KR101500770B1

KR101500770B1 - 경화성 수지 조성물, 보호막 및 보호막의 형성 방법

Info

Publication number: KR101500770B1
Application number: KR1020097020062A
Authority: KR
Inventors: 마사야스 후지오까; 다까히로 이이지마; 지로 우에다; 마사끼 하나무라; 히데끼 야마우찌; 가나꼬 다니모또
Original assignee: 제이에스알 가부시끼가이샤
Priority date: 2007-03-26
Filing date: 2008-03-21
Publication date: 2015-03-09
Also published as: TWI467247B; CN101646718A; KR20100014587A; WO2008123388A1; JP5354207B2; TW200905264A; KR20150004941A; JPWO2008123388A1; CN101646718B; KR101570313B1

Abstract

본 발명은 옥시라닐기, 옥세타닐기 및 알릴기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 갖는 중합성 불포화 화합물을 함유하는 중합체, 및 이 중합체와 열에 의해 가교 반응할 수 있는 관능기를 함유하는 컬리 필터의 보호막용 실록산 올리고머를 함유하는 경화성 수지 조성물을 제공한다. 본 발명에 따르면, 표면의 평탄성이 낮은 기체여도 그 기체 위에 평탄성이 높은 경화막을 형성할 수 있고, 투명성 및 표면 경도가 높고, 내열내압성, 내산성, 내알칼리성, 내스퍼터성 등의 각종 내성이 우수한 광장치용 보호막을 형성하기 위해 사용되는 경화성 수지 조성물이 제공된다.

경화성 수지 조성물, 중합성 불포화 화합물, 실록산 올리고머

Description

경화성 수지 조성물, 보호막 및 보호막의 형성 방법{CURABLE RESIN COMPOSITION, PROTECTIVE FILM, AND METHOD FOR FORMING PROTECTIVE FILM}

본 발명은 경화성 수지 조성물, 이 조성물로 보호막을 형성하는 방법 및 보호막에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 액정 표시 소자(LCD)용 컬러 필터 및 전하 결합 소자(CCD)용 컬러 필터에 사용되는 보호막을 형성하기 위한 재료로서 바람직한 조성물, 이 조성물을 사용한 보호막의 형성 방법 및 이 조성물로 형성된 보호막에 관한 것이다.

LCD나 CCD 등의 방사선 디바이스는, 그의 제조 공정 중에 용제, 산 또는 알칼리 용액 등에 의한 표시 소자의 침지 처리가 행해지며, 스퍼터링에 의해 배선 전극층을 형성할 때에는 소자 표면이 국부적으로 고온에 노출된다. 따라서, 이러한 처리에 의해 소자가 열화 또는 손상되는 것을 방지하기 위해, 이들 처리에 대하여 내성을 갖는 박막으로 이루어진 보호막을 소자의 표면에 설치하는 것이 행해지고 있다.

이러한 보호막은, 해당 보호막이 형성되어야 하는 기체 또는 하층, 보호막 위에 형성되는 층에 대하여 밀착성이 높은 것, 막 자체가 평활하고 강인한 것, 투명성을 갖는 것, 내열성 및 내광성이 높고, 장기간에 걸쳐서 착색, 황변, 백화 등 의 변질을 일으키지 않는 것, 내수성, 내용제성, 내산성 및 내알칼리성이 우수한 것 등의 성능이 요구된다. 이들 다양한 특성을 만족하는 보호막을 형성하기 위한 재료로서는, 예를 들면 글리시딜기를 갖는 중합체를 포함하는 열 경화성 조성물이 알려져 있다(일본 특허 공개 (평)5-78453호 공보 및 일본 특허 공개 제2001-91732호 공보 참조).

또한, 이러한 보호막을 컬러 액정 표시 장치나 전하 결합 소자의 컬러 필터의 보호막으로서 사용하는 경우에는, 일반적으로 바탕 기판 위에 형성된 컬러 필터에 의한 단차를 평탄화할 수 있는 것이 요구된다.

또한, 컬러 액정 표시 장치, 예를 들면 STN(Super Twisted Nematic) 방식 또는 TFT(Thin Film Transister) 방식의 컬러 액정 표시 소자에서는, 액정층의 셀 간격을 균일하게 유지하기 위해 비드상의 스페이서를 보호막 위에 산포한 후 패널을 접합하는 것이 행해지고 있다. 그 후 밀봉재를 열 압착함으로써 액정 셀을 밀봉하게 되지만, 이 때 가해지는 열과 압력으로 비드가 존재하는 부분의 보호막이 오목해지는 현상이 나타나며, 셀 간격이 어긋나는 것이 문제가 되고 있다.

특히 STN 방식의 컬러 액정 표시 소자를 제조할 때에는 컬러 필터와 대향 기판의 접합의 정밀도를 매우 엄밀히 행해야만 하기 때문에, 보호막에는 매우 고도의 단차의 평탄화 성능 및 내열내압 성능이 요구되고 있다.

또한, 최근에는 스퍼터링에 의해 컬러 필터의 보호막 위에 배선 전극(인듐주석옥시드: ITO, 또는 인듐아연옥시드: IZO)을 성막하고, 산ㆍ알칼리 등으로 ITO 또는 IZO를 패터닝하는 방식도 이용되고 있다. 그 때문에, 컬러 필터 보호막은 스퍼 터링시에 표면이 국부적으로 고온에 노출되거나, 수많은 약품 처리가 이루어진다. 따라서, 이들의 처리시에 ITO 또는 IZO 패턴 선폭이 필요 이상으로 가늘어지지 않는다는 등, 배선 전극의 패터닝 특성이 양호하고, 약품 처리시에 ITO 또는 IZ0가 보호막 위로부터 박리되지 않도록 배선 전극과의 밀착성도 요구되고 있다.

그러나, 상기한 밀착성을 제공하는 접착 보조제에는 보호막 형성시에 승화물로서 도공기 내부를 오염시켜, 유지 보수, 세정 등이 필요해진다는 문제점이 있다. 요즘에는 이러한 관점에서 접착 보조제로 한정되지 않고, 재료의 저아웃 가스화와 같은 경향도 보이게 되었다. 또한, 종래의 접착 보조제에서는 배선 전극의 패터닝 특성이 불충분하였다.

이러한 보호막의 형성에는, 간편한 방법으로 경도가 우수한 보호막을 형성할 수 있다는 이점이 있는 열 경화성 조성물을 사용하는 것이 편리하지만, 상기한 바와 같은 다양한 특성을 발현시키기 위한 보호막 수지 조성물은 강고한 가교를 형성시키는 반응성이 양호한 가교기 또는 촉매를 갖고 있으며, 그 때문에 조성물 자체의 보관 수명이 매우 짧다는 문제점이 있어 취급이 매우 곤란하였다. 즉, 조성물의 도포 성능 자체가 시간 경과에 따라 악화될 뿐만 아니라, 도공기의 빈번한 유지 보수, 세정 등이 필요해져 조작상으로도 번잡하였다.

투명성 등의 보호막으로서의 일반적인 요구 성능을 만족할 뿐만 아니라 상기한 바와 같은 다양한 성능을 만족하는 보호막을 간편하게 형성할 수 있으며, 조성물로서의 보존 안정성이 우수한 재료는 아직 알려져 있지 않다.

또한, 일본 특허 공개 (평)4-218561호 공보에는, 도료, 잉크, 접착제, 성형 품에 사용되는 잠재화 카르복실 화합물을 포함하는 열 경화성 조성물이 개시되어 있지만, 컬러 필터의 보호막에 대해서는 어떠한 개시도 되어 있지 않다.

<발명의 개시>

본 발명은 이상과 같은 사정에 기초하여 이루어진 것이며, 그 목적은 표면의 평탄성이 낮은 기체여도 해당 기체 위에 평탄성이 높은 경화막을 형성할 수 있고, 투명성 및 표면 경도가 높고, 내열내압성, 내산성, 내알칼리성, 내스퍼터성 등의 각종 내성이 우수하고, 배선 전극의 패터닝 특성이 양호한 광장치용 보호막을 형성하기 위해 바람직하게 사용되며, 보호막 형성시에 발생하는 승화물량이 적고, 조성물로서의 보존 안정성이 우수한 조성물, 상기 조성물을 사용한 보호막의 형성 방법, 및 상기 조성물로부터 형성된 보호막을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 또 다른 목적 및 이점은 이하의 설명으로부터 명백하다.

본 발명의 상기 목적 및 이점은 첫째로, [A] 옥시라닐기, 옥세타닐기 및 알릴기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 갖는 중합성 불포화 화합물을 함유하는 중합체 및 [B] [A] 성분과 열에 의해 가교 반응할 수 있는 관능기를 함유하는 실록산 올리고머를 함유하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 보호막용 경화성 수지 조성물에 의해 달성된다.

본 발명의 상기 목적 및 이점은 둘째로, 상기 경화성 수지 조성물을 사용하여 도막을 형성하고, 이어서 가열 처리하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 보호막의 형성 방법에 의해 달성된다.

본 발명의 상기 목적 및 이점은 셋째로, 상기 경화성 수지 조성물로 형성된 컬러 필터의 보호막에 의해 달성된다.

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>

이하, 본 발명의 수지 조성물의 각 성분에 대하여 설명한다.

〔A〕 공중합체

본 발명의 〔A〕 공중합체는, 옥시라닐기, 옥세타닐기 및 알릴기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 갖는 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 반복 단위를 함유하는 공중합체이다.

〔A〕 공중합체는 상기 조건을 만족하는 한 한정되지 않으며, 부가 중합체, 중부가 중합체, 중축합 중합체 중 어떠한 것이어도 상관없다.

본 발명에서의 바람직한 〔A〕 중합체로서는, 예를 들면,

(A1) (a) 옥시라닐기, 옥세타닐기 및 알릴기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 갖는 중합성 불포화 화합물(이하, "불포화 화합물 (a)"라고 함)과, (b1) 중합성 불포화 카르복실산 및/또는 중합성 불포화 다가 카르복실산 무수물(이하, 이들을 통합하여 "불포화 화합물 (b1)"이라고 함)과 (b2) 불포화 화합물 (a) 및 불포화 화합물 (b1) 이외의 중합성 불포화 화합물(이하, "불포화 화합물 (b2)"라고 함)의 공중합체(이하, "공중합체 (A1)"이라고 함);

(A2) 분자 중에 2개 이상의 옥시라닐기, 옥세타닐기 및 알릴기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기와, 카르복실산의 아세탈에스테르 구조, 카르복실산의 케탈에스테르 구조, 카르복실산의 1-알킬시클로알킬에스테르 구조 및 카르복실산의 t-부틸에스테르 구조로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 구조를 함유하는 중합체(이하, "중합체 (A2)"라고 함);

(A3) 불포화 화합물 (a)와 (b5) 불포화 화합물 (a) 이외의 중합성 불포화 화합물(이하, "불포화 화합물 (b5)"라고 함)의 공중합체이며, 분자 중에 카르복실산의 아세탈에스테르 구조, 카르복실산의 케탈에스테르 구조, 카르복실산의 1-알킬시클로알킬에스테르 구조 및 카르복실산의 t-부틸에스테르 구조를 모두 갖지 않는 공중합체(이하, "공중합체 (A3)"이라고 함)

등을 들 수 있다.

또한, 중합체 (A2)로서는 (A2-1) 불포화 화합물 (a)와, (b3) 카르복실산의 아세탈에스테르 구조, 카르복실산의 케탈에스테르 구조, 카르복실산의 1-알킬시클로알킬에스테르 구조 및 카르복실산의 t-부틸에스테르 구조로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 구조를 함유하는 중합성 불포화 화합물(이하, "불포화 화합물 (b3)"이라고 함)과, (b4) 불포화 화합물 (a) 및 불포화 화합물 (b3) 이외의 중합성 불포화 화합물(이하, "불포화 화합물 (b4)"라고 함)의 공중합체(이하, "공중합체 (A2-1)"이라고 함)가 더욱 바람직하다.

또한, 공중합체 (A1)은, 카르복실산의 아세탈에스테르 구조, 카르복실산의 케탈에스테르 구조, 카르복실산의 1-알킬시클로알킬에스테르 구조 및 카르복실산의 t-부틸에스테르 구조를 추가로 함유할 수 있으며, 중합체 (A2)는 카르복실기 또는 카르복실산 무수물기를 추가로 함유할 수 있다.

공중합체 (A1), 중합체 (A2) 및 공중합체 (A3)에서, 불포화 화합물 (a)로서는 예를 들면 (메트)아크릴산글리시딜, α-에틸아크릴산글리시딜, α-n-프로필아크릴산글리시딜, α-n-부틸아크릴산글리시딜, (메트)아크릴산 3,4-에폭시부틸, α-에틸아크릴산 3,4-에폭시부틸, (메트)아크릴산 6,7-에폭시헵틸, α-에틸아크릴산 6,7-에폭시헵틸, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르, 3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄, 3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄, 알릴아크릴레이트, 알릴메타크릴레이트 등을 들 수 있다.

이들 불포화 화합물 (a)는, 후술하는 [B] 성분의 [A] 성분과 열에 의해 가교 반응할 수 있는 관능기(이하, "열 가교 반응기"라고 함)가 비닐기, 알릴기, (메트)아크릴로일기, 카르복실기, 히드록실기, 머캅토기, 우레이도기, 스티릴기 또는 아미노기인 경우, [B] 성분과 가교 반응한다.

이들 불포화 화합물 (a) 중, 메타크릴산글리시딜, 메타크릴산-6,7-에폭시헵틸, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르, 3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄, 3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄, 알릴메타크릴레이트 등이 공중합 반응성 및 얻어지는 보호막 또는 절연막의 내열성, 표면 경도를 높인다는 점에서 바람직하게 사용된다.

상기 불포화 화합물 (a)는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.

공중합체 (A1)에서 불포화 화합물 (b1)로서는, 예를 들면,

(메트)아크릴산, 크로톤산, α-에틸아크릴산, α-n-프로필아크릴산, α-n-부틸아크릴산, 말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산과 같은 불포화 카르복실산;

말레산 무수물, 이타콘산 무수물, 시트라콘산 무수물, 시스-1,2,3,4-테트라히드로프탈산 무수물과 같은 불포화 다가 카르복실산 무수물

등을 들 수 있다.

이들 불포화 화합물 (b1)은 후술하는 [B] 성분의 열 가교 반응기가 옥시라닐기, 옥세타닐기, 에피술피드기, 히드록실기, 머캅토기 또는 아미노기인 경우, [B] 성분과 가교 반응한다.

이들 불포화 화합물 (b1) 중 불포화 카르복실산으로서는 특히 아크릴산, 메타크릴산이 바람직하고, 불포화 다가 카르복실산 무수물로서는 특히 말레산 무수물이 바람직하다. 이들 바람직한 불포화 화합물 (b1)은 공중합 반응성이 높고, 얻어지는 보호막의 내열성이나 표면 경도를 높이는 데 유효하다.

상기 불포화 화합물 (b1)은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.

또한, 불포화 화합물 (b2)로서는, 예를 들면,

(메트)아크릴산 2-히드록시에틸, (메트)아크릴산 2-히드록시프로필과 같은 (메트)아크릴산히드록시알킬에스테르;

(메트)아크릴산메틸, (메트)아크릴산에틸, (메트)아크릴산 n-프로필, (메트)아크릴산 i-프로필, (메트)아크릴산 n-부틸, (메트)아크릴산 i-부틸, (메트)아크릴산 sec-부틸, (메트)아크릴산 t-부틸과 같은 (메트)아크릴산알킬에스테르;

(메트)아크릴산시클로펜틸, (메트)아크릴산시클로헥실, (메트)아크릴산 2-메틸시클로헥실, (메트)아크릴산트리시클로[5.2.1.O^2,6]데칸-8-일(이하, 트리시클로[5.2.1.0^2,6]데칸-8-일을 "디시클로펜타닐"이라고 함), (메트)아크릴산 2-디시클로펜타닐옥시에틸, (메트)아크릴산이소보로닐과 같은 (메트)아크릴산 지환식 에스테르;

(메트)아크릴산페닐, (메트)아크릴산벤질과 같은 (메트)아크릴산아릴에스테르;

말레산디에틸, 푸마르산디에틸, 이타콘산디에틸과 같은 불포화 디카르복실산디에스테르;

N-페닐말레이미드, N-벤질말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-숙신이미딜-3-말레이미드벤조에이트, N-숙신이미딜-4-말레이미드부티레이트, N-숙신이미딜-6-말레이미드카프로에이트, N-숙신이미딜-3-말레이미드프로피오네이트, N-(9-아크리딜)말레이미드와 같은 불포화 디카르보닐이미드 유도체;

(메트)아크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴, 시안화비닐리덴과 같은 시안화비닐 화합물;

(메트)아크릴아미드, N,N-디메틸(메트)아크릴아미드와 같은 불포화 아미드 화합물;

스티렌, α-메틸스티렌, m-메틸스티렌, p-메틸스티렌, 비닐톨루엔, p-메톡시스티렌과 같은 방향족 비닐 화합물;

인덴, 1-메틸인덴과 같은 인덴 유도체;

1,3-부타디엔, 이소프렌, 2,3-디메틸-1,3-부타디엔과 같은 공액 디엔계 화합물 이외에

염화비닐, 염화비닐리덴, 아세트산비닐

등을 들 수 있다.

