронштейне; и множество вторых стопоров, подвижно расположенных на погрузочном кронштейне, при этом телескопическая конструкция расположена на вторых стопорах;
при этом количество первых стопоров и вторых стопоров составляет по меньшей мере четыре; погрузочный кронштейн используется для погрузки стеклянной подложки; первый стопор используется для исходной ориентации со стеклянной подложкой на погрузочном кронштейне; и вторые стопоры используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочном кронштейне посредством телескопической конструкции, вытягивающейся или втягивающейся и движущейся на погрузочном кронштейне.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки погрузочный кронштейн оснащен множеством воздушных подушек и воздушные подушки используются для присасывания и закрепления стеклянной подложки во время подъема или размещения стеклянной подложки.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки воздушные подушки также используются для образования воздушной подвески между стеклянной подложкой и погрузочным кронштейном, когда вторые стопоры движутся на погрузочном кронштейне.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки погрузочный кронштейн выполнен в виде двух погрузочных стрел и один конец каждой из двух погрузочных стрел рядом с основным кронштейном оснащен одним из первых стопоров, а другой их конец соответственно оснащен одним из вторых стопоров.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки вторые стопоры, расположенные на соответствующем конце, противоположном первым стопорам, используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочных стрелах посредством движения в параллельном направлении погрузочных стрел.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки обе из двух погрузочных стрел оснащены воздушными подушками и воздушные подушки эквидистантно расположены между первым стопором и вторым стопором, соответствующим первому стопору.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки каждая сторона двух погрузочных стрел рядом с левыми или правыми кромками стеклянной подложки соответственно оснащена вторыми стопорами.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки вторые стопоры, распо
- 1 031175 ложенные на боковых кромках погрузочных стрел, используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочных стрелах посредством движения в перпендикулярном направлении относительно направления погрузочных стрел.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки, если каждая сторона двух погрузочных стрел оснащена одним из вторых стопоров, вторые стопоры расположены посередине первого стопора и второго стопора, соответствующего первому стопору.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки, если каждая сторона двух погрузочных стрел оснащена по меньшей мере двумя вторыми стопорами, вторые стопоры эквидистантно расположены между первым стопором и вторым стопором, соответствующим первому стопору.
Перегрузочное устройство для стеклянной подложки, содержащее основной кронштейн; погрузочную часть, расположенную на основном кронштейне; при этом погрузочная часть содержит погрузочный кронштейн; по меньшей мере один первый стопор, неподвижно расположенный на погрузочном кронштейне; и множество вторых стопоров, подвижно расположенных на погрузочном кронштейне; при этом количество первых стопоров и вторых стопоров составляет по меньшей мере четыре; погрузочный кронштейн используется для погрузки стеклянной подложки; первый стопор используется для исходной ориентации со стеклянной подложкой на погрузочном кронштейне; и вторые стопоры используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочном кронштейне посредством вторых стопоров, движущихся на погрузочном кронштейне.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки погрузочный кронштейн оснащен множеством воздушных подушек и воздушные подушки используются для присасывания и закрепления стеклянной подложки во время подъема или размещения стеклянной подложки.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки воздушные подушки также используются для образования воздушной подвески между стеклянной подложкой и погрузочным кронштейном, когда вторые стопоры движутся на погрузочном кронштейне.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки погрузочный кронштейн выполнен в виде двух погрузочных стрел и один конец каждой из двух погрузочных стрел рядом с основным кронштейном оснащен одним из первых стопоров, а другой их конец соответственно оснащен одним из вторых стопоров.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки вторые стопоры, расположенные на соответствующем конце, противоположном первым стопорам, используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочных стрелах посредством движения в параллельном направлении погрузочных стрел.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки обе из двух погрузочных стрел оснащены воздушными подушками и воздушные подушки эквидистантно расположены между первым стопором и вторым стопором, соответствующим первому стопору.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки каждая сторона двух погрузочных стрел рядом с левыми или правыми кромками стеклянной подложки соответственно оснащена вторыми стопорами.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки вторые стопоры, расположенные на боковых кромках погрузочных стрел, используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочных стрелах посредством движения в перпендикулярном направлении относительно направления погрузочных стрел.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки, если каждая сторона двух погрузочных стрел оснащена одним из вторых стопоров, вторые стопоры расположены посередине первого стопора и второго стопора, соответствующего первому стопору.
В вышеупомянутом перегрузочном устройстве для стеклянной подложки, если каждая сторона двух погрузочных стрел оснащена по меньшей мере двумя вторыми стопорами, вторые стопоры эквидистантно расположены между первым стопором и вторым стопором, соответствующим первому стопору.
