KR101465925B1

KR101465925B1 - 진공 배기 장치의 연결 구조 및 진공 배기 시스템

Info

Publication number: KR101465925B1
Application number: KR1020137011817A
Authority: KR
Inventors: 토시오 스즈키; 토모나리 다나카; 코지 시바야마; 마사토모 오카모토
Original assignee: 가부시키가이샤 아루박
Priority date: 2010-11-17
Filing date: 2011-11-16
Publication date: 2014-11-26
Also published as: JPWO2012066782A1; WO2012066782A1; TWI512199B; JP5645229B2; US9273568B2; TW201233906A; KR20130065726A; US20130280062A1; CN103228921B; DE112011103800T5; CN103228921A

Abstract

진공 배기 장치의 연결 구조는, 펌프실과, 상기 펌프실을 구획하는 케이싱을 각각 구비하는 진공 배기 장치의 연결 구조이다. 상기 연결 구조는, 상기 케이싱의 제1 측에 형성된 제1 단면과, 상기 케이싱의, 상기 제1 측과 반대측의 상기 제2 측에 형성된 제2 단면을 구비한다. 복수의 진공 배기 장치 중 제1 진공 배기 장치에 설치된 상기 제1 단면과, 상기 제2 진공 배기 장치에 설치된 상기 제2 단면이 접하도록, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱이 직접 포개지도록 배치된다. 상기 제1 단면과 상기 제2 단면을 체결하는 것으로써, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱의 사이에 기체가 유통 가능하게, 상기 제1 진공 배기 장치 및 상기 제2 진공 배기 장치끼리 연결된다.

Description

진공 배기 장치의 연결 구조 및 진공 배기 시스템{VACUUM EXHAUST DEVICE COUPLING STRUCTURE AND VACUUM EXHAUST SYSTEM}

본 발명은, 진공 챔버(chamber) 등의 배기 대상 기기를 감압 배기하는 복수의 진공 배기 장치를 연결하는 진공 배기 장치의 연결 구조 및 이 연결 구조를 구비하는 진공 배기 시스템에 관한 것이다.

본원은, 2010년 11월 17일에 일본에 출원된 특허출원2010-257141호에 근거하여 우선권을 주장하며, 그 내용을 여기에 원용한다.

진공 챔버(chamber) 등의 배기 대상 기기를 감압 배기하기 위해서 사용되는 진공 배기 장치(진공 펌프)에서는, 용도에 따라 복수의 다른 진공 배기 장치를 기체 유통적으로 직렬로 접속하여 목적의 성능을 달성하는 것이 일반적으로 행해지고 있다. 예를 들면, 배기 대상 기기를 작동 압력까지 배기하고, 그 압력을 유지하기 위한 주펌프로서 메카니컬 부스터 펌프를 채용하고, 대기압으로부터 주펌프가 작동 가능하게 되는 압력까지 진공계를 배기하기 위한 조인(粗引) 펌프로서, 유회전(油回轉) 펌프나 드라이 펌프를 채용한다. 이러한 진공 펌프를 조합하여 사용하는 것에 의해서, 목적의 성능을 달성하는 진공 배기 시스템을 구축하고 있다. 진공 펌프의 편성은 이것에 한정하지 않고 다양하고, 3대 이상의 진공 펌프를 조합하는 케이스도 있다.

이러한 복수의 진공 펌프를 조합하는 경우, 통상, 각각의 진공 펌프는 적소에 배치된 다음 접속 배관 등에 의해서 접속된다. 예를 들면, 각각의 진공 펌프를 소정의 프레임(설치대)에 고정하고, 주펌프의 배기구와 조인(粗引) 펌프의 흡기구를 배관에 의해서 접속하는 등의 접속 구조가 일반적이다.

예를 들면, 하기 비특허문헌 1에는, 상 펌프의 배기구와 하 펌프의 흡기구가 배관으로 접속되고 있는 진공 배기 시스템이 기재되어 있다. 또한, 하기 비특허문헌 2에는, 프레임 상 및 프레임 내에 진공 펌프를 설치하여 상하의 진공 펌프의 배기구와 흡기구를 배관으로 접속한 진공 배기 시스템이 기재되어 있다.

또한, 상술한 것 같은 방법으로 접속되는 진공 펌프에는, 단일의 케이싱 내에 형성된 공간을 구분하여 복수의 펌프실로 하는 것에 의해서 다단 구조로 하는, 다단 루트 진공 펌프가 많이 채용되고 있다. 다단 루트 진공 펌프에 대해서는, 각 단의 펌프실이 직렬이 되도록 접속되고 있는 것이 일반적이다(하기 특허문헌 1 참조).

일본 특개2002-364569호 공보

「에드워즈 진공 제품 종합 카탈로그 Revision3」, 에드워즈 주식회사, P54 「진공 기술과 차세대 발상의 알 백(ULVAC): 유회전 펌프 배기 장치 YM-VD/YM-VS시리즈(1580L/min~20000L/min)」, [online], 주식회사 알 백, [헤세이 22년 4월 16일 검색], 인터넷<URL: http://www.ulvac.co.jp/products/compo/F020006.html>

그런데, 상술한 것 같은 종래의 진공 배기 시스템에서, 각각의 진공 펌프는, 배기구 및 흡기구의 접속 사양 등, 일부의 사양을 제외하고, 각각 개별적으로 설계 제조되는 것이 일반적이다. 이러한 진공 펌프의 설치를 실시하는 경우, 한정된 설치 스페이스를 유효하게 사용하기 위해, 진공 배기 시스템을 설치하기 위한 설치 면적을 가능한 한 작게 하는 것이 요구되고 있다. 또한, 설치에 이용되는 프레임으로서, 가능한 한 단순화하여 내구성이 있는 프레임을 사용하는 것이 요구되고 있다. 또한, 압력 손실을 최저한으로 억제하기 위해서, 진공 펌프끼리를 접속하는 배관은, 짧고, 굵고, 곡선이 없게 접속하는 것이 요구되고 있다.

그렇지만, 주로 코스트의 문제로부터, 이러한 요구를 동시에 채우는 것은 어렵다. 예를 들면, 코스트를 고려하면, 프레임은 여러 가지 형상의 진공 펌프에 대응하기 위해서, 여유를 가진 치수이지 않을 수 없다. 또한, 진공 펌프를 소형으로 설계할 수 있어도, 설치 면적은 프레임에 의존해 커지는 등, 한정된 설치 스페이스를 유효하게 사용할 수 없었다.

본 발명은, 이러한 사정을 고려해서 된 것으로, 공간절약, 저비용을 할 수 있는 진공 배기 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 이하의 수단을 제공하고 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 진공 배기 장치의 연결 구조는, 펌프실과, 상기 펌프실을 구획하는 케이싱을 각각 구비하는 진공 배기 장치의 연결 구조이다.
상기 각 진공 배기 장치는, 상기 각 케이싱에 접속되는 모터를 각각 구비한다.

상기 연결 구조는, 상기 케이싱의 제1 측에 형성된 제1 단면과, 상기 케이싱의, 상기 제1 측과 반대측의 상기 제2 측에 형성된 제2 단면을 구비한다.

복수의 진공 배기 장치 중 제1 진공 배기 장치에 설치된 상기 제2 단면과, 상기 제2 진공 배기 장치에 설치된 상기 제1 단면이 접하도록, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱이 직접 포개지도록 배치되어 있다.

상기 제1 단면과 상기 제2 단면을 체결하는 것으로써, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱의 사이에 기체가 유통 가능하게, 상기 제1 진공 배기 장치 및 상기 제2 진공 배기 장치끼리 연결된다.

상기 복수의 진공 배기 장치는, 흡기부와, 배기부를 구비할 수 있다.

상기 흡기부는, 상기 펌프실과 연통하는 적어도 1개의 흡기구와, 흡기부 단면을 갖고, 상기 케이싱의 상기 제1 측에 형성되어 있다.

상기 배기부는, 상기 펌프실과 연통하는 적어도 1개의 배기구와, 배기부 단면을 갖고, 상기 케이싱의 상기 제2 측에 형성되어 있다.

상기 흡기부의 상기 흡기부 단면과 상기 배기부의 상기 배기부 단면이 접해 포개지도록, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱끼리 직접 포개지도록 배치되어 있다.

상기 제1 단면 및 상기 제2 단면의 체결에 의해, 상기 흡기부 단면과 상기 배기부 단면이 직접 접속되어, 상기 흡기구와 상기 배기구가 연통한다.

상기 연결 구조는, 복수의 대좌부(台座部)와, 복수의 각부(脚部)를 더 구비할 수 있다.

상기 복수의 대좌부는, 상기 제1 단면을 각각 포함하고, 상기 케이싱의 상기 제1 측에 형성되어 있다.