이들 불포화 화합물 (b2) 중, (메트)아크릴산히드록시알킬에스테르, 메타크릴산메틸, 메타크릴산 t-부틸, 아크릴산시클로헥실, 메타크릴산디시클로펜타닐, 아크릴산 2-메틸시클로헥실, N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, 스티렌, p-메톡시스티렌, 1,3-부타디엔 등이 바람직하다. 이들 바람직한 불포화 화합물 (b2)는 공중합 반응성이 높고, 얻어지는 보호막의 내열성(단, 1,3-부타디엔인 경우를 제외함)이나 표면 경도(단, 1,3-부타디엔인 경우를 제외함)를 높이는 데 유효하다.

상기 불포화 화합물 (b2)는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.

공중합체 (A1)의 바람직한 구체예로서는,

아크릴산글리시딜/아크릴산/아크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산/메타크릴산메틸/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산/아크릴산시클로헥실/p-메톡시스티렌 공중합체,

아크릴산글리시딜/아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/1,3-부타디엔 공중합체,

메타크릴산 6,7-에폭시헵틸/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체,

메타크릴산 6,7-에폭시헵틸/아크릴산/말레산 무수물/스티렌 공중합체,

메타크릴산 6,7-에폭시헵틸/아크릴산/말레산 무수물/메타크릴산 t-부틸 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산/아크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/메타크릴산메틸/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/아크릴산시클로헥실/p-메톡시스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/1,3-부타디엔 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산/말레산 무수물/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산/말레산 무수물/메타크릴산 t-부틸 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산/아크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산/메타크릴산메틸/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산/아크릴산시클로헥실/p-메톡시스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/1,3-부타디엔 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산/말레산 무수물/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산/말레산 무수물/메타크릴산 t-부틸 공중합체

등을 들 수 있다.

이들 공중합체 (A1) 중 더욱 바람직하게는,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/1,3-부타디엔 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체

등이다.

공중합체 (A1)에서, 불포화 화합물 (a)에서 유래하는 반복 단위의 함유율은 전체 반복 단위에 대하여 바람직하게는 10 내지 70 중량％, 특히 바람직하게는 20 내지 60 중량％이다. 불포화 화합물 (b1)에서 유래하는 반복 단위의 합계 함유율은, 전체 반복 단위에 대하여 바람직하게는 5 내지 40 중량％, 특히 바람직하게는 10 내지 30 중량％이다. 불포화 화합물 (b2)에서 유래하는 반복 단위의 함유율은, 전체 반복 단위에 대하여 바람직하게는 10 내지 70 중량％, 특히 바람직하게는 20 내지 50 중량％이다.

불포화 화합물 (a)에서 유래하는 반복 단위의 함유율이 10 중량％ 미만이면, 보호막의 내열성이나 표면 경도가 저하되는 경향이 있고, 한편 70 중량％를 초과하면, 조성물의 보존 안정성이 저하되는 경향이 있다. 또한, (b1) 중합성 불포화 카르복실산 및 중합성 불포화 다가 카르복실산 무수물에서 유래하는 반복 단위의 합계 함유율이 5 중량％ 미만이면 보호막의 내열성, 표면 경도나 내약품성이 저하되는 경향이 있고, 한편 40 중량％를 초과하면 조성물의 보존 안정성이 저하되는 경향이 있다. 또한, (b2) 다른 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 반복 단위의 함유율이 10 중량％ 미만이면 조성물의 보존 안정성이 저하되는 경향이 있고, 한편 70 중량％를 초과하면 보호막의 내열성이나 표면 경도가 저하되는 경향이 있다.

이어서, 중합체 (A2)는 카르복실산의 아세탈에스테르 구조, 카르복실산의 케탈에스테르 구조, 카르복실산의 1-알킬시클로알킬에스테르 구조 및 카르복실산의 t-부틸에스테르 구조로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 구조를 갖는다. 중합체 (A2)는 상기 요건을 만족하는 한 특별히 한정되지 않으며, 부가 중합체, 중부가 중합체, 중축합 중합체 등 중에서 어떠한 것이어도 상관없다.

카르복실산의 아세탈에스테르 구조를 형성하는 기로서는, 예를 들면 1-메톡시에톡시기, 1-에톡시에톡시기, 1-n-프로폭시에톡시기, 1-i-프로폭시에톡시기, 1-n-부톡시에톡시기, 1-i-부톡시에톡시기, 1-sec-부톡시에톡시기, 1-t-부톡시에톡시기, 1-시클로펜틸옥시에톡시기, 1-시클로헥실옥시에톡시기, 1-노르보르닐옥시에톡시기, 1-보르닐옥시에톡시기, 1-페닐옥시에톡시기, 1-(1-나프틸옥시)에톡시기, 1-벤질옥시에톡시기, 1-페네틸옥시에톡시기, (시클로헥실)(메톡시)메톡시기, (시클로헥실)(에톡시)메톡시기, (시클로헥실)(n-프로폭시)메톡시기, (시클로헥실)(i-프로폭시)메톡시기, (시클로헥실)(시클로헥실옥시)메톡시기, (시클로헥실)(페녹시)메톡시기, (시클로헥실)(벤질옥시)메톡시기, (페닐)(메톡시)메톡시기, (페닐)(에톡시)메톡시기, (페닐)(n-프로폭시)메톡시기, (페닐)(i-프로폭시)메톡시기, (페닐)(시클로헥실옥시)메톡시기, (페닐)(페녹시)메톡시기, (페닐)(벤질옥시)메톡시기, (벤질)(메톡시)메톡시기, (벤질)(에톡시)메톡시기, (벤질)(n-프로폭시)메톡시기, (벤질)(i-프로폭시)메톡시기, (벤질)(시클로헥실옥시)메톡시기, (벤질)(페녹시)메톡시기, (벤질)(벤질옥시)메톡시기, 2-테트라히드로푸라닐옥시기, 2-테트라히드로피라닐옥시기 등을 들 수 있다.

이들 중에서 1-에톡시에톡시기, 1-시클로헥실옥시에톡시기, 2-테트라히드로피라닐옥시기, 1-n-프로폭시에톡시기, 2-테트라히드로피라닐옥시기를 바람직한 것으로서 들 수 있다.

카르복실산의 케탈에스테르 구조를 형성하는 기로서는, 예를 들면 1-메틸-1-메톡시에톡시기, 1-메틸-1-에톡시에톡시기, 1-메틸-1-n-프로폭시에톡시기, 1-메틸-1-i-프로폭시에톡시기, 1-메틸-1-n-부톡시에톡시기, 1-메틸-1-i-부톡시에톡시기, 1-메틸-1-sec-부톡시에톡시기, 1-메틸-1-t-부톡시에톡시기, 1-메틸-1-시클로펜틸옥시에톡시기, 1-메틸-1-시클로헥실옥시에톡시기, 1-메틸-1-노르보르닐옥시에톡시기, 1-메틸-1-보르닐옥시에톡시기, 1-메틸-1-페닐옥시에톡시기, 1-메틸-1-(1-나프틸옥시)에톡시기, 1-메틸-1-벤질옥시에톡시기, 1-메틸-1-페네틸옥시에톡시기, 1-시클로헥실-1-메톡시에톡시기, 1-시클로헥실-1-에톡시에톡시기, 1-시클로헥실-1-n-프로폭시에톡시기, 1-시클로헥실-1-i-프로폭시에톡시기, 1-시클로헥실-1-시클로헥실옥시에톡시기, 1-시클로헥실-1-페녹시에톡시기, 1-시클로헥실-1-벤질옥시에톡시기, 1-페닐-1-메톡시에톡시기, 1-페닐-1-에톡시에톡시기, 1-페닐-1-n-프로폭시에톡시기, 1-페닐-1-i-프로폭시에톡시기, 1-페닐-1-시클로헥실옥시에톡시기, 1-페닐-1-페닐옥시에톡시기, 1-페닐-1-벤질옥시에톡시기, 1-벤질-1-메톡시에톡시기, 1-벤질-1-에톡시에톡시기, 1-벤질-1-n-프로폭시에톡시기, 1-벤질-1-i-프로폭시에톡시기, 1-벤질-1-시클로헥실옥시에톡시기, 1-벤질-1-페닐옥시에톡시기, 1-벤질-1-벤질옥시에톡시기, 2-(2-메틸-테트라히드로푸라닐)옥시기, 2-(2-메틸-테트라히드로피라닐)옥시기, 1-메톡시-시클로펜틸옥시기, 1-메톡시-시클로헥실옥시기 등을 들 수 있다.

이들 중에서 1-메틸-1-메톡시에톡시기, 1-메틸-1-시클로헥실옥시에톡시기를 바람직한 것으로서 들 수 있다.

카르복실기와 결합하여 카르복실산의 1-알킬시클로알킬에스테르 구조를 형성하는 기로서는, 예를 들면 1-메틸시클로프로필기, 1-메틸시클로부틸기, 1-메틸시클로펜틸기, 1-메틸시클로헥실기, 1-메틸시클로헵틸기, 1-메틸시클로옥틸기, 1-메틸시클로노닐기, 1-메틸시클로데실기, 1-에틸시클로프로필기, 1-에틸시클로부틸기, 1-에틸시클로펜틸기, 1-에틸시클로헥실기, 1-에틸시클로헵틸기, 1-에틸시클로옥틸기, 1-에틸시클로노닐기, 1-에틸시클로데실기, 1-(이소)프로필시클로프로필기, 1-(이소)프로필시클로부틸기, 1-(이소)프로필시클로펜틸기, 1-(이소)프로필시클로헥실기, 1-(이소)프로필시클로헵틸기, 1-(이소)프로필시클로옥틸기, 1-(이소)프로필시클로노닐기, 1-(이소)프로필시클로데실기, 1-(이소)부틸시클로프로필기, 1-(이소)부틸시클로부틸기, 1-(이소)부틸시클로펜틸기, 1-(이소)부틸시클로헥실기, 1-(이소)부틸시클로헵틸기, 1-(이소)부틸시클로옥틸기, 1-(이소)부틸시클로노닐기, 1-(이소)부틸시클로데실기, 1-(이소)펜틸시클로프로필기, 1-(이소)펜틸시클로부틸기, 1-(이소)펜틸시클로펜틸기, 1-(이소)펜틸시클로헥실기, 1-(이소)펜틸시클로헵틸기, 1-(이소)펜틸시클로옥틸기, 1-(이소)펜틸시클로노닐기, 1-(이소)펜틸시클로데실기, 1-(이소)헥실시클로프로필기, 1-(이소)헥실시클로부틸기, 1-(이소)헥실시클로펜틸기, 1-(이소)헥실시클로헥실기, 1-(이소)헥실시클로헵틸기, 1-(이소)헥실시클로옥틸기, 1-(이소)헥실시클로노닐기, 1-(이소)헥실시클로데실기, 1-(이소)헵틸시클로프로필기, 1-(이소)헵틸시클로부틸기, 1-(이소)헵틸시클로펜틸기, 1-(이소)헵틸시클로헥실기, 1-(이소)헵틸시클로헵틸기, 1-(이소)헵틸시클로옥틸기, 1-(이소)헵틸시클로노닐기, 1-(이소)헵틸시클로데실기, 1-(이소)옥틸시클로프로필기, 1-(이소)옥틸시클로부틸기, 1-(이소)옥틸시클로펜틸기, 1-(이소)옥틸시클로헥실기, 1-(이소)옥틸시클로헵틸기, 1-(이소)옥틸시클로옥틸기, 1-(이소)옥틸시클로노닐기 및 1-(이소)옥틸시클로데실기를 바람직한 것으로서 들 수 있다.

중합체 (A2)는, 공중합체 (A1)을 사용하는 경우에 비해 보존 안정성이 양호하고, 얻어지는 보호막의 평탄화능도 우수한 1액형 경화성 수지 조성물 (α)를 제공할 수 있다.

공중합체 (A2-1)에서 불포화 화합물 (b3)으로서는, 예를 들면 카르복실산의 아세탈에스테르 구조 또는 카르복실산의 케탈에스테르 구조를 갖는 노르보르넨 화합물, 카르복실산의 아세탈, 케탈 또는 1-알킬시클로알킬에스테르 구조를 갖는 (메트)아크릴산에스테르 화합물, t-부틸(메트)아크릴레이트를 들 수 있다.

상기 아세탈에스테르 구조 또는 케탈에스테르 구조를 갖는 노르보르넨 화합물의 구체예로서는, 예를 들면 2,3-디-테트라히드로피란-2-일옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-트리메틸실라닐옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-트리에틸실라닐옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-t-부틸디메틸실라닐옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-트리메틸게르밀옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-트리에틸게르밀옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-t-부틸디메틸게르밀옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-t-부틸옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-벤질옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-테트라히드로푸란-2-일옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-테트라히드로피란-2-일옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-시클로부틸옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-시클로펜틸옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-시클로헥실옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-시클로헵틸옥시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-1-메톡시에톡시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-1-t-부톡시에톡시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-1-벤질옥시에톡시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-(시클로헥실)(에톡시)메톡시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-1-메틸-1-메톡시에톡시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-1-메틸-1-i-부톡시에톡시카르보닐-5-노르보르넨,

2,3-디-(벤질)(에톡시)메톡시카르보닐-5-노르보르넨 등;

상기 아세탈에스테르 또는 케탈에스테르 구조를 갖는 (메트)아크릴산에스테르 화합물의 구체예로서는, 예를 들면 1-에톡시에틸(메트)아크릴레이트, 테트라히드로-2H-피란-2-일(메트)아크릴레이트, 1-(시클로헥실옥시)에틸(메트)아크릴레이트, 1-(2-메틸프로폭시)에틸(메트)아크릴레이트, 1-(1,1-디메틸-에톡시)에틸(메트)아크릴레이트, 1-(시클로헥실옥시)에틸(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.

상기 1-알킬시클로알킬에스테르 구조를 갖는 (메트)아크릴산에스테르 화합물의 구체예로서는,

1-메틸시클로프로필(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로부틸(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로헵틸(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로옥틸(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로노닐(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로데칸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로프로필(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로부틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헵틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로옥틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로노닐(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로데실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로프로필(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로부틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로헵틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로옥틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로노닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로데실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로프로필(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로부틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로헵틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로옥틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)-부틸시클로노닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로데실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로프로필(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로부틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로헵틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로옥틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로노닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로데실(메트)아크릴레이트,

1-(이소)헥실시클로프로필(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로부틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로헵틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로옥틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로노닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로데실(메트)아크릴레이트,

1-(이소)헵틸시클로프로필(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로부틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로헵틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로옥틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로노닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로데실(메트)아크릴레이트,

1-(이소)옥틸시클로프로필(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로부틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로헵틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로옥틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로노닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로데실(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.

이들 중에서 1-에틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로헥실(메트)아크릴레이트를 사용하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직한 것은 1-에틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헥실(메트)아크릴레이트이고, 특히 바람직한 것은 1-에틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헥실(메트)아크릴레이트이다. 이들은, 공중합 반응성 및 얻어지는 보호막의 내열성, 조성물 용액의 보존 안정성 향상의 관점에서 바람직하게 사용된다.

이들 중에서 카르복실산의 아세탈에스테르, 케탈에스테르 또는 1-알킬시클로알킬에스테르 구조를 갖는 (메트)아크릴산에스테르 화합물 및 t-부틸(메트)아크릴레이트가 바람직하고, 이 중 1-에톡시에틸메타크릴레이트, 테트라히드로-2H-피란-2-일메타크릴레이트, 1-(시클로헥실옥시)에틸메타크릴레이트, 1-(2-메틸프로폭시)에틸메타크릴레이트, 1-(1,1-디메틸-에톡시)에틸메타크릴레이트, 1-(시클로헥실옥시)에틸메타크릴레이트, 1-에틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, t-부틸메타크릴레이트가 특히 바람직하다.

이들 바람직한 불포화 화합물 (b3)은 공중합 반응성이 높고, 보존 안정성 및 보호막의 평탄화능이 우수한 1액형 경화성 수지 조성물을 제공함과 동시에, 얻어지는 보호막의 내열성이나 표면 경도를 높이는 데 유효하다.

상기 불포화 화합물 (b3)은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.

또한, 불포화 화합물 (b4)로서는, 예를 들면 상기 불포화 화합물 (b1) 및 불포화 화합물 (b2)에 대하여 예시한 화합물과 동일한 것을 들 수 있다.

이들 불포화 화합물 (b4) 중 메타크릴산메틸, 아크릴산시클로헥실, 메타크릴산디시클로펜타닐, 아크릴산 2-메틸시클로헥실, N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, 스티렌, p-메톡시스티렌, 1,3-부타디엔 등이 바람직하다. 이들 바람직한 불포화 화합물 (b4)는 공중합 반응성이 높고, 얻어지는 보호막의 내열성(단, 1,3-부타디엔인 경우를 제외함)이나 표면 경도(단, 1,3-부타디엔인 경우를 제외함)를 높이는 데 유효하다.

상기 불포화 화합물 (b4)는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.