Следовательно, по сравнению с существующей технологией в перегрузочном устройстве для стеклянной подложки в соответствии с настоящим изобретением первый стопор и второй стопор добавлены для регулировки стеклянной подложки и можно сначала подтвердить положение стеклянной подложки на погрузочных стрелах, а затем включить функцию создания вакуума. Таким образом, снижается риск отклонения во время переноса стеклянной подложки и снижается риск разбивания стеклянной подложки, посредством чего снижаются производственные затраты.
Далее дополнительно описаны конкретные варианты осуществления настоящего изобретения со ссылкой на сопроводительные графические материалы, так что более четко определяются аспекты настоящего изобретения и его положительные эффекты.
Описание графических материалов
На фиг. 1a-1d показаны схематические виды, на которых показаны неправильные расположения стеклянной подложки в кассете;
на фиг. 2 показан структурный схематический вид перегрузочного устройства для стеклянной подложки в соответствии с настоящим изобретением;
- 2 031175 на фиг. 3 показан структурный схематический вид еще одного перегрузочного устройства для стеклянной подложки в соответствии с настоящим изобретением;
на фиг. 4 показан схематический вид сбоку перегрузочного устройства для стеклянной подложки в соответствии с настоящим изобретением;
на фиг. 5 показан еще один схематический вид сбоку перегрузочного устройства для стеклянной подложки в соответствии с настоящим изобретением;
на фиг. 6 показан структурный схематический вид второго стопора в соответствии с настоящим изобретением; и на фиг. 7 показан еще один структурный схематический вид второго стопора в соответствии с настоящим изобретением.
Подробное описание предпочтительных вариантов осуществления
См. графические материалы, на которых одинаковые символы, представляющие подобные компоненты, используются для представления принципов настоящего изобретения, реализованного в подходящей вычислительной среде, в качестве примеров. Следующее описание основано на конкретном проиллюстрированном варианте осуществления настоящего изобретения, который не должен расцениваться как ограничение непроиллюстрированного варианта осуществления настоящего изобретения.
Далее осуществляется ссылка на фиг. 2, на которой показан структурный схематический вид перегрузочного устройства для стеклянной подложки в соответствии с настоящим изобретением, при этом перегрузочное устройство для стеклянной подложки содержит основной кронштейн 10 и погрузочную часть 11, расположенную на основном кронштейне 10.
Погрузочная часть 11 содержит погрузочный кронштейн 110 и множество первых и вторых стопоров, при этом первый стопор 111 неподвижно расположен на погрузочном кронштейне 110; второй стопор 112 подвижно расположен на погрузочном кронштейне 110; и количество первых стопоров 111 и вторых стопоров 112 составляет по меньшей мере четыре.
Более того, погрузочный кронштейн 110 используется для погрузки стеклянной подложки 12.
Первый стопор 111 используется для исходной ориентации со стеклянной подложкой 12 на погрузочном кронштейне 110.
Второй стопор 112 используется для закрепления стеклянной подложки 12 на погрузочном кронштейне 110 посредством движения на погрузочном кронштейне 110.
Следует понимать, что стопоры, расположенные на погрузочном кронштейне 110, содержат первый стопор 111 и второй стопор 112 и количество первых стопоров 111 и вторых стопоров 112 составляет по меньшей мере четыре. Предпочтительно, как показано на фиг. 2, стопоры могут быть расположены на четырех кромках погрузочного кронштейна 110 и по меньшей мере в четыре стопора включен по меньшей мере один первый стопор 111.
Предпочтительно, как показано на фиг. 2, каждая кромка погрузочного кронштейна 110 оснащена одним стопором, при этом один конец каждого из первых стопоров 111 расположен на кромке, ближайшей к основному кронштейну 10, и три из вторых стопоров 112 расположены на остальных кромках погрузочного кронштейна 110.
После расположения стеклянной подложки 12 на погрузочном кронштейне 110 стеклянная подложка 12 может быть ориентирована на основе первого стопора 111, а затем вторые стопоры 112 могут быть передвинуты в направлении стеклянной подложки 12, а именно внутрь, для закрепления стеклянной подложки 12 на погрузочном кронштейне 110. И наоборот, если стеклянная подложка 12 должна быть поднята с погрузочного кронштейна 110, второй стопор 112 может быть передвинут дальше от стеклянной подложки 12, а именно наружу, для выполнения извлечения стеклянной подложки 12. На фиг. 2 есть стрелки, указывающие направления движения вторых стопоров 112.