상기 복수의 각부는, 상기 제2 단면을 각각 포함하고, 상기 케이싱의 상기 제2 측에 형성되어 있다.

상기 복수의 대좌부와, 상기 흡기부는 독립하여 상기 케이싱에 형성되어 있을 수 있다. 또한, 상기 복수의 각부와, 상기 배기부는 독립하여 상기 케이싱에 형성되어 있을 수 있다.

상기 흡기부의 상기 흡기부 단면과 상기 복수의 대좌부는, 동일 평면상에 형성되고 있을 수 있다. 또한, 상기 배기부의 상기 배기부 단면과 상기 복수의 각부는, 동일 평면상에 형성되어 있을 수 있다.

상기 연결 구조는, 상기 흡기부 단면 또는 상기 배기부 단면에 설치되어, 상기 케이싱 내의 기밀을 유지하는 봉지 부재를 더 구비할 수 있다.

상기 연결 구조는, 상기 복수의 대좌부의 상기 제1 단면 또는 상기 복수의 각부의 상기 제2 단면에 설치된, 요철 형상을 가지는 위치 결정 기구를 더 구비할 수 있다.

상기 케이싱은, 상하 2개로 분할 가능한, 하측 케이싱과 상측 케이싱에 의해 형성될 수 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 진공 배기 시스템은, 연결된 복수의 진공 배기 장치를 구비하는 진공 배기 시스템에 있어서, 상기 복수의 진공 배기 장치는, 펌프실과, 상기 펌프실을 구획하는 케이싱을 각각 구비한다.

상기 케이싱은, 상기 케이싱의 제1 측에 형성된 제1 단면과, 상기 케이싱의, 상기 제1 측과 반대측의 상기 제2 측에 형성된 제2 단면을 가진다.

진공 배기 시스템.

상기 진공 배기 시스템은, 접속 유닛과, 적어도 상기 접속 유닛에 설치된 냉각 기구를 더 구비할 수 있다.

상기 접속 유닛은, 상기 복수의 진공 배기 장치의 각 케이싱의 외부에 설치되어, 상기 복수의 진공 배기 장치 중, 진공 배기의 대상 기기에 접속된 최전단의 진공 배기 장치보다 후단의 진공 배기 장치 중 하나에 구비되는 상기 펌프실과, 상기 복수의 진공 배기 장치 중 최후단의 진공 배기 장치의 상기 펌프실을 연통시킨다.

청구항 11 기재의 진공 배기 시스템에 있어서,

상기 접속 유닛은, 흡기측 경로 형성 부재와, 배기측 경로 형성 부재와, 배관 부재를 포함할 수 있다.

상기 흡기측 경로 형성 부재는, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 흡기구에 연통하는 흡기측 경로를 갖고, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속되어 있다.

배기측 경로 형성 부재는, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 배기구에 연통하는 배기측 경로를 갖고, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속되어 있다.

상기 배관 부재는, 상기 흡기측 경로 및 상기 배기측 경로에 연통하는 배관 경로를 갖고, 상기 흡기측 경로 형성 부재 및 상기 배기측 경로 형성 부재에 접속되어 있다.

상기 냉각 기구는, 상기 배기측 경로 형성 부재 및 상기 배관 부재 중 적어도 한편에 설치될 수 있다.

상기 복수의 진공 배기 장치는, 적층되도록 배치될 수 있다. 그 경우, 상기 배기측 경로 형성 부재는, 상기 복수의 진공 배기 장치 중 최하부인 상기 최후단의 진공 배기 장치의 하부에 배치된다.

상기 접속 유닛은, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 펌프실과 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 펌프실을 연통시킬 수 있다.

상기 복수의 진공 배기 장치 중 적어도 1개의 진공 배기 장치는, 상기 적어도 1개의 진공 배기 장치의 상기 케이싱 내에서 복수의 펌프실을 구획하도록, 상기 케이싱 내에 형성된 격벽을 가질 수 있다. 상기 냉각 기구는, 상기 격벽에 설치될 수 있다.

본 발명의 양태에 의하면, 프레임 등을 이용하는 일 없이, 진공 배기 장치의 케이싱끼리를 직접 연결하는 것이 가능하기 때문에, 공간절약 및 저비용을 실현할 수 있는 진공 배기 장치를 제공할 수 있다.

또한, 진공 배기 장치의 케이싱끼리 접속되기 때문에, 복수의 진공 배기 장치로 구성되는 시스템 전체의 강성이 높아지는 것과 동시에, 진공 배기 장치에서 발생하는 열을 분산시킬 수 있다.

[도 1]도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 진공 배기 시스템을 윗쪽에서 본 사시도이다.
[도 2]도 2는, 동 실시 형태에 관한 진공 배기 장치를 윗쪽에서 본 사시도이다.
[도 3]도 3은, 동진공 배기 장치를 하부에서 본 사시도이다.
[도 4]도 4는, 도 2의 C-C선에 따른 진공 배기치의 단면도이다.
[도 5]도 5는, 도 1의 A-A선에 따른 진공 배기 시스템의 단면도이다.
[도 6]도 6은, 도 1의 B-B선에 따른 진공 배기 시스템의 단면도이다.
[도 7]도 7은, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 진공 배기 시스템을 윗쪽에서 본 사시도이다.
[도 8]도 8은, 도 7의 G-G선에 따른 진공 배기 시스템의 단면도이다.
[도 9]도 9는, 도 7의 H방향에서 본 진공 배기 시스템의 측면도이다.
[도 10]도 10은, 베이스 유닛의 위에서 본 단면도이다.
[도 11]도 11은, 도 10에 도시한 L-L선 단면도이다.
[도 12]도 12는, 진공 배기 장치를 도시한 위에서 본 사시도이다.
[도 13]도 13은, 도 12에 도시한 진공 배기 장치를 아래에서 본 사시도이다.
[도 14]도 14는, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 진공 배기 시스템을 도시한 단면도이다.
[도 15]도 15는, 그 진공 배기 시스템의 접속 유닛의 일부를 구성하는 배관 부재를 도시한 측면도이다.
[도 16]도 16은, 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 진공 배기 시스템에 설치된 냉각 기구를 설명하기 위한 도면이다.

(제1 실시 형태)

이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 진공 배기 장치의 연결 구조를 채용한 진공 배기 시스템(10A)에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1 에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 진공 배기 시스템(10A)은, 2개의 진공 배기 장치(1A, 1B)를 연결시킨 시스템이다. 이 진공 배기 시스템(10A)은, 도시하지 않은 진공 챔버(chamber) 등의 배기 대상 기기에 접속된 진공 배기 장치(1A)의 흡기구(31A)로부터 흡기한 기체를 2개의 진공 배기 장치(1A, 1B)에 의해서 압축하고, 진공 배기 장치(1B)의 배기구(41B)(도 5 참조)로 배기하는 시스템이다.

진공 배기 시스템(10A)을 구성하는 진공 배기 장치(1A, 1B)는, 대략 동일한 외형의 케이싱을 구성요소로서 가지고 있다. 또한, 진공 배기 장치(1B)(제2 진공 배기 장치)에서, 부호 E(도 5 참조)로 도시한 평면에서, 직접적으로 진공 배기 장치(1A)(제1 진공 배기 장치)를 포개지도록 배치하는 것이 가능하다.

더불어, 진공 배기 장치(1B)에서 진공 배기 장치(1A)가 상하 방향(세로 방향)으로 적층되도록 포개지게 배치되는 것으로, 상측의 진공 배기 장치(1A)의 배기구(41A)(도 5 참조)와 하측의 진공 배기 장치(1B)의 흡기구(31B)를 배관을 개입하여 직접 접속할 수 있다.

이하, 각각의 진공 배기 장치(1A, 1B)에 대해 상세하게 설명한다. 진공 배기 장치(1A)와 진공 배기 장치(1B)는, 대략 동일한 구성이기 때문에, 진공 배기 장치(1B)에 대해 설명한다.

도 2~4에 도시한 바와 같이, 진공 배기 장치(1B)는, 상측 케이싱(25Ba)과 하측 케이싱(25Bb)으로 되는 케이싱(25B)과, 2개의 회전축(81, 81)(도 6 참조)과, 케이싱(25B)에 의해서 구획된 2개의 펌프실(21B, 22B)에 각각 수용된 고치형 로터(82a, 82b)와, 회전축(81, 81)을 구동하는 모터(8)를 가지는 루트 진공 펌프이다.

로터(82a, 82b)는 각각 한 쌍의 로터로 구성되고, 2개의 로터는 각각 회전축(81) 상에 배열되어, 각 펌프실(21B, 22B)에 수용되어 있다. 한 쌍의 로터는, 각각의 로터의 회전축(81, 81)의 축단에 설치된 구동 기어(85)에 의해 서로 반대 방향으로 동기 회전한다.