공중합체 (A2-1)의 바람직한 구체예로서는,

메타크릴산글리시딜/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/아크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/아크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/2,3-디(테트라히드로피란-2-일옥시카르보닐)-5-노르보르넨/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/2,3-디(테트라히드로피란-2-일옥시카르보닐)-5-노르보르넨/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/1,3-부타디엔 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/1,3-부타디엔 공중합체,

메타크릴산글리시딜/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산메틸/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산메틸/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/아크릴산시클로헥실/p-메톡시스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/아크릴산시클로헥실/p-메톡시스티렌 공중합체,

아크릴산글리시딜/메타크릴산 t-부틸/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산 t-부틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산 6,7-에폭시헵틸/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산 t-부틸/말레산 무수물 공중합체,

메타크릴산 6,7-에폭시헵틸/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산-t-부틸/말레산 무수물 공중합체,

메타크릴산 6,7-에폭시헵틸/메타크릴산 t-부틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산 6,7-에폭시헵틸/메타크릴산 t-부틸/말레산 무수물/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/아크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체

메타크릴산글리시딜/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/1-에틸시클로헥실아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/메타크릴산 공중합체,

메타크릴산글리시딜/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/1-에틸시클로헥실아크릴레이트/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/2,3-디(테트라히드로피란-2-일옥시카르보닐)-5-노르보르넨/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/2,3-디(테트라히드로피란-2-일옥시카르보닐)-5-노르보르넨/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/1,3-부타디엔 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/1,3-부타디엔 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산메틸/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산메틸/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/아크릴산시클로헥실/p-메톡시스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/아크릴산시클로헥실/p-메톡시스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산 t-부틸/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산 t-부틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산 t-부틸/말레산 무수물 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산 t-부틸/말레산 무수물 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산 t-부틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산 t-부틸/말레산 무수물/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로헥실아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/메타크릴산 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로헥실아크릴레이트/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/2,3-디(테트라히드로피란-2-일옥시카르보닐)-5-노르보르넨/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/2,3-디(테트라히드로피란-2-일옥시카르보닐)-5-노르보르넨/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/1,3-부타디엔 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/1,3-부타디엔 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산메틸/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산메틸/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/아크릴산시클로헥실/p-메톡시스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/아크릴산시클로헥실/p-메톡시스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산 t-부틸/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산 t-부틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/아크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌/1,3-부타디엔 공중합체

알릴메타크릴레이트/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/1-에틸시클로헥실아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/메타크릴산 공중합체,

알릴메타크릴레이트/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/1-에틸시클로헥실아크릴레이트/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체

등을 들 수 있다.

이들 공중합체 (A2-1) 중 더욱 바람직하게는,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산 t-부틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체

메타크릴산글리시딜/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/메타크릴산 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/메타크릴산공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/메타크릴산 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산테트라히드로-2H-피란-2-일/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/아크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산 1-(시클로헥실옥시)에틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/2,3-디(테트라히드로피란-2-일옥시카르보닐)-5-노르보르넨/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/2,3-디(테트라히드로피란-2-일옥시카르보닐)-5-노르보르넨/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산 t-부틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로헥실아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로펜틸아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/메타크릴산 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/메타크릴산 공중합체,

알릴메타크릴레이트/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/메타크릴산 공중합체

등이다.

공중합체 (A2-1)에서, 불포화 화합물 (a)에서 유래하는 반복 단위의 함유율은 전체 반복 단위에 대하여 바람직하게는 10 내지 70 중량％, 특히 바람직하게는 20 내지 60 중량％이다. 불포화 화합물 (a)에서 유래하는 반복 단위의 함유율이 10 중량％ 미만이면 보호막의 내열성이나 표면 경도가 저하되는 경향이 있고, 한편 70 중량％를 초과하면 조성물의 보존 안정성이 저하되는 경향이 있다.

또한, 불포화 화합물 (b3)에서 유래하는 반복 단위의 함유율은 바람직하게는 5 내지 60 중량％, 특히 바람직하게는 10 내지 50 중량％이다. 불포화 화합물 (b3)에서 유래하는 반복 단위의 함유율을 이 범위 내로 함으로써, 보호막의 양호한 내열성 및 표면 경도를 실현할 수 있다.

또한, 불포화 화합물 (b4)에서 유래하는 반복 단위의 함유율은, 불포화 화합물 (a) 및 불포화 화합물 (b3)에서 유래하는 반복 단위의 합계 함유율을 100 중량％로부터 뺀 양이 되지만, 불포화 화합물 (b4)로서 불포화 카르복실산이나 불포화 다가 카르복실산 무수물을 사용하는 경우에는, 이들에서 유래하는 반복 단위의 합계 함유율이 40 중량％를 초과하면 조성물의 보존 안정성이 손상될 우려가 있기 때문에, 이 값을 초과하지 않는 것이 바람직하다.

이어서, 공중합체 (A3)에서 불포화 화합물 (b5)로서는, 예를 들면 상기 불포화 화합물 (b2)에 대하여 예시한 화합물과 동일한 것을 들 수 있다.

이들 불포화 화합물 (b5) 중, 메타크릴산메틸, 아크릴산시클로헥실, 메타크릴산디시클로펜타닐, 아크릴산 2-메틸시클로헥실, N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, 스티렌, p-메톡시스티렌, 1,3-부타디엔 등이 바람직하다. 이들 바람직한 불포화 화합물 (b5)는 공중합 반응성이 높고, 얻어지는 보호막의 내열성(단, 1,3-부타디엔인 경우를 제외함)이나 표면 경도(단, 1,3-부타디엔인 경우를 제외함)를 높이는 데 유효하다.

상기 불포화 화합물 (b5)는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.

공중합체 (A3)의 바람직한 구체예로서는,

아크릴산글리시딜/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/스티렌 공중합체,

아크릴산글리시딜/메타크릴산디시클로펜타닐 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산디시클로펜타닐 공중합체,

메타크릴산 6,7-에폭시헵틸/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

메타크릴산 6,7-에폭시헵틸/메타크릴산디시클로펜타닐 공중합체,

메타크릴산 6,7-에폭시헵틸/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산디시클로펜타닐 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산디시클로펜타닐 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산디시클로펜타닐 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산디시클로펜타닐/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체

등을 들 수 있다.

이들 공중합체 (A3) 중 더욱 바람직하게는,

메타크릴산글리시딜/스티렌 공중합체,

메타크릴산글리시딜/메타크릴산디시클로펜타닐 공중합체,

3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/스티렌 공중합체,

3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄/N-시클로헥실말레이미드/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/스티렌 공중합체,

알릴메타크릴레이트/메타크릴산디시클로펜타닐 공중합체,

등이다.

공중합체 (A3)에서, 불포화 화합물 (a)에서 유래하는 반복 단위의 함유율은 전체 반복 단위에 대하여 바람직하게는 1 내지 90 중량％, 특히 바람직하게는 40 내지 90 중량％이다.

불포화 화합물 (a)에서 유래하는 반복 단위의 함유율이 1 중량％ 미만이면, 보호막의 내열성이나 표면 경도가 저하되는 경향이 있고, 한편 90 중량％를 초과하면 내열성이나 조성물의 보존 안정성이 저하되는 경향이 있다.

공중합체 〔A〕는, 겔 투과 크로마토그래피(용출 용매 테트라히드로푸란)로 측정한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량(이하, "Mw"라고 하는 경우가 있음)이 바람직하게는 1,000 내지 100,000이고, 더욱 바람직하게는 2,000 내지 50,000이고, 특히 바람직하게는 3,000 내지 40,000이다. Mw가 1,000 미만이면, 조성물의 도포성이 불충분해지거나 형성되는 보호막의 내열성이 부족한 경우가 있고, 한편 Mw가 100,000을 초과하면 평탄화 성능이 불충분해지는 경우가 있다.

또한, 공중합체 〔A〕의 분자량 분포(Mw/Mn)는 바람직하게는 5.0 이하이고, 더욱 바람직하게는 3.0 이하이다.

이러한 공중합체는, 공중합체 〔A〕에서는 상기 중합성 불포화 화합물 (a), 및 (b1) 내지 (b5)를 적당한 용매 및 적당한 중합 개시제의 존재하에 공지된 방법, 예를 들면 라디칼 중합에 의해 합성할 수 있다.

〔B〕 성분

본 발명에서 사용되는 [B] 성분은, 상기 [A] 성분과 열에 의해 가교 반응할 수 있는 관능기를 갖는 실록산 올리고머이며, 바람직하게는 하기 화학식 1 및 하기 화학식 2 각각으로 표시되는 알콕시실란을 공가수분해함으로써 제조할 수 있다.

Si(R¹)_l(R²)_m(OR³)_n

(여기서, R¹은 옥시라닐기, 옥세타닐기, 에피술피드기, 비닐기, 알릴기, (메트)아크릴로일기, 카르복실기, 히드록실기, 머캅토기, 이소시아네이트기, 아미노기, 우레이도기 또는 스티릴기를 함유하는 치환기를 나타내고, R², R³은 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 수소 원자 또는 1가의 유기기이고, l, n은 각각 1 내지 3의 정수이고, m은 0 내지 2의 정수이되, 단, l+m+n=4임)

Si(R⁴)_x(OR⁵)_4-x

(여기서 R⁴, R⁵는 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 1가의 유기기이고, x는 0 내지 3의 정수임)

상기 가수분해물에는 원료 중 가수분해될 수 있는 부분이 전부 가수분해된 것, 및 그 일부가 가수분해되고 일부가 가수분해되지 않고 잔존하는 것도 포함된다고 이해해야 한다.

옥시라닐기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 3-글리시독시메틸트리메톡시실란, 3-글리시독시메틸트리에톡시실란, 3-글리시독시메틸트리-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시메틸트리-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시메틸트리아세톡시실란, 3-글리시독시메틸메틸디메톡시실란, 3-글리시독시메틸메틸디에톡시실란, 3-글리시독시메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시메틸메틸디-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시메틸메틸디아세톡시실란, 3-글리시독시메틸에틸디메톡시실란, 3-글리시독시메틸에틸디에톡시실란, 3-글리시독시메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시메틸에틸디-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시메틸에틸디아세톡시실란, 3-글리시독시메틸페닐디메톡시실란, 3-글리시독시메틸페닐디에톡시실란, 3-글리시독시메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시메틸페닐디-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시메틸페닐디아세톡시실란, 3-글리시독시에틸트리메톡시실란, 3-글리시독시에틸트리에톡시실란, 3-글리시독시에틸트리-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시에틸트리-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시에틸트리아세톡시실란, 3-글리시독시에틸메틸디메톡시실란, 3-글리시독시에틸메틸디에톡시실란, 3-글리시독시에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시에틸메틸디-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시에틸메틸디아세톡시실란, 3-글리시독시에틸에틸디메톡시실란, 3-글리시독시에틸에틸디에톡시실란, 3-글리시독시에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시에틸에틸디-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시에틸에틸디아세톡시실란, 3-글리시독시에틸페닐디메톡시실란, 3-글리시독시에틸페닐디에톡시실란, 3-글리시독시에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시에틸페닐디-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시에틸페닐디아세톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시프로필트리-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시프로필트리아세톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디에톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시프로필메틸디-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시프로필메틸디아세톡시실란, 3-글리시독시프로필에틸디메톡시실란, 3-글리시독시프로필에틸디에톡시실란, 3-글리시독시프로필에틸디-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시프로필에틸디-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시프로필에틸디아세톡시실란, 3-글리시독시프로필페닐디메톡시실란, 3-글리시독시프로필페닐디에톡시실란, 3-글리시독시프로필페닐디-n-프로필옥시실란, 3-글리시독시프로필페닐디-i-프로필옥시실란, 3-글리시독시프로필페닐디아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸트리메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸트리에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸트리-n-프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸트리아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸메틸디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸메틸디아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸에틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸에틸디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2-(3,4- 에폭시시클로헥실)메틸에틸디아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸페닐디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸페닐디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)메틸페닐디아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리-n-프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸메틸디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸메틸디아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸에틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸에틸디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸에틸디아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸페닐디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸페닐디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸페닐디아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필트리메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필트리에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필트리-n-프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필트리아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필메틸디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필메틸디-n-프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필메틸디아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필에틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필에틸디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필에틸디-n- 프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필에틸디아세톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필페닐디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필페닐디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필페닐디-n-프로필옥시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)프로필페닐디아세톡시실란 등;

에피술피드기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 2,3-에피티오프로필옥시메틸트리메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸트리에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸트리-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸트리-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸트리아세톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸메틸디메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸메틸디에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸메틸디-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸메틸디아세톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸에틸디메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸에틸디에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸에틸디-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸에틸디아세톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸페닐디메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸페닐디에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸페닐디-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시메틸페닐디아세톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸트리메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸트리에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸트리-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸트리-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸트리아세톡시실란, 2,3- 에피티오프로필옥시에틸메틸디메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸메틸디에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸메틸디-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸메틸디아세톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸에틸디메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸에틸디에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸에틸디-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸에틸디아세톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸페닐디메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸페닐디에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸페닐디-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시에틸페닐디아세톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필트리메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필트리에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필트리-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필트리-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필트리아세톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필메틸디메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필메틸디에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필메틸디-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필메틸디-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필메틸디아세톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필에틸디메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필에틸디에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필에틸디-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필에틸디-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필에틸디아세톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필페닐디메톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필페닐디에톡시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필페닐디-n-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필페닐디-i-프로필옥시실란, 2,3-에피티오프로필옥시프로필페닐디아세톡시실란 등;

옥세타닐기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, (옥세탄-3-일)메틸트리메톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸트리에톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸트리-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)메틸트리-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)메틸트리아세톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸메틸디메톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸메틸디에톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸메틸디-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)메틸메틸디-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)메틸메틸디아세톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸에틸디메톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸에틸디에톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸에틸디-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)메틸에틸디-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)메틸에틸디아세톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸페닐디메톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸페닐디에톡시실란, (옥세탄-3-일)메틸페닐디-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)메틸페닐디-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)메틸페닐디아세톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸트리메톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸트리에톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸트리-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)에틸트리-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)에틸트리아세톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸메틸디메톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸메틸디에톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸메틸디-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)에틸메틸디-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)에틸메틸디아세톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸에틸디메톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸에틸디에톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸에틸디-n-프로필옥시실란, (옥세탄- 3-일)에틸에틸디-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)에틸에틸디아세톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸페닐디메톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸페닐디에톡시실란, (옥세탄-3-일)에틸페닐디-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)에틸페닐디-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)에틸페닐디아세톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필트리메톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필트리에톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필트리-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)프로필트리-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)프로필트리아세톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필메틸디메톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필메틸디에톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필메틸디-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)프로필메틸디-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)프로필메틸디아세톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필에틸디메톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필에틸디에톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필에틸디-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)프로필에틸디-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)프로필에틸디아세톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필페닐디메톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필페닐디에톡시실란, (옥세탄-3-일)프로필페닐디-n-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)프로필페닐디-i-프로필옥시실란, (옥세탄-3-일)프로필페닐디아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸트리메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸트리에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸트리-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸트리-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸트리아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸메틸디메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸메틸디에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸메틸디-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸메틸디-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸메틸디아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸에틸디메톡시실 란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸에틸디에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸에틸디-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸에틸디-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸에틸디아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸페닐디메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸페닐디에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸페닐디-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸페닐디-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)메틸페닐디아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸트리메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸트리에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸트리-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸트리-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸트리아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸메틸디메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸메틸디에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸메틸디-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸메틸디-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸메틸디아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸에틸디메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸에틸디에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸에틸디-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸에틸디-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸에틸디아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸페닐디메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸페닐디에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸페닐디-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸페닐디-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)에틸페닐디아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필트리메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필트리에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필트리-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필트리-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필트리아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필메틸 디메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필메틸디에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필메틸디-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필메틸디-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필메틸디아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필에틸디메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필에틸디에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필에틸디-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필에틸디-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필에틸디아세톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필페닐디메톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필페닐디에톡시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필페닐디-n-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필페닐디-i-프로필옥시실란, (3-메틸옥세탄-3-일)프로필페닐디아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸트리메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸트리에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸트리-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸트리-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸트리아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸메틸디메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸메틸디에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸메틸디-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸메틸디-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸메틸디아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸에틸디메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸에틸디에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸에틸디-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸에틸디-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸에틸디아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸페닐디메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸페닐디에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸페닐디-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸페닐디-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸페닐디 아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸트리메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸트리에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸트리-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸트리-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸트리아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸메틸디메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸메틸디에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸메틸디-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸메틸디-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸메틸디아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸에틸디메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸에틸디에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸에틸디-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸에틸디-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸에틸디아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸페닐디메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸페닐디에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸페닐디-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸페닐디-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)에틸페닐디아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필트리메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필트리에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필트리-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필트리-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필트리아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필메틸디메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필메틸디에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필메틸디-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필메틸디-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필메틸디아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필에틸디메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필에틸디에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필에틸디-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필에틸디-i-프로필옥시실 란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필에틸디아세톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필페닐디메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필페닐디에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필페닐디-n-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필페닐디-i-프로필옥시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필페닐디아세톡시실란 등;

비닐기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리-n-프로필옥시실란, 비닐트리-i-프로필옥시실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐트리(메톡시에톡시)실란, 비닐메틸디메톡시실란, 비닐메틸디에톡시실란, 비닐메틸디-n-프로필옥시실란, 비닐메틸디-i-프로필옥시실란, 비닐메틸디아세톡시실란, 비닐에틸디메톡시실란, 비닐에틸디에톡시실란, 비닐에틸디-n-프로필옥시실란, 비닐에틸디-i-프로필옥시실란, 비닐에틸디아세톡시실란, 비닐에틸디(메톡시에톡시)실란, 비닐페닐디메톡시실란, 비닐페닐디에톡시실란, 비닐페닐디-n-프로필옥시실란, 비닐페닐디-i-프로필옥시실란, 비닐페닐디아세톡시실란, 비닐페닐디(메톡시에톡시)실란 등;