Предпочтительно, как показано на фиг. 2, погрузочный кронштейн 110 оснащен множеством воздушных подушек 114 и воздушные подушки 114 используются для присасывания и закрепления стеклянной подложки 12 во время подъема/размещения стеклянной подложки 12. То есть воздушные подушки 114 используются в качестве вакуумных присосок во время подъема/размещения стеклянной подложки 12. Стеклянная подложка 12 может быть закреплена за счет функции присасывания вакуумных присосок перед ее закреплением стопорами для предотвращения падения стеклянной подложки 12.
Кроме того, предпочтительно, воздушные подушки 114 используются для образования воздушной подвески между стеклянной подложкой 12 и погрузочным кронштейном 110 во время движения вторых стопоров 112 на погрузочном кронштейне 110. Вторые стопоры 112 движутся на погрузочном кронштейне 110 и, таким образом, можно приводить в движение стеклянную подложку 12 вместе с ними, так что в данный момент их функция присасывания отключается, и они используются в качестве воздушных подушек подвески. То есть посредством тонкого воздушного слоя, образованного между воздушными подушками подвески и плоскостью, толщина тонкого воздушного слоя составляет 1 мм или меньше и устанавливается условие скольжения без трения во избежание царапин на стеклянной подложке 12.
Предпочтительно для экономии средств на погрузочный кронштейн 110 погрузочный кронштейн 110 может быть выполнен в виде двух погрузочных стрел. Далее осуществляется ссылка на фиг. 3, на которой показан структурный схематический вид еще одного перегрузочного устройства для стеклянной
- 3 031175 подложки в соответствии с настоящим изобретением.
Предпочтительно погрузочный кронштейн 110 выполнен в виде двух погрузочных стрел, при этом каждый конец двух погрузочных стрел рядом с основным кронштейном 10 оснащен одним из первых стопоров 111, а другой их конец соответственно оснащен одним из вторых стопоров 112. Кроме того, каждая сторона двух погрузочных стрел рядом с кромками стеклянной подложки 12 соответственно оснащена вторыми стопорами 112. Как показано на фиг. 3, каждая наружная сторона двух погрузочных стрел оснащена двумя вторыми стопорами 112.
Далее осуществляется ссылка на фиг. 4 и 5, на которых показаны схематические виды сбоку перегрузочного устройства для стекла, показанного на фиг. 3.
Предпочтительно профиль вторых стопоров 112 может образовывать L-образную форму, при этом конец его длинной стороны соединен с погрузочной стрелой. Одновременно осуществляется ссылка на фиг. 3, на которой его длинная сторона перпендикулярна погрузочной стреле.
Кроме того, длинная сторона вторых стопоров 112 оснащена телескопической конструкцией.
Когда длинная сторона вторых стопоров 112 телескопически движется посредством телескопической конструкции, короткая сторона вторых стопоров 112 сама по себе движется в направлении движения телескопической конструкции. Как показано на фиг. 4, перед расположением стеклянной подложки 12 на погрузочных стрелах телескопическая конструкция вторых стопоров 112 и короткая сторона, соединенная с ними, вытягиваются наружу. Как показано на фиг. 5, после расположения стеклянной подложки 12 на погрузочных стрелах телескопическая конструкция вторых стопоров 112 и короткая сторона, соединенная с ними, втягиваются внутрь до тех пор, пока короткая сторона вторых стопоров 112 не соприкоснется со стеклянной подложкой 12. На фиг. 4 и 5 показаны стрелки, указывающие направления движения вторых стопоров 112.
То есть вторые стопоры 112, расположенные на соответствующем конце, противоположном первому стопору 111, используются для закрепления стеклянной подложки 12 на погрузочных стрелах посредством движения в параллельном направлении относительно направления погрузочных стрел; и вторые стопоры 112, расположенные на боковых кромках погрузочных стрел, используются для закрепления стеклянной подложки 12 на погрузочных стрелах посредством движения в перпендикулярном направлении относительно направления погрузочных стрел.
Следует пояснить, что профили вторых стопоров 112 в предпочтительных вариантах осуществления настоящего изобретения могут иметь нестандартную L-образную форму. Например, косой угол может быть образован между длинной стороной и короткой стороной (они могут быть соединены под неправильным углом) или блокирующий блок может быть расположен на конце короткой стороны для последующего предотвращения падения стеклянной подложки 12 и вышеупомянутые формы не влияют на функцию вторых стопоров 112.