케이싱(25B)은, 2개의 펌프실(21B, 22B)을 구획하는 것과 동시에, 진공 배기 장치(1B)의 외형을 형성한다. 또한, 회전축(81, 81)은, 베어링(83, 84)에 의해서 지지를 받고 있다.

펌프실(21B)과 펌프실(22B)은, 접속 배관(29)을 개입시켜 진공 배기 장치(1B)를 구성하는 케이싱(25B)의 내부에서 직접 접속된다. 펌프실(21B)은 케이싱(25B)의 상부에 형성된 흡입구(31B)와 연통되어 있다. 펌프실(22B)은, 케이싱(25B)의 하부에 형성된 배기구(41B)와 연통되어 있다.

다음으로, 진공 배기 장치(1B)를 구성하는 케이싱(25B)에 대해 설명한다. 케이싱(25B)은, 후술하는 바와 같이, 상하 2개로 분할된느 구조이며, 상부(제1 측)에 흡기구(31B)를 가지는 흡기부(3)가 형성되고, 하부(제2 측)에 배기구(41B)를 가지는 배기부(4)가 형성되어 있다. 또한, 케이싱(25B)의 상부(제1 측)에는 4개의 대좌부(5)가 형성되고, 하부(제2 측)에는 4개의 각부(6)가 형성되어 있다.

케이싱(25B)은, 펌프실(21B, 22B)의 형상에 의존하는 타원 원통 형상을 가지고 있다. 흡기부(3), 배기부(4), 대좌부(5), 각부(6)는, 상기 케이싱(25B)과 일체로 형성되어 있다. 구체적으로, 이것들은, 주조에 의해서 일체로 형성되는 것이 바람직하다.

진공 배기 장치(1B)는, 케이싱(25B)의 긴 방향(회전축(81)의 축방향)이 수평이 되도록 설치된다. 또한, 이하의 설명에서, 2개의 회전축(81)을 포함하는 평면을 수평 중심면이라고 칭한다(도 4에 D로 도시하였다).

케이싱(25B)은, 상측 케이싱(25Ba)과 하측 케이싱(25Bb)에 의해 2개로 분할되어 있다. 상측 케이싱(25Ba)과 하측 케이싱(25Bb)은, 볼트·너트 등의 체결 부재에 의해서 체결되고, 상하 케이싱(25Ba, 25Bb)을 조합하는 것에 의해서 모터(8) 측의 베어링 케이스(86) 및 반모터측 베어링 케이스(87)를 보관 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 상하 케이싱(25Ba, 25Bb)을 조합하는 것에 의해서, 반모터측 베어링(84), 및 기름받이판(88)을 포함하는 공간(89)을 밀폐시킬 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서, 분할면은, 상기 수평 중심면(D)과 대략 일치한다.

흡기부(3)는, 케이싱(25B)의 상부에, 상방향으로 돌출하도록, 케이싱(25B)(상측 케이싱(25Ba)과 일체로 형성되어 있다. 흡기부(3)는, 상기 수평 중심면(D)과 평행한 단면(흡기부 단면)(3a)을 갖고, 상기 단면(3a)은, 케이싱(25B)의 긴 방향을 따르는 길이를 갖는 대략 구형 형상을 이루고 있다.

또한, 흡기부(3)에는, 흡기구(31B)가 설치되어 있다. 흡기구(31B)는 단면(3a)에 개구되고, 펌프실(21B)에 연통하고 있다. 또한, 흡기부(3)의 단면(3a)의 약간 안쪽에는, 단면(3a)의 외형에 따라서 도랑(36)이 형성되어 있다. 도랑(36)에는, O링(53)(봉지 부재)이 끼워넣어지고 있다.

배기부(4)는, 케이싱(25B)의 하부에, 하방향으로 돌출하도록, 케이싱(25B)(하측 케이싱(25Bb))과 일체로 형성되어 있고, 흡기부(3)와 같이, 수평 중심면(D)과 평행한 단면(배기부 단면)(4a)을 가지고 있다. 배기부(4)에는, 배기구(41B)가 설치되어 있다. 배기구(41B)는, 단면(4a)에 개구되고, 펌프실(22B)에 연통되어 있다.

흡기부(3)의 단면(3a)과, 배기부(4)의 단면(4a)은, 평면에서 보았을 때, 대략 같은 형상이다.

대좌부(5)는, 케이싱(25B)(상측 케이싱(25Ba))의 상부이며, 평면에서 보았을 때 최외부에 4개소 설치되어 있는 돌기 형상의 대좌(台座)이다. 대좌부(5)는, 진공 배기 장치(1B)의 상방향으로 돌출하는 돌기형상의 형상을 가지고 있다. 4개의 대좌부(5)는, 각각 그 상단이 면(51)(이하, 제1 단면(51)이라 칭한다)을 형성하고 있다. 4개의 제1 단면(51)은, 동일 면 상에 형성되어 있다.

또한, 대좌부(5)의 제1 단면(51)과 전술한 흡기부(3)의 단면(3a)은, 동일 면 상에 형성되어 있다. 다만, 대좌부(5)는, 흡기부(3)와 독립해서 설치되어 있다. 즉, 대좌부(5)의 제1 단면(51)과, 흡기부(3)의 단면(3a)과는 이간하여 형성되어 있다.

각부(6)는, 케이싱(25B)(하측 케이싱(25Bb))의 하부에서, 평면에서 보았을 때 최외부에 4개소 설치되고 있는 돌기 형상의 다리이다. 각부(6)는, 진공 배기 장치(1B)의 하방향으로 돌출하는 돌기 형상의 형상을 가지고 있다. 또한, 평면에서 보았을 때의 위치는, 상기 대좌부(5)와 대략 같다. 4개의 각부(6)는, 각각 그 하단이 면(61)(이하, 제2 단면(61)이라 칭한다)을 형성하고 있다. 4개의 제2 단면(61)은, 동일 면 상에 형성되어 있다.

또한, 각부(6)의 단면(61)과 배기부(4)의 단면(4a)은, 동일 면 상에 형성되어 있다. 다만, 각부(6)는, 배기구(4)와 독립해서 설치되어 있다. 즉, 각부(6)의 단면(61)과 배기부(4)의 단면(4a)은 이간하여 형성되어 있다.

또한, 대좌부(5)와 각부(6)는, 측면을 통로면으로 한 중공형상으로 형성되어 있고, 각각의 단면(51, 61)에는 체결구멍(54)이 형성되어 있다.

또한, 도 2, 3에 도시한 바와 같이, 대좌부(5)에는 돌기부(52)(위치 결정 기구)가 설치되어 있다. 이것에 대응하여, 각부(6)에는 위치 결정구멍(62)(위치 결정 기구)이 형성되어 있다.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 진공 배기 장치(1A)는, 펌프실(21A, 22A)의 배치 이외에는 진공 배기 장치(1B)와 대략 동일한 구성이다.

도 5에 도시한 바와 같이, 진공 배기 시스템(10A)은, 진공 배기 장치(1B)의 윗쪽에 진공 배기 장치(1A)를 직접 포개지는 시스템이다. 이 때, 진공 배기 장치(1B)의 흡기부(3)의 단면(3a)과 진공 배기 장치(1A)의 배기부(4)의 단면(4a)이 당접하도록 포개질 수 있다. 또한, 진공 배기 장치(1A)의 배기구(41A)와 진공 배기 장치(1B)의 흡기구(31B)는, 평면에서 보았을 때 대략 같은 위치에 형성되어 있다.

상기 실시 형태에 의하면, 진공 배기 장치(1A, 1B)는, 부호 E(도 5 참조)로 도시한 평면에서 상하 방향으로 직접 포개지도록 배치하는 것이 가능하고, 진공 배기 장치(1B)의 흡기부(3)의 단면(3a)에, 진공 배기 장치(1A)의 배기구(4)의 단면(4a)을 접하여 포개지도록, 진공 배기 장치(1B)의 바로 윗쪽에 진공 배기 장치(1A)를 재치할 수 있다. 이것에 의해, 진공 배기 장치(1A)의 배기구(41A)와 진공 배기 장치(1B)의 흡기구(31B)를 기체유통적으로 연통시킬 수 있다.

즉, 진공 배기 장치(1A)의 흡입구(31A)로부터 유입된 기체는, 펌프실(21A 및 22A)에서 압축되어, 배기구(41A)에서 배기된다. 그 다음으로, 기체는 진공 배기 장치(1B)의 흡입구(31B)를 개입시켜 펌프실(21B 및 22B)에서 압축되어, 배기구(41B)에서 배기된다. 압축 시에는, 기체는, 케이싱(25)과 로터(82) 사이의 공간에 갇히고, 로터(82)의 회전으로 배기측으로 배출된다.