알릴기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 알릴트리메톡시실란, 알릴트리에톡시실란, 알릴트리-n-프로필옥시실란, 알릴트리-i-프로필옥시실란, 알릴트리아세톡시실란, 알릴트리(메톡시에톡시)실란, 알릴메틸디메톡시실란, 알릴메틸디에톡시실란, 알릴메틸디-n-프로필옥시실란, 알릴메틸디-i-프로필옥시실란, 알릴메틸디아세톡시실란, 알릴에틸디메톡시실란, 알릴에틸디에톡시실란, 알릴에틸디-n-프로필옥시실란, 알릴에틸디-i-프로필옥시실란, 알릴에틸디아세톡시실란, 알릴에틸디(메톡시에톡시)실란, 알릴페닐디메톡시실란, 알릴페닐디에톡시실란, 알릴페닐디-n- 프로필옥시실란, 알릴페닐디-i-프로필옥시실란, 알릴페닐디아세톡시실란, 알릴페닐디(메톡시에톡시)실란 등;

(메트)아크릴로일기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 3-(메트)아크릴옥시메틸트리메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸트리에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸트리-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸트리-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸트리아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸메틸디메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸메틸디에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸메틸디-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸메틸디아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸에틸디메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸에틸디에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸에틸디-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸에틸디아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸페닐디메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸페닐디에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸페닐디-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시메틸페닐디아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸트리메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸트리에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸트리-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸트리-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸트리아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸메틸디메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸메틸디에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸메틸디-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸메틸디아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸에틸디메톡시실 란, 3-(메트)아크릴옥시에틸에틸디에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸에틸디-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸에틸디아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸페닐디메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸페닐디에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸페닐디-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시에틸페닐디아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필트리에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필트리-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필트리-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필트리아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필메틸디메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필메틸디에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필메틸디-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필메틸디-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필메틸디아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필에틸디메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필에틸디에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필에틸디-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필에틸디-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필에틸디아세톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필페닐디메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필페닐디에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필페닐디-n-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필페닐디-i-프로필옥시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필페닐디아세톡시실란 등;

카르복실기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 카르복시메틸트리메톡시실란, 카르복시메틸트리에톡시실란, 카르복시메틸트리-n-프로필옥시실란, 카르복시메틸트리-i-프로필옥시실란, 카르복시메틸트리아세톡시실란, 카르복시메틸트리(메 톡시에톡시)실란, 카르복시메틸메틸디메톡시실란, 카르복시메틸메틸디에톡시실란, 카르복시메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 카르복시메틸메틸디-i-프로필옥시실란, 카르복시메틸메틸디아세톡시실란, 카르복시메틸에틸디메톡시실란, 카르복시메틸에틸디에톡시실란, 카르복시메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 카르복시메틸에틸디-i-프로필옥시실란, 카르복시메틸에틸디아세톡시실란, 카르복시메틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 카르복시메틸페닐디메톡시실란, 카르복시메틸페닐디에톡시실란, 카르복시메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 카르복시메틸페닐디-i-프로필옥시실란, 카르복시메틸페닐디아세톡시실란, 카르복시메틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 2-카르복시에틸트리메톡시실란, 2-카르복시에틸트리에톡시실란, 2-카르복시에틸트리-n-프로필옥시실란, 2-카르복시에틸트리-i-프로필옥시실란, 2-카르복시에틸트리아세톡시실란, 2-카르복시에틸트리(메톡시에톡시)실란, 2-카르복시에틸메틸디메톡시실란, 2-카르복시에틸메틸디에톡시실란, 2-카르복시에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2-카르복시에틸메틸디-i-프로필옥시실란, 2-카르복시에틸메틸디아세톡시실란, 2-카르복시에틸에틸디메톡시실란, 2-카르복시에틸에틸디에톡시실란, 2-카르복시에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2-카르복시에틸에틸디-i-프로필옥시실란, 2-카르복시에틸에틸디아세톡시실란, 2-카르복시에틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 2-카르복시에틸페닐디메톡시실란, 2-카르복시에틸페닐디에톡시실란, 2-카르복시에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2-카르복시에틸페닐디-i-프로필옥시실란, 2-카르복시에틸페닐디아세톡시실란, 2-카르복시에틸페닐디(메톡시에톡시)실란 등;

히드록실기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 히드록시메틸트리메톡시 실란, 히드록시메틸트리에톡시실란, 히드록시메틸트리-n-프로필옥시실란, 히드록시메틸트리-i-프로필옥시실란, 히드록시메틸트리아세톡시실란, 히드록시메틸트리(메톡시에톡시)실란, 히드록시메틸메틸디메톡시실란, 히드록시메틸메틸디에톡시실란, 히드록시메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 히드록시메틸메틸디-i-프로필옥시실란, 히드록시메틸메틸디아세톡시실란, 히드록시메틸에틸디메톡시실란, 히드록시메틸에틸디에톡시실란, 히드록시메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 히드록시메틸에틸디-i-프로필옥시실란, 히드록시메틸에틸디아세톡시실란, 히드록시메틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 히드록시메틸페닐디메톡시실란, 히드록시메틸페닐디에톡시실란, 히드록시메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 히드록시메틸페닐디-i-프로필옥시실란, 히드록시메틸페닐디아세톡시실란, 히드록시메틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 2-히드록시에틸트리메톡시실란, 2-히드록시에틸트리에톡시실란, 2-히드록시에틸트리-n-프로필옥시실란, 2-히드록시에틸트리-i-프로필옥시실란, 2-히드록시에틸트리아세톡시실란, 2-히드록시에틸트리(메톡시에톡시)실란, 2-히드록시에틸메틸디메톡시실란, 2-히드록시에틸메틸디에톡시실란, 2-히드록시에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2-히드록시에틸메틸디-i-프로필옥시실란, 2-히드록시에틸메틸디아세톡시실란, 2-히드록시에틸에틸디메톡시실란, 2-히드록시에틸에틸디에톡시실란, 2-히드록시에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2-히드록시에틸에틸디-i-프로필옥시실란, 2-히드록시에틸에틸디아세톡시실란, 2-히드록시에틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 2-히드록시에틸페닐디메톡시실란, 2-히드록시에틸페닐디에톡시실란, 2-히드록시에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2-히드록시에틸페닐디-i-프로필옥시실란, 2-히드록시에틸페닐디아세톡시실란, 2-히드록시 에틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 3-히드록시프로필트리메톡시실란, 3-히드록시프로필트리에톡시실란, 3-히드록시프로필트리-n-프로필옥시실란, 3-히드록시프로필트리-i-프로필옥시실란, 3-히드록시프로필트리아세톡시실란, 3-히드록시프로필트리(메톡시에톡시)실란, 3-히드록시프로필메틸디메톡시실란, 3-히드록시프로필메틸디에톡시실란, 3-히드록시프로필메틸디-n-프로필옥시실란, 3-히드록시프로필메틸디-i-프로필옥시실란, 3-히드록시프로필메틸디아세톡시실란, 3-히드록시프로필에틸디메톡시실란, 3-히드록시프로필에틸디에톡시실란, 3-히드록시프로필에틸디-n-프로필옥시실란, 3-히드록시프로필에틸디-i-프로필옥시실란, 3-히드록시프로필에틸디아세톡시실란, 3-히드록시프로필에틸디(메톡시에톡시)실란, 3-히드록시프로필페닐디메톡시실란, 3-히드록시프로필페닐디에톡시실란, 3-히드록시프로필페닐디-n-프로필옥시실란, 3-히드록시프로필페닐디-i-프로필옥시실란, 3-히드록시프로필페닐디아세톡시실란, 3-히드록시프로필페닐디(메톡시에톡시)실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질트리메톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질트리에톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질트리-n-프로필옥시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질트리-i-프로필옥시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질트리아세톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질트리(메톡시에톡시)실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질메틸디메톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질메틸디에톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질메틸디-n-프로필옥시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질메틸디-i-프로필옥시실란, 4-히드록 시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질메틸디아세톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질에틸디메톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질에틸디에톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질에틸디-n-프로필옥시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질에틸디-i-프로필옥시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질에틸디아세톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질에틸디(메톡시에톡시)실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질페닐디메톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질페닐디에톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질페닐디-n-프로필옥시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질페닐디-i-프로필옥시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질페닐디아세톡시실란, 4-히드록시-(p-히드록시페닐카르보닐옥시)벤질페닐디(메톡시에톡시)실란 등;

머캅토기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 머캅토메틸트리메톡시실란, 머캅토메틸트리에톡시실란, 머캅토메틸트리-n-프로필옥시실란, 머캅토메틸트리-i-프로필옥시실란, 머캅토메틸트리아세톡시실란, 머캅토메틸트리(메톡시에톡시)실란, 머캅토메틸메틸디메톡시실란, 머캅토메틸메틸디에톡시실란, 머캅토메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 머캅토메틸메틸디-i-프로필옥시실란, 머캅토메틸메틸디아세톡시실란, 머캅토메틸에틸디메톡시실란, 머캅토메틸에틸디에톡시실란, 머캅토메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 머캅토메틸에틸디-i-프로필옥시실란, 머캅토메틸에틸디아세톡시실란, 머캅토메틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 머캅토메틸페닐디메톡시실란, 머캅토메틸페닐디에톡시실란, 머캅토메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 머캅토메틸페닐디 -i-프로필옥시실란, 머캅토메틸페닐디아세톡시실란, 머캅토메틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 2-머캅토에틸트리메톡시실란, 2-머캅토에틸트리에톡시실란, 2-머캅토에틸트리-n-프로필옥시실란, 2-머캅토에틸트리-i-프로필옥시실란, 2-머캅토에틸트리아세톡시실란, 2-머캅토에틸트리(메톡시에톡시)실란, 2-머캅토에틸메틸디메톡시실란, 2-머캅토에틸메틸디에톡시실란, 2-머캅토에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2-머캅토에틸메틸디-i-프로필옥시실란, 2-머캅토에틸메틸디아세톡시실란, 2-머캅토에틸에틸디메톡시실란, 2-머캅토에틸에틸디에톡시실란, 2-머캅토에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2-머캅토에틸에틸디-i-프로필옥시실란, 2-머캅토에틸에틸디아세톡시실란, 2-머캅토에틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 2-머캅토에틸페닐디메톡시실란, 2-머캅토에틸페닐디에톡시실란, 2-머캅토에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2-머캅토에틸페닐디-i-프로필옥시실란, 2-머캅토에틸페닐디아세톡시실란, 2-머캅토에틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리에톡시실란, 3-머캅토프로필트리-n-프로필옥시실란, 3-머캅토프로필트리-i-프로필옥시실란, 3-머캅토프로필트리아세톡시실란, 3-머캅토프로필트리(메톡시에톡시)실란, 3-머캅토프로필메틸디메톡시실란, 3-머캅토프로필메틸디에톡시실란, 3-머캅토프로필메틸디-n-프로필옥시실란, 3-머캅토프로필메틸디-i-프로필옥시실란, 3-머캅토프로필메틸디아세톡시실란, 3-머캅토프로필에틸디메톡시실란, 3-머캅토프로필에틸디에톡시실란, 3-머캅토프로필에틸디-n-프로필옥시실란, 3-머캅토프로필에틸디-i-프로필옥시실란, 3-머캅토프로필에틸디아세톡시실란, 3-머캅토프로필에틸디(메톡시에톡시)실란, 3-머캅토프로필페닐디메톡시실란, 3-머캅토프로필페닐디에톡시실란, 3-머캅토프로필페닐 디-n-프로필옥시실란, 3-머캅토프로필페닐디-i-프로필옥시실란, 3-머캅토프로필페닐디아세톡시실란, 3-머캅토프로필페닐디(메톡시에톡시)실란 등;

이소시아네이트기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 이소시아네이토메틸트리메톡시실란, 이소시아네이토메틸트리에톡시실란, 이소시아네이토메틸트리-n-프로필옥시실란, 이소시아네이토메틸트리-i-프로필옥시실란, 이소시아네이토메틸트리아세톡시실란, 이소시아네이토메틸트리(메톡시에톡시)실란, 이소시아네이토메틸메틸디메톡시실란, 이소시아네이토메틸메틸디에톡시실란, 이소시아네이토메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 이소시아네이토메틸메틸디-i-프로필옥시실란, 이소시아네이토메틸메틸디아세톡시실란, 이소시아네이토메틸에틸디메톡시실란, 이소시아네이토메틸에틸디에톡시실란, 이소시아네이토메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 이소시아네이토메틸에틸디-i-프로필옥시실란, 이소시아네이토메틸에틸디아세톡시실란, 이소시아네이토메틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 이소시아네이토메틸페닐디메톡시실란, 이소시아네이토메틸페닐디에톡시실란, 이소시아네이토메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 이소시아네이토메틸페닐디-i-프로필옥시실란, 이소시아네이토메틸페닐디아세톡시실란, 이소시아네이토메틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 2-이소시아네이토에틸트리메톡시실란, 2-이소시아네이토에틸트리에톡시실란, 2-이소시아네이토에틸트리-n-프로필옥시실란, 2-이소시아네이토에틸트리-i-프로필옥시실란, 2-이소시아네이토에틸트리아세톡시실란, 2-이소시아네이토에틸트리(메톡시에톡시)실란, 2-이소시아네이토에틸메틸디메톡시실란, 2-이소시아네이토에틸메틸디에톡시실란, 2-이소시아네이토에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2-이소시아네이토에틸메틸디-i-프로필옥시실란, 2-이 소시아네이토에틸메틸디아세톡시실란, 2-이소시아네이토에틸에틸디메톡시실란, 2-이소시아네이토에틸에틸디에톡시실란, 2-이소시아네이토에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2-이소시아네이토에틸에틸디-i-프로필옥시실란, 2-이소시아네이토에틸에틸디아세톡시실란, 2-이소시아네이토에틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 2-이소시아네이토에틸페닐디메톡시실란, 2-이소시아네이토에틸페닐디에톡시실란, 2-이소시아네이토에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2-이소시아네이토에틸페닐디-i-프로필옥시실란, 2-이소시아네이토에틸페닐디아세톡시실란, 2-이소시아네이토에틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 3-이소시아네이토프로필트리메톡시실란, 3-이소시아네이토프로필트리에톡시실란, 3-이소시아네이토프로필트리-n-프로필옥시실란, 3-이소시아네이토프로필트리-i-프로필옥시실란, 3-이소시아네이토프로필트리아세톡시실란, 3-이소시아네이토프로필트리(메톡시에톡시)실란, 3-이소시아네이토프로필메틸디메톡시실란, 3-이소시아네이토프로필메틸디에톡시실란, 3-이소시아네이토프로필메틸디-n-프로필옥시실란, 3-이소시아네이토프로필메틸디-i-프로필옥시실란, 3-이소시아네이토프로필메틸디아세톡시실란, 3-이소시아네이토프로필에틸디메톡시실란, 3-이소시아네이토프로필에틸디에톡시실란, 3-이소시아네이토프로필에틸디-n-프로필옥시실란, 3-이소시아네이토프로필에틸디-i-프로필옥시실란, 3-이소시아네이토프로필에틸디아세톡시실란, 3-이소시아네이토프로필에틸디(메톡시에톡시)실란, 3-이소시아네이토프로필페닐디메톡시실란, 3-이소시아네이토프로필페닐디에톡시실란, 3-이소시아네이토프로필페닐디-n-프로필옥시실란, 3-이소시아네이토프로필페닐디-i-프로필옥시실란, 3-이소시아네이토프로필페닐디아세톡시실란, 3-이소시아네이토프로필페닐디(메톡시에 톡시)실란 등;