Легко понять, что, поскольку на фиг. 4 и 5 показан один второй стопор 112, все вторые стопоры 112, расположенные на соответствующем конце, противоположном первому стопору 111, или на левых боковых кромках погрузочных стрел, могут быть установлены подобным образом, следовательно, это не обсуждается в данном документе.
В частности, телескопическая конструкция, расположенная внутри длинной стороны вторых стопоров 112, может быть установлена таким же образом, как и нижние конструкции, для обеспечения движения вторых стопоров 112.
Далее осуществляется ссылка на фиг. 6, на которой показан структурный схематический вид телескопической конструкции, при этом цифра 115 обозначает телескопическую конструкцию. Телескопическая конструкция 115 расположена внутри длинной стороны вторых стопоров 112 и образована в качестве винтовой резьбы. Кроме того, внутренняя часть длинной стороны вторых стопоров 112 также образована в качестве винтовой резьбы, взаимодействующей с телескопической конструкцией 115.
Посредством использования инструмента для наружной обработки, такого как гаечный ключ, для приведения в движение телескопической конструкции 115 телескопическая конструкция 115 может вращаться и двигаться внутри длинной стороны под действием внешней силы, таким образом приводя в движение короткую сторону вторых стопоров 112. На фиг. 6 есть стрелка, указывающая направления движения телескопической конструкции 116.
Далее осуществляется ссылка на фиг. 7, на которой показан еще один структурный схематический вид телескопической конструкции, при этом цифра 116 обозначает телескопическую конструкцию. Телескопическая конструкция 116 расположена внутри длинной стороны вторых стопоров 112, при этом длинная сторона оснащена направляющим пазом 117 для регулировки уровня и телескопическая конструкция 116 оснащена скользящим штифтом 118, так что скользящий штифт 118 может скользить в направляющем пазу 117 для регулировки уровня.
Посредством скользящего штифта 118, взаимодействующего с направляющим пазом 117 для регулировки уровня, телескопическая конструкция 116 может двигаться в пределах скользящего штифта 118 и приводить в движение короткую сторону вторых стопоров 112. На фиг. 7 показана стрелка, указывающая направления движения телескопической конструкции 115.
Когда телескопическая конструкция 116 достигает необходимого пользователю положения, креп
- 4 031175 ление может быть использовано для закрепления телескопической конструкции 116, такое как нажимное крепление или зажимное крепление; оно не ограничено конкретным элементом в данном документе.
По принципу перемещения легко понять, что можно расположить направляющий паз 117 для регулировки уровня на телескопической конструкции 116, а скользящий штифт 118 на длинной стороне вторых стопоров 112. Принцип их работы может относиться к вышеизложенному описанию; он не описан конкретно в данном документе.
Следует понимать, что фиг. 6 и 7 используются исключительно для пояснения предпочтительных вариантов осуществления, а не для ограничения настоящего изобретения.
Как показано на фиг. 3, обе из двух погрузочных стрел оснащены воздушными подушками 114 и воздушные подушки 114 эквидистантно расположены между первым стопором 111 и вторым стопором 112, соответствующим первому стопору 111. В предпочтительном варианте осуществления каждая погрузочная стрела оснащена тремя воздушными подушками 114, но их количество не ограничено в данном документе.
Кроме того, количество вторых стопоров 112 погрузочного кронштейна 110 зависит от размера стеклянной подложки. Для погруженной стеклянной подложки G3.5 каждая из левых и правых сторон двух погрузочных стрел оснащена одним из вторых стопоров 112, при этом вторые стопоры 112 расположены посередине первого стопора 111 и второго стопора 112, соответствующего первому стопору 111.
Для погруженной стеклянной подложки G5 или больше каждая из левых и правых сторон двух погрузочных стрел оснащена по меньшей мере двумя вторыми стопорами 112, при этом вторые стопоры 112 эквидистантно расположены между первым стопором 111 и вторым стопором 112, соответствующим первому стопору 111.
Для лучшего выполнения перегрузочного устройства для стеклянной подложки в соответствии с настоящим изобретением способ перегрузки стеклянной подложки в соответствии с перегрузочным устройством для стеклянной подложки, показанным на фиг. 3, доступно пояснен далее.
На первом этапе погрузочная стрела поднимает стеклянную подложку с кассеты/машины; для предотвращения скольжения стеклянной подложки во время движения погрузочных стрел воздушные подушки 114 переключаются на функцию создания вакуума для закрепления стеклянной подложки.
На втором этапе, когда погрузочные стрелы достигают целевого положения, воздушные подушки 114 отключают функцию создания вакуума и переключаются на функцию воздушной подвески, а затем стеклянная подложка регулируется и ориентируется первым стопором 111 и вторыми стопорами 112.