이것에 의해, 진공 배기 장치(1A, 1B)끼리를 연결하는 배관을 마련할 필요가 없어져서, 연결되는 펌프실 간의 거리가 짧아지기 때문에, 압력 손실을 억제할 수 있다.

진공 배기 장치(1A, 1B)를 구성하는 케이싱(25A, 25B)끼리 접속되기 때문에, 복수의 진공 배기 장치로 구성되는 시스템 전체의 강성이 높아지는 것과 동시에, 진공 배기 장치(1A, 1B)로부터 발생되는 열을 분산시킬 수 있다.

또한, 케이싱(25)에서, 상하의 케이싱(25a, 25b)를 조합하는 것으로, 베어링 케이스(86, 87)를 보관 유지하고, 반모터측의 공간(89)을 형성하는 (커버의 역할을 한다) 구성으로 한다. 이것에 의해, 부품수를 삭감하는 것이 가능해지는 것과 동시에, 케이싱(25) 전체로 베어링 케이스(86, 87)를 보관 유지하기 때문에, 배기 운전 시의 진공 배기 장치(1A, 1B)의 변형을 억제할 수 있다.

또한, 대좌부(5)의 제1 단면(51)과 각부(6)의 제2 단면(61)은, 평면에서 보았을 때, 대략 같은 위치에 형성되어 있기 때문에, 진공 배기 장치(1A)와 진공 배기 장치(1B)를 상하 방향으로 배치하는 것에 의해서, 대좌부(5)의 제1 단면(51)과 각부(6)의 제2 단면(61)이 접해 포개질 수 있다. 이 상태로, 대좌부(5)와 각부(6)를 볼트 너트 등의 체결 부재(91)에 의해서 체결하는 것에 의해서, 진공 배기 장치(1A)와 진공 배기 장치(1B)를 확실히 고정할 수 있다.

흡기부(3)의 단면(3a)에 형성되어 있는 도랑(36)에, O링(53) 등의 봉지 부재를 배치하는 것에 의해서, 흡기부(3)와 배기부(4)를 접속했을 때의 기밀 상태를 향상시킬 수 있다.

또한, 이 도랑(36)은, 흡기부(3)측이 아니고, 배기부(4)측(이 경우, 진공 배기 장치(1A)의 케이싱(25A)의 배기부측)에 설치하는 것도 가능하다.

진공 배기 장치(1A, 1B)를 연결했을 때, 대좌부(5)의 돌기부(52)와 각부(6)의 위치 결정구멍(62)을 서로 끼울 수 있기 때문에, 위치 결정을 용이하게 할 수 있다. 돌기부(52) 및 위치 결정구멍(62)은, 모든 각부(6) 및 대좌부(5)에 마련하는 것이 바람직하지만, 적어도 2개소에 마련할 수 있다.

또한, 케이싱(25) 내부에 구획되는 펌프실의 수는, 1개일 수 있고, 3개 이상이어도 가능하며, 사양에 의해서 자유롭게 설정할 수 있다.

또한, 진공 배기 장치는, 상술한 것과 같은 루트형 진공 펌프에만 한정될 것은 아니고, 케이싱에 흡기구와 배기구를 구비하는 것과 같은 구조로 할 수 있는 진공 펌프이면, 어떠한 진공 펌프를 채용할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 대좌부(5)와 각부(6)는, 4개 설치되어 있지만, 이것에 한정할 것은 아니고, 대좌부(5)가 각부(6)를 확실히 지지할 수 있으면, 어떠한 구성이어도 가능하다.

또한, 대좌부(5)가 각부(6)를 확실히 지지할 수 있으면, 대좌부(5)의 제1 단면(51)과 흡기부(3)의 단면(3a)은 이간하여 형성하지 않고 일체로 성형될 수 있다. 마찬가지로, 각부(6)의 제2 단면(61)과 배기부(4)의 단면(4a)에 관해서도, 일체로 성형될 수 있다.

(제2 실시 형태)

다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 진공 배기 시스템(10B)에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 7에 도시한 바와 같이, 진공 배기 시스템(10B)은, 도시하지 않은 진공 챔버(chamber) 등의 배기 대상 기기에 접속된 흡기구(11)로부터 흡기한 기체를 3개의 진공 배기 장치(1C, 1D, 1E)에 의해서 압축하여, 배기구(12)에서 배기하는 시스템이다.

도 7, 도 8에 도시한 바와 같이, 진공 배기 시스템(10B)을 구성하는 진공 배기 장치(1C, 1D, 1E)는, 직접 포개지도록 배치하는 것이 가능하다. 구체적으로는, 진공 배기 장치(1C, 1D, 1E)를 구성하는 케이싱끼리를 직접 접속하는 것이 가능하다.

도 8에 도시한 바와 같이, 3개의 진공 배기 장치(1C~1E) 중, 최전단의 진공 배기 장치(1C)는, 케이싱 내에 단일의 펌프실(21C)를 가지는 메카니컬 부스터 펌프이다. 진공 배기 장치(1C)는, 도시하지 않은 진공 챔버(chamber) 등의 배기 대상 기기와 접속되어 있다.

최전단부터 후단의 진공 배기 장치(1D, 1E)는, 다단 루트 진공 펌프이며, 각각이 복수의 펌프실을 구비하고 있다. 또한, 진공 배기 장치(1D, 1E)는, 복수의 펌프실에 대해서, 복수의 흡기구 및 배기구를 구비하고 있다. 즉, 본 실시 형태의 진공 배기 장치(1D(1E))를 구성하는 복수의 펌프실은, 그 모든 펌프실이 직렬이 되도록 접속되어 있지 않다.

바꾸어 말하면, 복수의 펌프실 중 적어도 2개의 펌프실은, 같은 케이싱에 형성된 다른 펌프실과 접속되어 있지 않다. 또한, 이 펌프실은, 흡기구 및 배기구의 양쪽 모두를 각각 개별적으로 가지고 있다.

진공 배기 장치(1D)의 펌프실(21D)은, 같은 진공 배기 장치(1D)의 다른 펌프실(22D, 23D)과는 접속되지 않고, 펌프실(21D)에 직접 연통하는 배기구(41D)를 개입시키고, 진공 배기 장치(1E)의 펌프실(21E)과 접속되어 있다.

또한, 진공 배기 장치(1D)와 진공 배기 장치(1E)는, 배관 등을 사용하지 않고, 부호 J로 도시한 평면에서 직접 연결하고 있다.

또한, 진공 배기 시스템(10B)은, 진공 배기 장치(1)끼리의 접속을 보충하는 접속 유닛(7)(매니폴드)을 구비하고 있다. 접속 유닛(7)은, 흡기측 경로 형성 부재(제1 접속 부재)(71), 배기측 경로 형성 부재(제2 접속 부재)로서의 베이스 유닛(72), 배관 부재(73), 및 밸브 유닛(74)(밸브 집합체)로 분할되어 있다. 이것들이, 진공 배기 장치(1C~1E)와 조합되는 것으로, 진공 배기 장치(1C~1E)를 구성하는 복수의 펌프실을 접속하는 접속 배관이 완성되어, 진공 배기 시스템(10B)으로서 기능한다.

흡기측 경로 형성 부재(71)는, 진공 배기 장치(1C)와 진공 배기 장치(1D) 사이에 개재하도록 배치되어 있는 블록 형상의 부재이다. 흡기측 경로 형성 부재(71)에는, 진공 배기 장치(1C)의 펌프실(21C)과 진공 배기 장치(1D)의 펌프실(21D)을 접속하는 경로(75)(도 8 참조)가 형성되어 있는 것과 동시에, 배관 부재(73)와 진공 배기 장치(1D)의 펌프실(22D, 23D)을 접속하는 흡기측 경로(접속 경로)(76)(도 9 참조)가 형성되어 있다. 배관 부재(73)는, 흡기측 경로 형성 부재(71)의 측부에 연결되어, 배관 부재(73) 내에 형성된 배관 경로(78)가 흡기측 경로(76)와 접속된다. 흡기측 경로(76)는, 도 8의 부호 76a, 76b로 도시한 2개의 경로로 구성되어 있다.

도 12는, 진공 배기 장치(1E)(1D일 수 있다)를 도시한 위에서 본 사시도이다. 도 13은, 이것을 아래에서 본 사시도이다. 진공 배기 장치(1E)의 케이싱은, 상기와 같이 상하 분할 구조가 되고, 상측 케이싱(25Ea), 하측 케이싱(25Eb)을 구비한다. 상측 케이싱(25Ea)에 흡기부(103)가 설치되고(도 12 참조), 하측 케이싱(25Eb)에 배기부(104)가 설치되어 있다. 흡기부(103)의 단면(103a)에는, O링(53)이 끼워넣어지는 것 외에도, 도시하지 않은 개스킷이 도포되어 있다. 개스킷은, 서로 이웃이 되는 흡기구(31E, 32E, 33E)끼리의 연통을 차단하기 위한 씰 부재이다.