아미노기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 아미노메틸트리메톡시실란, 아미노메틸트리에톡시실란, 아미노메틸트리-n-프로필옥시실란, 아미노메틸트리-i-프로필옥시실란, 아미노메틸트리아세톡시실란, 아미노메틸트리(메톡시에톡시)실란, 아미노메틸메틸디메톡시실란, 아미노메틸메틸디에톡시실란, 아미노메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 아미노메틸메틸디-i-프로필옥시실란, 아미노메틸메틸디아세톡시실란, 아미노메틸에틸디메톡시실란, 아미노메틸에틸디에톡시실란, 아미노메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 아미노메틸에틸디-i-프로필옥시실란, 아미노메틸에틸디아세톡시실란, 아미노메틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 아미노메틸페닐디메톡시실란, 아미노메틸페닐디에톡시실란, 아미노메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 아미노메틸페닐디-i-프로필옥시실란, 아미노메틸페닐디아세톡시실란, 아미노메틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 2-아미노에틸트리메톡시실란, 2-아미노에틸트리에톡시실란, 2-아미노에틸트리-n-프로필옥시실란, 2-아미노에틸트리-i-프로필옥시실란, 2-아미노에틸트리아세톡시실란, 2-아미노에틸트리(메톡시에톡시)실란, 2-아미노에틸메틸디메톡시실란, 2-아미노에틸메틸디에톡시실란, 2-아미노에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2-아미노에틸메틸디-i-프로필옥시실란, 2-아미노에틸메틸디아세톡시실란, 2-아미노에틸에틸디메톡시실란, 2-아미노에틸에틸디에톡시실란, 2-아미노에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2-아미노에틸에틸디-i-프로필옥시실란, 2-아미노에틸에틸디아세톡시실란, 2-아미노에틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 2-아미노에틸페닐디메톡시실란, 2-아미노에틸페닐디에톡시실란, 2-아미노에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2-아미노에틸페닐디-i- 프로필옥시실란, 2-아미노에틸페닐디아세톡시실란, 2-아미노에틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-아미노프로필트리-n-프로필옥시실란, 3-아미노프로필트리-i-프로필옥시실란, 3-아미노프로필트리아세톡시실란, 3-아미노프로필트리(메톡시에톡시)실란, 3-아미노프로필메틸디메톡시실란, 3-아미노프로필메틸디에톡시실란, 3-아미노프로필메틸디-n-프로필옥시실란, 3-아미노프로필메틸디-i-프로필옥시실란, 3-아미노프로필메틸디아세톡시실란, 3-아미노프로필에틸디메톡시실란, 3-아미노프로필에틸디에톡시실란, 3-아미노프로필에틸디-n-프로필옥시실란, 3-아미노프로필에틸디-i-프로필옥시실란, 3-아미노프로필에틸디아세톡시실란, 3-아미노프로필에틸디(메톡시에톡시)실란, 3-아미노프로필페닐디메톡시실란, 3-아미노프로필페닐디에톡시실란, 3-아미노프로필페닐디-n-프로필옥시실란, 3-아미노프로필페닐디-i-프로필옥시실란, 3-아미노프로필페닐디아세톡시실란, 3-아미노프로필페닐디(메톡시에톡시)실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리에톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리-n-프로필옥시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리-i-프로필옥시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리아세톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리(메톡시에톡시)실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디에톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디-n-프로필옥시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디-i-프로필옥시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디아세톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필에틸디메톡시실란, N-2-(아미노에틸)- 3-아미노프로필에틸디에톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필에틸디-n-프로필옥시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필에틸디-i-프로필옥시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필에틸디아세톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필에틸디(메톡시에톡시)실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필페닐디메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필페닐디에톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필페닐디-n-프로필옥시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필페닐디-i-프로필옥시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필페닐디아세톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필페닐디(메톡시에톡시)실란, 아미노메틸트리메톡시실란, 아미노메틸트리에톡시실란, 아미노메틸트리-n-프로필옥시실란, 아미노메틸트리-i-프로필옥시실란, 아미노메틸트리아세톡시실란, 아미노메틸트리(메톡시에톡시)실란, 아미노메틸메틸디메톡시실란, 아미노메틸메틸디에톡시실란, 아미노메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 아미노메틸메틸디-i-프로필옥시실란, 아미노메틸메틸디아세톡시실란, 아미노메틸에틸디메톡시실란, 아미노메틸에틸디에톡시실란, 아미노메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 아미노메틸에틸디-i-프로필옥시실란, 아미노메틸에틸디아세톡시실란, 아미노메틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 아미노메틸페닐디메톡시실란, 아미노메틸페닐디에톡시실란, 아미노메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 아미노메틸페닐디-i-프로필옥시실란, 아미노메틸페닐디아세톡시실란, 아미노메틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 2-아미노에틸트리메톡시실란, 2-아미노에틸트리에톡시실란, 2-아미노에틸트리-n-프로필옥시실란, 2-아미노에틸트리-i-프로필옥시실란, 2-아미노에틸트리아세톡시실란, 2-아미노에틸트리(메톡시에톡시)실란, 2-아미노에틸메틸디메톡시실란, 2-아미노에틸메틸디 에톡시실란, 2-아미노에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2-아미노에틸메틸디-i-프로필옥시실란, 2-아미노에틸메틸디아세톡시실란, 2-아미노에틸에틸디메톡시실란, 2-아미노에틸에틸디에톡시실란, 2-아미노에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2-아미노에틸에틸디-i-프로필옥시실란, 2-아미노에틸에틸디아세톡시실란, 2-아미노에틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 2-아미노에틸페닐디메톡시실란, 2-아미노에틸페닐디에톡시실란, 2-아미노에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2-아미노에틸페닐디-i-프로필옥시실란, 2-아미노에틸페닐디아세톡시실란, 2-아미노에틸페닐디(메톡시에톡시)실란, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필트리에톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필트리-n-프로필옥시실란, N-페닐-3-아미노프로필트리-i-프로필옥시실란, N-페닐-3-아미노프로필트리아세톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필트리(메톡시에톡시)실란, N-페닐-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필메틸디에톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필메틸디-n-프로필옥시실란, N-페닐-3-아미노프로필메틸디-i-프로필옥시실란, N-페닐-3-아미노프로필메틸디아세톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필에틸디메톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필에틸디에톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필에틸디-n-프로필옥시실란, N-페닐-3-아미노프로필에틸디-i-프로필옥시실란, N-페닐-3-아미노프로필에틸디아세톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필에틸디(메톡시에톡시)실란, N-페닐-3-아미노프로필페닐디메톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필페닐디에톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필페닐디-n-프로필옥시실란, N-페닐-3-아미노프로필페닐디-i-프로필옥시실란, N-페닐-3-아미노프로필페닐디아세톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필페닐디(메톡시에톡시)실란, 3-트리메톡시실릴-N-(1,3-디메틸- 부틸리덴)프로필아민, 3-트리에톡시실릴-N-(1,3-디메틸-부틸리덴)프로필아민, 3-트리-n-프로필옥시실릴-N-(1,3-디메틸-부틸리덴)프로필아민 등;

우레이도기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 이소시아네이토메틸트리메톡시실란, 우레이도메틸트리에톡시실란, 우레이도메틸트리-n-프로필옥시실란, 우레이도메틸트리-i-프로필옥시실란, 우레이도메틸트리아세톡시실란, 우레이도메틸트리(메톡시에톡시)실란, 우레이도메틸메틸디메톡시실란, 우레이도메틸메틸디에톡시실란, 우레이도메틸메틸디-n-프로필옥시실란, 우레이도메틸메틸디-i-프로필옥시실란, 우레이도메틸메틸디아세톡시실란, 우레이도메틸에틸디메톡시실란, 우레이도메틸에틸디에톡시실란, 우레이도메틸에틸디-n-프로필옥시실란, 우레이도메틸에틸디-i-프로필옥시실란, 우레이도메틸에틸디아세톡시실란, 우레이도메틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 우레이도메틸페닐디메톡시실란, 우레이도메틸페닐디에톡시실란, 우레이도메틸페닐디-n-프로필옥시실란, 우레이도메틸페닐디-i-프로필옥시실란, 우레이도메틸페닐디아세톡시실란, 우레이도메틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 2-우레이도에틸트리메톡시실란, 2-우레이도에틸트리에톡시실란, 2-우레이도에틸트리-n-프로필옥시실란, 2-우레이도에틸트리-i-프로필옥시실란, 2-우레이도에틸트리아세톡시실란, 2-우레이도에틸트리(메톡시에톡시)실란, 2-우레이도에틸메틸디메톡시실란, 2-우레이도에틸메틸디에톡시실란, 2-우레이도에틸메틸디-n-프로필옥시실란, 2-우레이도에틸메틸디-i-프로필옥시실란, 2-우레이도에틸메틸디아세톡시실란, 2-우레이도에틸에틸디메톡시실란, 2-우레이도에틸에틸디에톡시실란, 2-우레이도에틸에틸디-n-프로필옥시실란, 2-우레이도에틸에틸디-i-프로필옥시실란, 2-우레이도에틸에틸디아세톡시실 란, 2-우레이도에틸에틸디(메톡시에톡시)실란, 2-우레이도에틸페닐디메톡시실란, 2-우레이도에틸페닐디에톡시실란, 2-우레이도에틸페닐디-n-프로필옥시실란, 2-우레이도에틸페닐디-i-프로필옥시실란, 2-우레이도에틸페닐디아세톡시실란, 2-우레이도에틸페닐디(메톡시에톡시)실란, 3-우레이도프로필트리메톡시실란, 3-우레이도프로필트리에톡시실란, 3-우레이도프로필트리-n-프로필옥시실란, 3-우레이도프로필트리-i-프로필옥시실란, 3-우레이도프로필트리아세톡시실란, 3-우레이도프로필트리(메톡시에톡시)실란, 3-우레이도프로필메틸디메톡시실란, 3-우레이도프로필메틸디에톡시실란, 3-우레이도프로필메틸디-n-프로필옥시실란, 3-우레이도프로필메틸디-i-프로필옥시실란, 3-우레이도프로필메틸디아세톡시실란, 3-우레이도프로필에틸디메톡시실란, 3-우레이도프로필에틸디에톡시실란, 3-우레이도프로필에틸디-n-프로필옥시실란, 3-우레이도프로필에틸디-i-프로필옥시실란, 3-우레이도프로필에틸디아세톡시실란, 3-우레이도프로필에틸디(메톡시에톡시)실란, 3-우레이도프로필페닐디메톡시실란, 3-우레이도프로필페닐디에톡시실란, 3-우레이도프로필페닐디-n-프로필옥시실란, 3-우레이도프로필페닐디-i-프로필옥시실란, 3-우레이도프로필페닐디아세톡시실란, 3-우레이도프로필페닐디(메톡시에톡시)실란 등;

스티릴기를 함유하는 화합물 (1)의 구체예로서는, 스티릴트리메톡시실란, 스티릴트리에톡시실란, 스티릴트리-n-프로필옥시실란, 스티릴트리-i-프로필옥시실란, 스티릴트리아세톡시실란, 스티릴트리(메톡시에톡시)실란, 스티릴메틸디메톡시실란, 스티릴메틸디에톡시실란, 스티릴메틸디-n-프로필옥시실란, 스티릴메틸디-i-프로필옥시실란, 스티릴메틸디아세톡시실란, 스티릴에틸디메톡시실란, 스티릴에틸디에톡 시실란, 스티릴에틸디-n-프로필옥시실란, 스티릴에틸디-i-프로필옥시실란, 스티릴에틸디아세톡시실란, 스티릴에틸디(메톡시에톡시)실란, 스티릴페닐디메톡시실란, 스티릴페닐디에톡시실란, 스티릴페닐디-n-프로필옥시실란, 스티릴페닐디-i-프로필옥시실란, 스티릴페닐디아세톡시실란, 스티릴페닐디(메톡시에톡시)실란 등

을 들 수 있다.

이들 중에서 옥시라닐기, 옥세타닐기, 카르복실기, 머캅토기를 함유하는 화합물 (1)이 바람직하게 사용되며, 특히 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필트리메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필트리에톡시실란, 카르복시메틸트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리에톡시실란이 [A] 성분과의 반응성의 면에서 바람직하다.

또한, 옥시라닐기, 옥세타닐기를 함유하는 화합물 (1)은 ITO 패터닝 특성의 면에서 바람직하게 사용되며, 특히 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디에톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필트리메톡시실란, (3-에틸옥세탄-3-일)프로필트리에톡시실란이 바람직하다.

화합물 (2)의 구체예로서는, 테트라메톡시실란, 테트라에톡시실란(통칭 TEOS), 테트라-n-프로필옥시실란, 테트라이소프로필옥시실란, 테트라-n-부톡시실란 과 같은 테트라알콕시실란; 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 메틸트리-n-프로필옥시실란, 에틸트리에톡시실란, 시클로헥실트리에톡시실란과 같은 모노알킬트리알콕시실란; 페닐트리에톡시실란, 나프틸트리에톡시실란, 4-클로로페닐트리에톡시실란, 4-시아노페닐트리에톡시실란, 4-아미노페닐트리에톡시실란, 4-니트로페닐트리에톡시실란, 4-메틸페닐트리에톡시실란, 4-히드록시페닐트리에톡시실란과 같은 모노아릴트리알콕시실란; 페녹시트리에톡시실란, 나프틸옥시트리에톡시실란, 4-클로로페닐옥시트리에톡시실란, 4-시아노페닐트리옥시에톡시실란, 4-아미노페닐옥시트리에톡시실란, 4-니트로페닐옥시트리에톡시실란, 4-메틸페닐옥시트리에톡시실란, 4-히드록시페닐옥시트리에톡시실란과 같은 모노아릴옥시트리알콕시실란; 모노히드록시트리메톡시실란, 모노히드록시트리에톡시실란, 모노히드록시트리-n-프로필옥시실란과 같은 모노히드록시트리알콕시실란; 디메틸디메톡시실란, 디메틸디에톡시실란, 디메틸디-n-프로필옥시실란, 메틸(에틸)디에톡시실란, 메틸(시클로헥실)디에톡시실란과 같은 디알킬디알콕시실란; 메틸(페닐)디에톡시실란과 같은 모노알킬모노아릴디알콕시실란; 디페닐디에톡시실란과 같은 디아릴디알콕시실란; 디페녹시디에톡시실란과 같은 디아릴옥시디알콕시실란; 메틸(페녹시)디에톡시실란과 같은 모노알킬모노아릴옥시디알콕시실란; 페닐(페녹시)디에톡시실란과 같은 모노아릴모노아릴옥시디알콕시실란; 디히드록시디메톡시실란, 디히드록시디에톡시실란, 디히드록시디-n-프로필옥시실란과 같은 디히드록시디알콕시실란; 메틸(히드록시)디메톡시실란과 같은 모노알킬모노히드록시디알콕시실란;

페닐(히드록시)디메톡시실란과 같은 모노아릴모노히드록시디알콕시실란; 트 리메틸메톡시실란, 트리메틸에톡시실란, 트리메틸-n-프로필옥시실란, 디메틸(에틸)에톡시실란, 디메틸(시클로헥실)에톡시실란과 같은 트리알킬모노알콕시실란; 디메틸(페닐)에톡시실란과 같은 디알킬모노아릴모노알콕시실란; 메틸(디페닐)에톡시실란과 같은 모노알킬디아릴모노알콕시실란; 트리페녹시에톡시실란과 같은 트리아릴옥시모노알콕시실란; 메틸(디페녹시)에톡시실란과 같은 모노알킬디아릴옥시모노알콕시실란; 페닐(디페녹시)에톡시실란과 같은 모노아릴디아릴옥시모노알콕시실란; 디메틸(페녹시)에톡시실란과 같은 디알킬모노아릴옥시모노알콕시실란; 디페닐(페녹시)에톡시실란과 같은 디아릴모노아릴옥시모노알콕시실란; 메틸(페닐)(페녹시)에톡시실란과 같은 모노알킬모노아릴모노아릴옥시모노알콕시실란; 트리히드록시메톡시실란, 트리히드록시에톡시실란, 트리히드록시-n-프로필옥시실란과 같은 트리히드록시모노알콕시실란을 들 수 있다.

이들 중에서 테트라메톡시실란, 테트라에톡시실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 페닐트리메톡시실란, 페닐트리에톡시실란, 디메틸디메톡시실란, 디메틸디에톡시실란, 디페닐디메톡시실란, 디페닐디에톡시실란이 반응성, 기판에 대한 밀착성의 면에서 바람직하다.

이들 화합물은 임의의 복수개를 임의의 조성으로 병용할 수도 있다.

상기한 화합물을 공가수분해 반응에 첨가함으로써 본 발명에서 사용되는 [B] 성분으로 할 수 있다.

가수분해 반응은 바람직하게는 적당한 용매 중에서 행해진다. 이러한 용매로서는, 예를 들면 메탄올, 에탄올, n-프로판올, 이소프로필 알코올, n-부탄올, 이 소부틸알코올, t-부틸알코올, 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 테트라히드로푸란, 디옥산, 아세토니트릴과 같은 수용성 용제 또는 이들의 수용액을 들 수 있다.

이들 수용성 용제는 이후의 공정에서 제거되기 때문에, 메탄올, 에탄올, n-프로판올, 이소프로필 알코올, 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 테트라히드로푸란 등의 비교적 비점이 낮은 것이 바람직하고, 원료 용해성의 면에서 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 등의 케톤류가 더욱 바람직하고, 가장 바람직한 것은 메틸이소부틸케톤이다.

[B] 성분을 합성하기 위한 가수분해 반응은, 바람직하게는 산 촉매, 예를 들면 염산, 황산, 질산, 포름산, 옥살산, 아세트산, 트리플루오로아세트산, 트리플루오로메탄술폰산, 산성 이온 교환 수지, 각종 루이스 산 등, 또는 염기 촉매, 예를 들면 암모니아, 1급 아민류, 2급 아민류, 3급 아민류, 피리딘 등의 질소 함유 방향족 화합물, 염기성 이온 교환 수지, 수산화나트륨 등의 수산화물, 탄산칼륨 등의 탄산염, 아세트산나트륨 등의 카르복실산염, 각종 루이스 염기 등의 존재하에 행해진다. 물의 사용량, 반응 온도, 반응 시간은 적절하게 설정된다. 예를 들면 하기의 조건을 이용할 수 있다.

물의 사용량은 상기 화학식 1로 표시되는 화합물 및 상기 화학식 2로 표시되는 화합물 중의 알콕실기와 할로겐 원자의 합계량 1 몰에 대하여 바람직하게는 1.5 몰 이하, 보다 바람직하게는 1 몰 이하, 더욱 바람직하게는 0.9 몰 이하의 양이다.

반응 온도는 바람직하게는 40 내지 200 ℃, 보다 바람직하게는 50 내지 150 ℃이다.