На третьем этапе, когда регулировка завершена и вторые стопоры 112 не отклонены от стеклянной подложки, воздушные подушки 114 переключаются на функцию создания вакуума для повторного закрепления стеклянной подложки.
На четвертом этапе после включения функции создания вакуума вторые стопоры 112 ослабляются и возвращаются в исходное положение, так что ориентация подъема/размещения погрузочных стрел завершена.
Как упоминалось выше, перегрузочное устройство для стеклянной подложки в соответствии с настоящим изобретением может исправить отклонение во время ее переноса. Если погрузочные стрелы не оснащены регулировочной конструкцией (первым стопором 111 и вторыми стопорами 112), тогда отклонение во время подъема/размещения стеклянной подложки составляет от 1 до 2 мм. Причина этого состоит в том, что стеклянная подложка подвержена риску движения, если функция создания вакуума погрузочных стрел не включена во время упаковки стеклянной подложки. В настоящем изобретении, поскольку первый стопор 111 и вторые стопоры 112 добавлены для регулировки стеклянной подложки, можно сначала подтвердить положение стеклянной подложки на погрузочных стрелах, а затем включить функцию создания вакуума. Таким образом, снижается риск отклонения во время переноса стеклянной подложки и это может снизить риск разбивания стеклянной подложки для уменьшения производственных затрат.
В вышеизложенных вариантах осуществления описание различных вариантов осуществления было сосредоточено на определенном варианте осуществления и не было представлено подробно, вы сможете найти соответствующее описание в других вариантах осуществления, которые не упомянуты в данном документе.
Специалисту в данной области техники будет понятно, что со ссылкой на слова, используемые в данном документе, термин предпочтительно означает служащий в качестве примера, образца или иллюстрации. Любой аспект или конструкция, описанная в тексте в качестве предпочтительной, обязательно должна расцениваться в качестве преимущественной по отношению к другим аспектам или конструкциям. И наоборот, термин предпочтительный означает, в частности, направление концепции. В контексте данного документа термин или подразумевает содержащее или, а не исключающее или. То есть, если не указано иное или не очевидно из контекста, X использует 101 или 102 означает порядок любого характера слова включая. То есть если X использует 101; X использует 102 или X использует как 101, так и 102, тогда X использует 101 или 102 соответствует любому из вышеизложенных примеров.
Более того, несмотря на отношение к одной или нескольким реализациям, показывающим и описы- 5 031175 вающим данное изобретение, специалистам в данном области техники на основе настоящего описания и графических материалов при прочтении и понимании будут понятны эквивалентные вариации и модификации. Настоящее изобретение включает все такие модификации и вариации и ограничено только объемом прилагаемой формулы изобретения. В частности, в отношении различных функций, выполняемых вышеописанными компонентами (например, элементами, ресурсами и т.д.), термины, используемые для описания данных функций, направлены на выполнение функции, соответствующей конкретному компоненту (например, который функционально эквивалентен) любого из компонентов (если не указано иное), даже если структура реализации и выполнения функции настоящего изобретения, показанная в данном документе в качестве раскрытой исключительно для примера, не является структурно эквивалентной. Кроме того, несмотря на то, что конкретный элемент настоящего изобретения был выполнен в отношении определенных реализаций, только одна из которых раскрыта, данный элемент может быть представлен в качестве заданного или конкретного приложения и цели обеспечения необходимой одной или нескольких других реализаций других сочетаний элементов. Более того, термины включающий, имеющий, содержащий или их вариации используются в подробном описании или формуле изобретения, при этом такой термин должен быть использован таким же образом, как и термин содержащий.
Несмотря на то что настоящее изобретение было раскрыто в предпочтительных вариантах осуществления, описанных выше, вышеизложенные предпочтительные варианты осуществления не предназначены для ограничения настоящего изобретения. Специалист в данной области техники без отступления от сущности и объема настоящего изобретения может реализовать различные модификации и вариации, так что объем защиты изобретения, как определено в формуле изобретения, будет превалировать.

Claims (1)

  1. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
    1. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки, содержащее основной кронштейн;
    погрузочную часть, расположенную на основном кронштейне;
    при этом погрузочная часть содержит погрузочный кронштейн; по меньшей мере один первый стопор, неподвижно расположенный на погрузочном кронштейне; и множество вторых стопоров, подвижно расположенных на погрузочном кронштейне, при этом телескопическая конструкция расположена на вторых стопорах;
    при этом погрузочный кронштейн выполнен в виде двух погрузочных стрел, и один конец каждой из двух погрузочных стрел рядом с основным кронштейном оснащен одним из первых стопоров, а другой их конец соответственно оснащен одним из вторых стопоров;
    при этом количество первых стопоров и вторых стопоров составляет по меньшей мере четыре; погрузочный кронштейн используется для погрузки стеклянной подложки; первый стопор используется для исходной ориентации со стеклянной подложкой на погрузочном кронштейне; и вторые стопоры используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочном кронштейне посредством телескопической конструкции, вытягивающейся или втягивающейся на погрузочном кронштейне.