이 진공 배기 시스템(10B)의 제조시, 예를 들면, 페이스트상의 개스킷이 흡기부(103)의 단면(103a)에 도포된 후, 상기 케이싱(25E)의 단면(103a)과, 진공 배기 장치(1D)의 케이싱의 배기부의 단면이 당접하는 것으로, 이것들이 접속된다. 개스킷의 재료로서는, 실리콘계, 불소계 등의 내부식성의 고무가 이용되지만, 이것들에 한정되지 않는다.

이와 같이 도포식의 개스킷과 같은, 간단하고 쉬운 씰 부재가 이용되는 것으로, 코스트를 저감하고, 좁은 흡기부(103) 내에서 가능한 한 넓은 개구면적을 가지는 흡기구(31E, 32E, 33E)를 확보할 수 있다. 이와 같이 간단하고 쉬운 씰 부재가 이용되어, 서로 이웃이 되는 흡기구끼리에서 기체의 리크가 있었다고 해도, 그 리크의 정도는 배기 속도에 대해서 충분히 작은 리크 속도이면 문제 없다.

이상의 설명으로는 개스킷이, 흡기부(103)의 단면(103a)에 도포되는 예를 설명했지만, 물론, 배기부(104)의 단면(104a)에 도포되는 것도 가능하다.

예를 들면, 단면(103a 및 104a)의 평면도가 높은 경우에, 기체의 리크 속도가 충분히 작으면, 이 도포식의 개스킷은 불필요하다.

베이스 유닛(72)은, 진공 배기 장치(1E)의 저면, 즉, 그 하부에 연결하도록 배치되어 있고, 진공 배기 시스템(1E)을 구성하는 펌프실, 배관 부재(73), 및 밸브 유닛(74)에 접속되어 있다. 베이스 유닛(72)에는, 진공 배기 장치(1C)의 펌프실과 배관 부재(73)를 접속하는 것과 동시에, 진공 배기 장치(1E)의 펌프실과 밸브 유닛(74)을 접속하는 배기측 경로(접속 경로)(77)(도 9 참조)가 형성되어 있다. 진공 배기 장치(1E), 배관 부재(73), 및 밸브 유닛(74)은, 모두 베이스 유닛(72)의 표면에 접속되어 있고, 베이스 유닛(72)이 진공 배기 시스템(10B) 전체를 지지하는 구조가 된다.

배기측 경로(77)는, 배관 부재(73)의 배관 경로(78)에 접속되는 2개의 경로(77a, 77b)(도 8 참조)와, 진공 배기 장치(1E)의 펌프실(24E)과 연통하는 배기구(43E)와 밸브 유닛(74)을 접속하는 경로(77c)의 3개의 경로를 가진다.

배관 부재(73)는 배관 형상의 부재이며, 그 내부에는, 진공 배기 장치(1E)의 배기구와 진공 배기 장치(1D)의 흡기구를 접속하는 상기의 배관 경로(78)가 형성되어 있다. 배관 경로(78)는, 흡기측 경로 형성 부재(71)의 경로(76a, 76b)(도 8 참조)에 대응하는 2개의 경로에 대응하고, 길이 방향을 따르는 분할면에 의해서 2개로 분할되어 있다.

도 10은, 베이스 유닛(72)을 위에서 본 단면도이다. 도 11은, 도 10에 도시한 L-L선 단면도이다. 베이스 유닛(72)의 블록(725)의 표면에는, 진공 배기 장치(1E)의 케이싱에 접속되는 펌프 접속부(721)와, 배관 부재(73)에 접속되는 배관 접속부(722)와, 밸브 유닛(74)에 접속되는 밸브 유닛 접속부(723)가 형성되어 있다. 이 펌프 접속부(721), 배관 접속부(722), 밸브 유닛 접속부(723)의 주위에 각각 형성된 둘레 형상의 도랑에, O링 등의 씰 부재(721d, 722d, 723d)가 각각 끼워넣어지고 있다.

펌프 접속부(721)에는, 3개의 연통구(721a, 721b, 721c)가 배열되도록 형성되어 있다. 이 3개의 연통구(721a, 721b, 721c)는, 진공 배기 장치(1E)의, 배기구(41E, 42E, 43E)와, 각각 연통하고 있다. 배관 접속부(722)에는, 2개의 연통구(722a, 722b)가 형성되고, 이 연통구(722a, 722b)는, 배관 부재(73)의 배관 경로(78)에 연통하고 있다. 또한, 밸브 유닛 접속부(723)에는, 3개의 연통구(723a, 723b, 723c)가 배열되도록 형성되어 있다.

연통구(721a, 722a, 723a)의 모두가 배기측 경로(77) 중 경로(77a)와 연통하고 있다. 연통구(721b, 722b, 723b)의 모두가 배기측 경로 중 경로(77b)와 연통하고 있다. 연통구(721c, 723c)의 모두가 배기측 경로 중 경로(77c)와 연통하고 있다. 이러한 구성은, 도 9를 참조하면 이해하기 쉽다.

밸브 유닛(74)은, 진공 배기 시스템(10B) 전체의 배기구인 총배기구(12)를 가지고 있다. 도 11의 단면도에 도시한 바와 같이, 밸브 유닛(74)에는, 복수의 밸브(79)(역지 밸브)가 설치되어 있다. 이로 인해, 진공 배기 장치(1E)를 구성하는 펌프실에서 있어서, 배기구(41E, 42E, 43E)와 직접 접속되고 있는 펌프실(21E, 22E, 24E) 중 임의의 펌프실로부터 개별적으로 배기가 가능해진다.

밸브 유닛(74)이 설치되는 것으로, 펌프에 의한 과압축을 방지하여, 모터(8)에 의한 동력 전달의 로스를 억제할 수 있다.

복수의 밸브(79)는, 볼 형상이어도 가능하고, 압력을 개별의 값으로 조정 가능한 조정 밸브여도 가능하다. 각 밸브(79)가, 개별의 압력으로 조정 가능한 조정 밸브인 경우, 적당 압력이 설정되어, 유저에 의해 사용되는 압력 대역을 펼칠 수 있다.

이와 같이 베이스 유닛(72) 및 밸브 유닛(74)이, 최후단의 진공 배기 장치(1E)의 하부, 즉, 진공 배기 시스템(10B)의 최하부에 배치되어 있다. 이것에 의해, 진공 배기 시스템(10B)의 중심을 가능한 한 하부에 배치시키는 것이 가능하고, 상하 적층에 의한 다단의 진공 배기 시스템(10B)의 설치 안정성을 높일 수 있다.

다음으로, 도 8을 참조하여 본 실시 형태에서의 각 진공 배기 장치를 구성하는 복수의 펌프실의 구성, 및 펌프실의 접속 순서에 대해 설명한다.

최상단에 위치하는 진공 배기 장치(1C)는, 1개의 펌프실(21C)을 가지는 메카니컬 부스터 펌프이며, 펌프실(21C)은, 흡기구(11), 및 배기구(41C)를 구비하고 있다.

진공 배기 장치(1D)는, 3개의 펌프실(21D, 22D, 23D)을 가지고 있다. 3개의 펌프실(21D, 22D, 23D)은, 각각 상술한 3개의 흡기구(31D, 32D, 33D), 및 3개의 배기구(41D, 42D, 43D)를 구비하고 있다.

진공 배기 장치(1E)는, 4개의 펌프실(21E, 22E, 23E, 24E)를 구비하고, 3개의 흡기구(31E, 32E, 33E), 및 3개의 배기구(41E, 42E, 43E)를 구비하고 있다. 진공 배기 장치(1E)의 4개의 펌프실 중, 2개의 펌프실(23E, 24E)은, 접속 배관(29)을 개입시켜 진공 배기 장치(1E)를 구성하는 케이싱의 내부에서 직접 접속되어 있다.

접속 유닛(7)은, 흡기측 경로 형성 부재(71)와 베이스 유닛(72)과 배관 부재(73)가 협동하고, 진공 배기 장치(1E)의 배기구(41E)와 진공 배기 장치(1D)의 흡기구(32D)를 접속하도록 구성되어 있다. 동일하게, 접속 유닛(7)은, 진공 배기 장치(1E)의 배기구(42E)와 진공 배기 장치(1D)의 흡기구(33D)를 접속하도록 구성되어 있다.