반응 시간은 바람직하게는 30분 내지 24 시간, 보다 바람직하게는 1 내지 12 시간이다.

[B] 성분의 겔 투과 크로마토그래피(GPC)에 의한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량(이하, "Mw"라고 하는 경우가 있음)은 바람직하게는 500 내지 10,000, 보다 바람직하게는 1,000 내지 3,000이다. Mw가 500 미만이면 충분한 밀착성이나 스페이서 형성시에 발생하는 오염물의 억제 효과를 발현하는 것이 어렵고, 한편 10,000을 초과하면 도포성이 악화될 우려가 있다.

또한, [B] 성분의 시판품으로서는, 예를 들면 BY16-848, BY16-201, BY16-853C, BY16-208, BY16-209, BY16-850, SF8417, BY16-849, BY16-872, BY16-855D, SF8411, SF8413, SF8421, BY16-839, BY16-750, SF8418(이상, 도레이ㆍ다우코닝ㆍ실리콘(주) 제조), TSF4700, TSF4701, TSF4702, TSF4703, TSF4704, TSF4705, TSF4706, TSF4707, TSF4708, TSF4709, TSF4730, TSL9906, YF3965, XF42-B0970(이상, 모멘티브ㆍ퍼포먼스ㆍ머티리얼스 제조), X-41-1053, X-41-1056, X-41-1805, X-41-1810, X-40-2651, X-40-2655A, X-40-9721(이상, 신에쯔 가가꾸(주) 제조), FM-0711, FM-0721, FM-0725(이상, 칫소(주) 제조) 등을 들 수 있다.

〔C〕 경화제

상기 산 무수물 〔C〕는 형성하는 보호막의 내열성 및 경도를 향상시키기 위해 첨가할 수 있다. 산 무수물 〔C〕로서는 (c-1) 산 무수물기를 갖는 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 반복 단위를 함유하는 중합체(단, 공중합체 〔A〕를 제 외함), 또는 (c-2) 다가 카르복실산 무수물을 들 수 있다.

상기 (c-1) 산 무수물기를 갖는 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 반복 단위를 함유하는 중합체를 합성하기 위해 사용되는 불포화 다가 카르복실산 무수물로서는, 예를 들면 이타콘산 무수물, 시트라콘산 무수물, 말레산 무수물 및 시스 1,2,3,4-테트라히드로프탈산 무수물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상을 들 수 있다.

또한, 상기 무수물기를 갖는 중합성 불포화 화합물과 올레핀성 불포화 화합물의 공중합체를 합성하기 위해 사용되는 올레핀성 불포화 화합물로서는, 예를 들면 스티렌, p-메틸스티렌, p-메톡시스티렌, 메틸메타크릴레이트, t-부틸메타크릴레이트, 메타크릴산트리시클로[5.2.1.0^2,6]데칸-8-일, 2-메틸시클로헥실아크릴레이트, 페닐말레이미드 및 시클로헥실로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상을 들 수 있다.

산 무수물기를 갖는 중합성 불포화 화합물과 올레핀성 불포화 화합물의 공중합체 100 중량부 중의 산 무수물기를 갖는 중합성 불포화 화합물의 공중합 비율은, 바람직하게는 1 내지 80 중량부, 보다 바람직하게는 10 내지 60 중량부이다. 이러한 공중합체를 사용함으로써, 평탄화성이 우수한 보호막을 얻을 수 있다.

산 무수물기를 갖는 중합성 불포화 화합물과 올레핀성 불포화 화합물의 공중합체의 바람직한 예로서는, 말레산 무수물 공중합체/스티렌, 시트라콘산 무수물/메타크릴산트리시클로[5.2.1.0^2,6]데칸-8-일공중합체 등을 들 수 있다.

또한, 상기 산 무수물기를 갖는 중합성 불포화 화합물과 올레핀성 불포화 화합물의 공중합체의 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량은, 바람직하게는 500 내지 50,000, 보다 바람직하게는 500 내지 10,000이다. 이러한 분자량 범위의 공중합체를 사용함으로써, 평탄화성이 우수한 보호막을 얻을 수 있다.

상기 다가 카르복실산 무수물 (c-2)로서는, 예를 들면 이타콘산 무수물, 숙신산 무수물, 시트라콘산 무수물, 도데세닐숙신산 무수물, 트리카르바닐산, 말레산 무수물, 헥사히드로프탈산 무수물, 메틸테트라히드로프탈산 무수물, 하이믹산 무수물(himic anhydride)과 같은 지방족 디카르복실산 무수물; 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물, 시클로펜탄테트라카르복실산 이무수물과 같은 지환족 다가 카르복실산 이무수물; 프탈산 무수물, 피로멜리트산 무수물, 트리멜리트산 무수물, 벤조페논테트라카르복실산 무수물과 같은 방향족 다가 카르복실산 무수물; 에틸렌글리콜비스 트리멜리트산 무수물, 글리세린트리스 트리멜리트산 무수물 등의 에스테르기 함유 산 무수물을 들 수 있다. 이들 중에서 방향족 다가 카르복실산 무수물, 특히 트리멜리트산 무수물은 내열성이 높은 경화막이 얻어진다는 점에서 바람직하다.

〔D〕 다관능성 화합물

본 발명에 사용되는 〔D〕 다관능성 화합물로서 양이온 중합성 화합물 및/또는 다관능 (메트)아크릴 화합물이 사용된다. 양이온 중합성 화합물은 분자 내에 2개 이상의 옥시라닐기 또는 옥세타닐기를 갖는 화합물(단, 상술한 공중합체 〔A-1〕을 제외함)이다. 상기 분자 내에 2개 이상의 옥시라닐기 또는 옥세타닐기를 갖 는 화합물로서는, 예를 들면 분자 내에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 화합물 또는3,4-에폭시시클로헥실기를 갖는 화합물을 들 수 있다.

상기 분자 내에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 화합물로서는, 예를 들면 비스페놀 A 디글리시딜에테르, 비스페놀 F 디글리시딜에테르, 비스페놀 S 디글리시딜에테르, 수소 첨가 비스페놀 A 디글리시딜에테르, 수소 첨가 비스페놀 F 디글리시딜에테르, 수소 첨가 비스페놀 AD 디글리시딜에테르, 브롬화비스페놀 A 디글리시딜에테르, 브롬화비스페놀 F 디글리시딜에테르, 브롬화비스페놀 S 디글리시딜에테르 등의 비스페놀 화합물의 디글리시딜에테르류;

1,4-부탄디올디글리시딜에테르, 1,6-헥산디올디글리시딜에테르, 글리세린트리글리시딜에테르, 트리메틸올프로판트리글리시딜에테르, 폴리에틸렌글리콜디글리시딜에테르, 폴리프로필렌글리콜디글리시딜에테르 등의 다가 알코올의 폴리글리시딜에테르류;

에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 글리세린 등의 지방족 다가 알코올에 1종 또는 2종 이상의 알킬렌옥시드를 부가함으로써 얻어지는 폴리에테르폴리올의 폴리글리시딜에테르류;

페놀노볼락형 에폭시 수지;

크레졸노볼락형 에폭시 수지;

폴리페놀형 에폭시 수지;

지방족 장쇄 이염기산의 디글리시딜에스테르류;

고급 지방산의 글리시딜에스테르류;

에폭시화 대두유, 에폭시화 아마인유 등을 들 수 있다.

상기 분자 내에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 화합물의 시판품으로서는, 예를 들면 비스페놀 A형 에폭시 수지로서 에피코트 1001, 동 1002, 동 1003, 동 1004, 동 1007, 동 1009, 동 1010, 동 828(이상, 재팬 에폭시 레진(주) 제조) 등;

비스페놀 F형 에폭시 수지로서, 에피코트 807(재팬 에폭시 레진(주) 제조) 등;

페놀노볼락형 에폭시 수지로서, 에피코트 152, 동 154, 동 157S65(이상, 재팬 에폭시 레진(주) 제조), EPPN201, 동 202(이상, 닛본 가야꾸(주) 제조) 등;

크레졸노볼락형 에폭시 수지로서, EOCN102, 동 103S, 동 104S, 1020, 1025, 1027(이상, 닛본 가야꾸(주) 제조), 에피코트 180S75(재팬 에폭시 레진(주) 제조) 등;

폴리페놀형 에폭시 수지로서, 에피코트 1032H60, 동 XY-4000(이상, 재팬 에폭시 레진(주) 제조) 등;

환상 지방족 에폭시 수지로서, CY-175, 동 177, 동 179, 아랄다이트 CY-182, 동 192, 184(이상, 시바ㆍ스페셜티ㆍ케미컬즈(주) 제조), ERL-4234, 4299, 4221, 4206(이상, U.C.C사 제조), 쇼다인 509(쇼와 덴꼬(주) 제조), 에피클론 200, 동 400(이상, 다이닛본 잉크(주) 제조), 에피코트 871, 동 872(이상, 재팬 에폭시 레진(주) 제조), ED-5661, 동 5662(이상, 셀라니즈 코팅사 제조) 등;

지방족 폴리글리시딜에테르로서 에폴라이트 100MF(교에샤 가가꾸(주) 제조), 에피올 TMP(닛본 유시(주) 제조) 등을 들 수 있다.

상기 분자 내에 2개 이상의 3,4-에폭시시클로헥실기를 갖는 화합물로서는, 예를 들면 3,4-에폭시시클로헥실메틸-3',4'-에폭시시클로헥산카르복실레이트, 2-(3,4-에폭시시클로헥실-5,5-스피로-3,4-에폭시)시클로헥산-메타-디옥산, 비스(3,4-에폭시시클로헥실메틸)아디페이트, 비스(3,4-에폭시-6-메틸시클로헥실메틸)아디페이트, 3,4-에폭시-6-메틸시클로헥실-3',4'-에폭시-6'-메틸시클로헥산카르복실레이트, 메틸렌비스(3,4-에폭시시클로헥산), 디시클로펜타디엔디에폭시드, 에틸렌글리콜의 디(3,4-에폭시시클로헥실메틸)에테르, 에틸렌비스(3,4-에폭시시클로헥산카르복실레이트), 락톤 변성 3,4-에폭시시클로헥실메틸-3',4'-에폭시시클로헥산카르복실레이트 등을 들 수 있다.

이러한 양이온 중합성 화합물 중 페놀노볼락형 에폭시 수지 및 폴리페놀형 에폭시 수지가 바람직하다.

한편, 다관능성 (메트)아크릴레이트 화합물로서는, 예를 들면,

에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 1,9-노난디올(메트)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 비스페녹시에탄올플루오렌디아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 트리((메트)아크릴로일옥시에틸)포스페이트, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 트리아크릴로일옥시펜타에리트리톨숙신산{별칭: 3-아크릴로일옥시-2,2-비스아크릴로일옥시메틸-프로필)에스테르}, 디아크릴로일옥시펜타에리트리톨숙신 산{별칭: 3-아크릴로일옥시-2-아크릴로일옥시메틸-프로필)에스테르}, 펜타아크릴로일옥시디펜타에리트리톨숙신산{별칭: [3-(3-아크릴로일옥시-2,2-비스-아크릴로일옥시메틸-프로필)-2,2-비스-아크릴로일옥시메틸-프로필]에스테르}, 테트라아크릴로일옥시디펜타에리트리톨숙신산{별칭: [3-(3-아크릴로일옥시-2,2-비스-아크릴로일옥시메틸-프로필)-2-아크릴로일옥시메틸-프로필]에스테르} 등을 들 수 있다. 그의 시판품으로서는, 예를 들면 아로닉스 M-210, 동 M-240, 동 M-6200, 동 M-309, 동 M-400, 동 M-402, 동 M-405, 동 M-450, 동 M-7100, 동 M-8030, 동 M-8060(도아 고세이 고교(주) 제조), KAYARAD HDDA, 동 HX-220, 동 R-604, 동 TMPTA, 동 DPHA, 동 DPCA-20, 동 DPCA-30, 동 DPCA-60, 동 DPCA-120(닛본 가야꾸(주) 제조), 비스코트 260, 동 312, 동 335HP, 동 295, 동 300, 동 360, 동 GPT, 동 3PA, 동 400(오오사까 유끼 고교(주) 제조) 등을 들 수 있다.

이들은 단독으로 또는 조합하여 사용된다.

〔E〕 경화 촉진제

〔E〕 경화 촉진제는 형성한 보호막의 내열성이나 경도를 향상시키기 위해 〔C〕 경화제와 병용하여 첨가할 수 있다.

경화 촉진제 〔D〕의 구체예로서는,

2-페닐이미다졸, 2-페닐-4-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸, 2,4-디아미노-6-〔2'-메틸이미다졸릴-(1')〕-에틸-S-트리아진, 2,4-디아미노-6-〔2'-운데실이미다졸릴-(1')〕-에틸-S-트리아진, 2,4-디아미노-6-〔2'-에틸-4'-메틸이미다졸릴운데실이미다졸릴-(1')〕-에틸-S-트리아진, 2-페닐-4,5-디히드록시메틸이미다졸, 2-페닐-4-메틸-5-히드록시메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸이소시아누르산 부가물, 2,4-디아미노-6-〔2'-메틸이미다졸릴-(1')〕-에틸-S-트리아진이소시아누르산 부가물 등을 들 수 있다.

경화 촉진제 〔D〕의 첨가량은 공중합체 〔A〕 100 중량부에 대하여 0.0001 내지 10 중량부가 바람직하다. 내열성이나 보존 안정성의 관점에서 0.001 내지 1 중량부가 더욱 바람직하다.

〔F〕 계면활성제

계면활성제는 본 발명의 수지 조성물의 도포 성능을 향상시키기 위해 첨가할 수 있다.

이러한 계면활성제로서는, 예를 들면 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제, 비이온계 계면활성제, 기타 계면활성제를 들 수 있다.

상기 불소계 계면활성제로서는, 예를 들면 BM CHIMIE사 제조 상품명: BM-1000, BM-1100, 다이닛본 잉크 가가꾸 고교(주) 제조 상품명: 메가팩 F142D, 동 F172, 동 F173, 동 F183, 스미또모 쓰리엠(주) 제조 상품명: 플루오라드 FC-135, 동 FC-170C, 동 FC-430, 동 FC-431, (주)네오스 제조 상품명: 프타젠트 250, 동 251, 동 222F, FTX-218, 아사히 글래스(주) 제조 상품명: 서플론 S-112, 동 S-113, 동 S-131, 동 S-141, 동 S-145, 동 S-382, 동 SC-101, 동 SC-102, 동 SC-103, 동 SC-104, 동 SC-105, 동 SC-106 등의 시판품을 들 수 있다.

상기 실리콘계 계면활성제로서는, 예를 들면 도레이ㆍ다우코닝ㆍ실리콘(주) 제조 상품명: SH-28PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190, PAINTAD19, FZ-2101, 동 77, 동 2118, L-7001, L-7002, 빅케미ㆍ재팬(주) 제조, Byk-300, 동 306, 동 310, 동 335, 동 341, 동 344, 동 370, 신에쯔 가가꾸 고교(주) 제조 상품명: KP341, 신아키타 가세이(주) 제조 상품명: 에프톱 EF301, 동 EF303, 동 EF352 등의 시판품을 들 수 있다.

상기 비이온계 계면활성제로서는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌아릴에테르, 폴리옥시에틸렌디알킬에스테르 등을 들 수 있다.

상기 폴리옥시에틸렌알킬에테르로서는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르 등을 들 수 있다. 폴리옥시에틸렌아릴에테르로서는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르를 들 수 있다. 폴리옥시에틸렌디알킬에스테르로서는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌디라우레이트, 폴리옥시에틸렌디스테아레이트 등을 들 수 있다.

상기 기타 계면활성제로서, 교에샤 가가꾸(주) 제조 상품명: (메트)아크릴산계 공중합체 폴리플로우 No.57, 동 No.90 등을 들 수 있다.

이들 〔F〕 계면활성제의 첨가량은, 중합체 〔A〕 100 중량부당 바람직하게는 5 중량부 이하, 보다 바람직하게는 2 중량부 이하이다. 계면활성제의 양이 5 중량부를 초과하는 경우에는, 도포 공정에서 도막의 막 거칠음이 발생하기 쉬워지는 경우가 있다.

감열성 산 발생제

본 발명의 조성물에는 감열성 산 발생제를 첨가할 수 있다. 감열성 산 발생 제로서는, 술포늄염, 벤조티아조늄염, 암모늄염, 포스포늄염 등을 들 수 있으며, 이 중에서도 술포늄염, 벤조티아조늄염이 바람직하게 사용된다.

본 발명의 수지 조성물은, 상기한 각 성분을 바람직하게는 적당한 용매 중에 균일하게 용해 또는 분산시킴으로써 제조된다. 사용되는 용매로서는, 조성물의 각 성분을 용해 또는 분산시켜 각 성분과 반응하지 않는 것이 바람직하게 사용된다.

또한, 본 발명의 수지 조성물은, 〔A〕 성분이 〔A3〕 (a) 옥시라닐기, 옥세타닐기 및 알릴기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 갖는 중합성 불포화 화합물과, (b5) 상기 (a) 성분 이외의 중합성 불포화 화합물의 공중합체이며, 분자 중에 카르복실기, 카르복실산 무수물기, 카르복실산의 아세탈에스테르 구조, 카르복실산의 케탈에스테르 구조, 카르복실산의 1-알킬시클로알킬에스테르 구조 및 카르복실산의 t-부틸에스테르 구조를 갖지 않는 공중합체인 경우에는, 〔C〕 경화제를 포함하지 않는 제1액과 〔C〕 경화제를 함유하는 제2액을 포함하는 세트로서 준비하고, 사용하기 전에 혼합하여 사용할 수 있다. 제1액은 〔D〕 다관능성 화합물을 함유하는 것이 바람직하다.