    2. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.1, отличающееся тем, что погрузочный кронштейн оснащен множеством воздушных подушек и воздушные подушки используются для присасывания и закрепления стеклянной подложки во время подъема или размещения стеклянной подложки.
    3. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.2, отличающееся тем, что воздушные подушки также используются для образования воздушной подвески между стеклянной подложкой и погрузочным кронштейном, когда вторые стопоры движутся на погрузочном кронштейне.
    4. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.1, отличающееся тем, что вторые стопоры, расположенные на соответствующем конце, противоположном первым стопорам, используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочных стрелах посредством движения в параллельном направлении погрузочных стрел.
    5. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.1, отличающееся тем, что обе из двух погрузочных стрел оснащены воздушными подушками и воздушные подушки эквидистантно расположены между первым стопором и вторым стопором, соответствующим первому стопору.
    6. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.1, отличающееся тем, что каждая сторона двух погрузочных стрел рядом с левыми или правыми кромками стеклянной подложки соответственно оснащена вторыми стопорами.
    7. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.6, отличающееся тем, что вторые стопоры, расположенные на боковых кромках погрузочных стрел, используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочных стрелах посредством движения в перпендикулярном направлении относительно направления погрузочных стрел.
    8. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.4, отличающееся тем, что, если каждая сторона двух погрузочных стрел оснащена одним из вторых стопоров, вторые стопоры расположены посередине первого стопора и второго стопора, соответствующего первому стопору.
    9. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.4, отличающееся тем, что, если каждая
    - 6 031175 сторона двух погрузочных стрел оснащена по меньшей мере двумя вторыми стопорами, вторые стопоры эквидистантно расположены между первым стопором и вторым стопором, соответствующим первому стопору.
    10. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки, содержащее основной кронштейн;
    погрузочную часть, расположенную на основном кронштейне;
    при этом погрузочная часть содержит погрузочный кронштейн; по меньшей мере один первый стопор, неподвижно расположенный на погрузочном кронштейне; и множество вторых стопоров, подвижно расположенных на погрузочном кронштейне;
    при этом погрузочный кронштейн выполнен в виде двух погрузочных стрел, и один конец каждой из двух погрузочных стрел рядом с основным кронштейном оснащен одним из первых стопоров, а другой их конец соответственно оснащен одним из вторых стопоров;
    при этом количество первых стопоров и вторых стопоров составляет по меньшей мере четыре; погрузочный кронштейн используется для погрузки стеклянной подложки; первый стопор используется для исходной ориентации со стеклянной подложкой на погрузочном кронштейне; и вторые стопоры используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочном кронштейне посредством вторых стопоров, движущихся на погрузочном кронштейне.
    11. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.10, отличающееся тем, что погрузочный кронштейн оснащен множеством воздушных подушек и воздушные подушки используются для присасывания и закрепления стеклянной подложки во время подъема или размещения стеклянной подложки.
    12. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.11, отличающееся тем, что воздушные подушки также используются для образования воздушной подвески между стеклянной подложкой и погрузочным кронштейном, когда вторые стопоры движутся на погрузочном кронштейне.
    13. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.10, отличающееся тем, что вторые стопоры, расположенные на соответствующем конце, противоположном первым стопорам, используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочных стрелах посредством движения в параллельном направлении погрузочных стрел.
    14. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.10, отличающееся тем, что обе из двух погрузочных стрел оснащены воздушными подушками и воздушные подушки эквидистантно расположены между первым стопором и вторым стопором, соответствующим первому стопору.
    15. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.10, отличающееся тем, что каждая сторона двух погрузочных стрел рядом с левыми или правыми кромками стеклянной подложки соответственно оснащена вторыми стопорами.
    16. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.15, отличающееся тем, что вторые стопоры, расположенные на боковых кромках погрузочных стрел, используются для закрепления стеклянной подложки на погрузочных стрелах посредством движения в перпендикулярном направлении относительно направления погрузочных стрел.
    17. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.13, отличающееся тем, что, если каждая сторона двух погрузочных стрел оснащена одним из вторых стопоров, вторые стопоры расположены посередине первого стопора и второго стопора, соответствующего первому стопору.