또한, 접속 유닛(7)은, 진공 배기 장치(1E)의 배기구(43E)와 밸브 유닛(74)을 접속하도록 구성되어 있다.

다음으로, 도 8을 참조하여, 실제 기체의 흐름을 설명한다.

우선, 흡기구(11)로부터 진공 배기 장치(1C)로 유입된 기체가, 펌프실(21C)에서 압축되어, 배기구(41C)로부터 배기된다. 다음으로, 기체는, 진공 배기 장치(1D)의 펌프실(21D)로 유입되어 압축된다. 그 다음으로, 기체는, 펌프실(21D)과 직접 접속되어 있는 진공 배기 장치(1E)의 펌프실(21E)로 유입된다. 펌프실(21E)로부터 배기된 기체는, 베이스 유닛(72)에 형성된 배기측 경로(77)의 경로(77a)로 유입된다. 이상의 기체의 흐름을 도 8의 화살표 F1로 도시한다.

베이스 유닛(72)에 유입된기체는, 배관 부재(73)를 개입시키고, 진공 배기 장치(1D)의 펌프실(22D)로 유입된다. 도 9에, 베이스 유닛(72)으로부터 배관 부재(73)를 개입시키고, 기체가 진공 배기 장치(1D)의 다른 펌프실에 되돌려지는 흐름을 도시한다(화살표 F4).

펌프실(22D)에 유입된 기체는, 도 8의 화살표 F2에 도시한 바와 같이, 베이스 유닛(72)에 이르는 경로에서 압축된다. 그 다음으로, 도 8의 화살표 F3으로 도시한 경로에서 압축된 기체는, 최종적으로, 밸브 유닛(74)에 이끌려, 배기구(12)로부터 배기된다.

또한, 밸브 유닛(74)에 설치된 복수의 밸브(79)를 조작하는 것에 의해서, 진공 배기 장치(1E)의 펌프실(21E 또는 22E)로부터 배기하는 것이 가능하다.

상기 실시 형태에 의하면, 연결된 복수의 진공 배기 장치 중, 일단 측에 배치된 진공 배기 장치(1D)의 흡기구(32D, 33D)와, 타단 측에 배치된 진공 배기 장치(1E)의 배기구(41E, 42E)를 접속하는 것에 의해서, 타단 측에 배치된 진공 배기 장치(1E)로부터 배기된 기체를 일단 측에 배치된 진공 배기 장치(1D)에 유입시키는 구성이 된다.

이것에 의해, 복수의 펌프실을 가지는 복수의 진공 배기 장치를 접속하여 기체의 압축을 실시할 때, 펌프실의 배치의 자유도가 높아지기 때문에, 제1 실시 형태의 효과에 가세해, 보다 효율적인 진공 배기 시스템을 구축하는 것이 가능해진다.

또한, 밸브 유닛(74)을 베이스 유닛(72)에 직접 접속하는 것으로, 임의의 펌프실로부터의 배기가 용이해지기 때문에, 번잡한 배관 접속이 불필요하게 되어 장치의 최적화와 소형화를 양립할 수 있다.

(제3 실시 형태)

도 14는, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 진공 배기 시스템을 도시한 단면도이다. 도 15는, 상기 진공 배기 시스템의 접속 유닛의 일부를 도시한 측면도이며, 각 진공 배기 장치의 로터의 회전축에 직교하는 방향에서 본 도면이다. 본 실시 형태에 관한 진공 배기 시스템(10C)과, 예를 들면, 상기 제2 실시 형태에 관한 진공 배기 시스템(10B)의 다른 점은, 진공 배기 시스템(10C)이 냉각 구조를 구비하고 있는 점이다.

냉각 기구는, 예를 들면, 냉매를 유통시키는 냉각관(15)이다. 냉각관(15)은, 진공 배기 시스템(10C)의 각 케이싱(25C, 25D, 25E)의 복수의 개소, 모터(8)의 모터 하우징(8a), 또한, 도 15에 도시한 바와 같이, 배관 부재(173)에 설치되어 있다. 케이싱(25C, 25D, 25E)에 설치된 냉각관(15)은, 예를 들면, 베어링의 근방 및 격벽(16) 등에 삽통되도록 설치되어 있다. 격벽(16)은, 진공 배기 장치(1D(1E))에서, 1개의 케이싱(25D(25E)) 내에서의 복수의 펌프실(21D~23D(21E~23E))를 구획하는 기능을 가진다. 이러한 냉각 기구에 의해서, 진공 배기 시스템(10C)을 효율적으로 냉각할 수 있다.

특히, 격벽(16)에 냉각관(15)이 설치되는 것으로, 냉각하기 어려운 케이싱의 내부까지 냉각할 수 있다.

도 15에 도시한 바와 같이, 배관 부재(173)의 측면에는, 냉각관(15)의 일부를 보관 유지하는 보관 유지 박스(173a)가 접속되고 있다. 냉각관(15)은, 이 보관 유지 박스(173a) 내에서, 1회 턴 하는 U자형 모양으로 형성되어 있다. 그러나, 냉각관(15)은, U자형 모양에 한정되지 않고, 그 형상이나 길이의 설계의 변경이 가능하다.

또한, 상기와 같이 복수 개소에 설치된 냉각관(15)은, 입구 및 출구를 1개씩 가지는 1개의 관에서 연결되도록, 즉, 1 계통의 유로로서 구성될 수 있다. 혹은, 냉각관(15)은, 복수의 계통의 유로로 구성되도록, 복수의 관으로 구성되는 것도 가능하다.

(제4 실시 형태)

도 16은, 본 발명의 제4 실시 형태를 설명하기 위한 도면이며, 진공 배기 시스템의 일부 구조를 도시한 단면도이다. 이것은, 상기 제2 실시 형태에 관한 베이스 유닛(72)에 냉각 기구를 가세한 베이스 유닛(172)이다.

상기 냉각 기구는, 냉각관(15)의 타측, 배기측 경로(177a, 177b, 177c)에 각각 설치된 냉각 핀(115)을 가진다. 냉각 핀(115)은, 예를 들면, 상기 베이스 유닛(172)의 블록에 일체로 성형에 의해 형성된다. 냉각관(15)은, 상기 배기측 경로(177a, 177b, 177c)의 하부에 배치되어, 베이스 유닛(172)의 블록에 삽통되어서 설치되어 있다.

진공 배기 시스템에서는, 배기측에서 기체가 압축되기 때문에, 흡기측과 비교하여, 고온이 된다. 냉각 기구가 진공 배기 시스템의 배기측인 베이스 유닛에 설치되는 것으로, 기체의 압축에 의해 발생하는 열을 효율적으로 냉각할 수 있다.

본 실시 형태에서는, 냉각 기구로서 냉각 핀(115)이 설치되었지만, 이것은 없어도 가능하다.

본 기술은, 이상 설명한 실시 형태로 한정되지 않고, 다른 여러 가지의 실시 형태를 실현할 수 있다.

케이싱(25)의 외형상은, 타원 원통 형상에만 한정하는 것은 아니고, 특히, 소배기량의 진공 펌프이면, 펌프실의 형상에 의존하지 않는 형상, 예를 들면, 블록 형상이라도 가능하다.

상기 실시 형태에서는, 복수의 진공 배기 장치를 세로 방향으로 쌓아 올릴 수 있도록 배치되어 있었지만, 가로 방향으로 적층하는 것도 가능하며, 세로 및 가로의 양쪽 모두에 배치되어 있는 것도 가능하다.

상기 실시 형태에 관한 진공 배기 시스템은, 2개 또는 3개의 진공 배기 장치를 구비하고 있었지만, 세로 및/또는 가로 방향으로 배열되어 접속되는 4개 이상의 진공 배기 장치를 구비하는 것도 가능하다.

상기와 같이, 3개 이상, 혹은, 4개 이상의 진공 배기 장치가 설치되는 형태에서, 상기 제2(또는 제3, 4) 실시 형태를 적용하는 경우, 상기 4개 이상의 진공 배기 장치 중 인접하는 2개의 진공 배기 장치의 케이싱을 서로 접속하도록, 배관 부재(73)와 같은 외부 배관의 기능을 가지는 배관 부재가 접속되고 있을 수 있다. 혹은, 상기 4개 이상의 배기 장치 중 인접하지 않는 2개의 진공 배기 장치의 케이싱을 서로 접속하도록, 배관 부재(73)와 같은 외부 배관의 기능을 가지는 배관 부재가 접속되고 있을 수 있다.

진공 배기 시스템이, 4개 이상의 진공 배기 장치를 구비하는 경우에, 예를 들면, 배관 부재(73)와 같은 외부 배관의 기능을 가지는 배관 부재가 복수 설치되어 있을 수 있다.