이러한 용매로서는, 알코올, 에테르, 글리콜에테르, 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노알킬에테르, 디에틸렌글리콜디알킬에테르, 프로필렌글리콜모노알킬에테르, 프로필렌글리콜디알킬에테르, 프로필렌글리콜알킬에테르아세테이트, 프로필렌글리콜알킬에테르프로피오네이트, 방향족 탄화수소, 케톤, 에스테르 등을 들 수 있다.

이들의 구체예로서는, 예를 들면 알코올로서 메탄올, 에탄올, 벤질 알코올 등;

에테르로서 테트라히드로푸란 등;

글리콜에테르로서 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르등;

에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트로서 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등;

디에틸렌글리콜모노알킬에테르로서 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르 등;

디에틸렌글리콜디알킬에테르로서 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르 등;

프로필렌글리콜모노알킬에테르로서 프로필렌글리콜메틸에테르, 프로필렌글리콜에틸에테르, 프로필렌글리콜프로필에테르, 프로필렌글리콜부틸에테르 등;

프로필렌글리콜디알킬에테르로서 프로필렌글리콜디메틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에틸에테르, 프로필렌글리콜메틸프로필에테르, 프로필렌글리콜메틸이소프로필에테르, 프로필렌글리콜메틸부틸에테르, 프로필렌글리콜메틸이소부틸에테르, 프로필렌글리콜메틸펜틸에테르, 프로필렌글리콜메틸시클로펜틸에테르, 프로필렌글리콜메틸헥실에테르, 프로필렌글리콜메틸시클로헥실에테르, 프로필렌글리콜메틸헵틸에테르, 프로필렌글리콜메틸옥틸에테르 등;

프로필렌글리콜알킬에테르아세테이트로서 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이 트, 프로필렌글리콜에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜프로필에테르아세테이트, 프로필렌글리콜부틸에테르아세테이트 등;

프로필렌글리콜알킬에테르프로피오네이트로서 프로필렌글리콜메틸에테르프로피오네이트, 프로필렌글리콜에틸에테르프로피오네이트, 프로필렌글리콜프로필에테르프로피오네이트, 프로필렌글리콜부틸에테르프로피오네이트 등;

방향족 탄화수소로서 톨루엔, 크실렌 등;

케톤으로서 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 4-히드록시-4-메틸-2-펜타논, 메틸이소아밀케톤 등;

에스테르로서 아세트산메틸, 아세트산에틸, 아세트산프로필, 아세트산부틸, 2-히드록시프로피온산에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산메틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 히드록시아세트산메틸, 히드록시아세트산에틸, 히드록시아세트산부틸, 락트산메틸, 락트산에틸, 락트산프로필, 락트산부틸, 3-히드록시프로피온산메틸, 3-히드록시프로피온산에틸, 3-히드록시프로피온산프로필, 3-히드록시프로피온산부틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산메틸, 메톡시아세트산메틸, 메톡시아세트산에틸, 메톡시아세트산프로필, 메톡시아세트산부틸, 에톡시아세트산메틸, 에톡시아세트산에틸, 에톡시아세트산프로필, 에톡시아세트산부틸, 프로폭시아세트산메틸, 프로폭시아세트산에틸, 프로폭시아세트산프로필, 프로폭시아세트산부틸, 부톡시아세트산메틸, 부톡시아세트산에틸, 부톡시아세트산프로필, 부톡시아세트산부틸, 2-메톡시프로피온산메틸, 2-메톡시프로피온산에틸, 2-메톡시프로피온산프로필, 2-메톡시프로피온산부틸, 2-에톡시프로피온산메틸, 2-에톡시프로피온산에틸, 2-에톡시프 로피온산프로필, 2-에톡시프로피온산부틸, 2-부톡시프로피온산메틸, 2-부톡시프로피온산에틸, 2-부톡시프로피온산프로필, 2-부톡시프로피온산부틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산프로필, 3-메톡시프로피온산부틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산프로필, 3-에톡시프로피온산부틸, 3-프로폭시프로피온산메틸, 3-프로폭시프로피온산에틸, 3-프로폭시프로피온산프로필, 3-프로폭시프로피온산부틸, 3-부톡시프로피온산메틸, 3-부톡시프로피온산에틸, 3-부톡시프로피온산프로필, 3-부톡시프로피온산부틸 등을 각각 들 수 있다.

이들 중에서 알코올, 디에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜알킬아세테이트, 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디알킬에테르가 바람직하고, 특히 벤질 알코올, 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸이 바람직하다.

용매의 사용량으로서는, 본 발명의 조성물 중 전체 고형분(용매를 포함하는 조성물의 총량으로부터 용매의 양을 제거한 양)의 함유량이 바람직하게는 1 내지 50 중량％, 보다 바람직하게는 5 내지 40 중량％가 되는 범위이다.

상기 용매와 함께 고비점 용매를 병용할 수 있다. 여기서 병용할 수 있는 고비점 용매로서는, 예를 들면 N-메틸포름아미드, N,N-디메틸포름아미드, N-메틸포 름아닐리드, N-메틸아세트아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈, 디메틸술폭시드, 벤질에틸에테르, 디헥실에테르, 아세토닐아세톤, 이소포론, 카프로산, 카프릴산, 1-옥탄올, 1-노난올, 아세트산벤질, 벤조산에틸, 옥살산디에틸, 말레산디에틸, γ-부티로락톤, 탄산에틸렌, 탄산프로필렌, 페닐셀로솔브아세테이트 등을 들 수 있다.

고비점 용매를 병용할 때의 사용량으로서는, 전체 용매량에 대하여 바람직하게는 90 중량％ 이하, 더욱 바람직하게는 80 중량％ 이하이다.

상기한 바와 같이 하여 제조된 조성물은 바람직하게는 공경 0.2 내지 3.0 ㎛, 보다 바람직하게는 공경 0.2 내지 0.5 ㎛ 정도의 밀리포어 필터 등을 사용하여 여과 분별한 후 사용할 수도 있다.

컬러 필터의 보호막의 형성

이어서, 본 발명의 조성물을 사용하여 컬러 필터의 보호막을 형성하는 방법에 대하여 설명한다.

본 발명의 수지 조성물 용액을 기판 표면에 도포하고, 예비 베이킹하여 용매를 제거함으로써 도막을 형성한 후, 가열 처리를 행함으로써 목적으로 하는 컬러 필터의 보호막을 형성할 수 있다.

또한, 본 발명의 수지 조성물을 상기 제1액과 제2액을 포함하는 세트로서 준비하고, 이것을 혼합하여 사용하는 경우에는, 상기 세트의 제1액과 제2액을 혼합하여 이 혼합물로 기판 위에 피막을 형성하고, 이어서 가열 처리를 행함으로써 컬러 필터의 보호막을 형성할 수 있다.

상기 기판으로서 사용할 수 있는 것으로서는, 예를 들면 유리, 석영, 실리콘, 수지 등의 기판을 사용할 수 있다. 수지로서는, 예를 들면 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르술폰, 폴리카르보네이트, 폴리이미드, 및 환상 올레핀의 개환 중합체 및 그의 수소 첨가물과 같은 수지를 들 수 있다.

도포 방법으로서는, 예를 들면 분무법, 롤 코팅법, 회전 도포법, 바 도포법, 잉크젯법 등의 적절한 방법을 이용할 수 있으며, 특히 스핀 코터, 스핀리스 코터, 슬릿 다이 코터를 사용한 도포를 바람직하게 사용할 수 있다.

상기 예비 베이킹의 조건은 각 성분의 종류나 배합 비율 등에 따라서도 상이하지만, 바람직하게는 70 내지 90 ℃에서 1 내지 15분 정도의 조건을 이용할 수 있다. 도막의 두께로서는 바람직하게는 0.15 내지 8.5 ㎛, 보다 바람직하게는 0.15 내지 6.5 ㎛, 더욱 바람직하게는 0.15 내지 4.5 ㎛로 할 수 있다. 또한, 여기서 말하는 도막의 두께는, 용매 제거 후의 두께로서 이해해야 한다.

도막 형성 후의 가열 처리는 핫 플레이트나 클린 오븐 등의 적절한 가열 장치에 의해 실시할 수 있다. 처리 온도로서는 150 내지 250 ℃ 정도가 바람직하고, 가열 시간은 핫 플레이트를 사용하는 경우에는 5 내지 30분, 오븐을 사용하는 경우에는 30 내지 90분의 처리 시간을 채용할 수 있다.

또한, 수지 조성물에 감방사선성 산 발생제를 사용한 경우에는, 해당 수지 조성물을 기판 표면에 도포하고, 예비 베이킹에 의해 용매를 제거하여 도막으로 한 후, 방사선 조사 처리(노광 처리)를 실시함으로써 목적으로 하는 보호막을 형성할 수 있다. 필요에 따라, 노광 처리 후 추가로 가열 처리를 행할 수도 있다.

상기 방사선의 조사 처리에서 사용할 수 있는 방사선으로서는, 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 들 수 있지만, 190 내지 450 ㎚의 파장의 빛을 포함하는 자외선이 바람직하다.

노광량은 바람직하게는 100 내지 20,000 J/㎡, 보다 바람직하게는 150 내지 10,000 J/㎡이다.

방사선 조사 후 추가로 임의적으로 가열 처리를 행할 수도 있다. 이 때의 가열 온도로서는 150 내지 250 ℃ 정도가 바람직하고, 가열 장치로서 예를 들면 핫 플레이트, 클린 오븐 등의 적절한 장치를 사용할 수 있다. 가열 시간은, 핫 플레이트를 사용하는 경우에는 5 내지 30분, 오븐을 사용하는 경우에는 30 내지 90분의 처리 시간을 채용할 수 있다.

컬러 필터의 보호막

이와 같이 형성된 보호막은, 그의 막 두께가 바람직하게는 0.1 내지 8 ㎛, 보다 바람직하게는 0.1 내지 6 ㎛, 더욱 바람직하게는 0.1 내지 4 ㎛이다. 또한, 본 발명의 보호막이 컬러 필터의 단차를 갖는 기판 위에 형성되는 경우에는 상기한 막 두께는 컬러 필터의 최상부로부터의 두께로서 이해해야 한다.

본 발명의 보호막은 하기 실시예로부터 분명한 바와 같이, 밀착성, 표면 경도, 투명성, 내열성, 내광성, 내용제성 등을 만족함과 동시에, 열이 가해진 상태에서의 하중에 의해서도 오목해지지 않고, 바탕 기판 위에 형성된 컬러 필터의 단차를 평탄화하는 성능이 우수한 광장치용 보호막으로서 바람직하다.

특히, 본 발명의 보호막이 패널 제조 공정에서 250 ℃를 초과하는 가열에 노출되는 경우가 있기 때문에, 이러한 경우에도 충분히 견딜 수 있는 내열성을 갖는다는 것은 270 ℃에서 충분한 치수 안정성을 가짐으로써 보증된다.

이하에 합성예, 실시예를 나타내어 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시예로 한정되지 않는다.

(공)중합체의 제조

합성예 1

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스-이소부티로니트릴 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 메타크릴산글리시딜 70 중량부 및 스티렌 30 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 95 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-1)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.8 중량％였다.

합성예 2

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스-이소부티로니트릴 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 3-에틸-3-메타아크로일옥시메틸옥세탄 80 중량부 및 스티렌 20 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 95 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-2)를 포함하는 중합체 용액을 얻 었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.0 중량％였다.

합성예 3

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스-이소부티로니트릴 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 메타크릴산글리시딜 70 중량부, 스티렌 15 중량부 및 N-시클로헥실말레이미드 15 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 95 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-3)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.1 중량％였다.

합성예 4

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스-이소부티로니트릴 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 메타크릴산글리시딜 60 중량부, 스티렌 10 중량부 및 트리시클로[5.2.1.0^2,6]데칸-8-일메타크릴레이트 30 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 95 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-4)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.9 중량％였다.

합성예 5

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였 다. 이어서, 메타크릴산글리시딜 50 중량부, 스티렌 15 중량부, N-시클로헥실말레이미드 15 중량부 및 메타크릴산 20 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 95 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-5)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.0 중량％였다.

합성예 6

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 스티렌 40 중량부 및 알릴메타크릴레이트 60 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-6)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.3 중량％였다.

합성예 7

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 메타크릴산글리시딜 50 중량부, 스티렌 10 중량부 및 알릴메타크릴레이트 40 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-7)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.6 중량％였다.

합성예 8

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 3-에틸-3-메타아크로일옥시메틸옥세탄 60 중량부, 스티렌 10 중량부 및 알릴메타크릴레이트 30 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-8)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.7 중량％였다.

합성예 9

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스-이소부티로니트릴 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 메타크릴산글리시딜 45 중량부, 3-에틸-3-메타아크로일옥시메틸옥세탄 40 중량부 및 스티렌 15 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-9)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.3 중량％였다.

합성예 10

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 스티렌 20 중량부, N-시클로헥실말레이미드 20 중량부 및 알릴메타크 릴레이트 60 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-10)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.5 중량％였다.

합성예 11

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 스티렌 20 중량부, N-시클로헥실말레이미드 20 중량부 및 메타크릴산 20 중량부, 메타크릴산글리시딜 20 중량부, 1-에틸시클로헥실메타크릴레이트 20 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-11)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.6 중량％였다.

합성예 12

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 스티렌 20 중량부, N-시클로헥실말레이미드 20 중량부 및 메타크릴산 20 중량부, 메타크릴산글리시딜 20 중량부, 1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트 20 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-12)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.7 중량％였다.

합성예 13

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 이어서, 스티렌 20 중량부, N-시클로헥실말레이미드 20 중량부, 메타크릴산 20 중량부, 메타크릴산글리시딜 20 중량부 및 테트라히드로-2H-피란-2-일에스테르20 중량부를 투입하고, 질소 치환한 후 천천히 교반을 개시하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 동안 유지하여 공중합체 (A-13)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.4 중량％였다.

실록산 올리고머 [B]의 합성예

합성예 1

500 mL의 3구 플라스크에 페닐트리메톡시실란 39.6 g 및 (3-에틸옥세탄-3-일)프로필트리에톡시실란 64.0 g을 취하고, 메틸이소부틸케톤 100 g을 첨가하여 용해시키고, 얻어진 혼합 용액을 마그네틱 교반기에 의해 교반하면서 60 ℃로 가온하였다. 이것에 1 중량％의 옥살산을 포함한 8.6 g의 이온 교환수를 1 시간에 걸쳐서 연속적으로 첨가하였다. 또한, 60 ℃에서 4 시간 동안 반응시킨 후, 얻어진 반응액을 실온까지 냉각하였다. 그 후, 반응 부생성물인 알코올분을 반응액으로부터 감압 증류 제거하였다. 이 중합체 [B-1]의 중량 평균 분자량은 1,600이었다.

합성예 2

500 mL의 3구 플라스크에 디페닐디메톡시실란 48.8 g 및 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란 49.2 g을 취하고, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 100 g을 첨가하여 용해시키고, 얻어진 혼합 용액을 마그네틱 교반기에 의해 교반하면서 60 ℃로 가온하였다. 이것에 1 중량％의 옥살산을 포함한 8.6 g의 이온 교환수를 1 시간에 걸쳐서 연속적으로 첨가하였다. 또한, 60 ℃에서 4 시간 동안 반응시킨 후, 얻어진 반응액을 실온까지 냉각하였다. 그 후, 반응 부생성물인 알코올분을 반응액으로부터 감압 증류 제거하였다. 이 중합체 [B-2]의 중량 평균 분자량은 2,000이었다.

합성예 3

500 mL의 3구 플라스크에 테트라메톡시실란 30.4 g 및 3-글리시독시프로필트리메톡시실란 47.2 g을 취하고, 프로필렌글리콜메틸에테르 100 g을 첨가하여 용해시키고, 얻어진 혼합 용액을 마그네틱 교반기에 의해 교반하면서 60 ℃로 가온하였다. 이것에 1 중량％의 옥살산을 포함한 8.6 g의 이온 교환수를 1 시간에 걸쳐서 연속적으로 첨가하였다. 또한, 60 ℃에서 4 시간 동안 반응시킨 후, 얻어진 반응액을 실온까지 냉각하였다. 그 후, 반응 부생성물인 알코올분을 반응액으로부터 감압 증류 제거하였다. 이 중합체 [B-3]의 중량 평균 분자량은 1,400이었다.

합성예 4

500 mL의 3구 플라스크에 메틸트리메톡시실란 27.2 g 및 3-머캅토프로필트리메톡시실란 39.2 g을 취하고, 프로필렌글리콜메틸에테르 100 g을 첨가하여 용해시키고, 얻어진 혼합 용액을 마그네틱 교반기에 의해 교반하면서 60 ℃로 가온하였다. 이것에 1 중량％의 옥살산을 포함한 8.6 g의 이온 교환수를 1 시간에 걸쳐서 연속적으로 첨가하였다. 또한, 60 ℃에서 4 시간 동안 반응시킨 후, 얻어진 반응 액을 실온까지 냉각하였다. 그 후, 반응 부생성물인 알코올분을 반응액으로부터 감압 증류 제거하였다. 이 중합체 [B-4]의 중량 평균 분자량은 1,900이었다.