    18. Перегрузочное устройство для стеклянной подложки по п.13, отличающееся тем, что, если каждая сторона двух погрузочных стрел оснащена по меньшей мере двумя вторыми стопорами, вторые стопоры эквидистантно расположены между первым стопором и вторым стопором, соответствующим первому стопору.
    Фиг. 1a
    - 7 031175
    Фиг. 1b
    Фиг. 1c
    Фиг. 1d
    Фиг. 2
    - 8 031175
    112 112 /t ti< A
    Фиг. 3
    Фиг. 5
    Фиг. 6
    Фиг. 7
    1 17 / 118 Z 116 / / -f-------- с................ ..............1 _____
EA201790155A 2014-07-08 2014-07-24 Перегрузочное устройство для стеклянной подложки EA031175B1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410321724.6A CN104108605B (zh) 2014-07-08 2014-07-08 一种玻璃基板的取放装置
PCT/CN2014/082943 WO2016004655A1 (zh) 2014-07-08 2014-07-24 一种玻璃基板的取放装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201790155A1 EA201790155A1 (ru) 2017-05-31
EA031175B1 true EA031175B1 (ru) 2018-11-30

Family

ID=51705635

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201790155A EA031175B1 (ru) 2014-07-08 2014-07-24 Перегрузочное устройство для стеклянной подложки

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9452536B2 (ru)
JP (1) JP6388704B2 (ru)
KR (1) KR101906939B1 (ru)
CN (1) CN104108605B (ru)
EA (1) EA031175B1 (ru)
GB (1) GB2542545B (ru)
WO (1) WO2016004655A1 (ru)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2843695B9 (de) * 2013-08-28 2021-04-14 Mechatronic Systemtechnik GmbH Vorrichtung, insbesondere Endeffektor
CN104891083B (zh) * 2015-05-19 2017-07-21 深圳市华星光电技术有限公司 一种用于自动化仓库的货架
CN107984485B (zh) * 2017-12-01 2021-04-02 吉林大学 一种镀膜玻璃夹取机械手的夹具装置
CN108016878A (zh) * 2018-01-11 2018-05-11 广东科达洁能股份有限公司 一种具有视觉系统的瓷砖桁架机械装置
CN109573613A (zh) * 2018-10-24 2019-04-05 芜湖中义玻璃有限公司 一种玻璃运输架
CN110294321A (zh) * 2019-06-27 2019-10-01 苏州精濑光电有限公司 一种基板固定装置
CN110294325B (zh) * 2019-06-28 2022-04-12 苏州精濑光电有限公司 一种基板移载装置
CN113548473B (zh) * 2021-07-21 2022-09-30 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 一种玻璃基板生产用牵引机构

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0899222A2 (en) * 1997-08-27 1999-03-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus for taking away a glass plate
CN1997575A (zh) * 2004-06-03 2007-07-11 Oc欧瑞康巴尔斯公司 一种用于接受工件的平台以及在这种平台上加工工件的方法
CN201109667Y (zh) * 2007-08-10 2008-09-03 中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 超薄玻璃在线自动取片的玻璃对中定位装置
CN202487550U (zh) * 2012-02-24 2012-10-10 胜佳精密有限公司 玻璃基板搬运装置

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4832558A (en) * 1988-01-15 1989-05-23 Tauscheck Russell W Glass handling apparatus
US5085329A (en) * 1990-12-07 1992-02-04 Crowell John W Sheeting support
JPH10264071A (ja) * 1997-03-24 1998-10-06 Hitachi Ltd 基板搬送装置
DE19755694C2 (de) * 1997-12-16 2000-05-31 Sez Semiconduct Equip Zubehoer Handhabungsvorrichtung für dünne, scheibenförmige Gegenstände
US6167322A (en) * 1998-07-10 2000-12-26 Holbrooks; Orville Ray Intelligent wafer handling system and method
US6256555B1 (en) * 1998-12-02 2001-07-03 Newport Corporation Robot arm with specimen edge gripping end effector
JP4297305B2 (ja) * 1999-11-29 2009-07-15 大日本印刷株式会社 基板位置決め装置
US6860531B2 (en) * 2001-12-20 2005-03-01 Abb Inc. Gripping and vacuum end effector for transferring articles
JP2003321117A (ja) * 2002-05-07 2003-11-11 Mineya Mori フラットパネルと保持機器との間の圧力域によってフラットパネルを保持する機器及びロボットハンド