도 16에 도시한 냉각 기구가, 예를 들면, 도 8 또는 도 14에 도시한 바와 같이, 최전단의 진공 배기 장치(1C)와, 그 다음의 단의 진공 배기 장치(1D)와의 사이에 설치될 수 있다.

도 16에 도시한 냉각 기구로 설치된 냉각 핀은, 상기한 격벽(16)에 형성되어 있을 수 있다.

1A~1E: 진공 배기 장치
3, 103: 흡기부
3a, 103a: 단면
4, 104: 배기부
4a, 104a: 단면
5: 대좌부(台座部)
6: 각부(脚部)
21~24: 펌프실
25A, 25B: 케이싱
25Ba, 25Ea: 상측 케이싱
25Bb, 25Eb: 하측 케이싱
31~33: 흡기구
41~43: 배기구
51: 제1 단면
52: 돌기부(위치 결정 기구)
53: 봉지 부재
61: 제2 단면
62: 위치 결정구멍(위치 결정 기구)

Claims

펌프실과, 상기 펌프실을 구획하는 케이싱을 각각 구비하는 진공 배기 장치의 연결 구조에 있어서,
상기 각 진공 배기 장치는, 상기 각 케이싱에 접속되는 모터를 각각 구비하고,
상기 연결 구조는,
상기 케이싱의 제1 측에 형성되고 복수의 대좌부(台座部)가 형성된 제1 단면과,
상기 케이싱의 상기 제1 측과 반대측의 제2 측에 형성되고 복수의 각부(脚部)가 형성된 제2 단면을 구비하고,
복수의 진공 배기 장치 중 제1 진공 배기 장치에 설치된 상기 제2 단면과, 제2 진공 배기 장치에 설치된 상기 제1 단면이 접하도록, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱이 직접 포개지도록 배치되어,
상기 제1 단면과 상기 제2 단면을 체결하는 것으로써, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱의 사이에 기체가 유통 가능하게, 상기 제1 진공 배기 장치 및 상기 제2 진공 배기 장치끼리 연결되는,
연결 구조.
제1항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치는,
상기 펌프실과 연통하는 적어도 1개의 흡기구와, 흡기부 단면을 갖고, 상기 케이싱의 상기 제1 측에 형성된 흡기부와,
상기 펌프실과 연통하는 적어도 1개의 배기구와, 배기부 단면을 갖고, 상기 케이싱의 상기 제2 측에 형성된 배기부를 구비하고,
상기 흡기부의 상기 흡기부 단면과 상기 배기부의 상기 배기부 단면이 접해서 포개지도록 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱끼리 직접 포개지도록 배치되어,
상기 제1 단면 및 상기 제2 단면의 체결에 의해, 상기 흡기부 단면과 상기 배기부 단면이 직접 접속되어, 상기 흡기구와 상기 배기구가 연통되는,
연결 구조.
삭제
제2항에 있어서,
상기 복수의 대좌부와 상기 흡기부는 독립하여 상기 케이싱에 형성되고,
상기 복수의 각부와 상기 배기부는 독립하여 상기 케이싱에 형성되는,
연결 구조.
제4항에 있어서,
상기 흡기부의 상기 흡기부 단면과 상기 복수의 대좌부는, 동일 평면상에 형성되고,
상기 배기부의 상기 배기부 단면과 상기 복수의 각부는, 동일 평면상에 형성되는,
연결 구조.
제2항에 있어서,
상기 흡기부 단면 또는 상기 배기부 단면에 설치되어, 상기 케이싱 내의 기밀을 유지하는 봉지 부재를 더 구비하는,
연결 구조.
제1항에 있어서,
상기 복수의 대좌부의 상기 제1 단면 또는 상기 복수의 각부의 상기 제2 단면에 설치된, 요철 형상을 가지는 위치 결정 기구를 더 구비하는,
연결 구조.
제2항에 있어서,
상기 케이싱은, 상하 2개로 분할 가능한 하측 케이싱과 상측 케이싱에 의해 형성되는,
연결 구조.
연결된 복수의 진공 배기 장치를 구비하는 진공 배기 시스템에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치는, 펌프실과, 상기 펌프실을 구획하는 케이싱과, 상기 케이싱에 접속되는 모터를 각각 구비하고,
상기 케이싱은, 상기 케이싱의 제1 측에 형성된 제1 단면과, 상기 케이싱의 상기 제1 측과 반대측의 제2 측에 형성된 제2 단면을 갖고,
복수의 진공 배기 장치 중 제1 진공 배기 장치에 설치된 상기 제2 단면과, 제2 진공 배기 장치에 설치된 상기 제1 단면이 접하도록, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱이 직접 포개지도록 배치되어,
상기 제1 단면과 상기 제2 단면을 체결하는 것으로써, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱의 사이에 기체가 유통 가능하게, 상기 제1 진공 배기 장치 및 상기 제2 진공 배기 장치끼리 연결되는,
진공 배기 시스템.
제9항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치의 각 케이싱의 외부에 설치되어, 상기 복수의 진공 배기 장치 중, 진공 배기의 대상 기기에 접속된 최전단의 진공 배기 장치보다 후단의 진공 배기 장치 중 하나에 구비되는 상기 펌프실과, 상기 복수의 진공 배기 장치 중 최후단의 진공 배기 장치의 상기 펌프실을 연통시키는 접속 유닛과,
적어도 상기 접속 유닛에 설치된 냉각 기구,
를 더 구비하는 진공 배기 시스템.
제10항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치는,
상기 펌프실과 연통하는 적어도 1개의 흡기구와, 흡기부 단면을 갖고, 상기 케이싱의 상기 제1 측에 형성된 흡기부와,
상기 펌프실과 연통하는 적어도 1개의 배기구와, 배기부 단면을 갖고, 상기 케이싱의 상기 제2 측에 형성된 배기부를 구비하고,
상기 흡기부의 상기 흡기부 단면과 상기 배기부의 상기 배기부 단면이 접해 포개지도록, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱 및 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱끼리 직접 포개지도록 배치되어,
상기 제1 단면 및 상기 제2 단면의 체결에 의해, 상기 흡기부 단면과 상기 배기부 단면이 직접 접속되어, 상기 흡기구와 상기 배기구가 연통하는,
진공 배기 시스템.
제11항에 있어서,
상기 접속 유닛은,
상기 제1 진공 배기 장치의 상기 흡기구에 연통하는 흡기측 경로를 갖고, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속된 흡기측 경로 형성 부재와,
상기 제2 진공 배기 장치의 상기 배기구에 연통하는 배기측 경로를 갖고, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속된 배기측 경로 형성 부재와,
상기 흡기측 경로 및 상기 배기측 경로에 연통하는 배관 경로를 갖고, 상기 흡기측 경로 형성 부재 및 상기 배기측 경로 형성 부재에 접속된 배관 부재를 포함하는,
진공 배기 시스템.
제12항에 있어서,
상기 냉각 기구는, 상기 배기측 경로 형성 부재 및 상기 배관 부재 중 적어도 한편에 설치되는,
진공 배기 시스템.
제12항 또는 제13항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치는, 적층되도록 배치되고,
상기 배기측 경로 형성 부재는, 상기 복수의 진공 배기 장치 중 최하부인 상기 최후단의 진공 배기 장치의 하부에 배치되는,
진공 배기 시스템.
제10항에 있어서,
상기 접속 유닛은, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 펌프실과 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 펌프실을 연통시키는,
진공 배기 시스템.
제10항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치 중 적어도 1개의 진공 배기 장치는, 상기 적어도 1개의 진공 배기 장치의 상기 케이싱 내에서 복수의 펌프실을 구획하도록, 상기 케이싱 내에 형성된 격벽을 갖고,
상기 냉각 기구는, 상기 격벽에 설치되는,
진공 배기 시스템.
복수의 진공 배기 장치의 연결 구조에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치는, 적어도 1개의 펌프실을 형성하는 케이싱과, 상기 케이싱에 설치되어, 상기 펌프실에 연통하는 흡기구 및 배기구와, 상기 케이싱에 접속되는 모터를 각각 갖고,
상기 복수의 진공 배기 장치 중 제1 진공 배기 장치의 상기 펌프실과, 제2 진공 배기 장치의 상기 펌프실이 연통하도록, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱과 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱이 직접 접속되는,
연결 구조.
제17항에 있어서,
상기 케이싱은, 상기 케이싱의 제1 측에 형성된 단면을 갖는 흡기부와, 상기 케이싱의, 상기 제1 측과 다른 제2 측에 형성된 단면을 갖는 배기부를 포함하고,
상기 흡기구는, 상기 흡기부로 개구되고,
상기 배기구는, 상기 배기부로 개구되고,
상기 제1 진공 배기 장치의 상기 배기부의 상기 단면과, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 흡기부의 상기 단면이 당접하는 것으로, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 배기부의 상기 배기구와, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 흡기부의 상기 흡기구가 접속되는,