합성예 5

500 mL의 3구 플라스크에 디메틸디메톡시실란 29.8 g 및 3-메타크릴옥시프로필메틸디에톡시실란 51.0 g을 취하고, 프로필렌글리콜메틸에테르 100 g을 첨가하여 용해시키고, 얻어진 혼합 용액을 마그네틱 교반기에 의해 교반하면서 60 ℃로 가온하였다. 이것에 1 중량％의 옥살산을 포함한 8.6 g의 이온 교환수를 1 시간에 걸쳐서 연속적으로 첨가하였다. 또한, 60 ℃에서 4 시간 동안 반응시킨 후, 얻어진 반응액을 실온까지 냉각하였다. 그 후, 반응 부생성물인 알코올분을 반응액으로부터 감압 증류 제거하였다. 이 중합체 [B-5]의 중량 평균 분자량은 1,800이었다.

합성예 6

500 mL의 3구 플라스크에 메틸트리메톡시실란 27.0 g 및 3-아크릴옥시프로필메틸디에톡시실란 48.1 g을 취하고, 프로필렌글리콜메틸에테르 100 g을 첨가하여 용해시키고, 얻어진 혼합 용액을 마그네틱 교반기에 의해 교반하면서 60 ℃로 가온하였다. 이것에 1 중량％의 옥살산을 포함한 8.6 g의 이온 교환수를 1 시간에 걸쳐서 연속적으로 첨가하였다. 또한, 60 ℃에서 4 시간 동안 반응시킨 후, 얻어진 반응액을 실온까지 냉각하였다. 그 후, 반응 부생성물인 알코올분을 반응액으로부터 감압 증류 제거하였다. 이 중합체 [B-6]의 중량 평균 분자량은 2,100이었다.

수지 조성물의 제조 및 평가

실시예 1

상기 합성예 1에서 얻어진 공중합체 (A-1)을 포함하는 용액(공중합체 (A-1) 100 중량부(고형분)에 상당하는 양)에 실록산 올리고머 (B-1) 20 중량부, 헥사히드로프탈산 무수물 (C-1) 40 중량부, 경화 촉진제로서 2-페닐-4-메틸이미다졸 (D-1) 0.1 중량부 및 계면활성제로서 SH-28PA(도레이ㆍ다우 코닝ㆍ실리콘(주) 제조) 0.1 중량부를 첨가하고, 추가로 고형분 농도가 20 중량％가 되도록 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 (S-1) 및 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르 (S-2)를 8:2의 비율로 첨가한 후, 공경 0.5 ㎛의 밀리포어 필터로 여과하여 수지 조성물을 제조하였다.

스피너를 사용하여 상기 조성물을 SiO₂ 침지 유리 기판 위에 도포한 후, 핫 플레이트 위에서 80 ℃에서 5분간 예비 베이킹하여 도막을 형성하고, 오븐 중에서 230 ℃에서 60분간 가열 처리하여 막 두께 2.0 ㎛의 보호막을 형성하였다.

보호막의 평가

(1) 투명성의 평가

상기한 바와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, 분광 광도계(150-20형 더블빔(히타치 세이사꾸쇼(주) 제조))를 사용하여 400 내지 800 ㎚의 투과율을 측정하였다. 400 내지 800 ㎚의 투과율의 최소값을 표 1에 나타내었다. 이 값이 95 ％ 이상일 때, 보호막의 투명성은 양호하다고 할 수 있다.

(2) 내열 치수 안정성의 평가

상기한 바와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, 오븐 중 250 ℃에서 1 시간의 조건으로 가열하고, 가열 전후의 막 두께를 측정하였다. 하기 수학식 1에 따라 산출한 내열 치수 안정성을 표 1에 나타내었다. 이 값이 95 ％ 이상일 때, 내열 치수 안정성은 양호하다고 할 수 있다.

내열 치수 안정성=(가열 후의 막 두께)/(가열 전의 막 두께)×100(％)

(3) 내열 변색성의 평가

상기한 바와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, 오븐 중 250 ℃에서 1 시간 동안 가열하고, 가열 전후의 투명성을 상기 (1)과 동일하게 하여 측정하였다. 하기 수학식 2에 따라 산출한 내열 변색성을 표 1에 나타내었다. 이 값이 5 ％ 이하일 때, 내열 변색성은 양호하다고 할 수 있다.

내열 변색성=가열 전의 투과율-가열 후의 투과율(％)

(4) 연필 경도의 측정

상기한 바와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, JIS K-5400-1990의 8.4.1 연필 긁기 시험에 의해 보호막의 표면 경도를 측정하였다. 이 값을 표 1에 나타낸다. 이 값이 4H 또는 그보다 단단할 때, 표면 경도는 양호하다고 할 수 있다.

(5) 밀착성의 평가

상기한 바와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여 압력솥 시험(120 ℃, 습도 100 ％, 4 시간)을 행한 후, JIS K-5400-1990의 8.5.3 부착성 격 자 테이프법에 의해 보호막의 밀착성(SiO₂에 대한 밀착성)을 평가하였다. 격자 100개 중, 남은 격자의 수를 표 2에 나타내었다.

또한, Cr에 대한 밀착성의 평가로서 SiO₂ 침지 유리 기판 대신에 Cr 기판을 사용한 것 이외에는, 상기와 동일하게 하여 막 두께 2.0 ㎛의 보호막을 형성하고, 상기한 격자 테이프법에 의해 동일하게 평가하였다. 결과는 표 1에 나타내었다.

(6) 승화물의 평가

스피너를 사용하여 상기 조성물을 SiO₂ 침지 유리 기판 위에 후베이킹하여 막 두께가 2.0 ㎛가 되도록 도포한 후, 예비 베이킹하는 기판의 1 내지 2 ㎝ 위에 유리 웨이퍼를 세팅하고, 핫 플레이트 위에서 80 ℃에서 5분간 예비 베이킹함으로써 승화물을 유리 웨이퍼 위에 부착시켰다. 그 후, 헤이즈미터를 사용하여 승화물이 부착된 기판의 헤이즈값을 측정함으로써 승화물의 유무를 평가하였다. 승화물이 많은(아웃 가스가 많은) 경우 헤이즈값은 높게 (헤이즈값>1) 관측되고, 승화물이 없는(아웃 가스가 없는) 경우에는 헤이즈값은 거의 0에 가까운 값을 나타낸다.

(7) 보존 안정성의 평가

실시예 1에서 제조한 보호막 형성용의 수지 조성물에서의 점도를 도꾜 게이끼(주) 제조 ELD형 점도계를 사용하여 측정하였다. 그 후, 상기 조성물을 25 ℃에서 정치하면서, 25 ℃에서의 용액 점도를 매일 측정하였다. 제조 직후의 점도를 기준으로 5 ％ 증점하는 데 필요한 일수를 구하고, 이 일수를 표 1에 나타내었다. 이 일수가 20일 이상일 때, 보존 안정성은 양호하다고 할 수 있다.

(8) 내알칼리성의 평가

상기한 바와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여 30 ℃의 5 ％ NaOH 중에 30분간 침지시킨 후, 핫 플레이트로 수분을 제거한 후의 막 두께를 측정하였다. 하기 수학식 3에 따라 산출한 내알칼리성을 표 1에 나타내었다. 이 값이 95 ％ 이상일 때, 내알칼리성은 양호하다고 할 수 있다.

내알칼리성=(수분 제거 후의 막 두께)/(침지 전의 막 두께)×100(％)

(9) ITO 패터닝 특성의 평가

상기한 바와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, 고속 스퍼터링(High rate Sputtering) 장치 SH-550-C12(닛본 신꼬 기주쯔사 제조)로 ITO 타깃(ITO 충전율 95 ％ 이상, In₂O₃/SnO₂=90/10 중량비)을 사용하여 60 ℃에서 ITO를 스퍼터하였다. 이 때의 분위기는 감압도 1.0×10^-5 Pa, Ar 가스 유량 3.12×10^-3 ㎥/시간, O₂ 가스 유량 1.2×10^-5 ㎥/시간이었다. 스퍼터 후의 기판을 클린 오븐 중 240 ℃에서 1 시간 동안 가열하였다.

이어서, 얻어진 기판 위에 스피너를 사용하여 JSR(주) 제조 포지티브 레지스트 PFR3650을 도포한 후, 핫 플레이트 위에서 90 ℃에서 2분간 예비 베이킹하여 도막을 형성하였다. 그 후, 10 ㎛/10 ㎛의 라인 앤드 스페이스 패턴을 갖는 포토마스크를 통해, 노광기 캐논 PLA501F(캐논(주) 제조)를 사용하여 ghi선(파장 436 ㎚, 405 ㎚, 365 ㎚의 강도비=2.7:2.5:4.8)을 i선 환산으로 조도 40 W/㎡, 250 J/㎡의 노광량으로 조사하고, 실온하에 2.4 ％ TMAH 수용액을 사용하여 60초간 침지 현상하고, 초순수로 60초간 린스한 후 풍건하였다. 그 후, 클린 오븐 중 150 ℃에서 1 시간 동안 가열 처리하여, ITO 위에 레지스트 패턴이 형성된 기판을 제조하였다.

이어서, 습식 에칭에 의한 ITO의 패터닝을, 질산/염산을 1/3의 중량비로 혼합한 에칭제(etchant)를 사용하여 행하였다. 얻어진 기판을 에칭제에 침지하고, 10초마다 기판을 꺼내어 형성된 ITO 라인 패턴의 선폭을 광학 현미경으로 계측함으로써, ITO 라인 패턴의 선폭이 10 ㎛가 되는 에칭 시간을 측정하였다. 이 에칭 시간의 1.2배에 상당하는 시간, 에칭제에 침지했을 때의 ITO 라인 패턴의 선폭을 광학현미경으로 계측하여, 결과를 표 1에 나타내었다. 형성된 ITO 라인 패턴의 선폭이 10 ㎛에 가까울수록 ITO 패터닝 특성이 우수하다고 할 수 있다.

실시예 2 내지 18 및 비교예 1 내지 5

조성물의 각 성분의 종류 및 양을 표 1에 기재된 바와 같이 하고, 표 1에 기재된 용매를 사용하여 표 1에 기재된 고형분 농도로 한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 수지 조성물을 제조하였다.

상기한 바와 같이 제조한 보호막 형성용의 수지 조성물을 사용하여, 실시예 1과 동일하게 보호막을 형성하여 평가하였다. 결과를 표 1에 나타내었다.

또한, 표 1에서 밀착 보조제 (B), 산 무수물 (C), 경화 촉진제 (D), 양이온 중합성 화합물 (E), 계면활성제 (F) 및 용매 (S)의 약칭은, 각각 이하의 것을 나타낸다.

B-1 내지 B-6: 상기 합성예에 기재

B-7: 실리콘 알콕시 올리고머(신에쯔 가가꾸(주) 제조 상품명: X-41-1056)

B-8: 에폭시 변성 실리콘 오일(도레이ㆍ다우코닝ㆍ실리콘(주) 제조 상품명: BY16-855D)

B-9: 에폭시 변성 실리콘 오일(모멘티브ㆍ퍼포먼스ㆍ머티리얼스 제조 상품명: TSF4730)

B-10: 카르복시 변성 실리콘 오일(도레이ㆍ다우코닝ㆍ실리콘(주) 제조 상품명: SF8418)

b-1: γ-글리시독시프로필트리메톡시실란

C-1: 헥사히드로프탈산 무수물

C-2: 트리멜리트산 무수물

C-3: ST/말레산 무수물 공중합체

C-4: ST/시클로헥실말레이미드/말레산 무수물 공중합체

D-1: 2-페닐-4-메틸이미다졸

D-2: 2-페닐-4-메틸이미다졸-5-히드록시메틸이미다졸

D-3: 2-페닐-1-벤질이미다졸

D-4: 1-벤질-2-메틸이미다졸

E-1: 비스페놀 A 노볼락형 에폭시 수지(재팬 에폭시 레진(주) 제조 상품명: 에피코트 828)

E-2: 노볼락형 에폭시 수지(재팬 에폭시 레진(주) 제조 상품명: 에피코트 154)

E-3: 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트(닛본 가야꾸(주) 제조 상품명: KAYARAD DPHA)

E-4: 펜타아크릴로일옥시디펜타에리트리톨숙신산{별칭: [3-(3-아크릴로일옥시-2,2-비스-아크릴로일옥시메틸-프로필)-2,2-비스-아크릴로일옥시메틸-프로필]에스테르, 약칭: PADPS}

F-1: 실리콘계 계면활성제(도레이ㆍ다우코닝ㆍ실리콘(주) 제조 상품명: SH-28PA)

F-2: 실리콘계 계면활성제(빅케미ㆍ재팬(주) 제조 상품명: Byk-344)

F-3: 불소계 계면활성제((주)네오스 제조 상품명: 프타젠트 FTX-218)

F-4: 실리콘계 계면활성제(도레이ㆍ다우코닝ㆍ실리콘(주) 제조 상품명: PAINTAD19)

S-1: 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트

S-2: 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르

<발명의 효과>

본 발명에 따르면, 표면의 평탄성이 낮은 기체여도 해당 기체 위에 평탄성이 높은 경화막을 형성할 수 있고, 투명성 및 표면 경도가 높고, 내열내압성, 내산성, 내알칼리성, 내스퍼터성 등의 각종 내성이 우수하고, 배선 전극의 패터닝 특성이 양호한 광장치용 보호막을 형성하기 위해 바람직하게 사용되며, 보호막 형성시에 발생하는 승화물량이 적고, 조성물로서의 보존 안정성이 우수한 수지 조성물, 이 수지 조성물을 사용한 보호막의 형성 방법, 및 상기 조성물로부터 형성된 보호막이 제공된다.

Claims

[A] 〔A1〕 (a) 옥시라닐기, 옥세타닐기 및 알릴기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 갖는 중합성 불포화 화합물과, (b1) 중합성 불포화 카르복실산 및/또는 중합성 불포화 다가 카르복실산 무수물과, (b2) 상기 (a) 성분 및 (b1) 성분 이외의 중합성 불포화 화합물의 공중합체,

〔A2〕 분자 중에 2개 이상의 옥시라닐기, 옥세타닐기 및 알릴기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기와, 카르복실산의 아세탈에스테르 구조, 카르복실산의 케탈에스테르 구조, 카르복실산의 1-알킬시클로알킬에스테르 구조 및 카르복실산의 t-부틸에스테르 구조로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 구조를 함유하는 중합체, 및

〔A2-1〕 (a) 옥시라닐기, 옥세타닐기 및 알릴기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 갖는 중합성 불포화 화합물과, (b3) 카르복실산의 아세탈에스테르 구조, 카르복실산의 케탈에스테르 구조, 카르복실산의 1-알킬시클로알킬에스테르 구조 및 카르복실산의 t-부틸에스테르 구조로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 구조를 함유하는 중합성 불포화 화합물과, (b4) 상기 (a) 성분 및 (b3) 성분 이외의 중합성 불포화 화합물의 공중합체로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 중합체, 및

[B] [A] 성분과 열에 의해 가교 반응할 수 있는 관능기를 함유하는 실록산 올리고머를 함유하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 보호막 형성용 경화성 수지 조성물.
제1항에 있어서, [B] 성분의 [A] 성분과 열에 의해 가교 반응할 수 있는 관능기가 옥시라닐기, 옥세타닐기, 에피술피드기, 비닐기, 알릴기, (메트)아크릴로일기, 카르복실기, 히드록실기, 머캅토기, 이소시아네이트기, 아미노기, 우레이도기 또는 스티릴기인 경화성 수지 조성물.
제1항에 있어서, [B] 성분이 하기 화학식 1 및 하기 화학식 2 각각으로 표시되는 알콕시실란을 공가수분해하여 얻어진 실록산 올리고머인 경화성 수지 조성물.

<화학식 1>

Si(R¹)_l(R²)_m(OR³)_n

(여기서, R¹은 옥시라닐기, 옥세타닐기, 에피술피드기, 비닐기, 알릴기, (메트)아크릴로일기, 카르복실기, 히드록실기, 머캅토기, 이소시아네이트기, 아미노 기, 우레이도기 또는 스티릴기를 함유하는 치환기를 나타내고, R²와 R³은 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 1가의 유기기이고, l, n은 각각 1 내지 3의 정수이고, m은 0 내지 2의 정수이되, 단, l+m+n=4임)

<화학식 2>

Si(R⁴)_x(OR⁵)_4-x

(여기서 R⁴, R⁵는 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 수소 원자 또는 1가의 유기기이고, x는 0 내지 3의 정수임)
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 추가로 〔C〕 경화제를 함유하는 경화성 수지 조성물.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 추가로 〔D〕 다관능성 단량체로서 양이온 중합성 화합물(단, 상기 〔A1〕 성분, 〔A2〕성분 및 〔A2-1〕성분을 제외함), 다관능 (메트)아크릴 화합물 또는 이들을 모두 함유하는 경화성 수지 조성물.
기판 위에 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 경화성 수지 조성물을 사용하여 도막을 형성하고, 이어서 가열 처리하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 보호막의 형성 방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 경화성 수지 조성물로 형성된 컬러 필터의 보호막.
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