JP4495509B2 (ja) * 2004-04-30 2010-07-07 株式会社ダイヘン トランスファロボット
JP2007176638A (ja) * 2005-12-27 2007-07-12 Harmotec Corp 非接触搬送装置
DE102008026506A1 (de) * 2008-05-26 2009-12-03 J. Schmalz Gmbh Greif- und Transportvorrichtung
WO2010109923A1 (ja) * 2009-03-27 2010-09-30 シャープ株式会社 移載装置、移載ハンド、および、移載方法
JP5449856B2 (ja) * 2009-05-15 2014-03-19 リンテック株式会社 半導体ウエハの搬送方法
EP2279959A1 (en) * 2009-07-01 2011-02-02 Vitro Cristalglass, S.L. Support for laminar elements
WO2012056985A1 (ja) * 2010-10-27 2012-05-03 シャープ株式会社 基板移載装置およびこれを備えた基板処理システム
US8702142B2 (en) * 2011-01-05 2014-04-22 Electro Scientific Industries, Inc. Apparatus and method for handling a substrate
RU2585000C1 (ru) * 2012-04-06 2016-05-27 Фудзи Сейко Ко., Лтд. Захватывающее устройство для бортового кольца
CN102897507B (zh) * 2012-11-13 2015-01-07 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板位置校正装置及方法
US8757357B2 (en) 2012-11-13 2014-06-24 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Aligning apparatus and method for glass substrate
CN202952273U (zh) * 2012-11-26 2013-05-29 京东方科技集团股份有限公司 用于基板搬运的机械手臂及其定位停止梢

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0899222A2 (en) * 1997-08-27 1999-03-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus for taking away a glass plate
CN1997575A (zh) * 2004-06-03 2007-07-11 Oc欧瑞康巴尔斯公司 一种用于接受工件的平台以及在这种平台上加工工件的方法
CN201109667Y (zh) * 2007-08-10 2008-09-03 中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 超薄玻璃在线自动取片的玻璃对中定位装置
CN202487550U (zh) * 2012-02-24 2012-10-10 胜佳精密有限公司 玻璃基板搬运装置

Also Published As

Publication number Publication date
US9452536B2 (en) 2016-09-27
JP6388704B2 (ja) 2018-09-12
EA201790155A1 (ru) 2017-05-31
JP2017521864A (ja) 2017-08-03
GB2542545A (en) 2017-03-22
KR101906939B1 (ko) 2018-10-11
CN104108605A (zh) 2014-10-22
WO2016004655A1 (zh) 2016-01-14
US20160008986A1 (en) 2016-01-14
CN104108605B (zh) 2016-08-17
GB201701387D0 (en) 2017-03-15
KR20170019469A (ko) 2017-02-21
GB2542545B (en) 2021-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA031175B1 (ru) Перегрузочное устройство для стеклянной подложки
JP6049971B2 (ja) エンドエフェクタを備えたロボット及びその運転方法
US10229848B2 (en) Substrate alignment apparatus, substrate processing apparatus, substrate arrangement apparatus, substrate alignment method, substrate processing method, and substrate arrangement method
JP5824643B2 (ja) 電子部品実装装置および電子部品実装装置におけるノズル認識方法
TW201119913A (en) Position-deviation prevention device, substrate holder including this, substrate conveying device, and substrate conveying method
JP2018032747A (ja) 板状物搬送装置及び加工装置
TW201814813A (zh) 姿勢變更裝置
JP2015036343A (ja) 容器の保持アームと反転移送装置
US9616575B2 (en) Device for removing plate-shaped elements with fourth lever
JP3944485B2 (ja) 基板チャッキング装置
CN208801792U (zh) 下料装置和玻璃精雕机
JP2008251944A (ja) 露光装置
CN203536401U (zh) 晶圆升降装置
JP2011003695A (ja) 基板搬送装置
CN105753307A (zh) 玻璃基板运送装置
US20110129322A1 (en) Wafer conveying system
KR20140137500A (ko) 기판이송장치 및 기판이송장치 제어방법
KR101645723B1 (ko) 태양광 웨이퍼의 스토리지 구조
KR100698825B1 (ko) 기판반송장치 및 그를 이용한 방법
JP2012216641A (ja) ウェーハ収納カセットおよび搬送方法
US20130287532A1 (en) Transporting Device for Substrate
JP2005260010A (ja) ウエハ搬送装置及びウエハ搬送方法
KR102274314B1 (ko) 고형 박판 분리 장치
JP2010263010A (ja) 搬送装置および搬送方法
JP2021079584A (ja) スクライブヘッド及びスクライブ装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ BY KZ KG TJ TM