연결 구조.
제17항 또는 제18항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치 중 적어도 1개의 상기 펌프실은, 상기 케이싱 내에서 복수로 구분되어,
상기 복수의 펌프실 중 적어도 2개의 펌프실끼리 직렬로 연결되어, 상기 적어도 2개의 펌프실 중 최전단의 펌프실과 상기 흡기구가 연통하고, 최후단의 펌프실과 상기 배기구가 연통하는,
연결 구조.
제17항 또는 제18항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치 중 적어도 1개의 진공 배기 장치의 상기 펌프실은, 상기 케이싱 내에서 복수의 펌프실로 구분되어,
상기 흡기구 및 배기구의 양쪽 모두가 상기 복수의 펌프실에 각각 개별적으로 연통하는,
연결 구조.
연결된 복수의 진공 배기 장치를 구비하는 진공 배기 시스템에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치는, 적어도 1개의 펌프실을 형성하는 케이싱과, 상기 케이싱에 설치되어, 상기 펌프실에 연통하는 흡기구 및 배기구와, 상기 케이싱에 접속되는 모터를 각각 갖고,
상기 복수의 진공 배기 장치 중 제1 진공 배기 장치의 상기 펌프실과, 제2 진공 배기 장치의 상기 펌프실이 연통하도록, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱과 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱이 직접 접속되는,
진공 배기 시스템.
제21항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치의 각 케이싱의 외부에 설치되어, 상기 복수의 진공 배기 장치 중, 진공 배기의 대상 기기에 접속된 최전단의 진공 배기 장치보다 후단의 진공 배기 장치 중 하나에 구비되는 상기 펌프실과, 상기 복수의 진공 배기 장치 중 최후단의 진공 배기 장치의 상기 펌프실을 연통시키는 접속 유닛과,
적어도 상기 접속 유닛에 설치된 냉각 기구,
를 더 구비하는 진공 배기 시스템.
제22항에 있어서,
상기 접속 유닛은,
상기 최후단의 진공 배기 장치의 상기 배기구에 연통하는 배기측 경로를 갖고, 상기 최후단의 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속된 배기측 경로 형성 부재와,
상기 배기측 경로와, 최전단의 진공 배기 장치보다 후단의 진공 배기 장치 중 하나의 상기 흡기구를 연통시키는 경로를 갖고, 상기 배기측 경로 형성 부재에 접속된 배관 부재,
를 포함하는 진공 배기 시스템.
제23항에 있어서,
상기 냉각 기구는, 상기 배기측 경로 형성 부재 및 상기 배관 부재 중 적어도 한편에 설치되는,
진공 배기 시스템.
제23항 또는 제24항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치는, 적층되도록 배치되고,
상기 배기측 경로 형성 부재는, 상기 복수의 진공 배기 장치 중 최하부인 상기 최후단의 진공 배기 장치의 하부에 배치되는,
진공 배기 시스템.
제22항에 있어서,
상기 접속 유닛은, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 펌프실과 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 펌프실을 연통시키는,
진공 배기 시스템.
제22항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치 중 적어도 1개의 진공 배기 장치는, 상기 적어도 1개의 진공 배기 장치의 상기 케이싱 내에서 복수의 펌프실을 구획하도록, 상기 케이싱 내에 형성된 격벽을 갖고,
상기 냉각 기구는, 상기 격벽에 설치되는,
진공 배기 시스템.
복수의 진공 배기 장치의 접속 구조에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치는, 적어도 1개의 펌프실을 형성하는 케이싱과, 상기 케이싱에 설치되어, 상기 펌프실에 연통하는 흡기구 및 배기구와, 상기 케이싱에 접속되는 모터를 각각 갖고,
상기 복수의 진공 배기 장치에 각각 구비된 펌프실끼리 연통하도록 상기 복수의 진공 배기 장치에 각각 구비된 케이싱끼리 직접 연결해서 배치되고,
상기 접속 구조는,
상기 복수의 진공 배기 장치 중 제1 진공 배기 장치의 적어도 1개의 흡기구와, 제2 진공 배기 장치의 적어도 1개의 배기구를 연통시켜, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 배기구로부터 배기된 기체를 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 흡기구를 개입시켜 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 펌프실에 유입시키는 접속 경로를 갖고, 상기 복수의 진공 배기 장치의 각 케이싱의 외부에 배치되어, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱과, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속된 접속 유닛을 구비하는,
접속 구조.
제28항에 있어서,
상기 접속 유닛은,
상기 제1 진공 배기 장치의 상기 흡기구에 연통하고, 상기 접속 경로 중 제1 접속 경로를 갖고, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속된 제1 접속 부재와,
상기 제2 진공 배기 장치의 상기 배기구에 연통하고, 상기 접속 경로 중 제2 접속 경로를 갖고, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속된 제2 접속 부재와,
상기 제1 접속 경로 및 상기 제2 접속 경로에 연통하고, 상기 접속 경로 중 배관 경로를 갖고, 상기 제1 접속 부재 및 상기 제2 접속 부재에 접속된 배관 부재를 포함하는,
접속 구조.
제29항에 있어서,
상기 제1 접속 부재, 상기 제2 접속 부재 및 상기 배관 부재 중 적어도 하나는 일체로 형성된 부재인,
접속 구조.
제29항 또는 제30항에 있어서,
상기 제2 접속 부재는, 복수의 제2 접속 경로를 갖고,
상기 접속 구조는,
상기 복수의 제2 접속 경로에 각각 설치된 복수의 밸브와, 상기 복수의 밸브를 개입시켜 상기 복수의 제2 접속 경로에 연통하는 총배기구를 가지는 밸브 유닛을 더 구비하는,
접속 구조.
제29항에 있어서,
상기 제1 접속 부재 및 상기 제2 접속 부재는, 상기 복수의 진공 배기 장치 중 적어도 1개의 진공 배기 장치를 재치시키는 대좌(台座)인,
접속 구조.
적어도 1개의 펌프실을 형성하는 케이싱과, 상기 케이싱에 설치되어, 상기 펌프실에 연통하는 흡기구 및 배기구와, 상기 케이싱에 접속되는 모터를 각각 갖ㄴ는 복수의 진공 배기 장치를 구비하고, 상기 복수의 진공 배기 장치에 각각 구비된 펌프실끼리 연통하도록 상기 복수의 진공 배기 장치에 각각 구비된 케이싱끼리 직접 연결해서 배치되고,
상기 복수의 진공 배기 장치 중 제1 진공 배기 장치의 적어도 1개의 흡기구와, 제2 진공 배기 장치의 적어도 1개의 배기구를 연통시켜, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 배기구로부터 배기된 기체를, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 흡기구를 개입시켜 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 펌프실에 유입시키는 접속 경로를 갖고, 상기 복수의 진공 배기 장치의 각 케이싱의 외부에 배치되어, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱과, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속된 접속 유닛,
을 구비하는 진공 배기 시스템.
제33항에 있어서,
적어도 상기 접속 유닛에 설치된 냉각 기구를 더 구비하는,
진공 배기 시스템.
제34항에 있어서,
상기 접속 유닛은,
상기 제1 진공 배기 장치의 상기 흡기구에 연통하는 제1 접속 경로를 갖고, 상기 제1 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속된 제1 접속 부재와,
상기 제2 진공 배기 장치의 상기 배기구에 연통하는 제2 접속 경로를 갖고, 상기 제2 진공 배기 장치의 상기 케이싱에 접속된 제2 접속 부재와, 상기 제1 접속 경로 및 상기 제2 접속 경로에 연통하는 배관 경로를 갖고, 상기 제1 접속체 및 상기 제2 접속체에 접속된 배관 부재를 포함하는,
진공 배기 시스템.
제35항에 있어서,
상기 냉각 기구는, 상기 제2 접속 부재 및 상기 배관 부재 중 적어도 한편에 설치되는,
진공 배기 시스템.
제35항 또는 제36항에 있어서,
상기 제2 진공 배기 장치가, 상기 제1 진공 배기 장치보다 하부에 배치되도록 상기 복수의 진공 배기 장치가 적층되도록 배치되고,
상기 제2 접속 부재는, 상기 제2 진공 배기 장치의 하부에 배치되는,
진공 배기 시스템.
제34항에 있어서,
상기 복수의 진공 배기 장치 중 적어도 1개의 진공 배기 장치는, 상기 적어도 1개의 진공 배기 장치의 상기 케이싱 내에서 복수의 펌프실을 구획하도록, 상기 케이싱 내에 형성된 격벽을 갖고,
상기 냉각 기구는, 상기 격벽에 설치되는,
진공 배기 시스템.